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JPH04330805A - Dielectric triplate strip line resonance circuit and manufacturing method thereof - Google Patents

Dielectric triplate strip line resonance circuit and manufacturing method thereof

Info

Publication number
JPH04330805A
JPH04330805A JP13037991A JP13037991A JPH04330805A JP H04330805 A JPH04330805 A JP H04330805A JP 13037991 A JP13037991 A JP 13037991A JP 13037991 A JP13037991 A JP 13037991A JP H04330805 A JPH04330805 A JP H04330805A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
dielectric
inner conductor
resonant circuit
dummy
core
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP13037991A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Taro Miura
太郎 三浦
Tadao Fujii
忠雄 藤井
Shinya Nakai
信也 中井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
TDK Corp
Original Assignee
TDK Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by TDK Corp filed Critical TDK Corp
Priority to JP13037991A priority Critical patent/JPH04330805A/en
Publication of JPH04330805A publication Critical patent/JPH04330805A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

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Abstract

PURPOSE:To prevent the crushing of an inner conductor or a core for an inner conductor, and to improve a Q value by printing a dielectric dummy at the edge of the inner conductor or the core for the inner conductor after printing them. CONSTITUTION:The dielectric whose thickness is more than that of an inner conductor 13, is printed as a dielectric dummy 21 so as to be connected with the edge of the inner conductor 13 printed on a dielectric sheet, then pressed after overlapping the dielectric sheet, burned after pressing it, and the cross section of the inner conductor 13 after the completion of burning is rectangular. And also, the dielectric whose thickness is more than that of a core 25 for inner conductor, is printed as the dummy so as to be connected with the edge of the core 25 printed on a dielectric sheet 12, then pressed after overlapping the dielectric sheet 12, and the cross section is formed of a rectangle hollow part by the thermal decomposition of the core 25 at the time of burning, so that the inner conductor 13 whose cross section is rectangular can be formed. Thus, the crushing of the inner conductor 13 or the core 25 can be prevented, and the high Q value can be realized.

Description

【発明の詳細な説明】[Detailed description of the invention]

【0001】0001

【産業上の利用分野】本発明は、誘電体トリプレートス
トリップ線路共振回路及びその製造方法に関し、特にそ
の共振回路のQ値を向上させるのに好適な内導体形成に
関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a dielectric triplate stripline resonant circuit and a method for manufacturing the same, and more particularly to forming an inner conductor suitable for improving the Q value of the resonant circuit.

【0002】0002

【従来の技術】従来、誘電体基板内に形成されたトリプ
レートストリップ線路共振回路はマイクロストリップ線
路に比較して実効誘電率が大きく、素子が小型になる。 この共振回路を多層誘電体基板内に組み込めば、電圧制
御発振器(VCO)や周波数シンセサイザの小型化に寄
与する。また、多層誘電体基板によるトリプレートスト
リップ線路共振回路の製造では、誘電体と電極にあたる
地導体や内導体を同時に焼成(コファイア法と称する)
して小型化、信頼性及び生産性向上等を図っている。こ
の従来のコファイア法による誘電体トリプレートストリ
ップ線路共振回路の製造工程を図7a〜図7fに示す。 ここで、図を簡易にするために導波管モードサプレッサ
等は省略している。以下、図7a〜図7fにより製造工
程を説明する。
2. Description of the Related Art Conventionally, a triplate strip line resonant circuit formed in a dielectric substrate has a larger effective dielectric constant than a microstrip line, resulting in a smaller element. Incorporating this resonant circuit into a multilayer dielectric substrate contributes to miniaturization of voltage controlled oscillators (VCOs) and frequency synthesizers. In addition, in the production of tri-plate strip line resonant circuits using multilayer dielectric substrates, the dielectric and the ground conductor and inner conductor that serve as the electrodes are simultaneously fired (referred to as the cofire method).
The aim is to reduce the size, improve reliability, and improve productivity. The manufacturing process of a dielectric triplate stripline resonant circuit using this conventional cofire method is shown in FIGS. 7a to 7f. Here, in order to simplify the diagram, waveguide mode suppressors and the like are omitted. The manufacturing process will be explained below with reference to FIGS. 7a to 7f.

【0003】まず、図7aに示すように、第1層誘電体
コーティングによりポリエステルフィルム11上に第1
層誘電体シート12を形成する。次に図7bに示すよう
に内導体13を印刷する。
First, as shown in FIG. 7a, a first layer is coated on a polyester film 11 by a first layer dielectric coating.
A layered dielectric sheet 12 is formed. Next, the inner conductor 13 is printed as shown in FIG. 7b.

【0004】次に、図7cに示すように、第2層誘電体
コーティングにより第1層誘電体シート12上に第2層
誘電体シート14を形成する。次に共振回路の切り離し
とプレス・焼成を行う。すなわち、形成された2層の誘
電体シートからポリエステルフィルム11を切り離し、
プレス・焼成を行う。これにより、図7dに示すように
2層誘電体基板15ができる。
Next, as shown in FIG. 7c, a second layer dielectric sheet 14 is formed on the first layer dielectric sheet 12 by a second layer dielectric coating. Next, the resonant circuit is separated, pressed and fired. That is, the polyester film 11 is cut off from the formed two-layer dielectric sheet,
Perform pressing and firing. This results in a two-layer dielectric substrate 15 as shown in FIG. 7d.

【0005】次に、図7eに示すように、この2層誘電
体基板15の上下に地導体16を焼付け、入出力端子1
7を形成する。これにより2層誘電体トリプレートスト
リップ線路が製造される。これを切断して図7fに示す
ような2層誘電体トリプレートストリップ線路共振回路
18ができあがる。
Next, as shown in FIG. 7e, ground conductors 16 are baked on the top and bottom of this two-layer dielectric substrate 15, and the input/output terminals 1
form 7. In this way, a two-layer dielectric triplate strip line is manufactured. By cutting this, a two-layer dielectric triplate stripline resonant circuit 18 as shown in FIG. 7f is completed.

【0006】このようなコファイア法により製造したト
リプレートストリップ線路リング共振回路の構造図を図
8に示す。ここで、81は誘電体基板、82はリング状
の内導体、83は入出力端子、84は地導体である。図
8に示したトリプレートストリップ線路リング共振回路
と共振周波数が大体等しいマイクロストリップ線路のリ
ング共振回路とのQ値の測定結果の比較を図9に示す。 ここで、測定に使用したトリプレートストリップ線路リ
ング共振回路は、誘電体基板の誘電率ε=7.8、基板
寸法55mm×45mm×1.4mm、内導体直径30
mm、内導体幅1.0mmである。また、マイクロスト
リップ線路リング共振回路は、誘電体基板の誘電率ε=
7.8、基板寸法55mm×45mm×0.7mm、内
導体直径34mm、内導体幅1.0mmである。図9か
ら明らかなように、共振周波数が大体等しいのに対し、
トリプレートストリップ線路共振回路ではQ値が98と
なり、マイクロストリップ線路共振回路ではQ値が15
0となり、トリプレートストリップ線路共振回路のQ値
が明らかに低い。
FIG. 8 shows a structural diagram of a triplate strip line ring resonant circuit manufactured by such a cofire method. Here, 81 is a dielectric substrate, 82 is a ring-shaped inner conductor, 83 is an input/output terminal, and 84 is a ground conductor. FIG. 9 shows a comparison of the Q value measurement results between the triplate strip line ring resonant circuit shown in FIG. 8 and a microstrip line ring resonant circuit having approximately the same resonance frequency. Here, the tri-plate strip line ring resonant circuit used in the measurement has a dielectric constant ε of the dielectric substrate of 7.8, a substrate size of 55 mm x 45 mm x 1.4 mm, and an inner conductor diameter of 30 mm.
mm, and the inner conductor width is 1.0 mm. In addition, in the microstrip line ring resonant circuit, the dielectric constant ε of the dielectric substrate is
7.8, the board dimensions are 55 mm x 45 mm x 0.7 mm, the inner conductor diameter is 34 mm, and the inner conductor width is 1.0 mm. As is clear from Fig. 9, while the resonance frequencies are approximately equal,
The Q value for the triplate strip line resonant circuit is 98, and the Q value for the microstrip line resonant circuit is 15.
0, and the Q value of the triplate strip line resonant circuit is clearly low.

【0007】Q値が低い理由を調べる一環として、トリ
プレートストリップ線路につき内導体の断面形状を調べ
た結果を図10に示す。ストリップ線路の内導体上の高
周波電流密度は図10に破線で示されるように分布して
いる。検討した結果、コファイアしたトリプレートスト
リップ線路では製造工程で内導体がプレスされるために
縁の部分が薄くなりQ値が低下すると判明した。すなわ
ち、縁の部分は電流密度が高いので、この部分が薄くな
ると内導体の実効抵抗が増大してQ値が低下する。
As part of the investigation into the reason for the low Q value, the cross-sectional shape of the inner conductor of the triplate strip line was investigated and the results are shown in FIG. The high frequency current density on the inner conductor of the strip line is distributed as shown by the broken line in FIG. As a result of the study, it was found that in cofired triplate strip lines, the inner conductor is pressed during the manufacturing process, which causes the edges to become thinner and the Q value to decrease. That is, since the current density is high in the edge portion, when this portion becomes thinner, the effective resistance of the inner conductor increases and the Q value decreases.

【0008】このようなトラブルを避ける方法としては
図11に示すように内導体を2〜3層にして縁の電気抵
抗を減少させる方法が知られている。
A known method for avoiding such troubles is to reduce the electrical resistance at the edges by forming the inner conductor in two or three layers, as shown in FIG.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の図11に示した方法によりトリプレートストリップ
線路を製造すると、内導体間の位置合わせが困難であり
、線路インピーダンスや共振周波数を設計値に一致させ
るのが困難であるという問題があった。
[Problems to be Solved by the Invention] However, when a triplate strip line is manufactured by the above-mentioned conventional method shown in FIG. The problem was that it was difficult to do so.

【0010】また、本出願人は先に高いQ値を実現する
ため、誘電体基板を製造する際に熱分解する材質で内導
体の形状を中子として形成しておき、誘電体焼成時に中
子が熱分解してできた空孔部に溶融した銀などを圧入し
て内導体を形成する方法を提案している(特願平3−2
9004号明細書参照)。このような製造方法(工程)
の例を図12a〜図12fに示す。以下、図12a〜図
12fにより製造工程を説明する。
[0010] In addition, in order to achieve a high Q value in advance, the present applicant has formed the shape of the inner conductor as a core using a material that decomposes thermally when manufacturing the dielectric substrate, and when the dielectric is fired, the inner conductor is formed into a core. proposed a method of forming an inner conductor by press-fitting molten silver into the voids formed by thermal decomposition of the metal (Japanese Patent Application No. 3-2).
(See specification No. 9004). Such manufacturing method (process)
Examples are shown in FIGS. 12a to 12f. The manufacturing process will be explained below with reference to FIGS. 12a to 12f.

【0011】まず、図12aに示すように、第1層誘電
体コーティングによりポリエステルフィルム101上に
第1層誘電体シート102を形成し、その第1層誘電体
シート102上にしゃへい電極103、入出力端子10
4及び内導体用中子(カーボン)105を印刷する。
First, as shown in FIG. 12a, a first layer dielectric sheet 102 is formed on a polyester film 101 by first layer dielectric coating, and a shielding electrode 103 and an input layer are formed on the first layer dielectric sheet 102. Output terminal 10
4 and an inner conductor core (carbon) 105 are printed.

【0012】次に、図12bに示すように、第2層誘電
体コーティングにより第1層誘電体シート102上に第
2層誘電体シート106を形成し、その第2層誘電体シ
ート106上に地導体107を印刷する。このとき、結
合孔108を設け、第2層誘電体シート106上には貼
り代(図示せず)を取っておく。さらに、第3層誘電体
コーティングにより第2層誘電体シート106上に第3
層誘電体シート109を形成し、しゃへい電極110と
内導体用中子(カーボン)111を印刷する。
Next, as shown in FIG. 12b, a second layer dielectric sheet 106 is formed on the first layer dielectric sheet 102 by second layer dielectric coating, and a second layer dielectric sheet 106 is formed on the second layer dielectric sheet 106. Print the ground conductor 107. At this time, a bonding hole 108 is provided, and a pasting allowance (not shown) is set aside on the second layer dielectric sheet 106. Further, a third dielectric layer is formed on the second layer dielectric sheet 106 by the third layer dielectric coating.
A layer dielectric sheet 109 is formed, and a shielding electrode 110 and an inner conductor core (carbon) 111 are printed.

【0013】次に、図12cに示すように、第4層誘電
体コーティングにより第4層誘電体シート112を形成
する。
Next, as shown in FIG. 12c, a fourth layer dielectric sheet 112 is formed by a fourth layer dielectric coating.

【0014】次に、素子の切り離しと焼成を行う。すな
わち、形成された4層の誘電シートからポリエステルフ
ィルム101を切り離し、焼結温度(約500℃)以下
の温度で焼成を行う。これにより、図12dに示すよう
に中子105、111が熱分解して飛散した後の内導体
用空孔部113ができる。この内導体用空孔部113に
溶融銀を圧入することにより厚さ約30μm 、長さ約
10mmの内導体114が形成できる。
Next, the elements are separated and fired. That is, the polyester film 101 is separated from the formed four-layer dielectric sheet and fired at a temperature below the sintering temperature (approximately 500° C.). As a result, as shown in FIG. 12d, an inner conductor cavity 113 is formed after the cores 105 and 111 are thermally decomposed and scattered. By press-fitting molten silver into the inner conductor hole 113, an inner conductor 114 having a thickness of about 30 μm and a length of about 10 mm can be formed.

【0015】次に、図12fに示すように、外側の地導
体(例えば、銀パラジウム)115と入出力端子116
を印刷し、内導体の開放端側の側面に短絡電極117を
形成する。このようにして、誘電体基板内部に金属銀の
電極を形成できる。
Next, as shown in FIG. 12f, an outer ground conductor (for example, silver palladium) 115 and an input/output terminal 116 are connected.
is printed, and a short-circuit electrode 117 is formed on the side surface of the inner conductor on the open end side. In this way, metallic silver electrodes can be formed inside the dielectric substrate.

【0016】以上のような銀を圧入して内導体を形成す
る方法においても中子としてカーボンペーストのような
柔軟性のある材質を使用するので、コファイア法と同様
に内導体の縁部にあたる空孔部が押しつぶされて薄くな
りQ値が低下するという問題点があった。
[0016] In the method of press-fitting silver to form the inner conductor as described above, a flexible material such as carbon paste is used as the core, so similar to the cofire method, the voids at the edges of the inner conductor are There was a problem in that the holes were crushed and became thinner, resulting in a lower Q value.

【0017】本発明の目的は、このような従来の問題点
を解決し、簡便な部材または工程を追加するだけでQ値
を向上させる誘電体トリプレートストリップ線路共振回
路及びその製造方法を提供することにある。
An object of the present invention is to solve these conventional problems and provide a dielectric triplate stripline resonant circuit and a method for manufacturing the same that improves the Q value by simply adding simple members or steps. There is a particular thing.

【0018】[0018]

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
、本発明の誘電体トリプレートストリップ線路共振回路
は、誘電体トリプレートストリップ線路共振回路におい
て、誘電体シート上に印刷された内導体の縁に接するよ
うに、内導体の厚さ以上の誘電体をダミーとして印刷し
た後に誘電体シートを重ねてプレスし、該プレス後焼成
して焼成完了後の内導体の断面を長方形の構造としたこ
とに特徴がある。
[Means for Solving the Problems] In order to achieve the above object, the dielectric tri-plate strip line resonant circuit of the present invention includes an inner conductor printed on a dielectric sheet. After printing a dummy dielectric with a thickness greater than that of the inner conductor so that it touches the edge, the dielectric sheets are stacked and pressed, and after the pressing is fired, the inner conductor has a rectangular cross section after firing. There are certain characteristics.

【0019】前記誘電体トリプレートストリップ線路共
振回路において、前記ダミーの幅は、内導体の厚さの2
0倍以内としたことや、前記ダミーの厚さは、内導体の
厚さの1.05倍〜1.20倍以下としたこと、前記ダ
ミーの誘電率は、前記誘電体シートの誘電率と同一とし
たことに特徴がある。
In the dielectric triplate strip line resonant circuit, the width of the dummy is twice the thickness of the inner conductor.
The thickness of the dummy is 1.05 to 1.20 times the thickness of the inner conductor, and the dielectric constant of the dummy is equal to the dielectric constant of the dielectric sheet. The feature is that they are the same.

【0020】本発明の誘電体トリプレートストリップ線
路共振回路の製造方法は、誘電体トリプレートストリッ
プ線路共振回路の製造方法において、誘電体シート上に
印刷された内導体の縁に接するように、内導体の厚さ以
上の誘電体をダミーとして印刷した後に誘電体シートを
重ねてプレスし、該プレス後焼成することに特徴がある
In the method for manufacturing a dielectric triplate stripline resonant circuit of the present invention, the inner conductor is printed on the dielectric sheet so as to be in contact with the edge of the inner conductor printed on the dielectric sheet. The method is characterized in that after printing a dummy dielectric material with a thickness greater than that of the conductor, the dielectric sheets are stacked and pressed, and then fired after the pressing.

【0021】本発明の他の誘電体トリプレートストリッ
プ線路共振回路は、誘電体トリプレートストリップ線路
共振回路において、誘電体シート上に印刷された中子の
縁に接するように、中子の厚さ以上の誘電体をダミーと
して印刷した後に誘電体シートを重ねてプレスし、焼成
時に中子の熱分解により断面が長方形の空孔部を形成し
て、溶融銀の圧入により断面が長方形の内導体を形成す
るように構成されたことに特徴がある。
Another dielectric tri-plate strip line resonant circuit of the present invention is a dielectric tri-plate strip line resonant circuit in which the thickness of the core is adjusted so as to be in contact with the edge of the core printed on the dielectric sheet. After printing the above dielectric as a dummy, dielectric sheets are stacked and pressed, and during firing, the core is thermally decomposed to form a hole with a rectangular cross section, and molten silver is press-fitted to form an inner conductor with a rectangular cross section. It is distinctive in that it is configured to form a

【0022】前記他の誘電体トリプレートストリップ線
路共振回路において、前記ダミーの幅は、内導体の厚さ
の20倍以内としたことや、前記ダミーの厚さは、内導
体の厚さの1.05倍〜1.20倍以下としたこと、前
記ダミーの誘電率は、前記誘電体シートの誘電率と同一
としたことに特徴がある。
In the other dielectric triplate strip line resonant circuit, the width of the dummy is within 20 times the thickness of the inner conductor, and the thickness of the dummy is 1 times the thickness of the inner conductor. The dielectric constant of the dummy is set to be .05 times to 1.20 times or less, and the dielectric constant of the dummy is the same as the dielectric constant of the dielectric sheet.

【0023】本発明の他の誘電体トリプレートストリッ
プ線路共振回路の製造方法は、誘電体基板によるトリプ
レートストリップ線路共振回路を製造する際に熱分解す
る材質で内導体の形状を中子として形成しておき、誘電
体焼成時に中子が熱分解してできた空孔部に溶融した銀
などを圧入して内導体を形成する誘電体トリプレートス
トリップ線路共振回路の製造方法において、誘電体シー
ト上に印刷された中子の縁に接するように、中子の厚さ
以上の誘電体をダミーとして印刷した後に誘電体シート
を重ねてプレスし、焼成時に中子の熱分解により断面が
長方形の空孔部を形成して、断面が長方形であるような
内導体を形成することに特徴がある。
Another method of manufacturing a dielectric tri-plate strip line resonant circuit according to the present invention is to form the shape of the inner conductor as a core using a material that decomposes thermally when manufacturing the tri-plate strip line resonant circuit using a dielectric substrate. In a method for manufacturing a dielectric triplate strip line resonant circuit in which an inner conductor is formed by press-fitting molten silver or the like into the voids formed by thermal decomposition of the core during dielectric firing, the dielectric sheet is After printing a dummy dielectric with a thickness greater than the thickness of the core so that it touches the printed edge of the core, the dielectric sheets are stacked and pressed, and the cross section becomes rectangular due to thermal decomposition of the core during firing. The feature is that an inner conductor having a rectangular cross section is formed by forming a hole.

【0024】[0024]

【作用】本発明においては、誘電体シート上に印刷され
た内導体の縁に接するように、内導体の厚さ以上の誘電
体をダミーとして印刷した後に誘電体シートを重ねてプ
レスし、該プレス後焼成する。
[Operation] In the present invention, a dielectric material having a thickness greater than the inner conductor is printed as a dummy in contact with the edge of the inner conductor printed on the dielectric sheet, and then the dielectric sheets are stacked and pressed. After pressing, it is fired.

【0025】また、本発明においては、誘電体シート上
に印刷された中子の縁に接するように、中子の厚さ以上
の誘電体をダミーとして印刷した後に誘電体シートを重
ねてプレスし、焼成時に中子の熱分解により断面が長方
形の空孔部を形成して、断面が長方形であるような内導
体を形成する。
Further, in the present invention, a dielectric material having a thickness greater than the thickness of the core is printed as a dummy so as to be in contact with the edge of the core printed on the dielectric sheet, and then the dielectric sheets are stacked and pressed. During firing, the core is thermally decomposed to form a cavity having a rectangular cross section, thereby forming an inner conductor having a rectangular cross section.

【0026】これらにより、内導体または内導体用中子
のつぶれを防止でき、高いQ値を実現できるようになる
[0026] With these, it is possible to prevent the inner conductor or the core for the inner conductor from being crushed, and it is possible to realize a high Q value.

【0027】[0027]

【実施例】以下、本発明の一実施例を、図面により詳細
に説明する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described in detail below with reference to the drawings.

【0028】(I)第1の実施例 図1a〜図1dは、本発明の第1の実施例を示す誘電体
トリプレートストリップ線路共振回路の製造方法を説明
するための図である。これは、その共振回路の製造方法
のうち内導体形成工程を示しており、他の工程は図7に
示した従来のコファイア法による製造工程と同様である
ので説明を省略する。
(I) First Embodiment FIGS. 1a to 1d are diagrams for explaining a method of manufacturing a dielectric triplate strip line resonant circuit according to a first embodiment of the present invention. This shows the inner conductor forming step in the method for manufacturing the resonant circuit, and the other steps are the same as the manufacturing steps using the conventional cofire method shown in FIG. 7, so their explanation will be omitted.

【0029】図1a〜図1dにおいて、11はポリエス
テルフィルム、12は第1層誘電体シート、13は内導
体、14は第2層誘電体シート、21は本発明の特徴的
な誘電体ダミーである。
In FIGS. 1a to 1d, 11 is a polyester film, 12 is a first layer dielectric sheet, 13 is an inner conductor, 14 is a second layer dielectric sheet, and 21 is a dielectric dummy characteristic of the present invention. be.

【0030】コファイア法によるトリプレートストリッ
プ線路の内導体はガラスフリットを混入した銀ペースト
を焼付けて製造し、厚さは約30μm である。トリプ
レートストリップ線路共振回路が使用される周波数範囲
は800MHz 〜3GHz である。800MHz 
における銀ペーストの表皮厚さは約5.3μm である
。共振回路のQ値を内導体の抵抗損により低下させない
ためには銀ペーストの厚さを表皮厚さの3倍以上にしな
ければならない。 一方、銀ペーストは厚さの約6倍であれば充分であるか
ら、厚さに関する条件は満足している。従って、誘電体
層を重ねてプレスする際に内導体の縁がつぶれて薄くな
らなければQ値が低下することを防ぐことができる。そ
こで、本第1の実施例では、内導体印刷後に内導体縁の
周囲を囲むように誘電体ダミーを印刷する工程を追加し
、プレス時の内導体のつぶれを防止している。
The inner conductor of the tri-plate strip line by the cofire method is manufactured by baking silver paste mixed with glass frit, and has a thickness of about 30 μm. The frequency range in which triplate stripline resonant circuits are used is from 800 MHz to 3 GHz. 800MHz
The skin thickness of the silver paste is approximately 5.3 μm. In order to prevent the Q value of the resonant circuit from decreasing due to resistance loss of the inner conductor, the thickness of the silver paste must be at least three times the thickness of the skin. On the other hand, since it is sufficient for the silver paste to be about 6 times the thickness, the conditions regarding the thickness are satisfied. Therefore, if the edges of the inner conductor are not crushed and thinned when the dielectric layers are stacked and pressed, the Q value can be prevented from decreasing. Therefore, in the first embodiment, after printing the inner conductor, a step of printing a dielectric dummy to surround the edge of the inner conductor is added to prevent the inner conductor from being crushed during pressing.

【0031】以下、本第1の実施例による内導体形成に
ついて説明する。
The formation of the inner conductor according to the first embodiment will be explained below.

【0032】まず、図1aに示すように、第1層誘電体
コーティングによりポリエステルフィルム11上に第1
層誘電体シート12を形成する。次に、図1bに示すよ
うに、その第1層誘電体シート12上に内導体13を印
刷する。
First, as shown in FIG. 1a, a first layer is coated on the polyester film 11 by a first layer dielectric coating.
A layered dielectric sheet 12 is formed. Next, as shown in FIG. 1b, an inner conductor 13 is printed on the first layer dielectric sheet 12.

【0033】次に、内導体13の縁をつぶさないため、
図1cに示すように内導体13の縁に接して誘電体ダミ
ー21を印刷する。この誘電体ダミー印刷時の第1層誘
電体シート12の断面を図2に示す。ここで、誘電体ダ
ミー21は、内導体側面の限られた範囲に内導体13よ
り厚く印刷している。
Next, in order not to crush the edge of the inner conductor 13,
A dielectric dummy 21 is printed in contact with the edge of the inner conductor 13 as shown in FIG. 1c. FIG. 2 shows a cross section of the first layer dielectric sheet 12 during this dielectric dummy printing. Here, the dielectric dummy 21 is printed thicker than the inner conductor 13 in a limited range on the side surface of the inner conductor.

【0034】次に、図1dに示すように、ダミー印刷さ
れた第1層誘電体シート12上に第2層誘電体シート1
4を乗せて成形した後に焼成する。この焼成後の内導体
断面を図3に示す。図3から明らかなように、誘電体ダ
ミー21を設けたことにより内導体13の縁がつぶれて
いない。従って、焼成完了後の内導体の断面は長方形に
なっている。
Next, as shown in FIG. 1d, a second layer dielectric sheet 1 is placed on the dummy printed first layer dielectric sheet 12.
4 is placed and shaped, and then baked. FIG. 3 shows a cross section of the inner conductor after firing. As is clear from FIG. 3, the edges of the inner conductor 13 are not crushed due to the provision of the dielectric dummy 21. Therefore, the inner conductor has a rectangular cross section after firing.

【0035】本第1の実施例の方法により、図8、図9
に示した従来のトリプレートストリップ線路リング共振
回路と同一寸法のリング共振回路を製造した。この製造
されたトリプレートストリップ線路リング共振回路を用
いてQ値を測定した。測定値は共振周波数が1174M
Hzとなり、Q値が162であった。この結果から明ら
かなように内導体13の両脇に誘電体ダミー21を印刷
してトリプレートストリップ線路を製造すれば、単層の
内導体でも高いQ値を実現できる。
By the method of the first embodiment, FIGS.
A ring resonant circuit with the same dimensions as the conventional tri-plate stripline ring resonant circuit shown in 1 was manufactured. The Q value was measured using this manufactured triplate strip line ring resonant circuit. The measured value is that the resonance frequency is 1174M
Hz, and the Q value was 162. As is clear from this result, if a tri-plate strip line is manufactured by printing dielectric dummies 21 on both sides of the inner conductor 13, a high Q value can be achieved even with a single-layer inner conductor.

【0036】誘電体ダミーにより内導体の縁の寸法が正
確に規定されるので、図4に示すように1/4または1
/2波長共振回路の端部についても誘電体ダミーを印刷
すれば共振周波数を正確に制御することができる。
Since the dimensions of the edge of the inner conductor are accurately defined by the dielectric dummy, it is possible to
If a dielectric dummy is printed on the end of the /2 wavelength resonant circuit, the resonant frequency can be accurately controlled.

【0037】次に上記誘電体ダミーについて詳述する。Next, the above dielectric dummy will be explained in detail.

【0038】誘電体ダミーが誘電体シートより高い誘電
率であると、内導体縁部の電流密度が増加してQ値減少
につながる。一方、誘電体シートより誘電率が低いと線
路の実効誘電率が低下するので小型化に寄与しなくなる
。従って、誘電体ダミーは誘電体シートと同一の誘電率
を示す材質が好ましい。また、誘電体ダミーの幅は内導
体厚さの約20倍程度あれば充分であった。好ましくは
20倍以下とすれば充分である。さらに誘電体ダミーの
厚さが内導体の厚さより薄いと内導体がつぶれて効果が
低減するので、誘電体ダミーの厚さは内導体の厚さより
厚いほうが望ましい。ただし、厚すぎると上層の基板を
圧迫するなどの弊害がある。実験の結果、導体の厚さ×
1.05から効果が表れ、内導体の厚さ×1.2であれ
ば上層の基板を圧迫するなどの弊害はないと判明した。
If the dielectric dummy has a higher dielectric constant than the dielectric sheet, the current density at the edge of the inner conductor increases, leading to a decrease in the Q value. On the other hand, if the dielectric constant is lower than that of the dielectric sheet, the effective dielectric constant of the line will decrease, so it will not contribute to miniaturization. Therefore, the dielectric dummy is preferably made of a material that exhibits the same dielectric constant as the dielectric sheet. Further, it was sufficient that the width of the dielectric dummy was about 20 times the thickness of the inner conductor. Preferably, it is sufficient to make it 20 times or less. Furthermore, if the thickness of the dielectric dummy is thinner than the thickness of the inner conductor, the inner conductor will collapse and the effect will be reduced, so it is desirable that the thickness of the dielectric dummy be thicker than the thickness of the inner conductor. However, if it is too thick, it may cause problems such as pressing on the upper layer substrate. As a result of the experiment, the thickness of the conductor ×
It was found that the effect was apparent from 1.05, and that if the thickness of the inner conductor was x 1.2, there would be no adverse effects such as pressing on the upper layer board.

【0039】(II)第2の実施例 本第2の実施例は、第1の実施例で用いた誘電体ダミー
を、本出願人が先に提案した銀圧入法による誘電体トリ
プレートストリップ線路共振回路の製造方法に適用する
ことによりQ値の低下を改善したものである。
(II) Second Example In this second example, the dielectric dummy used in the first example was replaced with a dielectric triplate strip line using the silver intrusion method previously proposed by the present applicant. By applying this method to a method for manufacturing a resonant circuit, the reduction in Q value is improved.

【0040】図5a〜図5bは、本発明の第2の実施例
を示す誘電体トリプレートストリップ線路共振回路の製
造方法を説明するための図である。これは、その共振回
路の製造方法のうち中子形成工程を示しており、他の工
程は図12に示した銀圧入法による製造工程と同様であ
るので説明を省略する。
FIGS. 5a and 5b are diagrams for explaining a method of manufacturing a dielectric triplate strip line resonant circuit according to a second embodiment of the present invention. This shows the core forming process in the method for manufacturing the resonant circuit, and the other steps are the same as the manufacturing process using the silver intrusion method shown in FIG. 12, so their explanation will be omitted.

【0041】図5a、図5bにおいて、11はポリエス
テルフィルム、12は第1層誘電体シート、25は内導
体用中子、26は本発明の特徴的な誘電体ダミーである
In FIGS. 5a and 5b, 11 is a polyester film, 12 is a first layer dielectric sheet, 25 is an inner conductor core, and 26 is a dielectric dummy characteristic of the present invention.

【0042】誘電体層を重ねてプレスする際に内導体用
中子の縁がつぶされて薄くならなければ圧入する銀内導
体の縁も薄くならずQ値の低下を防ぐことができる。そ
こで、本第2の実施例では、内導体用中子印刷後に中子
縁の周囲を囲むように誘電体ダミーを印刷する工程を追
加し、プレス時の内導体のつぶれを防止している。
If the edges of the inner conductor core are not crushed and become thin when the dielectric layers are piled up and pressed, the edge of the press-fitted silver inner conductor will not become thin either, and a decrease in the Q value can be prevented. Therefore, in the second embodiment, after printing the inner conductor core, a step of printing a dielectric dummy to surround the edge of the core is added to prevent the inner conductor from being crushed during pressing.

【0043】以下、本第2の実施例による内導体用中子
形成について説明する。
The formation of the inner conductor core according to the second embodiment will be explained below.

【0044】まず、図5aに示すように、第1層誘電体
コーティングによりポリエステルフィルム11上に第1
層誘電体シート12を形成し、その第1層誘電体シート
12上に内導体用中子25を印刷する。
First, as shown in FIG. 5a, a first layer is coated on the polyester film 11 by a first layer dielectric coating.
A layer dielectric sheet 12 is formed, and an inner conductor core 25 is printed on the first layer dielectric sheet 12.

【0045】次に、内導体用中子25の縁をつぶさない
ため、図5bに示すように内導体用中子25の縁に接し
て誘電体ダミー26を印刷する。この誘電体ダミー印刷
時の第1層誘電体シート12の断面は図2の内導体13
が内導体用中子25に代わるだけで同様形状である。こ
こで、誘電体ダミー26は、内導体用中子側面の限られ
た範囲に内導体用中子25より厚く印刷している。
Next, in order not to crush the edge of the inner conductor core 25, a dielectric dummy 26 is printed in contact with the edge of the inner conductor core 25, as shown in FIG. 5b. The cross section of the first layer dielectric sheet 12 when printing this dielectric dummy is the inner conductor 13 in FIG.
The shape is the same except that the core 25 for the inner conductor is replaced by the core 25 for the inner conductor. Here, the dielectric dummy 26 is printed thicker than the inner conductor core 25 in a limited range on the side surface of the inner conductor core.

【0046】次に誘電体ダミー26を印刷した第1層誘
電体シート12上に第2層誘電体シートを形成し(図示
せず)、プレス成形した後に焼成する。この焼成後の中
子が熱分解した後の空孔部27の断面を図6に示す。図
6から明らかなように、誘電体ダミー21を設けたこと
により内導体が圧入される空孔部27の縁がつぶれてい
ない。従って、銀圧入により形成される内導体の断面は
長方形になる。このように、中子のつぶれによる内導体
の縁がつぶれることを防止できるので、高いQ値が得ら
れる。
Next, a second layer dielectric sheet (not shown) is formed on the first layer dielectric sheet 12 on which the dielectric dummy 26 has been printed, and is press-molded and then fired. FIG. 6 shows a cross section of the cavity 27 after the fired core is thermally decomposed. As is clear from FIG. 6, by providing the dielectric dummy 21, the edges of the cavity 27 into which the inner conductor is press-fitted are not crushed. Therefore, the inner conductor formed by silver press-in has a rectangular cross section. In this way, it is possible to prevent the edges of the inner conductor from being crushed due to the crushing of the core, so a high Q value can be obtained.

【0047】誘電体ダミーにより内導体用中子の縁の寸
法が正確に規定され、内導体の寸法も正確に規定できる
ので、図5bに示すような1/4または1/2波長共振
回路の端部についても誘電体ダミーを印刷すれば共振周
波数を正確に制御することができる。
Since the dimensions of the edge of the core for the inner conductor can be precisely defined by the dielectric dummy, and the dimensions of the inner conductor can also be precisely defined, the 1/4 or 1/2 wavelength resonant circuit as shown in FIG. If dielectric dummies are printed on the ends as well, the resonance frequency can be accurately controlled.

【0048】また、上記第2の実施例における誘電体ダ
ミーは、上記第1の実施例と同一のものであるので、誘
電体ダミーの幅や厚さ等の詳細については上記第1の実
施例を参照されたい。
Furthermore, since the dielectric dummy in the second embodiment is the same as that in the first embodiment, details such as the width and thickness of the dielectric dummy are the same as those in the first embodiment. Please refer to

【0049】上記第1、第2の実施例では、内導体印刷
または内導体用中子印刷の後に誘電体ダミーを印刷する
ので、描画装置を使用しないで済み、製造上簡単になる
という利点がある。
In the first and second embodiments described above, since the dielectric dummy is printed after printing the inner conductor or the core for the inner conductor, there is no need to use a drawing device, which has the advantage of simplifying manufacturing. be.

【0050】[0050]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
内導体印刷または内導体用中子印刷後にそれらの縁に誘
電体ダミーを印刷することにより内導体または中子のつ
ぶれを防止できるので、Q値の向上が図れる。
[Effects of the Invention] As explained above, according to the present invention,
By printing a dielectric dummy on the edges after printing the inner conductor or the core for the inner conductor, it is possible to prevent the inner conductor or the core from being crushed, thereby improving the Q value.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

【図1a〜d】本発明の第1の実施例を示す誘電体トリ
プレートストリップ線路共振回路の製造方法を説明する
ための図である。
1a to 1d are diagrams for explaining a method of manufacturing a dielectric triplate strip line resonant circuit according to a first embodiment of the present invention; FIG.

【図2】本発明の第1の実施例における誘電体ダミー印
刷例を示す図である。
FIG. 2 is a diagram showing an example of dielectric dummy printing in the first embodiment of the present invention.

【図3】誘電体シート焼成後の内導体断面図である。FIG. 3 is a sectional view of the inner conductor after firing the dielectric sheet.

【図4】共振回路の端部への誘電体ダミー印刷を示す図
である。
FIG. 4 shows dielectric dummy printing on the end of a resonant circuit.

【図5a、b】本発明の第2の実施例を示す誘電体トリ
プレートストリップ線路共振回路の製造方法を説明する
ための図である。
FIGS. 5a and 5b are diagrams for explaining a method of manufacturing a dielectric triplate stripline resonant circuit according to a second embodiment of the present invention; FIGS.

【図6】本発明の第2の実施例における焼成後の空孔部
断面図である。
FIG. 6 is a sectional view of a hole portion after firing in a second embodiment of the present invention.

【図7a〜f】従来のコファイア法による誘電体トリプ
レートストリップ線路共振回路の製造工程図である。
7a to 7f are process diagrams for manufacturing a dielectric triplate strip line resonant circuit using the conventional cofire method.

【図8】従来の誘電体トリプレートストリップ線路リン
グ共振回路の構造図である。
FIG. 8 is a structural diagram of a conventional dielectric triplate stripline ring resonant circuit.

【図9】各種ストリップ線路共振回路のQ値比較図であ
る。
FIG. 9 is a comparison diagram of Q values of various strip line resonant circuits.

【図10】従来の問題を説明するための図である。FIG. 10 is a diagram for explaining a conventional problem.

【図11】従来の多層構造の内導体例を示す図である。FIG. 11 is a diagram showing an example of an inner conductor of a conventional multilayer structure.

【図12a〜f】本出願人が先に提案した銀圧入法によ
る誘電体トリプレートストリップ線路共振回路の製造工
程図である。
12a to 12f are process diagrams for manufacturing a dielectric triplate stripline resonant circuit using a silver intrusion method previously proposed by the present applicant.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11  ポリエステルフィルム 12  第1層誘電体シート 13  内導体 14  第2層誘電体シート 21  誘電体ダミー 22  誘電体基板 23  誘電体ダミー 25  内導体用中子 26  誘電体ダミー 11 Polyester film 12 First layer dielectric sheet 13 Inner conductor 14 Second layer dielectric sheet 21 Dielectric dummy 22 Dielectric substrate 23 Dielectric dummy 25 Core for inner conductor 26 Dielectric dummy

Claims (10)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】  誘電体トリプレートストリップ線路共
振回路において、誘電体シート上に印刷された内導体の
縁に接するように、内導体の厚さ以上の誘電体をダミー
として印刷した後に誘電体シートを重ねてプレスし、該
プレス後焼成して焼成完了後の内導体の断面を長方形の
構造としたことを特徴とする誘電体トリプレートストリ
ップ線路共振回路。
Claim 1: In a dielectric tri-plate strip line resonant circuit, a dielectric material having a thickness greater than that of the inner conductor is printed as a dummy in contact with the edge of the inner conductor printed on the dielectric sheet, and then the dielectric sheet is What is claimed is: 1. A dielectric tri-plate strip line resonant circuit characterized in that the inner conductor is stacked and pressed, and fired after the pressing, so that the inner conductor has a rectangular cross section after firing.
【請求項2】  前記ダミーの幅は、内導体の厚さの2
0倍以内としたことを特徴とする請求項1記載の誘電体
トリプレートストリップ線路共振回路。
2. The width of the dummy is 2 times the thickness of the inner conductor.
2. The dielectric triplate stripline resonant circuit according to claim 1, wherein the dielectric triplate stripline resonant circuit is within 0 times.
【請求項3】  前記ダミーの厚さは、内導体の厚さの
1.05倍〜1.20倍以下としたことを特徴とする請
求項1または請求項2記載の誘電体トリプレートストリ
ップ線路共振回路。
3. The dielectric triplate strip line according to claim 1, wherein the thickness of the dummy is 1.05 to 1.20 times the thickness of the inner conductor. resonant circuit.
【請求項4】  前記ダミーの誘電率は、前記誘電体シ
ートの誘電率と同一としたことを特徴とする請求項1、
請求項2または請求項3記載の誘電体トリプレートスト
リップ線路共振回路。
4. The dielectric constant of the dummy is the same as the dielectric constant of the dielectric sheet.
The dielectric triplate stripline resonant circuit according to claim 2 or 3.
【請求項5】  誘電体トリプレートストリップ線路共
振回路の製造方法において、誘電体シート上に印刷され
た内導体の縁に接するように、内導体の厚さ以上の誘電
体をダミーとして印刷した後に誘電体シートを重ねてプ
レスし、該プレス後焼成することを特徴とする誘電体ト
リプレートストリップ線路共振回路の製造方法。
5. In a method for manufacturing a dielectric tri-plate stripline resonant circuit, after printing a dummy dielectric material having a thickness greater than that of the inner conductor so as to be in contact with the edge of the inner conductor printed on the dielectric sheet. 1. A method for manufacturing a dielectric triplate strip line resonant circuit, comprising stacking and pressing dielectric sheets and firing after pressing.
【請求項6】  誘電体トリプレートストリップ線路共
振回路において、誘電体シート上に印刷された中子の縁
に接するように、中子の厚さ以上の誘電体をダミーとし
て印刷した後に誘電体シートを重ねてプレスし、焼成時
に中子の熱分解により断面が長方形の空孔部を形成して
、溶融銀の圧入により断面が長方形の内導体を形成する
ように構成されたことを特徴とする誘電体トリプレート
ストリップ線路共振回路。
6. In a dielectric tri-plate stripline resonant circuit, a dielectric material having a thickness greater than the thickness of the core is printed as a dummy so as to be in contact with the edge of the core printed on the dielectric sheet, and then the dielectric sheet is printed. are stacked and pressed, and during firing, the core is thermally decomposed to form a hole with a rectangular cross section, and by press-fitting molten silver, an inner conductor with a rectangular cross section is formed. Dielectric triplate stripline resonant circuit.
【請求項7】  前記ダミーの幅は、内導体の厚さの2
0倍以内としたことを特徴とする請求項6記載の誘電体
トリプレートストリップ線路共振回路。
7. The width of the dummy is 2 times the thickness of the inner conductor.
7. The dielectric triplate strip line resonant circuit according to claim 6, wherein the dielectric triplate strip line resonant circuit is within 0 times.
【請求項8】  前記ダミーの厚さは、内導体の厚さの
1.05倍〜1.20倍以下としたことを特徴とする請
求項6または請求項7記載の誘電体トリプレートストリ
ップ線路共振回路。
8. The dielectric triplate strip line according to claim 6 or 7, wherein the thickness of the dummy is 1.05 to 1.20 times the thickness of the inner conductor. resonant circuit.
【請求項9】  前記ダミーの誘電率は、前記誘電体シ
ートの誘電率と同一としたことを特徴とする請求項6、
請求項7または請求項8記載の誘電体トリプレートスト
リップ線路共振回路。
9. The dielectric constant of the dummy is the same as the dielectric constant of the dielectric sheet.
The dielectric triplate strip line resonant circuit according to claim 7 or claim 8.
【請求項10】  誘電体基板によるトリプレートスト
リップ線路共振回路を製造する際に熱分解する材質で内
導体の形状を中子として形成しておき、誘電体焼成時に
中子が熱分解してできた空孔部に溶融した銀などを圧入
して内導体を形成する誘電体トリプレートストリップ線
路共振回路の製造方法において、誘電体シート上に印刷
された中子の縁に接するように、中子の厚さ以上の誘電
体をダミーとして印刷した後に誘電体シートを重ねてプ
レスし、焼成時に中子の熱分解により断面が長方形の空
孔部を形成して、断面が長方形であるような内導体を形
成することを特徴とする誘電体トリプレートストリップ
線路共振回路の製造方法。
10. When manufacturing a tri-plate strip line resonant circuit using a dielectric substrate, the shape of the inner conductor is formed as a core using a material that decomposes thermally, and the core is thermally decomposed during firing of the dielectric. In a method for manufacturing a dielectric tri-plate strip line resonant circuit in which an inner conductor is formed by press-fitting molten silver or the like into a hollow hole, a core is After printing a dummy dielectric with a thickness greater than or equal to , the dielectric sheets are stacked and pressed, and during firing the core is thermally decomposed to form a cavity with a rectangular cross section. A method of manufacturing a dielectric triplate stripline resonant circuit, comprising forming a conductor.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2006115416A (en) * 2004-10-18 2006-04-27 Fujitsu Ltd Superconducting device
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