JPH04233514A - アクティブマトリクス基板 - Google Patents
アクティブマトリクス基板Info
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- JPH04233514A JPH04233514A JP2409176A JP40917690A JPH04233514A JP H04233514 A JPH04233514 A JP H04233514A JP 2409176 A JP2409176 A JP 2409176A JP 40917690 A JP40917690 A JP 40917690A JP H04233514 A JPH04233514 A JP H04233514A
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- Japan
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- bus line
- active matrix
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- liquid crystal
- matrix substrate
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-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
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- G02F1/1362—Active matrix addressed cells
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
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- Liquid Crystal (AREA)
- Mathematical Physics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、液晶等と組み合わされ
てアクティブマトリクス表示装置を構成する薄膜トラン
ジスタアレイが絶縁性基板上に形成されたアクティブマ
トリクス基板に関する。
てアクティブマトリクス表示装置を構成する薄膜トラン
ジスタアレイが絶縁性基板上に形成されたアクティブマ
トリクス基板に関する。
【0002】
【従来の技術】アクティブマトリクス液晶表示装置の一
従来例として、COG(Chip On Glas
s)方式のものがある。この液晶表示装置は、薄膜トラ
ンジスタ(TFT:Thin Film Tran
sistor)アレイのソースバスラインおよびゲート
バスラインにそれぞれ駆動信号を供給するドライバIC
をチップの状態でアクティブマトリクス基板上に直接実
装してなる。
従来例として、COG(Chip On Glas
s)方式のものがある。この液晶表示装置は、薄膜トラ
ンジスタ(TFT:Thin Film Tran
sistor)アレイのソースバスラインおよびゲート
バスラインにそれぞれ駆動信号を供給するドライバIC
をチップの状態でアクティブマトリクス基板上に直接実
装してなる。
【0003】図6はこのアクティブマトリクス液晶表示
装置を示しており、アクティブマトリクス基板のガラス
部1の上にTFTをマトリクス状に配設してなるTFT
アレイ2が形成され、該TFTアレイ2のソースバスラ
イン20が上記のようにして実装されるソースバスライ
ン駆動用ドライバIC3に接続され、ゲートバスライン
21がゲートバスライン駆動用ドライバIC4に接続さ
れる。なお、図中5は共通電極側のガラス基板であり、
該ガラス基板5と前記ガラス部1との間にTFTアレイ
2を挟んだ構造になっている。
装置を示しており、アクティブマトリクス基板のガラス
部1の上にTFTをマトリクス状に配設してなるTFT
アレイ2が形成され、該TFTアレイ2のソースバスラ
イン20が上記のようにして実装されるソースバスライ
ン駆動用ドライバIC3に接続され、ゲートバスライン
21がゲートバスライン駆動用ドライバIC4に接続さ
れる。なお、図中5は共通電極側のガラス基板であり、
該ガラス基板5と前記ガラス部1との間にTFTアレイ
2を挟んだ構造になっている。
【0004】図7はソースバスライン駆動用ドライバI
C3のガラス部1に対する組み付け構造を示しており、
ソースバスライン20はソースバスライン駆動用ドライ
バIC3との接続部、即ちCOG接続部30を除いて絶
縁膜6で覆われている。また、COG接続部30はソー
スバスライン駆動用ドライバIC30の下方に位置する
。このため、ソースバスライン駆動用ドライバIC3の
実装後、ソースバスライン20の金属部(金属面)が表
面側に露出することがない。
C3のガラス部1に対する組み付け構造を示しており、
ソースバスライン20はソースバスライン駆動用ドライ
バIC3との接続部、即ちCOG接続部30を除いて絶
縁膜6で覆われている。また、COG接続部30はソー
スバスライン駆動用ドライバIC30の下方に位置する
。このため、ソースバスライン駆動用ドライバIC3の
実装後、ソースバスライン20の金属部(金属面)が表
面側に露出することがない。
【0005】なお、7は液晶封入部であり、上記した構
造は、ゲートバスライン駆動用ドライバIC4の実装部
についても同様である。
造は、ゲートバスライン駆動用ドライバIC4の実装部
についても同様である。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】ところで、この種のア
クティブマトリクス液晶表示装置において、電気的要因
によって表示品位が低下することがあり、このような場
合には、その原因を解析する必要がある。そして、その
ためには、TFTアレイ2形成部に相当する液晶パネル
が実際に駆動されている状態のバスライン(以下ゲート
バスライン21およびソースバスライン20を総称して
適宜バスラインという)の信号波形を観測する電気検査
を行えばよい。
クティブマトリクス液晶表示装置において、電気的要因
によって表示品位が低下することがあり、このような場
合には、その原因を解析する必要がある。そして、その
ためには、TFTアレイ2形成部に相当する液晶パネル
が実際に駆動されている状態のバスライン(以下ゲート
バスライン21およびソースバスライン20を総称して
適宜バスラインという)の信号波形を観測する電気検査
を行えばよい。
【0007】しかしながら、上記従来のアクティブマト
リクス液晶表示装置においては、上記のようにバスライ
ンの金属部が表面側に露出することがないので、信号波
形をモニタするためのプローブ(探針)を該金属部に接
触させることができず、このままでは液晶パネル駆動時
において前記解析を行うことができない。
リクス液晶表示装置においては、上記のようにバスライ
ンの金属部が表面側に露出することがないので、信号波
形をモニタするためのプローブ(探針)を該金属部に接
触させることができず、このままでは液晶パネル駆動時
において前記解析を行うことができない。
【0008】該解析を行う方法として、バスラインを覆
う絶縁膜6の一部を破り、この時露出する金属部にプロ
ーブ(以下コンタクトプローブと称する)を接触させる
方法が考えられる。
う絶縁膜6の一部を破り、この時露出する金属部にプロ
ーブ(以下コンタクトプローブと称する)を接触させる
方法が考えられる。
【0009】しかるに、絶縁膜6のみをうまく破ること
は難しく、例え破れたとしても、バスライン自体が細く
、しかも薄膜であるため(幅10μm、厚さ400nm
程度)、目視によってコンタクトプローブを金属部に正
確に押し当ててプロービングを行うことは困難であり、
バスラインの破壊、切断といった不具合を生じるおそれ
がある。
は難しく、例え破れたとしても、バスライン自体が細く
、しかも薄膜であるため(幅10μm、厚さ400nm
程度)、目視によってコンタクトプローブを金属部に正
確に押し当ててプロービングを行うことは困難であり、
バスラインの破壊、切断といった不具合を生じるおそれ
がある。
【0010】本発明はこのような従来技術の欠点を解消
するものであり、バスラインの信号波形の観測を目視に
よるプロービングによって容易に行うことができ、バス
ラインに破壊や切断といった不具合を発生することがな
いアクティブマトリクス基板を提供することを目的とす
る。
するものであり、バスラインの信号波形の観測を目視に
よるプロービングによって容易に行うことができ、バス
ラインに破壊や切断といった不具合を発生することがな
いアクティブマトリクス基板を提供することを目的とす
る。
【0011】
【課題を解決するための手段】本発明のアクティブマト
リクス基板は、絶縁性基板上に薄膜トランジスタがマト
リクス状に形成された薄膜トランジスタアレイを備えた
アクティブマトリクス基板において、該薄膜トランジス
タアレイのゲートバスラインおよびソースバスラインの
一部に、金属部が露出するプロービング用のコンタクト
パッドを形成してなり、そのことにより上記目的が達成
される。
リクス基板は、絶縁性基板上に薄膜トランジスタがマト
リクス状に形成された薄膜トランジスタアレイを備えた
アクティブマトリクス基板において、該薄膜トランジス
タアレイのゲートバスラインおよびソースバスラインの
一部に、金属部が露出するプロービング用のコンタクト
パッドを形成してなり、そのことにより上記目的が達成
される。
【0012】
【作用】上記のようなプロービング用のコンタクトパッ
ドをバスラインに設けると、該バスラインの信号波形を
観測するためのコンタクトプローブをバスラインの金属
部に目視で容易に押し当てて接触させることができる。
ドをバスラインに設けると、該バスラインの信号波形を
観測するためのコンタクトプローブをバスラインの金属
部に目視で容易に押し当てて接触させることができる。
【0013】
【実施例】以下本発明の実施例を説明する。
【0014】図1および図2は本発明の一実施例に係る
COG方式のアクティブマトリクス液晶表示装置を示し
ており、アクティブマトリクス基板のガラス部1の上に
TFTをマトリクス状に配設してなるTFTアレイ2が
形成される。TFTアレイ2のソースバスライン20、
20…の信号入力側端部には、上記のようにしてガラス
部1の上にチップ状態で直接実装されるソースバスライ
ン駆動用ドライバIC3が接続される。また、ガラス部
1に同様にして実装されるゲートバスライン駆動用ドラ
イバIC4には、TFTアレイ2のゲートバスライン2
1、21…の信号入力側端部が接続される。ガラス部1
のTFTアレイ2形成部には共通電極側のガラス基板5
が重ね合わされ、この部分で液晶パネルが形成される。
COG方式のアクティブマトリクス液晶表示装置を示し
ており、アクティブマトリクス基板のガラス部1の上に
TFTをマトリクス状に配設してなるTFTアレイ2が
形成される。TFTアレイ2のソースバスライン20、
20…の信号入力側端部には、上記のようにしてガラス
部1の上にチップ状態で直接実装されるソースバスライ
ン駆動用ドライバIC3が接続される。また、ガラス部
1に同様にして実装されるゲートバスライン駆動用ドラ
イバIC4には、TFTアレイ2のゲートバスライン2
1、21…の信号入力側端部が接続される。ガラス部1
のTFTアレイ2形成部には共通電極側のガラス基板5
が重ね合わされ、この部分で液晶パネルが形成される。
【0015】加えて、TFTアレイ2形成部の外側方に
相当するソースバスライン20およびゲートバスライン
21の信号入力側端部寄りの部分には、図1に拡大して
示すコンタクトパッド8が形成される。コンタクトパッ
ド8はソースバスライン20の該当部分に三角形状のコ
ンタクト部80を形成してなり、該コンタクト部80の
中央部にソースバスライン20を覆う絶縁膜81を円形
に除去してなるコンタクトパッドエリア82が形成され
る。図3に示すように、該コンタクトパッドエリア82
において、ソースバスライン20の金属部が表面側に露
出し、この部分と絶縁膜81表面との間で所定寸法の段
差83が形成される。コンタクトパッドエリア82の直
径Dとしては、1mm程度が好ましい。
相当するソースバスライン20およびゲートバスライン
21の信号入力側端部寄りの部分には、図1に拡大して
示すコンタクトパッド8が形成される。コンタクトパッ
ド8はソースバスライン20の該当部分に三角形状のコ
ンタクト部80を形成してなり、該コンタクト部80の
中央部にソースバスライン20を覆う絶縁膜81を円形
に除去してなるコンタクトパッドエリア82が形成され
る。図3に示すように、該コンタクトパッドエリア82
において、ソースバスライン20の金属部が表面側に露
出し、この部分と絶縁膜81表面との間で所定寸法の段
差83が形成される。コンタクトパッドエリア82の直
径Dとしては、1mm程度が好ましい。
【0016】本実施例において、コンタクトパッド8は
、複数のソースバスライン20、20…の内、ソースバ
スライン駆動用ドライバIC3、3の両サイドに接続さ
れるソースバスライン20、20…について形成される
。また、ゲートバスライン21、21…についても同様
に、ゲートバスライン駆動用ドライバIC4、4の両サ
イドに接続されるゲートバスライン21、21…に形成
される。
、複数のソースバスライン20、20…の内、ソースバ
スライン駆動用ドライバIC3、3の両サイドに接続さ
れるソースバスライン20、20…について形成される
。また、ゲートバスライン21、21…についても同様
に、ゲートバスライン駆動用ドライバIC4、4の両サ
イドに接続されるゲートバスライン21、21…に形成
される。
【0017】このようなコンタクトパッド8によれば、
コンタクトプローブによるプロービングが目視で容易に
行える。すなわち、コンタクトパッドエリア82の直径
が1mm程度であり、しかもこの部分に所定寸法の段差
83が形成されるので、観測者がコンタクトパッドエリ
ア82を通してプローブの先端を金属部に確実に接触で
きるからである。それ故、ドライバIC3、ドライバI
C4間の出力特性のバラツキ、ドライバIC3、ドライ
バIC4の動作異常、液晶パネル内の浮遊容量による各
バスラインのカップリングの影響といった検査を確実に
行える。
コンタクトプローブによるプロービングが目視で容易に
行える。すなわち、コンタクトパッドエリア82の直径
が1mm程度であり、しかもこの部分に所定寸法の段差
83が形成されるので、観測者がコンタクトパッドエリ
ア82を通してプローブの先端を金属部に確実に接触で
きるからである。それ故、ドライバIC3、ドライバI
C4間の出力特性のバラツキ、ドライバIC3、ドライ
バIC4の動作異常、液晶パネル内の浮遊容量による各
バスラインのカップリングの影響といった検査を確実に
行える。
【0018】図4および図5は本発明の他の実施例を示
しており、図4は全てのバスラインの信号入力側と反対
側端部にコンタクトパッド8を形成した実施例を示し、
図5はバスラインの信号入力側および反対側にコンタク
トパッド8を形成した実施例を示す。
しており、図4は全てのバスラインの信号入力側と反対
側端部にコンタクトパッド8を形成した実施例を示し、
図5はバスラインの信号入力側および反対側にコンタク
トパッド8を形成した実施例を示す。
【0019】更には、ドライバIC3、4を含むドライ
バ回路を液晶パネル内部に作成したアクティブマトリク
ス液晶表示装置やTAB(Tape Automat
edBonding)方式のアクティブマトリクス液晶
表示装置についても同様に本発明を適用できる。また、
バスラインから延長したガイドラインにコンタクトパッ
ドを形成することにしてもよい。
バ回路を液晶パネル内部に作成したアクティブマトリク
ス液晶表示装置やTAB(Tape Automat
edBonding)方式のアクティブマトリクス液晶
表示装置についても同様に本発明を適用できる。また、
バスラインから延長したガイドラインにコンタクトパッ
ドを形成することにしてもよい。
【0020】
【発明の効果】以上の本発明によれば、バスラインに金
属部が露出したプロービング用のコンタクトパッドを設
ける構成をとるので、アクティブマトリクス液晶表示装
置が実際に駆動されている場合に、バスラインの信号波
形を観測するためのプローブを目視で金属部に容易に接
触させることができる。従って、バスラインに破壊や切
断といった不具合を生じることなく、電気的な要因に起
因して発生するアクティブマトリクス液晶表示装置の表
示品位の低下原因を確実に解析できる。更には、設計に
対する実際のバスライン駆動用ドライバIC、薄膜トラ
ンジスタアレイ等の素子の動作の確認が可能になる。
属部が露出したプロービング用のコンタクトパッドを設
ける構成をとるので、アクティブマトリクス液晶表示装
置が実際に駆動されている場合に、バスラインの信号波
形を観測するためのプローブを目視で金属部に容易に接
触させることができる。従って、バスラインに破壊や切
断といった不具合を生じることなく、電気的な要因に起
因して発生するアクティブマトリクス液晶表示装置の表
示品位の低下原因を確実に解析できる。更には、設計に
対する実際のバスライン駆動用ドライバIC、薄膜トラ
ンジスタアレイ等の素子の動作の確認が可能になる。
【図1】本発明の実施例に係るCOG方式のアクティブ
マトリクス液晶表示装置の平面図。
マトリクス液晶表示装置の平面図。
【図2】該アクティブマトリクス液晶表示装置の側面図
。
。
【図3】コンタクトパッドを示す断面図。
【図4】本発明の他の実施例に係るCOG方式のアクテ
ィブマトリクス液晶表示装置の平面図。
ィブマトリクス液晶表示装置の平面図。
【図5】本発明の他の実施例に係るCOG方式のアクテ
ィブマトリクス液晶表示装置の平面図。
ィブマトリクス液晶表示装置の平面図。
【図6】COG方式のアクティブマトリクス液晶表示装
置の従来例を示す平面図。
置の従来例を示す平面図。
【図7】COG接続部を示す断面図。
1 アクティブマトリクス基板のガラス部2 TF
Tアレイ 20 ソースバスライン 21 ゲートバスライン 3 ソースバスライン駆動用ドライバIC4 ゲー
トバスライン駆動用ドライバIC8 コンタクトパッ
ド 80 コンタクト部 81 絶縁膜 82 コンタクトパッドエリア
Tアレイ 20 ソースバスライン 21 ゲートバスライン 3 ソースバスライン駆動用ドライバIC4 ゲー
トバスライン駆動用ドライバIC8 コンタクトパッ
ド 80 コンタクト部 81 絶縁膜 82 コンタクトパッドエリア
Claims (1)
- 【請求項1】絶縁性基板上に薄膜トランジスタがマトリ
クス状に形成された薄膜トランジスタアレイを備えたア
クティブマトリクス基板において、該薄膜トランジスタ
アレイのゲートバスラインおよびソースバスラインの一
部に、金属部が露出するプロービング用のコンタクトパ
ッドを形成したアクティブマトリクス基板。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2409176A JPH04233514A (ja) | 1990-12-28 | 1990-12-28 | アクティブマトリクス基板 |
US07/813,268 US5349226A (en) | 1990-12-28 | 1991-12-24 | Active matrix substrate having a contact pad for detecting bus line signals |
KR1019910024963A KR950004738B1 (ko) | 1990-12-28 | 1991-12-27 | 액티브매트릭스 기판 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2409176A JPH04233514A (ja) | 1990-12-28 | 1990-12-28 | アクティブマトリクス基板 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04233514A true JPH04233514A (ja) | 1992-08-21 |
Family
ID=18518532
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2409176A Withdrawn JPH04233514A (ja) | 1990-12-28 | 1990-12-28 | アクティブマトリクス基板 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5349226A (ja) |
JP (1) | JPH04233514A (ja) |
KR (1) | KR950004738B1 (ja) |
Families Citing this family (26)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5849601A (en) | 1990-12-25 | 1998-12-15 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Electro-optical device and method for manufacturing the same |
KR950013784B1 (ko) * | 1990-11-20 | 1995-11-16 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 겐큐쇼 | 반도체 전계효과 트랜지스터 및 그 제조방법과 박막트랜지스터 |
US7115902B1 (en) | 1990-11-20 | 2006-10-03 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Electro-optical device and method for manufacturing the same |
US7098479B1 (en) | 1990-12-25 | 2006-08-29 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Electro-optical device and method for manufacturing the same |
US7576360B2 (en) | 1990-12-25 | 2009-08-18 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Electro-optical device which comprises thin film transistors and method for manufacturing the same |
US5467210A (en) * | 1993-02-16 | 1995-11-14 | Casio Computer Co., Ltd. | Arrangement of bonding IC chip to liquid crystal display device |
JPH07146481A (ja) * | 1993-11-25 | 1995-06-06 | Hitachi Ltd | 液晶表示基板 |
US7081938B1 (en) | 1993-12-03 | 2006-07-25 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Electro-optical device and method for manufacturing the same |
JP3672586B2 (ja) * | 1994-03-24 | 2005-07-20 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 補正システムおよびその動作方法 |
US6747627B1 (en) | 1994-04-22 | 2004-06-08 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Redundancy shift register circuit for driver circuit in active matrix type liquid crystal display device |
JP3402400B2 (ja) | 1994-04-22 | 2003-05-06 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体集積回路の作製方法 |
US5517344A (en) * | 1994-05-20 | 1996-05-14 | Prime View Hk Limited | System for protection of drive circuits formed on a substrate of a liquid crystal display |
JPH08201841A (ja) * | 1994-11-24 | 1996-08-09 | Toshiba Electron Eng Corp | 表示装置及びその検査方法 |
JP3643640B2 (ja) * | 1995-06-05 | 2005-04-27 | 株式会社東芝 | 表示装置及びこれに使用されるicチップ |
JP2776356B2 (ja) * | 1996-01-30 | 1998-07-16 | 日本電気株式会社 | 液晶表示装置 |
JP4179483B2 (ja) | 1996-02-13 | 2008-11-12 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 表示装置の作製方法 |
JP3747336B2 (ja) * | 1996-05-08 | 2006-02-22 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 液晶表示装置の製造方法および液晶パネル |
JP2000315058A (ja) * | 1999-04-30 | 2000-11-14 | Toshiba Corp | 表示装置用アレイ基板 |
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