JPH04163952A - 樹脂封止型半導体装置用リードフレーム - Google Patents
樹脂封止型半導体装置用リードフレームInfo
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は樹脂封止型半導体装置用リードフレームに関し
、特に、高消費電力で放熱を必要とする半導体装置の組
立に用いられるリードフレームの構造に関する。
、特に、高消費電力で放熱を必要とする半導体装置の組
立に用いられるリードフレームの構造に関する。
半導体パッケージの組立に用いられるリードフレームの
インナーリード部には、封止用樹脂との密着性を良くす
るために、いわゆるアンカーホールと呼ばれる小穴を開
けることが行なわれている。
インナーリード部には、封止用樹脂との密着性を良くす
るために、いわゆるアンカーホールと呼ばれる小穴を開
けることが行なわれている。
尚リードフレームについて述べた特許および実用新案の
例としては、特公昭62−16553号公報、裏開昭4
8−88942号、同51−21562号、同52−1
64244号、同53−56545号公報が挙げられる
。
例としては、特公昭62−16553号公報、裏開昭4
8−88942号、同51−21562号、同52−1
64244号、同53−56545号公報が挙げられる
。
しかし、従来は、そのアンカーホールはボンディング領
域やその近傍に設けることを避けるのが一般的であり、
また、チップ周辺の1つのボンディングパッドとリード
フレームの1つのインナーリード部とをそれぞれ一本の
ワイヤでボンディングするのが一般的である。
域やその近傍に設けることを避けるのが一般的であり、
また、チップ周辺の1つのボンディングパッドとリード
フレームの1つのインナーリード部とをそれぞれ一本の
ワイヤでボンディングするのが一般的である。
ところで、パワーIC(集積回路)やパワーTR5(1
−ランジスタ)などのような高消費電力で放熱性を必要
とする半導体装置では、V c cライン1GNDライ
ンなどの多数のラインを外部に出力するために、多数の
ボンディングパッドから1つのインナーリード部に多点
ワイヤボンディングすることが必要となり、そのために
、インナーリード部は広幅に構成されている。
−ランジスタ)などのような高消費電力で放熱性を必要
とする半導体装置では、V c cライン1GNDライ
ンなどの多数のラインを外部に出力するために、多数の
ボンディングパッドから1つのインナーリード部に多点
ワイヤボンディングすることが必要となり、そのために
、インナーリード部は広幅に構成されている。
かかる場合、リードフレームと封止用樹脂との密着性を
欠如することが、一般の消費電力の低い半導体装置に比
して、多くなり、リードフレームと封止用樹脂との界面
剥離を生じ易くなる。
欠如することが、一般の消費電力の低い半導体装置に比
して、多くなり、リードフレームと封止用樹脂との界面
剥離を生じ易くなる。
また、封止(モールド)に際して、インナーリード部が
たわみ易くなり、ヘッダーなどとショートする割合も高
くなり、半導体装置の信頼性に悪影響を及ぼすことにな
る。
たわみ易くなり、ヘッダーなどとショートする割合も高
くなり、半導体装置の信頼性に悪影響を及ぼすことにな
る。
本発明はかかる高消費電力で放熱を必要とする半導体装
置に好適な技術を提供することを目的とする。
置に好適な技術を提供することを目的とする。
本発明の前記ならびにそのほかの目的と新規な特徴は、
本明細書の記述および添付図面からもあきらかになるで
あろう。
本明細書の記述および添付図面からもあきらかになるで
あろう。
本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を簡単に説明すれば、下記のとおりである。
を簡単に説明すれば、下記のとおりである。
すなわち、本発明では、リードフレームの1つのインナ
ーリード部の多点ワイヤーボンディングを行なうその先
端部にスリットを設けることを特徴とする。または、当
該先端部に切欠部を設けるようにする。
ーリード部の多点ワイヤーボンディングを行なうその先
端部にスリットを設けることを特徴とする。または、当
該先端部に切欠部を設けるようにする。
これにより、スリットに、封止用樹脂(以下、単にレジ
ンという)が流通し、当該スリットを介してレジンが上
下に連結されるので、リードフレームとレジンとの密着
性が良くなり、また、このようなスリットを有さない場
合には、モールド時にレジン圧がかかり、インナーリー
ド部がたわみ易くなり、インナーリード部がヘッダーな
どとショートし易いが、スリットがあるために、スリッ
ト内をレジンが流通し、その圧を軽減して、インナーリ
ード部のたわみを防止し、かつ、ヘッダーなどとのショ
ートを防止できる。
ンという)が流通し、当該スリットを介してレジンが上
下に連結されるので、リードフレームとレジンとの密着
性が良くなり、また、このようなスリットを有さない場
合には、モールド時にレジン圧がかかり、インナーリー
ド部がたわみ易くなり、インナーリード部がヘッダーな
どとショートし易いが、スリットがあるために、スリッ
ト内をレジンが流通し、その圧を軽減して、インナーリ
ード部のたわみを防止し、かつ、ヘッダーなどとのショ
ートを防止できる。
従って、半導体装置の信頼性を向上させることができる
。
。
切欠部を設ける場合にも同様に作用させることができる
。
。
次に、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
第1図に示すように、スリット(貫通孔)1が開けられ
たリードフレームインナーリード部2の広幅に構成され
た先端部には、複数のコネクタワイヤ3が、チップ4に
周設されたボンディングパッド5との間で、ワイヤボン
ディングされている。
たリードフレームインナーリード部2の広幅に構成され
た先端部には、複数のコネクタワイヤ3が、チップ4に
周設されたボンディングパッド5との間で、ワイヤボン
ディングされている。
図示のように、スリットを有する−のインナーリード部
2と当該パッド5との間に、多点ワイヤボンディングが
されている。
2と当該パッド5との間に、多点ワイヤボンディングが
されている。
従って、 当該多点ワイヤボンディングでは、Vcc、
GNDなとの信号が当該−のインナーリード部2を介し
て外部に出力されるようになっている。
GNDなとの信号が当該−のインナーリード部2を介し
て外部に出力されるようになっている。
スリット1は、この実施例では、長方形に構成されてい
る例を示してあり、また、この実施例では、インナーリ
ード部2の狭幅部分の長平方向の延長上にすなわち図示
のように横方向に設けられている例を示しである。
る例を示してあり、また、この実施例では、インナーリ
ード部2の狭幅部分の長平方向の延長上にすなわち図示
のように横方向に設けられている例を示しである。
、 第1図に示すように、通常のインナーリード部6と
チップ4の周辺ボンディングパッド5との間も、コネク
タワイヤ3を用いて、ワイヤボンディングされている。
チップ4の周辺ボンディングパッド5との間も、コネク
タワイヤ3を用いて、ワイヤボンディングされている。
当該ワイヤボンディングは、−のインナーリード部6と
−のボンディングパッド5との間で、−本のコネクタワ
イヤ3を用いて行われている。
−のボンディングパッド5との間で、−本のコネクタワ
イヤ3を用いて行われている。
第2図は本発明の他の実施例を示す。
この実施例では、インナーリード部2の広幅先端部に、
第1図に示すものとは異なり縦方向に、長方形のスリッ
ト1を設けてなる例を示しである。
第1図に示すものとは異なり縦方向に、長方形のスリッ
ト1を設けてなる例を示しである。
第3図は、本発明のさらに他の実施例を示す。
この実施例では、広幅のインナーリード部2に切欠部7
を設け、当該切欠部7を介して分離した当該インナーリ
ード部2とチップ4のボンディングパッド5とをコネク
タワイヤ3を用いて多点ワイヤボンディングしてなる。
を設け、当該切欠部7を介して分離した当該インナーリ
ード部2とチップ4のボンディングパッド5とをコネク
タワイヤ3を用いて多点ワイヤボンディングしてなる。
この場合も−のインナーリード部7を介して複数信号が
外部に出力されるようになっている。
外部に出力されるようになっている。
第4図はスリットを設ける点では、第1図および第2図
に示す実施例と共通するが、この第4図では、スリット
を逆コ字状のスリット8に構成しである。
に示す実施例と共通するが、この第4図では、スリット
を逆コ字状のスリット8に構成しである。
第4図に示すように、チップ4のボンディングパッド5
と当該逆コ字状スリット8の内側との間を複数のコネク
タワイヤ3(4本で例示)を用いて多点ワイヤボンディ
ングしてなる。
と当該逆コ字状スリット8の内側との間を複数のコネク
タワイヤ3(4本で例示)を用いて多点ワイヤボンディ
ングしてなる。
第5図は本発明になる樹脂封止型半導体装置(プラスチ
ックパッケージ)の構造例を示す。
ックパッケージ)の構造例を示す。
ヘッダー9には、導電性ペーストなどを用いて、チップ
4が固着されている。
4が固着されている。
チップ4とリードフレームインナーリード部2との間は
、コネクタワイヤ3によりワイヤボンディングされてい
る。
、コネクタワイヤ3によりワイヤボンディングされてい
る。
当該インナーリード部2には、スリット1が孔設されて
いる。
いる。
当該チップ4を環境条件から保護することなどを目的と
して、レジン10でモールドを施しである。
して、レジン10でモールドを施しである。
本発明で使用されるリードフレームは、例えばコバール
合金により構成されている。
合金により構成されている。
コネクタワイヤ3は、例えばAu細線により構成される
。
。
チップ4は、例えばシリコン単結晶基板から成り、周知
の技術によってこのチップ内には多数の回路素子が形成
され、1つの回路機能が与えられている。回路素子の具
体例は、例えばMOS)ランジスタから成り、これらの
回路素子によって、例えば論理回路およびメモリの回路
機能が形成されている。
の技術によってこのチップ内には多数の回路素子が形成
され、1つの回路機能が与えられている。回路素子の具
体例は、例えばMOS)ランジスタから成り、これらの
回路素子によって、例えば論理回路およびメモリの回路
機能が形成されている。
本発明によれば、インナーリード部2の多点ワイヤボン
ディングが行われる先端部に、スリット1を有し、もし
くは、切欠部7が設けられているので、レジン10がこ
れらスリット1や切欠部7を流れ込み、インナーリード
部2の表裏面をレジン10で連結するので、インナーリ
ード部2とレジン10との密着性を良好にし、これらの
間での界面剥離を防止するとともに、レジン10がこれ
らスリット1や切欠部7を流通するので、レジン10の
モールドに際し、インナーリード部2の下方向へのたわ
み(変形)を減少させることができ、インナーリード部
2の変形がおさえられ安定するので、コネクタワイヤ3
の動きも少なくなり、ヘッダー9とコネクタワイヤ3の
ショートなどを防止できる。
ディングが行われる先端部に、スリット1を有し、もし
くは、切欠部7が設けられているので、レジン10がこ
れらスリット1や切欠部7を流れ込み、インナーリード
部2の表裏面をレジン10で連結するので、インナーリ
ード部2とレジン10との密着性を良好にし、これらの
間での界面剥離を防止するとともに、レジン10がこれ
らスリット1や切欠部7を流通するので、レジン10の
モールドに際し、インナーリード部2の下方向へのたわ
み(変形)を減少させることができ、インナーリード部
2の変形がおさえられ安定するので、コネクタワイヤ3
の動きも少なくなり、ヘッダー9とコネクタワイヤ3の
ショートなどを防止できる。
従って、信頼性の高いプラスチックパッケージを得るこ
とができる。
とができる。
さらに、逆コ字状のスリット8を設けることにより、リ
ークパスが長くなり、プラスチックパッケージの耐湿性
を向上させることができる。
ークパスが長くなり、プラスチックパッケージの耐湿性
を向上させることができる。
以上本発明者によってなされた発明を実施例にもとづき
具体的に説明したが、本発明は上記実施例に限定される
ものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可
能であることはいうまでもない。
具体的に説明したが、本発明は上記実施例に限定される
ものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可
能であることはいうまでもない。
本願において開示される発明のうち代表的なものによっ
て得られる効果を簡単に説明すれば下記のとうりである
。
て得られる効果を簡単に説明すれば下記のとうりである
。
本発明によれば、インナーリード部とレジンとの密着性
が良好になり、これらの間での界面剥離を防止するとと
もに、レジンのモールドに際し、インナーリード部の下
方向へのたわみ(変形)を減少させることができ、イン
ナーリード部の変形がおさえられ安定するので、コネク
タワイヤの動きも少なくなり、ヘッダーとコネクタワイ
ヤのショートなどを防止できる。
が良好になり、これらの間での界面剥離を防止するとと
もに、レジンのモールドに際し、インナーリード部の下
方向へのたわみ(変形)を減少させることができ、イン
ナーリード部の変形がおさえられ安定するので、コネク
タワイヤの動きも少なくなり、ヘッダーとコネクタワイ
ヤのショートなどを防止できる。
従って、信頼性の高いプラスチックパッケージを得るこ
とができる。
とができる。
さらに、本発明によれば、リークパスが長くなり、プラ
スチックパッケージの耐湿性を向上させることができる
。
スチックパッケージの耐湿性を向上させることができる
。
第1図は本発明の実施例を示す要部平面図、第2図は本
・発明の他の実施例を示す要部平面図、第3図は本発明
の他の実施例を示す要部平面図、第4図は本発明の他の
実施例を示す要部平面図、第5図は本発明の他の実施例
を示す断面図である。 1・・スリット(貫通孔)、2・・リードフレームイン
ナーリード、3・・コネクタワイヤ、4・・・チップ、
5・・ボンディングパッド、6・・・インナーリード、
7・−切欠部、8・・逆コ字状スリット、9・・・ヘッ
ダー、10 ・レジン。 第 1 図 第 2 図 第 3 図
・発明の他の実施例を示す要部平面図、第3図は本発明
の他の実施例を示す要部平面図、第4図は本発明の他の
実施例を示す要部平面図、第5図は本発明の他の実施例
を示す断面図である。 1・・スリット(貫通孔)、2・・リードフレームイン
ナーリード、3・・コネクタワイヤ、4・・・チップ、
5・・ボンディングパッド、6・・・インナーリード、
7・−切欠部、8・・逆コ字状スリット、9・・・ヘッ
ダー、10 ・レジン。 第 1 図 第 2 図 第 3 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、複数のボンディングパッドから1つのインナーリー
ド部に複数のワイヤボンディングを行なうことを必要と
する樹脂封止型半導体装置用リードフレームにおいて、
前記インナーリード部の多点ワイヤボンディングを行な
うボンディング領域を有する先端部にスリットを設ける
かまたは当該先端部に切欠部を設けて成ることを特徴と
する樹脂封止型半導体装置用リードフレーム。 2、リードフレームが、ヘッダーを有して成ることを特
徴とする請求項1に記載の樹脂封止型半導体装置用リー
ドフレーム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2288541A JPH04163952A (ja) | 1990-10-29 | 1990-10-29 | 樹脂封止型半導体装置用リードフレーム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2288541A JPH04163952A (ja) | 1990-10-29 | 1990-10-29 | 樹脂封止型半導体装置用リードフレーム |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04163952A true JPH04163952A (ja) | 1992-06-09 |
Family
ID=17731575
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2288541A Pending JPH04163952A (ja) | 1990-10-29 | 1990-10-29 | 樹脂封止型半導体装置用リードフレーム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH04163952A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5955778A (en) * | 1996-10-08 | 1999-09-21 | Nec Corporation | Lead frame with notched lead ends |
JP2009032899A (ja) * | 2007-07-27 | 2009-02-12 | Renesas Technology Corp | 半導体装置 |
-
1990
- 1990-10-29 JP JP2288541A patent/JPH04163952A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5955778A (en) * | 1996-10-08 | 1999-09-21 | Nec Corporation | Lead frame with notched lead ends |
JP2009032899A (ja) * | 2007-07-27 | 2009-02-12 | Renesas Technology Corp | 半導体装置 |
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