JPH04130810A - Ａｔカット水晶振動片の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はＡＴカット水晶振動片の製造方法に関する。

〔従来の技術〕

従来のＡＴ力、ト水晶振動片の製造方法は以下のようで
あった。

１）水晶原石を所定のカット角で切り出し、かつ所定の
厚みに研摩して水晶ウェハーを形成する工程。

１１）水晶ウェハーを水晶振動片の長さに切断する工程
。

ｍ　）水晶ウェハーを水晶振動片の巾寸法に切断する工
程。

ｉｖ　）切断された振動片に金属膜からなる電極膜を形
成する工程。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかし、前述の従来技術では、以下の課題な有する。

■　水晶振動片の形成に切断という方法を用いるため、
切断面に加工傷が発生する。これを除去するため、微細
な砥粒（研摩剤）を用いた研摩が必要となる。長さ方向
、巾方向とも行うため、加工が煩雑である。

■　切断後は、振動片が個別となるため、電極膜形成は
個別対応となる。作業が極めて煩雑である。

そこで本発明はこのような課題を解決するもので、その
目的とするところは、水晶振動片の外形加工を、容易に
するところにある。また、水晶振動片の電極膜形成を、
容易にするところにある。

〔課題を解決するための手段〕

本発明のＡＴ力、ト水晶振動片の製造方法は、水晶原石
を所定のカット角で切シ出し、かつ所定の厚みに研摩し
て水晶ウエノ１−を形成する工程と、上記水晶ウエノ・
−の表裏に金属膜を形成する工程と、金属膜をおおよそ
水晶振動片の外形形状を残して、除去する工程と、水晶
をおおよそ金属膜が残っている形状を残して、除去する
工程と、残った金属膜を所定の形状を残して除去する工
程とからなることを特徴とする。

〔実施例〕

第１図は本発明の実施例における工程概念図であって、
第１図（α）は原石加工工程、第１図（ｈ）、（！Ｉ）
は、水晶ウェハー加工工程、第１図Ｃｅ）、（Ａ）は、
金属膜形成工程、第１図（ｄ）、（ｓ）は、金属膜形状
形成工程、第１図（ｅ）、（））は、水晶振動片形状形
成工程、第１図（１）　、　（＆）は、電極膜形状形成
工程である。

第１図において、左図は平面図、右図は断面図である。

また、１は水晶原石、２は水晶ウエノ１−５は金属膜、
４は水晶振動片、５は電極膜である工程別に詳細な説明
を行う。

原石加工工程（α）では、水晶原石１を所定の角度でウ
ェハー状態に切り出す。通常パンドリーという機械が用
いられる。水晶ウェハー加工工程（ｈ）、（ｙ）では、
ウエノ・−状態となった水晶を所定の厚みに研摩する。

金属膜形成工程（Ｃ）、（ｈ）では、水晶ウェハーに蒸
着あるいは、スパッタ技術により金属膜を形成する。金
属としては、クロムをベースに付は次に金あるいは銀と
いった金属が用いられる。

金属膜形状形成工程（’　）　ｅ　（ｓ　）は、写真技
術を利用して行なう。まず、金属膜のついた水晶ウェハ
ーの表面にフォトレジストを塗布する。次に、水晶振動
片の形状を、白、黒のパターンで形成したフォトマスク
により、フォトレジストを感光する。次に、フォトレジ
ストを現像し、残ったフォトレジストを耐食膜として、
金属膜を除去する。

水晶振動片形状形成工程（ａ）、Ｃ））では、金属膜形
状形成工程（ｃｌ、ｌ）で、できた金属膜３を耐食膜と
して露出した部分の水晶をエツチングにより除去する。

エツチング液としてはフッ酸とフッ化アンモニウムの混
合液を使用する。

電極膜形状形成工程（１）、Ｃｋ）では、金属膜形状形
成工程Ｃｄ）、Ｃｓ）で行った同様の写真技術により、
水晶振動片４に電界をかけるための電極膜５を形成する
。同時に外部端子への引き出し導通用電極も形成する。

水晶振動片４は、１水晶ウエノ・−内に多数個、同時に
形成することができる。また水晶振動片４は、タイバー
６と呼ばれる接続部により、つながっており、水晶振動
片４を形成したあとも、１ウエハーとして接続した状態
にある。外部端子に接続する時に、タイバー６部分を折
取って初めて個別の水晶振動片として使用する。

第１図においては、矩形状ＡＴ振動子を示しているが、
形状は、丸形等でもよ（、本発明は、形状に関係な（使
用できる。

本発明は、フォトリソグラフィー技術とエツチング技術
を用いて、水晶振動子を製造する方法であるが、この技
術はすでに、時計用音叉形水晶振動子で実施されている
。本発明はこの技術をＡＴ力、ト水晶振動子に応用して
、時計用音叉形水晶振動子と異なった格別の効果を出す
ことができる時計用音叉形水晶振動子では、Ｃ１値を確
保するために、表裏主平面の電極以外に、腕部に側面電
極が必要不可欠である。しかしながらＡＴカット水晶振
動子では、側面電極はそれほど大きな役割を果たさない
。実際、現在製造されているＡＴカット水晶振動子に側
面電極はない。これは、時計用音叉形水晶振動子の振動
形態が屈曲振動であるのに対して、ＡＴカット水晶振動
子では、厚みすべり振動であることによる。

時計用音叉形水晶振動子では、側面電極を形成するため
に、水晶振動片の外形を形成したあとにスパッタ技術に
より側面に金属膜を形成する必要がある。

本発明のＡＴ力、ト水晶振動子の製造方法は、側面電極
用のスパッタは必要な（、非常に簡略な工程でＡＴカッ
ト水晶振動子を製造できるところに特頒をもつ。

〔発明の効果〕

以上述べたように本発明によれば以下の効果を有する。

■　水晶振動片の形状を、写真技術を利用して形成する
ため、水晶ウエノ・−一位で、作業を進めることができ
、煩雑な作業を必要としない。

■　水晶振動片を形成した金属膜をそのまま電極膜とし
て形成するため、作業工程が短く、容易に水晶振動片を
製造することができる。

さらに、水晶ウェハー状態で電極膜形成ができるため、
取り扱いがすこぶる簡略である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明のＡＴカット水晶振動片の製造方法の一
実施例を示す工程概念図で、 第１図（α）は原石加工工程、 第１図（ｂ）、（！Ｉ）は水晶ウエノ・−加工工程第１
図ＣＣ）、（Ａ）は金属膜形成工程、第１図（ｄ）、（
ｓ）は金属膜形状形成工程、）は水晶振動片形状形成工 図（１）、Ｃｋ）は電極膜形状形成工程。 ・・・・・・・・・水晶原石 ・・・・・・・・・水晶ウェハー ・・・・・・・・・金属膜 ・・・・・・・・・水晶振動片 ・・・・・・・・・電極膜 ・・・・・・・・・タイバー

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）ａ）少くとも水晶原石を所定のカット角で切り出
   し、かつ所定の厚みに研摩して水晶ウエハーを形成する
   工程と、 ｂ）上記水晶ウエハーの表面に金属膜を形成する工程と
   、 ｃ）金属膜をおおよそ水晶振動片の外形形状を残して、
   除去する工程と、 ｄ）水晶をおおよそ金属膜が残っている形状を残して、
   除去する工程と、 ｅ）残った金属膜を所定の形状を残して除去する工程と
   からなることを特徴とするＡＴカット水晶振動片の製造
   方法。