JPH0412192B2 - - Google Patents
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- JPH0412192B2 JPH0412192B2 JP60199432A JP19943285A JPH0412192B2 JP H0412192 B2 JPH0412192 B2 JP H0412192B2 JP 60199432 A JP60199432 A JP 60199432A JP 19943285 A JP19943285 A JP 19943285A JP H0412192 B2 JPH0412192 B2 JP H0412192B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure side
- gas
- magnetic field
- separation
- magnetic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B03—SEPARATION OF SOLID MATERIALS USING LIQUIDS OR USING PNEUMATIC TABLES OR JIGS; MAGNETIC OR ELECTROSTATIC SEPARATION OF SOLID MATERIALS FROM SOLID MATERIALS OR FLUIDS; SEPARATION BY HIGH-VOLTAGE ELECTRIC FIELDS
- B03C—MAGNETIC OR ELECTROSTATIC SEPARATION OF SOLID MATERIALS FROM SOLID MATERIALS OR FLUIDS; SEPARATION BY HIGH-VOLTAGE ELECTRIC FIELDS
- B03C1/00—Magnetic separation
- B03C1/02—Magnetic separation acting directly on the substance being separated
- B03C1/30—Combinations with other devices, not otherwise provided for
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
- B01D53/22—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by diffusion
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B03—SEPARATION OF SOLID MATERIALS USING LIQUIDS OR USING PNEUMATIC TABLES OR JIGS; MAGNETIC OR ELECTROSTATIC SEPARATION OF SOLID MATERIALS FROM SOLID MATERIALS OR FLUIDS; SEPARATION BY HIGH-VOLTAGE ELECTRIC FIELDS
- B03C—MAGNETIC OR ELECTROSTATIC SEPARATION OF SOLID MATERIALS FROM SOLID MATERIALS OR FLUIDS; SEPARATION BY HIGH-VOLTAGE ELECTRIC FIELDS
- B03C1/00—Magnetic separation
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Oil, Petroleum & Natural Gas (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、空気等の混合ガスから常磁性ガスと
非常磁性ガスとを分離するに好適なガス分離方法
および装置に関する。
非常磁性ガスとを分離するに好適なガス分離方法
および装置に関する。
透過膜を利用して酸素富化空気を製造する方法
は、既に医療用等に実用化されているが、膜の性
質（透過率、選択分離性）や圧力に対する強度更
に電力原単位によりその濃縮度は酸素濃度にして
せいぜい25〜30％であつた。又、透過量を大きく
なくその利用範囲はごく限られていた。現在、膜
の開発により酸素濃度アツプ並びに大量化が図ら
れているようであるが、まだ時間を要すのが現状
である。これに対し、他の濃縮（分離）法と組合
わせることにより酸素濃度アツプ並びに大容量化
を図ろうとする方法は今の所殆んど為されていな
いようである。
は、既に医療用等に実用化されているが、膜の性
質（透過率、選択分離性）や圧力に対する強度更
に電力原単位によりその濃縮度は酸素濃度にして
せいぜい25〜30％であつた。又、透過量を大きく
なくその利用範囲はごく限られていた。現在、膜
の開発により酸素濃度アツプ並びに大量化が図ら
れているようであるが、まだ時間を要すのが現状
である。これに対し、他の濃縮（分離）法と組合
わせることにより酸素濃度アツプ並びに大容量化
を図ろうとする方法は今の所殆んど為されていな
いようである。
透過膜を利用して酸素富化空気を製造する方法
としては、特開昭58−55309〜55311、58−
205523、59−16523、59−82903、59−87019〜
87021、59−115726、59−115727、59−203705等
がある。
としては、特開昭58−55309〜55311、58−
205523、59−16523、59−82903、59−87019〜
87021、59−115726、59−115727、59−203705等
がある。
また、被処理流体中に含有する常磁性粒子を捕
獲、分離する磁界を利用した分離装置が、特公昭
59−49044号公報に公知である。この磁界を用い
た分離装置は、相対する継鉄の対向する端面間の
空間部に被処理流体の通路を構成し、前記端面間
の通路部分に強磁性細線で織つた金網を複数重畳
して構成した磁気フイルタを介挿し、この磁気フ
イルタをその全ての高磁性細線が前記継鉄に装着
した励磁コイルにより被処理流体の通路に作用す
る磁界と直交するように配置し、かつ磁界と被処
理流体の流通方向が直交するように配置したもの
である。
獲、分離する磁界を利用した分離装置が、特公昭
59−49044号公報に公知である。この磁界を用い
た分離装置は、相対する継鉄の対向する端面間の
空間部に被処理流体の通路を構成し、前記端面間
の通路部分に強磁性細線で織つた金網を複数重畳
して構成した磁気フイルタを介挿し、この磁気フ
イルタをその全ての高磁性細線が前記継鉄に装着
した励磁コイルにより被処理流体の通路に作用す
る磁界と直交するように配置し、かつ磁界と被処
理流体の流通方向が直交するように配置したもの
である。
しかし、この磁界を用いた分離装置は、混合ガ
スから常磁性ガスと非常磁性ガスとを連続的に分
離することはできず、特に常磁性ガスを取出すこ
とはできない。なぜなら、常磁性ガスは、上下に
設けた磁気フイルタによつて捕獲されるので、こ
れを取出すことは困難であるからである。
スから常磁性ガスと非常磁性ガスとを連続的に分
離することはできず、特に常磁性ガスを取出すこ
とはできない。なぜなら、常磁性ガスは、上下に
設けた磁気フイルタによつて捕獲されるので、こ
れを取出すことは困難であるからである。
本発明の目的は、混合ガスから常磁性ガスと非
常磁性ガスとを効率的に、しかも大量に分離する
ことのできるガス分離方法および装置を提供する
ことである。
常磁性ガスとを効率的に、しかも大量に分離する
ことのできるガス分離方法および装置を提供する
ことである。
本発明は、混合ガスを分離用セル内に導入し、
このセル内に設けたガス透過膜によつてガスの分
離を行なうと共に、セル内のガス流に対してほぼ
直角方向に印加した磁界によつてガスの分離を行
なうことを特徴とする。
このセル内に設けたガス透過膜によつてガスの分
離を行なうと共に、セル内のガス流に対してほぼ
直角方向に印加した磁界によつてガスの分離を行
なうことを特徴とする。
さて、混合ガスとして代表的なものは、空気で
あり、常磁性ガスとして代表的なものは酸素
（O2）であり、非常磁性ガスとして代表的なもの
は窒素（N2）である。空気（O2濃度21％）に磁
界を印加した場合、その磁界の強さとＯ濃縮度と
の関係は、次のようになる。すなわち、第１１図
のような磁石（電磁石）により得られる磁界Ｈ内
では、下式に従いO2が濃縮される。
あり、常磁性ガスとして代表的なものは酸素
（O2）であり、非常磁性ガスとして代表的なもの
は窒素（N2）である。空気（O2濃度21％）に磁
界を印加した場合、その磁界の強さとＯ濃縮度と
の関係は、次のようになる。すなわち、第１１図
のような磁石（電磁石）により得られる磁界Ｈ内
では、下式に従いO2が濃縮される。
Cp＝CI・exp｛（2.43×10-5）・H2／PT｝ ……(1)
CI；O2初期濃度（％）、Ｐ；圧力（dyne／cm2）
Ｈ；磁界の強さ（Oe）、Ｔ；絶対温度（℃）
ここで、電磁石（超伝導磁石）の最強磁界は今
の所約150（KOe）、圧力は膜分離との併用を考え
るた1atm（1.013×106dyne／cm2）、温度20℃（273
〓）でO2濃縮度を計算すると、O2濃度21.02％と
なり0.1％のO2濃縮度となる。第１２図および第
１３図に計算結果を示す。
の所約150（KOe）、圧力は膜分離との併用を考え
るた1atm（1.013×106dyne／cm2）、温度20℃（273
〓）でO2濃縮度を計算すると、O2濃度21.02％と
なり0.1％のO2濃縮度となる。第１２図および第
１３図に計算結果を示す。
このことから、第１１図に示す方法における
O2濃度は、せいぜい0.1〜0.2％である。したがつ
て、この方法では実現できない。
O2濃度は、せいぜい0.1〜0.2％である。したがつ
て、この方法では実現できない。
次に、高勾配磁気分離を利用した場合、次の如
くO2が濃縮される。すなわち、第１４図に示す
如く半径ａの磁性細線にHoの磁界を印加すると、
球半径ｂの磁性微粒子に働く力Ｆは次式となる。
くO2が濃縮される。すなわち、第１４図に示す
如く半径ａの磁性細線にHoの磁界を印加すると、
球半径ｂの磁性微粒子に働く力Ｆは次式となる。
Ｆ＝８／３πb3（１＋a2／r2）a2／r3xH2……(
2) ｘ；磁性粒子の磁化率（CGSenu） 従つて、磁性微粒子であるO2は、この高磁場
勾配中に引き寄せられ飛躍的に濃縮される。な
お、この高磁場勾配域は細線１本では微小範囲と
なるが、例えばスチール・ウールや金網のような
ものに磁界を印加すると、磁束は更に集中し、そ
の領域は拡大する。ここで0.01μｍのスチール・
ウールを使用し、1atm、20℃で150（KOe）の磁
界を印加する時のO2濃縮度を(1)、(2)より計算す
るとO2濃度36.5％となり、74％のO2濃縮度とな
る。この場合の計算結果を第１５図、第１６図に
示す。このように、高磁場勾配領域を作つてやる
ことにより空気中O2濃度を30〜40％までアツプ
することが可能となる。しかし、高磁場勾配領域
を作つても、せいぜいその程度であり、それ以上
の高濃度とすることは、生産コスト、設備費等を
考慮すると現実的でない。
2) ｘ；磁性粒子の磁化率（CGSenu） 従つて、磁性微粒子であるO2は、この高磁場
勾配中に引き寄せられ飛躍的に濃縮される。な
お、この高磁場勾配域は細線１本では微小範囲と
なるが、例えばスチール・ウールや金網のような
ものに磁界を印加すると、磁束は更に集中し、そ
の領域は拡大する。ここで0.01μｍのスチール・
ウールを使用し、1atm、20℃で150（KOe）の磁
界を印加する時のO2濃縮度を(1)、(2)より計算す
るとO2濃度36.5％となり、74％のO2濃縮度とな
る。この場合の計算結果を第１５図、第１６図に
示す。このように、高磁場勾配領域を作つてやる
ことにより空気中O2濃度を30〜40％までアツプ
することが可能となる。しかし、高磁場勾配領域
を作つても、せいぜいその程度であり、それ以上
の高濃度とすることは、生産コスト、設備費等を
考慮すると現実的でない。
そこで、本発明では、膜分離と、この高勾配磁
気分離を併用することによつて、画期的なガス分
離（例えば酸素と窒素の分離）を実現している。
なお、強磁界発生のためには、超電導磁石の使用
が好ましい。
気分離を併用することによつて、画期的なガス分
離（例えば酸素と窒素の分離）を実現している。
なお、強磁界発生のためには、超電導磁石の使用
が好ましい。
以下、本発明を具体的な実施例に基づき詳細に
説明する。
説明する。
第１図は、本発明の一実施例におけるフローシ
ートを示している。空気１をフイルタ及び除湿器
２で清浄乾燥後、、分離用セル３へ供給する。な
お、空気１の供給は吸引フアン１０で行ない、そ
のセル３内の平均流速を３cm／sec以下にする。
供給された空気１はセル３内の透過膜４と接触す
る。この透過膜４は高分子材料、願わくばシリコ
ン系樹脂で製造され可能な限り薄膜化されてい
る。シリコン系樹脂、時にシロキサン系樹脂では
0.05μ迄薄膜化が可能である。透過膜４と接触し
た空気１は、空気１の流れる高圧側６と真空ポン
プ（又は吸引ブロア）９で減圧されている低圧側
７との圧力差により、酸素が濃縮された酸素富化
空気１１の状態でその一部が透過膜４を透過し低
圧側７へ移動する。ここで、透過膜４は、高圧側
６と低圧側７との圧力差に耐え得るよう、又、取
扱いが容易となるように支持体５上に接着又は接
触している。なお、透過膜４は、支持体５の高圧
側６に位置するものとする。ここで、支持体５は
磁性体、特に細い鉄線製の金網又は織物等から成
る。そして、この支持体５に磁界発生装置８、特
に超電導磁石で垂直方向に磁界を印加することに
より、この支持体５付近を高勾配磁場領域として
いる。なお、この４と５で構成されたものは、以
下、磁場体支持付透過膜４５という。これによ
り、特に流速の遅い高圧側６の空気１中の酸素
は、その磁化の性質により、高勾配磁場領域の透
過膜４表面付近に濃縮されるため、酸素分圧が透
過膜付近で上昇し、その透過量は膜分離のみに比
べ酸素濃度にして50％アツプ、酸素量にして1.8
倍アツプした酸素富化空気１１として低圧側で得
られる。但し、この時の支持体５は0.01μｍのス
チール・ウール製とし、磁界は150（KOe）高圧
側６圧力1atm、低圧側0.2atm、温度20℃とする。
ートを示している。空気１をフイルタ及び除湿器
２で清浄乾燥後、、分離用セル３へ供給する。な
お、空気１の供給は吸引フアン１０で行ない、そ
のセル３内の平均流速を３cm／sec以下にする。
供給された空気１はセル３内の透過膜４と接触す
る。この透過膜４は高分子材料、願わくばシリコ
ン系樹脂で製造され可能な限り薄膜化されてい
る。シリコン系樹脂、時にシロキサン系樹脂では
0.05μ迄薄膜化が可能である。透過膜４と接触し
た空気１は、空気１の流れる高圧側６と真空ポン
プ（又は吸引ブロア）９で減圧されている低圧側
７との圧力差により、酸素が濃縮された酸素富化
空気１１の状態でその一部が透過膜４を透過し低
圧側７へ移動する。ここで、透過膜４は、高圧側
６と低圧側７との圧力差に耐え得るよう、又、取
扱いが容易となるように支持体５上に接着又は接
触している。なお、透過膜４は、支持体５の高圧
側６に位置するものとする。ここで、支持体５は
磁性体、特に細い鉄線製の金網又は織物等から成
る。そして、この支持体５に磁界発生装置８、特
に超電導磁石で垂直方向に磁界を印加することに
より、この支持体５付近を高勾配磁場領域として
いる。なお、この４と５で構成されたものは、以
下、磁場体支持付透過膜４５という。これによ
り、特に流速の遅い高圧側６の空気１中の酸素
は、その磁化の性質により、高勾配磁場領域の透
過膜４表面付近に濃縮されるため、酸素分圧が透
過膜付近で上昇し、その透過量は膜分離のみに比
べ酸素濃度にして50％アツプ、酸素量にして1.8
倍アツプした酸素富化空気１１として低圧側で得
られる。但し、この時の支持体５は0.01μｍのス
チール・ウール製とし、磁界は150（KOe）高圧
側６圧力1atm、低圧側0.2atm、温度20℃とする。
第２図〜第４図に第１図における分離用セル３
の一例を示す。第４図に示す如く透過膜セル３中
には、鉄製の金網又は織物製の支持体５上に接着
した透過膜４から成る円筒１３が何本も出来る限
り空気１の滞留が生じない配列で設置されてい
る。そして、この円筒１３によりこのセル３は、
高圧側６と低圧側７に仕切られている。高圧側６
は、吸引フアン１０で、圧力が大気圧、空気１流
速が３cm／sec以下になるよう調節されている。
一方、低圧側７は、真空ポンプ又は吸引フロア９
で、圧力が0.2atm近辺になるよう調節されてい
る。次に、磁界発生装置８は、円筒１３に磁界が
垂直に印加されるよう設置されており、その磁界
の強さは50（KOe）以上が望まれる。
の一例を示す。第４図に示す如く透過膜セル３中
には、鉄製の金網又は織物製の支持体５上に接着
した透過膜４から成る円筒１３が何本も出来る限
り空気１の滞留が生じない配列で設置されてい
る。そして、この円筒１３によりこのセル３は、
高圧側６と低圧側７に仕切られている。高圧側６
は、吸引フアン１０で、圧力が大気圧、空気１流
速が３cm／sec以下になるよう調節されている。
一方、低圧側７は、真空ポンプ又は吸引フロア９
で、圧力が0.2atm近辺になるよう調節されてい
る。次に、磁界発生装置８は、円筒１３に磁界が
垂直に印加されるよう設置されており、その磁界
の強さは50（KOe）以上が望まれる。
次に第５図から第８図を使用して本発明の他の
実施例を説明する。
実施例を説明する。
第５図は本実施例の基本を示したものである。
分離用セル３は、支持体５上の透過膜４で高圧側
６と低圧側７に仕切られている。ここで透過膜４
は、第７図の如く、支持体５の高圧側６に置かれ
るものとする。一方、支持体５は磁性体、特に細
い鉄線製の金網又は織物から成る。特に鉄線の径
は1μ以下とし、磁界発生装置８より発生する磁
界の方向と直角となるように設置する。又、高圧
側６並びに低圧側７の間隔（厚さ）は可能な限り
小さく（薄く）する。実際には数mm以内とする。
そして、この透過膜セル３の高圧側６並びに低圧
側に磁界発生装置６を設置し磁界が透過膜セル３
を通過するようにする。本実施例の場合、磁界発
生装置はランニングコストの面からも考慮して超
電導磁石を使用することが好ましく、磁界の強さ
は50KOe以上が好ましい。
分離用セル３は、支持体５上の透過膜４で高圧側
６と低圧側７に仕切られている。ここで透過膜４
は、第７図の如く、支持体５の高圧側６に置かれ
るものとする。一方、支持体５は磁性体、特に細
い鉄線製の金網又は織物から成る。特に鉄線の径
は1μ以下とし、磁界発生装置８より発生する磁
界の方向と直角となるように設置する。又、高圧
側６並びに低圧側７の間隔（厚さ）は可能な限り
小さく（薄く）する。実際には数mm以内とする。
そして、この透過膜セル３の高圧側６並びに低圧
側に磁界発生装置６を設置し磁界が透過膜セル３
を通過するようにする。本実施例の場合、磁界発
生装置はランニングコストの面からも考慮して超
電導磁石を使用することが好ましく、磁界の強さ
は50KOe以上が好ましい。
フイルタ２で、浄化された空気１は、通過膜セ
ル３の高圧側６を３cm／sec以下で流れ吸引フア
ン１２にてセル３外へ放出される。この間、高圧
側６における空気１中の酸素は、磁界発生装置８
により発生する磁界によつて磁化した支持体５の
高勾配磁場に吸引され、更に透過膜４によつて選
択的に低圧側７へ移動する。低圧側７の酸素富化
空気は真空ポンプ又は吸引ブロア１１によつて次
ステツプへ供給される。
ル３の高圧側６を３cm／sec以下で流れ吸引フア
ン１２にてセル３外へ放出される。この間、高圧
側６における空気１中の酸素は、磁界発生装置８
により発生する磁界によつて磁化した支持体５の
高勾配磁場に吸引され、更に透過膜４によつて選
択的に低圧側７へ移動する。低圧側７の酸素富化
空気は真空ポンプ又は吸引ブロア１１によつて次
ステツプへ供給される。
このユニツトを大規模化したものが第６図であ
り、第５図で示したユニツトを多層化したもので
ある。又、第８図はこの多層ユニツトの断面を示
している。
り、第５図で示したユニツトを多層化したもので
ある。又、第８図はこの多層ユニツトの断面を示
している。
次に第９図、第１０図の使用して更に他の本発
明の実施例を説明する。
明の実施例を説明する。
磁石より発生する磁界は、一般に極と極の間隔
が離れる程弱くなる（距離の２乗に反40例）が、
この磁界中に磁性体が存在する場合、磁束はほと
んどこの磁性体中を通過するため、磁界は殆んど
弱まらない。又、極間の磁性体密度が高い程、磁
界は弱まらない。この原理を応用した実施例が第
９図である。
が離れる程弱くなる（距離の２乗に反40例）が、
この磁界中に磁性体が存在する場合、磁束はほと
んどこの磁性体中を通過するため、磁界は殆んど
弱まらない。又、極間の磁性体密度が高い程、磁
界は弱まらない。この原理を応用した実施例が第
９図である。
第１０図のように、支持体５上に置かれた透過
膜４が磁界発生装置８より印加されている磁界中
に数mm以下の間隔に設置されている。この透過膜
４は連続（上の透過膜４と下の透過膜４は別個）
で透過膜セル３を高圧側６と低圧側７に仕切つて
いる。又、空気並びに酸素富化空気の流れる方向
は紙面に直角となりそれぞれ向流又は並流に流れ
るものとする。
膜４が磁界発生装置８より印加されている磁界中
に数mm以下の間隔に設置されている。この透過膜
４は連続（上の透過膜４と下の透過膜４は別個）
で透過膜セル３を高圧側６と低圧側７に仕切つて
いる。又、空気並びに酸素富化空気の流れる方向
は紙面に直角となりそれぞれ向流又は並流に流れ
るものとする。
第９図は、第１０図を具体化したものである。
第９図において、８０はコイルであり、このコイ
ルに電流を流すことによつて、磁界が発生され
る。
第９図において、８０はコイルであり、このコイ
ルに電流を流すことによつて、磁界が発生され
る。
なお、以上の実施例はそれぞれ１段で考えてい
るが、これを多段とすることにより酸素の濃縮度
は更に向上する。つまり、多段にカスケード接続
すれば、所望の濃度まで高めることができる。
るが、これを多段とすることにより酸素の濃縮度
は更に向上する。つまり、多段にカスケード接続
すれば、所望の濃度まで高めることができる。
なお、上述した実施例では、空気から酸素と窒
素を分離する例を説明したが、本発明はこれに限
定されるものではなく、混合ガスから常磁性ガス
と非常磁性ガスとを分離するものに利用できる。
素を分離する例を説明したが、本発明はこれに限
定されるものではなく、混合ガスから常磁性ガス
と非常磁性ガスとを分離するものに利用できる。
以上説明したように本発明によれば、混合ガス
から常磁性ガスと非常磁性ガスを効率的に、しか
も大量に分離することができ、この分野における
効果は極めて大なるものがある。
から常磁性ガスと非常磁性ガスを効率的に、しか
も大量に分離することができ、この分野における
効果は極めて大なるものがある。
第１図は本発明の一実施例におけるフローを示
す図、第２図〜第４図は本発明の一実施例におけ
る要部を示す図、第５図〜第８図は本発明の他の
実施例を示す図、第９図と第１０図は本発明の他
の実施例を示す図、第１１図〜第１６図は本発明
を説明するための図である。 １……空気、２……フイルターおよび除湿器、
３……分離用セル、４……透過膜、５……支持
体、８……磁界発生装置、９……真空ポンプ、１
０……吸引フアン、１１……酸素富化空気、１２
……酸素貧化空気、１３……円筒、４５……磁性
体支持付透過膜、８０……コイル。
す図、第２図〜第４図は本発明の一実施例におけ
る要部を示す図、第５図〜第８図は本発明の他の
実施例を示す図、第９図と第１０図は本発明の他
の実施例を示す図、第１１図〜第１６図は本発明
を説明するための図である。 １……空気、２……フイルターおよび除湿器、
３……分離用セル、４……透過膜、５……支持
体、８……磁界発生装置、９……真空ポンプ、１
０……吸引フアン、１１……酸素富化空気、１２
……酸素貧化空気、１３……円筒、４５……磁性
体支持付透過膜、８０……コイル。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 清浄乾燥後の混合ガスをガス透過膜で分割さ
れた分離用セル内の高圧側に導入し、該セル内の
高圧側を吸引し、低圧側を真空引きし、ガス透過
膜を介して圧力差により高圧側のガスの一部を低
圧側へ透過させると共に、セル内の低圧側に設け
られガス透過膜を支持する磁性体からなる支持体
に磁界を印加して、膜分離と高勾配磁気分離とを
併用しつつ、該混合ガスを常磁性ガスと非常磁性
ガスとに分離することを特徴とするガス分離方
法。 ２ 磁性体からなる支持部材を低圧側に備え、該
支持部材に支持されガスを導入する高圧側に配設
されたガス透過膜で高圧側と低圧側とに分離した
分離用セルと、該分離用セルの高圧側に混合ガス
を導く管路と、該分離用セルの高圧側を吸引する
手段及び低圧側を真空引きする手段と、該分離用
セルに設けられ前記支持部材に磁界を印加する磁
界発生装置とを具備したことを特徴とするガス分
離装置。
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