JPH0384797A - 半導体記憶装置 - Google Patents
半導体記憶装置Info
- Publication number
- JPH0384797A JPH0384797A JP1222487A JP22248789A JPH0384797A JP H0384797 A JPH0384797 A JP H0384797A JP 1222487 A JP1222487 A JP 1222487A JP 22248789 A JP22248789 A JP 22248789A JP H0384797 A JPH0384797 A JP H0384797A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bit line
- circuit
- voltage
- output
- transistors
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Static Random-Access Memory (AREA)
- Semiconductor Memories (AREA)
- For Increasing The Reliability Of Semiconductor Memories (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の概要〕
半導体記憶装置、特にスタティック型MISメモリの試
験回路に関し、 フリップフロップを用いたMISメモリでも全ビット線
対間に同時に大きな電位差をかけられるようにして、故
障する可能性がある該メモリを短時間に充分にスクリー
ニングすることを目的とし、スタティックメモリセルア
レイの各ビット線を電源へ接続する負荷トランジスタと
、各ビット線対をデータバス対へ接続するコラムゲート
トランジスタを備える半導体記憶装置において、電圧加
速試験時に、前記負荷トランジスタを全てオフにする回
路と、コラムゲートトランジスタを全てオンにする回路
とを設けた構成とする。
験回路に関し、 フリップフロップを用いたMISメモリでも全ビット線
対間に同時に大きな電位差をかけられるようにして、故
障する可能性がある該メモリを短時間に充分にスクリー
ニングすることを目的とし、スタティックメモリセルア
レイの各ビット線を電源へ接続する負荷トランジスタと
、各ビット線対をデータバス対へ接続するコラムゲート
トランジスタを備える半導体記憶装置において、電圧加
速試験時に、前記負荷トランジスタを全てオフにする回
路と、コラムゲートトランジスタを全てオンにする回路
とを設けた構成とする。
本発明は半導体記憶装置、特にスタティック型MISメ
モリの試験回路に関する。
モリの試験回路に関する。
集積回路では、回路を構成するパターンの故障部分を発
見するために、電圧加速試験が行なわれている。チップ
の配線に電圧を加えて配線の周囲に電圧ストレスを加え
ると、絶縁不良部の不良度が加速され、障害部が見出し
易くなる。本発明はこの電圧加速試験に係るものである
。
見するために、電圧加速試験が行なわれている。チップ
の配線に電圧を加えて配線の周囲に電圧ストレスを加え
ると、絶縁不良部の不良度が加速され、障害部が見出し
易くなる。本発明はこの電圧加速試験に係るものである
。
(従来の技術)
第3図はスタティックRAMの構成の概要を示す。WD
I〜WD、、は多数のワード線、BLL!:BL〜BL
llとBL、は多数のビット線対であり、これらの各点
にメモリセルが配線される。スタティックRAMのメモ
リセルは一般にフリップフロップと、その入出力端をビ
ット線対へ接続するトランスファゲートで構成される。
I〜WD、、は多数のワード線、BLL!:BL〜BL
llとBL、は多数のビット線対であり、これらの各点
にメモリセルが配線される。スタティックRAMのメモ
リセルは一般にフリップフロップと、その入出力端をビ
ット線対へ接続するトランスファゲートで構成される。
各ビット線対は負荷トランジスタQ、とQ&’=Qn−
IとQ7を通して電源VCCへ接続され、またコラムゲ
ートトランジスタQ□とQtt〜QTn−1とQTll
を通してデータバス対DBとDBへ接続される。
IとQ7を通して電源VCCへ接続され、またコラムゲ
ートトランジスタQ□とQtt〜QTn−1とQTll
を通してデータバス対DBとDBへ接続される。
ワード線が選択されると当該ワード線に属するメモリセ
ルがビット線対に接続され、セル記憶データに応じてビ
ットm対に電位差が生しる。この電位差は、コラムゲー
トで選択されたものが、データバス対に現われ、差動増
幅器で増大されたのち外部へ出力される(続出し)。
ルがビット線対に接続され、セル記憶データに応じてビ
ットm対に電位差が生しる。この電位差は、コラムゲー
トで選択されたものが、データバス対に現われ、差動増
幅器で増大されたのち外部へ出力される(続出し)。
書込みは書込みアンプQ l−0,4などにより行なわ
れる。即ちライトイネーブル信号WEがH(ハイ)にな
ると、CMOSインバータQ t t + Q Iz
の出力はL(ロー)、制御アンプQ l 3〜Qzoの
トランジスタQ目、Q目はオン、Q、1.Q、、はオフ
となり、書込みデータDがH,DがLならCMOSイン
バータQ+3〜Q Ibの出力はり、CMOSインハ′
−タQ I ?〜Q2oの出力はHとなり、書込みアン
プではQz。
れる。即ちライトイネーブル信号WEがH(ハイ)にな
ると、CMOSインバータQ t t + Q Iz
の出力はL(ロー)、制御アンプQ l 3〜Qzoの
トランジスタQ目、Q目はオン、Q、1.Q、、はオフ
となり、書込みデータDがH,DがLならCMOSイン
バータQ+3〜Q Ibの出力はり、CMOSインハ′
−タQ I ?〜Q2oの出力はHとなり、書込みアン
プではQz。
Q3がオフ、Q、、Q、がオンになり、DBをHlDB
をLにし、これで選択セルへの書込みが行なわれる。書
込みデータDがLXDがHならDBがり、DBがHであ
り、これで選択セルへの書込みが行なわれる。
をLにし、これで選択セルへの書込みが行なわれる。書
込みデータDがLXDがHならDBがり、DBがHであ
り、これで選択セルへの書込みが行なわれる。
このようなSRAMで電圧加速試験を行なうには、電源
端子ビンに通常より高い電源電圧を加え、通常使用動作
と同様な動作をさせる。
端子ビンに通常より高い電源電圧を加え、通常使用動作
と同様な動作をさせる。
しかしながら通常の使用状態にしてのSI?AM電圧加
速試験では、ビット線対間の電位差が小さく、充分な電
圧加速ができないという問題がある。
速試験では、ビット線対間の電位差が小さく、充分な電
圧加速ができないという問題がある。
即ちSRAMの読出しを行なうと、各ビット線対に、選
択ワード線に属するメモリセルの記憶データに従うH,
L電位が出るが、これはLレベルで2.5■、Hレベル
で3.5■程度であり(Vcc=5V)H,Lレベル差
はtVに過ぎない。これはSRAMでは、メモリセルの
フリップフロップのオン側トランジスタと当該ビット線
の負荷トランジスタを通して電流が流れ、Lレベル側ビ
ット線電圧はこれらのトランジスタのgm比で決まり、
Hレベル側ビット線電圧も負荷トランジスタによる電圧
降下があることに依る。
択ワード線に属するメモリセルの記憶データに従うH,
L電位が出るが、これはLレベルで2.5■、Hレベル
で3.5■程度であり(Vcc=5V)H,Lレベル差
はtVに過ぎない。これはSRAMでは、メモリセルの
フリップフロップのオン側トランジスタと当該ビット線
の負荷トランジスタを通して電流が流れ、Lレベル側ビ
ット線電圧はこれらのトランジスタのgm比で決まり、
Hレベル側ビット線電圧も負荷トランジスタによる電圧
降下があることに依る。
SRAMの書込みを行なうと、書込みアンプにより強<
H,Lに駆動し、ビット線対に比較的大きな電位差をか
けることができる(但しH,Lレベルがgm比で決まる
点は変らない)が、選択ビット線対は1つであから、メ
モリの全ビット線対に大きな電位差を長時間与えるには
長大な試験時間を必要とする。
H,Lに駆動し、ビット線対に比較的大きな電位差をか
けることができる(但しH,Lレベルがgm比で決まる
点は変らない)が、選択ビット線対は1つであから、メ
モリの全ビット線対に大きな電位差を長時間与えるには
長大な試験時間を必要とする。
本発明はかする点に鑑みてなされたもので、フリップフ
ロップを用いたMISメモリでも全ビット線対間に同時
に大きな電位差をかけられるようにして、故障する可能
性がある該メモリを短時間に充分にスクリーニングする
ことを目的とするものである。
ロップを用いたMISメモリでも全ビット線対間に同時
に大きな電位差をかけられるようにして、故障する可能
性がある該メモリを短時間に充分にスクリーニングする
ことを目的とするものである。
第1図に示すように本発明では、電圧加速試験時に、ビ
ット線の負荷トランジスタQ、とQ6〜Qn−+ とQ
7を全てオフにする回路lOと、コラムゲートトランジ
スタQt+とQTz〜QT+、−1とQ。、lを全てオ
ンにする回路20を設ける。
ット線の負荷トランジスタQ、とQ6〜Qn−+ とQ
7を全てオフにする回路lOと、コラムゲートトランジ
スタQt+とQTz〜QT+、−1とQ。、lを全てオ
ンにする回路20を設ける。
回路10は第1図ではCMOSインバータQz + +
Q 2□で構成され、これは電圧加速試験時にHと
なる信号BMを受ける。
Q 2□で構成され、これは電圧加速試験時にHと
なる信号BMを受ける。
回路20はトランジスタQ、〜Q 311で構成すれ、
Q、yxはコラムゲートQt++Q?2制御用CMOS
インバータQ 31+ Q、zの該Qs+に並列に、
Q:+4はQlzと直列に接続され、Q 3%とQ s
hは前記信号BMを受けて)I/L出力を生じるCMO
Sインバータを構成する。回路20は全てのコラムゲー
ト制御用インバータに設けられる。
Q、yxはコラムゲートQt++Q?2制御用CMOS
インバータQ 31+ Q、zの該Qs+に並列に、
Q:+4はQlzと直列に接続され、Q 3%とQ s
hは前記信号BMを受けて)I/L出力を生じるCMO
Sインバータを構成する。回路20は全てのコラムゲー
ト制御用インバータに設けられる。
この構成では電圧加速試験時には信号BMにより、全ビ
ット線の負荷トランジスタQ5とQ6〜Qn−+ とQ
7はオフとなり、また全コラムゲートQt IとQ丁、
%Q、fi−,とQ t nがオンになる。
ット線の負荷トランジスタQ5とQ6〜Qn−+ とQ
7はオフとなり、また全コラムゲートQt IとQ丁、
%Q、fi−,とQ t nがオンになる。
この状態で書込みを行なうと、書込みデータD。
Dに従ってデータバスDB、DBはH,Lになり、これ
が全ビット線対に伝えられる。ビット線対の負荷トラン
ジスタはオフであるから、書込みアンプQ、−Q、がL
側ビット線の電流(これは当該ビット線の負荷トランジ
スタを通って電源より供給される)を吸収する必要はな
く、L側ビット線ははダグランドレベルになる。こうし
て全ビット線対に同時に大きな電位差を与えることがで
き、充分な電圧加速試験を行なうことができる。
が全ビット線対に伝えられる。ビット線対の負荷トラン
ジスタはオフであるから、書込みアンプQ、−Q、がL
側ビット線の電流(これは当該ビット線の負荷トランジ
スタを通って電源より供給される)を吸収する必要はな
く、L側ビット線ははダグランドレベルになる。こうし
て全ビット線対に同時に大きな電位差を与えることがで
き、充分な電圧加速試験を行なうことができる。
本発明の実施例回路は第1図でよい。この第1図で、第
3図と同じ部分には同じ符号が付しである。通常の使用
時は信号BMはし、従ってCMOSインバータQ2□Q
ztの出力はH1負荷トランジスタQ5とQ&〜Qn−
+ とQfiはオンである。またCMOSインバータQ
3s+Qsbの出力は14で、トランジスタQ0はオフ
、Q、aはオンで、コラムゲートはコラムデコーダの出
力CD、−CD、%でオン/オフされる。この状態では
従来のSRAMと全く同しである。
3図と同じ部分には同じ符号が付しである。通常の使用
時は信号BMはし、従ってCMOSインバータQ2□Q
ztの出力はH1負荷トランジスタQ5とQ&〜Qn−
+ とQfiはオンである。またCMOSインバータQ
3s+Qsbの出力は14で、トランジスタQ0はオフ
、Q、aはオンで、コラムゲートはコラムデコーダの出
力CD、−CD、%でオン/オフされる。この状態では
従来のSRAMと全く同しである。
電圧加速試験時は信号BMはHであり、CMOSインバ
ータQ2□ Q2□の出力はし、負荷トランジスタQ、
とQ6〜Qn−+ とQ、lはオフになる。またCMO
SインバータQ 3 S I Q s hの出力はL
で、トランジスタQ33はオン、Q34はオフ、コラム
ゲートトランジスタQア、とQ0〜Qtn−+とQ?l
lはオンになる。つまりビット線対は負荷なし、全選択
の状態になり、書込みデータD、Dにより全ビット線の
一方がH1他方がし、またはこの逆になる。このLレベ
ルはグランドレベルに近く、全ビット線対に同時に大き
な電位差をかけることができる。
ータQ2□ Q2□の出力はし、負荷トランジスタQ、
とQ6〜Qn−+ とQ、lはオフになる。またCMO
SインバータQ 3 S I Q s hの出力はL
で、トランジスタQ33はオン、Q34はオフ、コラム
ゲートトランジスタQア、とQ0〜Qtn−+とQ?l
lはオンになる。つまりビット線対は負荷なし、全選択
の状態になり、書込みデータD、Dにより全ビット線の
一方がH1他方がし、またはこの逆になる。このLレベ
ルはグランドレベルに近く、全ビット線対に同時に大き
な電位差をかけることができる。
ビット線のHレベルは、選択ワード線に連なるメモリセ
ルのオン側のトランジスタと書込みアンプのトランジス
タQ、またはQ、とのgm比で決まるが、電圧加速試験
時に全ワード線を非選択にする回路を設けておけば、単
純に全ビット線対の一方をトランジスタQ、またはQ、
により電源ヘブルアップすることができ、ピッ)1対間
の電位差を一層大にすることができる。
ルのオン側のトランジスタと書込みアンプのトランジス
タQ、またはQ、とのgm比で決まるが、電圧加速試験
時に全ワード線を非選択にする回路を設けておけば、単
純に全ビット線対の一方をトランジスタQ、またはQ、
により電源ヘブルアップすることができ、ピッ)1対間
の電位差を一層大にすることができる。
第2図に信号BMの発生回路例を示す。Anはコラムア
ドレスが加えられる外部端子の1つで、この外部端子に
加えられたコラムアドレスはコラムアドレスバッファA
Bに加わって、そのもの八〇とその反転Anになり、こ
れらがコラムデコーダに加わってコラムゲートオン/オ
フ用の信号CD、〜CD、になる。Q、1〜Q a n
はダイオード接続したl・ランジスタで、抵抗Rと共に
、端子Anとグランドとの間に直列に接続され、非線形
分圧回路(電圧降下回路)を構成する。この分圧回路の
出力をCMOSインバータQ s + + Q s t
で受け、その出力をCMOSインバータQs3+ Q
54で受け、この出力を前記信号BMとする。
ドレスが加えられる外部端子の1つで、この外部端子に
加えられたコラムアドレスはコラムアドレスバッファA
Bに加わって、そのもの八〇とその反転Anになり、こ
れらがコラムデコーダに加わってコラムゲートオン/オ
フ用の信号CD、〜CD、になる。Q、1〜Q a n
はダイオード接続したl・ランジスタで、抵抗Rと共に
、端子Anとグランドとの間に直列に接続され、非線形
分圧回路(電圧降下回路)を構成する。この分圧回路の
出力をCMOSインバータQ s + + Q s t
で受け、その出力をCMOSインバータQs3+ Q
54で受け、この出力を前記信号BMとする。
端子Anに通常印加される電圧は−3,0V〜7゜Ov
であり、この印加電圧範囲内では分圧回路の出力は0■
、従ってインバータQ s + + Q s zの出
力はH、インバータQ s 31 Q S 4の出力即
ち信号BMはしである。電圧加速試験時には端子Anに
7.0■以上の電圧を与え、トランジスタQ0〜Q 4
nをオン、分圧回路の出力をHにする。これで、イン
バータQ5□ Qszの出力はL1インバータQS31
Q 54の出力即ち信号BMはHになる。
であり、この印加電圧範囲内では分圧回路の出力は0■
、従ってインバータQ s + + Q s zの出
力はH、インバータQ s 31 Q S 4の出力即
ち信号BMはしである。電圧加速試験時には端子Anに
7.0■以上の電圧を与え、トランジスタQ0〜Q 4
nをオン、分圧回路の出力をHにする。これで、イン
バータQ5□ Qszの出力はL1インバータQS31
Q 54の出力即ち信号BMはHになる。
トランジスタQ4r〜Q4flの個数は、上記の如くな
るように定める。抵抗Rはインバータ列の入力部の“L
”を保証するプルダウン用で、抵抗値としては1〜IO
KΩ程度が適当である。
るように定める。抵抗Rはインバータ列の入力部の“L
”を保証するプルダウン用で、抵抗値としては1〜IO
KΩ程度が適当である。
電圧加速試験時はコラム(ビット線対)全選択で、コラ
ムアドレスは入力する必要がない。信号BMの発生は試
験時不要端子Anを利用して行なつO 〔発明の効果〕 以上説明したように本発明によれば、中間電位になって
いて充分な電位差が与えられない信号線間に充分な電位
差を与え、故障する可能性のある部分を短時間に充分ス
クリーニングすることができる。
ムアドレスは入力する必要がない。信号BMの発生は試
験時不要端子Anを利用して行なつO 〔発明の効果〕 以上説明したように本発明によれば、中間電位になって
いて充分な電位差が与えられない信号線間に充分な電位
差を与え、故障する可能性のある部分を短時間に充分ス
クリーニングすることができる。
第1図は本発明の試験回路を示す回路図、第2図は信号
BMの発生回路を示す回路図、第3図はスタティックR
AMの構成を示す回路図である。 第1図でBL、BLはビット線対、Q、とQ6〜Q、、
−1とQ7はその負荷トランジスタ、QttとQTz−
Qrn−+とQrnはコラムゲートトランジスタ、IO
は負荷トランジスタを全てオフにする回路、20はコラ
ムゲートトランジスタを全てオンにする回路である。
BMの発生回路を示す回路図、第3図はスタティックR
AMの構成を示す回路図である。 第1図でBL、BLはビット線対、Q、とQ6〜Q、、
−1とQ7はその負荷トランジスタ、QttとQTz−
Qrn−+とQrnはコラムゲートトランジスタ、IO
は負荷トランジスタを全てオフにする回路、20はコラ
ムゲートトランジスタを全てオンにする回路である。
Claims (1)
- 1、スタティックメモリセルアレイの各ビット線を電源
へ接続する負荷トランジスタ(Q_5、Q_6…)と、
各ビット線対をデータバス対(DB、■■)へ接続する
コラムゲートトランジスタ(Q_T_1、Q_T_2、
…)を備える半導体記憶装置において、電圧加速試験時
に、前記負荷トランジスタを全てオフにする回路と、コ
ラムゲートトランジスタを全てオンにする回路とを設け
たことを特徴とする半導体記憶装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1222487A JPH0384797A (ja) | 1989-08-29 | 1989-08-29 | 半導体記憶装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1222487A JPH0384797A (ja) | 1989-08-29 | 1989-08-29 | 半導体記憶装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0384797A true JPH0384797A (ja) | 1991-04-10 |
Family
ID=16783201
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1222487A Pending JPH0384797A (ja) | 1989-08-29 | 1989-08-29 | 半導体記憶装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0384797A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04324200A (ja) * | 1991-04-24 | 1992-11-13 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体記憶装置 |
-
1989
- 1989-08-29 JP JP1222487A patent/JPH0384797A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04324200A (ja) * | 1991-04-24 | 1992-11-13 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体記憶装置 |
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