JPH03501840A - シリコンウエハの整列方法及びその装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 シリコンウェハの整列方法及びその装置本発明は、移送するシリコンウェハ１、 特に整列されたウエノ１の移送方法及びそのような移送方法に便利な装置に関す る。本発明は、１９８７年５月２１日に出願され係属中の米国特許出願０５２４ ９６に開示された方法及び装置をさらに改良させた方法及び装置を含んでいる。

先の出願の全体の開示は参考として本明細書に編入している。

ソリッドステートデバイスの製造において、しばしばポケット内に互いに隣接し て適宜な間隔を有して蓄えられる複数のウェハを保持するカセットにてシリコン ウェハが異なった作業場所間を移動する。多くの工程において、ウェハは正確に 整列することが要求される。要求される整列は、ウェハの周面に通常直線状ある いは■字形の切り目等の何種類かのマークによって示されるウェハの結晶面に関 するウェハ中心の正確な位置決め、及び／又はウェハの正確な方向が要求される 。ある場所から他の場所への単純な移送と同じように、特にカセットからの移動 、カセットへの配置、及びウェハの整列を含んで、個々のウェハの移送は半導体 工業の重大な関心事である。

個々のシリコンウェハの既知の移送方法は、（ａ）ウェハの下面と（ｂ）固体の 支持面あるいは固体粒子を含むようなエアージェット間の接触を必要とする。こ れらの方法はウェハに傷を付けたりウェハ下面を汚したりすることが既に知られ ているが、しかしこのことはいままで考慮の対象にはなっていない。しかしなが ら、現在ではそれらの既知の方法はウェハの加工面も傷付けたり、あるいは汚し たりすることが判っている。

本発明は、第１に、ウェハの加工面を傷付けたり、あるいは汚したりする本来の 危険性を事実上無くした、個々のシリコンウェハの移送に関する方法及び装置を 提供する。°移送”の言葉は、本明細書ではウェハが直線的に及び／又は回転的 に移動する種々の過程を含み上述した広い意味に使用している。

本発明は、容易に、確実に、素早くウェハを移送することができるという重要な 利点を提供するだけでなく、特にウェハの整列が要求されるときに利点を提供す る。さらに、本発明は実質上ウェハの下面への損傷の可能性を減少あるいは排除 することより、シリコンウェハに二つの加工面を有する道を開くものである。例 えば、現在加工面上に設けられ貴重なスペースを占有している接続パッドは、反 対面に設けることが可能となる。そのような新しいシリコンウェハは、本発明の 一部を構成する。

他の態様において、本発明は、ウェハのどちらの表面にも接触する必要を排除す るように、ウェハの周囲のみに接触し、好ましくはフランジ付きの回転可能なホ イールのようなウェハ支持体によって単独に支持される、個々のシリコンウェハ の移送方法を提供する。

又、好ましい移送方法は、要求される整列がなされるまでウェハ支持体によって のみ支持され、接触されている間、ウェハを移動するためのウェハ支持体の移動 方法をも含んでいる。ウェハの移動は、ウニへの中心を正確に位置決めするよう に横方向のみであるか、あるいはウェハの結晶面を示す整列マークを正確に位置 決めするように回転方向であるか、あるいはその両方である。

他の態様において、本発明は上述した方法の使用に適した装置を提供する。その 装置は、 （１）装荷フレームと、 （２）（ａ）フレーム上に可動に装荷され、（ｂ）複数のウェハ支持体を有し、 （ｃ）移送されるウェハがウェハの周囲とウェハ支持体との間で接触することで 単独に支持可能な閉ざされた部分と、整列されたウェハがウェハ支持体間を自由 に通過可能な開かれた部分との間を互いに関係して移動可能である、少なくとも 二つのウェハキャリアーと、を備えている。

一つの好ましい実施例において、ウェハは、ウェハ支持体及びウェハ支持体によ って支持されるウェハが正しく整列されたときの決定手段を含んでいる装置の移 動によって要求される整列内へ横方向及び／又は回転方向に移動可能である。他 の好ましい実施例において、ウェハのカセットであるウェハキャリアーとフレー ムは、装置に隣接して設置可能で、互いに関係するカセットとウェハキャリアー の移動手段であり、ウェハキャリアーはカセットから個々のウェハを連続的に移 送するために使用することができる。

本発明は、以下の図面に示されている。

第１図は本発明の装置の側面図、第２図及び第３図は第１図に示す装置の動作の 連続的状態における装置の平面図、第４図は第１図の部分詳細図、第５図は第１ 図内のＡ−Ａ部における断面図、第６図はウェハをモータにより回転させるよう に変更した第１図に示す装置の一部分の平面図、第７図は本発明の装置の組み合 わせにおける複数のカセットの移送機構の斜視図、第８図は本発明の装置？こお けるウェハキャリアーの動作を制御するための好ましい駆動機構を示す図である 。

シリコンウェハは、一般的に直径が例えば４．５．６あるいは８インチの円形状 の円板形状であり、その周面にシリコンの結晶軸を示す直線状のあるいはＶ字形 の切欠きが設けられている。シリコンウェハがさらされる多くの取り扱いは整列 が主なものである。それゆえに、ウェハを非常に正確に整列させ、あるいはその ような整列をチェックもしくは維持する移送システムが必要である。本発明の利 点の一つは、要求された整列にウェハがなっているか否かのチェックが非常に容 易に行え、そしてもし要求された整列になっていなければ要求される整列ヘウエ ハを横方向及び／又は回転方向に移動させることである。それ故に本発明は、ウ ェハの整列を含んだウェハの移送を行う方法及び装置に関して主に述べられてい る。しかしながら、本発明のいずれかの部分の適切な、典型的な、及びより好ま しい特徴がウェハ移送のすべての形態に適応可能なことが理解できよう。同様に 、いずれかの部分の典型的なあるいはより好ましい特徴が、特別な情況においで あるいは一つもしくは複数の特徴の組み合わせにおいて明確に記述され、そのよ うな典型的なあるいはより好ましい特徴が他の情況、及び本明細書のいずれかに 記載されている一つあるいは複数の特徴の組み合わせにおいていずれかに適切に 使用することができる。

より好ましい方法において、ウェハは以下のいずれかにて整列されている。

（ａ）ウェハ支持体は、ウェハの水平面にて回転可能な第１の及び第２の対とな ったホイールを備えており、第１の対におけるホイールの軸を含む平面は第２の 対におけるホイールの軸を含む平面に平行に維持され、ウェハの中心は上記ホイ ールの二つの対の間となる。

（ｂ）ホイールの第１及び第２の対は互いの方向に押し進められ、それによって ウェハの中心が、（ａ）円板の水平面における第１の対のホイールの軸を結んで いる線の中心点と（ｂ）円板の水平面における第２の対のホイールの軸を結んで いる線の中心点とを結ぶ線上に存在するようにウェハを整列させる。

この方法は、ウェハの周囲が平面で、ホイールの一つがその平面に接触して整列 されるウェハに使用されるとき、ウェハは横方向への整列のみならず回転して整 列されるように回転するものである。

他の方法は、ウェハの要求された回転方向の整列が、ウェハ支持手段によってウ ェハに加えられる一方向の力にてウェハの周囲上の不連続な部分の整列を結合す ることによって行なうことができる箇所にて使用される。ここでは他の方向の力 についても述べるが、このような一方向の力は、スプリング、好ましくは一定の 張力のスプリングによって、水圧によって、例えばシリンダ内の圧縮空気が要求 される力になるよう調整される、空圧により、あるいはその他の方法によって発 生することができる。しかしながら、この方法における回転方向の整列は、例え ばアライメントノツチの形態のように上記不連続部分が非常２こ小さいとき、あ るいは存在しない場合、及びほぼ予備整列される限界値の方向、例えば要求され る整列の１０度以内の方向にウェハが供給されないときには回転方向の整列を行 うことは困難あるいは不可能である。このような情況においては、要求された整 列となるようウェハの回転を行ったりあるいは補助したりするようにウェハ支持 体の少なくとも一つを駆動するため、モ〜り、好ましくは電気的モータを使用す るのが好ましい。このモータは、好ましくはホイールを回転させる面の弾力性の あるコーティングを介してデバイスの周囲とは反対の方向に運ぶ少なくとも一つ 、好ましくは少なくとも二つのホイールに連結することができる。このようにし て要求され１こ回転方向の整列が達成されるが、ウェハが整列されたときを決定 する乙めにセンサを使用することもできる。

いくつかの適宜な機槻的な、光学的な、電気的なあるいはその他のセンサが使用 可能である。ノツチが設けられたウェハに関して、該ノツチより小さい大きさの ビンがウェハの周面に押し付けられ、整列が達成されたときにノツチに上記ピン が入り込む。ウェハを回転するためにモータが使用されたとき、センサが整列し たことを検知した後、できるだけ早くモータの回転を停止させることが重要であ る。電気的モータを使用した場合、ウェハが正確に整列したことをセンサが検知 した後、非常に短時間でモータに供給する電流方向を逆転する制御回路あるいは 磁気ブレーキを使用することが便利であることが判った。

本発明に関する好ましいウェハ支持体は、ウェハの水平面において回転可能なホ イールである。ホイールは、ウェハの周辺に規則的にあるいは不規則的に所定の 間隔を設けることができ、さらに要求された整列が達成されることを補助するよ うに例えば上述したような平面部分を有しｋりあるいは放射方向に容易に傾斜し た部分を設けることができる。ウェハがモータによって回転されｔ二とき、一つ もしくは複数の支持体のホイールがモータによって回転することが好ましい。ホ イールは、ウェハを押し付ける好ましくは弾力性の構成部分もしくはタイヤを備 えており、物理的な及び電気的な損傷からウェハを緩衝している。少なくともい くつかのホイールは、ウェハキャリアーが開かれた部分から閉じた部分ヘウエハ 支持体間をウェハとともに移動するとき、ウェハがウェハ面と直角方間にフラン ジ部分を移動するように、ホイールの回転軸に対して傾斜し１こフランジを有す ることが好ましい。このような上り方向の移動は、ウェハを横方向に整列させる ために横方向の移動とともに行なうことができる。ウェハが水平であるときには 、ホイールの下側に一つのフランジを有するのが適当である。ウェハが垂直であ るときには、ホイールの各側面にフランジを有するのが好ましい。

装荷フレーム及びウェハキャリアーに加えて、本発明の装置は好ましくは、 （３）閉ざされた部分ヘウエハキャリアーを連続的に及び間欠的に押し進める閉 じ込め手段と、 （４）ウェハキャリアーが開かれに部分にあるとき、閉じ込め手段にて作用する 力を減少することができ、制御された方法にてウェハキャリアーが閉ざされｆ二 部分−Ｎ移動することを許容するように動作することができる、動作制御手段と 、 を備えている。

シソコンウェハはもろく、そしてウェハの周囲に対してウェハ支持体の衝突を最 小にすることが重要である。この目的、及び例えばウェハを偶発的に落とすとい う危険性がなく全長を移送する時間を最小にすることを可能にするという他の目 的のために、循環的な方法においてウェハキャリアーの直線状の移動を制御する こと、好ましくは支持体がウェハの端面に近付くときには非常にゆっくりとした 速度で近付くことが必要であることが判った。このことは、例えばウェハが適宜 に位置しているときに作動状態となる磁気クラッチの使用のような幾つかの適宜 な方法にて達成される。しかしながら、この目的達成のにめの容易で確実な方法 は、循環的な方法、好ましくは例えば第８図を参照し以下に説明するようなりラ ンクと連結棒によってギアモータ（もしくは他のモータ）の直線状の移動を変換 することによって達成されるサイクロイド方法においてウェハキャリアーに関す る動作制御手段を駆動することである。同じ方法において、例えばカセットから 作業場所への配送区間の一つもしくは複数の中間点及び／又は終点にて、ウェハ が移送されるときの直線的な速度を遅べすることができる。そのような中間点に おいて、ウェハは、例えば識別マークが検出され、あるいは所定の時間、例えば ウェハがレーザにて標識されるわずかな間、移送を停止することができる。適宜 な循環的な駆動は、例えば区間の両端において傾斜したサイン曲線的な加速及び 減速を行うことができ、このように区間の終端においてウェハの正確な位置決め が容易に行うことができる。

上述のことを要約すれば、本発明は、カセット内に蓄えられている積み重ねられ たウェハから個々のウェハを移送するのに特に便利である。この目的のために、 本発明の装置は、（ａ）フレーム上に滑動可能に装荷されるヨークと、（ｂ）ヨ ークに堅持され、ヨークから外側にカセットに相当する寸法、即ちカセットの高 さあるいは幅より長い距離に延びるライザーと、 （ｃ）ライザーに堅持され、少なくとも二つのホイールが装着されているブリセ ンタと、を備えており、 装着されるブリセンタとホイールは、ウェハキャリアーが開かれた部分から閉ざ されｌ二部分へ移動するときカセット内の隣接しＩニウェハ間で適合するように 十分薄いものである。

このような装置は、単にウェハを整列させにり、ウェハをカセット内で取り替え たりするように使用することができ、あるいはカセットの外部の場所ヘウエハを 配送するように使用することができ、又、直線状のウェハの移動の前、中間、後 にて随意にウェハ整列させることができる。そのような配送においては、上記装 置は好ましくはさらに （６）カセット内でウェハが取り上げられる場所と、ウェハキャリアーにて運ば れたウェハがカセットより完全に外れそしてウェハキャリアーかウェハを離すた めに開かれ乙部分へ移動することができる場所との間を移動するウェハキャリア 一手段、を備えている。

ホイールを運搬するヨークは、水平及び垂直な支持構造物にて構成することがで きる。垂直な支持構造物において、該支持構造物が開かれた部分にあるとき、ヨ ーク／ブリセンタ機構を介してカセットを横方向（ブリセンタの動作に対して水 平及び垂直に）に移送するために必要な公差を設けることが可能である。このこ とは、連続的な装置動作が行えることを可能にするにヌに一つもしくは複数の付 加されたカセットを一列に並べることを可能にするものである。昇降器における °作業′場所に位置しない“処理された°カセットは、通常の装置の作動中に“ 処理されていない”カセットと交換することができる。もし、ブリセンタ構造物 が水平的に構成されているならば、よりコンパクトな機構が設計可能であるが、 一つのカセットの作動に限定されてしまう。

第１図ないし第５図において、これらはカセット５１内にほぼ予備整列され、そ してウェハの周囲上に整列平面を有し、横方向に及び回転方向に整列されるウェ ハ５０に関する好ましい装置を示している。上記装置は、 固定された直線状の滑走部２に堅持され、（ａ）滑走部２に沿って直線的な移動 とともに滑動する第１のヨーク３と、（ｂ）ヨーク３゛に堅持され、ヨークの滑 動部分の上部に支持プラットホームが位置するカセットの最上の溝に届くのに十 分な高さを有する第１のライザー４と、（Ｃ）ライザー４に堅持される第１のブ リセンタ５と、（ｄ）ブリセンタ５に装着され、ウェハと同じ水平面にて自由に 回転可能であり、第４図にさらに詳細が示されている、フランジ１８１と弾力性 のある駆動表面１８２とがそれぞれに設けられる二つのフランジ付ホイール１８ と、 （ａ）第１のヨークと同様に滑走部、あるいは第１のヨークによって使用される 滑走部に平行な滑走部に沿って直線的に移動するとともに滑動する第２のヨーク ６と、（ｂ）ヨーク６に堅持され第１のライザと同様の高さを有する第２のライ ザー７と、（Ｃ）ライザー７に堅持される第２のブリセンタ８と、（ｃｌ）ブリ センタ８に装着され、ウェハと同一水平面にて回転可能であり、ホイール１８と 同一で条る二つのフランジ付ホイール１９と、を備える装荷フレームｌと、ウェ ハが正確に整列されたことを示すセンサ９と、ヨークと同じ滑走部、あるいはヨ ークによって使用される滑走部に平行な滑走部上で滑動し、直線状のアクチュエ ータ１３と、開かれた部分と閉ざされた部分との間のヨークの制限され１こ相関 する移動を可能にするような大きさでそのような位置に設けられる溝を介してそ れぞれのヨークに取り付けられる、溝付のプレート１０と、一つのヨークの両端 に取り付けられ、レバーに固定されるカムフォロアベアリング２０（あるいはレ バーの一端に取り付けられる湾曲した部材あるいはテンシジンリンクがカムフォ ロアの代わりに使用することができる）を何し、固定されたストッパ２１．２２ が一直線状に整列される、レバー１１と、 ヨークに取り付けられ、ウェハに損傷を与えることなくフランジ付ホイール間に ウェハを配置し保持するのに十分な軽くそして制御された力にて互いの方向にヨ ークを引っ張っているテンションスプリング１２と、 レバー１１に堅持され、スプリング１２とストッパ２１．２２との組み合わせに て、ヨーク間及び装荷フ１ノ−ムに関係してヨークの移動を制御する、直線状の アクチュエータ１３と、装荷フレームに固定され、カセット内に格納されるそれ ぞれのウェハがブリセンタの平面に順番に位置決めされるようにカセットを昇降 可能な昇降器１４と、 を備えている。

第１図及び第５図に示される装置の動作において、大まかに予備整列されたウェ ハ５０が装荷されているカセット５１は、昇降器１４上に配置される。ウェハキ ャリアは開かれに部分に存在する。最も下のウェハは、ブリセンタ上のホイール の平面に昇降器によって索引が付けられる。

直線状のアクチュエータ１３は、レバーの支点がストッパ２１に接触する限界位 置から移動を開始し、このようにすることで、ブリセンタを開かれた部分に位置 させることができる。直線状のアクチュエータが溝の設けられたプレート１１を 移動させるので、溝付きのプレートは、テンションスプリング】２によって引っ 張られる支点２０についてし７＜−１ｏが回転可能な間、第１のヨークをブリセ ンタとともにウェハの方向に移動させる。第２のヨーク６及びブリセンタ８は、 上記スプリングの力のもと、レバー１１の他端によって他の端部よりウェハ方向 に移動する。ホイール１８．１９がウェハに接触することで、ウェハはホイール の傾斜のついたフランジによって持ち上げられ、そしてホイールがウェハ上に近 接したとき、基準平面が自動的に整列され、スプリング１２０力によつて共に移 動する一対のホイールにてウェハの中心が合わされる。ホイールの周囲がウェハ に接触したとき、ホイールが互いに近付くことが停止される。この時点にて、整 列検出スイッチ９が作動し上記基準平面が正しく配置されたことを指示する。こ の時点にて、もし基準平面が配置されていない場合、制御システムは直線状のア クチュエータの作動を停止し不実施信号を送出する。もし基準平面が正しく位置 しているならば、直線状のアクチュエータは連続して動作しウェハをカセットの 外部へ移動させる。それぞれのブリセンタ及びウェハとともに二つのヨークがま とまったアッセンブリとして外部へ移動する間、ヨークはスプリング１２によっ て事実状互いに結合され、ウェハによって離れて保持される。もしアッセンブリ の速度が非常に速く変化するならば、慣性力及び摩擦力がスプリングの張力より 強くなり、したがってウェハを移送中に離してしまったり、移送ルートの他端に てウェハに過大な圧縮力が加わり、それによってウェハを損傷させてしまう。こ のようなことを防ぐために、検出スイッチ９によって制動されているときヨーク をそれぞれの位置に固定するような、磁気的な、あるいはこれと同様のブレーキ ２３を使用することができる。

ライザのアッセンブリであるブリセンタ及び支持ヨークは、プラットホーム上に 位置するカセットがブリセンタの作業場所内へ及び上記作業場所より横方向に移 送可能なように必要な許容差を有して組み立てられる。カセット移送機構は、“ 処理済”カセットが操作者あるいはロボットカセット装荷器によって交換される 間、連続的に機械が動作可能なように自動化することができる。プラットホーム とともにこのようなカセットが作業場所に位置するとき、昇降器はプリセツタの 作業面へ順番にそれぞれのウェハが符号付けされるようにプラットホームを持ち 上げｒこりプラットホームに連動したりする。

第６図を参照１７、本図は整列ノツチ５２を有するウェハ５０に関して整列セン サであるピン１９の使用を示している。ピン１９は、ウェハ５０の周囲面にスプ リングにて圧接され、ウェハが整列したときにはノツチ内に入り込む。又、第６ 図には要求される整列となるようにウェハ５０を回転させるためのフランジ付ホ イール１８に接続されるモータ１５が示されている。ピン１９がノツチ５２に入 ったとき、モータ１５の動作を止める検出スイッチ９が作動する。

第７図を参照し、本図はプラットホーム２５上に装荷される複数のカセットが、 どのように第１図ないし第５図に示す装置に連続的に供給することができるかを 示している。

第８図を参照し、取り上げ位置、離脱位置及びその中間位置においてサイン曲線 的な休止を行い、それらの休止箇所の両端にてサイン曲線的に傾斜し乙加速を行 う、サイクロイド駆動手段か例えば第５図に示すように電気的モータと直線状の アクチュエータとの間に、どのようにして取り付は可能であるかを本図は示して いる。これらのことはモータ駆動のり−ドねじ（あるいは同様の機械）によって 一定の速度にて駆動されるサイクロイド駆動機構によって達成される。

サイクロイド駆動機構は、一端が第２のヨーク取り付けら机、駆動ハウジング内 のベアリングに装着された回転可能なビニオンに取り付けられるクランクに他端 が取り付けられる接続棒を備えている。

それは、駆動ハウジングが移動するときそれとクランクを回転させる歯車状のラ ックに沿って移動する。クランクピンは、ビニオンの半径と同一あるいはそれに 近い半径の位置に設けられ、よってクランクピンは自転車の車輪のバルブの動き に同様であるサイクロイド曲線に沿って移動する。クランクピンは、移動期間中 二つの完全な回転運動を介して回転するように配置され、そしてこのように配置 することでストロークの１／４の箇所において最大速度となるサイン曲線的な傾 きの加速が行なわれ、ウェハが取り上げられる箇所であるストロークの１／２の 箇所において停止するまで減速され、ストロークの３／４の箇所において最大速 度まで上述した加速がなされ、ストロークの終端において速度０まで緩やかに減 速することが可能となる。モータ“停止”スイッチをこの場所に近接させること で、非常に正確な位置決わが達成される。

浄書（内容に変更なし） １１ｎ口ｌ逼 −〕ＦＩＧ 駈； 平成　３年　１月２８日 ＰＣＴ／ＵＳ８８１０１７２８ ２、発明の名称 シリコンウェハの整列方法及びその装置３、補正をする者 事件との関係　特許出願人 名称　バイン・デザイン・インコーホレイテッド４、代理人 平成　２年　９月　４日（発送日） ６、補正の対象 図面の翻訳文 ７、補正の内容 別紙の通り 国際調査報告 ｌＮ１ｅ”ａ１４ＮＩｌ　ｉｌｅｓｌｇａｂｅｅ　ｌｉｅ、　ｐＣＴ／υ５８８ １０１７２８ｌｙ＋ｅ！ｈａｈ噛ＩＭＩムＩＩＩＩＩＩＩＵＩＩＩＮ〜”ＰＣ〒 ＩＰ＜８８１６＋ｉう只

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．ウエハの周囲のみに接触するウエハ支持体によってのみ支持しているウエハ を備える個々のシリコンウエハ移送方法。 ２．ウエハ支持体のみによって支持され接触されている間、要求される整列がな されるまでウエハを移動するように移動するウエハ支持体を備えた請求項１記載 のシリコンウエハ移送方法。 ３．（ａ）第１の対のホイールの軸を含む平面が第２の対のホイールの軸を含む 平面に平行に維持され、ウエハの中心がこれら二つの対のホイール間に存在する 、ウエハの水平面において回転可能な第１及び第２の対のホイールを備えたウエ ハ支持体と、（ｂ）互いの方向に押し進められ、そしてそうすることでウエハの 中心が、（ａ）円板の平面における第１の対のホイールの軸を結んでいる線の中 心点と（ｂ）円板の平面における第２の対のホイールの軸を結んでいる線の中心 点とを結ぶ線上に存在するようにウエハを整列させる第１及び第２のホイールの 対と、を備えた請求項２記載のシリコンウエハ移送方法。 ４．ウエハは、その周囲に円板のコードである整列平面部あるいは整列ノッチを 有する一般的に円形状の板の形態であり、要求される回転の整列へウエハを回転 させるように移動させるウエハ支持体を有する、請求項２もしくは３記載のシリ コンウエハ移送方法。 ５．（１）装荷フレームと、 （２）（ａ）フレーム上に移動可能に装荷され（ｂ）複数のウエハ支持体と、 （ｃ）（ｉ）移送されたウエハがウエハの周囲とウエハ支持体との間で接触する ことで単独に支持可能な閉ざされた部分と、（ｉｉ）整列されたウエハがウエハ キャリア間を自由に通過可能な開かれた部分との間を互いに移動可能な、少なく とも二つのウエハキャリアと、を備えた上記の請求項のいずれか一つに記載の方 法の使用に関し適宜な装置。 ６．ウエハ支持体は、整列されるようにウエハの水平面において回転する回転可 能な複数のホイールを備えた請求項５記載の装置。 ７．少なくとも幾つかのホイールは、ウエハ支持体間でウエハとともに開かれた 部分から閉ざされた部分へウエハキャリアが移動するとき、ウエハがウエハの表 面に直角方向に移動するようにホイールの回転軸方向に傾いたフランジを備えた 請求項６記載の装置。 ８．少なくとも幾つかのホイールは、ホイールによって支持されるウエハの周面 を押しやる弾性力のある物質を備えた請求項６あるいは７記載の装置。 ９．（３）閉ざされた部分の方向へウエハキャリアを連続的に及び間欠的に押し 進める閉じ込め手段と、 （４）（１）ウエハキャリアが開かれた部分にあるとき、閉じ込め手段によって 作用する力を減少させ、（ｉｉ）制御された方法においてウエハキャリアが閉ざ された部分へ移動することを許容するように作動可能な、動作制御手段と、をさ らに備えた請求項５ないし８のいずれか一つに記載の装置。 １０．ウエハキャリアが閉ざされた部分へ移動するとき、動作制御手段の画線的 な速度が相対的に遅くなるような周期的な方法において動作制御手段を駆動する 電気的モータをさらに備えた請求項９記載の装置。 １１．動作制御手段はサイクロイド方法において駆動される請求項１０記載の装 置。 １２．ウエハの水平面にて回転する回転可能なホイールを有するウエハ支持体と 、二つのウエハキャリアを有するカセット内に一定の間隔にて格納されているウ エハから個々のウエハを移送するように使用され、上記ウエハキャリアのそれぞ れが、（ａ）フレーム上に滑らかに装荷されるヨークと、（ｂ）ヨークに堅持さ れ、カセットに相当する寸法よりより大きい距離にてヨークから外側に延びるラ イザーと、（ｃ）ライザーに堅持され、少なくとも二つのホイールが装荷される プリゼンタと、を有し、 装着されるプリゼンタとホイールはウエハキャリアが開かれた部分から閉ざされ た部分へ移動するとき、カセット内の隣接したウエハ間に適合するのに十分薄い ものである、請求項６ないし１１のいずれかに記載の装置。 １３．カセットからウエハを抜き取ったりカセットの外部の場所へそのウエハを 配送するために使用され、さらに（６）（ｉ）カセット内のウエハが取り上げら れる取上場所と、（ｉｉ）ウエハキャリアにて運ばれたウエハが完全にカセット より外れ、そしてウエハキャリアがウエハを離すために開かれた部分へ移動可能 な解放場所との間をウエハキャリアが移動するための手段、を備えた請求項１２ 記載の装置。 １４．それぞれのプリゼンタは、プリゼンタに装着され回転可能であり、ウエハ キャリアが開かれた部分と閉じられた部分との間を移動するときそれぞれの対と なるホイールの軸を含む平面が互いに平行に維持される、一対のホイールを有す る請求項１２もしくは１３記載の装置。 １５．ウエハ支持体は、要求される回転整列へウエハ支持体によって支持される ウエハを回転して移動可能で、さらに、（７）ウエハ支持体にて支持されるウエ ハが、要求される回転整列となるときを決定する手段、を備えた請求項５ないし １４のいずれかに記載の装置。 １６．ウエハの水平面にて回転し、さらに、ホイールによって支持されるウエハ が不正確に回転して整列されたとき少なくとも二つのホイールを駆動するように 作動可能な電気的モータと、上記ウエハが正確に整列され回転することをセンサ が決定したときモータを停止する手段、を有する回転可能なホイールを有するウ エハ支持体を備えた請求項１５記載の装置。 １７．モータは、ウエハが回転して正確に整列されたことをセンサが決定した後 非常に短い時間にてモータを流れる電流の向きを逆転することで急停止すること ができる、請求項１６記載の装置。 １８．モータによって駆動される少なくとも幾つかのホイールは、ホイールによ って支持されるウエハの周囲に向かって押し付ける弾力性のある物質を有する、 請求項１６もしくは１７記載の装置。 １９．請求項５ないし１８のいずれかに請求される装置を使用して実行される請 求項１ないし４のいずれかに記載の手段。 ２０．請求項１ないし４及び１９のいずれかに請求される手段によって移送され 、両面にエッチングされ、メッキされ、他の修正がなされるシリコンウエハ。