JPH03181316A - Ｎｆ↓３の除害方法 - Google Patents
Ｎｆ↓３の除害方法Info
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- JPH03181316A JPH03181316A JP1320477A JP32047789A JPH03181316A JP H03181316 A JPH03181316 A JP H03181316A JP 1320477 A JP1320477 A JP 1320477A JP 32047789 A JP32047789 A JP 32047789A JP H03181316 A JPH03181316 A JP H03181316A
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- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02A—TECHNOLOGIES FOR ADAPTATION TO CLIMATE CHANGE
- Y02A50/00—TECHNOLOGIES FOR ADAPTATION TO CLIMATE CHANGE in human health protection, e.g. against extreme weather
- Y02A50/20—Air quality improvement or preservation, e.g. vehicle emission control or emission reduction by using catalytic converters
Landscapes
- Treating Waste Gases (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、ＮＦ３の除害方法に係り、特に、酸化性ガス
が共存しているガス中からＮＰ、を効率よく分解するこ
とのできるＮＦ３の除害方法に関する。
が共存しているガス中からＮＰ、を効率よく分解するこ
とのできるＮＦ３の除害方法に関する。
ＮＦ３は、ロケット燃料のほか、最近では超ＬＳＩのエ
ツチングガスやＣＶＤのクリーニングガスとして使用さ
れている。しかしながら、このガスは常温できわめて安
定であると同時に水に対する溶解度も低く、かつまた、
ＴＬＶ値が１０ｐｐｍとされており、除害すべきではあ
るが処理困難な物質の１つである。
ツチングガスやＣＶＤのクリーニングガスとして使用さ
れている。しかしながら、このガスは常温できわめて安
定であると同時に水に対する溶解度も低く、かつまた、
ＴＬＶ値が１０ｐｐｍとされており、除害すべきではあ
るが処理困難な物質の１つである。
ＮＦ３の除害方法としては、
（１） 炭素塊と３００〜６００℃で反応させる方法
（特開昭６２−２３７９２９号公報）（２） 金属チ
タンと２００℃以上の温度で接触させる方法（特開昭６
１−２８７４２４号公報〉（３） 金属シリコンと１
００℃以上で反応させる方法（特開昭６３−１２３２２
号公報）（４）金属タングステンないし、金属モリブデ
ンと２５０℃以上の温度で接触させる方法（特開昭６２
−２２５２２８号公報） がある。
（特開昭６２−２３７９２９号公報）（２） 金属チ
タンと２００℃以上の温度で接触させる方法（特開昭６
１−２８７４２４号公報〉（３） 金属シリコンと１
００℃以上で反応させる方法（特開昭６３−１２３２２
号公報）（４）金属タングステンないし、金属モリブデ
ンと２５０℃以上の温度で接触させる方法（特開昭６２
−２２５２２８号公報） がある。
従来技術は、いずれも単体とＮＦ３を高温で反応させる
方法を採用しているが、この際０２やＮ２０Ａ、’ｉ’
の酸化性の物質が共存すると、処理剤として使用した金
属がこれらと反応し、無駄に消耗されると同時に、酸化
された金属ないし０．やＮ２（）そのものとＮＦ３が反
応し、窒素酸化物が副生じ、これらを別途処理する方策
を講じなければならない。
方法を採用しているが、この際０２やＮ２０Ａ、’ｉ’
の酸化性の物質が共存すると、処理剤として使用した金
属がこれらと反応し、無駄に消耗されると同時に、酸化
された金属ないし０．やＮ２（）そのものとＮＦ３が反
応し、窒素酸化物が副生じ、これらを別途処理する方策
を講じなければならない。
また、（］２やＮ２０等はＣ１，やＦ２等の酸化性物質
と異なり、常温での反応性が乏しく、事前にこれらのみ
を除去しておくことも困難である。
と異なり、常温での反応性が乏しく、事前にこれらのみ
を除去しておくことも困難である。
そこで、本発明は、上記の問題点を解消し、酸化性ガス
の共存下においてもＮＦ、を有効に除去し、また、副生
ずる窒素酸化物も除去することのできるＮＦ３の除害方
法を提供することを目的とする。
の共存下においてもＮＦ、を有効に除去し、また、副生
ずる窒素酸化物も除去することのできるＮＦ３の除害方
法を提供することを目的とする。
上記目的を達成するために、本発明では、酸化生ガスと
ＮＦ３とを含むガスを、遷移金属の酸化物と２５０℃以
上の温度で接触させ、ＮＦ３中のふっ素を該金属のふつ
化物として酸化物表面に固定し、窒素はＮＯ及び／又は
ＮＯ２に変換して吸着剤により吸着除去することを特徴
とするＮＦｓの除害方法、としたものである。
ＮＦ３とを含むガスを、遷移金属の酸化物と２５０℃以
上の温度で接触させ、ＮＦ３中のふっ素を該金属のふつ
化物として酸化物表面に固定し、窒素はＮＯ及び／又は
ＮＯ２に変換して吸着剤により吸着除去することを特徴
とするＮＦｓの除害方法、としたものである。
すなわち、本発明は、酸素及び／又は亜酸化窒素専の酸
化性ガスが共存する排ガス中に含まれるＮＦ３を処理す
るにあたって、まず第１に鉄、マンガン、銅等の遷移金
属の酸化物と２５０℃以上の温度で接触させＮＦ、中の
ふっ素については該金属のふつ化物として酸化物表面上
に固定し、窒素についてはＮＯ及び／又はＮＯ，に変換
する。第２に、ここで発生したＮＯ及び／又はＮＯ２を
活性炭・アルミナ・シリカゲル・モレキュラーシーブ・
ＭｎＯ２・ＣｕＯ・ホブカライド等の吸着剤で吸着する
。これらの一連の工程により酸素および／または亜酸化
窒素等の共存下にあるＮＰ。
化性ガスが共存する排ガス中に含まれるＮＦ３を処理す
るにあたって、まず第１に鉄、マンガン、銅等の遷移金
属の酸化物と２５０℃以上の温度で接触させＮＦ、中の
ふっ素については該金属のふつ化物として酸化物表面上
に固定し、窒素についてはＮＯ及び／又はＮＯ，に変換
する。第２に、ここで発生したＮＯ及び／又はＮＯ２を
活性炭・アルミナ・シリカゲル・モレキュラーシーブ・
ＭｎＯ２・ＣｕＯ・ホブカライド等の吸着剤で吸着する
。これらの一連の工程により酸素および／または亜酸化
窒素等の共存下にあるＮＰ。
を完全に除去し、かつ外部環境に対して支障のある物質
を一切排出しない方法を提供するものである。
を一切排出しない方法を提供するものである。
ＮＦ３（化学的に処理する場合には、高温で反応を’ｔ
ｉＩ＆わなければならないことは、従来技術からち１す
１らかである。その際に、０２やＮ、０等の酸化性物質
が共存すれば、従来技術のように、金１ｉ１ｉ”、９４
そのままＮＦ、の処理剤に使用するかぎり、酸化されて
しまいＮＦ３の処理に役立たなくなったり、ＮＯやＮＯ
２の生成が起きたりして、所期の１−１的を達すること
ができないのは避けられない。
ｉＩ＆わなければならないことは、従来技術からち１す
１らかである。その際に、０２やＮ、０等の酸化性物質
が共存すれば、従来技術のように、金１ｉ１ｉ”、９４
そのままＮＦ、の処理剤に使用するかぎり、酸化されて
しまいＮＦ３の処理に役立たなくなったり、ＮＯやＮＯ
２の生成が起きたりして、所期の１−１的を達すること
ができないのは避けられない。
そこで、Ｆｅ−Ｍｎ−Ｃｕ等の遷移元素の酸化物を処理
剤とし、２５０℃以上の温度において、ＮＦ。
剤とし、２５０℃以上の温度において、ＮＦ。
と１］２やＮ、０を含むガスと接触させ処理を行う。
処Ｐｌ剤は、既に酸化されているので０２やＮ２０の共
７１：による影響をうけずにＮＦ、と反応し、従って処
Ｊｌｌｌｈ１１の処理能力は、０□やＮ、Ｏの量に依ら
ず一定したものとなる。なお、酸化物としてはアルミナ
やシリカ等の軽元素のものもあるが、これらは活性が低
く２５０〜３００℃程度では、ＮＦ３とはあまり反応し
ない。
７１：による影響をうけずにＮＦ、と反応し、従って処
Ｊｌｌｌｈ１１の処理能力は、０□やＮ、Ｏの量に依ら
ず一定したものとなる。なお、酸化物としてはアルミナ
やシリカ等の軽元素のものもあるが、これらは活性が低
く２５０〜３００℃程度では、ＮＦ３とはあまり反応し
ない。
酸化物とＮＦ２との反応において、ＮＦｓ中のふっ素は
ぶつ化物として処理剤表面に固定されるが、窒素につい
てはＮＯ及び／又はＮＯ□に変換されて排出される。Ｎ
Ｏ及び／又はＮＯ２は、ＴＬＶ値がそれぞれ２５ ｐｐ
ｍと３ ｐｐｍであり、そのまま排出するべきではない
ので、引き続き活性炭・アルミナゲル・モレキュラーシ
ーブ・ＭｎＯ２・ＣｕＯ・ホブカライド等の吸着剤で吸
着除去し完全に無毒化した処理ガスのみを排出する。
ぶつ化物として処理剤表面に固定されるが、窒素につい
てはＮＯ及び／又はＮＯ□に変換されて排出される。Ｎ
Ｏ及び／又はＮＯ２は、ＴＬＶ値がそれぞれ２５ ｐｐ
ｍと３ ｐｐｍであり、そのまま排出するべきではない
ので、引き続き活性炭・アルミナゲル・モレキュラーシ
ーブ・ＭｎＯ２・ＣｕＯ・ホブカライド等の吸着剤で吸
着除去し完全に無毒化した処理ガスのみを排出する。
〔実施例〕
以下、実施例により本発明を具体的に説明するが、本発
明はこれらの実施例に限定されるものではない。
明はこれらの実施例に限定されるものではない。
実施例１〜３
４０φのＳＵＳ製容器に、層高５０ｍｍになるように処
理剤を充てんし、処理剤層の中心温度が、３５０℃±５
０℃になるよう外部からヒータで加熱し、Ｎ２ガスで希
釈したＮＦ、を０．５ｊ！／ｍｉｎで流す。出口側のＮ
Ｐ３濃度をガスクロマトグラフィーにより追跡し、ＴＬ
Ｖ値１０ｐｐｍを超えるまで処理を行い、それ迄に導入
したＮＰ。
理剤を充てんし、処理剤層の中心温度が、３５０℃±５
０℃になるよう外部からヒータで加熱し、Ｎ２ガスで希
釈したＮＦ、を０．５ｊ！／ｍｉｎで流す。出口側のＮ
Ｐ３濃度をガスクロマトグラフィーにより追跡し、ＴＬ
Ｖ値１０ｐｐｍを超えるまで処理を行い、それ迄に導入
したＮＰ。
の容積と処理剤の容積から処理能力を求め比較する。同
５．ｆに、処理剤層出口でＮＯとＮ口、の発生ｉ１０）
合計量を、窒素酸化物用の検知管で、またフン素化合物
発生量を、アルカリ溶液吸収−イオンク０マドグラフィ
ーにより求め、処理反応に伴って生成する副生成物量を
求めた。
５．ｆに、処理剤層出口でＮＯとＮ口、の発生ｉ１０）
合計量を、窒素酸化物用の検知管で、またフン素化合物
発生量を、アルカリ溶液吸収−イオンク０マドグラフィ
ーにより求め、処理反応に伴って生成する副生成物量を
求めた。
実施例１では、１ＩＩｌｆｆｌφのＣｕ線を１０ｍｍの
長さに切断したものを処理剤とし、ＮＦ、を２％として
処理４行った。表−１に示すようにＮＯ・ＮＯ２・Ｆの
発生はなく、１５ ｆ−ＮＰ、／Ｉｔの処理能力を示し
た。
長さに切断したものを処理剤とし、ＮＦ、を２％として
処理４行った。表−１に示すようにＮＯ・ＮＯ２・Ｆの
発生はなく、１５ ｆ−ＮＰ、／Ｉｔの処理能力を示し
た。
実ｈｈ例２では、実施例１と同一条件で、０２を２％に
なるように添加して処理を行った。同じく表 １に示す
ように、０□の添加により、処理剤が０２とも反応して
処理能力がＡ程度になると同時に、導入したＮＦ３とほ
ぼ等量のＮＯ・Ｎ０２の発生が認められた。
なるように添加して処理を行った。同じく表 １に示す
ように、０□の添加により、処理剤が０２とも反応して
処理能力がＡ程度になると同時に、導入したＮＦ３とほ
ぼ等量のＮＯ・Ｎ０２の発生が認められた。
実施例３では、実施例２と同一条件で、処理剤を針状の
Ｃｕから７〜２０ｍｅｓｈの粒状のＣｕＯに換えて処理
を行った。ＮＯ・Ｎ０２の発生量は実施例２とほぼ同じ
であるが、ＮＦ３処理能力は実施例１と同等以上あった
。
Ｃｕから７〜２０ｍｅｓｈの粒状のＣｕＯに換えて処理
を行った。ＮＯ・Ｎ０２の発生量は実施例２とほぼ同じ
であるが、ＮＦ３処理能力は実施例１と同等以上あった
。
実施例４〜７
実施例３と同二装置・同一条件で、処理剤を同一粒径の
Ｆｅｚｅ３・Ｍｎ０ｚ ｅ ＳｉＯ□’ Ａｌ２Ｏ３に
換えて処理を行った。結果を表−２に一括して示す。
Ｆｅｚｅ３・Ｍｎ０ｚ ｅ ＳｉＯ□’ Ａｌ２Ｏ３に
換えて処理を行った。結果を表−２に一括して示す。
Ｆｅ、Ｎ３やＭｎＯ２は、Ｃｕ１ｌと同様に充分な処理
が可能であるが、５１０２やＡｌ２Ｏ，の場合は、処理
開始直後にＮＦ３が人口濃度とほぼ同等の濃度に達して
しまった。
が可能であるが、５１０２やＡｌ２Ｏ，の場合は、処理
開始直後にＮＦ３が人口濃度とほぼ同等の濃度に達して
しまった。
実施例８
実施例３と同一条件でＮＦ３処理を行い、処理後のガス
を４０φのカラムに層高５０ｍｍになるよう充てんした
８〜１２ｍｅＳｈの活性炭に常温下で流しＮＯ及びＮＯ
２を処理した。その結果、前段に設けたＣｕＯで処理し
たＮＦ３が約９１！−ＮＰ、／１処理剤になた時点、す
なわちＣｕＯのＮＦ３処理能力の約２を消賀した時点で
ＮＯとＮ０２の合計量がｌ Ｑ ｐｐｍをこえた。
を４０φのカラムに層高５０ｍｍになるよう充てんした
８〜１２ｍｅＳｈの活性炭に常温下で流しＮＯ及びＮＯ
２を処理した。その結果、前段に設けたＣｕＯで処理し
たＮＦ３が約９１！−ＮＰ、／１処理剤になた時点、す
なわちＣｕＯのＮＦ３処理能力の約２を消賀した時点で
ＮＯとＮ０２の合計量がｌ Ｑ ｐｐｍをこえた。
〔発１！Ｊ１の効果〕
本発明によれば、ＮＦ３の除害処理において０２やＮ２
［］等の酸化性ガスが共存してもこれらの妨害をうける
ことなく ＮＦ、を効率よく除去することができる。
［］等の酸化性ガスが共存してもこれらの妨害をうける
ことなく ＮＦ、を効率よく除去することができる。
ＴＩ’ ＋ｉ’ｌ出軸人
同
同
代 坤 人
同
株式会社荏原総合研究所
荏原インフィルコ株式会社
株式会社 荏原製作所
吉 嶺 桂
松 １） 大
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、酸化性ガスとＮＦ＿３とを含むガスを、遷移金属の
酸化物と２５０℃以上の温度で接触させ、ＮＦ＿３中の
ふっ素を該金属のふっ化物として酸化物表面に固定し、
窒素はＮＯ及び／又はＮＯ＿２に変換して吸着剤により
吸着除去することを特徴とするＮＦ＿３の除害方法。 ２、遷移金属の酸化物が、鉄、マンガン、銅の酸化物か
ら選ばれた１種以上からなる請求項１記載のＮＦ＿３の
除害方法。 ３、吸着剤が、活性炭・アルミナ・シリカゲル・モレキ
ュラーシーブ・ＣｕＯ・ＭｎＯ＿２・ホプカライトから
選ばれた１種以上からなる請求項１記載のＮＦ＿３の除
害方法。 ４、酸化性ガスが、酸素及び／又は亜酸化窒素からなる
請求項１記載のＮＦ＿３の除害方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1320477A JPH03181316A (ja) | 1989-12-12 | 1989-12-12 | Ｎｆ↓３の除害方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1320477A JPH03181316A (ja) | 1989-12-12 | 1989-12-12 | Ｎｆ↓３の除害方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03181316A true JPH03181316A (ja) | 1991-08-07 |
Family
ID=18121882
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1320477A Expired - Lifetime JPH03181316A (ja) | 1989-12-12 | 1989-12-12 | Ｎｆ↓３の除害方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03181316A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06319947A (ja) * | 1993-05-10 | 1994-11-22 | Ube Ind Ltd | エッチング排ガス除害剤及びその使用方法 |
| EP0666101A1 (en) * | 1994-02-03 | 1995-08-09 | MITSUI TOATSU CHEMICALS, Inc. | Exhaust gas treating agent and a method of treating exhaust gas using the agent |
| WO2001023073A1 (fr) * | 1999-09-30 | 2001-04-05 | L'air Liquide, Societe Anonyme À Directoire Et Conseil De Surveillance Pour L´Etude Et L´Exploitation Des Procedes Georges Claude | Dispositif de traitement de gaz d'echappement |
| WO2010095512A1 (ja) * | 2009-02-23 | 2010-08-26 | セントラル硝子株式会社 | 三フッ化窒素の分解方法及び分解装置 |
| JP2021164904A (ja) * | 2020-04-07 | 2021-10-14 | セントラル硝子株式会社 | Ｎ２ｏの処理方法及びｎ２ｏの除害装置 |
| CN114761106A (zh) * | 2019-12-13 | 2022-07-15 | 通用电器技术有限公司 | 过渡金属氧化物用于从气体去除氟化副产物的用途、用于去除这样的副产物的设备和方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63137736A (ja) * | 1986-11-28 | 1988-06-09 | Asahi Glass Co Ltd | エッチング排ガス除害方法 |
-
1989
- 1989-12-12 JP JP1320477A patent/JPH03181316A/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63137736A (ja) * | 1986-11-28 | 1988-06-09 | Asahi Glass Co Ltd | エッチング排ガス除害方法 |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06319947A (ja) * | 1993-05-10 | 1994-11-22 | Ube Ind Ltd | エッチング排ガス除害剤及びその使用方法 |
| EP0666101A1 (en) * | 1994-02-03 | 1995-08-09 | MITSUI TOATSU CHEMICALS, Inc. | Exhaust gas treating agent and a method of treating exhaust gas using the agent |
| WO2001023073A1 (fr) * | 1999-09-30 | 2001-04-05 | L'air Liquide, Societe Anonyme À Directoire Et Conseil De Surveillance Pour L´Etude Et L´Exploitation Des Procedes Georges Claude | Dispositif de traitement de gaz d'echappement |
| JP2001096135A (ja) * | 1999-09-30 | 2001-04-10 | Air Liquide Japan Ltd | 排ガス処理装置 |
| JP4545852B2 (ja) * | 1999-09-30 | 2010-09-15 | 日本エア・リキード株式会社 | 排ガス処理装置 |
| WO2010095512A1 (ja) * | 2009-02-23 | 2010-08-26 | セントラル硝子株式会社 | 三フッ化窒素の分解方法及び分解装置 |
| CN114761106A (zh) * | 2019-12-13 | 2022-07-15 | 通用电器技术有限公司 | 过渡金属氧化物用于从气体去除氟化副产物的用途、用于去除这样的副产物的设备和方法 |
| JP2021164904A (ja) * | 2020-04-07 | 2021-10-14 | セントラル硝子株式会社 | Ｎ２ｏの処理方法及びｎ２ｏの除害装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
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