JPH03154108A - 磁気軸受の制御装置 - Google Patents
磁気軸受の制御装置Info
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- JPH03154108A JPH03154108A JP29355589A JP29355589A JPH03154108A JP H03154108 A JPH03154108 A JP H03154108A JP 29355589 A JP29355589 A JP 29355589A JP 29355589 A JP29355589 A JP 29355589A JP H03154108 A JPH03154108 A JP H03154108A
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- rotation axis
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 33
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 13
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 3
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 3
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/04—Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
- F16C32/0406—Magnetic bearings
- F16C32/044—Active magnetic bearings
- F16C32/0444—Details of devices to control the actuation of the electromagnets
- F16C32/0446—Determination of the actual position of the moving member, e.g. details of sensors
- F16C32/0448—Determination of the actual position of the moving member, e.g. details of sensors by using the electromagnet itself as sensor, e.g. sensorless magnetic bearings
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、能動制御型磁気軸受の制御装置に関するもの
である。
である。
従来の技術
電磁石の磁気吸引力を利用して回転軸の空中支持を行う
磁気軸受装置においては、当然のことながら回転軸の位
置を検出し、所定の変位となるよう前記電磁吸引力を制
御する必要がある。
磁気軸受装置においては、当然のことながら回転軸の位
置を検出し、所定の変位となるよう前記電磁吸引力を制
御する必要がある。
上述の従来の磁気軸受装置においては、第４図のような
構成をとっていた。回転軸１を、軸受ステータコア２と
軸受ステータコイル３とからなる電磁石によって支持す
るとともに、位置検出器４にて回転軸１の位置を検出す
る。この検出信号と軸位置基準器５に設定された回転軸
ｌの基準位置とによって、基準位置と回転軸１の実際の
位置のずれ量である偏差信号を比較器６から補償回路７
に出力している。この補償回路７は前記偏差信号にＰＩ
Ｄ補償及び位相補償を施し、増幅器８で電力増幅し前記
軸受ステータコイル３に電圧印加し電磁石を励磁する。
構成をとっていた。回転軸１を、軸受ステータコア２と
軸受ステータコイル３とからなる電磁石によって支持す
るとともに、位置検出器４にて回転軸１の位置を検出す
る。この検出信号と軸位置基準器５に設定された回転軸
ｌの基準位置とによって、基準位置と回転軸１の実際の
位置のずれ量である偏差信号を比較器６から補償回路７
に出力している。この補償回路７は前記偏差信号にＰＩ
Ｄ補償及び位相補償を施し、増幅器８で電力増幅し前記
軸受ステータコイル３に電圧印加し電磁石を励磁する。
磁気軸受の位置検出器４には、たびたび渦電流式変位検
出器が採用され、その動作は次のとおりである。高周波
発振器９の出力信号を検出コイル１０に入力し、交流電
流を発生させる。交流電流が流れている検出コイル１０
が導電体である回転軸１に接近すると、回転軸１に渦電
流が流れて交流磁界を生じ、これが検出コイル１０に作
用して、検出コイル１０のインピーダンスが変化する。
出器が採用され、その動作は次のとおりである。高周波
発振器９の出力信号を検出コイル１０に入力し、交流電
流を発生させる。交流電流が流れている検出コイル１０
が導電体である回転軸１に接近すると、回転軸１に渦電
流が流れて交流磁界を生じ、これが検出コイル１０に作
用して、検出コイル１０のインピーダンスが変化する。
この渦電流効果は検出コイル１０と回転軸１の距離が増
加すれば小さくなるので、両者の距離に応じて検出コイ
ル１０のインピーダンスが決定されることになる。この
インピーダンス変化を同調増幅器１１およびＡＭ検波回
路１２により電圧信号として取り出し、直流増幅器１３
を介して、回転軸１の位置検出信号として前記比較器６
に出力する。
加すれば小さくなるので、両者の距離に応じて検出コイ
ル１０のインピーダンスが決定されることになる。この
インピーダンス変化を同調増幅器１１およびＡＭ検波回
路１２により電圧信号として取り出し、直流増幅器１３
を介して、回転軸１の位置検出信号として前記比較器６
に出力する。
発明が解決しようとする課題
しかしながら上記のような構成では、検出コイルと電磁
石を回転軸スラスト方向に直列に配置する必要があり、
回転軸の長大化ひいては回転軸固有振動数の低下をきた
し、高速回転数での運転が困難となる（第一の課題）。
石を回転軸スラスト方向に直列に配置する必要があり、
回転軸の長大化ひいては回転軸固有振動数の低下をきた
し、高速回転数での運転が困難となる（第一の課題）。
また、高い加工精度を要求される工作機械主軸において
は、位置検出器の精度・分解能回転軸の位置決め精度に
大きな影響を及ぼし、高精度の位置決めを行うにはそれ
に見合う高精度・高分解能な回転軸の位置検出器が必要
となる。磁気軸受の位置検出器としては、回転軸の可動
範囲をカバーする広い測定範囲の位置検出器が必要であ
るが、一般に測定範囲の広い位置検出器程分解能が低く
、高精度な位置決めが困難になる（第２の課題）。
は、位置検出器の精度・分解能回転軸の位置決め精度に
大きな影響を及ぼし、高精度の位置決めを行うにはそれ
に見合う高精度・高分解能な回転軸の位置検出器が必要
となる。磁気軸受の位置検出器としては、回転軸の可動
範囲をカバーする広い測定範囲の位置検出器が必要であ
るが、一般に測定範囲の広い位置検出器程分解能が低く
、高精度な位置決めが困難になる（第２の課題）。
そこで本発明は、上記のような課題を解決するための磁
気軸受の制御装置を提供するものである。
気軸受の制御装置を提供するものである。
課題を解決するための手段
第１発明は上記課題を解決するため、高周波発振器の出
力信号を制御電圧と重畳させて電磁石コイルに印加する
ことにより回転軸に渦電流が流れて発生する交流磁界に
よる前記電磁石コイルのインピーダンス変化を電圧に変
換させる検出回路によって、前記回転軸の位置検出を行
うように構成したことを特徴とするものである。
力信号を制御電圧と重畳させて電磁石コイルに印加する
ことにより回転軸に渦電流が流れて発生する交流磁界に
よる前記電磁石コイルのインピーダンス変化を電圧に変
換させる検出回路によって、前記回転軸の位置検出を行
うように構成したことを特徴とするものである。
また、第２発明は、高周波発振器の出力信号を制御電圧
き重畳させて電磁石コイルに印加することにより回転軸
に渦電流が流れて発生する交流磁界による前記電磁石コ
イルのインピーダンス変化を電圧に変換させる検出回路
によって、回転軸の位置検出を広測定範囲で行う第一の
位置検出手段と、狭測定範囲で高分解能な第二の位置検
出手段とを備え、回転軸位置が第二の位置検出手段の測
定範囲内であれば、この出力信号をフィードバックし、
測定範囲外であれば第一の位置検出手段の出力信号をフ
ィードバックするよう第一・第二の位置検出手段を回転
軸位置によって切換えて用いるように構成したことを特
徴とするものである。
き重畳させて電磁石コイルに印加することにより回転軸
に渦電流が流れて発生する交流磁界による前記電磁石コ
イルのインピーダンス変化を電圧に変換させる検出回路
によって、回転軸の位置検出を広測定範囲で行う第一の
位置検出手段と、狭測定範囲で高分解能な第二の位置検
出手段とを備え、回転軸位置が第二の位置検出手段の測
定範囲内であれば、この出力信号をフィードバックし、
測定範囲外であれば第一の位置検出手段の出力信号をフ
ィードバックするよう第一・第二の位置検出手段を回転
軸位置によって切換えて用いるように構成したことを特
徴とするものである。
作 用
第１発明によれば、電磁石コイルが回転軸の位置検出コ
イルを兼ねるので、従来の検出コイルを省略することが
でき、回転軸の全長を短く抑えることができるので、回
転軸固有振動数を増加させ高速回転が可能となる。
イルを兼ねるので、従来の検出コイルを省略することが
でき、回転軸の全長を短く抑えることができるので、回
転軸固有振動数を増加させ高速回転が可能となる。
また第２発明によれば、回転軸の位置検出を広測定範囲
で行う第一の位置検出手段において、電磁石コイルが回
転軸の位置検出コイルを兼ねるので、従来の検出コイル
の設置部に狭測定範囲で高分解能な第二の位置検出手段
を設けることができ、従来の回転軸の全長を増大させる
ことなく構成できる。さらに、２つの位置検出手段を切
換えて使用するので、高分解能な回転軸の位置検出が可
能であり、回転軸の高精度な位置決めが可能となる。
で行う第一の位置検出手段において、電磁石コイルが回
転軸の位置検出コイルを兼ねるので、従来の検出コイル
の設置部に狭測定範囲で高分解能な第二の位置検出手段
を設けることができ、従来の回転軸の全長を増大させる
ことなく構成できる。さらに、２つの位置検出手段を切
換えて使用するので、高分解能な回転軸の位置検出が可
能であり、回転軸の高精度な位置決めが可能となる。
実施例
以下、本発明の第１実施例における磁気軸受の制御装置
について、第１図を参照しながら説明する。
について、第１図を参照しながら説明する。
第１図において、回転軸２１を軸受ステータコア２２と
軸受ステータコイル２３とからなる回転軸吸引用電磁石
によって支持するとともに、位置検出器２４にて回転軸
２１の位置を検出する。この検出信号と軸位置基準器２
５に設定された回転軸２１の基準位置とによって、基準
位置と回転軸１の実際の位置とのずれ量である偏差信号
を比較器２６から補償回路２７に出力する。この補償回
路２７は前記偏差信号にＰＩＤＩ償及び位相補償を施し
、加算器２８に補償信号として出力する。
軸受ステータコイル２３とからなる回転軸吸引用電磁石
によって支持するとともに、位置検出器２４にて回転軸
２１の位置を検出する。この検出信号と軸位置基準器２
５に設定された回転軸２１の基準位置とによって、基準
位置と回転軸１の実際の位置とのずれ量である偏差信号
を比較器２６から補償回路２７に出力する。この補償回
路２７は前記偏差信号にＰＩＤＩ償及び位相補償を施し
、加算器２８に補償信号として出力する。
加算器２８は前記補償信号と位置検出器２４内に設けら
れた高周波発振器２９の出力信号とを加算し、増幅器３
０を介して軸受ステータコイル２３に電圧印加し電磁石
を励磁する。
れた高周波発振器２９の出力信号とを加算し、増幅器３
０を介して軸受ステータコイル２３に電圧印加し電磁石
を励磁する。
また、位置検出器２４の動作は次のとおりである。上述
のように制御電圧に重畳させて軸受ステータコイル２３
に印加された高周波電圧は、交流電流を発生させる。交
流成分の電流も流れている軸受ステータコイル２３が導
電体である回転軸２１に接近すると、回転軸２１に渦電
流が流れて交流磁界を生じ、これが軸受ステータカイル
２３に作用して、軸受ステータコイル２３のインピーダ
ンスが変化する。この渦電流効果は軸受ステータコイル
２３と回転軸２１の距離が増加すれば小さくなるので、
両者の距離に応じて軸受ステータコイル２３のインピー
ダンスが決定されることになる。 このインピーダンス
変化を検出するために、軸受ステータコイル２３に対す
る印加電圧を帯域通過フィルタ３１に入力して高周波発
振器２９の発振周波数成分のみを取り出し、軸受ステー
タコイル２３のインピーダンス変化を同調増幅器３２お
よびＡＭ検波回路３３により電圧信号として求め、直流
増幅器３４を介して、回転軸２１の位置検出信号として
前記比較器２６に出力する。このとき磁気軸受の制御系
の応答周波数はＩＫＨｚ未満であり、高周波発振器２９
の出力信号周波数が制御系の応答に対して十分高くかつ
高周波発振器２９の出力信号振幅が補償回路２７の出力
信号に比して小さければ、回転軸１が振動する等の問題
は発生しない。
のように制御電圧に重畳させて軸受ステータコイル２３
に印加された高周波電圧は、交流電流を発生させる。交
流成分の電流も流れている軸受ステータコイル２３が導
電体である回転軸２１に接近すると、回転軸２１に渦電
流が流れて交流磁界を生じ、これが軸受ステータカイル
２３に作用して、軸受ステータコイル２３のインピーダ
ンスが変化する。この渦電流効果は軸受ステータコイル
２３と回転軸２１の距離が増加すれば小さくなるので、
両者の距離に応じて軸受ステータコイル２３のインピー
ダンスが決定されることになる。 このインピーダンス
変化を検出するために、軸受ステータコイル２３に対す
る印加電圧を帯域通過フィルタ３１に入力して高周波発
振器２９の発振周波数成分のみを取り出し、軸受ステー
タコイル２３のインピーダンス変化を同調増幅器３２お
よびＡＭ検波回路３３により電圧信号として求め、直流
増幅器３４を介して、回転軸２１の位置検出信号として
前記比較器２６に出力する。このとき磁気軸受の制御系
の応答周波数はＩＫＨｚ未満であり、高周波発振器２９
の出力信号周波数が制御系の応答に対して十分高くかつ
高周波発振器２９の出力信号振幅が補償回路２７の出力
信号に比して小さければ、回転軸１が振動する等の問題
は発生しない。
以上のように構成した磁気軸受の制御装置は従来の回転
軸位置の検出コイルを省略することができ、回転軸全長
を短（することが可能となる。
軸位置の検出コイルを省略することができ、回転軸全長
を短（することが可能となる。
次に、本発明の第２実施例における磁気軸受の制御装置
について、第２図、第３図を参照しながら説明する。
について、第２図、第３図を参照しながら説明する。
第２図において、回転軸４１を軸受ステータコア４２と
軸受ステータコイル４３とからなる回転軸吸引用電磁石
によって支持するとともに、広測定範囲の位置検出器４
４にて回転軸４１の位置をその可動範囲全域にわたって
検出する。また、狭測定範囲の高分解能位置検出器４５
は回転軸４１の位置を回転軸４１の可動範囲の中心部に
限って高精度に検出する。ウィンドウコンパレータ４６
は、高分解能位置検出器４５の出力ＶがｖＮ＜ｖくｖ、
の範囲にあるかどうかを判別する信号を出力する。切換
えスイッチ４７は、ウィンドウコンパレータ４６の出力
により、ａ−ｃ間またはｂ−ｃ間のどちらかを導通状態
とする。したがって、位置検出器４４か高分解能位置検
出器４５のいづれかによって検出された回転軸４１の位
置信号が、切換えスイッチ４７の出力となる。切換えス
イッチ４７から出力される回転軸４１の位置検出信号と
軸位置基準器４８に設定された回転軸４１の基準位置と
の偏差信号を比較器４９が補償回路５０に出力する。こ
の補償回路５０は前記偏差信号にＰＩＤ補償及び位相補
償を施し、加算器５１に補償信号として出力する。加算
器５１は前記補償信号と位置検出器４４内に設けられた
高周波発振器５２の出力信号とを加算し、増幅器５３を
介して軸受ステータコイル４３に電圧印加し電磁石を励
磁する。
軸受ステータコイル４３とからなる回転軸吸引用電磁石
によって支持するとともに、広測定範囲の位置検出器４
４にて回転軸４１の位置をその可動範囲全域にわたって
検出する。また、狭測定範囲の高分解能位置検出器４５
は回転軸４１の位置を回転軸４１の可動範囲の中心部に
限って高精度に検出する。ウィンドウコンパレータ４６
は、高分解能位置検出器４５の出力ＶがｖＮ＜ｖくｖ、
の範囲にあるかどうかを判別する信号を出力する。切換
えスイッチ４７は、ウィンドウコンパレータ４６の出力
により、ａ−ｃ間またはｂ−ｃ間のどちらかを導通状態
とする。したがって、位置検出器４４か高分解能位置検
出器４５のいづれかによって検出された回転軸４１の位
置信号が、切換えスイッチ４７の出力となる。切換えス
イッチ４７から出力される回転軸４１の位置検出信号と
軸位置基準器４８に設定された回転軸４１の基準位置と
の偏差信号を比較器４９が補償回路５０に出力する。こ
の補償回路５０は前記偏差信号にＰＩＤ補償及び位相補
償を施し、加算器５１に補償信号として出力する。加算
器５１は前記補償信号と位置検出器４４内に設けられた
高周波発振器５２の出力信号とを加算し、増幅器５３を
介して軸受ステータコイル４３に電圧印加し電磁石を励
磁する。
この磁気軸受の制御装置について、まず位置検小器４４
の動作について説明する。上述のように制御電圧に重畳
させて軸受ステータコイル４３に印加された高周波電圧
は、交流電流を発生させる。交流成分の電流も流れてい
る軸受ステータコイル４３が導電体である回転軸４１に
接近すると、回転軸４１に渦電流が流れて交流磁界を生
じ、これが軸受ステータコイル４３に作用して、軸受ス
テータコイル４３のインピーダンスが変化する。この渦
電流効果は軸受ステータコイル４３と回転軸の距離が増
加すれば小さ（なるので、両者の距離に応じて軸受ステ
ータコイル４３のインピーダンスが決定されることにな
る。
の動作について説明する。上述のように制御電圧に重畳
させて軸受ステータコイル４３に印加された高周波電圧
は、交流電流を発生させる。交流成分の電流も流れてい
る軸受ステータコイル４３が導電体である回転軸４１に
接近すると、回転軸４１に渦電流が流れて交流磁界を生
じ、これが軸受ステータコイル４３に作用して、軸受ス
テータコイル４３のインピーダンスが変化する。この渦
電流効果は軸受ステータコイル４３と回転軸の距離が増
加すれば小さ（なるので、両者の距離に応じて軸受ステ
ータコイル４３のインピーダンスが決定されることにな
る。
このインピーダンス変化を検出するために、軸受ステー
タコイル４３に対する印加電圧を帯域通過フィルタ５４
に入力して高周波発振器５２の発振周波数成分のみを取
り出し、軸受ステータコイル４３のインピーダンス変化
を同調増幅器５５およびＡＭ検波回路５６により電圧信
号として求め、直流増幅器５７を介して、回転軸４１の
位置検出信号として切換えスイッチ４７に出力する。
タコイル４３に対する印加電圧を帯域通過フィルタ５４
に入力して高周波発振器５２の発振周波数成分のみを取
り出し、軸受ステータコイル４３のインピーダンス変化
を同調増幅器５５およびＡＭ検波回路５６により電圧信
号として求め、直流増幅器５７を介して、回転軸４１の
位置検出信号として切換えスイッチ４７に出力する。
このとき磁気軸受の制御系の応答周波数はＩＫＨｚ未満
であり、高周波発振器５２の出力信号周波数が制御系の
応答に対して十分高くかつ高周波発振器５２の出力振幅
が補償回路５０の出力信号に比して小さければ、回転軸
４１が撮動する等の問題は発生しない。
であり、高周波発振器５２の出力信号周波数が制御系の
応答に対して十分高くかつ高周波発振器５２の出力振幅
が補償回路５０の出力信号に比して小さければ、回転軸
４１が撮動する等の問題は発生しない。
次に、位置検出器４４と高分解能位置検出器４５との切
換えについて説明する。第３図は高分解能検出器４５の
出力と回転軸４１の位置の関係を表す図である。回転軸
位置χが高分解能位置検出器４５の測定範囲外にある場
合（χ〈χ、あるいはχ、くχ）に、ウィンドウコンパ
レータ４６は切換えスイッチ４７にｂ−ｃ間が導通する
ように出力を出す。逆に、回転軸位置χが高分解能位置
検出器４５の測定範囲内にある場合（χ、くχくχＮ）
に、ウィンドウコンパレータ４６は切換えスイッチ４７
にａ−Ｃ間が導通するように出力を出す。したがって、
位置検出器４４と高分解能位置検出器４５を回転軸位置
によって切換えて用いることにより、回転軸位置を高精
度に検出できるわけである（χ、くχくχ、）。
換えについて説明する。第３図は高分解能検出器４５の
出力と回転軸４１の位置の関係を表す図である。回転軸
位置χが高分解能位置検出器４５の測定範囲外にある場
合（χ〈χ、あるいはχ、くχ）に、ウィンドウコンパ
レータ４６は切換えスイッチ４７にｂ−ｃ間が導通する
ように出力を出す。逆に、回転軸位置χが高分解能位置
検出器４５の測定範囲内にある場合（χ、くχくχＮ）
に、ウィンドウコンパレータ４６は切換えスイッチ４７
にａ−Ｃ間が導通するように出力を出す。したがって、
位置検出器４４と高分解能位置検出器４５を回転軸位置
によって切換えて用いることにより、回転軸位置を高精
度に検出できるわけである（χ、くχくχ、）。
発明の効果
第１発明は、電磁石コイルが回転軸の位置検出コイルを
兼ねるので、従来の検出コイルを省略することができ、
回転軸の全長を短く抑えることができるので、回転軸固
有振動数を増加させ高速回転が可能となる。
兼ねるので、従来の検出コイルを省略することができ、
回転軸の全長を短く抑えることができるので、回転軸固
有振動数を増加させ高速回転が可能となる。
また第２発明は、回転軸の位置検出を広測定範囲で行う
第一の位置検出手段において、電磁石コイルが回転軸の
位置検出コイルを兼ねるので、従来の検出コイルの設置
部に狭定範囲ではあるが高分解能な第二の位置検出手段
を設けることができ、従来の回転軸の全長を増大させる
ことなく構成できる。さらに、２つの位置検出手段を切
換えて使用するので、高分解能な回転軸の位置検出が可
能であり、回転軸の高精度位置決めが可能となる。
第一の位置検出手段において、電磁石コイルが回転軸の
位置検出コイルを兼ねるので、従来の検出コイルの設置
部に狭定範囲ではあるが高分解能な第二の位置検出手段
を設けることができ、従来の回転軸の全長を増大させる
ことなく構成できる。さらに、２つの位置検出手段を切
換えて使用するので、高分解能な回転軸の位置検出が可
能であり、回転軸の高精度位置決めが可能となる。
第１図は本発明の第１実施例における磁気軸受の制御装
置の構成図、第２図は本発明の第２実施例における磁気
軸受の制御装置のブロック図、第３図は同装置における
高分解能位置検出器の出力と回転軸の位置の関係を表す
図、第４図は従来の磁気軸受の制御装置のブロック図で
ある。 ２１．４１・・・・・・回転軸、２３．４３・・・・・
・軸受ステータコイル、２４．４４・・・・・・位置検
出器、３１゜５４・・・・・・帯域通過フィルタ、３２
．５５・・・・・・同調増幅器、３３．５６・・・・・
・ＡＭ検波回路、３４．５７・・・・・・直流増幅器、
４５・・・・・・高分解能位置検出器、４６・・・・・
・ウィンドウコンパレータ、４７・・・・・・切換えス
イッチ。
置の構成図、第２図は本発明の第２実施例における磁気
軸受の制御装置のブロック図、第３図は同装置における
高分解能位置検出器の出力と回転軸の位置の関係を表す
図、第４図は従来の磁気軸受の制御装置のブロック図で
ある。 ２１．４１・・・・・・回転軸、２３．４３・・・・・
・軸受ステータコイル、２４．４４・・・・・・位置検
出器、３１゜５４・・・・・・帯域通過フィルタ、３２
．５５・・・・・・同調増幅器、３３．５６・・・・・
・ＡＭ検波回路、３４．５７・・・・・・直流増幅器、
４５・・・・・・高分解能位置検出器、４６・・・・・
・ウィンドウコンパレータ、４７・・・・・・切換えス
イッチ。
Claims (2)
- （１）回転軸の位置を検出し、この検出信号のフィード
バックにより電磁石コイルに制御電圧を印加して電流制
御する制御回路を備え、設定した位置に回転軸を保持す
る磁気軸受において、高周波発振器の出力信号を前記制
御電圧と重畳させて前記電磁石コイルに印加することに
より、前記回転軸に渦電流が流れて発生する交流磁界に
よる前記電磁石コイルのインピーダンス変化を電圧に変
換させる検出回路によって、前記回転軸の位置検出を行
うように構成したことを特徴とする磁気軸受の制御装置
。 - （２）回転軸の位置を検出し、この検出信号のフィード
バックにより電磁石コイルに制御電圧を印加して電流制
御する制御回路を備え、設定した位置に回転軸を保持す
る磁気軸受において、高周波発振器の出力信号を前記制
御電圧と重畳させて前記電磁石コイルに印加することに
より前記回転軸に渦電流が流れて発生する交流磁界によ
る前記電磁石コイルのインピーダンス変化を電圧に変換
させる検出回路によって、前記回転軸の位置検出を広測
定範囲で行う第一の位置検出手段と、狭測定範囲で高分
解能な第二の位置検出手段とを備え、回転軸位置が第二
の位置検出手段の測定範囲内であれば、この出力信号を
フィードバックし、測定範囲外であれば第一の位置検出
手段の出力信号をフィードバックするよう第一・第二の
位置検出手段を回転軸位置によって切換えて用いるよう
に構成したことを特徴とする磁気軸受の制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29355589A JPH03154108A (ja) | 1989-11-10 | 1989-11-10 | 磁気軸受の制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29355589A JPH03154108A (ja) | 1989-11-10 | 1989-11-10 | 磁気軸受の制御装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03154108A true JPH03154108A (ja) | 1991-07-02 |
Family
ID=17796265
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29355589A Pending JPH03154108A (ja) | 1989-11-10 | 1989-11-10 | 磁気軸受の制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03154108A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1995002270A1 (en) * | 1993-07-06 | 1995-01-19 | British Nuclear Fuels Plc | Energy storage and conversion devices |
-
1989
- 1989-11-10 JP JP29355589A patent/JPH03154108A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1995002270A1 (en) * | 1993-07-06 | 1995-01-19 | British Nuclear Fuels Plc | Energy storage and conversion devices |
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