JPH0254375A - パターン欠陥検査方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、マスク、レチクル、プリント基板等に形成
されたパターンの欠陥の有無を検査するパターン欠陥検
査方法及び装置に関する。

〔従来の技術〕

従来のパターン欠陥検査方法としては、例えば特開昭５
５−１０５３２９号公報（第１従来例）、特開昭４９−
３４３８５号公報（第２従来例）に記載されているもの
がある。

第１従来例は、基準パターンデータに基づいて発生され
た第１の走査信号と、該基準パターンに対する被検査パ
ターンを走査して得た第２の走査信号とを比較照合する
ことにより欠陥パターンを検出するものであり、基準パ
ターン及び被検査パターンの走査方向の幅をクロックパ
ルスのカウント値によって検出して、両カウント値を比
較することにより、欠陥の有無を判定するようにしてい
る。

第２従来例は、対象パターンの映像を局部的二次元二値
映像として順次切り出す手段と、該局部的二次元映像の
中心絵素の周囲を覆い尽くすごとく取った複数個のすべ
ての部分領域において、咳中心絵素の論理状態と反対の
論理的状態をもつ絵素が必ず含まれておれば出力論理処
理を行うようにしている。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかしながら、上記第１従来例及び第２従来例にあって
は、何れの場合にも、単にパターンの２次元画像を２値
化し、その画像データに基づいて欠陥パターンを抽出す
るようにしており、１つのパターンについて、一定の基
準で欠陥判定を行うので、例えば検査パターンとマスタ
パターンとの間に多少のパターンずれを許容できるパタ
ーンが存在する場合でも、一定基準で欠陥判定すること
になり、欠陥抽出精度を高めると例えばパンチング又は
ドリリングによって形成するプリント基板のスルーホー
ルのように高精度に形成することが困難で且つパターン
ずれがさほど大きな影響を与えることがないパターンに
対して欠陥有りと判定することになり、この欠陥データ
が膨大となると共に、欠陥データに対する人手による再
検査の手間も多くなる。一方、欠陥抽出精度を低下させ
ると、スルーホール等の高精度を要求されないパターン
部についての欠陥判定が緩やかになり、再検査の個数が
減少するが、高精度を要求されるパターン部については
、欠陥が抽出されなくなるおそれが高くなり、何れの場
合も正確で再検査個数の減少の双方を満足する欠陥検査
を行うことができないという未解決の課題があった。

そこで、この発明は、上記従来例の未解決の課題に着目
してなされたものであり、パターン部に応じて異なる欠
陥認識精度の設定を可能として正確で且つ再検査個数の
減少の双方を満足することが可能なパターン欠陥検査方
法及び装置を提供することを目的としている。

（課題を解決するための手段〕 上記課題を解決するために、請求項（１１の発明は、所
定のパターンを形成した被検査物と撮像装置とを相対的
に１次元又は２次元に走査して検査パターンデータを得
、該検査パターンデータと予め記憶したマスタパターン
データとを比較してパターンの欠陥を検査するようにし
たパターン欠陥検査方法において、前記マスタパターン
データ中の欠陥認識精度の重要度が低いパターン部に対
応する所望のずれ量に設定したずれ許容パターンデータ
を形成し、該ずれ許容パターンデータと前記マスタパタ
ーンデータとに基づいて比較用マスタパターンデータを
形成すると共に、該比較用マスタパターンデータの輪郭
データを形成し、前記比較用パターンデータと前記検査
パターンデータとを比較して欠陥部を抽出すると共に、
抽出された欠陥部を前記輪郭データでマスクしてパター
ンの欠陥の有無を判定するようにしたことを特徴として
いる。

また、請求項（２）の発明は、前記比較用マスタパター
ンデータとパターンデータとの排他的論理和をとって欠
陥部を抽出することを特徴としている。

さらに、請求項（３）の発明は、所定のパターンを形成
した被検査物と撮像装置とを相対的に１次元又は２次元
に走査して検査パターンデータを得、該検査パターンデ
ータとマスタパターンデータとを比較してパターンの欠
陥を走査するようにしたパターン欠陥検査装置において
、前記マスタパターンデータの欠陥認識精度の重要度が
低いパターン部に対応する所望ずれ幅のずれ許容パター
ンデータを形成するずれ許容パターンデータ形成手段と
、該ずれ許容パターンデータ形成手段で形成したずれ許
容パターンデータと前記マスタパターンデータとに基づ
いて比較用マスタパターンデータを生成する比較用マス
タパターンデータ生成手段と、該比較用マスタパターン
データ生成手段で生成した比較用マスタパターンの輪郭
パターンデータを形成する輪郭パターンデータ形成手段
と、前記比較用マスタパターンデータと前記パターンデ
ータと比較して欠陥部を抽出し、該欠陥部抽出データを
前記輪郭パターンデータでマスクする欠陥部抽出手段と
を備えたことを特徴としている。

なおさらに、請求項（４）の発明は、前記欠陥部抽出手
段は前記比較用パターンマスタデータ形成手段の比較用
パターンマスタデータとパターンデータとの排他的論理
和をとって欠陥部を抽出することを特徴としている。

〔作用〕

この発明においては、基準となるマスタパターンデータ
中の欠陥認識精度の低いパターン部に対応して所望のず
れ量を設定可能なずれ許容パターンデータを形成し、こ
のずれ許容パターンデータとマスタパターンデータとに
基づいて欠陥認識精度の重要性が比較的低いパターン部
について所望のずれ許容幅を有する比較用マスタパター
ンデータを形成し、この比較用マスタパターンデータの
輪郭パターンデータを形成することにより、この輪郭パ
ターンデータが比較的精度が低下せざるを得ないパター
ン輪郭部及び低欠陥認識精度のパターン部に対応するこ
とになる。そして、比較用マスタパターンデータと被検
査物のパターンデータとを比較して欠陥部を抽出し、こ
の欠陥抽出データを輪郭パターンデータでマスクするこ
とにより、欠陥認識精度の異なるパターン部に対して異
なる判定基準で欠陥判定を行うことができ、欠陥検出精
度を高精度に維持しながら、再検査個数を減少させて、
欠陥検査のスループットを向上させることができる。

〔実施例〕

以下、この発明の実施例を図面に基づいて説明する。

第１図はこの発明の一実施例を示すブロック図である。

図中、１はプリント基板、マスク、レチクル等の表面に
所定の検査パターンＰを形成した被検査物２をＲ置して
少なくともＸＹ力方向移動可能な載置台であって、この
載置台１がＸ軸駆動モータ１ａ及びＹ軸駆動モータ１ｂ
によってＸＹ力方向移動される。

載置台１の上面側には、被検査物２と対向する位置に撮
像装置としてのＣＣＤカメラ３が固定配置され、このＣ
ＣＤカメラ３で被検査物２の検査パターンＰを撮像して
その画像データを出力する。

そして、載置台１及びＣＣＤカメラ３が例えばコンピュ
ータで構成される画像処理兼制御装置４によって制御さ
れる゛と共に、ＣＣＤカメラ３から出力される画像デー
タが画像処理兼制御装置４によって処理される。

画像処理兼制御装置４には、Ｘ軸モータ１ａ及びＹ軸モ
ータ１ｂを制御するモータコントローラ７、ＣＣＤカメ
ラ３を制御するカメラコントローラ８、画像メモリとし
ての４つのビットマツプメモリ９ａ、９ｂ、９ｃ及び９
ｄ−並びに欠陥データメモリ９ｅ、磁気テープ装置１０
、磁気ディスク装置１１、ＣＲＴデイスプレィ１２及び
プリンタ１３が接続されている。磁気テープ装置１０に
は、プリント基板等の被検査物２に形成する検査パター
ンＰの設計を行う場合に使用するＣＡＤ装置からのフォ
トブロック、パターンジェネレータ等への入力用データ
（以下、ＣＡＤデータと称す）を記録した磁気テープが
装着される。ここで、ＣＡＤデータは、第４図に示すよ
うに、マスタパターンＭが例えばプリント基板に形成す
るランドＬとこれに連結された導体Ｃとで構成されてい
るものとすると、これらが位置座標と方向を表すベクト
ルデータとして圧縮されて形成されている。

画像処理兼制御装置４は、第２図に示すように、前記Ｃ
ＡＤデータを伸長してドツト対応のマスタパターンデー
タに変換してビットマツプメモリ９ａに格納するデータ
変換部４ａと、前記ＣＡＤデータにおける欠陥認識精度
の低いパターン部に対して第３図に示すずれ許容パター
ンデータを設定するずれ許容パターンデータ設定部４ｂ
と、そのずれ許容パターンデータと前記ＣＡＤデータと
に基づいて第４図に示す比較用マスタパターンデータを
作成する比較用マスタパターンデータ生成部４ｃと、そ
の比較用マスタパターンデータを所定の大きさを有する
ウィンドウを使用して輪郭パターンデータに変換する輪
郭データ形成部４ｄと、比較用マスタパターンデータ生
成部４ｃで作成した比較用マスタパターンデータと前記
検査パターンデータとを比較して欠陥を抽出すると共に
、抽出した欠陥データを前記輪郭データ形成部４ｄから
の輪郭データでマスクして真の欠陥データを形成し、こ
れを欠陥データメモリ９ｅに記憶する欠陥抽出部４ｅと
を備え、ビットマツプメモリ９ｅに格納された欠陥デー
タを必要に応じてグラフィックデイスプレィ１２及びプ
リンタ１３に出力する。

ずれ許容パターンデータ設定部４ｂは、位置精度が劣っ
たりぼり等によって周縁部に粗さが残るが、これらの影
響が重大な欠陥とはならないもの即ち欠陥認識精度の低
いパターン部例えばプリント基板のパンチング、ドリリ
ング等によって穿設するスルーホールＴのずれ許容量に
応じて、グラフィックデイスプレィ１２を使用して、第
５図に示すように、正規のスルーホールＴの中心座標と
ずれ許容量に応じたスルーホールＴの直径より小さい直
径とを入力して小径の内側ずれ境界円ＢＣ。

を形成し、この境界円ＢＣ，内を黒色で塗り潰すと共に
、この内側ずれ境界円ＢＣ，と同心的にずれ許容量に応
じた大径の外側ずれ境界円ＢＣ，を形成し、この外側ず
れ境界円ＢＣ，と内側ずれ境界円ＢＣ，との中間部を例
えば市松模様に網かけを行ってドツト単位のずれ許容パ
ターンデータを形成し、これをビットマツプメモリ９ｂ
に記憶する。

比較用マスタパターン生成部４ｃは、ビットマツプメモ
リ９ａに格納されているマスタパターンデータと、ビッ
トマツプメモリ９ｂに格納されているずれ許容パターン
データとを同一のアドレス指定を行って所定順序で１ビ
ツトづつ読出し、両データの排他的論理和をとることに
より、比較用マスタパターンデータを形成し、これをビ
ットマツプメモリ９Ｃの同一アドレスに格納する。

輪郭データ形成部４ｄは、ビットマツプメモリ９ｃに格
納されている比較用マスタパターンデータを３×３ビツ
トの方形ウィンドウＷに対応したアドレス指定を行って
９ビツトづつ読出し、その各ビット信号を第３図に示す
ように正論理のＡＮＤ回路２１及び負論理のＡＮＤ回路
２２に入力し、両ＡＮＤ回路２１及び２２の出力をＮＯ
Ｒ回路２３に入力することにより、ＮＯＲ回路２３から
ウィンドウＷの全てのビットが“１′”又は“０″であ
るときにウィンドＷの中心画素Ｗ、に対応するビット位
置を論理値０パ、ウィンドウＷのビットに“１”及び“
０″が混在しているときに、ウィンドウＷの中心画素Ｗ
、に対応するビット位置を論理値“１”′とそれぞれす
ることにより、輪郭データを形成し、これを順次ビット
マツプメモリ９ｄの現在の中心画素Ｗ、のアドレスに対
応するアドレスに格納する。

欠陥抽出部４ｅは、ビットマツプメモリ９ｃに格納され
ている比較用マスタパターンデータ及びビットマツプメ
モリ９ｄに格納されている輪郭デ−タをＣＣＤカメラ３
から入力される読取パターンデータに同期したアドレス
指定により１ビツトづつ読出し、比較用マスタパターン
データと読取パターンデータとを排他的論理和回路３１
に供給して排他的論理和をとることにより、欠陥パター
ン部に対して論理値“１”となる欠陥データを形成し、
この欠陥データと輪郭パターンデータの反転データとを
ＡＮＤ回路３２に供給してＡＮＤ条件をとることにより
、輪郭データでマスクした真の欠陥データを得、このと
きのアドレスを欠陥データとして欠陥データメモリ９ｅ
に格納する。

次に、上記実施例の動作を説明する。

まず、比較判定の基準となる比較用マスタパターンＭの
データを登録する。この比較用マスタパターンのデータ
の登録は、先ずプリント基板のパターンを設計する際に
使用するＣＡＤデータを記録した磁気テープを磁気テー
プ装置１０に装着し、この状態で磁気テープ装置１０を
駆動してＣＡＤデータを読込み、圧縮されたＣＡＤデー
タを第４図に示すようなドツト単位のマスク画像データ
に伸長してビットマツプメモリ９ａに格納する。

次いで、ずれ許容パターンデータ形成部４ｂによって、
グラフィックデイスプレィ１２を使用してＣＡＤデータ
におけるプリント基板の欠陥認識精度の低い各ランドＬ
の中心座標及びずれ許容量に応じた直径を入力すること
により内側ずれ境界円ＢＣ，を形成し、この内側ずれ境
界円ＢＣ，の内側を黒色に塗り潰す。次いで、内側ずれ
境界円Ｂ　Ｃｒ　と同心的にずれ許容量に応じた直径を
入力することにより外側ずれ境界円ＢＣ，を形成し、両
境界円間をドツト単位の市松模様に網かけを行って第５
図に示すずれ許容データを作成し、このずれ許容データ
をビットマツプメモリ９ｂに格納する。

次いで、比較用マスタパターンデータ生成部４Ｃで、ビ
ットマツプメモリ９ａ及び９ｂに格納されているマスク
画像データ及びずれ許容データを順次所定順序で読出し
、両データをビット単位で排他的論理和をとることによ
り、第６図に示すように、内側ずれ境界円ＢＣ，の内側
が白色となり、この内側ずれ境界円ＢＣＩ及び外側ずれ
境界円８００間がずれ許容データの市松模様を反転した
市松模様となり、その外側のパターンデータが黒色とな
る比較用マスタバクーンＭＣが生成され、この比較用マ
スタパターンＭＣのドツト単位の比較用パターンデータ
がビットマツプメモリ９Ｃに格納される。

さらに、輪郭データ形成部４ｄで、ビットマツプメモリ
９Ｃに格納された比較用マスタパターンデータを、３×
３ビツトの計９ビットのウィンドウＷを使用して順次読
出し、各ビット信号の正論理及び負論理のＡＮＤ条件を
とり、次いでＮＯＲ条件をとることにより、輪郭データ
を形成する。

すなわち、第６図において、ウィンドウＷの各画素Ｗ、
〜Ｗ、がランドＬ及び導体Ｃに重なっていないときには
、各画素Ｗ、〜Ｗ、のビットは全て論理値°゛０”であ
り、ＡＮＤ回路２１の出力が０″、ＡＮＤ回路２２の出
力が°°１°“となってＮＯＲ回路２３の出力が白色を
表す論理値“０”となり、これがビットマツプメモリ９
ｄのウィンドウＷの中心画素Ｗ、の現在のアドレス位置
に書込まれる。逆に、ウィンドウＷの全ての画素Ｗ。

〜Ｗ、がランドＬ又は導体Ｃと重なっているときには、
各画素Ｗｌ／’−Ｗ９のビットは全て論理値′°１”で
あり、ＡＮＤ回路２１の出力が１”ＡＮＤ回路２２の出
力が°“Ｏ゛°となってＮＯＲ回路２３の出力が白色を
表す論理値“０”となり、これがビットマツプメモリ９
ｄのウィンドウＷの中心画素Ｗ、の現在のアドレス位置
に書込まれる。

一方、ウィンドウＷの各画素Ｗ１〜Ｗ、の一部がランド
し又は導体Ｃに重なっているか、若しくは市松模様に重
なっているときには、ＡＮＤ回路２１及び２２の出力が
共に論理値“０”となるので、ＮＯＲ回路２３の出力が
黒色を表す論理値“１”となって、これがビットマツプ
メモリ９ｄの中心画素Ｗ５のアドレス位置に書込まれる
。したがって、第７図に示すように、第６図の比較用マ
スタパターンＭＣの外側の輪郭部と、内側の市松模様部
が黒色となる輪郭パターンＯＰが形成され、この輪郭パ
ターンＯＰのドツト単位の輪郭パターンデータがマスク
データとしてビットマツプメモリ９ｄに格納される。

このようにして、ビットマツプメモリ９ｃに比較用マス
タパターンデータが、ビットマツプメモリ９ｄに輪郭デ
ータがそれぞれ格納された状態で、検査対象となる第８
図に示す被検査物２の検査パターンＰを検査するには、
まず被検査物２を載置台１上に位置決めして載置する。

この状態で、載置台１を移動させるモータコントローラ
７を作動させると共に、カメラコントローラ８を作動さ
せて、被検査物２の検査パターンＰをＣＣＤカメラ３で
撮像する。これにより、ＣＣＤカメラ３から１画素毎に
２値化された検査パターンデータが同期信号と共に出力
され、これを画像処理兼制御装置４内に読込み、分離回
路３０によって検査パターンデータと同期信号とを分離
し、検査パターンデータを排他的論理和回路３１の一方
の入力側に供給すると共に、同期信号に応じてビットマ
ツプメモリ９Ｃに格納されている比較用マスタパターン
データを順次読出してこれを排他的論理和回路３１の他
方の入力側に供給する。このため、排他的論理和回路３
１から比較用マスタパターンデータと検査パターンデー
タとが一致しているときに論理値“０“、不一致のとき
に論理値“１”の欠陥検出データが出力される。この欠
陥検出データは、ＡＮＤ回路３２の肯定入力側に入力さ
れ、このＡＮＤ回路３２の否定入力側にはビットマツプ
メモリ９ｄから同期信号に応じて読出された輪郭データ
が供給されているので、このＡＮＤ回路３２から輪郭デ
ータに対応する欠陥検出データがマスクされて第９図に
示すように比較用マスタパターンデータの輪郭部を除く
他のドツト位置での欠陥部Ｆのみが抽出され、そのとき
のアドレスが欠陥座標として欠陥データメモリ９ｅに格
納される。

したがって、輪郭データは比較的欠陥認識精度の高いラ
ンドＬ及び導体Ｃの外側輪郭部の幅に対して、比較的欠
陥認識精度の低いスルーホールＴ位置の幅が広く設定さ
れているので、ランドし及び導体Ｃの外側輪郭部につい
ては、高精度の欠陥認識を行うことができ、被検査パタ
ーンＰに形成されたスルーホールＴについては基準位置
に対して位置ずれを生じているものとしても、その位置
ずれがずれ許容データ中の市松模様内に収まる場合には
、欠陥パターンとは７ｙ２２されないことになり、この
分欠陥データメモリ９ｅに格納される欠陥検出データが
減少して、真の欠陥検出データのみが欠陥データメモリ
９ｅに格納される。また、ずれ許容量はずれ許容パター
ン形成部４ｂで任意の幅に設定することができる。

しかも、輪郭パターンデータ形成部４ｄで、３×３ビツ
トのウィンドウＷを使用して欠陥検査を行うようにして
いるので、マスタパターンＭ及び検査パターンＰに±１
ビットの量子化誤差、位置ずれ、パターン形成時の粗さ
が生じた場合でも欠陥無しと判断することができ、誤検
出を防止することができる。

なお、上記実施例においては、輪郭データ形成部４ｄで
のウィンドウＷを３×３ビツトに選定した場合について
説明したが、これに限らず欠陥検出精度に応じて任意の
大きさのウィンドウを適用し得ることは言うまでもない
。

また、上記実施例においては、ずれ許容パターン設定部
４ｂで市松模様のパターンを形成する場合について説明
したが、これに限定されるものではなく、輪郭パターン
データを作成する際に黒色となるものであればよいもの
である。

さらに、一般にパターンを形成するためのＣＡＤデータ
には、第１０図（ａ）に示すように、被検査物２を載置
台１上に位置決めするための複数のアライメントマーク
ＡＭも表されており、このアライメントマークＡＭの座
標と、第１０図（ｂｌに示す被検査物２の読取データ中
に含まれるアライメントマークＡＭ’の座標とを比較す
ることにより、両者のずれ量を算出することができ、こ
のずれ量を載置台ｌを移動させて補正するか、ビットマ
ツプメモリ９ｄの座標を補正して解消することにより、
ウィンドウＷを最小画素単位の大きさに選定することも
できる。

またさらに、上記実施例においては、撮像装置としてＣ
ＣＤカメラ３を適用した場合について説明したが、これ
に限定されるものではなく、ライン走査形のイメージセ
ンサと同期をとって移動する載置台の組合わせ等を適１
することもできる。

なおさらに、上記実施例においては、ＣＡＤデータとし
てフォトプロッタ又はパターンジェネレータへの入力用
データを適用した場合について説明したが、これに限定
されるものではなく、パターンの外形を取り出せる図形
データであればよく、またデータ記録媒体としては磁気
テープ以外にフロッピィディスクネットワーク等の任意
の記録媒体を適用することができる。

［発明の効果］ 以上説明したように、この発明によれば、基準となるマ
スタパターンデータと、このマスタパターンにおける欠
陥認識精度の低いパターン部について設定したずれ許容
データとに基づいて比較用マスタパターンデータを形成
すると共に、この比較用マスタパターンデータの輪郭デ
ータを形成し、比較用マスタパターンデータと被検査物
の検査パターンデータとを比較して欠陥データを抽出す
ると共に、この欠陥データを前記輪郭データでマスクす
ることにより、真の欠陥データのみを抽出することがで
き、不必要な欠陥データを排除することができるので、
欠陥データ用のメモリ容量を小さくすることができると
共に、欠陥認識精度を高精度に維持しながら、無用の再
検査を防止して、目視判定のための労力及び時間を軽減
することができ、欠陥検査のスループットを向上するこ
とができる効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例を示すブロック図、第２図
は画像処理兼制御装置の一例を示すブロック図、第３図
は輪郭パターンデータ形成部の一例を示すブロック図、
第４図はマスタパターンを示す説明図、第５図はずれ許
容パターンを示す説明図、第６図は比較用マスタパター
ンを示す説明図、第７図は比較用マスタパターンの輪郭
を示す説明図、第８図は検査パターンを示す説明図、第
９図は欠陥パターンを示す説明図、第１０図（ａ）及び
（ｂ）はそれぞれこの発明の他の実施例の説明に供する
説明図である。 図中、■は載置台、２は被検査物、３はＣＣＤカメラ（
撮像装置）、４は画像処理兼制御装置、４ａはデータ変
換部、４ｂはずれ許容データ形成部、４Ｃは比較用マス
タパターンデータ生成部、４ｄは輪郭データ形成部、４
ｅは欠陥抽出部、９ａ〜９ｄはビットマツプメモリ、９
ｅは欠陥データメモリ、１０は磁気テープ装置、１１は
磁気ディスク、１２はグラフィックデイスプレィ、１３
はプリンタ、２１．２２はＡＮＤ回路、２３はＮＯＲ回
路、３１は排他的論理和回路、３２はＡＮＤ［ｌ、Ｍは
マスタパターン、Ｐは検査パターン、Ｗはウィンドウで
ある。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. （１）所定のパターンを形成した被検査物と撮像装置と
   を相対的に１次元又は２次元に走査して検査パターンデ
   ータを得、該検査パターンデータと予め記憶したマスタ
   パターンデータとを比較してパターンの欠陥を検査する
   ようにしたパターン欠陥検査方法において、前記マスタ
   パターンデータ中の欠陥認識精度の重要度が低いパター
   ン部に対応する所望のずれ量に設定したずれ許容パター
   ンデータを形成し、該ずれ許容パターンデータと前記マ
   スタパターンデータとに基づいて比較用マスタパターン
   データを形成すると共に、該比較用マスタパターンデー
   タの輪郭データを形成し、前記比較用パターンデータと
   前記検査パターンデータとを比較して欠陥部を抽出する
   と共に、抽出された欠陥部を前記輪郭データでマスクし
   てパターンの欠陥の有無を判定するようにしたことを特
   徴とするパターン欠陥検査方法。
2. （２）比較用マスタパターンデータと検査パターンデー
   タとの比較を排他的論理和をとることにより行うように
   した請求項（１）記載のパターン欠陥検査方法。
3. （３）所定のパターンを形成した被検査物と撮像装置と
   を相対的に１次元又は２次元に走査して検査パターンデ
   ータを得、該検査パターンデータとマスタパターンデー
   タとを比較してパターンの欠陥を走査するようにしたパ
   ターン欠陥検査装置において、前記マスタパターンデー
   タの欠陥認識精度の重要度が低いパターン部に対応する
   所望ずれ幅のずれ許容パターンデータを形成するずれ許
   容パターンデータ形成手段と、該ずれ許容パターンデー
   タ形成手段で形成したずれ許容パターンデータと前記マ
   スタパターンデータとに基づいて比較用マスタパターン
   データを生成する比較用マスタパターンデータ生成手段
   と、該比較用マスタパターンデータ生成手段で生成した
   比較用マスタパターンの輪郭パターンデータを形成する
   輪郭パターンデータ形成手段と、前記比較用マスタパタ
   ーンデータと前記パターンデータと比較して欠陥部を抽
   出し、該欠陥部抽出データを前記輪郭パターンデータで
   マスクする欠陥部抽出手段とを備えたことを特徴とする
   パターン欠陥検査装置。
4. （４）欠陥部抽出手段は、比較用マスタパターンデータ
   と検査パターンデータとの排他的論理和をとって欠陥部
   を抽出するようにしてなる請求項（３）記載のパターン
   欠陥検査装置。