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JPH0244317A - 補助容量を有する液晶表示装置 - Google Patents

補助容量を有する液晶表示装置

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Publication number
JPH0244317A
JPH0244317A JP63194421A JP19442188A JPH0244317A JP H0244317 A JPH0244317 A JP H0244317A JP 63194421 A JP63194421 A JP 63194421A JP 19442188 A JP19442188 A JP 19442188A JP H0244317 A JPH0244317 A JP H0244317A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
auxiliary
liquid crystal
capacity
electrode
auxiliary capacity
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP63194421A
Other languages
English (en)
Inventor
Akio Mimura
三村　秋男
Takashi Suzuki
隆 鈴木
Masaru Watanabe
大 渡辺
Etsuko Kimura
木村　悦子
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP63194421A priority Critical patent/JPH0244317A/ja
Publication of JPH0244317A publication Critical patent/JPH0244317A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は液晶表示装置の１助容量に係り、特に大きな容
量を得るのに好適な補助容量を有する液晶表示装置に関
する。
〔従来の技術〕
液晶デイスプレィは、薄型低消費電力という特徴を有し
、最近小型ＴＶとして製品化されている。
高精細化した場合、プロジェクタ−で投射拡大する用途
もある。この場合１強い光を使うため、光と熱でスイッ
チング素子のリーク電流が増加する。
また、熱により、液晶の抵抗も下がる。これらの理由か
ら、印加された電圧を保持するための補助容量が不可欠
となってくる。
補助容量を形成する考え方は古いが、具体的な一例は特
開昭６１−１３２２８に述べられている。
第４図及び第５図において従来例を説明する。
第４図において、信号線１及び走査線２の各交互点にス
イッチング素子３が配置されており、ソース側には液晶
セル４、補助容量５が並列に接続されている。液晶セル
４は対向基板共通電極６とで構成されている。補助容量
５の他方の共通電極は補助導体７で接続され、電位が固
定されている。
第５図はスイッチング素子３及び補助容量５の部分の断
面図を示す、多結晶シリコンのゲート１９と同時に、補
助容量用透明電極２０を形成し、これを酸化してゲート
絶縁膜２１と層間絶縁膜２２を形成する。この上に再び
多結晶シリコンを形成し、信号電極１（ドレイン）、ソ
ース電極２３、画素用透明電極２４を形成する。こうし
て補助容量５が形成される。この例では画素用透明電極
２４１層間絶縁膜２２．補助容量用透明電極２０で一組
の容量が形成される。
〔発明が解決しようとする課題〕
上記従来例においては、単一の容量のみで補助容量が構
成されており、特に大きな容量とする場合には、大きな
補助容量を実現できない。
本発明の目的は、大きな補助容量を形成する手段を提供
することにある。
〔課題を解決するための手段〕
上記目的は、複数の容量を積層して並列に接続すること
によって達成される。
〔作用〕
本発明によって形成された大きな補助容量は。
液晶セルに並列に接続される。したがって、スイッチン
グ素子あるいは液晶セルのリーク電流を十分補償し１画
質の信頼性を高めることができる。
〔実施例〕
以下本発明の実施例を第１図、第２図により説明する。
第１図は本発明によるアクライブマトリクスの部分構成
を示す、信号線１．走査線２の交点にスイッチング素子
３が設けられており、ソース側には液晶セル４、補助容
量５が並列に接続されている。液晶セル４は対向基板共
通電極６とで構成されている。補助容量５は、ソース側
が２個の電極が並列された形で配置されており、他方の
共通電極は補助導体７で接続され、電位が固定されてい
る。
第２図はスイッチング素子３及び補助容量５の部分の断
面図を示す、ガラス基板８に多結晶シリコン９を形成す
る。この後、補助容量５を形成する部分にはリンをドー
プしておく１次にゲート絶縁膜１１．ゲート電極１２を
形成する。この過程で、補助容量５には、補助容量用透
明電極１０、補助容量用絶縁膜１３．補助容量用共通電
極１４が形成され、ここで、ひとつの容量が形成される
。
次に層間絶縁膜１５を形成し、コンタクト窓を開けて、
画素用透明電極１７を形成する。同一材料で信号電極１
（ドレイン電極）、ソース電極１６、補助容量用の補助
導体７が形成される。この過程で、第２の容量が形成さ
れ、下に埋め込まれた容量と並列に接続される。このプ
ロセスで特に必要とされるのは、補助容量用透明電極１
０にドーピングするプロセスのみであり、他はスイッチ
ング素子と同一のプロセスで構成できる。
第３図は本発明の応用例を示す。スイッチング素子３は
正スタガー型構造である。まずガラス基板８にドープし
た多結晶シリコン又はＩＴＯを形成し、信号電極１　（
ドレイン）、ドレイン電極１６、画素用透明電極１０を
形成する。この」二に、能動層である薄膜半導体層１８
．ゲート絶縁膜１１、ゲート１２を形成する。以下は第
２図に示したと同様に補助容量５を形成できる。
以上の実施例では多結晶シリコンを用いるスイッチング
素子について述べたが、単結晶、非晶質膜を用いるスイ
ッチング素子についても応用できる。また透明電極材料
としては、スイッチング素子を構成する半導体層、ＩＴ
Ｏ，薄膜メタル、導電性酸化物等を任意に選択できる。
〔発明の効果〕 以上述べた本発明によれば、大きな補助容量を工程を増
すことなく形成でき、液晶表示装置の画質の信頼性を高
めることができる。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明を説明するためのアクティブマトリクス
部分構成図、第２図及び第３図は本発明を説明するため
のスイッチング素子及び補助容量部の断面図、第４図及
び第５図はそれぞれ従来例を説明するためのアクティブ
マトリクス部分構成図及びスイッチング素子及び補助容
量部を示す図である。 ３・・・スイッチング素子、５・・・補助容量、１０・
・・補助容量用透明電極、１３・・・補助容量用絶縁膜
、１４・・・補助容量用共通電極、１５・・・層間絶縁
膜、１７・・・画素用透明電極。 弔 図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １、補助容量を有する液晶表示装置において、補助容量
    が、積層された複数の容量を並列に接続されてなること
    を特徴とする補助容量を有する液晶表示装置。 ２、第１項において、液晶表示装置を駆動するスイッチ
    ング素子のゲート絶縁膜から成る容量と、スイッチング
    素子の保護膜から成る容量を並列に接続したことを特徴
    とする補助容量を有する液晶表示装置。 ３、第１項または第２項において、スイッチング素子の
    ゲート電極が、補助容量の共通電極であることを特徴と
    する補助容量を有する液晶表示装置。 ４、第１項、第２項または第３項において、スイッチン
    グ素子の能導層又はゲートと同一材料を、補助容量の透
    明電極として用いたことを特徴とする補助容量を有する
    液晶表示装置。
JP63194421A 1988-08-05 1988-08-05 補助容量を有する液晶表示装置 Pending JPH0244317A (ja)

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