JPH02231513A - 集積回路素子のリード曲り検査方式 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は集積回路素子（以下ＩＣという）のリード曲り
検査方式、特に微細ピッチに設けられた複数のリードを
有し、プリント基板への精密接合を要するＩＣのリード
曲り検査方式に関する．〔従来の技術〕 従来、この種のＩＣのリード曲り検査方式は、第３図に
構成図を示すように、ＩＣＩは２次元ＣＯＤ等を撮像素
子どして用い電気的画像信号を出力とするカメラ４のレ
ンズの光軸に垂直な平面上にＩＣＩの本体が平行し、Ｉ
Ｃｌのリード２の検査対象となる先端部３が上記光軸上
に来るように保持され、光源６がリード２の後部に配備
されて、カメラ４に画像処理部５が接続された構成とな
っている．以上の構成で、光源６から発せられた光の一
部はＩＣＩのりード２に遮られ、残りはカメラ４に到達
する。第４図はカメラ４から得られる画像７の一例で、
この画像７の画像信号が画像処理部５に与えられ、画像
処理部５はこの画像信号と正しいリードビッチデータと
を比較してリード曲りを検出するようになっている。

〔発明が解決しようとする課題〕

上述したＩＣのリード曲り検査方式は、ＩＣの搭載面に
平行した方向の曲りのみを検出するようになっていて、
搭載面に垂直する方向への曲りは検出できないという欠
点を有している。

〔課題を解決するための手段〕

本発明のＩＣのリード曲り検査方式は、被検査ＩＣを特
定の平面上の特定の位置に支持する支持手段と、前記Ｉ
Ｃのリードの検査対象とする先端部までの距離を測定す
るレーザ変位計と、このレーザ変位計を搭載固定して前
記特定の平面と平行する平面を前記ＩＣのリード列の方
向に移動しその移動量を出力するステージと、このステ
ージの移動量と前記レーザ変位計からの測定距離とを入
力とするレーザ変位制御部とを有することにより構成さ
れる。

〔実施例〕

次に、本発明の実施例について図面を参照して説明する
。

第１図は本発明の一実施例の構成図である。第１図にお
いて、ＩＣＩはリード２を下にして水平に保持され、レ
ーザ変位計８がリード２の検査対象となる先端部３の垂
直下方に設けられ、レーザビームを用いて先端部までの
距離を測定するようになっている。一方、レーザ変位計
８はリード２の列方向に水平移動する位置決め可能なス
テージ９に固定されていて、レーザ変位計８の出力とス
ステージ９の水平移動距離とがレーザ変位計制御部１０
に与えられるようになっている。

以上の構成において、ステージ９をリード２の列方向に
移動させつつレーザ変位計８によりりード２までの距離
を測定する。第３図はレーザ変位計制御部１０において
得られるリード２の位置を示す一例のグラフで、横軸は
リード列の位置を、縦軸はリードまでの距離を示してい
る。レーザ変位計制御部１０には予め正しいリードピッ
チおよびリードまでの距離が与えられていて、計測した
値と比較することによりリード２の水平および垂直方向
の曲りが検査される。

〔発明の効果〕

以上説明したとおり本発明は、ＩＣに垂直な方向からリ
ードまでの距離をレーザ変位計によって順次リード列に
沿って測定することにより、リードの水平および垂直方
向の曲りが検査できる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の構成図、第２図は第１図の
レーザ変位計制御部において得られるリード位置の一例
のグラフ、第３図は従来の集積回路素子のリード曲り検
査方式の構成図、第４図は第３図のカメラから得られる
画像の一例の図である。 １・・・集積回路素子（ＩＣ）、２・・・リード、３・
・・先端部、４・・・カメラ、５・・・画像処理部、６
・・・光源、８・・・レーザ変位計、９・・・ステージ
、１０・・・レーザ変位計制御部。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　被検査集積回路素子を特定の平面上の特定の位置に支
   持する支持手段と、前記集積回路素子のリードの検査対
   象とする先端部までの距離を測定するレーザ変位計と、
   このレーザ変位計を搭載固定して前記特定の平面と平行
   する平面を前記集積回路素子のリード列の方向に移動し
   その移動量を出力するステージと、このステージの移動
   量と前記レーザ変位計からの測定距離とを入力とするレ
   ーザ変位制御部とを有することを特徴とする集積回路素
   子のリード曲り検査方式。