[go: up one dir, main page]

JPH02123974A - 超音波モータ - Google Patents

超音波モータ

Info

Publication number
JPH02123974A
JPH02123974A JP63276579A JP27657988A JPH02123974A JP H02123974 A JPH02123974 A JP H02123974A JP 63276579 A JP63276579 A JP 63276579A JP 27657988 A JP27657988 A JP 27657988A JP H02123974 A JPH02123974 A JP H02123974A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
rotor
stator
ultrasonic motor
elastic body
section
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP63276579A
Other languages
English (en)
Inventor
Yasuo Kuwabara
保雄 桑原
Naofumi Fujie
直文 藤江
Takao Saeki
佐伯 孝夫
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Aisin Corp
Original Assignee
Aisin Seiki Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Aisin Seiki Co Ltd filed Critical Aisin Seiki Co Ltd
Priority to JP63276579A priority Critical patent/JPH02123974A/ja
Priority to US07/429,470 priority patent/US5049774A/en
Publication of JPH02123974A publication Critical patent/JPH02123974A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02NELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/10Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
    • H02N2/16Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors using travelling waves, i.e. Rayleigh surface waves
    • H02N2/163Motors with ring stator
    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02NELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/0005Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing non-specific motion; Details common to machines covered by H02N2/02 - H02N2/16
    • H02N2/005Mechanical details, e.g. housings
    • H02N2/0055Supports for driving or driven bodies; Means for pressing driving body against driven body
    • H02N2/006Elastic elements, e.g. springs

Landscapes

  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 (産業上の利用分野) 本発明はステータに発生する振動を駆動源とした超音波
モータに関するものである。
(従来の技術) 従来よりステータに発生する伸縮を利用してロータを回
転させる超音波モータが知られている。
これらの超音波モータでは、ステータに発生した振動エ
ネルギーが摩擦力によってロータに伝達され、ロータが
回転する。それゆえに、超音波モータから安定した出力
を得るためには、ロータがステータに安定して接触して
いる必要がある。
第2図、第3図に従来の超音波モータを示す。
従来装置においては、ステータ51にロータ52をでき
るだけ安定して接触させるために、皿バネ53の弾性変
形によってロータ52とステータ51の間の加圧力が適
当な値に保持されている。
ロータ52が回転している間、ロータ52はステータ5
1から高い周波数を有する振動圧力を受け、法線方向と
接線方向に振動する(第3図参照)。この時、ロータ5
2に生じる振動はステータ51の振動と同じ周波数をを
有している。ロータ52の振動とステータ51の振動が
同じ周波数を有している状態では、超音波モータの出力
はステータ51に供給される電力の大きさに応じて増大
する。
(発明が解決しようとした課題) ところが、ステータ51に供給する電力がある限界値を
越えると、超音波モータの出力は殆ど増大しなくなる。
この状態では、ロータ52に独自の固有振動が発生し、
ステータ51と同じ周波数有する振動が弱められている
多くの実験の結果、発明者らは、ステータ51とロータ
52との間に加えられている加圧力がロータ52の周方
向に沿って一様に分布していればそれだけロータ52に
独自の固有振動が発生しにくいことを発見した。このこ
とは、ステータ51とロータ52との間に加えられてい
る加圧力がロータ52の周方向に沿って一様に分布させ
れば、ステータ51に供給できる電力の限界値が高く設
定でき、大出力の超音波モータが構成できることを意味
する。
そこで、本発明では従来の超音波モータの問題点を解消
し、ステータとロータとの間に加えられている加圧力を
ロータの周方向に沿って一様に分布させることを技術的
課題とした。
〔発明の構成〕
(課題を解決するための手段) 前述した技術的課題を達成するために講した技術的手段
は、ハネ手段によってロータをステータに向かって押さ
えつけた超音波モータにおいて、前記ロータの一部に高
剛性部を形成し、該高剛性部において前記バネ手段と前
記ロータが当接するようにしたことである。
(作用) 前述した技術的手段によれば、ロータと/Nネ手段の当
接部に高剛性部が形成されている。高剛性部が形成され
ていることによって、ステータとロータとの間に加えら
れている加圧力が高剛性部の周方向に沿って一様に分布
し、ロータに独自の固有振動が発生しにくくなる。
(実施例) 以下、添付図面に基づいて、本発明の好ましい一実施例
を説明する。
第1図に本実施例の超音波モータ100の縦断面図を示
す。略円板状のベース4の中心部には開口部4aが開け
られている。開口部4aには、軸受け16が圧入されて
いる。
ベース4には、リング状のステータ3の内孔が嵌合して
いる。ステータ3は螺子11によってベース4に固定さ
れている。ステータ3はリング状の弾性体1の一面にリ
ング状の圧電素子2を導電性の接着剤によって貼り付け
たものである。
弾性体1は大径リング部1aと小径リング部lbO間が
薄肉部1cを介して連続となった形状を有している。弾
性体lは、小径リング部1bが螺子11で支持されるこ
とによりベース4に固定されている。大径リング部1a
の上面には全周に渡って定ピツチの突部1eが多数形成
されている。
弾性体1は導電性の金属材料(りん青銅)で作られてい
るので、電気的には弾性体1がベース4に接続されてい
ることになる。
圧電素子2は、超音波モータ100の進行波発生用の公
知の素子である。圧電素子2とベース4の間には引出電
ff117が配設されている。引出電極17は圧電素子
2に電気的に接続されている。
引出電極17には電気リード18が接続されており、引
出電極17とベース4の間に交流電圧を印加することに
より圧電素子2が伸縮し、弾性体1に進行波振動が生起
される。
ベース4には略円筒状の側部材12が螺子により固定さ
れている。また、側部材12の内周側には蓋部材5が配
設されている。蓋部材5と側部材12の間には螺子が切
られており、蓋部材5を回転させると、蓋部材5が回転
軸9の長手方向に移動する。ベース部材4と側部材12
、及び蓋部材5は超音波モータ100の外部を取り囲む
ノ\ウジング部材を構成する。
蓋部材5には、ベアリング部材15が固定されている。
回転軸9はベアリング15と軸受け16によって支承さ
れる。ベアリング15は回転軸9のフランジ部9aに当
接しており、回転軸9が蓋部材5に向かって移動するこ
とを防止する。
ベアリング15と弾性体1の間にはロータ6とゴムシー
)19および皿バネ13が挿入されている。ロータ6と
ゴムシート19は皿ばね13の弾性力によってステータ
3に押さえつけられる。
皿ばね13は、回転軸9に形成されたフランジ部9aに
よって拘束されており、蓋部材5に向かう移動が制限さ
れている。また、皿ばね13はフランジ部9aによって
ベアリング部材15と同軸に保持されている。従って、
蓋部材5を回転させ、蓋部材5を回転軸9の長手方向に
移動させることにより、ステータ3とロータ6の間の加
圧力を調整することができる。
ロータ6と皿ばね13の間には、ゴムシート14が介在
する。ゴムシート14は、ロータ6の振動によってロー
タ6と皿ばね13の間から音が発生することを防止する
ロータ6にはリング状の厚肉部10が形成されている。
この厚肉部10はロータ6とステータ3の当接面から内
周側に延在し、ロータ5の内周側の剛性を高めている。
皿ばね13はこの厚肉部lOに当接してロータ6を押さ
えつける。厚肉部lOは皿バネ13の加圧力を分散させ
、加圧力をロータ6の周方向に沿って一様に分布させる
。それゆえに、本実施例装置では、ロータ6が皿ばね1
3の加圧力によって均一にたわむようになる。
ロータ6の外周縁部には摺動部6aが形成されている。
摺動部6aの下面は弾性体1の大径リング部1aに対向
している。また、摺動部6aと弾性体lの間には摩擦材
フィルム7が挿入される。
ロータ6は皿ばね13の加圧力により下方に押さえつけ
られているので、摺動部6aの下面は大径リング部1a
に形成された突部1eに摩擦材フィルム7を介して当接
する。
電気リード18とベース4の間に交流電力を印加すると
、電歪振動子2が振動して弾性体lに進行波が発生する
。この進行波は、弾性体1の大径リング部1aを進行(
周回)する。この時、大径リング部1aに形成された突
部1eによって進行波の振幅が拡大される。ロータ6が
摩擦材フィルム7を介して大径リング部1aの突部1e
に当接しているので、大径リング部1aの進行波がロー
タ6に回転モーメントを与える。これによりロータ6お
よび回転軸9が回転する。
ロータ6が回転している間、ロータ6は弾性体1から高
い周波数を有する振動圧力を受け、法線方向と接線方向
に振動する。この時、ロータ6に生じる振動は弾性体l
の振動と同じ周波数を有している。ロータ6の振動と弾
性体1の振動が同じ周波数を有している状態では、超音
波モータ100の出力は圧電素子2に供給される電力の
大きさに応じて増大する。
圧電素子2に供給される電力を徐々に大きくして行くと
、ロータ6に生じる振動が徐々に大きくなる。本実施例
装置では、ロータ6に形成された厚肉部10により、弾
性体1とロータ3の間に加えられている加圧力がロータ
6の周方向に沿って一様に分布しているので、圧電素子
2に供給される電力がかなり大きくなっても、ロータ6
に独自の固有振動が発生しない。それゆえに、圧電素子
2に大電力を供給し、超音波モータ100から大出力を
得ることができる。
一例として、ロータ6の直径が約80(mm)の超音波
モータ100を使用して円筒状部材10の効果を61!
認したところ、直径が約65(am)の円筒状部材を使
用した場合、円筒状部材が無い場合に比べて約1.2倍
の出力を得ることができた。
〔発明の効果〕
本発明によれば、ロータに形成された厚肉部によって、
ステークとロータとの間に加えられている加圧力がロー
タの周方向に沿って一様に分布するので、ロータに独自
の固有振動が発生しに(くなる。従って、ステータに大
電力を供給することができ、大出力の超音波モータを構
成することができる。また、ロータに独自の固有振動が
発生しにくくなるので、ロータから発生する雑音のレベ
ルが低減され、静かなモータが得られる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の弾性体を適用した好ましい超音波モー
タの断面図である。 第2図は従来の超音波モータを描いた断面図である。 第3図は従来の超音波モータを描いた斜視図である。 1・・・弾性体、2・・・圧電素子、3・・・ステータ
。 4・・・ベース、5・・・蓋部材、6・・・ロータ。 7・・・摩擦材、9・・・回転軸。 10・・・厚肉部(高剛性部)。 11・・・螺子、12・・・側部材、13・・・皿ばね
14・・・ゴムシート 15・・・ベアリング部材。 16・・・軸受け、17・・・引出電極。 18・・・電気リード、19・・・ゴムシート100・
・・超音波モータ。

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. (1) ステータと、該ステータに当接し、該ステータ
    の振動によつて駆動され回転するロータと、前記振動体
    に向かつて前記ロータを押さえつけるバネ手段とを有す
    る超音波モータにおいて、前記ロータの一部に高剛性部
    が形成され、該高剛性部において前記バネ手段と前記ロ
    ータが当接するようにした超音波モータ。
  2. (2) 前記高剛性部は、厚肉部であることを特徴とし
    た請求項(1)記載の超音波モータ。
  3. (3) 前記ステータは、電歪素子と弾性体を備えるこ
    とを特徴とした請求項(1)記載の超音波モータ。
  4. (4) 前記高剛性部が、前記ロータと前記弾性体の当
    接面よりも内周側で当接していることを特徴とした請求
    項(3)記載の超音波モータ。
JP63276579A 1988-10-31 1988-10-31 超音波モータ Pending JPH02123974A (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP63276579A JPH02123974A (ja) 1988-10-31 1988-10-31 超音波モータ
US07/429,470 US5049774A (en) 1988-10-31 1989-10-31 Vibratory motor

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP63276579A JPH02123974A (ja) 1988-10-31 1988-10-31 超音波モータ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH02123974A true JPH02123974A (ja) 1990-05-11

Family

ID=17571435

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP63276579A Pending JPH02123974A (ja) 1988-10-31 1988-10-31 超音波モータ

Country Status (2)

Country Link
US (1) US5049774A (ja)
JP (1) JPH02123974A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2018038259A (ja) * 2017-10-19 2018-03-08 株式会社ニコン 振動アクチュエータ及び光学機器

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4025129A1 (de) * 1990-08-08 1992-02-13 Bosch Gmbh Robert Schwingungsmotor
EP0877431B1 (en) * 1991-11-20 2008-01-23 Canon Kabushiki Kaisha Vibration driven motor
US5726518A (en) * 1992-07-22 1998-03-10 Nikon Corporation Supporting device of relative moving element of vibration actuator or vibration motor
DE4243323C2 (de) * 1992-12-21 1996-10-02 Daimler Benz Ag Schwingungsmotor mit Resonanzvermeidung
JPH11191970A (ja) * 1997-12-25 1999-07-13 Asmo Co Ltd 超音波モータ
JP5769380B2 (ja) * 2010-03-23 2015-08-26 キヤノン株式会社 振動波モータ
CN108111054B (zh) * 2017-12-18 2019-05-24 北京卫星制造厂 一种双弹性异形结构预紧的旋转型超声波电机

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61142977A (ja) * 1984-12-14 1986-06-30 Canon Inc 振動波モ−タ
JPS62272880A (ja) * 1986-05-19 1987-11-27 Matsushita Electric Ind Co Ltd 超音波モ−タ

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60170472A (ja) * 1984-02-10 1985-09-03 Canon Inc 振動波モ−タ
JPS60174078A (ja) * 1984-02-17 1985-09-07 Matsushita Electric Ind Co Ltd 圧電モ−タ
US4786836A (en) * 1984-03-01 1988-11-22 Matsushita Electric Industrail Co., Ltd. Piezoelectric motor
US4831305A (en) * 1984-04-02 1989-05-16 Canon Kabushiki Kaisha Vibration wave motor
JPH0632569B2 (ja) * 1984-07-27 1994-04-27 松下電器産業株式会社 超音波モータの駆動方法
JPS61224882A (ja) * 1985-03-29 1986-10-06 Canon Inc 振動波モ−タ
JPS6373887A (ja) * 1986-09-17 1988-04-04 Shinsei Kogyo:Kk 進行波型超音波モ−タ
JP2769151B2 (ja) * 1987-05-08 1998-06-25 松下電器産業株式会社 超音波モータ
JPH0197180A (ja) * 1987-10-06 1989-04-14 Ichikoh Ind Ltd 表面波モータ

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61142977A (ja) * 1984-12-14 1986-06-30 Canon Inc 振動波モ−タ
JPS62272880A (ja) * 1986-05-19 1987-11-27 Matsushita Electric Ind Co Ltd 超音波モ−タ

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2018038259A (ja) * 2017-10-19 2018-03-08 株式会社ニコン 振動アクチュエータ及び光学機器

Also Published As

Publication number Publication date
US5049774A (en) 1991-09-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH0241677A (ja) 超音波モータ
JP2935504B2 (ja) モータ
EP0665636A1 (en) Vibration driven motor
JP2524346B2 (ja) 超音波モ−タ
JPH0336969A (ja) 超音波モータ
JPH02123974A (ja) 超音波モータ
JP2827300B2 (ja) 超音波モータ
JPH0284078A (ja) 超音波モータ
JP2926765B2 (ja) 超音波モータ
JPS63262069A (ja) 圧電振動モ−タ
JPH1066362A (ja) 圧電形の加圧部材を備える振動波モータ
JP5049523B2 (ja) 振動波駆動装置
JPH0822147B2 (ja) 超音波モーター
JP2906378B2 (ja) 超音波モータ
JPS61191278A (ja) 超音波モ−タ
JPS63242185A (ja) 圧電モ−タ
JPH08228492A (ja) 超音波モータ
JP2549310B2 (ja) 超音波モータ
JPH056428B2 (ja)
JPH02303377A (ja) 超音波モータ
JPH01315270A (ja) 超音波モータ
JPH04168986A (ja) 超音波モータ
JPH01255484A (ja) 超音波モータ用弾性体
JPH02303372A (ja) 超音波モータ
JP2625691B2 (ja) 超音波モータ