JPH01320619A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPH01320619A JPH01320619A JP15528688A JP15528688A JPH01320619A JP H01320619 A JPH01320619 A JP H01320619A JP 15528688 A JP15528688 A JP 15528688A JP 15528688 A JP15528688 A JP 15528688A JP H01320619 A JPH01320619 A JP H01320619A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- magnetic recording
- recording medium
- perpendicularly magnetized
- durability
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、高密度記録に適する垂直磁気記録用の磁気記
録媒体に関する。
録媒体に関する。
従来の技術
垂直磁気記録方式は面内磁化記録方式による高密度化の
限界を越えることの出来る磁気記録技術としてその将来
性が注目されている（電子通信学会磁気記録研究会資料
、ＭＲ８５−１６）。
限界を越えることの出来る磁気記録技術としてその将来
性が注目されている（電子通信学会磁気記録研究会資料
、ＭＲ８５−１６）。
このような高密度記録の実現には、基板上に配した強磁
性金属薄膜が、膜面に垂直方向に残留磁化を反平行に配
列できる磁化膜、いわゆる垂直磁化膜を必要とし、現状
では、０．２〜０，５μｍ程度でＯｒを１５〜２３ｗｔ
％含有したＣｏ −Ｏｒ 、ｘ。
性金属薄膜が、膜面に垂直方向に残留磁化を反平行に配
列できる磁化膜、いわゆる垂直磁化膜を必要とし、現状
では、０．２〜０，５μｍ程度でＯｒを１５〜２３ｗｔ
％含有したＣｏ −Ｏｒ 、ｘ。
バッタ膜が性能的に最も優れていて、実用化の為に高速
化の提案がなされている（第４回日本応用磁気学会６０
ム−４，特公昭６２−５６５７５号公報） 発明が解決しようとする課題 しかしながら、従来得られるスパッタリング法によるＧ
ｏ−Ｃｒ垂直磁化膜は、膜形成速度が小さいこと以外に
も課題があり、とりわけ、磁気ヘッドとの接触高速摺動
条件下での耐久性は、重要な課題であり、ディスク状、
テープ状の形態を問わず、摩耗粉が発生し、電磁変換系
に於て、テープ、ディスク、ヘッドのいずれか一方又は
両方にダメージが生じ、優れた高密度記録特性を継続で
きないといった課題があり改善が望まれていた。
化の提案がなされている（第４回日本応用磁気学会６０
ム−４，特公昭６２−５６５７５号公報） 発明が解決しようとする課題 しかしながら、従来得られるスパッタリング法によるＧ
ｏ−Ｃｒ垂直磁化膜は、膜形成速度が小さいこと以外に
も課題があり、とりわけ、磁気ヘッドとの接触高速摺動
条件下での耐久性は、重要な課題であり、ディスク状、
テープ状の形態を問わず、摩耗粉が発生し、電磁変換系
に於て、テープ、ディスク、ヘッドのいずれか一方又は
両方にダメージが生じ、優れた高密度記録特性を継続で
きないといった課題があり改善が望まれていた。
本発明は上記した事情に鑑みなされたもので、優れた高
密度記録特性を維持できる高性能な垂直磁気記録媒体を
提供するものである。
密度記録特性を維持できる高性能な垂直磁気記録媒体を
提供するものである。
課題を解決するだめの手段
本発明の磁気記録媒体は上記した課題を解決するため、
高分子フィルム上にＰｄ又はＰｄ合金を配しその上に垂
直磁化膜を配したものである。
高分子フィルム上にＰｄ又はＰｄ合金を配しその上に垂
直磁化膜を配したものである。
作用
本発明は上記した構成により、垂直磁化膜形成時に、結
晶成長の異常が発生し、その部分が突起となり摩耗粉を
多く発生していた従来品と異なり、Ｐｄが結晶成長を均
一化する作用をもつことで、異常突起をなくすることが
できるので、優れた高密度記録特性を維持できることに
なる。
晶成長の異常が発生し、その部分が突起となり摩耗粉を
多く発生していた従来品と異なり、Ｐｄが結晶成長を均
一化する作用をもつことで、異常突起をなくすることが
できるので、優れた高密度記録特性を維持できることに
なる。
実施例
以下、図面を参照しながら本発明の一実施例について説
明する。図は本発明の磁気記録媒体の拡大断面図である
。図で１はポリエチレンテレフタレート、ポリフェニレ
ンサルファイド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリサ
ルフォン、ポリアミド。
明する。図は本発明の磁気記録媒体の拡大断面図である
。図で１はポリエチレンテレフタレート、ポリフェニレ
ンサルファイド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリサ
ルフォン、ポリアミド。
ポリイミド等の高分子フィルムで、下塗多層のあるもの
は勿論のこと必要なら合金基板でもよい。
は勿論のこと必要なら合金基板でもよい。
２はＰｄ又はＰｄ−ムｇ、Ｐｄ−５ｉ等の合金薄膜で、
合金薄膜の場合はＰｄＯ方を多く、好ましくはＣｏ％以
上をＰｄが占める条件とする必要がある。かかる薄膜は
スパッタリング法による形成が適しているが、他の薄膜
化手段によってもよい。膜厚は１５０ムから５００人の
範囲で構成すればよい。３はＯｏ−Ｏｒ 、 Ｃｏ −
Ｔｉ 、 Ｃｏ −Ｔａ 、 Ｇｏ −Ｍｏ 、
Ｇｏ −Ｗ、 Ｇｏ −Ｏｒ −Ｎｂ 。
合金薄膜の場合はＰｄＯ方を多く、好ましくはＣｏ％以
上をＰｄが占める条件とする必要がある。かかる薄膜は
スパッタリング法による形成が適しているが、他の薄膜
化手段によってもよい。膜厚は１５０ムから５００人の
範囲で構成すればよい。３はＯｏ−Ｏｒ 、 Ｃｏ −
Ｔｉ 、 Ｃｏ −Ｔａ 、 Ｇｏ −Ｍｏ 、
Ｇｏ −Ｗ、 Ｇｏ −Ｏｒ −Ｎｂ 。
Ｃｏ −０ｒ−Ｒｈ等の垂直磁化膜で、高周波スパッタ
リング法、イオンブレーティング法、電子ビーム蒸着法
等により形成した膜厚３ｏｏＫがら４０００人の薄膜で
４は保護層でプラズマ重合膜アモルファスカーボン！、
脂肪酸、パーフルオロポリエーテル等の適宜組み合わ
せで全体の膜厚を２５０Å以下にしてまとめ、スベーン
ング損失をおさえるのが好ましい。本発明は磁気テープ
、磁気ディスクのいずれの形態で実施してもよいが、以
下、更に具体的な例をテープで比較例との対比に於て説
明する。厚み１０μｍの表面の平滑な（平均粗さ３ＯＵ
）ポリエチレンテレフタレートフィルムに直径８０人
のＳｉＯ２微粒子を５ケ／（μｍ）配し、その上に高周
波スパッタリング法でＰｄ、Ｐｄ合金？［を形成し、更
にその上に、同じく高周波スパッタリング法で、Ｇｏ−
Ｏｒ垂直磁化膜を１６００＾形成し、更にヘキサメチル
ジシラザンをモノマーガスとしたプラズマ重合膜を１０
ｏム、パーフルオロアラキン酸の蒸着［−５０人配し、
８ミリ幅の磁気テープとした。比較例は、Ｓｉ、Ｔｉ薄
膜をｐａ 、又はＰ（１合金薄膜の代わりに置きかえた
ものを準備した。これらのテープを改造した８ミリビデ
オにより、ビット長０・２３μｍのディジタル信号を記
録し、再生出力を比較した。初期出力と、くり返し走行
後の出力を比較した結果を表にまとめて示した。
リング法、イオンブレーティング法、電子ビーム蒸着法
等により形成した膜厚３ｏｏＫがら４０００人の薄膜で
４は保護層でプラズマ重合膜アモルファスカーボン！、
脂肪酸、パーフルオロポリエーテル等の適宜組み合わ
せで全体の膜厚を２５０Å以下にしてまとめ、スベーン
ング損失をおさえるのが好ましい。本発明は磁気テープ
、磁気ディスクのいずれの形態で実施してもよいが、以
下、更に具体的な例をテープで比較例との対比に於て説
明する。厚み１０μｍの表面の平滑な（平均粗さ３ＯＵ
）ポリエチレンテレフタレートフィルムに直径８０人
のＳｉＯ２微粒子を５ケ／（μｍ）配し、その上に高周
波スパッタリング法でＰｄ、Ｐｄ合金？［を形成し、更
にその上に、同じく高周波スパッタリング法で、Ｇｏ−
Ｏｒ垂直磁化膜を１６００＾形成し、更にヘキサメチル
ジシラザンをモノマーガスとしたプラズマ重合膜を１０
ｏム、パーフルオロアラキン酸の蒸着［−５０人配し、
８ミリ幅の磁気テープとした。比較例は、Ｓｉ、Ｔｉ薄
膜をｐａ 、又はＰ（１合金薄膜の代わりに置きかえた
ものを準備した。これらのテープを改造した８ミリビデ
オにより、ビット長０・２３μｍのディジタル信号を記
録し、再生出力を比較した。初期出力と、くり返し走行
後の出力を比較した結果を表にまとめて示した。
（以下余白）
発明の効果
以上のように本発明によれば、優れた高密度記録特性を
使用環境の影響を受けずに維持できる、良好な耐久性を
持った垂直磁気記録用の磁気記録媒体がえられるといっ
たすぐれた効果がある。
使用環境の影響を受けずに維持できる、良好な耐久性を
持った垂直磁気記録用の磁気記録媒体がえられるといっ
たすぐれた効果がある。
図は本発明の磁気記録媒体の一実施例の拡大断面図であ
る。 １・・・・・・高分子フィルム、２・・・・・・Ｐｄ又
はＰｄ合金薄膜、３・・・・・・垂直磁化膜。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名／−
−−息分子フィルム ２−Ｐｃｔ、又１才Ｐｄ＠；金賃順 ３−室直磁化順
る。 １・・・・・・高分子フィルム、２・・・・・・Ｐｄ又
はＰｄ合金薄膜、３・・・・・・垂直磁化膜。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名／−
−−息分子フィルム ２−Ｐｃｔ、又１才Ｐｄ＠；金賃順 ３−室直磁化順
Claims (1)
- Ｐｄ又はＰｄ合金薄膜上に垂直磁化膜を配したことを特
徴とする磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15528688A JPH01320619A (ja) | 1988-06-23 | 1988-06-23 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15528688A JPH01320619A (ja) | 1988-06-23 | 1988-06-23 | 磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01320619A true JPH01320619A (ja) | 1989-12-26 |
Family
ID=15602579
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15528688A Pending JPH01320619A (ja) | 1988-06-23 | 1988-06-23 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01320619A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5863661A (en) * | 1994-10-07 | 1999-01-26 | Carnegie Mellon University | Method of enhancing the c-axis perpendicular orientation of barium hexaferrite thin films and barium hexaferrite thin film recording media produced thereby |
| WO2003042984A1 (fr) * | 2001-11-16 | 2003-05-22 | Hitachi Maxell, Ltd. | Support d'enregistrement magnetique, procede de production de ce dernier et memoire magnetique |
-
1988
- 1988-06-23 JP JP15528688A patent/JPH01320619A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5863661A (en) * | 1994-10-07 | 1999-01-26 | Carnegie Mellon University | Method of enhancing the c-axis perpendicular orientation of barium hexaferrite thin films and barium hexaferrite thin film recording media produced thereby |
| WO2003042984A1 (fr) * | 2001-11-16 | 2003-05-22 | Hitachi Maxell, Ltd. | Support d'enregistrement magnetique, procede de production de ce dernier et memoire magnetique |
| US6846582B2 (en) | 2001-11-16 | 2005-01-25 | Hitachi Maxell, Ltd. | Magnetic recording medium, method for producing the same, and magnetic storage apparatus |
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