JP2605380B2 - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
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- JP2605380B2 JP2605380B2 JP25512588A JP25512588A JP2605380B2 JP 2605380 B2 JP2605380 B2 JP 2605380B2 JP 25512588 A JP25512588 A JP 25512588A JP 25512588 A JP25512588 A JP 25512588A JP 2605380 B2 JP2605380 B2 JP 2605380B2
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Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は高密度磁気記録に適する強磁性金属薄膜を磁
気記録層とする磁気記録媒体に関する。
気記録層とする磁気記録媒体に関する。
従来の技術 回転磁気ヘッドによるヘリカル走査方式による音声、
画像の記録、再生を行なう技術は、磁気記録の中でも、
記録密度が高くなってきている。そのため、今後更に短
波長化するには、新しい構成の磁気記録媒体が必要で、
高分子フィルム等の非磁性基板上に、Co−Crのスパッタ
リング法で得られた垂直磁化膜や、Co−Ni−Ｏの斜め蒸
着膜を配した蒸着テープが有望視されている〔例えば、
外国論文誌、IEEE TRANSACT10NS ON MAGNETICS Vol.MAG
−21,NO−3,P.P.1217〜1220（1985）参照〕。
画像の記録、再生を行なう技術は、磁気記録の中でも、
記録密度が高くなってきている。そのため、今後更に短
波長化するには、新しい構成の磁気記録媒体が必要で、
高分子フィルム等の非磁性基板上に、Co−Crのスパッタ
リング法で得られた垂直磁化膜や、Co−Ni−Ｏの斜め蒸
着膜を配した蒸着テープが有望視されている〔例えば、
外国論文誌、IEEE TRANSACT10NS ON MAGNETICS Vol.MAG
−21,NO−3,P.P.1217〜1220（1985）参照〕。
第２図は蒸着テープの一例の拡大断面図で、第２図で
１はポリエチレンテレフタレートフィルム等の高分子フ
ィルムで必要に応じて凹凸を付与するための下塗り層を
配したものも用いられる。２は電子ビーム蒸着法、高周
波スパッタリング法等で形成される0.05μｍから0.3μ
ｍ程度の強磁性金属薄膜からなる磁気記録層で、３は保
護潤滑層でアモルファスカーボン膜と、フッ素オイルの
積層等、数多くの提案がなされているものから適宜選択
して用いることができる。４はバックコート層で、走行
性を助けるためにフイラー、潤滑剤等を含む樹脂からな
る塗布層である〔特公昭56−23,208号公報、特開昭58−
41418号公報、特開昭61−151835号公報、特開昭61−187
122号公報等参照〕。
１はポリエチレンテレフタレートフィルム等の高分子フ
ィルムで必要に応じて凹凸を付与するための下塗り層を
配したものも用いられる。２は電子ビーム蒸着法、高周
波スパッタリング法等で形成される0.05μｍから0.3μ
ｍ程度の強磁性金属薄膜からなる磁気記録層で、３は保
護潤滑層でアモルファスカーボン膜と、フッ素オイルの
積層等、数多くの提案がなされているものから適宜選択
して用いることができる。４はバックコート層で、走行
性を助けるためにフイラー、潤滑剤等を含む樹脂からな
る塗布層である〔特公昭56−23,208号公報、特開昭58−
41418号公報、特開昭61−151835号公報、特開昭61−187
122号公報等参照〕。
又、磁気テープは体積記録密度が大きくできることも
特徴であり、長時間記録の手段として、テープの薄型化
の動向も重要であり、その点からみても蒸着テープは、
薄型化に有利で開発が進められているのが現状である。
特徴であり、長時間記録の手段として、テープの薄型化
の動向も重要であり、その点からみても蒸着テープは、
薄型化に有利で開発が進められているのが現状である。
確かに磁気記録層が従来の塗布型磁性層に比べて1/10
ぐらいに薄くなるのと、磁気記録層のヤング率が10倍以
上大きいので、全厚を薄くできると考えられるが、広範
囲の温度範囲での実用化を目指した時、バイメタル構造
となっている不利な面が目立ってくるので、両面に蒸着
層を配したテープ構成も提案されている〔特開昭61−11
0343号公報等参照〕。
ぐらいに薄くなるのと、磁気記録層のヤング率が10倍以
上大きいので、全厚を薄くできると考えられるが、広範
囲の温度範囲での実用化を目指した時、バイメタル構造
となっている不利な面が目立ってくるので、両面に蒸着
層を配したテープ構成も提案されている〔特開昭61−11
0343号公報等参照〕。
第３図は、両面蒸着型の磁気テープの拡大断面図の一
例で、第３図で、５は高分子フィルムで両面にミミズ状
の凹凸を配したポリエチレンテレフタレートフィルム等
が用いられる。６は垂直磁化膜、斜め蒸着膜等の強磁性
金属薄膜から成る磁気記録層で、７は両面アクセス型と
する場合は、強磁性金属薄膜から構成し、片面アクセス
の場合は、SiO,SiO2,Al2O3,MgF2等の非磁性薄膜で、反
応性蒸着，高周波スパッタリング等の方法で形成される
もので８は保護潤滑膜である。
例で、第３図で、５は高分子フィルムで両面にミミズ状
の凹凸を配したポリエチレンテレフタレートフィルム等
が用いられる。６は垂直磁化膜、斜め蒸着膜等の強磁性
金属薄膜から成る磁気記録層で、７は両面アクセス型と
する場合は、強磁性金属薄膜から構成し、片面アクセス
の場合は、SiO,SiO2,Al2O3,MgF2等の非磁性薄膜で、反
応性蒸着，高周波スパッタリング等の方法で形成される
もので８は保護潤滑膜である。
発明が解決しようとする課題 しかしながら上記した構成では、全厚が10μ以下で、
高密度記録再生用途に応用した場合、耐久性が不十分で
特に高画質化の進んだ最近の録画技術の要求からすると
ジッターによる画質劣化が課題であり、改善が望まれて
いた。
高密度記録再生用途に応用した場合、耐久性が不十分で
特に高画質化の進んだ最近の録画技術の要求からすると
ジッターによる画質劣化が課題であり、改善が望まれて
いた。
本発明は、上記した事情に鑑みなされたもので、くり
返し使用でも走行性の安定化が図られジッターによる画
質劣化のない薄型の磁気テープを提供するものである。
返し使用でも走行性の安定化が図られジッターによる画
質劣化のない薄型の磁気テープを提供するものである。
課題を解決するための手段 上記した課題を解決するため本発明の磁気記録媒体
は、高分子フィルムの一方に強磁性金属薄膜とダイヤモ
ンド状炭素膜、潤滑層を積層し、もう一方にグラファイ
ト膜を配するようにしたものである。
は、高分子フィルムの一方に強磁性金属薄膜とダイヤモ
ンド状炭素膜、潤滑層を積層し、もう一方にグラファイ
ト膜を配するようにしたものである。
作 用 本発明の磁気記録媒体は上記した構成により、裏面の
走行性が安定しかつ、潤滑剤が両面にほぼ均等に転写で
平衡状態が保たれるようになるので走行性が安定に保た
れることになる。特に高速走行、ヘッドとの摺動で、強
磁性金属薄膜側の潤滑剤層は減少するが、絶えず反対側
から補給されるので耐久性が確保できるようになる。
走行性が安定しかつ、潤滑剤が両面にほぼ均等に転写で
平衡状態が保たれるようになるので走行性が安定に保た
れることになる。特に高速走行、ヘッドとの摺動で、強
磁性金属薄膜側の潤滑剤層は減少するが、絶えず反対側
から補給されるので耐久性が確保できるようになる。
実施例 以下図面を参照しながら本発明の一実施例について説
明する。第１図は本発明の一実施例の磁気記録媒体の拡
大断面図で、第１図で９は厚み９μ以下のポリエチレン
テレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリエー
テルエーテルケトン、ポリフエニレンサルフアイド、ポ
リエーテルサルフオン、ポリアミド、ポリイミド等の高
分子フィルムで、10,11は水溶性高分子から成るミミズ
状の下塗り層か、SiO2,TiO2,CaCO3,ZnO,ポリエチレン球
等の微粒子を配した下塗り層で、12はCo,Co−Cr,Co−O,
Co−Ni,Co−Fe,Co−Ta,Co−Mo,Co−W,Co−Nd,Co−Cr−N
b,Co−Ni−Ｏ等の強磁性金属薄膜で厚みは500Åから300
0Åの範囲が好ましく、多層構成としてもよく、電子ビ
ーム蒸着法、イオンプレーティング法、スパッタリング
法等により形成することができる。13はダイヤモンド状
の炭素薄膜で、スパッタリング法、イオンビームデポジ
ション法、等公知の方法〔エレクトロニク・セラミクス
1987年９月号,46−55頁参照〕で形成した50Åから200Å
の薄膜で、ダイヤモンド薄膜であってもよいが、工業的
には成膜速度が小さいことからダイヤモンド状硬質炭素
膜が適当である。14はカーボンをターゲットにしてスパ
ッタリング法で形成したグラファイト薄膜で、1000Åか
ら3000Åの範囲が好ましい。
明する。第１図は本発明の一実施例の磁気記録媒体の拡
大断面図で、第１図で９は厚み９μ以下のポリエチレン
テレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリエー
テルエーテルケトン、ポリフエニレンサルフアイド、ポ
リエーテルサルフオン、ポリアミド、ポリイミド等の高
分子フィルムで、10,11は水溶性高分子から成るミミズ
状の下塗り層か、SiO2,TiO2,CaCO3,ZnO,ポリエチレン球
等の微粒子を配した下塗り層で、12はCo,Co−Cr,Co−O,
Co−Ni,Co−Fe,Co−Ta,Co−Mo,Co−W,Co−Nd,Co−Cr−N
b,Co−Ni−Ｏ等の強磁性金属薄膜で厚みは500Åから300
0Åの範囲が好ましく、多層構成としてもよく、電子ビ
ーム蒸着法、イオンプレーティング法、スパッタリング
法等により形成することができる。13はダイヤモンド状
の炭素薄膜で、スパッタリング法、イオンビームデポジ
ション法、等公知の方法〔エレクトロニク・セラミクス
1987年９月号,46−55頁参照〕で形成した50Åから200Å
の薄膜で、ダイヤモンド薄膜であってもよいが、工業的
には成膜速度が小さいことからダイヤモンド状硬質炭素
膜が適当である。14はカーボンをターゲットにしてスパ
ッタリング法で形成したグラファイト薄膜で、1000Åか
ら3000Åの範囲が好ましい。
15は潤滑剤で15Aと15Bに分割され両面に配され、製造
後も、テープ状で利用されることにより転写により平衡
状態が保たれているので、脂肪酸、脂肪酸エステル、パ
ーフルオロカルボン酸、パーフルオロポリエーテル、等
を溶液塗布法、真空蒸着法等で配したものが用いられ
る。
後も、テープ状で利用されることにより転写により平衡
状態が保たれているので、脂肪酸、脂肪酸エステル、パ
ーフルオロカルボン酸、パーフルオロポリエーテル、等
を溶液塗布法、真空蒸着法等で配したものが用いられ
る。
以下、更に具体的に本発明の一実施例について比較例
との対比で詳しく説明する。
との対比で詳しく説明する。
実施例−１ 厚み8.8μｍのポリエチレンテレフタレートフィルム
の一方の面に直径90ÅのEu2O3微粒子を15ケ／（μｍ）
２の密度の下塗り層、もう一方の面に直径400ÅのAl2O3
微粒子を３ケ／（μｍ）２配し、Eu2O3微粒子を配した
面に直径1mの円筒キヤンに沿わせて、最小入射角48度、
酸素分圧８×10-5（Torr）でCo−Ni（Co:80wt％）を電
子ビーム蒸着し、Co−Ni−Ｏ膜1400Åを形成し、その上
にグラファイトをターゲットにしてAr＋H2＝0.09（Tor
r）AriH2＝1:2,13.56（MHz）900（Ｗ）でスパッタリン
グ法によりダイヤモンド状硬質炭素膜を100Å配し、も
う一方の面にCH4ガスを放電分解し、グラファイト薄膜
を1550Å配し、ダイヤモンド状硬質炭素薄膜側に真空蒸
着法でパーフルオロステアリン酸を160Å配し、８ミリ
幅のテープに加工した。尚テープは８ミリカセットに12
0m巻き込み、50℃,1Wエージングを行った。
の一方の面に直径90ÅのEu2O3微粒子を15ケ／（μｍ）
２の密度の下塗り層、もう一方の面に直径400ÅのAl2O3
微粒子を３ケ／（μｍ）２配し、Eu2O3微粒子を配した
面に直径1mの円筒キヤンに沿わせて、最小入射角48度、
酸素分圧８×10-5（Torr）でCo−Ni（Co:80wt％）を電
子ビーム蒸着し、Co−Ni−Ｏ膜1400Åを形成し、その上
にグラファイトをターゲットにしてAr＋H2＝0.09（Tor
r）AriH2＝1:2,13.56（MHz）900（Ｗ）でスパッタリン
グ法によりダイヤモンド状硬質炭素膜を100Å配し、も
う一方の面にCH4ガスを放電分解し、グラファイト薄膜
を1550Å配し、ダイヤモンド状硬質炭素薄膜側に真空蒸
着法でパーフルオロステアリン酸を160Å配し、８ミリ
幅のテープに加工した。尚テープは８ミリカセットに12
0m巻き込み、50℃,1Wエージングを行った。
実施例−２ 実施例−１と同じフィルムに微粒子を配し、Eu2O3微
粒子側に、高周波スパッタリング法により、直径50cmの
円筒キヤンに沿わせて、Co−Cr（Co:80wt％）垂直磁化
膜を1400Å配し、その上に実施例−１と同様にダイヤモ
ンド状硬質炭素膜を100Å配し、もう一方の面にグラフ
ァイト薄膜を1450Å配し、潤滑剤としてパーフルオロア
ラキン酸を180Å配し、８ミリ幅のテープにし、実施例
−１と同じ条件でカセットに巻き込みエージングを行っ
た。
粒子側に、高周波スパッタリング法により、直径50cmの
円筒キヤンに沿わせて、Co−Cr（Co:80wt％）垂直磁化
膜を1400Å配し、その上に実施例−１と同様にダイヤモ
ンド状硬質炭素膜を100Å配し、もう一方の面にグラフ
ァイト薄膜を1450Å配し、潤滑剤としてパーフルオロア
ラキン酸を180Å配し、８ミリ幅のテープにし、実施例
−１と同じ条件でカセットに巻き込みエージングを行っ
た。
比較例−１ 実施例−１でCo−Ni−Ｏ薄膜を配したのと反対側のフ
ィルム面にカーボン微粒子とCaCO3を重量比で2:1、ポリ
エステル樹脂に対し重量で1:1のバックコートを配した
以外は同じ条件で８ミリカセットテープを準備した。
ィルム面にカーボン微粒子とCaCO3を重量比で2:1、ポリ
エステル樹脂に対し重量で1:1のバックコートを配した
以外は同じ条件で８ミリカセットテープを準備した。
比較例−２ 実施例−２で、グラフアイト薄膜の代りに、Ｂをター
ゲットにしてCH4ガスを放電ガスとして0.1（Torr）,13.
56（MHz）800（Ｗ）でのスパッタリングによりBC膜を12
00Å配した以外は同じ条件の８ミリカセットテープを準
備した。
ゲットにしてCH4ガスを放電ガスとして0.1（Torr）,13.
56（MHz）800（Ｗ）でのスパッタリングによりBC膜を12
00Å配した以外は同じ条件の８ミリカセットテープを準
備した。
上記したテープをハイバンド仕様に改造した８ミリビ
デオで記録再生をくり返しジッターのレベルが画像目視
で許容レベルをこえるまでのくり返し走行回数を調べた
結果を表にまとめて示した。尚走行モードは全長記録
し、巻き戻し、再生チェックを行い、次に巻き戻すまで
３時間放置し巻き戻し再生するといったくり返しで比較
した。
デオで記録再生をくり返しジッターのレベルが画像目視
で許容レベルをこえるまでのくり返し走行回数を調べた
結果を表にまとめて示した。尚走行モードは全長記録
し、巻き戻し、再生チェックを行い、次に巻き戻すまで
３時間放置し巻き戻し再生するといったくり返しで比較
した。
発明の効果 以上のように本発明によれば、走行性が良好でかつく
り返し耐久性も良好な高密度記録性能に優れた薄型の磁
気記録媒体が提供できるといったすぐれた効果がある。
り返し耐久性も良好な高密度記録性能に優れた薄型の磁
気記録媒体が提供できるといったすぐれた効果がある。
第１図は本発明の磁気記録媒体の一実施例の拡大断面図
で、第２図，第３図は従来の磁気記録媒体の拡大断面図
である。 ９……高分子フィルム、10,11……下塗り層、12……強
磁性金属薄膜、13……ダイヤモンド状炭素膜、14……グ
ラフアイト膜、15A,15B……潤滑剤。
で、第２図，第３図は従来の磁気記録媒体の拡大断面図
である。 ９……高分子フィルム、10,11……下塗り層、12……強
磁性金属薄膜、13……ダイヤモンド状炭素膜、14……グ
ラフアイト膜、15A,15B……潤滑剤。
Claims (1)
- 【請求項１】高分子フィルムの一方の面に強磁性金属薄
膜とダイヤモンド状炭素膜，潤滑層を積層し、もう一方
の面にグラファイト膜を配したことを特徴とする磁気記
録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25512588A JP2605380B2 (ja) | 1988-10-11 | 1988-10-11 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25512588A JP2605380B2 (ja) | 1988-10-11 | 1988-10-11 | 磁気記録媒体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02101622A JPH02101622A (ja) | 1990-04-13 |
| JP2605380B2 true JP2605380B2 (ja) | 1997-04-30 |
Family
ID=17274436
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25512588A Expired - Fee Related JP2605380B2 (ja) | 1988-10-11 | 1988-10-11 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2605380B2 (ja) |
-
1988
- 1988-10-11 JP JP25512588A patent/JP2605380B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02101622A (ja) | 1990-04-13 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |