JPH01270250A - 集積回路装置およびその製造方法 - Google Patents
集積回路装置およびその製造方法Info
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- JPH01270250A JPH01270250A JP63098660A JP9866088A JPH01270250A JP H01270250 A JPH01270250 A JP H01270250A JP 63098660 A JP63098660 A JP 63098660A JP 9866088 A JP9866088 A JP 9866088A JP H01270250 A JPH01270250 A JP H01270250A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- conductor
- integrated circuit
- pads
- plural
- insulating substrate
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- Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は例えばICカード等に用いられる集積回路装置
(以下ICモジュールと称す)に関するものである。
(以下ICモジュールと称す)に関するものである。
従来の技術
個人を識別するカードとして、従来は磁気あるいは光学
的読み取りによる識別方式を用いていたが恒久性に欠け
たり、変更が容易であったりして識別の安全性の低いも
のであるという問題があった。このため、最近では集積
回路(以下ICと称す)を装着、若しくは内蔵したIC
カードを識別カードとして利用するシステムについて実
用化の検討が行われている。
的読み取りによる識別方式を用いていたが恒久性に欠け
たり、変更が容易であったりして識別の安全性の低いも
のであるという問題があった。このため、最近では集積
回路(以下ICと称す)を装着、若しくは内蔵したIC
カードを識別カードとして利用するシステムについて実
用化の検討が行われている。
このようなICカードは従来の磁気ストライプカードに
比べ、その記憶容量が大きく、内蔵するIC化されたマ
イクロコンピュータ−により、識別の安全性が高いこと
から、銀行関係では預金通帳に代る預貯金の履歴を、そ
してクレジット関係では買物などの取引履歴、医療関係
では個人の健康データの記憶などの応用システムが考え
られている。
比べ、その記憶容量が大きく、内蔵するIC化されたマ
イクロコンピュータ−により、識別の安全性が高いこと
から、銀行関係では預金通帳に代る預貯金の履歴を、そ
してクレジット関係では買物などの取引履歴、医療関係
では個人の健康データの記憶などの応用システムが考え
られている。
ICカードにも多くの種類があるが、D′も薄いもので
760μmの厚みのICカードがl5O(国際標準化機
構)で規格化が検討されている。
760μmの厚みのICカードがl5O(国際標準化機
構)で規格化が検討されている。
以下、従来のICカード及びこのカードに用いられるI
Cモジュールについて添付図面を参照しながら説明する
。
Cモジュールについて添付図面を参照しながら説明する
。
第5図はICカードの斜視図、第5図は第5図における
ムーA′断面であり、ICモジュールの周辺を示す断面
図、第7図は回路基板の断面図、第8図は第7図の回路
基板を用いたICモジュールの断面図である。
ムーA′断面であり、ICモジュールの周辺を示す断面
図、第7図は回路基板の断面図、第8図は第7図の回路
基板を用いたICモジュールの断面図である。
従来、この種のICカードは第5図、第5図に示すよう
に、積74あるいはシート状の760μm厚のプラスチ
ックカード1に、エンドミルやトムソン金型などを用い
て、ICモジュール300大きさで穴2を設け、上記プ
ラスチックカード1よりやや薄い厚みの上記ICモジュ
ール30′fr:挿入し、外部接続用の電極3が露出す
るように接着する0 上記ICモジュール30としては、通常、第7図に示す
ような回路基板20i用いる。まず、厚さ300μm程
度のガラスエポキシあるいはポリイミドからなる基板4
の両面に、16〜36μm厚の銅箔をラミネートし、所
望のパターンを得るためにエツチングした後、表裏面の
パターンを接続するためにスルホール6を行った後、ニ
ッケル及び金のメツキを行い外部の電極3と回路パター
ン6を形成する。さらにICモジュールとしての極薄実
装するためにエンドミルなどを使用して上記基板4に座
ぐりを行い凹部7を形成し、その後ICsを保護するた
めの絶縁性保護材(以下封止樹脂と称す)11がスルホ
ール6から流出することを防ぐための封止枠8を回路パ
ターン6上に接着剤などを用いて取り付ける。以上の方
法により得られた回路基板20(i−用いて、次に、I
Ceを実装する所を説明するために第8図を用いる。凹
部7にIC9ft、ダイボンドし、金、アルミ、鋼材な
どの材質のワイヤーボンディング10により、回路パタ
ーン6とIC9の入出力パッド(図示せず)とをできる
だけ低いワイヤーのループ高さで接続後、上記ze9t
エポキシ樹脂などの封止樹脂11で被覆していた。
に、積74あるいはシート状の760μm厚のプラスチ
ックカード1に、エンドミルやトムソン金型などを用い
て、ICモジュール300大きさで穴2を設け、上記プ
ラスチックカード1よりやや薄い厚みの上記ICモジュ
ール30′fr:挿入し、外部接続用の電極3が露出す
るように接着する0 上記ICモジュール30としては、通常、第7図に示す
ような回路基板20i用いる。まず、厚さ300μm程
度のガラスエポキシあるいはポリイミドからなる基板4
の両面に、16〜36μm厚の銅箔をラミネートし、所
望のパターンを得るためにエツチングした後、表裏面の
パターンを接続するためにスルホール6を行った後、ニ
ッケル及び金のメツキを行い外部の電極3と回路パター
ン6を形成する。さらにICモジュールとしての極薄実
装するためにエンドミルなどを使用して上記基板4に座
ぐりを行い凹部7を形成し、その後ICsを保護するた
めの絶縁性保護材(以下封止樹脂と称す)11がスルホ
ール6から流出することを防ぐための封止枠8を回路パ
ターン6上に接着剤などを用いて取り付ける。以上の方
法により得られた回路基板20(i−用いて、次に、I
Ceを実装する所を説明するために第8図を用いる。凹
部7にIC9ft、ダイボンドし、金、アルミ、鋼材な
どの材質のワイヤーボンディング10により、回路パタ
ーン6とIC9の入出力パッド(図示せず)とをできる
だけ低いワイヤーのループ高さで接続後、上記ze9t
エポキシ樹脂などの封止樹脂11で被覆していた。
発明が解決しようとする課題
ICカードは従来の磁気ストライプカードと同様の76
0μmの厚が要求されるため、埋設されるICモジュー
ル30の厚さは大きく制約を受ける。例えば、第5図に
示すようなプラスチックカード1にICモジュール30
が埋設される構成のICカードの場合は、エンドミルや
トムソン金型等を用いて、プラスチックカード1に穴2
を設け、プラスチックカード1の残り部分ムの厚みが9
0μmとした場合、その穴2に埋設されるICモジュー
ル30Fi、670μmの厚さに制限する必要がある。
0μmの厚が要求されるため、埋設されるICモジュー
ル30の厚さは大きく制約を受ける。例えば、第5図に
示すようなプラスチックカード1にICモジュール30
が埋設される構成のICカードの場合は、エンドミルや
トムソン金型等を用いて、プラスチックカード1に穴2
を設け、プラスチックカード1の残り部分ムの厚みが9
0μmとした場合、その穴2に埋設されるICモジュー
ル30Fi、670μmの厚さに制限する必要がある。
このICモジュール30の厚みを決定する基本寸法とし
て、第7図の回路基板2oの8寸法がきわめてN要にな
る。しかし回路基板20を製造する上で8寸法を所定の
寸法範囲、例えば870th30μ諺の厚みに製造する
ことは非常に困難であり、製造歩留りも悪く、高価な回
路基板となっていた。また、スルーホール6を通して電
極3と回路パターン6を接続しているため、非常に複雑
な横這となり、更にICモジュール3oの実装面にdい
て、厚みが非常に薄いことからIC9の接続パッドと回
路パターン6を接続するワイヤー10のループ高さを非
常に低くする必要があるが、安定した低ループボンディ
ングは極めて雉かしいものである。
て、第7図の回路基板2oの8寸法がきわめてN要にな
る。しかし回路基板20を製造する上で8寸法を所定の
寸法範囲、例えば870th30μ諺の厚みに製造する
ことは非常に困難であり、製造歩留りも悪く、高価な回
路基板となっていた。また、スルーホール6を通して電
極3と回路パターン6を接続しているため、非常に複雑
な横這となり、更にICモジュール3oの実装面にdい
て、厚みが非常に薄いことからIC9の接続パッドと回
路パターン6を接続するワイヤー10のループ高さを非
常に低くする必要があるが、安定した低ループボンディ
ングは極めて雉かしいものである。
更に今一つ、電極3の表面は軟質の金メツキ層を用いる
場合が多(、IC:モジュール30の実装中に裏面側と
なる電極3に傷が付き易く、外観不良となり製造歩留り
を低下させる原因にもなっていた。
場合が多(、IC:モジュール30の実装中に裏面側と
なる電極3に傷が付き易く、外観不良となり製造歩留り
を低下させる原因にもなっていた。
課題を鱗決するだめの手段
そして上記問題点全解決する本発明の技術的手段は、絶
縁性基板上に載置されたICと、上記ICの入出力パッ
ドと上記絶縁性基板上の導体パッドを接続する導体線と
、上記導体線の一部が露出するようにして、この導体線
と導体パッドと、上記IC’((積った封止樹脂と、上
記封止動面から一部露出した上記導体線と対応させて設
置された電極とで構成したものである。
縁性基板上に載置されたICと、上記ICの入出力パッ
ドと上記絶縁性基板上の導体パッドを接続する導体線と
、上記導体線の一部が露出するようにして、この導体線
と導体パッドと、上記IC’((積った封止樹脂と、上
記封止動面から一部露出した上記導体線と対応させて設
置された電極とで構成したものである。
作用
この構成により基板加工は射出成形法を用いて形成でき
、しかもスルーホールを要しない簡単な構造であること
から、厚み精度が高く、安価に製造できる。またICの
実装においてはループ高さの尚いワイヤーボンディング
条件で良いことから安定した、信頼性の尚い実装が可能
となり、更に電極を最終工程で形成することから、電極
キズの少ないICモジュールを製造することが可能とな
るO 実施例 以下本発明の一実施例について図面を参照しながら説明
する。第1図は本発明の第1の実施例によるICモジュ
ールの断面構造図であり、複数の導体パッド21を有す
る絶縁性基板22上の一面23に載置された工C24と
、上記IC24の複数の入出力パッド(図示せず)と上
記導体パッド21f!:接続する複数の導体線26と、
上記導体パッド21、上記IC24、上記導体線26を
含み、上記導体線26の一部を露出するように設けた封
止樹脂26と、上記封止佃脂26から一部露出した上記
導体線26と対応させて設置された複数の電極2Tで構
成されたものである。
、しかもスルーホールを要しない簡単な構造であること
から、厚み精度が高く、安価に製造できる。またICの
実装においてはループ高さの尚いワイヤーボンディング
条件で良いことから安定した、信頼性の尚い実装が可能
となり、更に電極を最終工程で形成することから、電極
キズの少ないICモジュールを製造することが可能とな
るO 実施例 以下本発明の一実施例について図面を参照しながら説明
する。第1図は本発明の第1の実施例によるICモジュ
ールの断面構造図であり、複数の導体パッド21を有す
る絶縁性基板22上の一面23に載置された工C24と
、上記IC24の複数の入出力パッド(図示せず)と上
記導体パッド21f!:接続する複数の導体線26と、
上記導体パッド21、上記IC24、上記導体線26を
含み、上記導体線26の一部を露出するように設けた封
止樹脂26と、上記封止佃脂26から一部露出した上記
導体線26と対応させて設置された複数の電極2Tで構
成されたものである。
以上のように構成されたICモジュールについて以下そ
の製造方法を第2図を参照しながら説明する。例えば射
出成形法で絶縁性基板22を成形し、次に絶縁性基板2
2の上記−面23の所定の箇所にIO24を載置し、次
に上記ICE24の入出力パッド(図示せず)と上記導
体パッド21を例えばワイヤーボンディング法にて、金
、銅等の導体線26で所定のループ高さ金保って接続す
る(第2図a)。この時の上記導体線26のループ4高
さは、例えばICモジュールの総厚を考慮して次工程の
トランスファー成形用上金型と、上記導体線26が接触
する高さとする0 続いて金型を用いたトランスファー成形法にて上記導体
線26の最高部29が露出するように、例えばエポキシ
系の封止樹脂26で成形する(第2図b)。つまり(第
2図a)で上記導体線25の最高部29がトランスファ
ー成形の上金型に接触した状態で成形されるため、上記
4体ffM25の上記最高部29が上記封止樹脂26か
ら露出することになる。当然上記導体線25のループ高
さのバラツキがあっても、七ランスファー成形の上金型
で押えられることから上記最高部29の高さをほぼ均一
にすることが可能となり、上記最高部凶と上記封止樹脂
26の上面はほぼ平坦となる。しかしながら上記導体線
26と上記電極27との完全なコンタクlt−とるため
に、対土成形後上記封止樹脂260表面を例えば数ミク
ロンの厚さ研磨して、上記導体線26の上記最高部29
を広く露出させてもよい。
の製造方法を第2図を参照しながら説明する。例えば射
出成形法で絶縁性基板22を成形し、次に絶縁性基板2
2の上記−面23の所定の箇所にIO24を載置し、次
に上記ICE24の入出力パッド(図示せず)と上記導
体パッド21を例えばワイヤーボンディング法にて、金
、銅等の導体線26で所定のループ高さ金保って接続す
る(第2図a)。この時の上記導体線26のループ4高
さは、例えばICモジュールの総厚を考慮して次工程の
トランスファー成形用上金型と、上記導体線26が接触
する高さとする0 続いて金型を用いたトランスファー成形法にて上記導体
線26の最高部29が露出するように、例えばエポキシ
系の封止樹脂26で成形する(第2図b)。つまり(第
2図a)で上記導体線25の最高部29がトランスファ
ー成形の上金型に接触した状態で成形されるため、上記
4体ffM25の上記最高部29が上記封止樹脂26か
ら露出することになる。当然上記導体線25のループ高
さのバラツキがあっても、七ランスファー成形の上金型
で押えられることから上記最高部29の高さをほぼ均一
にすることが可能となり、上記最高部凶と上記封止樹脂
26の上面はほぼ平坦となる。しかしながら上記導体線
26と上記電極27との完全なコンタクlt−とるため
に、対土成形後上記封止樹脂260表面を例えば数ミク
ロンの厚さ研磨して、上記導体線26の上記最高部29
を広く露出させてもよい。
更に、露出した上記導体線26の上記最高部29に対応
して、上記導体線26と接触させるように上記封止樹脂
26上に、例えばメツキ法を用いて銅、ニッケル、金で
構成された上記電極27をバターニング形成する(第2
図C)。この時の上記電極27の個数、形状はISO規
格に合ったものであることはいうまでもない0 本構造では上記IC24が載置された一面23側のみ封
止樹脂26で成形したが、上記絶縁性基板22の偵の主
面28側も封止1ガ脂2eで被覆されたものでも可能で
あり、この構造であれば同一の封止材料で上記IC24
が表、裏側ともに封止されているため、上記IC24に
かかるひずみストレスが小さくなり、上記IC24の信
頼性を高めることが可能となる。
して、上記導体線26と接触させるように上記封止樹脂
26上に、例えばメツキ法を用いて銅、ニッケル、金で
構成された上記電極27をバターニング形成する(第2
図C)。この時の上記電極27の個数、形状はISO規
格に合ったものであることはいうまでもない0 本構造では上記IC24が載置された一面23側のみ封
止樹脂26で成形したが、上記絶縁性基板22の偵の主
面28側も封止1ガ脂2eで被覆されたものでも可能で
あり、この構造であれば同一の封止材料で上記IC24
が表、裏側ともに封止されているため、上記IC24に
かかるひずみストレスが小さくなり、上記IC24の信
頼性を高めることが可能となる。
次に本発明の第2の実施例として第3図を用いて説明す
る。主要構成は第1の実施例と同等であるが、上記絶縁
性基板22の構造を変更したものであり、上記絶縁性基
板22の少なくとも上記IC24の入出力パッド(図示
せず)と上記導体パッド21を上記導体線26で接続す
る経路の上記絶縁性基板22に壁30を設けた構造とす
る。
る。主要構成は第1の実施例と同等であるが、上記絶縁
性基板22の構造を変更したものであり、上記絶縁性基
板22の少なくとも上記IC24の入出力パッド(図示
せず)と上記導体パッド21を上記導体線26で接続す
る経路の上記絶縁性基板22に壁30を設けた構造とす
る。
上8C壁30の高さはトランスファー成形用上金型の面
から上記導体線26の線径をほぼ差し引いた高さとし、
トランスファー成形時、上金型と上記壁30で上記導体
線26をサンドイッチして上記導体線26の上記最上部
29の高さを一定にする。
から上記導体線26の線径をほぼ差し引いた高さとし、
トランスファー成形時、上金型と上記壁30で上記導体
線26をサンドイッチして上記導体線26の上記最上部
29の高さを一定にする。
またこの構造であれば上記導体線26をワイヤーボンデ
ィングする際、ワイヤーボンディング装置のボンディン
グ性のバラツキ(特にループ高さが低くなる場合が問題
)による上記導体線26と上記電極27との接触不良を
なくすことが可能となる。
ィングする際、ワイヤーボンディング装置のボンディン
グ性のバラツキ(特にループ高さが低くなる場合が問題
)による上記導体線26と上記電極27との接触不良を
なくすことが可能となる。
以上のべたICモジュールの構造では絶縁性基板22の
他面28は例えばエンペラ材料のような絶縁性街脂であ
シ、ICカード化する場合、カード材であるエンビに対
して、絶縁性樹脂が直接所定の接着剤で接着されること
になる。次に、カード材とICモジュールの接着力を更
に強化するため、第3の実施例を第4図に示し説明する
。上記絶縁性基板22の他面28に、例えば銅、ニッケ
ル、ステンレススチール等の金属板31を上記他面28
のほぼ全面に形成したものである。この構造であれば、
ICカード化する場合カード材であるエンビには金属板
31が接着剤で接着されることになり、絶縁性樹脂が接
着されるより接着強度が強く、イハ頼性の高いICカー
ドを作ることが可能となる。上記金属板31は上記絶縁
性基板22を作る時、上記導体パッド21と同時に形成
するか、あるいは上記電極27と同時に形成してもかま
わない。
他面28は例えばエンペラ材料のような絶縁性街脂であ
シ、ICカード化する場合、カード材であるエンビに対
して、絶縁性樹脂が直接所定の接着剤で接着されること
になる。次に、カード材とICモジュールの接着力を更
に強化するため、第3の実施例を第4図に示し説明する
。上記絶縁性基板22の他面28に、例えば銅、ニッケ
ル、ステンレススチール等の金属板31を上記他面28
のほぼ全面に形成したものである。この構造であれば、
ICカード化する場合カード材であるエンビには金属板
31が接着剤で接着されることになり、絶縁性樹脂が接
着されるより接着強度が強く、イハ頼性の高いICカー
ドを作ることが可能となる。上記金属板31は上記絶縁
性基板22を作る時、上記導体パッド21と同時に形成
するか、あるいは上記電極27と同時に形成してもかま
わない。
以上のべてきた本発明に用いた絶縁性基板22は射出成
形法で作製しているが、ICカード用ICモジュールは
厚み精度を高く必要とすることから、精度の高い射出成
形法を採用した。
形法で作製しているが、ICカード用ICモジュールは
厚み精度を高く必要とすることから、精度の高い射出成
形法を採用した。
また上記絶縁性基板21の一面23には導体パッド21
を有しており、上記導体線26は上記導体パッド21と
上記IC24上の入出力パッド(図示せず)を接映して
いるが、上記導体パッド21を設けず、その代りに上記
IC24の入出力バンドを犬きくするか、上記I C2
4上にダミーのパッドを設けて、上記IC24上にて上
記導体線26をワイヤーボンディングして所定の高さの
ループを作ってもかまわない。
を有しており、上記導体線26は上記導体パッド21と
上記IC24上の入出力パッド(図示せず)を接映して
いるが、上記導体パッド21を設けず、その代りに上記
IC24の入出力バンドを犬きくするか、上記I C2
4上にダミーのパッドを設けて、上記IC24上にて上
記導体線26をワイヤーボンディングして所定の高さの
ループを作ってもかまわない。
発明の効果
以上のように本発明によれば、基板加工に射出成形法を
用いて形成でき、しかもスルーホールを要しない簡単な
構造であることから、厚み精度が高く、安価に製造でき
る。また実装においてはループ高さの高いワイヤーボン
ディング条件で良いことから、安定した、信頼性の昼い
IC実装が可能となり、更に電極を最終工程で形成する
ことから、を極キズの少ないICモジュールを製造する
ことが可能となる。
用いて形成でき、しかもスルーホールを要しない簡単な
構造であることから、厚み精度が高く、安価に製造でき
る。また実装においてはループ高さの高いワイヤーボン
ディング条件で良いことから、安定した、信頼性の昼い
IC実装が可能となり、更に電極を最終工程で形成する
ことから、を極キズの少ないICモジュールを製造する
ことが可能となる。
第1図は本発明の第1の実施例のICモジュールの断面
図、第2図&%Oは本発明の第1の実施例のICモジュ
ールの製造工程を示す断面図、第3図は本発明の第2の
実施例の断面図、第4図は本発明の第3の実施例の断面
図、第5図はICカードの斜視図、第5図は第5図ムー
ム′線の断面図、第7図は従来の回路基板の断面図、第
8図は従来のICモジュールの断面図である。 21・・・・・・導体パッド、22・・・・・・絶縁性
基板、23・・・・・・−面、24・・・・・・IC,
25・・・・・・導体線、26・・・・・・封止樹脂、
27・・・・・・電極、28・・・・・・他面、29・
・・・・・最上部、30・・・・・・壁、31・・・・
・・金属板。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか1名第1
図 譚体ハ町7ド 第2図 第3図 第5図 /j)−’F’ 30IOモジ餐−ル 第5図
図、第2図&%Oは本発明の第1の実施例のICモジュ
ールの製造工程を示す断面図、第3図は本発明の第2の
実施例の断面図、第4図は本発明の第3の実施例の断面
図、第5図はICカードの斜視図、第5図は第5図ムー
ム′線の断面図、第7図は従来の回路基板の断面図、第
8図は従来のICモジュールの断面図である。 21・・・・・・導体パッド、22・・・・・・絶縁性
基板、23・・・・・・−面、24・・・・・・IC,
25・・・・・・導体線、26・・・・・・封止樹脂、
27・・・・・・電極、28・・・・・・他面、29・
・・・・・最上部、30・・・・・・壁、31・・・・
・・金属板。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか1名第1
図 譚体ハ町7ド 第2図 第3図 第5図 /j)−’F’ 30IOモジ餐−ル 第5図
Claims (7)
- (1)複数の導体パッドを有する絶縁性基板上の一面に
載置された集積回路と、上記集積回路の複数の入出力パ
ッドと上記導体パッドを接続する複数の導体線と、上記
導体線の一部を露出させて、この導体線と上記導体パッ
ドと上記集積回路を覆った絶縁性保護材と、この絶縁性
保護材から一部露出した上記導体線と対応させて設置さ
れた複数の電極とを備えた集積回路装置。 - (2)絶縁性基板は射出成形法により形成する特許請求
の範囲第1項に記載の集積回路装置。 - (3)絶縁性基板の集積回路の載置される箇所と、導体
パッドの間に導体パッドより高い絶縁性の壁を設けた特
許請求の範囲第1項に記載の集積回路装置。 - (4)絶縁性基板の他面に金属板を設けた特許請求の範
囲第1項に記載の集積回路装置。 - (5)複数の導体パッドを有する絶縁性基板上の一面に
集積回路を載置する工程と、上記集積回路の複数の入出
力パッドと上記導体パッドを複数の導体線で接続する工
程と、上記導体線の一部を露出させて、この導体線と上
記導体パッドと上記集積回路を絶縁性保護材で覆う工程
と、上記絶縁性保護材から一部露出した上記導体線と対
応させて複数の電極を形成する工程とよりなる集積回路
装置の製造方法。 - (6)導体線の接続方法がワイヤーボンディング方式で
ある特許請求の範囲第5項に記載の集積回路装置の製造
方法。 - (7)導体線の一部を露出させる方法が、上記絶縁性保
護材を研磨する方法である特許請求の範囲第5項に記載
の集積回路装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63098660A JPH01270250A (ja) | 1988-04-21 | 1988-04-21 | 集積回路装置およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63098660A JPH01270250A (ja) | 1988-04-21 | 1988-04-21 | 集積回路装置およびその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01270250A true JPH01270250A (ja) | 1989-10-27 |
Family
ID=14225672
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63098660A Pending JPH01270250A (ja) | 1988-04-21 | 1988-04-21 | 集積回路装置およびその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH01270250A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009128974A (ja) * | 2007-11-20 | 2009-06-11 | Dainippon Printing Co Ltd | Icモジュール、icモジュールの作製方法 |
-
1988
- 1988-04-21 JP JP63098660A patent/JPH01270250A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009128974A (ja) * | 2007-11-20 | 2009-06-11 | Dainippon Printing Co Ltd | Icモジュール、icモジュールの作製方法 |
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