JPH01161138A - 異物検査方法 - Google Patents
異物検査方法Info
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- JPH01161138A JPH01161138A JP31985287A JP31985287A JPH01161138A JP H01161138 A JPH01161138 A JP H01161138A JP 31985287 A JP31985287 A JP 31985287A JP 31985287 A JP31985287 A JP 31985287A JP H01161138 A JPH01161138 A JP H01161138A
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/94—Investigating contamination, e.g. dust
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明はイメージアナライザーを用いた異物検査方法に
関する。さらに詳しくは、例えば樹脂シートまたはフィ
ルムの異物検査方法に関する。
関する。さらに詳しくは、例えば樹脂シートまたはフィ
ルムの異物検査方法に関する。
「従来の技術」
スチレン系樹脂等の樹脂成形品については、その表面及
び内部に混入する異物が極力少ないことが製品品質−１
１、また商品価値の」−でも望ましい。
び内部に混入する異物が極力少ないことが製品品質−１
１、また商品価値の」−でも望ましい。
異物の多い成形品は外観的に劣るのみならず、物性的に
も加工時の裂け、割れ発生の原因となる。
も加工時の裂け、割れ発生の原因となる。
このような品質低下を避けるためには、原料樹脂につい
てあらかじめ品質検査を行ない異物合格品のみ成形加工
することが肝要であるが、現在異物検査の能率的かつ簡
便正確な検査方法は未開発である。
てあらかじめ品質検査を行ない異物合格品のみ成形加工
することが肝要であるが、現在異物検査の能率的かつ簡
便正確な検査方法は未開発である。
例えばスチレン系樹脂においては、ペレッ１〜内部に混
入した異物の度合いを調べるためには、従来シート状に
成形した樹脂ペレッ１〜を拡大鏡を川いてオペレーター
が目視観察することにより、シート表面上の異物の個数
とその面積とを評価することにより品質管理する手法が
とられていたが、この方法だとオペレーターの熟練度や
、疲労度、体調などの人的要因により検査結果が不正確
になったり再現性がなくなったりオペレーターにより個
人差が生じなり、また目視検査であるため極小異物を発
現できない等の欠点があった。
入した異物の度合いを調べるためには、従来シート状に
成形した樹脂ペレッ１〜を拡大鏡を川いてオペレーター
が目視観察することにより、シート表面上の異物の個数
とその面積とを評価することにより品質管理する手法が
とられていたが、この方法だとオペレーターの熟練度や
、疲労度、体調などの人的要因により検査結果が不正確
になったり再現性がなくなったりオペレーターにより個
人差が生じなり、また目視検査であるため極小異物を発
現できない等の欠点があった。
［発明が解決しようとする問題点］
本発明はかかる欠点に鑑み、検査システムを自動化する
ことにより、オペレーターの熟練度、疲労度、体調等の
人的要因にまったく依存せず、正確かつ再現性ある検査
結果を簡便に得ることを目的とする。
ことにより、オペレーターの熟練度、疲労度、体調等の
人的要因にまったく依存せず、正確かつ再現性ある検査
結果を簡便に得ることを目的とする。
［問題点を解決するための手段］
本発明は上記目的を達成するため下記の楢成からなる。
すなわち、
（１）ＸＹステージ上に載置した被検査物の表面に光を
照射し、顕微鏡及び勿メラを介してビデオ入力した画像
処理情報をイメージアナライザーにより２値化ディジタ
ル処理を行ない、当該樹脂シート表面の異物を計数する
と共にその面積を評価記録することを特徴とする異物検
査方法。
照射し、顕微鏡及び勿メラを介してビデオ入力した画像
処理情報をイメージアナライザーにより２値化ディジタ
ル処理を行ない、当該樹脂シート表面の異物を計数する
と共にその面積を評価記録することを特徴とする異物検
査方法。
（２）光源としてリング照明を用いたことを特徴とする
特許請求の範囲第（１）項記載の異物検査方法。
特許請求の範囲第（１）項記載の異物検査方法。
（３） リング照明がリングファイバーを用いた照明
であることを特徴とする特許請求の範囲第（１）項記載
の異物検査方法。
であることを特徴とする特許請求の範囲第（１）項記載
の異物検査方法。
（４）異物の位置が被検査物の表面であるか内部である
かを区別することを特徴とする特許請求の範囲第（１）
項記載の異物検査方法。
かを区別することを特徴とする特許請求の範囲第（１）
項記載の異物検査方法。
（５） 被検査物が、樹脂シートまたはフィルムであ
ることを特徴とする特許請求の範囲第り１）項記載の異
物検査方法。
ることを特徴とする特許請求の範囲第り１）項記載の異
物検査方法。
［作 用］
第１図は本発明にかかわる樹脂の品質検査装置の概略構
成図を示したものであり、図に基づき測定の概略を説明
する。同図に示すように、シート状に成形した被検樹脂
ザンプル１を自動ＸＹステージ２上に搭載し、光源３よ
り光を照射する。顕微鏡４により拡大されたサンプル像
はカメラ５により撮像され、ビデオメモリ６内に格納さ
れる。
成図を示したものであり、図に基づき測定の概略を説明
する。同図に示すように、シート状に成形した被検樹脂
ザンプル１を自動ＸＹステージ２上に搭載し、光源３よ
り光を照射する。顕微鏡４により拡大されたサンプル像
はカメラ５により撮像され、ビデオメモリ６内に格納さ
れる。
コンピュータ７は、ビデオメモリ６から画像データを読
み出して通常の２値化処理を行なう。具体的には、コン
ピュータ７のキーボードから設定する基準２値化レベル
を用いてビデオメモリ６から読み出される各画素に対応
する画素データを順次２値化処理して、背景と異物検出
物体とを分離する。異物が抽出されると、その領域の画
素数や座標値等に基づき異物の面積や形状等が容易に求
められ、表面異物とする。
み出して通常の２値化処理を行なう。具体的には、コン
ピュータ７のキーボードから設定する基準２値化レベル
を用いてビデオメモリ６から読み出される各画素に対応
する画素データを順次２値化処理して、背景と異物検出
物体とを分離する。異物が抽出されると、その領域の画
素数や座標値等に基づき異物の面積や形状等が容易に求
められ、表面異物とする。
次にシート内部にある異物をも評価するために、基準２
値化レベルにある量を加算して同様の処理を行ない、新
たに検出された異物を内部異物とする。その際の加算量
は基準２値化レベル（しきい値）の１ないし３０パーセ
ントが好ましく、サンプルシートの色調に応してコンピ
ュータ７より自由に設定することができる。
値化レベルにある量を加算して同様の処理を行ない、新
たに検出された異物を内部異物とする。その際の加算量
は基準２値化レベル（しきい値）の１ないし３０パーセ
ントが好ましく、サンプルシートの色調に応してコンピ
ュータ７より自由に設定することができる。
こうしてカメラ５により撮像された最初の画面の画像処
理が終了すると、コンピュータ７からＸＹステージコン
１ヘローラ８に移動指令を出し自動ＸＹステージを移動
させて、上記と同様の方法で次の画面を検査し、複数領
域に区画された画像を区画順に連続処理し目的の全領域
について異物検査を行なうことができる。
理が終了すると、コンピュータ７からＸＹステージコン
１ヘローラ８に移動指令を出し自動ＸＹステージを移動
させて、上記と同様の方法で次の画面を検査し、複数領
域に区画された画像を区画順に連続処理し目的の全領域
について異物検査を行なうことができる。
検査光の照射方法としては通常透過、落射、反射が知ら
れている。透過光では不透明被検査物を検査することが
できないという問題点があるので好ましくない。落射光
ではレンズの内部から光を照射するので異物の陰影がつ
きにくいので好ましくない。また通常の反射光では一方
向のみからの光照射であり、その光を反射する異物のみ
しか検知できないという問題点があるので好ましくない
。
れている。透過光では不透明被検査物を検査することが
できないという問題点があるので好ましくない。落射光
ではレンズの内部から光を照射するので異物の陰影がつ
きにくいので好ましくない。また通常の反射光では一方
向のみからの光照射であり、その光を反射する異物のみ
しか検知できないという問題点があるので好ましくない
。
光源としてリング照明を用いると、被検査物の異物に対
して周囲から光を照射できるので異物検査を正確に行な
うことが可能となるので好ましい。
して周囲から光を照射できるので異物検査を正確に行な
うことが可能となるので好ましい。
リング照明を用いる場合、特に光軸に近い位置から光を
照射すると、より異物検査を精度良く行なうことができ
るので好ましい。さらにリングファイバーを用いると均
一な平行光線が得られ異物検杏θ）末＾ビ１を息めＡ、
１ ｋノ］くア・へＡσ）で゛力了斗 ｌ いまた、被
検査物が透明である場合には透過光を併用することによ
り正確な検査を行なうことができる。被検査物がある程
度光を透過する場合でも、精度良い検査を行なうために
は透過光を併用することが好ましい。
照射すると、より異物検査を精度良く行なうことができ
るので好ましい。さらにリングファイバーを用いると均
一な平行光線が得られ異物検杏θ）末＾ビ１を息めＡ、
１ ｋノ］くア・へＡσ）で゛力了斗 ｌ いまた、被
検査物が透明である場合には透過光を併用することによ
り正確な検査を行なうことができる。被検査物がある程
度光を透過する場合でも、精度良い検査を行なうために
は透過光を併用することが好ましい。
本発明において被検査物はシート状あるいはフィルム状
等のようにある程度表面か平滑なものであれば粘度の高
い検査ができるので好ましい。
等のようにある程度表面か平滑なものであれば粘度の高
い検査ができるので好ましい。
［実施例］
次に実施例により本発明をさらに具体的に説明する。
実施例１
ＡＢＳ樹脂ペレット（東し■製゛′トヨラックバ）２点
（Ｎｏ、 １ 、 Ｎｏ、 ２ ）の品質検査を次の方
法で行なった。まず、ペレッ１〜を通常の方法により縦
］−５印、横１５ａｎ、厚み１ ｍｍのシート状にプレ
ス成形しく乳白色）サンプルシートとした。このシート
を第１−図に示す品質検査装置を用いて異物検査した。
（Ｎｏ、 １ 、 Ｎｏ、 ２ ）の品質検査を次の方
法で行なった。まず、ペレッ１〜を通常の方法により縦
］−５印、横１５ａｎ、厚み１ ｍｍのシート状にプレ
ス成形しく乳白色）サンプルシートとした。このシート
を第１−図に示す品質検査装置を用いて異物検査した。
すなわち、このシートを自動ＸＹステージ上に搭載し、
シート表面及び内部の異物を検査するために以下の条件
に設定した。
シート表面及び内部の異物を検査するために以下の条件
に設定した。
透 過 光 ６．９８〜７．０２ ＶＡＣリング
照明 ２．２８〜３．０２ ＶＡＣ２値化しきい値
８５（加算量２５％８）検査面積 １００ｄ １領域面積 ３６ｍｍ２ ＊・・・内部異物評価用パラメータ 検査は結果の再現性を確認するために、それぞれ２回行
なった。
照明 ２．２８〜３．０２ ＶＡＣ２値化しきい値
８５（加算量２５％８）検査面積 １００ｄ １領域面積 ３６ｍｍ２ ＊・・・内部異物評価用パラメータ 検査は結果の再現性を確認するために、それぞれ２回行
なった。
測定：
第１表
サンプル
領域番号 １１３ １１４ １２５画素数 ３
４４ ３４０ ３８ 面積（ｍ＋ｒ＋２） ０．０５２７０ ０．０５２
０９ ０．００５８２異形度＊０．７９ ０．８０
０．６４異物の位置 表面 表面 内部
＊・・・４πＳ／Ｐ２（Ｐ：周囲共、Ｓ．面積）＊＊・
・・シート状樹脂の目視判定による。
４４ ３４０ ３８ 面積（ｍ＋ｒ＋２） ０．０５２７０ ０．０５２
０９ ０．００５８２異形度＊０．７９ ０．８０
０．６４異物の位置 表面 表面 内部
＊・・・４πＳ／Ｐ２（Ｐ：周囲共、Ｓ．面積）＊＊・
・・シート状樹脂の目視判定による。
７−ザ
ンブル
領域番号 １１３ １１４ １２５画素数 ３
３７ ３５１ ４０ 面積（ｍｍ”） ０．０３６３１ ０．０５３７７
０．００６１３異形度 ０．８０ ０．７６
０．６６異物の位置 表面 表向 内部サン
プル 領域番号 ２９ １２３ 画素数 ５７ １００ 面積（ｍｍ２） ０．００８７３ ０．０１５３２
異形度 ０．８４ ０．７１ ザンブルＮｏ． ２ （ ２回目）領域番号
２９ １２３ 画素数 ５８ １００ 面積（ｍｍ２） ０．００８８９ ０．０１６２４
異形度 ０．８２ ０．７０ 比較例１ 実施例１で検査Ｇこ使用したサンプルＮｏ． ］−につ
ぃて目目検査を行なった。
３７ ３５１ ４０ 面積（ｍｍ”） ０．０３６３１ ０．０５３７７
０．００６１３異形度 ０．８０ ０．７６
０．６６異物の位置 表面 表向 内部サン
プル 領域番号 ２９ １２３ 画素数 ５７ １００ 面積（ｍｍ２） ０．００８７３ ０．０１５３２
異形度 ０．８４ ０．７１ ザンブルＮｏ． ２ （ ２回目）領域番号
２９ １２３ 画素数 ５８ １００ 面積（ｍｍ２） ０．００８８９ ０．０１６２４
異形度 ０．８２ ０．７０ 比較例１ 実施例１で検査Ｇこ使用したサンプルＮｏ． ］−につ
ぃて目目検査を行なった。
サンプルＮｏ． ］−領域番号 １
１３ １１４ １２５画素数 ３４４ ３４
０ ３８ 面積（ｍｍ２ ） ０．０５ ０．０５
＜ ０．０１〜０．０６ 〜０．０６ ＊・・・大蔵省印刷局製塵埃計測図表による評価この検
査結果により実施例１の結果の妥当性が立証された。異
形度については、各異物について目視判定で差が認めら
れなかった。したがって、本発明による方法を実施する
ことにより従来の「１視判定に比べて異物の大きさを精
度良く評価することができる。またその形状についても
正確に把握することが可能となった。
１３ １１４ １２５画素数 ３４４ ３４
０ ３８ 面積（ｍｍ２ ） ０．０５ ０．０５
＜ ０．０１〜０．０６ 〜０．０６ ＊・・・大蔵省印刷局製塵埃計測図表による評価この検
査結果により実施例１の結果の妥当性が立証された。異
形度については、各異物について目視判定で差が認めら
れなかった。したがって、本発明による方法を実施する
ことにより従来の「１視判定に比べて異物の大きさを精
度良く評価することができる。またその形状についても
正確に把握することが可能となった。
実施例２
実施例］−とは異なるＡＢＳ樹脂ペレッ１〜（東し■性
“ｌヘヨラック″）をシート表面の異物を検査するため
に、２値化しきい値の加算量を０％とした以外は実施例
１と同条件下で異物検査を行なった。
“ｌヘヨラック″）をシート表面の異物を検査するため
に、２値化しきい値の加算量を０％とした以外は実施例
１と同条件下で異物検査を行なった。
第２表
サンプルＮｏ、 ３
領域番号 ２８ ２８ ２８
画素数 ５１ ２５７ ４４
面積（ｍｍ ２） ０．００７８１ ０．０３９３７
０．００６７４異形度 ０．６７ ０．６７ ０．５
にの検査結果により、１区画領域内に複数個の異物が存
在するような被検査物であっても正確に検出することが
できな。
０．００６７４異形度 ０．６７ ０．６７ ０．５
にの検査結果により、１区画領域内に複数個の異物が存
在するような被検査物であっても正確に検出することが
できな。
実施例３
乳白色以外（グレー）に着色されたＡＢＳ樹脂ペレット
（東し■ＩＩＩ〜ヨラック′°）を２値化しきい値を６
５（加算量０％）とした以外は実施例１１．２と同条件
下で異物検査を行なった。
（東し■ＩＩＩ〜ヨラック′°）を２値化しきい値を６
５（加算量０％）とした以外は実施例１１．２と同条件
下で異物検査を行なった。
第３表
サンプルＮｏ、 ４
領域番号 １８８ １８８
画素数 ２６２ ９４
面積（ｍｍ２ ） ０．０４０１４ ０．０１４４０
異形度 ０．７５ ０．８６ ［発明の効果］ 本発明に基づく異物検査を実施すれば、従来性なわれて
いた方法すなわち被検査物を拡大鏡を用いて目視検査す
る方法と比較して、オペレーターの熟練度、疲労度、体
調等の人的要因にまったく依存しないので、正確かつ再
現性ある検査結果を簡便しかも能率的に得ることができ
る。またいがなる色調のサンプルであろうと検査を行な
うことが可能であり、従来の目視検査では発見し難かっ
たシート内部の異物や０，０］、ｍｒｎ２以下の極小異
物についても見落とすことがないので樹脂の品質検査方
法として有効な方法である。
異形度 ０．７５ ０．８６ ［発明の効果］ 本発明に基づく異物検査を実施すれば、従来性なわれて
いた方法すなわち被検査物を拡大鏡を用いて目視検査す
る方法と比較して、オペレーターの熟練度、疲労度、体
調等の人的要因にまったく依存しないので、正確かつ再
現性ある検査結果を簡便しかも能率的に得ることができ
る。またいがなる色調のサンプルであろうと検査を行な
うことが可能であり、従来の目視検査では発見し難かっ
たシート内部の異物や０，０］、ｍｒｎ２以下の極小異
物についても見落とすことがないので樹脂の品質検査方
法として有効な方法である。
第１図は本発明のかかわる樹脂の品質検査装置の概略構
成図を示したものである。 １・・・・・・・・・被検査物 ２・・・・・・・・・自動ＸＹステージ３・・・・・・
・・・光 源 ４・・・・・・・・・顕 微 鏡 ５・・・・・・・・・カ メ ラ ６・・・・・・・・・ビデオメモリ ７・・・・・・・・・コンピュータ ８・・・・・・・・・ＸＹステージコン１〜ローラ
（へ ’Ｃ）
成図を示したものである。 １・・・・・・・・・被検査物 ２・・・・・・・・・自動ＸＹステージ３・・・・・・
・・・光 源 ４・・・・・・・・・顕 微 鏡 ５・・・・・・・・・カ メ ラ ６・・・・・・・・・ビデオメモリ ７・・・・・・・・・コンピュータ ８・・・・・・・・・ＸＹステージコン１〜ローラ
（へ ’Ｃ）
Claims (5)
- （１）ＸＹステージ上に載置した被検査物の表面に光を
照射し、顕微鏡及びカメラを介してビデオ入力した画像
処理情報をイメージアナライザーにより２値化ディジタ
ル処理を行ない、当該樹脂シート表面の異物を計数する
と共にその面積を評価記録することを特徴とする異物検
査方法。 - （２）光源としてリング照明を用いたことを特徴とする
特許請求の範囲第（１）項記載の異物検査方法。 - （３）リング照明がリングファイバーを用いた照明であ
ることを特徴とする特許請求の範囲第（１）項記載の異
物検査方法。 - （４）異物の位置が被検査物の表面であるか内部である
かを区別することを特徴とする特許請求の範囲第（１）
項記載の異物検査方法。 - （５）被検査物が、樹脂シートまたはフィルムであるこ
とを特徴とする特許請求の範囲第（１）項記載の異物検
査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31985287A JPH01161138A (ja) | 1987-12-16 | 1987-12-16 | 異物検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31985287A JPH01161138A (ja) | 1987-12-16 | 1987-12-16 | 異物検査方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01161138A true JPH01161138A (ja) | 1989-06-23 |
Family
ID=18114948
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31985287A Pending JPH01161138A (ja) | 1987-12-16 | 1987-12-16 | 異物検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01161138A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009008563A (ja) * | 2007-06-28 | 2009-01-15 | Panasonic Electric Works Co Ltd | 画像処理による外観検査方法およびその装置 |
| WO2009147821A1 (ja) * | 2008-06-05 | 2009-12-10 | 住友化学株式会社 | 樹脂材料検査装置および記録媒体 |
Citations (3)
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| JPS58173456A (ja) * | 1982-04-05 | 1983-10-12 | Showa Electric Wire & Cable Co Ltd | 異物自動検査装置 |
| JPS58184116A (ja) * | 1982-04-21 | 1983-10-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 透光性物体表面の欠陥検査方法 |
| JPS6273141A (ja) * | 1985-09-27 | 1987-04-03 | Hitachi Ltd | 透明な試料に対する欠陥検出方法及びその装置 |
-
1987
- 1987-12-16 JP JP31985287A patent/JPH01161138A/ja active Pending
Patent Citations (3)
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