JP7487557B2 - 液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置 - Google Patents

Description

本発明は、液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置に関する。

従来、圧電素子等を駆動して圧力室内に圧力を付与することで、圧力室内の液体をノズルから吐出する液体吐出ヘッドが知られている。特許文献１には、複数の圧電素子が２列に配列され、圧電素子に駆動信号を供給するためのＣＯＦ基板が列と列との間に配置されるヘッドが記載されている。このヘッドには、ＣＯＦ基板を接続するための複数のリード電極が形成され、各リード電極は、一方の列から他方の列に向かう方向に沿って延在している。

特開２０１２－１８３７７２号公報

しかしながら、内部で液体を循環させる構成のヘッドでは、ＣＯＦ基板が接続される位置の下方に、液体を送出する流路が、リード電極が延在する方向に沿って形成される場合がある。このような構成では、ＣＯＦ基板を接続する際に下方に大きな荷重が加わると、流路を構成する壁面に撓みが生じ、クラックが発生する恐れがある。

液体吐出ヘッドは、第１圧力室と、前記第１圧力室内の液体に圧力を付与するためのエネルギーを生成する第１エネルギー生成素子と、第１方向に延在し、液体を吐出するノズルと連通するノズル流路と、前記第１圧力室と前記ノズル流路とを連通し、前記ノズル流路に液体を供給するための供給連通流路と、前記ノズル流路と連通し、前記ノズル流路から液体を排出するための排出連通流路と、前記第１エネルギー生成素子を駆動する駆動回路に電気的に接続された配線基板と、前記配線基板と、前記第１エネルギー生成素子と、を電気的に接続する第１配線部と、を有し、前記第１配線部は、前記第１方向と直交する第２方向に見たとき、前記ノズル流路と重なる位置に設けられ、前記第１方向と異なる第３方向に延在することを特徴とする。

液体吐出装置は、上記の液体吐出ヘッドと、前記液体吐出ヘッドの吐出動作を制御する制御装置と、を有することを特徴とする。

第１実施形態に係る液体吐出装置の構成を示す説明図。 液体吐出ヘッドの分解斜視図。 図２におけるＡ－Ａ線の断面図。 圧電素子の近傍を拡大した断面図。 圧電素子の近傍を拡大した断面図。 配線基板の周辺の構成をＺ軸方向から見た平面図。 図３におけるＢ－Ｂ線の断面図。 第２実施形態に係る液体吐出ヘッドの配線基板の周辺の構成をＺ軸方向から見た平面図。 第３実施形態に係る液体吐出ヘッドの分解斜視図。 第３実施形態に係る液体吐出ヘッドをＺ軸方向から見た平面図。 液体吐出ヘッドをＸＺ平面に平行に切断した断面図。 液体吐出ヘッドをＸＺ平面に平行に切断した断面図。 第３実施形態に係る液体吐出ヘッドの配線基板の周辺の構成をＺ軸方向から見た平面図。 図１１におけるＣ－Ｃ線の断面図。 第４実施形態に係る液体吐出装置の構成を示す説明図。

以下、本発明を実施するための形態について図面を参照して説明する。ただし、各図において、各部の寸法および縮尺は、実際のものと適宜に異ならせてある。また、以下に述べる実施の形態は、好適な具体例であり、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの形態に限られるものではない。

１．第１実施形態
以下、図１を参照しつつ、第１実施形態に係る液体吐出装置１００について説明する。

図１は、本実施形態に係る液体吐出装置１００の構成を示す説明図である。
本実施形態の液体吐出装置１００は、液体としてのインクを媒体ＰＰに吐出するインクジェット方式の印刷装置である。媒体ＰＰは、典型的には印刷用紙であるが、樹脂フィルムまたは布帛等の任意の印刷対象が媒体ＰＰとして利用され得る。

図１に例示される通り、液体吐出装置１００は、インクを貯留する液体容器９３を備える。液体容器９３としては、例えば、液体吐出装置１００に着脱可能なカートリッジ、可撓性のフィルムで形成された袋状のインクパック、または、インクを補充可能なインクタンク等を採用することができる。液体容器９３には、色彩が相違する複数種のインクが貯留される。

液体吐出装置１００は、制御装置９０と、移動機構９１と、搬送機構９２と、循環機構９４とを備える。
このうち、制御装置９０は、例えばＣＰＵまたはＦＰＧＡ等の処理回路と、半導体メモリー等の記憶回路とを含み、液体吐出装置１００の各要素を制御する。ここで、ＣＰＵとは、Central Processing Unitの略称であり、ＦＰＧＡとは、Field Programmable Gate Arrayの略称である。

移動機構９１は、制御装置９０による制御のもとで、媒体ＰＰを＋Ｙ方向に搬送する。なお、以下では、＋Ｙ方向と、＋Ｙ方向とは反対の方向である－Ｙ方向とを、Ｙ軸方向と総称する。

搬送機構９２は、制御装置９０による制御のもとで、複数の液体吐出ヘッド１を、＋Ｘ方向、および、＋Ｘ方向とは反対の方向である－Ｘ方向に往復動させる。なお、以下では、＋Ｘ方向および－Ｘ方向をＸ軸方向と総称する。ここで、Ｘ軸方向とは、Ｙ軸方向に交差する方向である。典型的には、Ｘ軸方向とは、Ｙ軸方向に直交する方向である。搬送機構９２は、収納ケース９２１と、収納ケース９２１が固定された無端ベルト９２２とを具備しており、収納ケース９２１には、Ｙ軸方向を長手方向とする複数の液体吐出ヘッド１がＸ軸方向に並んで収納される。なお、液体容器９３を液体吐出ヘッド１とともに収納ケース９２１に収納してもよい。

循環機構９４は、制御装置９０による制御のもとで、液体容器９３に貯留されたインクを、液体吐出ヘッド１に設けられた供給流路ＲＢ１（図３参照）に供給する。更に、循環機構９４は、制御装置９０による制御のもとで、液体吐出ヘッド１に設けられた排出流路ＲＢ２（図３参照）に貯留されたインクを回収し、当該回収したインクを、供給流路ＲＢ１に還流させる。

制御装置９０は、液体吐出ヘッド１の吐出動作を制御する。具体的には、液体吐出ヘッド１には、制御装置９０から、液体吐出ヘッド１を駆動するための駆動信号ＣＯＭと、液体吐出ヘッド１を制御するための制御信号ＳＩとが供給される。そして、液体吐出ヘッド１は、制御信号ＳＩによる制御のもとで駆動信号ＣＯＭにより駆動され、液体吐出ヘッド１に設けられたＭ個のノズルＮ（図２および図３参照）の一部または全部から、＋Ｚ方向にインクを吐出させる。ここで、値Ｍは、１以上の自然数である。また、＋Ｚ方向は、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に交差する方向である。典型的には、＋Ｚ方向は、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に直交する方向である。以下では、＋Ｚ方向と、＋Ｚ方向とは反対の方向である－Ｚ方向とを、Ｚ軸方向と総称する場合がある。

液体吐出ヘッド１は、移動機構９１による媒体ＰＰの搬送と、搬送機構９２による液体吐出ヘッド１の往復動とに連動して、Ｍ個のノズルＮの一部または全部からインクを吐出させて、当該吐出されたインクを媒体ＰＰの表面に着弾させることで、媒体ＰＰの表面に所望の画像を形成する。

以下、図２および図３を参照しつつ、液体吐出ヘッド１の概要を説明する。
図２は、液体吐出ヘッド１の分解斜視図であり、図３は、図２におけるＡ－Ａ線の断面図である。
図２および図３に例示される通り、液体吐出ヘッド１は、ノズル基板６０と、コンプライアンスシート６１，６２と、連通板２と、圧力室基板３と、振動板４と、貯留室形成基板５と、配線基板８とを備える。液体吐出ヘッド１は、Ｚ軸方向に見た（Ｚ軸方向から見た）平面視において、Ｙ軸方向を長手方向とする略長方形の形状を有している。

ノズル基板６０は、Ｙ軸方向に長尺で、ＸＹ平面に略平行に延在する板状の部材であり、Ｍ個のノズルＮが形成される。ここで、「略平行」とは、完全に平行である場合の他に、誤差を考慮すれば平行であるとみなせる場合を含む概念である。ノズル基板６０は、例えば、エッチング等の半導体製造技術を利用してシリコンの単結晶基板を加工することで製造される。ただし、ノズル基板６０の製造には公知の材料および製法が任意に採用され得る。ノズルＮは、ノズル基板６０に設けられた貫通孔である。本実施形態では、一例として、ノズル基板６０において、Ｍ個のノズルＮが、Ｙ軸方向に延在するノズル列Ｌｎを形成するように設けられた場合を想定する。

ノズル基板６０の－Ｚ側には、連通板２が設けられる。連通板２は、Ｙ軸方向に長尺で、ＸＹ平面に略平行に延在する板状の部材であり、インクの流路が形成される。
具体的には、連通板２には、１個の供給流路ＲＡ１と、１個の排出流路ＲＡ２とが形成される。このうち、供給流路ＲＡ１は、後述する供給流路ＲＢ１と連通し、Ｙ軸方向に延在するように設けられる。また、排出流路ＲＡ２は、後述する排出流路ＲＢ２と連通し、供給流路ＲＡ１から見て－Ｘ側においてＹ軸方向に延在するように設けられる。

また、連通板２には、Ｍ個のノズルＮと１対１に対応するＭ個の接続流路ＲＫ１と、Ｍ個のノズルＮと１対１に対応するＭ個の接続流路ＲＫ２と、Ｍ個のノズルＮと１対１に対応するＭ個の連通流路ＲＲ１と、Ｍ個のノズルＮと１対１に対応するＭ個の連通流路ＲＲ２と、Ｍ個のノズルＮと１対１に対応するＭ個のノズル流路ＲＮとが、それぞれＹ軸方向に沿って形成される。接続流路ＲＫ１は、供給流路ＲＡ１と連通し、供給流路ＲＡ１から見て－Ｘ側においてＺ軸方向に延在するように設けられる。また、連通流路ＲＲ１は、接続流路ＲＫ１から見て－Ｘ側においてＺ軸方向に延在するように設けられる。また、接続流路ＲＫ２は、排出流路ＲＡ２と連通し、排出流路ＲＡ２から見て＋Ｘ側においてＺ軸方向に延在するように設けられる。また、連通流路ＲＲ２は、接続流路ＲＫ２から見て＋Ｘ側であって、連通流路ＲＲ１から見て－Ｘ側において、Ｚ軸方向に延在するように設けられる。また、ノズル流路ＲＮは、連通流路ＲＲ１および連通流路ＲＲ２を連通し、連通流路ＲＲ１から見て－Ｘ側であって、連通流路ＲＲ２から見て＋Ｘ側において、Ｘ軸方向に延在するように設けられる。ノズル流路ＲＮは、当該ノズル流路ＲＮに対応するノズルＮに連通する。

本実施形態において、ノズルＮは、Ｚ軸方向から見たとき、ノズル流路ＲＮのＸ軸方向における略中央に設けられる。例えば、Ｘ軸方向におけるノズルＮから連通流路ＲＲ１までの距離と、Ｘ軸方向におけるノズルＮから連通流路ＲＲ２までの距離とは、略同じである。ここで、「略中央」とは、厳密に同一である場合の他に、誤差を考慮すれば中央であるとみなせる場合を含む概念である。
なお、連通板２は、例えば、半導体製造技術を利用してシリコンの単結晶基板を加工することで製造される。ただし、連通板２の製造には公知の材料や製法が任意に採用され得る。

連通板２の－Ｚ側には、圧力室基板３が設けられる。圧力室基板３は、Ｙ軸方向に長尺で、ＸＹ平面に略平行に延在する板状の部材であり、インクの流路が形成される。
具体的には、圧力室基板３には、Ｍ個のノズルＮと１対１に対応するＭ個の圧力室ＣＢ１と、Ｍ個のノズルＮと１対１に対応するＭ個の圧力室ＣＢ２とが、それぞれＹ軸方向に沿って形成される。圧力室ＣＢ１は、第１圧力室の一例であり、圧力室ＣＢ２は、第２圧力室の一例である。このうち、圧力室ＣＢ１は、接続流路ＲＫ１および連通流路ＲＲ１を連通し、Ｚ軸方向から見た場合に、接続流路ＲＫ１の＋Ｘ側の端部と、連通流路ＲＲ１の－Ｘ側の端部とを結び、Ｘ軸方向に延在するように設けられる。また、圧力室ＣＢ２は、接続流路ＲＫ２および連通流路ＲＲ２を連通し、Ｚ軸方向から見た場合に、接続流路ＲＫ２の－Ｘ側の端部と、連通流路ＲＲ２の＋Ｘ側の端部とを結び、Ｘ軸方向に延在するように設けられる。
なお、圧力室基板３は、例えば、半導体製造技術を利用してシリコンの単結晶基板を加工することで製造される。ただし、圧力室基板３の製造には公知の材料や製法が任意に採用され得る。

以下では、供給流路ＲＡ１および排出流路ＲＡ２を連通するインクの流路を、循環流路ＲＪと称する。すなわち、供給流路ＲＡ１および排出流路ＲＡ２は、Ｍ個のノズルＮと１対１に対応するＭ個の循環流路ＲＪにより連通される。各循環流路ＲＪは、上述のとおり、供給流路ＲＡ１に連通する接続流路ＲＫ１と、接続流路ＲＫ１に連通する圧力室ＣＢ１と、圧力室ＣＢ１に連通する連通流路ＲＲ１と、連通流路ＲＲ１に連通するノズル流路ＲＮと、ノズル流路ＲＮに連通する連通流路ＲＲ２と、連通流路ＲＲ２に連通する圧力室ＣＢ２と、圧力室ＣＢ２および排出流路ＲＡ２を連通する接続流路ＲＫ２とを含む。ここで、連通流路ＲＲ１は、供給連通流路の一例であり、圧力室ＣＢ１とノズル流路ＲＮとを連通し、ノズル流路ＲＮにインクを供給する。また、連通流路ＲＲ２は、排出連通流路の一例であり、ノズル流路ＲＮと圧力室ＣＢ２とを連通し、ノズル流路ＲＮから圧力室ＣＢ２にインクを排出する。

圧力室基板３の－Ｚ側には、振動板４が設けられる。振動板４は、Ｙ軸方向に長尺で、ＸＹ平面に略平行に延在する板状の部材であって、弾性的に振動可能な部材である。

振動板４の－Ｚ側には、Ｍ個の圧力室ＣＢ１に１対１に対応するＭ個の圧電素子ＰＺ１と、Ｍ個の圧力室ＣＢ２に１対１に対応するＭ個の圧電素子ＰＺ２とが、それぞれＹ軸方向に沿って設けられる。圧電素子ＰＺ１，ＰＺ２は、駆動信号ＣＯＭの電位変化に応じて変形する受動素子である。換言すれば、圧電素子ＰＺ１，ＰＺ２は、駆動信号ＣＯＭの電気エネルギーを運動エネルギーに変換して、圧力室ＣＢ１，ＣＢ２内のインクに圧力を付与するためのエネルギーを生成する、エネルギー生成素子の一例である。このうち、圧電素子ＰＺ１は、第１エネルギー生成素子の一例であり、圧電素子ＰＺ２は、第２エネルギー生成素子の一例である。

図４は、圧電素子ＰＺ１の近傍を拡大した断面図であり、図５は、圧電素子ＰＺ２の近傍を拡大した断面図である。
図４に例示される通り、圧電素子ＰＺ１は、所定の基準電位が供給される下部電極ＺＤ１と、駆動信号ＣＯＭが供給される上部電極ＺＵ１との間に、圧電体ＺＭ１を介在させた積層体であり、これらはＺ軸方向に積層されている。圧電素子ＰＺ１は、Ｚ軸方向から見たときに、下部電極ＺＤ１と上部電極ＺＵ１と圧電体ＺＭ１とが重なる部分である。また、圧電素子ＰＺ１の＋Ｚ方向には、圧力室ＣＢ１が設けられる。

また、図５に例示される通り、圧電素子ＰＺ２は、ＹＺ平面に対して圧電素子ＰＺ１と対称である点を除いて、圧電素子ＰＺ１と同様の構成を有している。つまり、圧電素子ＰＺ２は、上記の基準電位が供給される下部電極ＺＤ２と、駆動信号ＣＯＭが供給される上部電極ＺＵ２との間に、圧電体ＺＭ２を介在させた積層体であり、これらはＺ軸方向に積層されている。圧電素子ＰＺ２は、Ｚ軸方向から見たときに、下部電極ＺＤ２と上部電極ＺＵ２と圧電体ＺＭ２とが重なる部分である。また、圧電素子ＰＺ２の＋Ｚ方向には、圧力室ＣＢ２が設けられる。

上述の通り、圧電素子ＰＺ１，ＰＺ２は、駆動信号ＣＯＭの電位変化に応じて駆動されて変形する。振動板４は、圧電素子ＰＺ１，ＰＺ２の変形に連動して振動する。振動板４が振動すると、圧力室ＣＢ１，ＣＢ２内の圧力が変動する。そして、圧力室ＣＢ１，ＣＢ２内の圧力が変動することで、圧力室ＣＢ１，ＣＢ２の内部に充填されたインクが、連通流路ＲＲ１，ＲＲ２およびノズル流路ＲＮを経由して、ノズルＮから吐出される。
本実施形態において、下部電極ＺＤ１，ＺＤ２は、複数の圧電素子ＰＺ１，ＰＺ２に対して共通の共通電極であり、上部電極ＺＵ１，ＺＵ２は、複数の圧電素子ＰＺ１，ＰＺ２に対して個別に設けられた個別電極である。ただし、下部電極ＺＤ１，ＺＤ２を個別電極とし、上部電極ＺＵ１，ＺＵ２を共通電極とする構成としてもよい。

図２および図３に例示される通り、振動板４の－Ｚ側の面には、配線基板８が実装される。配線基板８は、制御装置９０および液体吐出ヘッド１を電気的に接続するための部品である。配線基板８としては、例えば、ＦＰＣまたはＦＦＣ等の可撓性の配線基板が好適に採用される。ここで、ＦＰＣとは、Flexible Printed Circuitの略称であり、ＦＦＣとは、Flexible Flat Cableの略称である。配線基板８には、圧電素子ＰＺ１，ＰＺ２を駆動する駆動回路８１が電気的に接続される。駆動回路８１は、制御信号ＳＩによる制御のもとで、圧電素子ＰＺ１，ＰＺ２に対して、駆動信号ＣＯＭを供給するか否かを切り替える電気回路である。図４および図５に例示される通り、駆動回路８１は、振動板４上に形成された配線部Ｗ１，Ｗ２を介して、圧電素子ＰＺ１，ＰＺ２の上部電極ＺＵ１、ＺＵ２に対して駆動信号ＣＯＭを供給する。
なお、本実施形態では、ノズルＮからインクを吐出させる際に、駆動回路８１がノズルＮに対応する圧電素子ＰＺ１に供給する駆動信号ＣＯＭの波形と、駆動回路８１がノズルＮに対応する圧電素子ＰＺ２に供給する駆動信号ＣＯＭの波形とが、略同じである場合を想定するが、それぞれに異なる波形を供給するようにしてもよい。

配線基板８は、駆動回路８１が実装される本体部８２と、本体部８２に対して略９０°に折り曲げられて振動板４に接続される接続端部８３とを含む。つまり、振動板４に配線基板８が実装された状態において、接続端部８３は、振動板４と略平行な姿勢であり、本体部８２は、振動板４に略垂直な姿勢となる。
振動板４と対向する接続端部８３の一面には、振動板４上に形成された複数の配線部Ｗ１，Ｗ２と電気的に接続するための図示しない複数の配線が形成されている。

連通板２の－Ｚ側には、貯留室形成基板５が設けられる。貯留室形成基板５は、Ｙ軸方向に長尺な部材であり、インクの流路が形成される。
具体的には、貯留室形成基板５には、１個の供給流路ＲＢ１と、１個の排出流路ＲＢ２とが形成される。このうち、供給流路ＲＢ１は、供給流路ＲＡ１と連通し、供給流路ＲＡ１から見て－Ｚ側において、Ｙ軸方向に延在するように設けられる。また、排出流路ＲＢ２は、排出流路ＲＡ２と連通し、排出流路ＲＡ２から見て－Ｚ側であって、供給流路ＲＢ１から見て－Ｘ側において、Ｙ軸方向に延在するように設けられる。

また、貯留室形成基板５には、供給流路ＲＢ１と連通する導入口５１と、排出流路ＲＢ２と連通する排出口５２とが設けられる。そして、供給流路ＲＢ１には、液体容器９３から、導入口５１を介してインクが供給される。また、排出流路ＲＢ２に貯留されたインクは、排出口５２を介して回収される。排出口５２から回収されたインクは、インクを貯留する液体容器９３に戻され、インクを循環することが可能となっている。
また、貯留室形成基板５には、開口５０が設けられる。開口５０の内側には、圧力室基板３と、振動板４と、配線基板８とが設けられる。
なお、貯留室形成基板５は、例えば、樹脂材料の射出成形により形成される。ただし、貯留室形成基板５の製造には公知の材料や製法が任意に採用され得る。

本実施形態において、液体容器９３から導入口５１に供給されたインクは、供給流路ＲＢ１を経由して、供給流路ＲＡ１に流入する。そして、供給流路ＲＡ１に流入したインクの一部は、接続流路ＲＫ１を経由して、圧力室ＣＢ１に流入する。また、圧力室ＣＢ１に流入したインクの一部は、連通流路ＲＲ１とノズル流路ＲＮと連通流路ＲＲ２とを経由して、圧力室ＣＢ２に流入する。そして、圧力室ＣＢ２に流入したインクの一部は、接続流路ＲＫ２と排出流路ＲＡ２と排出流路ＲＢ２とを経由して、排出口５２から排出される。
なお、駆動信号ＣＯＭにより圧電素子ＰＺ１が駆動される場合、圧力室ＣＢ１内部に充填されているインクの一部は、連通流路ＲＲ１とノズル流路ＲＮとを経由して、ノズルＮから吐出される。また、駆動信号ＣＯＭにより圧電素子ＰＺ２が駆動される場合、圧力室ＣＢ２内部に充填されているインクの一部は、連通流路ＲＲ２とノズル流路ＲＮとを経由して、ノズルＮから吐出される。

連通板２の＋Ｚ側の面上には、供給流路ＲＡ１と接続流路ＲＫ１とを閉塞するように、コンプライアンスシート６１が設けられる。コンプライアンスシート６１は、弾性材料から形成されており、供給流路ＲＡ１および接続流路ＲＫ１内のインクの圧力変動を吸収する。また、連通板２の＋Ｚ側の面上には、排出流路ＲＡ２と接続流路ＲＫ２とを閉塞するように、コンプライアンスシート６２が設けられる。コンプライアンスシート６２は、弾性材料から形成されており、排出流路ＲＡ２および接続流路ＲＫ２内のインクの圧力変動を吸収する。

以上のように、本実施形態に係る液体吐出ヘッド１は、供給流路ＲＡ１から循環流路ＲＪを経由して排出流路ＲＡ２へと、インクを循環させる。このため、本実施形態では、圧力室ＣＢ１，ＣＢ２内部のインクがノズルＮから吐出されない期間が存在する場合であっても、圧力室ＣＢ１，ＣＢ２内部およびノズル流路ＲＮ等において、インクが滞留した状態が継続することを防止できる。このため、圧力室ＣＢ１，ＣＢ２内部のインクが増粘することを抑制することが可能となり、インクの増粘に起因してノズルＮからインクが吐出できなくなる吐出異常の発生を予防することができる。

また、本実施形態に係る液体吐出ヘッド１は、圧力室ＣＢ１内部に充填されているインクと、圧力室ＣＢ２内部に充填されているインクとを、ノズルＮから吐出することができる。このため、本実施形態に係る液体吐出ヘッド１では、例えば、１個の圧力室内部に充填されているインクのみをノズルＮから吐出する態様と比較して、ノズルＮからのインクの吐出量を増大させることができる。

図６は、配線基板８の周辺の構成をＺ軸方向から見た平面図であり、配線基板８を破線で示すとともに、圧電素子ＰＺ１，ＰＺ２、配線部Ｗ１，Ｗ２、圧力室ＣＢ１，ＣＢ２、ノズル流路ＲＮ、およびノズルＮを透視して実線で示している。ここで、配線部Ｗ１は、第１配線部の一例であり、配線部Ｗ２は、第２配線部の一例である。
図６に例示される通り、配線基板８の接続端部８３は、Ｙ軸方向に長尺であり、ともにＹ軸方向に沿って配列された複数の圧力室ＣＢ１の列と複数の圧力室ＣＢ２の列の略中央に配置される。すなわち、配線基板８は、Ｘ軸方向に延在するノズル流路ＲＮの略中央に設けられたノズルＮの－Ｚ側に配置される。

圧電素子ＰＺ１の上部電極ＺＵ１に接続された配線部Ｗ１は、配線基板８が配置される接続位置まで延出し、配線基板８と電気的に接続される。この接続位置は、Ｚ軸方向から見て、ノズル流路ＲＮと重なる位置である。配線部Ｗ１は、圧電素子ＰＺ１の位置と接続位置との間で屈曲している。具体的には、配線部Ｗ１は、圧電素子ＰＺ１の上部電極ＺＵ１から、－Ｘ方向に対して角度αだけ反時計回りに傾いた方向、すなわち－Ｘ方向成分と＋Ｙ方向成分とを有する＋Ｐ方向に所定の長さだけ延出し、そこで屈曲して－Ｘ方向に対して角度βだけ時計回りに傾いた方向、すなわち－Ｘ方向成分と－Ｙ方向成分とを有する＋Ｑ方向に延出し、配線基板８との接続位置に達する。つまり、配線基板８との接続位置において、配線部Ｗ１は、Ｘ軸方向とは異なる±Ｑ方向に延在する。なお、角度α，βは、ともに鋭角であり、角度αは、例えば４５°以上７５°以下の角度が望ましく、角度βは、例えば５°以上４０°以下の角度が望ましいが、これらの範囲外であってもよい。

同様に、圧電素子ＰＺ２の上部電極ＺＵ２に接続された配線部Ｗ２も、Ｚ軸方向から見て、ノズル流路ＲＮと重なる位置である接続位置まで延出し、配線基板８と接続される。配線部Ｗ１と同様、配線部Ｗ２も、圧電素子ＰＺ２の位置と接続位置との間で屈曲している。具体的には、配線部Ｗ２は、圧電素子ＰＺ２の上部電極ＺＵ２から、＋Ｘ方向に対して角度αだけ反時計回りに傾いた方向、すなわち＋Ｘ方向成分と－Ｙ方向成分とを有する－Ｐ方向に所定の長さだけ延出し、そこで屈曲して＋Ｘ方向に対して角度βだけ時計回りに傾いた方向、すなわち＋Ｘ方向成分と＋Ｙ方向成分とを有する－Ｑ方向に延出し、配線基板８との接続位置に達する。つまり、配線基板８との接続位置において、配線部Ｗ２は、Ｘ軸方向とは異なる±Ｑ方向に延在する。

複数の配線部Ｗ１と、複数の配線部Ｗ２とは、配線基板８との接続位置において交互に配置され、それぞれが±Ｑ方向に傾いた平行な姿勢で、Ｙ軸方向に沿って一列に配列されている。また、図示は省略しているが、配線基板８の接続端部８３には、配線部Ｗ１，Ｗ２のそれぞれに接続される複数の配線が一列に配置されており、それらも、配線部Ｗ１，Ｗ２と対応するように傾いている。配線基板８を振動板４に接続する際には、配線基板８は、接続端部８３の配線が振動板４上の配線部Ｗ１，Ｗ２と対向するような姿勢で位置合わせされた後、図示しない導電性または非導電性のペースト等を用いて熱圧着され、電気的に接続される。

なお、±Ｐ方向および±Ｑ方向は、ＸＹ平面内に含まれる方向であり、Ｚ軸方向に直交する方向である。つまり、Ｚ軸方向は、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、±Ｐ方向および±Ｑ方向のすべてに直交する。
また、配線基板８との接続位置において、配線部Ｗ１が延在する方向および配線部Ｗ２が延在する方向は、ともに±Ｑ方向であり、互いに平行であるが、必ずしも平行でなくてもよい。ただし、これらの延在方向が平行であれば、配線部Ｗ１，Ｗ２を効率的に配置することができる。

図７は、図３におけるＢ－Ｂ線の断面図である。
図７に例示されるように、Ｘ軸方向から見たノズル流路ＲＮの断面は、Ｚ軸に平行な２つの壁面ＨＲＮ１，ＨＲＮ２と、Ｙ軸に平行な２つの壁面ＣＲＮ１，ＢＲＮ１と、傾斜した２つの壁面ＨＤ１，ＨＤ２とを含んで構成されている。ここで、壁面ＢＲＮ１は、第１壁面の一例であり、壁面ＣＲＮ１は、第２壁面の一例であり、壁面ＨＲＮ１，ＨＲＮ２は、第３壁面および第４壁面の一例であり、壁面ＨＤ１，ＨＤ２は、傾斜面の一例である。
このうち、壁面ＢＲＮ１は、ノズル基板６０の－Ｚ側の面、すなわち連通板２側の面である。他の壁面ＨＲＮ１，ＨＲＮ２，ＣＲＮ１，ＨＤ１，ＨＤ２は、連通板２に形成されている。Ｙ軸に平行な壁面ＣＲＮ１，ＢＲＮ１のうち、配線基板８に近い－Ｚ側の壁面ＣＲＮ１と、Ｚ軸に平行な２つの壁面ＨＲＮ１，ＨＲＮ２とは、直接接続されておらず、傾斜する壁面ＨＤ１，ＨＤ２を介して接続されている。

以上説明したように、本実施形態に係る液体吐出ヘッド１は、圧力室ＣＢ１と、圧力室ＣＢ１内のインクに圧力を付与するためのエネルギーを生成する圧電素子ＰＺ１と、Ｘ軸方向に延在し、インクを吐出するノズルＮと連通するノズル流路ＲＮと、圧力室ＣＢ１とノズル流路ＲＮとを連通し、ノズル流路ＲＮにインクを供給するための連通流路ＲＲ１と、ノズル流路ＲＮと連通し、ノズル流路ＲＮからインクを排出するための連通流路ＲＲ２と、圧電素子ＰＺ１を駆動する駆動回路８１に電気的に接続された配線基板８と、配線基板８と圧電素子ＰＺ１とを電気的に接続する配線部Ｗ１と、を有し、配線部Ｗ１は、Ｘ軸方向と直交するＺ軸方向から見たとき、ノズル流路ＲＮと重なる位置に設けられ、Ｘ軸方向と異なる±Ｑ方向に延在することを特徴とする。
本実施形態にによれば、圧電素子ＰＺ１と配線基板８とを接続するための配線部Ｗ１が、ノズル流路ＲＮが延在するＸ軸方向と異なる方向に延在するため、配線基板８を接続する際の＋Ｚ方向の荷重によってノズル流路ＲＮの壁面に生じる撓みを抑制することが可能となり、ノズル流路ＲＮの壁面におけるクラックの発生を抑制することができる。

また、本実施形態に係る液体吐出ヘッド１は、圧力室ＣＢ２と、圧力室ＣＢ２内のインクに圧力を付与するためのエネルギーを生成する圧電素子ＰＺ２と、配線基板８と圧電素子ＰＺ２とを電気的に接続する配線部Ｗ２と、を有し、連通流路ＲＲ２は、圧力室ＣＢ２とノズル流路ＲＮとを連通し、配線部Ｗ２は、Ｚ軸方向から見たとき、ノズル流路ＲＮと重なる位置に設けられ、Ｘ軸方向と異なる±Ｑ方向に延在することを特徴とする。
本実施形態にによれば、圧電素子ＰＺ２と配線基板８とを接続するための配線部Ｗ２についても、ノズル流路ＲＮが延在するＸ軸方向と異なる方向に延在するため、配線基板８を接続する際の＋Ｚ方向の荷重によってノズル流路ＲＮの壁面に生じる撓みを抑制することが可能となり、ノズル流路ＲＮの壁面におけるクラックの発生を抑制することができる。

また、本実施形態に係る液体吐出ヘッド１において、配線基板８との接続位置において配線部Ｗ１と配線部Ｗ２とは、ともに±Ｑ方向に延在する。つまり、配線部Ｗ１が延在する方向と、配線部Ｗ２が延在する方向とが平行であるため、配線部Ｗ１と配線部Ｗ２とを、互いに干渉することなく配置することができる。

また、本実施形態に係る液体吐出ヘッド１において、配線基板８は、圧電素子ＰＺ１と圧電素子ＰＺ２の略中間、すなわちノズル流路ＲＮのＸ軸方向における略中央に位置している。これにより、圧電素子ＰＺ１から接続位置に至る配線部Ｗ１の経路長と、圧電素子ＰＺ２から接続位置に至る配線部Ｗ２の経路長とが略等しくなるため、配線部Ｗ１，Ｗ２を、幅や厚さが均一になるように形成すれば、それぞれの電気抵抗を略等しくすることができる。この結果、圧電素子ＰＺ１に印加される電圧と圧電素子ＰＺ２に印加される電圧のばらつきが抑制され、吐出されるインクの量や、インクの吐出速度を略均一にすることができる。

また、本実施形態に係る液体吐出ヘッド１において、配線部Ｗ１，Ｗ２は、途中で屈曲しており、Ｘ軸方向と異なる±Ｑ方向に延在する部位と、Ｘ軸方向および±Ｑ方向の両方と異なる±Ｐ方向に延在する部位とを有する。このため、配線部Ｗ１，Ｗ２の接続位置側の端部の位置と、圧電素子ＰＺ１，ＰＺ２の位置とのＹ軸方向における距離を短くすることができる。これにより、配線部Ｗ１，Ｗ２がＹ軸方向に占める範囲を小さくすることが可能となり、液体吐出ヘッド１を小型化することができる。

また、本実施形態に係る液体吐出ヘッド１において、Ｘ軸方向からみたノズル流路ＲＮの断面は、Ｙ軸方向に平行な壁面ＣＲＮ１，ＢＲＮ１と、Ｚ軸方向に平行な壁面ＨＲＮ１，ＨＲＮ２とを有し、壁面ＣＲＮ１，ＢＲＮ１のうち、配線基板８に近い方の壁面ＣＲＮ１は、Ｙ軸方向およびＺ軸方向の双方に対して傾斜する壁面ＨＤ１，ＨＤ２を介して壁面ＨＲＮ１，ＨＲＮ２に接続されている。このため、配線基板８を接続する際の＋Ｚ方向の荷重によってノズル流路ＲＮの壁面に生じる撓みを抑制することが可能となり、ノズル流路ＲＮの壁面におけるクラックの発生を抑制することができる。

なお、本実施形態において、Ｘ軸方向は、第１方向の一例であり、Ｚ軸方向は、第２方向の一例であり、±Ｑ方向は、第３方向および第４方向の一例であり、±Ｐ方向は、第５方向の一例であり、Ｙ軸方向は、第６方向の一例である。

２．第２実施形態
以下、第２実施形態に係る液体吐出ヘッド１Ａについて説明する。
本実施形態の液体吐出ヘッド１Ａは、配線基板８との接続位置において配線部Ｗ１，Ｗ２が延在する方向が、すべての圧電素子ＰＺ１，ＰＺ２で同一ではなく、Ｙ軸方向における位置に応じて異なる点で第１実施形態と相違している。それ以外の構成については、第１実施形態と同一である。このため、第１実施形態と同じ構成については、第１実施形態と同じ符号を付し、詳細な説明は省略する。

図８は、第２実施形態に係る液体吐出ヘッド１Ａの配線基板８の周辺の構成をＺ軸方向から見た平面図であり、配線基板８を破線で示すとともに、圧電素子ＰＺ１，ＰＺ２、配線部Ｗ１，Ｗ２、圧力室ＣＢ１，ＣＢ２、ノズル流路ＲＮ、およびノズルＮを透視して実線で示している。
図８に例示されるように、Ｙ軸方向に沿って配列されている複数の圧電素子ＰＺ１、ＰＺ２のうち、－Ｙ側の端部に位置する複数の圧電素子ＰＺ１，ＰＺ２の配線部Ｗ１，Ｗ２は、第１実施形態と同様、配線基板８との接続位置において、±Ｑ方向に延在している。また、＋Ｙ側の端部に位置する複数の圧電素子ＰＺ１，ＰＺ２の配線部Ｗ１，Ｗ２は、－Ｙ側の端部の配線部Ｗ１，Ｗ２と、Ｘ軸に対して対称な形状を有している。つまり、Ｙ軸方向の両端部に位置する圧電素子ＰＺ１、ＰＺ２の配線部Ｗ１，Ｗ２は、配線基板８との接続位置において、ノズル流路ＲＮが延在するＸ軸方向とは異なる方向に沿って延在している。これに対して、Ｙ軸方向の中央部に位置する圧電素子ＰＺ１、ＰＺ２の配線部Ｗ１，Ｗ２は、Ｘ軸方向に沿って延在しており、ノズル流路ＲＮの延在方向と略同じである。

本実施形態に係る液体吐出ヘッド１Ａによれば、＋Ｙ側および－Ｙ側の端部において、配線基板８を接続するための配線部Ｗ１，Ｗ２が、ノズル流路ＲＮが延在するＸ軸方向と異なる方向に延在する。Ｙ軸に長尺な配線基板８を、Ｙ軸方向に沿って配列された複数の配線部Ｗ１，Ｗ２に治具等を用いて一括で接続する場合、治具等のわずかな傾きにより、Ｙ軸方向における両端部のいずれか一方に荷重が集中しやすくなる。しかしながら、本実施形態によれば、Ｙ軸方向における端部において、Ｘ軸方向と異なる方向に配線部Ｗ１，Ｗ２が延在するため、配線基板８を接続する際の＋Ｚ方向の荷重によってノズル流路ＲＮの壁面に生じる撓みを抑制することが可能となり、ノズル流路ＲＮの壁面におけるクラックの発生を抑制することができる。また、Ｙ軸方向の中央部において、配線部Ｗ１，Ｗ２が、ノズル流路ＲＮと略同じ方向に延在するため、配線部Ｗ１、Ｗ２の長さを短くすることが可能となり、電気抵抗による電圧降下を抑制することができる。

なお、配線基板８との接続位置において、Ｘ軸方向に対する配線部Ｗ１，Ｗ２の傾きが、Ｙ軸方向の中央部から端部にかけて、徐々に大きくなる態様とすることも可能である。

３．第３実施形態
以下、第３実施形態に係る液体吐出ヘッド１Ｂについて説明する。
上述した第１実施形態および第２実施形態では、１個のノズルＮに対応して、２個の圧電素子ＰＺ１，ＰＺ２が設けられる態様を例示したが、本発明はこのような態様に限定されるものではない。例えば、本実施形態の液体吐出ヘッド１Ｂは、１個のノズルに対応して、１個の圧電素子が設けられている。

図９は、本実施形態に係る液体吐出ヘッド１Ｂの分解斜視図である。
図９に示すように、本実施形態に係る液体吐出ヘッド１Ｂは、ノズル基板６０の代わりにノズル基板６０Ｂを備え、連通板２の代わりに連通板２Ｂを備え、圧力室基板３の代わりに圧力室基板３Ｂを備え、振動板４の代わりに振動板４Ｂを備える点において、第１および第２実施形態に係る液体吐出ヘッド１と相違する。

このうち、ノズル基板６０Ｂは、１列のノズル列Ｌｎが設けられる代わりに、２列のノズル列Ｌｎ１，Ｌｎ２が設けられる点において、第１および第２実施形態に係るノズル基板６０と相違する。ここで、ノズル列Ｌｎ１は、Ｙ軸方向に延在するように設けられたＭ１個のノズルＮの集合である。また、ノズル列Ｌｎ２は、ノズル列Ｌｎ１よりも－Ｘ側において、Ｙ軸方向に延在するように設けられたＭ２個のノズルＮの集合である。ここで、値Ｍ１および値Ｍ２は、Ｍ１＋Ｍ２＝Ｍを満たす、１以上の自然数である。なお、本実施形態では、値Ｍが２以上の自然数である場合を想定する。また、以下では、ノズル列Ｌｎ１を構成するノズルＮを、ノズルＮ１と称し、ノズル列Ｌｎ２を構成するノズルＮを、ノズルＮ２と称する場合がある。

また、連通板２Ｂは、Ｍ個の接続流路ＲＫ１と、Ｍ個の接続流路ＲＫ２と、Ｍ個の連通流路ＲＲ１とＭ個の連通流路ＲＲ２と、の代わりに、Ｍ１個のノズルＮ１と１対１に対応するＭ１個の接続流路ＲＫ１と、Ｍ２個のノズルＮ２と１対１に対応するＭ２個の接続流路ＲＫ２と、Ｍ１個のノズルＮ１と１対１に対応するＭ１個の連通流路ＲＲ１と、Ｍ２個のノズルＮ２と１対１に対応するＭ２個の連通流路ＲＲ２とが設けられる点において、第１および第２実施形態に係る連通板２と相違する。また、連通板２Ｂは、連通板２と同様に、Ｙ軸方向に延在する供給流路ＲＡ１と、供給流路ＲＡ１から見て－Ｘ側においてＹ軸方向に延在する排出流路ＲＡ２とが形成される。

また、圧力室基板３Ｂは、Ｍ個の圧力室ＣＢ１とＭ個の圧力室ＣＢ２との代わりに、Ｍ１個のノズルＮ１と１対１に対応するＭ１個の圧力室ＣＢ１と、Ｍ２個のノズルＮ２と１対１に対応するＭ２個の圧力室ＣＢ２とが形成される点において、第１および第２実施形態に係る圧力室基板３と相違する。

また、振動板４Ｂは、Ｍ個の圧電素子ＰＺ１とＭ個の圧電素子ＰＺ２との代わりに、Ｍ１個のノズルＮ１と１対１に対応するＭ１個の圧電素子ＰＺ１と、Ｍ２個のノズルＮ２と１対１に対応するＭ２個の圧電素子ＰＺ２とが形成される点において、第１および第２実施形態に係る振動板４と相違する。

図１０は、液体吐出ヘッド１ＢをＺ軸方向から見た平面図である。
本実施形態において、液体吐出ヘッド１Ｂは、ノズル基板６０Ｂに設けられたＭ個のノズルＮと１対１に対応するＭ個の循環流路ＲＪを有する。以下では、ノズルＮ１に対応して設けられる循環流路ＲＪを、循環流路ＲＪ１と称し、ノズルＮ２に対応して設けられる循環流路ＲＪを、循環流路ＲＪ２と称する場合がある。すなわち、本実施形態において、供給流路ＲＡ１および排出流路ＲＡ２は、Ｍ１個の循環流路ＲＪ１とＭ２個の循環流路ＲＪ２とにより連通される。
また、本実施形態では、Ｙ軸方向において、循環流路ＲＪ１と循環流路ＲＪ２とが交互に配置される。また、本実施形態において、互いに隣り合う循環流路ＲＪ１および循環流路ＲＪ２のＹ軸方向の間隔が、間隔ｄＹとなるように、Ｍ１個の循環流路ＲＪ１と、Ｍ２個の循環流路ＲＪ２とが配置される。

循環流路ＲＪ１は、圧力室ＣＢ１を含み、循環流路ＲＪ２は、圧力室ＣＢ２を含む。本実施形態では、図１０に示すように、圧力室ＣＢ１は、ノズルＮ１よりも＋Ｘ側に設けられ、圧力室ＣＢ２は、ノズルＮ２よりも－Ｘ側に設けられる。そして、ノズルＮ１が属するノズル列Ｌｎ１は、ノズルＮ２が属するノズル列Ｌｎ２よりも、＋Ｘ側に設けられる。このため、圧力室ＣＢ１は、圧力室ＣＢ２よりも＋Ｘ側に位置することになる。

また、循環流路ＲＪは、圧力室ＣＢ１，ＣＢ２のＹ軸方向の幅が、幅ｄＣＹとなり、圧力室ＣＢ１，ＣＢ２以外の部分の幅が、幅ｄＲＹとなるように設けられる。そして、本実施形態では、幅ｄＲＹおよび幅ｄＣＹが、ｄＲＹ＜ｄＣＹを満たす場合を想定する。また、本実施形態では、一例として、間隔ｄＹおよび幅ｄＣＹが、ｄＣＹ＞ｄＹを満たすように、Ｍ１個の循環流路ＲＪ１と、Ｍ２個の循環流路ＲＪ２とが設けられる場合を想定する。
このように、本実施形態では、圧力室ＣＢ１のＸ軸方向における位置と、圧力室ＣＢ２のＸ軸方向における位置とが異なるため、Ｘ軸方向において圧力室ＣＢ１および圧力室ＣＢ２が同一の位置に設けられる態様と比較して、循環流路ＲＪの間隔ｄＹを狭くすることが可能となる。

図１１は、液体吐出ヘッド１Ｂを循環流路ＲＪ１を通るようにＸＺ平面に平行に切断した断面図である。また、図１２は、液体吐出ヘッド１Ｂを循環流路ＲＪ２を通るようにＸＺ平面に平行に切断した断面図である。

図１１および図１２に示すように、本実施形態において、連通板２Ｂは、＋Ｚ側に配置される基板２１と、－Ｚ側に配置される基板２２とを含む。ここで、基板２１および基板２２は、例えば、エッチング等の半導体製造技術を利用してシリコンの単結晶基板を加工することで製造される。ただし、基板２１および基板２２の製造には公知の材料および製法が任意に採用され得る。

図１１に示すように、循環流路ＲＪ１は、供給流路ＲＡ１に連通し、基板２１および基板２２に形成された接続流路ＲＫ１と、接続流路ＲＫ１に連通し、圧力室基板３Ｂに形成された圧力室ＣＢ１と、圧力室ＣＢ１に連通し、基板２１および基板２２に形成された連通流路ＲＲ１と、連通流路ＲＲ１およびノズルＮ１に連通し、基板２１に形成されたノズル流路ＲＮ１と、ノズル流路ＲＮ１に連通し、基板２２に形成された流路Ｒ１１と、流路Ｒ１１に連通し、基板２１に形成された流路Ｒ１２と、流路Ｒ１２に連通し、ノズル基板６０Ｂに形成された流路Ｒ１３と、流路Ｒ１３に連通し、基板２１に形成された流路Ｒ１４と、流路Ｒ１４および排出流路ＲＡ２を連通し、基板２２に形成された流路Ｒ１５とを有する。循環流路ＲＪ１において、連通流路ＲＲ１は、供給連通流路の一例であり、流路Ｒ１１～Ｒ１５は、排出連通流路の一例である。

また、図１２に示すように、循環流路ＲＪ２は、排出流路ＲＡ２に連通し、基板２１および基板２２に形成された接続流路ＲＫ２と、接続流路ＲＫ２に連通し、圧力室基板３Ｂに形成された圧力室ＣＢ２と、圧力室ＣＢ２に連通し、基板２１および基板２２に形成された連通流路ＲＲ２と、連通流路ＲＲ２およびノズルＮ２に連通し、基板２１に形成されたノズル流路ＲＮ２と、ノズル流路ＲＮ２に連通し、基板２２に形成された流路Ｒ２１と、流路Ｒ２１に連通し、基板２１に形成された流路Ｒ２２と、流路Ｒ２２に連通し、ノズル基板６０Ｂに形成された流路Ｒ２３と、流路Ｒ２３に連通し、基板２１に形成された流路Ｒ２４と、流路Ｒ２４および供給流路ＲＡ１を連通し、基板２２に形成された流路Ｒ２５とを有する。循環流路ＲＪ２において、流路Ｒ２１～Ｒ２５は、供給連通流路の一例であり、連通流路ＲＲ２は、排出連通流路の一例である。

図１３は、第３実施形態に係る液体吐出ヘッド１Ｂの配線基板８の周辺の構成をＺ軸方向から見た平面図であり、配線基板８を破線で示すとともに、圧電素子ＰＺ１，ＰＺ２、配線部Ｗ１，Ｗ２、圧力室ＣＢ１，ＣＢ２、ノズル流路ＲＮ１，ＲＮ２、およびノズルＮ１、Ｎ２を透視して実線で示している。
図１３に例示される通り、配線基板８の接続端部８３は、Ｙ軸方向に長尺であり、Ｙ軸方向に配列された複数の圧力室ＣＢ１の列と複数の圧力室ＣＢ２の列の略中央に配置されいる。

第１実施形態と同様、圧電素子ＰＺ１の上部電極ＺＵ１に接続された配線部Ｗ１は、配線基板８が配置される接続位置まで延出し、配線基板８と電気的に接続される。この接続位置は、Ｚ軸方向から見て、ノズル流路ＲＮ１と重なる位置である。また、圧電素子ＰＺ２の上部電極ＺＵ２に接続された配線部Ｗ２も、Ｚ軸方向から見て、ノズル流路ＲＮ２と重なる位置である接続位置まで延出し、配線基板８と接続される。配線部Ｗ１，Ｗ２の形状についても、第１実施形態と同様であり、配線部Ｗ１，Ｗ２は、圧電素子ＰＺ１，ＰＺ２の位置と接続位置との間で屈曲している。具体的には、配線部Ｗ１，Ｗ２は、圧電素子ＰＺ１，ＰＺ２の上部電極ＺＵ１，ＺＵ２から±Ｐ方向に沿って所定の長さだけ延出し、そこで屈曲して±Ｑ方向に沿って延出し、配線基板８との接続位置に達する。つまり、配線基板８との接続位置において、配線部Ｗ１，Ｗ２は、Ｘ軸方向とは異なる±Ｑ方向に延在する。

図１４は、図１１におけるＣ－Ｃ線の断面図である。
図１４に例示されるように、Ｘ軸方向から見たノズル流路ＲＮ１の断面は、Ｚ軸に平行な２つの壁面ＨＲＮ１Ｂ，ＨＲＮ２Ｂと、Ｙ軸に平行な２つの壁面ＣＲＮ１Ｂ，ＢＲＮ１Ｂと、傾斜した２つの壁面ＨＤ１Ｂ，ＨＤ２Ｂとを含んで構成されている。ここで、壁面ＢＲＮ１Ｂは、第１壁面の一例であり、壁面ＣＲＮ１Ｂは、第２壁面の一例であり、壁面ＨＲＮ１Ｂ，ＨＲＮ２Ｂは、第３壁面および第４壁面の一例であり、壁面ＨＤ１Ｂ，ＨＤ２Ｂは、傾斜面の一例である。
このうち、壁面ＢＲＮ１Ｂは、ノズル基板６０Ｂの－Ｚ側の面、すなわち連通板２Ｂ側の面である。また、壁面ＣＲＮ１Ｂは、連通板２Ｂを構成する基板２２の＋Ｚ側の面、すなわち基板２１側の面である。他の壁面ＨＲＮ１Ｂ，ＨＲＮ２Ｂ，ＨＤ１Ｂ，ＨＤ２Ｂは、連通板２Ｂの基板２１に形成されている。Ｙ軸に平行な壁面ＣＲＮ１Ｂ，ＢＲＮ１Ｂのうち、配線基板８に近い－Ｚ側の壁面ＣＲＮ１Ｂと、Ｚ軸に平行な２つの壁面ＨＲＮ１Ｂ，ＨＲＮ２Ｂとは、直接接続されておらず、傾斜する壁面ＨＤ１Ｂ，ＨＤ２Ｂを介して接続されている。
なお、図示は省略しているが、ノズル流路ＲＮ２についても、ノズル流路ＲＮ１と同様の断面形状を有している。

本実施形態の液体吐出ヘッド１Ｂによれば、第１実施形態と同様の効果を得ることが可能となる。
なお、本実施形態の液体吐出ヘッド１Ｂにおいて、第２実施形態と同様、配線基板８との接続位置において配線部Ｗ１，Ｗ２が延在する方向を、複数の圧電素子ＰＺ１、ＰＺ２のＹ軸方向における位置に応じて異ならせてもよい。つまり、Ｙ軸方向に沿って配列されている複数の圧電素子ＰＺ１、ＰＺ２のうち、＋Ｙ側および－Ｙ側の端部に位置する複数の圧電素子ＰＺ１，ＰＺ２の配線部Ｗ１，Ｗ２を、配線基板８との接続位置において、Ｘ軸方向とは異なる方向に沿って延在させ、Ｙ軸方向の中央部に位置する圧電素子ＰＺ１、ＰＺ２の配線部Ｗ１，Ｗ２を、Ｘ軸方向に沿って延在させてもよい。

４．第４実施形態
以下、第４実施形態に係る液体吐出装置１００Ｃについて説明する。
上述した第１～第３実施形態では、液体吐出ヘッド１，１Ａ，１Ｂを、媒体ＰＰの幅方向に往復動させるシリアル方式の液体吐出装置１００を例示したが、本発明はこのような態様に限定されない。本実施形態の液体吐出装置１００Ｃは、複数のノズルＮが、媒体ＰＰの全幅に亘り分布する、ライン方式の液体吐出装置である。

図１５は、本実施形態に係る液体吐出装置１００Ｃの構成を示す説明図である。
液体吐出装置１００Ｃは、制御装置９０の代わりに制御装置９０Ｃを備える点と、収納ケース９２１の代わりに収納ケース９２１Ｃを備える点と、無端ベルト９２２を備えない点とにおいて、第１～第３実施形態に係る液体吐出装置１００と相違する。制御装置９０Ｃは、無端ベルト９２２を制御する信号を出力しない点において、制御装置９０と相違する。収納ケース９２１Ｃは、ノズルＮが配列される方向であるＹ軸方向を長手方向とする複数の液体吐出ヘッド１が、媒体ＰＰの全幅に亘り分布するように設けられている。本実施形態では、媒体ＰＰは、Ｙ軸方向と直交する＋Ｘ方向に搬送される。なお、収納ケース９２１Ｃには、液体吐出ヘッド１の代わりに、液体吐出ヘッド１Ａまたは液体吐出ヘッド１Ｂが搭載されてもよい。
本実施形態の液体吐出装置１００Ｃにおいても、第１～第３実施形態と同様の効果を得ることができる。

なお、上記の各実施形態において、以下のように変更してもよい。

上述した第１～第４実施形態では、圧力室ＣＢ１、ＣＢ２の内部に圧力を付与するエネルギー生成素子として、電気エネルギーを運動エネルギーに変換する圧電素子ＰＺ１，ＰＺ２を例示したが、本発明はこのような態様に限定されるものではない。圧力室ＣＢ１，ＣＢ２の内部に圧力を付与するエネルギー生成素子としては、例えば、電気エネルギーを熱エネルギーに変換し、加熱により圧力室ＣＢ１，ＣＢ２の内部に気泡を発生させて、圧力室ＣＢ１，ＣＢ２の内部の圧力を変動させる発熱素子を採用してもよい。発熱素子は、例えば、駆動信号ＣＯＭの供給により発熱体が発熱する素子であってもよい。

また、上述した第１～第４実施形態で例示した液体吐出ヘッド１，１Ａ，１Ｂは、印刷に専用される機器のほか、ファクシミリ装置およびコピー機等の各種の機器に採用され得るが、液体吐出ヘッドの用途は印刷に限定されない。例えば、インクの代わりに色材の溶液を吐出する構成の液体吐出ヘッドは、液晶表示装置のカラーフィルターを形成する製造装置として利用される。また、導電材料の溶液を吐出する液体吐出ヘッドは、配線基板の配線および電極を形成する製造装置として利用される。

１，１Ａ，１Ｂ…液体吐出ヘッド、２，２Ｂ…連通板、３，３Ｂ…圧力室基板、４，４Ｂ…振動板、５…貯留室形成基板、８…配線基板、２１，２２…基板、５０…開口、５１…導入口、５２…排出口、６０，６０Ｂ…ノズル基板、６１，６２…コンプライアンスシート、８１…駆動回路、８２…本体部、８３…接続端部、９０，９０Ｃ…制御装置、９１…移動機構、９２…搬送機構、９３…液体容器、９４…循環機構、１００，１００Ｃ…液体吐出装置、９２１，９２１Ｃ…収納ケース、９２２…無端ベルト、ＣＲＮ１，ＢＲＮ１，ＨＲＮ１，ＨＲＮ２，ＨＤ１，ＨＤ２，ＣＲＮ１Ｂ，ＢＲＮ１Ｂ，ＨＲＮ１Ｂ，ＨＲＮ２Ｂ，ＨＤ１Ｂ，ＨＤ２Ｂ…壁面、ＣＢ１，ＣＢ２…圧力室、ＣＯＭ…駆動信号、Ｌｎ，Ｌｎ１，Ｌｎ２…ノズル列、Ｍ，Ｍ１，Ｍ２…値、Ｎ，Ｎ１，Ｎ２…ノズル、ＰＰ…媒体、ＰＺ１，ＰＺ２…圧電素子、Ｒ１１，Ｒ１２，Ｒ１３，Ｒ１４，Ｒ１５，Ｒ２１，Ｒ２２，Ｒ２３，Ｒ２４，Ｒ２５…流路、ＲＡ１，ＲＢ１…供給流路、ＲＡ２，ＲＢ２…排出流路、ＲＪ，ＲＪ１，ＲＪ２…循環流路、ＲＫ１，ＲＫ２…接続流路、ＲＮ，ＲＮ１，ＲＮ２…ノズル流路、ＲＲ１，ＲＲ２…連通流路、ＳＩ…制御信号、Ｗ１，Ｗ２…配線部、ＺＤ１，ＺＤ２…下部電極、ＺＭ１，ＺＭ２…圧電体、ＺＵ１，ＺＵ２…上部電極、ｄＣＹ，ｄＲＹ…幅、ｄＹ…間隔。

Claims (12)

1. 液体吐出ヘッドであって、
   第１圧力室と、第１方向に延在し、液体を吐出するノズルと連通するノズル流路と、前記第１圧力室と前記ノズル流路とを連通し、前記ノズル流路に液体を供給するための供給連通流路と、前記ノズル流路と連通し、前記ノズル流路から液体を排出するための排出連通流路と、を含む循環流路であって、液体が前記第１圧力室、前記供給連通流路、前記ノズル流路、前記排出連通流路の順に流れる循環流路と、
   前記第１圧力室内の液体に圧力を付与するためのエネルギーを生成する第１エネルギー生成素子と、
   前記第１エネルギー生成素子を駆動する駆動回路に電気的に接続された配線基板と、
   少なくとも一部に前記循環流路が形成され、前記第１方向と直交する第２方向に互いに積層される複数の基板と、
   前記複数の基板の上に設けられ、前記配線基板が前記第２方向から接続され、前記配線基板と前記第１エネルギー生成素子とを電気的に接続する第１配線部と、
   を有し、
   前記第１配線部は、前記第２方向に見たとき、一部が前記ノズル流路と重なり、別の一部が前記ノズル流路と重ならず且つ前記ノズル流路を画定する前記基板と重なる位置に設けられ、前記第１方向と異なる第３方向に延在することを特徴とする液体吐出ヘッド。
2. 前記循環流路は、前記排出連通流路と連通する第２圧力室であって、液体が前記排出連通流路の後に流れる第２圧力室を更に含み、
   前記第２圧力室内の液体に圧力を付与するためのエネルギーを生成する第２エネルギー生成素子と、
   前記複数の基板の上に設けられ、前記配線基板が前記第２方向から接続され、前記配線基板と前記第２エネルギー生成素子とを電気的に接続する第２配線部と、
   を有し、
   前記第２配線部は、前記第２方向に見たとき、一部が前記ノズル流路と重なり、別の一部が前記ノズル流路と重ならず且つ前記ノズル流路を画定する前記基板と重なる位置に設けられ、前記第１方向と異なる第４方向に延在することを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
3. 前記第３方向と前記第４方向とは、平行であることを特徴とする請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
4. 前記第１配線部と前記第２配線部とは、経路長が略等しいことを特徴とする請求項２または３に記載の液体吐出ヘッド。
5. 前記配線基板は、前記第２方向に見たとき、前記ノズル流路の前記第１方向における略中央に位置することを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
6. 前記第２方向は、前記第１方向と前記第３方向の両方に直交することを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
7. 前記第１圧力室は、前記第１方向に延在し、
   前記供給連通流路は、前記第２方向に延在することを特徴とする請求項１から６のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
8. 圧電体と、複数の前記第１エネルギー生成素子に対して共通に設けられた共通電極と、複数の前記第１エネルギー生成素子に対して個別に設けられた個別電極とが、前記共通電極と前記個別電極の前記第２方向における間に前記圧電体が位置するようにして、前記第２方向に積層されることで、前記第１エネルギー生成素子が構成されており、
   前記第１配線部は、前記配線基板と、前記第１エネルギー生成素子の前記個別電極と、を電気的に接続することを特徴とする請求項１から７のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
9. 前記第１配線部は、前記第３方向に延在する部分と、前記第１方向と前記第３方向の両方と異なる第５方向に延在する部分と、を含むことを特徴とする請求項１から８のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
10. 前記循環流路は、前記第１方向と前記第２方向の両方に直交する第６方向に沿って複数設けられ、
    前記複数の循環流路それぞれに対して、前記第１エネルギー生成素子と前記第１配線部が設けられ、
    前記第６方向における端部において、前記第１配線部は、前記第１方向と異なる方向に延在し、
    前記第６方向における中央部において、前記第１配線部は、前記第１方向に延在することを特徴とする請求項１から９のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
11. 前記第１方向からみた前記ノズル流路の断面は、前記第１方向と前記第２方向の両方に直交する第６方向に平行な第１壁面および第２壁面と、前記第２方向に平行な第３壁面および第４壁面とを有し、
    前記第１壁面および前記第２壁面のうち、前記配線基板に近い方の壁面は、前記第６方向および前記第２方向の両方に対して傾斜する傾斜面を介して前記第３壁面および前記第４壁面に接続されていることを特徴とする請求項１から１０のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
12. 請求項１から１１のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドと、
    前記液体吐出ヘッドの吐出動作を制御する制御装置と、を有することを特徴とする液体吐出装置。

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