CN111347783B - 液体喷出头以及液体喷出装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种减少串扰的影响的液体喷出头以及液体喷出装置。该液体喷出头具备：多个喷嘴，其沿着第一轴而喷出液体；独立流道列，其针对所述多个喷嘴而被分别设置，且包括在从所述第一轴的方向进行观察时沿着与所述第一轴正交的第二轴而被并排设置的多个独立流道；共同液室，其与所述多个独立流道共同连通，在所述液体喷出头中，所述多个独立流道包括在所述独立流道列上相邻的第一独立流道以及第二独立流道，所述共同液室中的作为与所述第一独立流道连接的连接口的第一开口、和所述共同液室中的作为与所述第二独立流道连接的连接口的第二开口在所述第一轴的方向上的位置不同。

Description

液体喷出头以及液体喷出装置

技术领域

本发明涉及一种液体喷出头以及液体喷出装置。

背景技术

一直以来，提出有一种将油墨等液体从多个喷嘴中进行喷出的液体喷出头。例如，在专利文献l中公开了一种如下的结构，即，通过使与喷嘴连通的压力室内的压力发生变动，从而使液体从该喷嘴中喷出的结构。

在近年来的液体喷射头中，喷嘴的高密度化的要求非常高。但是，在高密度地形成多个喷嘴的情况下，会出现如下问题，即，产生一个压力室内的压力变动影响了其附近的压力室的压力变动的现象(以下，称为“串扰”)。当串扰产生时，在各个喷嘴的喷出特性上将产生误差。

专利文献l：日本特开20l3-l84372号公报

发明内容

为了解决以上的课题，本发明的优选的方式所涉及的液体喷出头具备：多个喷嘴，其沿着第一轴而喷出液体；独立流道列，其针对所述多个喷嘴而被分别设置，且包括在从所述第一轴的方向进行观察时沿着与所述第一轴正交的第二轴而被并排设置的多个独立流道；共同液室，其与所述多个独立流道共同连通，在所述液体喷出头中，所述多个独立流道包括在所述独立流道列上相邻的第一独立流道以及第二独立流道，所述共同液室中的作为与所述第一独立流道连接的连接口的第一开口、和所述共同液室中的作为与所述第二独立流道连接的连接口的第二开口在所述第一轴的方向上的位置不同。

本发明的其他的方式所涉及的液体喷出头具备：多个喷嘴，其沿着第一轴而喷出液体；独立流道列，其针对所述多个喷嘴而被分别设置，且包括在从所述第一轴的方向进行观察时沿着与所述第一轴正交的第二轴而被并排设置的多个独立流道；第一共同液室，其与所述多个独立流道共同连通；第二共同液室，其与所述多个独立流道共同连通，在所述液体喷出头中，所述多个独立流道包括在所述独立流道列上相邻的第一独立流道以及第二独立流道，所述第一共同液室中的作为与所述第一独立流道连接的连接口的第一开口、和所述第一共同液室中的作为与所述第二独立流道连接的连接口的第二开口在所述第一轴的方向上的位置不同，所述第二共同液室中的作为与所述第一独立流道连接的连接口的第三开口、和所述第二共同液室中的作为与所述第二独立流道连接的连接口的第四开口在所述第一轴的方向上的位置不同。

本发明的其他的方式所涉及的液体喷出头具备：多个喷嘴，其沿着第一轴而喷出液体；独立流道列，其针对所述多个喷嘴而被分别设置，且包括在从所述第一轴的方向进行观察时沿着与所述第一轴正交的第二轴而被并排设置的多个独立流道；共同液室，其与所述多个独立流道共同连通，在所述液体喷射头中，所述多个独立流道包括在所述独立流道列上相邻的第一独立流道以及第二独立流道，所述共同液室中的作为与所述第一独立流道连接的连接口的第一开口的方向、和所述共同液室中的作为与所述第二独立流道连接的连接口的第二开口的方向不同。

本发明的其他的方式所涉及的液体喷出头具备：多个喷嘴，其沿着第一轴而喷出液体；独立流道列，其针对所述多个喷嘴而被分别设置，且包括在从所述第一轴的方向进行观察时沿着与所述第一轴正交的第二轴而被并排设置的多个独立流道；第一共同液室，其与所述多个独立流道共同连通；第二共同液室，其与所述多个独立流道共同连通，所述多个独立流道包括在所述独立流道列上相邻的第一独立流道以及第二独立流道，所述第一共同液室中的作为与所述第一独立流道连接的连接口的第一开口的方向、和所述第一共同液室中的作为与所述第二独立流道连接的连接口的第二开口的方向不同，所述第二共同液室中的作为与所述第一独立流道连接的连接口的第三开口的方向、和所述第二共同液室中的作为与所述第二独立流道连接的连接口的第四开口的方向不同。另外，本发明也被特定作为具备上述的各个方式所涉及的液体喷出头的液体喷出装置。

附图说明

图1为表示本发明的第一实施方式所涉及的液体喷出装置的结构的框图。

图2为液体喷出头的分解立体图。

图3为液体喷出头的剖视图。

图4为液体喷出头的剖视图。

图5为被形成于液体喷出头中的流道的示意图。

图6为第一独立流道的剖视图。

图7为第二独立流道的剖视图。

图8为第一共同液室中的第一独立流道侧的剖视图。

图9为第一共同液室中的第二独立流道侧的剖视图。

图10为第二共同液室中的第一独立流道侧的剖视图。

图11为第二共同液室中的第二独立流道侧的剖视图。

具体实施方式

A.实施方式

图1为对本发明的实施方式所涉及的液体喷出装置100进行例示的结构图。本实施方式的液体喷出装置100为，向介质12喷出作为液体的例示的油墨的喷墨式的印刷装置。虽然介质12典型而言为印刷纸张，但作为介质12也可利用树脂薄膜或者布帛等的任意材质的印刷对象。如图1中所例示的那样，在液体喷出装置100中，设置有对油墨进行贮留的液体容器14。例如，作为液体容器14而利用有能够在液体喷出装置100上进行装拆的墨盒、由可挠性的薄膜形成的袋状的油墨袋、或者能够对油墨进行补充的油墨罐。色彩不同的多种油墨被贮留在液体容器14中。

如图1中所例示的那样，液体喷出装置100具备：控制单元20、输送机构22、移动机构24和液体喷出头26。控制单元20包括例如CPU(Central Processing Unit)或者FPGA(Field Programmable Gate Array)等的处理电路、和半导体存储器等的存储电路，并且对液体喷出装置100的各个要素进行总括性地控制。输送机构22在由控制单元20实施的控制下，在Y轴的方向上对介质12进行输送。

移动机构24在由控制单元20实施的控制下，使液体喷出头26在X轴的方向上进行往复。X轴与介质12被输送的Y轴交叉。典型而言为，X轴与Y轴正交。本实施方式的移动机构24具备对液体喷出头26进行收纳的大致箱型的输送体82、和被固定有输送体82的输送带84。另外，也可以采用将多个液体喷出头26搭载在输送体82上的结构、或将液体容器14与液体喷出头26一起搭载在输送体82上的结构。

液体喷出头26在由控制单元20实施的控制下，将从液体容器14被供给的油墨从多个喷嘴向介质12喷出。控制单元20生成用于使油墨从喷嘴中喷出的各种的信号以及电压，并向液体喷出头26进行供给。油墨沿着Z轴而被喷出。与X-Y平面垂直的轴为Z轴。即，X轴、Y轴与Z轴正交。Z轴为“第一轴”的例示，Y轴为“第二轴”的例示，X轴为“第三轴”的例示。通过液体喷出头26以与由输送机构22实施的介质12的输送和输送体82的反复性的往复并行的方式向介质12喷出油墨，从而在介质12的表面上形成所希望的图像。

图2为液体喷出头26的分解立体图。如图2中所例示的那样，液体喷出头26具备在Y轴的方向排列的多个喷嘴N。本实施方式的多个喷嘴N被划分为，在X轴的方向上相互隔开间隔而并排设置的第一列L1和第二列L2。第一列L1以及第二列L2分别为，在Y轴的方向上直线状地排列的多个喷嘴N的集合。如图2中所例示的那样，在第一列L1与第二列L2之间，各个喷嘴N的Y轴上的位置不同。具体而言，在从X轴的方向进行观察时，第二列L2中的一个的喷嘴N位于第一列L1中彼此相邻的两个喷嘴N之间。

图3为图2中的Ⅲ-Ⅲ线的剖视图，图4为图2中的Ⅳ-Ⅳ线的剖视图。图3为与第一列L1中的一个喷嘴N相关联的要素的剖视图，图4为与第二列L2中的一个喷嘴N相关联的要素的剖视图。如根据图3以及图4所理解的那样，与第一列L1的喷嘴N相关联的要素和与第二列L2的各喷嘴N相关联的要素处于相对于Y-Z平面而反转的关系。

如图2至图4中所例示的那样，液体喷出头26具备流道结构体30。流道结构体30构成用于向各个喷嘴N供给油墨的流道。如图2中所例示的那样，在流道结构体30中的Z轴的负方向上，设置有振动板42、保护基板46和筐体部48。另一方面，在流道基板32中的Z轴的正方向上，设置有喷嘴板62、第一吸振体64和第二吸振体65。液体喷出头26的各个要素为示意性地沿着Y轴的长条的板状部件，并且利用例如粘合剂而被相互粘合在一起。

喷嘴板62为被形成有多个喷嘴N的板状部件，且被设置在流道结构体30中的Z轴的正方向的表面上。多个喷嘴N分别为，供油墨通过的圆形形状的贯穿孔。在本实施方式的喷嘴板62上，形成有构成第一列L1的多个喷嘴N和构成第二列L2的多个喷嘴N。例如，通过利用干蚀刻或湿蚀刻等的半导体制造技术而对硅的单结晶基板进行加工，从而制造出喷嘴板62。其中，在喷嘴板62的制造中能够任意地采用公知的材料或制法。

如图2至图4中所例示的那样，流道结构体30具备流道基板32和压力室基板34。流道基板32位于流道结构体30中的Z轴的正方向，压力室基板34位于流道结构体30中的Z轴的负方向。如图2中所例示的那样，在流道基板32中形成有空间Ka1和空间Ka2。空间Ka1以及空间Ka2分别为，沿着Y轴的长条状的开口。空间Ka1被形成在流道基板32中的X轴的正方向上，空间Ka2被形成在流道基板32中的X轴的负方向上。

本实施方式的流道基板32通过第一基板321和第二基板322的层叠而被构成。第一基板321位于第二基板322与压力室基板34之间。如图3以及图4中所例示的那样，空间Ka1以跨及第一基板321和第二基板322的方式被形成。同样地，空间Ka2以跨及第一基板321和第二基板322的方式被形成。

筐体部48为，用于对油墨进行贮留的壳体。在筐体部48内，形成有与空间Ka1对应的空间Kb1、和与空间Ka2对应的空间Kb2。流道结构体30的空间Ka1与筐体部48的空间Kb1相互连通，流道结构体30的空间Ka2与筐体部48的空间Kb2相互连通。由空间Ka1和空间Kb1构成的空间作为第一共同液室K1而发挥功能，由空间Ka2和空间Kb2构成的空间作为第二共同液室K2而发挥功能。第一共同液室K1和第二共同液室K2为，以跨及多个喷嘴N的方式被共同形成的空间，并对向多个喷嘴N被供给的油墨进行贮留。

在筐体部48中，形成有导入口481和排出口482。油墨经由导入口481而被供给至第一共同液室K1。第二共同液室K2内的油墨经由排出口482而被排出。如图3以及图4中所例示的那样，第一吸振体64为，构成第一共同液室K1的壁面的一部分的可挠性的薄膜。第一吸振体64中的、根据第一共同液室K1内的油墨的压力变动而进行变形的部分(以下称为“第一变形部641”)构成该第一共同液室K1的壁面的一部分。换而言之，可以说是，第一吸振体64中的、未被固定在流道基板32的表面上的部分为第一变形部641。第一变形部641通过根据第一共同液室K1内的压力变动而进行变形，从而吸收该第一共同液室K1内的油墨的压力变动。如根据以上的说明所理解的那样，第一共同液室K1具有第一变形部641。

第二吸振体65为，构成第二共同液室K2的壁面的一部分的可挠性的薄膜。第二吸振体65中的、根据第二共同液室K2内的油墨的压力变动而进行变形的部分(以下称为“第二变形部651”)构成该第二共同液室K2的壁面的一部分。换而言之，可以说是，第二吸振体65中的、未被固定在流道基板32的表面上的部分为第二变形部651。第二变形部651通过根据第二共同液室K2内的压力变动而进行变形，从而吸收该第二共同液室K2内的油墨的压力变动。如根据以上的说明所理解的那样，第二共同液室K2具有第二变形部651。

图5为被形成在液体喷出头26中的流道的示意图。如图5中所例示的那样，在流道结构体30中，针对每一个喷嘴N而形成有独立流道Q。即，对于多个喷嘴N而分别设置有多个独立流道Q。如图3以及图4中所例示的那样，在喷嘴板62中，在构成独立流道Q的壁面的部分上形成有喷嘴N。即，以从独立流道Q进行分岔的方式而形成喷嘴N。第一共同液室K1和第二共同液室K2经由独立流道Q而相互连通。具体而言，以使第一共同液室K1的空间Ka1和第二共同液室K2的空间Ka2连通的方式而形成有独立流道Q。独立流道Q为，从第一共同液室K1的内壁面到第二共同液室K2的内壁面而形成的流道。与第一列L1的喷嘴N相对应的独立流道Q、和与第二列L2的喷嘴N相对应的独立流道Q处于相对于Y-Z平面而反转的关系。

如图5中所例示的那样，多个独立流道Q沿着Y轴相互并排设置。即，被形成有包括多个独立流道Q在内的独立流道列。具体而言，与第一列L1的喷嘴N相对应的独立流道Q、和与第二列L2的喷嘴N相对应的独立流道Q在Y轴的方向上交替地进行排列。如根据以上说明所理解的那样，多个独立流道Q分别与第一共同液室K1以及第二共同液室K2连通。从第一共同液室K1被供给至独立流道Q的油墨中的、未从喷嘴N被喷出的油墨被贮留在第二共同液室K2中。

如图5中所例示的那样，液体喷出装置100具备循环机构90。循环机构90为，使从液体喷出头26被排出的油墨回流至该液体喷出头26中的机构。循环机构90为，使被供给至液体喷出头26的油墨进行循环的机构，并且例如具备供给流道91、排出流道92和循环泵93。

供给流道91为用于向第一共同液室K1供给油墨的流道，且与第一共同液室K1的导入口481相连接。排出流道92为用于从第二共同液室K2排出油墨的流道，且与第二共同液室K2的排出口482相连接。循环泵93为，将从排出流道92被供给的油墨送出至供给流道91的压送机构。即，从第二共同液室K2被排出的油墨经由排出流道92、循环泵93和供给流道91而回流至第一共同液室K1中。如根据以上说明所理解的那样，循环机构90作为从第二共同液室K2回收油墨，并使回收后的油墨回流至第一共同液室K1的要素而发挥功能。另外，循环机构90也可以采用从第一共同液室K1回收油墨，并使其回流至第二共同液室K2的结构。

如图5中所例示的那样，独立流道Q包括压力室C。如图2中所例示的那样，压力室C被形成在压力室基板34上。压力室基板34为，针对多个喷嘴N而分别设置有多个压力室C的板状部件。各个压力室C为，在俯视观察时沿着X轴的长条状的空间。如图2以及图3中所例示的那样，与第一列L1的各个喷嘴N相对应的多个压力室C沿着Y轴的方向而被排列在压力室基板34中的X轴的正方向的部分上。如图4中所例示的那样，与第二列L2的各个喷嘴N相对应的多个压力室C沿着Y轴的方向被排列在压力室基板34中的X轴的负方向的部分上。各个压力室C在俯视观察中与喷嘴N重叠。

与上述的喷嘴板62同样地，流道基板32以及压力室基板34也可以通过例如利用半导体制造技术而对硅的单结晶基板进行加工从而被制造出来。其中，在流道基板32以及压力室基板34的制造中，能够任意地采用公知的材料或制法。

如图2中所例示的那样，在压力室基板34中，在与流道基板32相反一侧的表面上形成有振动板42。本实施方式的振动板42为，能够弹性地进行振动的板状部件。另外，也可以通过针对预定的板厚的板状部件中的与压力室C相对应的区域而选择性地去除板厚方向的一部分，从而将振动板42的一部分或者全部与压力室基板34一体形成。压力室C为，位于流道基板32与振动板42之间的空间。

如图2至图4中所例示的那样，在振动板42中，在与压力室C相反一侧的面上，针对每一个喷嘴N而形成有能量产生部44。对于多个喷嘴N而分别设置有多个能量产生部44。各个能量产生部44产生用于喷出油墨的能量。具体而言，能量产生部44为，通过使压力室C内的压力发生变动，从而使油墨从喷嘴N中喷出的驱动元件。在本实施方式中，通过使振动板42进行变形从而使该压力室C的容积发生变化的压电元件被作为能量产生部44而利用。即，能量产生部44产生用于喷出油墨的压力。具体而言，能量产生部44为，通过驱动信号的供给而进行变形的致动器，且在俯视观察时被形成为沿着X轴的长条状。多个能量产生部44以与多个的压力室C相相对应的方式而在Y轴的方向上排列。当振动板42以与能量产生部44的变形联动的方式进行振动时，通过压力室C内的压力变动，从而使被充填在压力室C中的油墨通过喷嘴N而被喷出。

图2的保护基板46为，对多个能量产生部44进行保护，并且对振动板42的机械性强度进行加强的板状部件。隔着振动板42而在与压力室基板34相反一侧处设置有保护基板46。在保护基板46与振动板42之间设置有多个能量产生部44。保护基板46由例如硅(Si)形成。如在图3以及图4中所例示的那样，在振动板42的表面上被接合有例如配线基板50。配线基板50为，形成有用于对控制单元20或者电源电路与液体喷出头26进行电连接的多个配线的安装部件。例如，可优选地采用FPC(Flexible Printed Circuit：柔性印刷电路)或FFC(Flexible Flat Cable：柔性扁平电缆)等的可挠性的配线基板50。被安装在配线基板50上的驱动电路52将驱动信号向各个能量产生部44进行供给。

在下文的说明中，将在Y轴的方向上彼此相邻的两个独立流道Q中的一方记载为“第一独立流道Q1”，将另一方记载为“第二独立流道Q2”。图6为第一独立流道Q1的剖视图，图7为第二独立流道Q2的剖视图。图3中所例示的独立流道Q的放大图为图6，图4中所例示的独立流道Q的放大图为图7。

第一独立流道Q1为，与第一列L1中的任意的一个喷嘴N(以下称为“第一喷嘴N1”)相对应的独立流道Q，第二独立流道Q2为，与第二列L2中的任意的一个喷嘴N(以下称为“第二喷嘴N2”)相对应的独立流道Q。第一喷嘴N1和第二喷嘴N2为，被形成在喷嘴板62上的多个喷嘴N中的、从X轴的方向进行观察时彼此相邻的两个喷嘴N。此外，将多个压力室C中的相对应第一独立流道Q1的压力室C记载为“第一压力室C1”，将多个压力室C中的相对应第二独立流道Q2的压力室C记载为“第二压力室C2”。第一独立流道Q1和第二独立流道Q2处于相对于X-Z平面而反转的关系。另外，第一独立流道Q1的流道阻力R和第二独立流道Q2的流道阻力R大致相等。

如图6中所例示的那样，在第一共同液室K1的壁面上，形成有作为与第一独立流道Q1的连接口的第一开口O1。换而言之，也可以说是，第一共同液室K1和第一独立流道Q1的边界面为第一开口O1。另一方面，在第二共同液室K2的壁面上，形成有作为与第一独立流道Q1的连接口的第三开口O3。换而言之，也可以说是，第二共同液室K2和第一独立流道Q1的边界面为第三开口O3。如根据以上说明所理解的那样，从第一开口O1起至第三开口O3为止的流道为第一独立流道Q1。

此外，如图7中所例示的那样，在第一共同液室K1的壁面上，形成有作为与第二独立流道Q2的连接口的第二开口O2。换而言之，也可以说是，第一共同液室K1和第二独立流道Q2的边界面为第二开口O2。在第二共同液室K2的壁面上，形成有作为与第二独立流道Q2的连接口的第四开口O4。换而言之，也可以说是，第二共同液室K2和第二独立流道Q2的边界面为第四开口O4。如根据以上说明所理解的那样，从第二开口O2起至第四开口O4为止的流道为第二独立流道Q2。

如图6中所例示的那样，第一独立流道Q1包括第一连通流道Q11和第二连通流道Q12。第一连通流道Q11将第一共同液室K1和第一喷嘴N1连通。具体而言，第一连通流道Q11为，从被形成在空间Ka1的壁面上的第一开口O1起至第一喷嘴N1中的Z轴的负方向的开口为止的流道。本实施方式的第一连通流道Q11包括第一流道111、第一压力室C1和第二流道112。第一流道111将空间Ka1和第一压力室C1连通。具体而言，第一流道111为，在第一基板321中沿着Z轴而被形成的贯穿孔。第一压力室C1将第一流道111和第二流道112连通。如上所述那样，第一压力室C1为，被形成在压力室基板34上的、沿着X轴的长条状的空间。与第一喷嘴N1相对应的能量产生部44被设置在振动板42中的与第一压力室C1相反一侧的表面上。换而言之，也可以说是，在第一独立流道Q1的中途处设置有与第一喷嘴N1相对应的能量产生部44。另外，与第一喷嘴N1相对应的能量产生部44为“第一能量产生部”的例示。第二流道112将压力室C和第一喷嘴N1连通。具体而言，第二流道112为，以跨及第一基板321以及第二基板322的方式沿着Z轴而被形成的贯穿孔。

第一压力室C1经由第一流道111而与第一共同液室K1连通，并经由第二流道112而与第一喷嘴N1连通。因此，从第一共同液室K1经由第一流道111而被充填在第一压力室C1中的油墨，通过与该第一压力室C1相对应的能量产生部44的变形，从而穿过第二流道112而从第一喷嘴N1中被喷出。

第二连通流道Q12将第二共同液室K2和第一喷嘴N1连通。具体而言，第二连通流道Q12为，从包括第一喷嘴N1的中心轴且与Y-Z平面平行的平面起到被形成于空间Ka2的侧面的第三开口O3为止的流道。本实施方式的第二连通流道Q12包括第三流道121、第四流道122和第五流道123。第三流道121将第一喷嘴N1和第四流道122连通。具体而言，第三流道121在第二基板322中的Z轴的正方向的表面上沿着X轴而被形成。第四流道122将第三流道121和第五流道123连通。具体而言，第四流道122为，在第二基板322中沿着Z轴而被形成的贯穿孔。第五流道123将第四流道122和第二共同液室K2连通。具体而言，第五流道123在第二基板322中的Z轴的负方向的表面上沿着X轴而被形成。从第一共同液室K1向第一独立流道Q1被供给的油墨中的、未从第一喷嘴N1被喷出的油墨，被贮留在第二共同液室K2中。

如图7所例示的那样，第二独立流道Q2包括第三连通流道Q23和第四连通流道Q24。第三连通流道Q23与第一连通流道Q11相对应，第四连通流道Q24与第二连通流道Q12相对应。第一连通流道Q11和第四连通流道Q24位于在X轴的正方向上沿着Y轴而交替的位置上。第二连通流道Q12和第三连通流道Q23位于在X轴的负方向上沿着Y轴而交替的位置上。

第四连通流道Q24将第一共同液室K1和第二喷嘴N2连通。具体而言，第四连通流道Q24为，从被形成在空间Ka1的侧面上的第二开口O2起到包括第二喷嘴N2的中心轴且与Y-Z平面平行的平面为止的流道。本实施方式的第四连通流道Q24包括第六流道241、第七流道242和第八流道243。第六流道241对第一共同液室K1和第七流道242进行连结。具体而言，第六流道241在第二基板322中的Z轴的负方向的表面上沿着X轴而被形成。第七流道242对第六流道241和第八流道243进行连结。具体而言，第七流道242为，在第二基板322中沿着Z轴而被形成的贯穿孔。第八流道243将第七流道242和第二喷嘴N2连通。具体而言，第八流道243在第二基板322中的Z轴的正方向的表面上沿着X轴而被形成。

第三连通流道Q23为，将第二共同液室K2和第二喷嘴N2连通的流道。具体而言，第三连通流道Q23为，从第二喷嘴N2中的Z轴的负方向上的开口起到被形成在空间Ka2的上表面的第四开口O4为止的流道。本实施方式的第三连通流道Q23包括第九流道231、第二压力室C2和第十流道232。第九流道231对第二喷嘴N2和第二压力室C2进行连结。具体而言，第九流道231为，以跨及第一基板321以及第二基板322的方式沿着Z轴而被形成的贯穿孔。第二压力室C2将第九流道231和第十流道232连通。如上所述那样，第二压力室C2为，被形成于压力室基板34上的、沿着X轴的长条状的空间。与第二喷嘴N2相对应的能量产生部44被设置在振动板42中的与第二压力室C2相反的一侧的表面上。换而言之，也可以说是，在第二独立流道Q2的中途处设置有与第二喷嘴N2相对应的能量产生部44。另外，与第二喷嘴N2相对应的能量产生部44为“第二能量产生部”的例示。第十流道232将第二压力室C2和空间Ka2连通。具体而言，第十流道232为，在第一基板321中沿着Z轴而被形成的贯穿孔。

油墨从第一共同液室K1起经由第四连通流道Q24以及第九流道231而被充填至第二压力室C2中。第二压力室C2内的油墨通过能量产生部44的变形，从而经由第九流道231而从第二喷嘴N2中被喷出。从第一共同液室K1被供给至第二独立流道Q2的油墨中的、未从第二喷嘴N2被喷出的油墨被贮留在第二共同液室K2中。

以下，对第一开口O1、第二开口O2、第三开口O3以及第四开口O4进行详细记述。图8为第一共同液室K1中的第一独立流道Q1侧的剖视图，图9为第一共同液室K1中的第二独立流道Q2侧的剖视图。此外，图10为第二共同液室K2中的第一独立流道Q1侧的剖视图，图11为第二共同液室K2中的第二独立流道Q2侧的剖视图。

如图8以及图9中所例示的那样，第一共同液室K1具有第一面F1、第二面F2、第三面F3和第四面F4。第一面F1、第二面F2、第三面F3和第四面F4构成了第一共同液室K1的壁面。第一面F1为空间Ka1的底面。换而言之，也可以说是，空间Ka1的壁面中的、在Z轴的正方向上沿着Y轴的部分为第一面F1。具体而言，第一面F1以跨及整体的方式由第一变形部641构成。另外，只要第一面F1的至少一部分由第一变形部641构成即可。例如，也可以由第一变形部641和流道基板32来构成第一面F1。第二面F2为空间Ka1的上表面。换而言之，也可以说是，空间Ka1的壁面中的、在Z轴的负方向上沿着Y轴的部分为第二面F2。即，第一面F1与第二面F2相互对置。具体而言，第二面F2由流道基板32构成。

第三面F3以及第四面F4为空间Ka1的侧面的一部分。即，第三面F3以及第四面F4为，相对于第一面F1以及第二面F2而交叉的面。在本实施方式中，第三面F3以及第四面F4相对于第一面F1以及第二面F2而正交。具体而言，第三面F3为，空间Ka1的侧面中的、在X轴的负方向上沿着Y轴的部分。另一方面，第四面F4为，空间Ka1的侧面中的、在X轴的正方向上沿着Y轴的部分。即，第三面F3与第四面F4相互对置。第三面F3和第四面F4由流道基板32构成。

如图8中所例示的那样，第一开口O1被设置在第二面F2上。即，第一开口O1与第一变形部641对置。平行于X-Y平面的开口为第一开口O1。如图9中所例示的那样，第二开口O2被设置在第三面F3上。即，第二开口O2与第四面F4对置。平行于Y-Z平面的开口为第二开口O2。如根据以上说明所理解的那样，第一开口O1和第二开口O2不平行。

如图8以及图9中所例示的那样，第一开口O1和第二开口O2在Z轴的方向中的位置不同。换而言之，也可以说是，第一开口O1和第二开口O2的高度不同。第一开口O1的Z轴的方向上的位置为，例如第一开口O1的重心p1处的Z轴的方向的位置。第二开口O2的Z轴的方向上的位置为，例如第二开口O2的重心p2处的Z轴的方向的位置。具体而言，第一开口O1位于与第二开口O2相比靠Z轴的负方向的位置。换而言之，也可以说是，第一开口O1处于与第二开口O2相比靠近压力室基板34的位置处。即，第一开口O1处于与第二开口O2相比较高的位置处。

第一开口O1与第一变形部641之间的距离Dl、和第二开口O2与第一变形部641之间的距离D2不同。距离Dl为，例如从第一开口O1的重心p1起到第一变形部641中的Z轴的负方向的表面为止的最短距离。距离D2为，例如从第二开口O2的重心p2起到第一变形部641中的Z轴的负方向的表面为止的最短距离。具体而言，距离Dl大于距离D2。即，第一开口O1处于与第二开口O2相比远离第一变形部641的位置的处。

此外，第一开口O1的方向P1与第二开口O2的方向P2不同。第一开口O1的方向P1为，该第一开口O1的法线的方向。换而言之，也可以说是，第一流道111的中心轴的方向为第一开口O1的方向P1。同样地，第二开口O2的方向P2为该第二开口O2的法线的方向。换而言之，也可以说是，第六流道241的中心轴的方向为第二开口O2的方向P2。具体而言，第一开口O1的方向P1为沿着Z轴的方向，第二开口O2的方向P2为沿着X轴的方向。即，第一开口O1的方向P1与第二开口O2的方向P2所成的角度为90度。

如图10以及图11中所例示的那样，第二共同液室K2具有第五面F5、第六面F6、第七面F7和第八面F8。第五面F5、第六面F6、第七面F7和第八面F8构成了第二共同液室K2的壁面。第五面F5为空间Ka2的底面。换而言之，也可以说是，空间Ka2的壁面中的、Z轴的正方向上的部分为第五面F5。具体而言，第五面F5以跨及整体的方式由第二变形部651构成。另外，只要第五面F5的至少一部分由第二变形部651构成即可。例如，也可以由第二变形部651和流道基板32来构成第五面F5。第六面F6为空间Ka2的上表面。换而言之，也可以说是，空间Ka2的壁面中的、Z轴的负方向上的部分为第六面F6。具体而言，第六面F6由流道基板32构成。第五面F5与第六面F6相互对置。

第七面F7以及第八面F8为空间Ka2的侧面的一部分。即，第七面F7以及第八面F8为，相对于第五面F5以及第六面F6而交叉的面。在本实施方式中，第七面F7以及第八面F8相对于第五面F5以及第六面F6而正交。具体而言，第七面F7为，空间Ka2的侧面中的、在X轴的正方向上沿着Y轴的部分。另一方面，第八面F8为，空间Ka2的侧面中的、在X轴的负方向上沿着Y轴的部分。即，第七面F7与第八面F8相互对置。第七面F7和第八面F8由流道基板32构成。

如图10中所例示的那样，第三开口O3被设置在第七面F7上。即，第三开口O3与第八面F8对置。平行于Y-Z平面的开口为第三开口O3。如图11中所例示的那样，第四开口O4被设置在第六面F6上。即，第四开口O4与第二变形部651对置。平行于X-Y平面的开口为第四开口O4。如根据以上说明所理解的那样，第三开口O3与第四开口O4不平行。

如图10以及图11中所例示的那样，第三开口O3和第四开口O4在Z轴的方向上的位置不同。换而言之，也可以说是，第三开口O3和第四开口O4的高度不同。第三开口O3的Z轴的方向上的位置为，例如第三开口O3的重心p3处的Z轴的方向的位置。第四开口O4的Z轴的方向上的位置为，例如第四开口O4的重心p4处的Z轴的方向的位置。具体而言，第四开口O4位于与第三开口O3相比靠Z轴的负方向的位置。换而言之，也可以说是，第四开口O4处于与第三开口O3相比靠近压力室基板34的位置处。即，第四开口O4处于与第三开口O3相比较高的位置处。

第三开口O3与第二变形部651之间的距离D3、和第四开口O4与第二变形部651之间的距离D4不同。距离D4为，例如从第四开口O4的重心p4起到第二变形部651中的Z轴的负方向的表面为止的最短距离。距离D3为，例如从第三开口O3的重心p3起到第二变形部651中的Z轴的负方向的表面为止的最短距离。具体而言，距离D4大于距离D3。即，第四开口O4处于与第三开口O3相比远离第二变形部651的位置处。

此外，第三开口O3的方向P3与第四开口O4的方向P4不同。第三开口O3的方向P3为，该第三开口O3的法线的方向。换而言之，也可以说是，第五流道123的中心轴的方向为第三开口O3的方向P3。同样地，第四开口O4的方向P4为，该第四开口O4的法线的方向。换而言之，也可以说为，第十流道232的中心轴的方向为，第四开口O4的方向P4。具体而言，第三开口O3的方向P3为沿着X轴的方向，第四开口O4的方向P4为沿着Z轴的方向。即，第三开口O3的方向P3与第四开口O4的方向P4所成的角度为90度。

如上所述那样，第一独立流道Q1和第二独立流道Q2处于反转的关系。因此，如图8以及图11中所例示的那样，第一开口O1和第四开口O4在Z轴的方向上的位置相同。此外，第一开口O1的方向P1与第四开口O4的方向P4相同。即，第一开口O1与第四开口O4平行。此外，如图9以及图10中所例示的那样，第二开口O2和第三开口O3的Z轴的方向上的位置相同。此外，第二开口O2与第三开口O3平行。具体而言，第二开口O2的方向P2与第三开口O3的方向P3为相反的方向。

在此，对接近的独立流道Q之间的串扰进行说明。对于串扰而言，存在有通过构成流道的结构体而机械性地产生的串扰、和通过流道内的液体而流体性地产生的串扰。后者的串扰对于接近的独立流道Q彼此之间流体性接续的部位即共同液室K(K1、K2)内的液体的动作状态影响较大。例如，在各个开口O(O1、O2、O3、O4)附近处产生的流体通量(flux)彼此之间的距离越近、并且朝向越一致，则给相互的流体通量带来的影响越大，串扰越大。此外，通过各个开口O而传播到共同液室K内的压力变动的吸收以及衰减越小，则串扰越大。

如根据以上说明所理解的那样，在本实施方式中，由于第一开口O1和第二开口O2的Z轴的方向上的位置不同，因此，例如与第一开口O1和第二开口O2的Z轴的方向上的位置相同的结构相比，能够增大第一开口O1和第二开口O2之间的距离。即，在第一开口O1的附近处产生的流体通量、与在第二开口O2的附近处产生的流体通量的距离变大。其结果为，在第一开口O1的附近处产生的流体通量和在第二开口O2的附近处产生的流体通量很难互相影响。因此，能够减少第一独立流道Q1与第二独立流道Q2之间的串扰。进而，能够减少第一喷嘴N1以及第二喷嘴N2每一个的喷出特性的误差。喷出特性为，例如喷出速度、喷出方向以及喷出量。如根据以上说明所理解的那样，即使在高密度地配置了多个独立流道Q的情况下，也具有能够抑制相互邻接的独立流道Q之间的串扰的优点。

根据第一开口O1的方向P1和第二开口O2的方向P2不同的本实施方式的结构，在第一开口O1的附近处产生的流体通量、和在第二开口O2的附近处产生的流体通量的朝向不同。即，在第一开口O1的附近处产生的流体通量和在第二开口O2的附近处产生的流体通量很难互相影响。因此，与第一开口O1的方向P1和第二开口O2的方向P2相同的结构相比，能够减少第一独立流道Q1与第二独立流道Q2之间的串扰。进而，能够减少第一喷嘴N1以及第二喷嘴N2每一个的喷出特性的误差。在本实施方式中，特别是，由于第一开口O1的方向P1与第二开口O2的方向P2所成的角度为90度，因此能够减少第一独立流道Q1与第二独立流道Q2之间的串扰的效果显著。

由于第一开口O1处于与第二开口O2相比接近能量产生部44的位置处，因此由该能量产生部44所产生的压力变动易于经由第一开口O1而传播至第一共同液室K1中。在本实施方式中，由于距离Dl大于距离D2，因此从第一开口O1朝向第一变形部641而传播的压力变动易于发生衰减。因此，能够减少串扰的效果显著。由于第一开口O1被设置在第二面F2上，第二开口O2被设置在第三面F3上，因此例如与第一开口O1和第二开口O2被设置在相同面上的结构相比，能够减少串扰的效果显著。此外，根据第一开口O1与第一变形部641对置的结构，从而具有第一变形部641易于吸收经由第一开口O1而传播的压力变动的优点。同样地，由于第四开口O4与第二变形部651对置，因此第二变形部651易于吸收经由第四开口O4而传播的压力变动。

例如，在第三开口O3处的Z轴的方向的位置与第一开口O1相同，且第四开口O4处的Z轴的方向的位置与第二开口O2相同的结构中，第一独立流道Q1的流道长度与第二独立流道Q2的流道长度不同，从而会在第一喷嘴N1以及第二喷嘴N2每一个中产生喷出特性的误差。相对于此，根据第一开口O1和第四开口O4的Z轴的方向上的位置相同、且第二开口O2和第三开口O3的Z轴的方向上的位置相同的本实施方式的结构，由于第一独立流道Q1的流道长度接近于第二独立流道Q2的流道长度，因此能够减少第一喷嘴N1以及第二喷嘴N2每一个中的喷出特性的误差。

此外，例如，在第三开口O3的方向P3与第一开口O1的方向P1平行、且第四开口O4的方向P4与第二开口O2的方向P2平行的结构中，第一独立流道Q1的流道长度与第二独立流道Q2的流道长度不同，从而会在第一喷嘴N1以及第二喷嘴N2每一个中产生喷出特性的误差。相对于此，在本实施方式中，由于第一开口O1的方向P1与第四开口O4的方向P4平行、且第二开口O2的方向P2与第三开口O3的方向P3平行，因此第一独立流道Q1的流道长度接近于第二独立流道Q2的流道长度。因此，能够减少第一喷嘴N1以及第二喷嘴N2每一个的喷出特性的误差。另外，第三开口O3与第四开口O4的关系中的各个结构能够实现与在上文中例示的第一开口O1与第二开口O2的关系中的各个结构的效果同样的效果。

B.变形例

上文中所例示的方式能够进行多种多样的变形。能够应用于上述的方式中的具体的变形的方式将在下文中进行例示。从下文的例示中任意选择的两个以上的方式，能够在相互不矛盾的范围可以适当地合并。

(1)独立流道Q的形状并未被限定于在上述的方式中所例示的结构。例如，第一连通流道Q11除了包括第一流道111、第一压力室C1和第二流道112之外，还可以包括其他的流道。对于第二连通流道Q12、第三连通流道Q23以及第四连通流道Q24而言，也是同样的。此外，在第一独立流道Q1与第二独立流道Q2中既可以使其形状不同，也可以使第一独立流道Q1和第二独立流道Q2为相同形状。即，也可采用在第一开口O1与第四开口O4之间Z轴的方向上的位置不同的结构，或者，也可采用在第二开口O2与第三开口O3之间Z轴的方向上的位置不同的结构。

(2)虽然在上述的方式中，通过第一基板321和第二基板322的层叠而构成了流道基板32，但流道基板32的结构并未被限定为上文的例示。例如，既可以通过单层来构成流道基板32，也可以通过三层以上的层叠来构成流道基板32。

(3)虽然在上述的方式中，例示出了采用在第一开口O1与第二开口O2处Z轴的方向上的位置不同结构、和第一开口O1的方向P1与第二开口O2的方向P2不同结构这双方的液体喷出头26，但也可以仅采用任意一方的结构。即使在仅采用了在第一开口O1与第二开口O2处Z轴的方向上的位置不同结构、以及第一开口O1的方向P1与第二开口O2的方向P2不同结构中的任意一方，也能够实现减少第一独立流道Q1与第二独立流道Q2之间的串扰的效果。

(4)虽然在上述的方式中，在第一共同液室K1的第二面F2上形成第一开口O1，且在第三面F3上形成第二开口O2，但形成第一开口O1和第二开口O2的位置是任意的。例如，也可以将第一开口O1形成在第三面F3上，将第二开口O2形成在在第二面F2上。即，只要第一开口O1以及第二开口O2的一方与第一变形部641对置即可。同样地，只要第三开口O3以及第四开口O4的一方与第二变形部651对置即可。

此外，第一开口O1以及第二开口O2也可以被形成在相同的面上。例如，也可以采用第一开口O1以及第二开口O2的双方被形成在第二面F2上的结构，或者采用第一开口O1以及第二开口O2的双方被形成在第三面F3上的结构。同样地，第三开口O3以及第四开口O4也可以被形成在相同的面上。

(5)在上述的方式中，可以省略第一吸振体64和第二吸振体65。即，第一变形部641构成第一共同液室K1的壁面的一部分，第二变形部651构成第二共同液室K2的壁面的一部分的内容并不是必须的。

(6)虽然在上述的方式中，例示了液体喷出装置100具备循环机构90的结构，但液体喷出装置100不一定必需具备循环机构90。即，可以省略第一列L1或者第二列L2中的任意一方。例如，在省略了第二列L2的情况下，则也省略了与该第二列L2有关的各种的要素。例如，省略了第二共同液室K2。即，也省略了第三开口O3以及第四开口O4。

(7)虽然在上述的方式中，例示了第一开口O1的方向P1与第二开口O2的方向P2所成的角度为90度的结构，但第一开口O1的方向P1与第二开口O2的方向P2所成的角度是任意的。从减少串扰的观点来看，优选为，第一开口O1的方向P1与第二开口O2的方向P2所成的角度为45度以上。另外，第一开O1的方向P1与第二开口O2的方向P2所成的角度越接近90度，则减少串扰的效果越显著。但是，也可以采用第一开口O1的方向P1与第二开口O2的方向P2所成的角度小于45度的结构。同样地，第三开口O3的方向P3与第四开口O4的方向P4所成的角度也是任意的。

(8)产生用于使压力室C内的液体从喷嘴N中喷出的能量的能量产生部44并未被限定于压电元件。例如，也能够将通过加热而使压力室C的内部产生气泡从而使压力产生变动的发热元件作为能量产生部44来利用。如根据上文的例示所理解的那样，能量产生部44作为使压力室C内的液体从喷嘴N喷出的要素而被概括性地表达，且是不管压电方式以及热方式等的动作方式、或具体的结构如何的。即，在用于喷出液体的能量中，包含热与压力这双方。

(9)虽然在上述的方式中，例示了使搭载了液体喷出头26的输送体82进行往复的串行方式的液体喷出装置100，但也能够将本发明应用于多个喷嘴N跨及介质12的整个宽度而分布的行式方式的液体喷出装置中。

(10)在上述的方式中所例示的液体喷出装置100，除了专用于印刷的设备之外，也可以被传真装置或复印机等的各种设备所采用。显然，本发明的液体喷出装置的用途并未被限定于印刷。例如，喷出颜色材料的溶液的液体喷出装置可作为形成液晶显示面板等的显示装置的滤色器的制造装置而加以利用。此外，喷出导电材料的溶液的液体喷出装置可作为形成配线基板的配线或电极的制造装置而加以利用。此外，喷出与生物体有关的有机物的溶液的液体喷出装置可作为制造例如生物芯片的制造装置而加以利用。

符号说明

100…液体喷出装置；12…介质；14…液体容器；20…控制单元；22…输送机构；24…移动机构；82…输送体；84…输送带；26…液体喷出头；30…流道结构体；32…流道基板；321…第一基板；322…第二基板；34…压力室基板；42…振动板；44…能量产生部；46…保护基板；48…筐体部；481、482…导入口；50…配线基板；52…驱动电路；62…喷嘴板；64…第一吸振体；65…第二吸振体；641…第一变形部；651…第二变形部；90…循环机构；91…供给流道；92…排出流道；93…循环泵；C…压力室；C1…第一压力室；C2…第二压力室；L1…第一列；12…第二列；N…喷嘴；N1…第一喷嘴；N2…第二喷嘴；K1…第一共同液室；K2…第二共同液室；Q…独立流道；Q1…第一独立流道；Q11…第一连通流道；Q12…第二连通流道；Q2…第二独立流道；Q23…第三连通流道；Q24…第四连通流道；111…第一流道；112…第二流道；121…第三流道；122…第四流道；123…第五流道；241…第六流道；242…第七流道；243…第八流道；231…第九流道；232…第十流道；O1…第一开口；O2…第二开口；O3…第三开口；O4…第四开口；F1…第一面；F2…第二面；F3…第三面；F4…第四面；F5…第五面；F6…第六面；F7…第七面；F8…第八面。

Claims (11)

1.一种液体喷出头，具备：

多个喷嘴，其沿着第一轴而喷出液体；

独立流道列，其针对所述多个喷嘴而被分别设置，且包括在从所述第一轴的方向进行观察时沿着与所述第一轴正交的第二轴而被并排设置的多个独立流道；

共同液室，其与所述多个独立流道共同连通，

在所述液体喷出头中，

所述多个独立流道包括在所述独立流道列上相邻的第一独立流道以及第二独立流道，

所述共同液室中的作为与所述第一独立流道连接的连接口的第一开口、和所述共同液室中的作为与所述第二独立流道连接的连接口的第二开口在所述第一轴的方向上的位置不同，

在所述第一独立流道中配置有第一喷嘴，在所述第二独立流道中配置有第二喷嘴。

2.如权利要求1所述的液体喷出头，其中，

所述共同液室具有根据内部的液体的压力变动而进行变形的变形部，

所述第一开口与所述变形部之间的距离、和所述第二开口与所述变形部之间的距离不同。

3.如权利要求1所述的液体喷出头，其中，

所述共同液室具有相互对置的第一面以及第二面、和第三面，

所述第一面的至少一部分由根据所述共同液室内的液体的压力变动而进行变形的变形部构成，

在所述第二面上，设置有所述第一开口，

在所述第三面上，设置有所述第二开口。

4.如权利要求1至3中的任意一项所述的液体喷出头，其中，

所述第一开口的方向与所述第二开口的方向不同。

5.一种液体喷出头，具备：

多个喷嘴，其沿着第一轴而喷出液体；

独立流道列，其针对所述多个喷嘴而被分别设置，且包括在从所述第一轴的方向进行观察时沿着与所述第一轴正交的第二轴而被并排设置的多个独立流道；

第一共同液室，其与所述多个独立流道共同连通；

第二共同液室，其与所述多个独立流道共同连通，

在所述液体喷出头中，

所述多个独立流道包括在所述独立流道列上相邻的第一独立流道以及第二独立流道，

所述第一共同液室中的作为与所述第一独立流道连接的连接口的第一开口、和所述第一共同液室中的作为与所述第二独立流道连接的连接口的第二开口在所述第一轴的方向上的位置不同，

所述第二共同液室中的作为与所述第一独立流道连接的连接口的第三开口、和所述第二共同液室中的作为与所述第二独立流道连接的连接口的第四开口在所述第一轴的方向上的位置不同。

6.如权利要求5所述的液体喷出头，其中，

所述第一开口与所述第四开口的所述第一轴的方向上的位置相同，

所述第二开口与所述第三开口的所述第一轴的方向上的位置相同。

7.如权利要求5或权利要求6所述的液体喷出头，其中，

所述第一共同液室具有根据内部的液体的压力变动而进行变形的第一变形部，

所述第二共同液室具有根据内部的液体的压力变动而进行变形的第二变形部，

所述第一开口与所述第一变形部之间的距离、和所述第二开口与所述第一变形部之间的距离不同，

所述第三开口与所述第二变形部之间的距离、和所述第四开口与所述第二变形部之间的距离不同。

8.如权利要求7所述的液体喷出头，其中，

在所述第一独立流道中，在使所述第一共同液室与所述多个喷嘴中的第一喷嘴连通的第一连通流道的中途处，设置有产生用于喷出液体的能量的第一能量产生部，

在所述第二独立流道中，在使所述第二共同液室与所述多个喷嘴中的第二喷嘴连通的第二连通流道的中途处，设置有产生用于喷出液体的能量的第二能量产生部，

所述第一开口与所述第一变形部之间的距离大于所述第二开口与所述第一变形部之间的距离，

所述第四开口与所述第二变形部之间的距离大于所述第三开口与所述第二变形部之间的距离。

9.如权利要求8所述的液体喷出头，其中，

所述第一开口与所述第一变形部对置，

所述第四开口与所述第二变形部对置。

10.如权利要求5所述的液体喷出头，其中，

所述第一开口的方向与第二开口的方向不同，

所述第三开口的方向与第四开口的方向不同。

11.一种液体喷出装置，具备：

权利要求5至权利要求10中的任意一项所述的液体喷出头；

循环机构，其从所述第一共同液室以及所述第二共同液室中的一方回收液体，并使其回流至另一方。

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