[go: up one dir, main page]

JP7444711B2 - パワーモジュール及びこれを用いた電力変換装置 - Google Patents

パワーモジュール及びこれを用いた電力変換装置 Download PDF

Info

Publication number
JP7444711B2
JP7444711B2 JP2020109102A JP2020109102A JP7444711B2 JP 7444711 B2 JP7444711 B2 JP 7444711B2 JP 2020109102 A JP2020109102 A JP 2020109102A JP 2020109102 A JP2020109102 A JP 2020109102A JP 7444711 B2 JP7444711 B2 JP 7444711B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
power
power module
substrate
wiring
semiconductor element
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2020109102A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2022006712A (ja
Inventor
円丈 露野
隆宏 荒木
高志 平尾
健 徳山
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP2020109102A priority Critical patent/JP7444711B2/ja
Priority to PCT/JP2021/019407 priority patent/WO2021261136A1/ja
Priority to CN202180038505.5A priority patent/CN115885465A/zh
Priority to EP21829189.6A priority patent/EP4174930A4/en
Priority to US18/009,760 priority patent/US20230283190A1/en
Publication of JP2022006712A publication Critical patent/JP2022006712A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP7444711B2 publication Critical patent/JP7444711B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/28Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection
    • H01L23/31Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the arrangement or shape
    • H01L23/3107Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the arrangement or shape the device being completely enclosed
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/04Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
    • H01L21/50Assembly of semiconductor devices using processes or apparatus not provided for in a single one of the groups H01L21/18 - H01L21/326 or H10D48/04 - H10D48/07 e.g. sealing of a cap to a base of a container
    • H01L21/56Encapsulations, e.g. encapsulation layers, coatings
    • H01L21/565Moulds
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L25/00Assemblies consisting of a plurality of semiconductor or other solid state devices
    • H01L25/03Assemblies consisting of a plurality of semiconductor or other solid state devices all the devices being of a type provided for in a single subclass of subclasses H10B, H10F, H10H, H10K or H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes
    • H01L25/04Assemblies consisting of a plurality of semiconductor or other solid state devices all the devices being of a type provided for in a single subclass of subclasses H10B, H10F, H10H, H10K or H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers
    • H01L25/07Assemblies consisting of a plurality of semiconductor or other solid state devices all the devices being of a type provided for in a single subclass of subclasses H10B, H10F, H10H, H10K or H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group subclass H10D
    • H01L25/072Assemblies consisting of a plurality of semiconductor or other solid state devices all the devices being of a type provided for in a single subclass of subclasses H10B, H10F, H10H, H10K or H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group subclass H10D the devices being arranged next to each other
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L25/00Assemblies consisting of a plurality of semiconductor or other solid state devices
    • H01L25/18Assemblies consisting of a plurality of semiconductor or other solid state devices the devices being of the types provided for in two or more different main groups of the same subclass of H10B, H10D, H10F, H10H, H10K or H10N
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L25/00Assemblies consisting of a plurality of semiconductor or other solid state devices
    • H01L25/50Multistep manufacturing processes of assemblies consisting of devices, the devices being individual devices of subclass H10D or integrated devices of class H10
    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02PCONTROL OR REGULATION OF ELECTRIC MOTORS, ELECTRIC GENERATORS OR DYNAMO-ELECTRIC CONVERTERS; CONTROLLING TRANSFORMERS, REACTORS OR CHOKE COILS
    • H02P27/00Arrangements or methods for the control of AC motors characterised by the kind of supply voltage
    • H02P27/04Arrangements or methods for the control of AC motors characterised by the kind of supply voltage using variable-frequency supply voltage, e.g. inverter or converter supply voltage
    • H02P27/06Arrangements or methods for the control of AC motors characterised by the kind of supply voltage using variable-frequency supply voltage, e.g. inverter or converter supply voltage using DC to AC converters or inverters
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/26Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/31Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process
    • H01L2224/33Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process of a plurality of layer connectors
    • H01L2224/331Disposition
    • H01L2224/3318Disposition being disposed on at least two different sides of the body, e.g. dual array
    • H01L2224/33181On opposite sides of the body
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/4805Shape
    • H01L2224/4809Loop shape
    • H01L2224/48091Arched
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/73Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
    • H01L2224/732Location after the connecting process
    • H01L2224/73251Location after the connecting process on different surfaces
    • H01L2224/73265Layer and wire connectors
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/12Mountings, e.g. non-detachable insulating substrates
    • H01L23/13Mountings, e.g. non-detachable insulating substrates characterised by the shape
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/34Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements
    • H01L23/42Fillings or auxiliary members in containers or encapsulations selected or arranged to facilitate heating or cooling
    • H01L23/433Auxiliary members in containers characterised by their shape, e.g. pistons
    • H01L23/4334Auxiliary members in encapsulations
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/34Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements
    • H01L23/46Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements involving the transfer of heat by flowing fluids
    • H01L23/473Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements involving the transfer of heat by flowing fluids by flowing liquids
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/48Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
    • H01L23/488Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor consisting of soldered or bonded constructions
    • H01L23/498Leads, i.e. metallisations or lead-frames on insulating substrates, e.g. chip carriers
    • H01L23/49822Multilayer substrates
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/80Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
    • H01L24/83Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a layer connector
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/181Encapsulation
    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02MAPPARATUS FOR CONVERSION BETWEEN AC AND AC, BETWEEN AC AND DC, OR BETWEEN DC AND DC, AND FOR USE WITH MAINS OR SIMILAR POWER SUPPLY SYSTEMS; CONVERSION OF DC OR AC INPUT POWER INTO SURGE OUTPUT POWER; CONTROL OR REGULATION THEREOF
    • H02M7/00Conversion of AC power input into DC power output; Conversion of DC power input into AC power output
    • H02M7/003Constructional details, e.g. physical layout, assembly, wiring or busbar connections
    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02MAPPARATUS FOR CONVERSION BETWEEN AC AND AC, BETWEEN AC AND DC, OR BETWEEN DC AND DC, AND FOR USE WITH MAINS OR SIMILAR POWER SUPPLY SYSTEMS; CONVERSION OF DC OR AC INPUT POWER INTO SURGE OUTPUT POWER; CONTROL OR REGULATION THEREOF
    • H02M7/00Conversion of AC power input into DC power output; Conversion of DC power input into AC power output
    • H02M7/42Conversion of DC power input into AC power output without possibility of reversal
    • H02M7/44Conversion of DC power input into AC power output without possibility of reversal by static converters
    • H02M7/48Conversion of DC power input into AC power output without possibility of reversal by static converters using discharge tubes with control electrode or semiconductor devices with control electrode
    • H02M7/53Conversion of DC power input into AC power output without possibility of reversal by static converters using discharge tubes with control electrode or semiconductor devices with control electrode using devices of a triode or transistor type requiring continuous application of a control signal
    • H02M7/537Conversion of DC power input into AC power output without possibility of reversal by static converters using discharge tubes with control electrode or semiconductor devices with control electrode using devices of a triode or transistor type requiring continuous application of a control signal using semiconductor devices only, e.g. single switched pulse inverters
    • H02M7/5387Conversion of DC power input into AC power output without possibility of reversal by static converters using discharge tubes with control electrode or semiconductor devices with control electrode using devices of a triode or transistor type requiring continuous application of a control signal using semiconductor devices only, e.g. single switched pulse inverters in a bridge configuration
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K7/00Constructional details common to different types of electric apparatus
    • H05K7/20Modifications to facilitate cooling, ventilating, or heating
    • H05K7/2089Modifications to facilitate cooling, ventilating, or heating for power electronics, e.g. for inverters for controlling motor
    • H05K7/20927Liquid coolant without phase change

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Inverter Devices (AREA)
  • Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)
  • Non-Metallic Protective Coatings For Printed Circuits (AREA)
  • Thermal Sciences (AREA)

Description

本発明は、パワーモジュール及びこれを用いた電力変換装置に関する。
パワー半導体素子のスイッチングによる電力変換装置は、変換効率が高いため、民生用、車載用、鉄道用、変電用の設備等に幅広く利用されている。それに伴い、生産性に優れた小型薄型の電力変換装置の開発技術も、日々発展している。
本願発明の背景技術として、下記の特許文献1が知られている。特許文献1では、半導体素子を含む回路基板をモールド樹脂で封止する技術が開示されている。
特開2016-171203号公報
特許文献1に記載された半導体装置は、絶縁基材の表層にダミー配線を設け、このダミー配線を覆う保護樹脂をモールド工程時に金型によって押し潰すことで、トランスファーモールドの樹脂漏れを防止する構造であった。
これを踏まえて、本発明は、さらに製造時の基板の厚さばらつきによるトランスファーモールドの樹脂漏れと、強力な型締めをすることで生じる基板の表層配線の破断とを防止することで、配線基板の小型化を実現させ、歩留まりを向上させた電力変換装置を提供することが課題である。
パワーモジュールは、直流電力を交流電力に変換し前記交流電力をモータに出力するパワー半導体素子と、前記パワー半導体素子と電気的に接続される導体と、前記導体と接続される基板配線を面上に有する基板と、前記パワー半導体素子と前記導体と前記基板を封止する樹脂封止材と、を備え、前記基板は、前記樹脂封止材の端部と接する位置に、前記基板配線の表面が連続した曲面状に凹んで形成された凹部を有する。
小型化と歩留まり向上を両立させた電力変換装置を提供できる。
本発明によるパワーモジュールの一実施形態の平面図。 本発明によるパワーモジュールの回路図と半透過平面図。 本発明による回路体の製造方法を説明する断面図。 本発明によるトランスファーモールドの工程を説明する断面図。 従来技術と本発明を比較する断面図。 本発明によるパワーモジュールの製造方法を説明する断面図。 本発明による電力変換装置の断面斜視図。 本発明の一実施形態の変形例を示す平面図。 本発明の一実施形態の変形例を示すトランスファーモールドの工程を説明する断面図。 本発明の一実施形態の変形例を示すパワーモジュールの断面図。
以下、図面を参照して本発明の実施形態を説明する。以下の記載および図面は、本発明を説明するための例示であって、説明の明確化のため、適宜、省略および簡略化がなされている。本発明は、他の種々の形態でも実施する事が可能である。特に限定しない限り、各構成要素は単数でも複数でも構わない。
図面において示す各構成要素の位置、大きさ、形状、範囲などは、発明の理解を容易にするため、実際の位置、大きさ、形状、範囲などを表していない場合がある。このため、本発明は、必ずしも、図面に開示された位置、大きさ、形状、範囲などに限定されない。
(本発明の一実施形態とその構成)
図1および図2(a)、図2(b)を用いて本発明によるパワーモジュールの一実施形態の構成を示す。図1は、本発明によるパワーモジュールの一実施形態の平面図であり、図2(a)は、本発明によるパワーモジュールを含むモータ駆動システムの回路図、図2(b)は、図1の半透過平面図である。
パワーモジュール300は、配線基板160(以下基板160)、基板160の表面に設置されている第1配線層161、および回路体310を備えている。回路体310は電気回路であり、3相のパワー半導体素子および導体板で構成されている。
パワー半導体素子は、第1パワー半導体素子(上アーム回路能動素子)155、第1パワー半導体素子(上アーム回路ダイオード)156、第2パワー半導体素子(下アーム回路能動素子)157、第2パワー半導体素子(下アーム回路ダイオード)158で構成されており、パワーモジュール300におけるスイッチング素子群を形成している。このスイッチング素子群および基板160の一部は、樹脂封止材360(以下封止材360)でトランスファーモールド封止され保護されている。
導体板は、第1導体板(上アーム回路エミッタ側)430、第2導体板(上アーム回路コレクタ側)431、第3導体板(下アーム回路エミッタ側)432、第4導体板(下アーム回路コレクタ側)433で構成されている。
R形状の凹み606は、第1配線層161上において、封止材360の全周に形成されている。このR形状の凹み606は、後述するトランスファーモールド装置600のR形状の金型突起によって形成されるものであり、このR形状の凹み606によって封止材360がスイッチング素子群および基板160の一部だけを、所定の封止範囲からはみ出すことなく正確に囲うことができる。詳細は後述する。
パワーモジュール300において、3相分のスイッチング素子群(パワー半導体素子155~158)は、上アーム回路および下アーム回路をそれぞれ有している。このスイッチング素子群のパワー半導体素子155~158は、バッテリ30の直流電力を、車両走行用モータ192(以下モータ192)に出力し駆動させるための交流電力に変換している。この三相のうち1相分を例にとって構成を説明する。
上アーム回路と下アーム回路のエミッタ側(図2(b)の紙面手前側)には第1導体板430と第3導体板432がそれぞれ設けられ、上アーム回路と下アーム回路のコレクタ側(図2(b)の紙面奥側)には第2導体板431と第4導体板433がそれぞれ設けられている。図1に示すように、パワーモジュール300の上側(紙面手前側)において、第1導体板430と第3導体板432は、その表面が樹脂封止材360からそれぞれ露出している。なお、図1には示していないが、パワーモジュール300の下側(紙面手前側)では、第1導体板430および第3導体板432と同様に、第2導体板431と第4導体板433の表面が樹脂封止材360からそれぞれ露出している。これらの導体板430~433の露出面には、後述するように冷却部材が設置される。
後述のはんだ接続により、上アーム側で導体板430,431とパワー半導体素子155とダイオード156とが電気的に接続される。同様に下アーム側で、導体板432,433とパワー半導体素子157とダイオード158とが電気的に接続される。
第1パワー半導体素子155または第2パワー半導体素子157は、例えばIGBT、MOSFETなどである。MOSFETの場合は、ボディダイオードを用いることで、第1ダイオード156または第2ダイオード158は不要である。
パワー半導体素子155(157)を構成する半導体材料としては、例えば、Si、SiC、GaN、GaO、C等を用いることができる。
図2(a)において、上アーム回路のコレクタ側とバッテリ30及びコンデンサ500の正極との間を正極配線315が接続している。正極配線315は、バッテリ30及びコンデンサ500の正極側に接続されている不図示の入力端子から、基板160の表層に形成されている後述の第4配線164を経由し、第2導体板431を介して上アーム回路のパワー半導体素子に接続される、正極配線経路を表している。上アームゲート信号端子325Uは、上アーム回路の第1パワー半導体素子155のゲート電極から出力されている。
また図2(a)において、下アーム回路のエミッタ側とバッテリ30及びコンデンサ500の負極との間を負極配線319が接続している。負極配線319は、バッテリ30及びコンデンサ500の負極側に接続されている不図示の入力端子から、基板160の表層に形成されている第1配線161を経由し、第3導体板432を介して下アーム回路のパワー半導体素子に接続される、負極配線経路を表している。なお、負極配線319は、パワーモジュール300及びモータ192のGNDに接続されてもよい。下アームゲート信号端子325Lは、下アーム回路の第2パワー半導体素子157のゲート電極から出力されている。
第1パワー半導体素子155のコレクタ側および第1ダイオード156のカソード側は、第2導体板431に接合されている。第1パワー半導体素子155のエミッタ側および第1ダイオード156のアノード側には、第1導体板430が電気的に接合されている。
第2パワー半導体素子157のコレクタ側および第2ダイオード158のカソード側は、第4導体板433に接合されている。第2パワー半導体素子157のエミッタ側および第2ダイオード158のアノード側には第3導体板432が電気的に接合されている。
この接合には、はんだを用いてもよいし、焼結金属を用いてもよい。また、導体板430~433は、電気伝導性と熱伝導率が高い材料であれば特に限定されないが、銅系又はアルミ系材料が望ましい。これらは、単独で用いてもよいが、はんだや、焼結金属との接合性を高めるため、NiやAg等のめっきを施してもよい。
端子群325は、ケルビンエミッタ信号端子325K、下アームゲート信号端子325L、ミラーエミッタ信号端子、上アームゲート信号端子325Uなどの端子の集まりである。
交流電極320は、上アーム回路のエミッタ側に接続された第1導体板430および下アーム回路のコレクタ側に接続された第3導体板432と電気的に接続されており、モータ192に接続される。中性点接地をする場合は、下アーム回路は、GNDでなくコンデンサ500の負極側に接続する。パワーモジュール300は、バッテリ30から入力される直流電力を交流電力に変換し、交流電極320を介してモータ192に出力している。
なお、本実施形態のパワーモジュール300は、上アーム回路及び下アーム回路の2つのアーム回路を、3組一体化した構造である6in1構造である。6in1構造の他にも、2つのアーム回路を1つのパワーモジュールに一体化した構造である2in1構造であってもよい。6in1構造を用いた場合、3つのパワーモジュールを連結する端子が不要となり、パワーモジュールからの出力端子の数を低減させ小型化させることができる。
図3は本発明による回路体の製造方法を説明する断面図である。なおこの図3(a)~(e)の断面は、図2(b)のX―Xの断面位置を図2(b)の矢印S方向から見たパワーモジュール300の断面である。
図3(a)は、パワー半導体素子157およびダイオード158の第4導体板433へのはんだ接続工程である。第4導体板433は、第2パワー半導体素子157のコレクタ側および第2ダイオード158のカソード側に、はんだ150を介して接続される。また、図示していないが同様に第2導体板431も、第1パワー半導体素子155のコレクタ側および第1ダイオード156のカソード側に、はんだ150を介して接続される。
図3(b)は基板160の接続工程である。基板160は、中抜き領域166が設けられており、パワー半導体素子157(155)とダイオード158(156)がはんだ接続された導体板433(431)が、組み込まれる。中抜き領域166を境にして、交流電極320をはんだ接続する側(紙面左側)の基板160の下側表層に形成された第4配線層164と第4導体板433が、はんだ150を介して接続される。一方、図示していないが第2導体板431は、交流電極320をはんだ接続する側とは反対側(紙面右側)の基板160の下側表層に形成された第4配線層164に、はんだ150を介して接続される。
図3(c)は、ワイヤボンディング工程である。パワー半導体素子157(155)のゲート電極は、ワイヤ151を通して配線基板160に接続される。
図3(d)は、導体板432、交流電極320のはんだ接続工程である。パワー半導体素子157のエミッタ側および第2ダイオード158のアノード側は、はんだ150を介して第3導体板432に接続され、第3導体板432は、交流電極320をはんだ接続する側とは反対側(紙面右側)の基板160の上側表層に形成された第1配線層161に、はんだ150を介して接続される。一方、図示していないが第1導体板430は、第3導体板432と同様に第1パワー半導体素子155のエミッタ側および第1ダイオード156のアノード側にはんだ150を介して接続されるとともに、交流電極320をはんだ接続する側(紙面左側)の基板160の上側表層に形成された第1配線層161に、はんだ150を介して接続される。また、第1導体板430及び第4導体板433がはんだ接続された基板160には、交流電極320がはんだ150を介して接続される。これによりトランスファーモールドの準備ができた回路体310を得る。
図3(e)は、トランスファーモールドする前の回路体310の断面模式図である。
回路体310において基板160は、4層以上の配線層を有するものが望ましい。また、図示するように表層となる第1配線層161及び第4配線層164は0.2mm以上の厚銅配線を用いることが望ましい。
厚銅配線は、大電流を通電したときに、配線抵抗による発熱を抑制できるため有効な材料である。例えば0.2mm厚さの配線で幅40mm以上の断面積を確保することで、350Armsクラスの電流を通電できる。
また、内層となる第2配線層162及び第3配線層163は、0.1mm以内の厚さの配線を用いることが望ましい。基板160を作製する際に、内層基板のパターンの凹凸が大きい場合は、表層基板のもととなる基板プリプレグを圧着した際に凹凸が埋まらない。そのため、内層基板のパターンはエッチングにより形成され、そのあと基板プリプレグが圧着される。
一方、表層の配線は、エッチングによって形成された後、基板プリプレグを圧着する必要がないので、厚銅配線を用い基板を作製することができる。例えば0.07mmの内層配線を用いる場合、内層2層を併用し通電することとした上で、各層幅60mm以上の断面積を確保することで350Armsクラスの電流を通電できる。
第1配線層161は、バッテリ30やコンデンサ500と接続される負極配線319に加えて、パワー半導体素子155~158のゲート電極325L、325U等と接続する電極や、交流電極320の出力となる電極、第1導体板430と接続される電極などを備える。第2配線層162と第3配線層163は、ゲート配線と、交流電極320の接続側(紙面左側)において第1配線層161と第4配線層164の間を接続している交流配線とを備える。この交流配線は、第2配線層162と第3配線層163を併用して通電することで、断面積を2倍に増やし必要な断面積を確保している。第4配線層164は、バッテリ30やコンデンサ500と接続される正極配線315や、第4導体板433と接続される電極などを備える。
なお、この第1配線層161および第4配線層164は、後にトランスファーモールド樹脂の外周に基板160との界面を形成し、封止材360の端部と接する樹脂止め部となる金属表面部である。これらの金属表面部には、後述するように、封止材360の端部と接する位置において封止材360の全周を囲うように、連続した曲面状の凹み606が形成される。第1配線層161および第4配線層164の一面をコンデンサ500の正極、他面を負極にそれぞれ接続し、内層をゲート回路、交流回路に出力することで、基板サイズを低減することができる。また、これにより、パワーモジュール300の高パワー密度化にも貢献できる。
基板160は、導体板430~433と接続される配線層161,164が表面上にプリントされているが、配線層161および164がプリントされている部分とされていない部分で段差が生じる。この段差は、大電流を通電する厚銅配線が使われる場合に、顕著に大きくなる。これに伴い、製造時の配線のプリントによる基板の厚さばらつきが大きくなるため、精密に厚さ方向を位置合わせすることが困難になる。このため、基板160を含めてトランスファーモールド封止をする際、密閉するために封止材注入装置によって圧着させて境目を形成するが、前述した基板にプリントされた配線の厚さばらつきによって、圧着しきれていない部分の隙間から樹脂漏れが生じる。またこれを防ぐために強力に型締めする対応策があるが、これによって配線の破断が生じる懸念がある。
また、このように大電流を通電する場合、配線断面積の確保が重要となる。本発明では、基板160の表層配線である第1配線層161及び第4配線層164は、正極配線315及び負極配線319として、バッテリ30及びコンデンサ500の電極に接続される。これにより、正極配線315側及び負極配線319側をラミネート配線とすることが容易となり配線インダクタンス低減の効果がある。
また、パワー半導体素子を搭載する位置を基板160の配線よりも厚い導体板とすることで狭い投影面積で有効な断面を確保し、小型化させている。また、導体板の上下から効率よく冷却するためにパワー半導体素子投影部には、配線基板が無い構成としている。本発明で使用する配線基板に、表層配線を覆うソルダーレジスト等の薄膜樹脂を設けてもよい。
図4は、本発明によるトランスファーモールドの工程を説明する断面図である。
図4(a)は、トランスファーモールド工程を行うトランスファーモールド装置600の説明図である。トランスファーモールド装置600は、上型601、中型602、及びスプリング604とプランジャ605を備えた下型603を備えている。このトランスファーモールド装置600に、回路体310がセットされる。
R形状の金型突起610は、トランスファーモールド装置600の中型602と下型603にそれぞれ設けられている。封止材360が注入される領域の全周辺に設けられたR形状の金型突起610は、加圧時に表層配線161にR形状の凹み606(後述)を形成させる。
図4(b)は、トランスファーモールド工程の説明図である。回路体310の配線基板160は、Aの拡大図に示すように中型602及び下型603により加圧されるときに、中型602および下型603のR形状の金型突起610により、R形状の凹み606が生じる。この後に封止材360を注入する。これにより、封止材360の全周にR形状の凹み606が形成される。
これにより、基板160は、封止材360の端部と接する位置に、基板配線161および164の表面が連続した曲面状に凹んで形成された凹部606を有するようになる。このR形状の凹み606が、前述した基板160上の配線161、164の厚さばらつきよりも大きくなることで、基板の厚さばらつきを凹みの深さで吸収することができる。つまり、トランスファーモールド時にクランプする外周部が同一の深さとなる凹部を形成することが、樹脂漏れ防止につながっている。
図4(c)は、トランスファーモールド後の断面模式図である。前述したA拡大図部分だけでなく、B拡大図でも示すように、R形状の凹み606は、半導体素子を埋め込む中抜き166の両面の周囲、つまり第1配線層161および第4配線層164に、同一の深さの凹みになるように形成される。
これにより、上下のアーム回路及び基板160の一部は、トランスファーモールド成型により封止材360で封止されている。こうすることで、寸法精度よく被覆できるため、ここに備える冷却水路を設置しやすくまた効率的に設置できる効果がある。また封止材360でパワー半導体素子を覆うことで信頼性が向上する効果がある。
なお、トランスファーモールドで封止材360を形成する場合、20μm以上の段差が生じると樹脂漏れが発生する。このため、配線基板160は、表層に封止材の端部と連続して接する配線層を設けても、内層配線のレイアウトの影響で、20μm以上の厚さばらつきが発生し、トランスファーモールド時に樹脂漏れが生じる。そのためR形状の凹部の深さは20μm以上に設定される必要がある。
図5は、従来技術と本発明を比較する断面図である。図5(a)は従来技術の説明図、図5(b)は、本発明の効果を示す断面図である。
図5(a)の従来技術では、トランスファーモールド装置の中型602に角形状の金型突起607で基板160を加圧している。この角形状で基板160が加圧されるため、エッジに応力集中し基板160上の配線にクラック608が生じる。このように、比較例に示す基板加圧方法では、配線の断線リスクが高く、表層配線にはダミー配線が用いられてきた。
一方で、図5(b)のように本発明では、R形状の金型突起610により基板160が加圧され、基板160の表層配線を凹ませてトランスファーモールド時に封止材360の漏れ出しを防ぐ構造になっている。そのため、R形状で加圧することで局所的な応力集中とならない効果があり、基板ダメージを低減しつつクラックを防止できた。またこれにより、表層配線はダミー配線ではなく通電する配線を使用できるようになり、大電流を流すのに必要な配線断面積を有効に確保し、基板レイアウトの効率化ができるようになった。
図6は、本発明によるパワーモジュールの製造方法を説明する断面図である。
図6(a)は、コンデンサ500の接続工程を示す図である。トランスファーモールドした回路体310に、コンデンサ500の電極端子が、基板160のスルーホール165を介して接続される。この接続には、ロボットはんだ接続装置等を用い、はんだ150を注入して接続する。これにより、パワーモジュール300が得られる。このように、耐熱性の低いコンデンサ500を175℃に加熱するトランスファーモールド工程の後にすることで、コンデンサ寿命を延ばせる。また、トランスファーモールド時にコンデンサ等の突出した部品が無いことで、金型でクランプしやすくなっている。
図6(b)は、冷却部材340の搭載工程を示す図である。第3導体板432、第4導体板433、封止材360と接する面に絶縁層442を設ける。その絶縁層442に冷却部材340を密着させ設置する。なお、図示していないが第1導体板430と第2導体板431についても同様に、絶縁層442を介して冷却部材340が密着される。これにより冷却器付パワーモジュール400(以下パワーモジュール400)が得られる。
また、樹脂もれしないトランスファーモールドで封止材360が形成されることで、絶縁層442を薄く形成することができ高放熱化できる。また、絶縁層442は高熱伝導の材料を用いることで第2パワー半導体素子157、158の発熱を効率よく冷却部材340に放熱することができる。冷却部材340はパワー半導体素子155~158の両面に設置されることで、より高放熱化できる。
図7は、本発明による電力変換装置の断面斜視図である。
電力変換装置200は、下部ケース11および上部ケース10により構成され内部には、パワーモジュール400等が収容されている。下部ケース11の一側面からは、パワーモジュール400を冷却水等により冷却するため、ケース10および11の内部に導通している冷却流路に連通する、冷却水流入管13および冷却水流出管14が突出している。
上部ケース10と下部ケース11とは、アルミニウム合金等により形成され、パワーモジュール400を内部に密封して固定する。上部ケース10と下部ケース11とは、一体化して構成されてもよい。これにより、電力変換装置200を単純な直方体形状としたことで、車両等への取り付けが容易となり、また、製造も容易になる。
下部ケース11の一側面(長手方向)に、コネクタ188が取り付けられており、このコネクタ188には、交流ターミナル18が接続されている。パワーモジュール300の交流電極320は、電流センサ180を貫通してコネクタ188に接続されている。
パワーモジュール400の上方には、制御回路172およびドライバ回路174が配置され、パワーモジュール400の直流端子側には、コンデンサ500が収容されている。コンデンサ500をパワーモジュール400と同一の高さに配置することで、電力変換装置200全体を薄型化することができるため、電力変換装置200の車両への設置自由度が向上する。
図8は、本発明の一実施形態の変形例を示す平面図である。
変形例は、パワーモジュール300Aの基板160Aが、封止材360の全周ではなく、直流電極側にだけあることが特徴である。これに伴い、第1配線層161Aも封止材360の片側にだけある構成になっている。交流電極320Aは、図1とは違い封止材360から直接出ている構成になっている。
図9は、本発明の一実施形態の変形例を示すトランスファーモールドの工程を説明する断面図である。
図9において、パワー半導体素子の位置を境に、基板160Aのある方はトランスファーモールド装置600Aの金型で基板160Aをクランプし、基板160Aのない方は、交流電極320Aを上型601Aで直接クランプしている。これにより、R形状の金型突起610AによってできるR形状の凹みは、基板160Aにおいて、封止材360の周囲の一部分である直流電力が流れる側だけに形成され、交流電極320A側は、R形状の凹みは形成されない。
図10は、本発明の一実施形態の変形例を示す断面図である。なお、図10に示すパワーモジュール400Aの断面図は、図8のY-Y断面位置をT方向から見た図である。
R形状の凹み606Aによって、封止材360で一部がモールドされているパワーモジュール400Aにおいて、交流電極320Aは、はんだ150を介して第4導体板433及び第1導体板430と接続されている。つまり、変形例は基板160Aを間に介さないで交流電極320Aと導体板430,433を直接接続する構成である。これにより、交流電極320A側に基板160Aがないことで、一方側のトランスファーモールドの樹脂もれを考える必要がなく、トランスファーモールド装置の構成や基板160Aの構成を簡易化させ、組立を簡素化させることができる。
以上説明した本発明の一実施形態によれば、以下の作用効果を奏する。
(1)パワーモジュール300は直流電力を交流電力に変換し交流電力をモータ192に出力するパワー半導体素子155~158と、パワー半導体素子155~158と電気的に接続される導体430~433と、導体430~433と接続される基板配線を面上に有する基板160と、パワー半導体素子155~158と導体430~433と基板160を封止する樹脂封止材360と、を備え、基板160は、樹脂封止材360の端部と接する位置に、基板配線の表面が連続した曲面上に凹んで形成された凹部を有する。このようにしたので、小型化と歩留まり向上を両立させた電力変換装置を提供できる。
(2)パワーモジュール300の金属表面部161,164に形成される凹部は、深さが一定のR形状606である。このようにしたので、基板160の厚さのばらつき具合に関わらずトランスファーモールド時の樹脂漏れを防ぐことができる。
(3)電力変換装置200の凹部606は、樹脂封止材360の全周に形成される。このようにしたので、トランスファーモールド形成時に封止材360の漏れを防ぐことができる。
(4)電力変換装置200の凹部606は、基板160の両面に形成されている。このようにしたので、トランスファーモールド形成時に封止材360の漏れを防ぐことができる。
(5)電力変換装置200の凹部606は、樹脂封止材360の周囲の一部分に形成される。このようにしたので、基板160を交流電極側に設ける必要がなくなる。
(6)電力変換装置200はパワーモジュール300を備え、パワーモジュール300は、ケース10,11によって密閉固定され、ケース10、11の内部には、パワーモジュール300を冷却するための冷却流路13,14を導通させている。このようにしたので、樹脂漏れ防止を可能にし、小型化と歩留まり向上を両立させた電力変換装置200を提供できる。
なお、以上の説明はあくまでも一例であり、発明を解釈する際、上記実施の形態の記載事項と特許請求の範囲の記載事項の対応関係に何ら限定も拘束もされない。また、発明の技術的思想を逸脱しない範囲で、削除・他の構成に置換・他の構成の追加をすることが可能であり、その態様も本発明の範囲内に含まれる。さらに、上述の実施形態と複数の変形例を組み合わせた構成としてもよい。
10 上部ケース
11 下部ケース
13 冷却水流入管
14 冷却水流出管
18 交流ターミナル
30 バッテリ
150 はんだ
151 ワイヤ
155 第1パワー半導体素子(上アーム回路能動素子)
156 第1パワー半導体素子(上アーム回路ダイオード)
157 第2パワー半導体素子(下アーム回路能動素子)
158 第2パワー半導体素子(下アーム回路ダイオード)
160,160A 配線基板
161,161A 第1配線層
162 第2配線層
163 第3配線層
164 第4配線層
165 貫通スルーホール
166 配線基板の中抜き領域
172 制御回路
174 ドライバ回路
175 基板間接続
180 電流センサ
188 コネクタ
192 車両走行用モータ
200 電力変換装置
300、300A パワーモジュール
310 回路体
315 正極配線
319 負極配線
320、320A 交流電極
325 端子群
325K ケルビンエミッタ信号端子
325L 下アームゲート信号端子
325U 上アームゲート信号端子
340 冷却部材
360 樹脂封止材
400、400A 冷却器付パワーモジュール
430 第1導体板(上アーム回路エミッタ側)
431 第2導体板(上アーム回路コレクタ側)
432 第3導体板(下アーム回路エミッタ側)
433 第4導体板(下アーム回路コレクタ側)
442 絶縁層
500 コンデンサ
600、600A トランスファーモールド装置
601 上型
602、602A 中型
603 下型
604 スプリング
605 プランジャ
606、606A R形状の凹み
607 角形状の金型突起
608 クラック
610、610A R形状の金型突起

Claims (6)

  1. 直流電力を交流電力に変換し前記交流電力をモータに出力するパワー半導体素子と、
    前記パワー半導体素子と電気的に接続される導体と、
    前記導体と接続される基板配線を面上に有する基板と、
    前記パワー半導体素子と前記導体と前記基板を封止する樹脂封止材と、を備え、
    前記基板は、前記樹脂封止材の端部と接する位置に、前記基板配線の表面が連続した曲面状に凹んで形成された凹部を有する
    パワーモジュール。
  2. 請求項1に記載のパワーモジュールにおいて、
    前記凹部は、深さが一定のR形状である
    パワーモジュール。
  3. 請求項1に記載のパワーモジュールにおいて、
    前記凹部は、前記樹脂封止材の全周に形成される
    パワーモジュール。
  4. 請求項1に記載のパワーモジュールにおいて、
    前記凹部は、前記基板の両面に形成されている
    パワーモジュール。
  5. 請求項1に記載のパワーモジュールにおいて、
    前記凹部は、前記樹脂封止材の周囲の一部分に形成される
    パワーモジュール。
  6. 請求項1に記載のパワーモジュールを備え、
    前記パワーモジュールは、ケースによって密閉固定され、
    前記ケースの内部には、前記パワーモジュールを冷却するための冷却流路を導通させている
    電力変換装置。
JP2020109102A 2020-06-24 2020-06-24 パワーモジュール及びこれを用いた電力変換装置 Active JP7444711B2 (ja)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2020109102A JP7444711B2 (ja) 2020-06-24 2020-06-24 パワーモジュール及びこれを用いた電力変換装置
PCT/JP2021/019407 WO2021261136A1 (ja) 2020-06-24 2021-05-21 パワーモジュール及びこれを用いた電力変換装置
CN202180038505.5A CN115885465A (zh) 2020-06-24 2021-05-21 功率组件和使用它的电力转换装置
EP21829189.6A EP4174930A4 (en) 2020-06-24 2021-05-21 POWER MODULE AND POWER CONVERSION DEVICE USING SAID POWER MODULE
US18/009,760 US20230283190A1 (en) 2020-06-24 2021-05-21 Power module and power conversion device using the same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2020109102A JP7444711B2 (ja) 2020-06-24 2020-06-24 パワーモジュール及びこれを用いた電力変換装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2022006712A JP2022006712A (ja) 2022-01-13
JP7444711B2 true JP7444711B2 (ja) 2024-03-06

Family

ID=79282521

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2020109102A Active JP7444711B2 (ja) 2020-06-24 2020-06-24 パワーモジュール及びこれを用いた電力変換装置

Country Status (5)

Country Link
US (1) US20230283190A1 (ja)
EP (1) EP4174930A4 (ja)
JP (1) JP7444711B2 (ja)
CN (1) CN115885465A (ja)
WO (1) WO2021261136A1 (ja)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN115064512A (zh) * 2022-05-19 2022-09-16 上海沛塬电子有限公司 一种双面散热高频大功率模组及其制作方法
JP2024093978A (ja) * 2022-12-27 2024-07-09 株式会社日立製作所 電力変換装置

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006108362A (ja) 2004-10-05 2006-04-20 Sharp Corp 電子デバイスおよびそれを用いた電子機器
JP2008149677A (ja) 2006-12-20 2008-07-03 Sumitomo Heavy Ind Ltd 樹脂封止金型
JP2019102561A (ja) 2017-11-30 2019-06-24 日立オートモティブシステムズ株式会社 パワー半導体装置及びその製造方法

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6215827A (ja) * 1985-07-12 1987-01-24 Matsushita Electric Ind Co Ltd 封止金型装置
WO2002062588A1 (fr) * 2001-02-02 2002-08-15 Hitachi, Ltd Dispositif électronique et procédé de fabrication
JP4988665B2 (ja) * 2008-08-06 2012-08-01 日立オートモティブシステムズ株式会社 半導体装置および半導体装置を用いた電力変換装置
JP5380376B2 (ja) * 2010-06-21 2014-01-08 日立オートモティブシステムズ株式会社 パワー半導体装置
JP5506741B2 (ja) * 2011-06-02 2014-05-28 日立オートモティブシステムズ株式会社 電力変換装置
CN103023279B (zh) * 2011-09-27 2015-05-13 株式会社京浜 半导体控制装置
JP6302803B2 (ja) * 2014-09-09 2018-03-28 日立オートモティブシステムズ株式会社 パワー半導体モジュール及びその製造方法、電力変換装置
JP6365360B2 (ja) 2015-03-12 2018-08-01 株式会社デンソー 電子装置及びその製造方法
JP7155748B2 (ja) * 2018-08-22 2022-10-19 株式会社デンソー 半導体装置
JP7100569B2 (ja) * 2018-11-22 2022-07-13 日立Astemo株式会社 半導体モジュール、電力変換装置および半導体モジュールの製造方法
JP7045978B2 (ja) * 2018-12-07 2022-04-01 三菱電機株式会社 半導体装置および電力変換装置

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006108362A (ja) 2004-10-05 2006-04-20 Sharp Corp 電子デバイスおよびそれを用いた電子機器
JP2008149677A (ja) 2006-12-20 2008-07-03 Sumitomo Heavy Ind Ltd 樹脂封止金型
JP2019102561A (ja) 2017-11-30 2019-06-24 日立オートモティブシステムズ株式会社 パワー半導体装置及びその製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
US20230283190A1 (en) 2023-09-07
EP4174930A4 (en) 2024-07-17
EP4174930A1 (en) 2023-05-03
WO2021261136A1 (ja) 2021-12-30
CN115885465A (zh) 2023-03-31
JP2022006712A (ja) 2022-01-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6979864B2 (ja) パワー半導体装置及びその製造方法
JP4576448B2 (ja) 電力用半導体装置
JP6302803B2 (ja) パワー半導体モジュール及びその製造方法、電力変換装置
US11961780B2 (en) Semiconductor module, power conversion device, and manufacturing method of semiconductor module
JP6488390B2 (ja) 構造体
JP7046742B2 (ja) パワーモジュール
JP7491707B2 (ja) 電気回路体、電力変換装置、および電気回路体の製造方法
JP7555257B2 (ja) 電気回路体、電力変換装置、および電気回路体の製造方法
US11232994B2 (en) Power semiconductor device having a distance regulation portion and power conversion apparatus including the same
WO2018159209A1 (ja) パワー半導体装置
JP7444711B2 (ja) パワーモジュール及びこれを用いた電力変換装置
CN111587528B (zh) 功率半导体装置
JP7555261B2 (ja) 電気回路体および電力変換装置
JP7555262B2 (ja) 電気回路体および電力変換装置
JP7650784B2 (ja) 半導体モジュール、電力変換装置、および半導体モジュールの製造方法
JP7549520B2 (ja) パワーモジュールおよび電力変換装置
JP7171516B2 (ja) パワー半導体モジュール、電力変換装置およびパワー半導体モジュールの製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20230203

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20240220

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20240222

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 7444711

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150