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JP7416940B2 - Display panels, flexible displays, electronic devices and display panel manufacturing methods - Google Patents

Display panels, flexible displays, electronic devices and display panel manufacturing methods Download PDF

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JP7416940B2 JP2022531574A JP2022531574A JP7416940B2 JP 7416940 B2 JP7416940 B2 JP 7416940B2 JP 2022531574 A JP2022531574 A JP 2022531574A JP 2022531574 A JP2022531574 A JP 2022531574A JP 7416940 B2 JP7416940 B2 JP 7416940B2
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Description

関連出願の相互参照
本出願は、参照によりその全体が本明細書に組み入れられる、2019年11月29日付で中国国家知識産権局に出願された、「ディスプレイパネル、フレキシブルディスプレイ、電子デバイスおよびディスプレイパネルの製造方法」という名称の中国特許出願第201911205774.7号の優先権を主張するものである。
CROSS-REFERENCE TO RELATED APPLICATIONS This application is filed with the State Intellectual Property Office of China on November 29, 2019, which is hereby incorporated by reference in its entirety. It claims priority to Chinese Patent Application No. 201911205774.7 entitled ``Method for Manufacturing Panels''.

本出願は、ディスプレイ技術の分野に関し、特に、ディスプレイパネル、フレキシブルディスプレイ、電子デバイス、およびディスプレイパネルの製造方法に関する。 TECHNICAL FIELD This application relates to the field of display technology, and in particular to display panels, flexible displays, electronic devices, and methods of manufacturing display panels.

有機発光ダイオード(organic light-emitting diode、OLED)ディスプレイ装置は、薄型、軽量、広視野角、アクティブ発光、連続調整可能な発光色、低コスト、高速応答、低エネルギー消費、低駆動電圧、広い動作温度範囲、単純な製造処理、高発光効率、フレキシブルディスプレイなどを特徴とするため、有望な次世代ディスプレイ技術として挙げられている。 Organic light-emitting diode (OLED) display devices are thin, lightweight, wide viewing angle, active luminescence, continuously adjustable luminescent color, low cost, fast response, low energy consumption, low driving voltage, and wide operating range. It is cited as a promising next-generation display technology due to its characteristics such as temperature range, simple manufacturing process, high luminous efficiency, and flexible display.

OLEDディスプレイ装置内のOLED発光コンポーネントは、動作中にカソードから電子を注入する必要があり、したがって、より低いカソード仕事関数を必要とする。しかしながら、カソードは、通常、アルミニウム、マグネシウム、カルシウム等の比較的活性な化学的性質を有し、浸入した水蒸気や酸素と反応しやすい金属材料からなる。そのため、空気中の水蒸気や酸素等がOLED発光コンポーネントの寿命に大きく影響する。また、水蒸気や酸素がOLED発光コンポーネントの正孔輸送層や電子輸送層とさらに反応し、OLED発光コンポーネントの不良の原因となることがある。したがって、OLED発光コンポーネントの各機能層が大気中の水蒸気、酸素などから完全に分離されるように、OLED発光コンポーネントに対して厳密な水-酸素封止のカプセル化が行われる必要がある。これにより、OLED発光コンポーネントの寿命が大幅に延長され、OLEDディスプレイ装置の寿命が延長される。 OLED light-emitting components in OLED display devices require electron injection from the cathode during operation and therefore require a lower cathode work function. However, the cathode is typically made of a metallic material, such as aluminum, magnesium, or calcium, which has a relatively active chemistry and is susceptible to reacting with invading water vapor and oxygen. Therefore, water vapor, oxygen, etc. in the air greatly affect the lifespan of OLED light emitting components. Additionally, water vapor and oxygen may further react with the hole transport layer and electron transport layer of the OLED light emitting component, causing failure of the OLED light emitting component. Therefore, strict water-oxygen encapsulation needs to be performed on the OLED light emitting component so that each functional layer of the OLED light emitting component is completely isolated from atmospheric water vapor, oxygen, etc. This significantly extends the lifespan of OLED light emitting components and extends the lifespan of OLED display devices.

現在、OLEDディスプレイ装置のディスプレイパネルは、通常、製造中にTFE(thin film encapsulation、薄膜カプセル化)技術を使用することによってカプセル化される。全表面カプセル化のためにTFEを使用するディスプレイパネルは、圧力または衝撃を受けると亀裂が生じやすい。この場合、水蒸気および酸素が、亀裂に沿って、OLED発光コンポーネントのカソード(カソード材料は通常MgAlである)および別の蒸着層に入る。その結果、カソードは電極機能を失い、OLED発光コンポーネントの発光層の発光効率は、発光層が発光できなくなるまで徐々に低下する。その結果、暗いドットまたは黒点が発生し、OLEDディスプレイ装置の表示効果に影響を与える。 Currently, display panels of OLED display devices are usually encapsulated by using TFE (thin film encapsulation) technology during manufacturing. Display panels that use TFE for full surface encapsulation are prone to cracking when subjected to pressure or impact. In this case, water vapor and oxygen enter the cathode of the OLED light-emitting component (the cathode material is usually MgAl) and another deposited layer along the crack. As a result, the cathode loses its electrode function, and the luminous efficiency of the light-emitting layer of the OLED light-emitting component gradually decreases until the light-emitting layer can no longer emit light. As a result, dark dots or black spots occur, which affects the display effect of the OLED display device.

本出願の技術的解決策は、ディスプレイパネルのカプセル化特徴を向上させるために、ディスプレイパネル、フレキシブルディスプレイ、電子デバイス、およびディスプレイパネルの製造方法を提供する。 The technical solution of the present application provides a display panel, a flexible display, an electronic device, and a display panel manufacturing method to improve the encapsulation characteristics of the display panel.

第1の態様によれば、本出願の技術的解決策はディスプレイパネルを提供する。ディスプレイパネルは、基板として使用される基板と、基板上に配置された薄膜トランジスタ層と、画素定義層と、少なくとも2つのカプセル化構造体と、少なくとも2つの画素ユニットとを含む。少なくとも2つのカプセル化構造体は、少なくとも2つの画素ユニットをカプセル化するように構成される。薄膜トランジスタ層は基板上に配置され、画素定義層は、薄膜トランジスタ層上に配置され、画素領域および側部カプセル化領域を有し、側部カプセル化領域はカプセル化構造体によってカプセル化された画素ユニットの周りに配置され、画素領域および側部カプセル化領域は画素定義層上に配置された貫通孔である。画素ユニットのOLED発光コンポーネントは、画素領域内に部分的にまたは完全に配置され得る。 According to a first aspect, the technical solution of the present application provides a display panel. The display panel includes a substrate used as a substrate, a thin film transistor layer disposed on the substrate, a pixel defining layer, at least two encapsulating structures, and at least two pixel units. The at least two encapsulation structures are configured to encapsulate at least two pixel units. A thin film transistor layer is disposed on the substrate, and a pixel defining layer is disposed on the thin film transistor layer and has a pixel region and a side encapsulation region, the side encapsulation region having a pixel unit encapsulated by the encapsulation structure. The pixel region and the side encapsulation region are through-holes disposed on the pixel-defining layer. The OLED light emitting component of the pixel unit may be partially or completely located within the pixel area.

カプセル化構造体が特に配置される場合、カプセル化構造体は、第1のカプセル化層および第2のカプセル化層を含む。第1のカプセル化層は、OLED発光コンポーネントの、薄膜トランジスタ層に近い側に配置され、第1のカプセル化層は、側部カプセル化領域からさらに露出される。第2のカプセル化層は、OLED発光コンポーネントの、薄膜トランジスタ層から離れた側に配置され、第2のカプセル化層は、側部カプセル化領域内で第1のカプセル化層と封止接触するように側部カプセル化領域を貫通し得る。少なくとも2つのカプセル化構造体を使用して少なくとも2つの画素ユニットをカプセル化することにより、大きなカプセル化層がディスプレイパネル上に形成されることを防止することができ、それにより、ディスプレイパネルを含むフレキシブルディスプレイが曲げられ、巻かれ、自由に変形されるなどのシナリオにおいてカプセル化層に亀裂が入るときに生じる水-酸素浸入を効果的に回避することができる。 If the encapsulation structure is specifically arranged, the encapsulation structure includes a first encapsulation layer and a second encapsulation layer. The first encapsulation layer is arranged on a side of the OLED light emitting component closer to the thin film transistor layer, and the first encapsulation layer is further exposed from the side encapsulation region. A second encapsulation layer is disposed on a side of the OLED light emitting component remote from the thin film transistor layer, the second encapsulation layer being in sealing contact with the first encapsulation layer in the side encapsulation region. can penetrate the side encapsulation region. By encapsulating at least two pixel units using at least two encapsulation structures, large encapsulation layers can be prevented from forming on the display panel, thereby including the display panel. The water-oxygen infiltration that occurs when the encapsulation layer cracks in scenarios such as when the flexible display is bent, rolled, and freely deformed can be effectively avoided.

本出願の可能な実装形態では、カプセル化構造体の数は画素ユニットの数と同じであってもよく、各カプセル化構造体は1つの画素ユニットをカプセル化するように構成される。これにより、各画素ユニットの独立したカプセル化が実装され、ディスプレイパネルの曲げ特性を向上させる。 In possible implementations of the present application, the number of encapsulation structures may be the same as the number of pixel units, with each encapsulation structure configured to encapsulate one pixel unit. This implements independent encapsulation of each pixel unit, improving the bending properties of the display panel.

また、第1のカプセル化層は、無機材料層による単層構造であってもよいし、第1のカプセル化層は、無機材料層と有機材料層とが交互に積層された多層構造であってもよく、第2のカプセル化層は、無機材料層によって形成された単層構造であってもよいが、これに限定されず、または第2のカプセル化層は、無機材料層と有機材料層とを交互に積層することによって形成された多層構造であってもよい。無機材料層は、比較的良好な水-酸素バリア効果を達成するために、二酸化ケイ素、窒化ケイ素、酸化アルミニウムなどを使用することによって形成されてもよい。 Further, the first encapsulation layer may have a single layer structure made of inorganic material layers, or the first encapsulation layer may have a multilayer structure in which inorganic material layers and organic material layers are alternately laminated. The second encapsulation layer may be a single layer structure formed by an inorganic material layer, but is not limited to this, or the second encapsulation layer may be a monolayer structure formed by an inorganic material layer and an organic material layer. A multilayer structure formed by alternately laminating layers may also be used. The inorganic material layer may be formed by using silicon dioxide, silicon nitride, aluminum oxide, etc. to achieve a relatively good water-oxygen barrier effect.

本出願の可能な実装形態では、ディスプレイパネルは、金属線をさらに含んでいてもよく、金属線は、画素定義層の、基板から離れた側に配置されていてもよく、または、金属線は、第1のカプセル化層上に配置され、または、金属線は、基板の層構造上に配置されている。OLED発光コンポーネントのカソードは、すべてのOLED発光コンポーネントが互いに関連付けられるように、金属線に接続されてもよい。これにより、ディスプレイパネル全体のディスプレイの制御が容易となる。 In possible implementations of the present application, the display panel may further include metal lines, the metal lines may be located on the side of the pixel-defining layer remote from the substrate, or the metal lines may , is arranged on the first encapsulation layer, or the metal line is arranged on the layered structure of the substrate. The cathodes of the OLED light emitting components may be connected to a metal wire such that all OLED light emitting components are associated with each other. This facilitates display control of the entire display panel.

本出願の可能な実装形態では、フォトスペーサが、画素定義層の、基板から離れた側にさらに配置される。OLED発光コンポーネントを蒸着により形成する処理において、フォトスペーサは、OLED発光コンポーネントの各機能層を蒸着により形成するための蒸着マスクがディスプレイパネルに接触するのを効果的に防止し、ディスプレイパネルの製品歩留まりを向上させることができる。 In a possible implementation of the present application, a photospacer is further arranged on the side of the pixel-defining layer remote from the substrate. In the process of forming OLED light-emitting components by vapor deposition, the photo spacer effectively prevents the vapor deposition mask for forming each functional layer of the OLED light-emitting components by vapor deposition from contacting the display panel, and reduces the product yield of the display panel. can be improved.

本出願の可能な実装形態では、平坦化層は、第2のカプセル化層の、薄膜トランジスタ層から離れた側にさらに配置されてもよい。平坦化層は、その後の処理のための平坦な機械加工面を提供するように配置されてもよい。また、平坦化層は、平坦化層上に配置された他の膜層に異物が侵入することを防止するために、異物を覆ってもよい。 In possible implementations of the present application, a planarization layer may further be arranged on the side of the second encapsulation layer remote from the thin film transistor layer. A planarization layer may be arranged to provide a flat machining surface for subsequent processing. Further, the planarization layer may cover foreign matter in order to prevent foreign matter from entering other film layers disposed on the planarization layer.

さらに、第3のカプセル化層が平坦化層上にさらに配置されることができ、第3のカプセル化層は、少なくとも2つのカプセル化構造体を覆うことができる全表面構造である。これにより、ディスプレイパネルの水-酸素バリアカプセル化効果が向上する。第3のカプセル化層は、無機材料層による単層構造であってもよいし、無機材料層と有機材料層とが交互に積層された多層構造であってもよい。 Furthermore, a third encapsulation layer can further be disposed on the planarization layer, the third encapsulation layer being a full surface structure that can cover at least two encapsulation structures. This improves the water-oxygen barrier encapsulation effect of the display panel. The third encapsulation layer may have a single layer structure of inorganic material layers, or may have a multilayer structure in which inorganic material layers and organic material layers are alternately laminated.

第2の態様によれば、本出願の技術的解決策は、フレキシブルディスプレイをさらに提供する。フレキシブルディスプレイは、保護カバーと、偏光子と、タッチパネルと、第1の態様に係るディスプレイパネルとを備えていてもよい。偏光子は保護カバーに固定され、タッチパネルは偏光子とディスプレイパネルとの間に配置される、または、タッチパネルが保護カバーに固定されており、偏光子がタッチパネルとディスプレイパネルとの間に配置される。また、ディスプレイパネルの、タッチパネルから離れた側にさらに放熱層を配置し、放熱層上に保護層を配置してもよい。 According to a second aspect, the technical solution of the present application further provides a flexible display. The flexible display may include a protective cover, a polarizer, a touch panel, and a display panel according to the first aspect. The polarizer is fixed to the protective cover and the touch panel is placed between the polarizer and the display panel, or the touch panel is fixed to the protective cover and the polarizer is placed between the touch panel and the display panel. . Furthermore, a heat dissipation layer may be further disposed on the side of the display panel remote from the touch panel, and a protective layer may be disposed on the heat dissipation layer.

フレキシブルディスプレイのディスプレイパネル上の少なくとも2つの画素ユニットが少なくとも2つのカプセル化構造体によってカプセル化されるため、大きなカプセル化層がディスプレイパネル上に形成されることを防止することができ、それにより、フレキシブルディスプレイが曲げられ、巻かれ、自由に変形されるなどのシナリオにおいてカプセル化層に亀裂が入るときに生じる水-酸素浸入を効果的に回避し、フレキシブルディスプレイの表示不良の問題を回避する。 Since at least two pixel units on the display panel of the flexible display are encapsulated by at least two encapsulation structures, a large encapsulation layer can be prevented from being formed on the display panel, thereby: To effectively avoid the water-oxygen infiltration that occurs when the encapsulation layer cracks in scenarios such as the flexible display is bent, rolled, and freely deformed, and avoids the display failure problem of the flexible display.

第3の態様によれば、本出願の技術的解決策は、電子デバイスをさらに提供する。電子デバイスは、中間フレームと、後部ハウジングと、プリント回路基板と、第2の態様に係るフレキシブルディスプレイとを備える。中間フレームは、プリント回路基板およびフレキシブルディスプレイを支持するように構成される。プリント回路基板およびフレキシブルディスプレイは、中間フレームの2つの側面に配置される。後部ハウジングは、プリント回路基板の、中間フレームから離れた側に配置される。 According to a third aspect, the technical solution of the present application further provides an electronic device. The electronic device includes an intermediate frame, a rear housing, a printed circuit board, and a flexible display according to the second aspect. The intermediate frame is configured to support the printed circuit board and the flexible display. A printed circuit board and a flexible display are placed on two sides of the intermediate frame. The rear housing is located on the side of the printed circuit board remote from the intermediate frame.

本出願における電子デバイスのフレキシブルディスプレイは、比較的良好な曲げ特性を有する。フレキシブルディスプレイが折り畳まれるまたは曲げられる処理では、フレキシブルディスプレイのディスプレイパネルのカプセル化層の亀裂リスクが比較的低く、それにより、水および酸素がカプセル化層を通って浸入するときに生じる電子デバイスのフレキシブルディスプレイの表示不良の問題が回避される。 The flexible display of the electronic device in this application has relatively good bending properties. In the process where flexible displays are folded or bent, the risk of cracking the encapsulation layer of the display panel of the flexible display is relatively low, thereby reducing the flexibility of the electronic device caused when water and oxygen seep through the encapsulation layer. The problem of display failure is avoided.

第4の態様によれば、本出願の技術的解決策は、ディスプレイパネルを製造する方法をさらに提供する。ディスプレイパネルは、基板と、薄膜トランジスタ層と、画素定義層と、少なくとも2つのカプセル化構造体と、少なくとも2つの画素ユニットとを含む。少なくとも2つのカプセル化構造体は、少なくとも2つの画素ユニットをカプセル化するように構成され、カプセル化構造体は、第1のカプセル化層および第2のカプセル化層を含み、画素ユニットは、OLED発光コンポーネントを含む。本方法は、
基板を製造するステップと、
基板上に薄膜トランジスタ層を形成し、薄膜トランジスタ層上に第1のビアを設けるステップであって、第1のビアが薄膜トランジスタ層のドレインまで延在する、ステップと、
複数の独立した第1のカプセル化層を得るために、薄膜トランジスタ層上に全表面の第1のカプセル化構造体層を形成し、全表面の第1のカプセル化構造体層をパターニングする、ステップと、
第1のカプセル化層の各々上に画素領域および側部カプセル化領域を形成するために、画素定義層を形成し、画素定義層をパターニングするステップであって、側部カプセル化領域が、第1のカプセル化層を露出させるために使用される、ステップと、
画素領域内にOLED発光コンポーネントを形成するステップであって、OLED発光コンポーネントが第1のビアを介してドレインに接続される、ステップと、
複数の独立した第2のカプセル化層を得るために、OLED発光コンポーネントの、薄膜トランジスタ層から離れた側に、薄膜トランジスタ層に対応する全表面の第2のカプセル化構造体層を形成し、全表面の第2のカプセル化構造体層をパターニングするステップであって、第2のカプセル化層および第1のカプセル化層が側部カプセル化領域内で封止接触している、ステップと、を含む。
According to a fourth aspect, the technical solution of the present application further provides a method of manufacturing a display panel. The display panel includes a substrate, a thin film transistor layer, a pixel defining layer, at least two encapsulating structures, and at least two pixel units. The at least two encapsulation structures are configured to encapsulate at least two pixel units, the encapsulation structures include a first encapsulation layer and a second encapsulation layer, and the pixel units are OLEDs. Contains light emitting components. This method is
manufacturing a substrate;
forming a thin film transistor layer on the substrate and providing a first via on the thin film transistor layer, the first via extending to a drain of the thin film transistor layer;
forming a full-surface first encapsulation structure layer on the thin film transistor layer and patterning the full-surface first encapsulation structure layer to obtain a plurality of independent first encapsulation layers; and,
forming a pixel-defining layer and patterning the pixel-defining layer to form a pixel region and a side encapsulation region on each of the first encapsulation layers, the side encapsulation region being a pixel-defining layer; a step used to expose the encapsulation layer of 1;
forming an OLED light emitting component in the pixel region, the OLED light emitting component being connected to the drain via the first via;
In order to obtain a plurality of independent second encapsulation layers, a second encapsulation structure layer is formed on the side of the OLED light-emitting component remote from the thin film transistor layer over the entire surface corresponding to the thin film transistor layer; patterning a second encapsulation structure layer of the second encapsulation structure layer, wherein the second encapsulation layer and the first encapsulation layer are in sealing contact in side encapsulation regions. .

可能な実装形態では、第1のカプセル化層を形成するステップが、具体的には、全表面の第1のカプセル化構造体層を形成するため、薄膜トランジスタ層にSiO、SiNx、またはAlのうちの1つまたは複数を堆積させるステップと、少なくとも2つの第1のカプセル化層を得るために全表面の第1のカプセル化構造体層をパターニングするステップであって、コーティングするステップ、露光するステップ、現像するステップ、エッチングするステップ、または剥離するステップのうちの1つまたは複数を含む、ステップと、を含む。 In possible implementations, the step of forming the first encapsulation layer specifically includes depositing SiO 2 , SiNx, or Al 2 on the thin film transistor layer to form an all-surface first encapsulation structure layer. depositing one or more of O 3 and patterning and coating the first encapsulation structure layer on the entire surface to obtain at least two first encapsulation layers. , including one or more of exposing, developing, etching, or stripping.

可能な実装形態では、画素定義層が形成される前に、本方法は、第1のカプセル化層上にアノードを形成するステップであって、アノードが第1のビアを介してドレインに接続される、ステップをさらに含む。アノードを形成するステップは、具体的には、第1のカプセル化層上にITO、Ag、およびITOを順に堆積させてアノード材料層を形成するステップと、アノードを得るために、アノード材料層をパターニングするステップであって、コーティングするステップ、露光するステップ、現像するステップ、エッチングするステップ、または剥離するステップのうちの1つまたは複数を含む、ステップと、を含む。 In a possible implementation, before the pixel-defining layer is formed, the method includes the step of forming an anode on the first encapsulation layer, the anode being connected to the drain via the first via. further comprising steps. Forming the anode includes, in particular, sequentially depositing ITO, Ag, and ITO on the first encapsulation layer to form an anode material layer; patterning, including one or more of coating, exposing, developing, etching, or stripping.

さらに、本方法は、画素定義層が形成された後、OLED発光コンポーネントが形成される前に、画素定義層上にフォトスペーサを形成するステップをさらに含んでもよい。 Additionally, the method may further include forming a photospacer on the pixel-defining layer after the pixel-defining layer is formed and before the OLED light emitting component is formed.

可能な実装形態では、すべてのOLED発光コンポーネントを関連付け、ディスプレイパネル全体の表示を制御するために、各OLED発光コンポーネントのカソードが金属線に接続されるように、画素定義層上に金属線をさらに形成することができる。あるいは、金属線が、第1のカプセル化層上に形成されていてもよいし、薄膜トランジスタ層の層構造上に形成されていてもよい。金属線を形成するステップは、具体的には、画素定義層が形成された後、Ti、Al、およびTiを順に堆積させて金属層を形成するステップと、金属線を得るために、金属層をパターニングするステップであって、コーティングするステップ、露光するステップ、現像するステップ、エッチングするステップ、または剥離するステップのうちの1つまたは複数を含む、ステップと、を含む。 A possible implementation further includes metal lines on the pixel-defining layer such that the cathode of each OLED light-emitting component is connected to the metal line to associate all OLED light-emitting components and control the display of the entire display panel. can be formed. Alternatively, the metal line may be formed on the first encapsulation layer or on the layer structure of the thin film transistor layer. Specifically, the step of forming a metal line includes, after the pixel defining layer is formed, sequentially depositing Ti, Al, and Ti to form a metal layer, and forming a metal layer to obtain a metal line. patterning the substrate, including one or more of coating, exposing, developing, etching, or stripping.

可能な実装形態では、第2のカプセル化層を形成するステップは、具体的には、全表面の第2のカプセル化構造体層を形成するために、画素定義層およびOLED発光コンポーネント上にSiO、SiNx、またはAlのうちの1つまたは複数を堆積させるステップと、少なくとも2つの第2のカプセル化層を得るために全表面の第2のカプセル化構造体層をパターニングするステップであって、コーティングするステップ、露光するステップ、現像するステップ、エッチングするステップ、または剥離するステップのうちの1つまたは複数を含む、ステップと、を含む。 In a possible implementation, forming the second encapsulation layer specifically includes depositing SiO on the pixel-defining layer and the OLED light-emitting component to form a full-surface second encapsulation structure layer. 2 , SiNx, or Al2O3 and patterning the second encapsulation structure layer on the entire surface to obtain at least two second encapsulation layers. comprising one or more of coating, exposing, developing, etching, or stripping.

第2のカプセル化層が形成された後、その後の層構造加工のための平坦な表面を提供するために、平坦化層が第2のカプセル化層上にさらに形成されてもよい。また、平坦化層は、平坦化層上に配置された他の膜層に異物が侵入することを防止するために、異物を覆ってもよい。 After the second encapsulation layer is formed, a planarization layer may be further formed on the second encapsulation layer to provide a flat surface for subsequent layer structure processing. Further, the planarization layer may cover foreign matter in order to prevent foreign matter from entering other film layers disposed on the planarization layer.

可能な実装形態では、製造方法は、平坦化層上に第3のカプセル化層を形成するステップであって、第3のカプセル化層が複数のカプセル化ユニットを覆う、ステップをさらに含んでもよい。このようにして、ディスプレイパネル上に全表面カプセル化層が形成され、それにより、ディスプレイパネルの水-酸素バリア効果が向上する。 In possible implementations, the manufacturing method may further include forming a third encapsulation layer on the planarization layer, the third encapsulation layer covering the plurality of encapsulation units. . In this way, a full surface encapsulation layer is formed on the display panel, thereby improving the water-oxygen barrier effect of the display panel.

第5の態様によれば、本出願の技術的解決策は、ディスプレイパネルをさらに提供する。ディスプレイパネルは、基板として使用される基板と、薄膜トランジスタ層と、画素定義層と、少なくとも2つのカプセル化構造体と、少なくとも2つの画素ユニットとを含む。少なくとも2つのカプセル化構造体は、少なくとも2つの画素ユニットをカプセル化するように構成されてもよい。薄膜トランジスタ層は、基板上に配置され、画素定義層は薄膜トランジスタ層上に配置されており、画素定義層は画素領域および側部カプセル化領域を有する、側部カプセル化領域は、カプセル化構造体によってカプセル化された画素ユニットの周りに配置され、画素領域および側部カプセル化領域は、画素定義層に配置された貫通孔である。画素ユニットはOLED発光コンポーネントを含み、OLED発光コンポーネントは画素領域内に部分的にまたは完全に配置される。薄膜トランジスタ層は、無機材料層を含み、側部カプセル化領域に対応する位置にビアが設けられており、ビアは無機材料層を露出させている。 According to a fifth aspect, the technical solution of the present application further provides a display panel. The display panel includes a substrate used as a substrate, a thin film transistor layer, a pixel defining layer, at least two encapsulating structures, and at least two pixel units. The at least two encapsulation structures may be configured to encapsulate at least two pixel units. A thin film transistor layer is disposed on the substrate, a pixel defining layer is disposed on the thin film transistor layer, the pixel defining layer has a pixel region and a side encapsulation region, the side encapsulation region is surrounded by an encapsulation structure. Disposed around the encapsulated pixel unit, the pixel region and the side encapsulation regions are through holes disposed in the pixel definition layer. The pixel unit includes an OLED light emitting component, the OLED light emitting component being partially or completely disposed within the pixel area. The thin film transistor layer includes a layer of inorganic material, and a via is provided at a position corresponding to the side encapsulation region, the via exposing the layer of inorganic material.

薄膜トランジスタ層が無機材料層を含み、無機材料層が良好な水-酸素バリア効果を達成することができるので、薄膜トランジスタ層の無機材料層は、画素ユニットカプセル化を実装するためのカプセル化層として使用され得る。 Since the thin film transistor layer includes an inorganic material layer, and the inorganic material layer can achieve a good water-oxygen barrier effect, the inorganic material layer of the thin film transistor layer is used as an encapsulation layer to implement pixel unit encapsulation. can be done.

カプセル化構造体が特に配置される場合、カプセル化構造体は、OLED発光コンポーネントの、薄膜トランジスタ層から離れた側に配置される。カプセル化構造体は、側部カプセル化領域およびビアを貫通してもよく、側部カプセル化領域内の薄膜トランジスタ層のビアから露出した無機材料層と封止接触している。本出願の技術的解決策では、少なくとも2つの画素ユニットをカプセル化するために少なくとも2つのカプセル化構造体を使用することにより、大きなカプセル化層が形成されるのを防止することができ、それにより、ディスプレイパネルを含むフレキシブルディスプレイが曲げられ、巻かれ、自由に変形されるなどのシナリオでカプセル化層に亀裂が入るときに生じる水-酸素浸入を効果的に回避することができる。また、薄膜トランジスタ層の無機材料層を、カプセル化部をカプセル化するカプセル化層として用いることにより、ディスプレイパネルを加工するステップを効果的に削減することができ、ディスプレイパネルの曲げ特性が向上し、製造困難性や製造コストが低減する。加えて、本出願の本実施形態では、OLED発光コンポーネントをカプセル化することに加えて、カプセル化構造体は、平坦化層、ソース、ドレイン、層間絶縁層、金属間絶縁層、およびゲートなどの構造体のうちの1つまたは複数をさらにカプセル化することができる。これにより、カプセル化構造体が保護される。 If the encapsulation structure is specifically arranged, the encapsulation structure is arranged on the side of the OLED light emitting component remote from the thin film transistor layer. The encapsulation structure may pass through the side encapsulation region and the via and is in sealing contact with the inorganic material layer exposed from the via of the thin film transistor layer within the side encapsulation region. The technical solution of the present application can prevent the formation of a large encapsulation layer by using at least two encapsulation structures to encapsulate at least two pixel units; This can effectively avoid the water-oxygen infiltration that occurs when the encapsulation layer cracks in scenarios such as when the flexible display including the display panel is bent, rolled, and freely deformed. In addition, by using the inorganic material layer of the thin film transistor layer as an encapsulation layer that encapsulates the encapsulation portion, the steps of processing the display panel can be effectively reduced, and the bending characteristics of the display panel are improved. Manufacturing difficulty and manufacturing costs are reduced. Additionally, in this embodiment of the present application, in addition to encapsulating the OLED light emitting components, the encapsulation structure includes a planarization layer, a source, a drain, an interlayer dielectric layer, an intermetallic dielectric layer, and a gate. One or more of the structures can be further encapsulated. This protects the encapsulated structure.

本出願の可能な実装形態では、カプセル化構造体の数は画素ユニットの数と同じであってもよく、各カプセル化構造体は1つの画素ユニットをカプセル化するように構成される。これにより、各画素ユニットの独立したカプセル化が実装され、ディスプレイパネルの曲げ特性を向上させる。 In possible implementations of the present application, the number of encapsulation structures may be the same as the number of pixel units, with each encapsulation structure configured to encapsulate one pixel unit. This implements independent encapsulation of each pixel unit, improving the bending properties of the display panel.

また、カプセル化構造体は、無機材料層による単層構造であってもよいし、無機材料層と有機材料層とが交互に積層された多層構造であってもよい。無機材料層は、比較的良好な水-酸素バリア効果を達成するために、二酸化ケイ素、窒化ケイ素、酸化アルミニウムなどを使用することによって形成されてもよい。 Further, the encapsulated structure may have a single layer structure including inorganic material layers, or may have a multilayer structure in which inorganic material layers and organic material layers are alternately laminated. The inorganic material layer may be formed by using silicon dioxide, silicon nitride, aluminum oxide, etc. to achieve a relatively good water-oxygen barrier effect.

本出願の可能な実装形態では、ディスプレイパネルは、金属線をさらに含んでいてもよく、金属線は、画素定義層の、基板から離れた側に配置されていてもよく、または、金属線は、薄膜トランジスタ層の層構造上に配置されている。OLED発光コンポーネントのカソードは、すべてのOLED発光コンポーネントが互いに関連付けられるように、金属線に接続されてもよい。これにより、ディスプレイパネル全体のディスプレイの制御が容易となる。 In possible implementations of the present application, the display panel may further include metal lines, the metal lines may be located on the side of the pixel-defining layer remote from the substrate, or the metal lines may , arranged on the layer structure of the thin film transistor layer. The cathodes of the OLED light emitting components may be connected to a metal wire such that all OLED light emitting components are associated with each other. This facilitates display control of the entire display panel.

本出願の可能な実装形態では、フォトスペーサが、画素定義層の、基板から離れた側にさらに配置される。OLED発光コンポーネントを蒸着により形成する処理において、フォトスペーサは、OLED発光コンポーネントの各機能層を蒸着により形成するための蒸着マスクがディスプレイパネルに接触するのを効果的に防止し、ディスプレイパネルの製品歩留まりを向上させることができる。 In a possible implementation of the present application, a photospacer is further arranged on the side of the pixel-defining layer remote from the substrate. In the process of forming OLED light-emitting components by vapor deposition, the photo spacer effectively prevents the vapor deposition mask for forming each functional layer of the OLED light-emitting components by vapor deposition from contacting the display panel, and reduces the product yield of the display panel. can be improved.

本出願の可能な実装形態では、平坦化層は、カプセル化構造体の、薄膜トランジスタ層から離れた側にさらに配置されてもよい。平坦化層は、その後の処理のための平坦な機械加工面を提供するように配置されてもよい。また、平坦化層は、平坦化層上に配置された他の膜層に異物が侵入することを防止するために、異物を覆ってもよい。 In possible implementations of the present application, a planarization layer may further be arranged on the side of the encapsulation structure remote from the thin film transistor layer. A planarization layer may be arranged to provide a flat machining surface for subsequent processing. Further, the planarization layer may cover foreign matter in order to prevent foreign matter from entering other film layers disposed on the planarization layer.

さらに、第3のカプセル化層が平坦化層上にさらに配置されることができ、第3のカプセル化層は、少なくとも2つのカプセル化構造体を覆うことができる全表面構造である。これにより、ディスプレイパネルの水-酸素バリアカプセル化効果が向上する。第3のカプセル化層は、無機材料層による単層構造であってもよいし、無機材料層と有機材料層とが交互に積層された多層構造であってもよい。 Furthermore, a third encapsulation layer can further be disposed on the planarization layer, the third encapsulation layer being a full surface structure that can cover at least two encapsulation structures. This improves the water-oxygen barrier encapsulation effect of the display panel. The third encapsulation layer may have a single layer structure of inorganic material layers, or may have a multilayer structure in which inorganic material layers and organic material layers are alternately laminated.

第6の態様によれば、本出願の技術的解決策は、フレキシブルディスプレイをさらに提供する。フレキシブルディスプレイは、保護カバーと、偏光子と、タッチパネルと、第5の態様に係るディスプレイパネルとを備えていてもよい。偏光子は保護カバーに固定され、タッチパネルは偏光子とディスプレイパネルとの間に配置される、または、タッチパネルが保護カバーに固定されており、偏光子がタッチパネルとディスプレイパネルとの間に配置される。また、ディスプレイパネルの、タッチパネルから離れた側にさらに放熱層を配置し、放熱層上に保護層を配置してもよい。 According to a sixth aspect, the technical solution of the present application further provides a flexible display. The flexible display may include a protective cover, a polarizer, a touch panel, and a display panel according to the fifth aspect. The polarizer is fixed to the protective cover and the touch panel is placed between the polarizer and the display panel, or the touch panel is fixed to the protective cover and the polarizer is placed between the touch panel and the display panel. . Furthermore, a heat dissipation layer may be further disposed on the side of the display panel remote from the touch panel, and a protective layer may be disposed on the heat dissipation layer.

フレキシブルディスプレイのディスプレイパネル上の少なくとも2つの画素ユニットが少なくとも2つのカプセル化構造体によってカプセル化されるため、大きなカプセル化層がディスプレイパネル上に形成されることを防止することができ、それにより、フレキシブルディスプレイが曲げられ、巻かれ、自由に変形されるなどのシナリオにおいてカプセル化層に亀裂が入るときに生じる水-酸素浸入を効果的に回避し、フレキシブルディスプレイの表示不良の問題を軽減する。 Since at least two pixel units on the display panel of the flexible display are encapsulated by at least two encapsulation structures, a large encapsulation layer can be prevented from being formed on the display panel, thereby: It effectively avoids the water-oxygen infiltration that occurs when the encapsulation layer cracks in scenarios such as the flexible display is bent, rolled, and freely deformed, and alleviates the display failure problem of the flexible display.

第7の態様によれば、本出願の技術的解決策は、電子デバイスをさらに提供する。電子デバイスは、中間フレームと、後部ハウジングと、プリント回路基板と、第6の態様のフレキシブルディスプレイとを備える。中間フレームは、プリント回路基板およびフレキシブルディスプレイを支持するように構成される。プリント回路基板およびフレキシブルディスプレイは、中間フレームの2つの側面に配置される。後部ハウジングは、プリント回路基板の、中間フレームから離れた側に配置される。 According to a seventh aspect, the technical solution of the present application further provides an electronic device. The electronic device includes an intermediate frame, a rear housing, a printed circuit board, and a flexible display of the sixth aspect. The intermediate frame is configured to support the printed circuit board and the flexible display. A printed circuit board and a flexible display are placed on two sides of the intermediate frame. The rear housing is located on the side of the printed circuit board remote from the intermediate frame.

本出願における電子デバイスのフレキシブルディスプレイは、比較的良好な曲げ特性を有する。フレキシブルディスプレイが折り畳まれるまたは曲げられる処理では、フレキシブルディスプレイのディスプレイパネルのカプセル化層の亀裂リスクが比較的低く、それにより、水および酸素がカプセル化層を通って浸入するときに生じる電子デバイスのフレキシブルディスプレイの表示不良の問題が回避される。 The flexible display of the electronic device in this application has relatively good bending properties. In the process where flexible displays are folded or bent, the risk of cracking the encapsulation layer of the display panel of the flexible display is relatively low, thereby reducing the flexibility of the electronic device caused when water and oxygen seep through the encapsulation layer. The problem of display failure is avoided.

第8の態様によれば、本出願の技術的解決策は、ディスプレイパネルの製造方法をさらに提供する。ディスプレイパネルは、基板と、薄膜トランジスタ層と、画素定義層と、少なくとも2つのカプセル化構造体と、少なくとも2つの画素ユニットとを含む。少なくとも2つのカプセル化構造体は、少なくとも2つの画素ユニットをカプセル化するように構成され、画素ユニットはOLED発光コンポーネントを含む。本方法は、
基板を製造するステップと、
基板上に薄膜トランジスタ層を形成し、薄膜トランジスタ層上に第1のビアを設けるステップであって、第1のビアが薄膜トランジスタ層のドレインまで延在する、ステップと、
薄膜トランジスタ層上に第2のビアを設けるステップであって、第2のビアが薄膜トランジスタ層の無機材料層まで延在する、ステップと、
画素領域および側部カプセル化領域を形成するために、画素定義層を形成し、画素定義層をパターニングするステップであって、側部カプセル化領域が薄膜トランジスタ層の無機材料層を露出させるために使用される、ステップと、
画素領域内にOLED発光コンポーネントを形成するステップであって、OLED発光コンポーネントが第1のビアを介してドレインに接続される、ステップと、
少なくとも2つの独立したカプセル化構造体を得るために、OLED発光コンポーネントの、薄膜トランジスタ層から離れた側に、薄膜トランジスタ層に対応する全表面カプセル化構造体層を形成し、全表面カプセル化構造体層をパターニングするステップであって、カプセル化構造体と薄膜トランジスタ層の無機材料層とが側部カプセル化領域内で封止接触している、ステップと、を含む。
According to an eighth aspect, the technical solution of the present application further provides a method for manufacturing a display panel. The display panel includes a substrate, a thin film transistor layer, a pixel defining layer, at least two encapsulating structures, and at least two pixel units. The at least two encapsulating structures are configured to encapsulate at least two pixel units, the pixel units including OLED light emitting components. This method is
manufacturing a substrate;
forming a thin film transistor layer on the substrate and providing a first via on the thin film transistor layer, the first via extending to a drain of the thin film transistor layer;
providing a second via on the thin film transistor layer, the second via extending to an inorganic material layer of the thin film transistor layer;
forming a pixel-defining layer and patterning the pixel-defining layer to form a pixel region and a side encapsulation region, the side encapsulation region being used to expose an inorganic material layer of the thin film transistor layer; The steps to be taken and
forming an OLED light emitting component in the pixel region, the OLED light emitting component being connected to the drain via the first via;
In order to obtain at least two independent encapsulation structures, on the side of the OLED light emitting component remote from the thin film transistor layer, a full surface encapsulation structure layer corresponding to the thin film transistor layer is formed; patterning the encapsulation structure and the inorganic material layer of the thin film transistor layer in sealing contact within the side encapsulation regions.

可能な実装形態では、画素定義層が形成される前に、本方法は、第1のカプセル化層上にアノードを形成するステップであって、アノードが第1のビアを介してドレインに接続される、ステップをさらに含む。アノードを形成するステップは、具体的には、第1のカプセル化層上にITO、Ag、およびITOを順に堆積させてアノード材料層を形成するステップと、アノードを得るために、アノード材料層をパターニングするステップであって、コーティングするステップ、露光するステップ、現像するステップ、エッチングするステップ、または剥離するステップのうちの1つまたは複数を含む、ステップと、を含む。 In a possible implementation, before the pixel-defining layer is formed, the method includes the step of forming an anode on the first encapsulation layer, the anode being connected to the drain via the first via. further comprising steps. Forming the anode includes, in particular, sequentially depositing ITO, Ag, and ITO on the first encapsulation layer to form an anode material layer; patterning, including one or more of coating, exposing, developing, etching, or stripping.

さらに、本方法は、画素定義層が形成された後、OLED発光コンポーネントが形成される前に、画素定義層上にフォトスペーサを形成するステップをさらに含んでもよい。 Additionally, the method may further include forming a photospacer on the pixel-defining layer after the pixel-defining layer is formed and before the OLED light emitting component is formed.

可能な実装形態では、すべてのOLED発光コンポーネントを関連付け、ディスプレイパネル全体の表示を制御するために、各OLED発光コンポーネントのカソードが金属線に接続されるように、画素定義層上に金属線をさらに形成することができる。あるいは、金属線が、第1のカプセル化層上に形成されていてもよいし、薄膜トランジスタ層の層構造上に形成されていてもよい。金属線を形成するステップは、具体的には、画素定義層が形成された後、Ti、Al、およびTiを順に堆積させて金属層を形成するステップと、金属線を得るために、金属層をパターニングするステップであって、コーティングするステップ、露光するステップ、現像するステップ、エッチングするステップ、または剥離するステップのうちの1つまたは複数を含む、ステップと、を含む。 A possible implementation further includes metal lines on the pixel-defining layer such that the cathode of each OLED light-emitting component is connected to the metal line to associate all OLED light-emitting components and control the display of the entire display panel. can be formed. Alternatively, the metal line may be formed on the first encapsulation layer or on the layer structure of the thin film transistor layer. Specifically, the step of forming a metal line includes, after the pixel defining layer is formed, sequentially depositing Ti, Al, and Ti to form a metal layer, and forming a metal layer to obtain a metal line. patterning the substrate, including one or more of coating, exposing, developing, etching, or stripping.

可能な実装形態では、カプセル化構造体を形成するステップは、具体的には、画素定義層およびOLED発光コンポーネント上にSiO、SiNx、またはAlの1つまたは複数を堆積させて、全表面カプセル化構造体層を形成するステップと、少なくとも2つの独立したカプセル化構造体を得るために全表面カプセル化構造体層をパターニングするステップであって、コーティングするステップ、露光するステップ、現像するステップ、エッチングするステップ、または剥離するステップのうちの1つまたは複数を含む、ステップと、を含む。 In possible implementations, forming the encapsulation structure specifically includes depositing one or more of SiO 2 , SiNx, or Al 2 O 3 on the pixel-defining layer and the OLED light emitting component; forming a full-surface encapsulation structure layer; and patterning the full-surface encapsulation structure layer to obtain at least two independent encapsulation structures, the steps comprising: coating, exposing, developing; and one or more of etching, etching, or stripping.

カプセル化構造体が形成された後、その後の層構造加工のための平坦な表面を提供するために、平坦化層が第2のカプセル化層上にさらに形成されてもよい。また、平坦化層は、平坦化層上に配置された他の膜層に異物が侵入することを防止するために、異物を覆ってもよい。 After the encapsulation structure is formed, a planarization layer may be further formed on the second encapsulation layer to provide a flat surface for subsequent layer structure processing. Further, the planarization layer may cover foreign matter in order to prevent foreign matter from entering other film layers disposed on the planarization layer.

可能な実装形態では、製造方法は、平坦化層上に第3のカプセル化層を形成するステップであって、第3のカプセル化層が複数のカプセル化ユニットを覆う、ステップをさらに含んでもよい。このようにして、ディスプレイパネル上に全表面カプセル化層が形成され、それにより、ディスプレイパネルの水-酸素バリア効果が向上する。 In possible implementations, the manufacturing method may further include forming a third encapsulation layer on the planarization layer, the third encapsulation layer covering the plurality of encapsulation units. . In this way, a full surface encapsulation layer is formed on the display panel, thereby improving the water-oxygen barrier effect of the display panel.

第9の態様によれば、本出願の技術的解決策は、ディスプレイパネルをさらに提供する。ディスプレイパネルは、基板として使用される基板と、薄膜トランジスタ層と、画素定義層と、少なくとも2つのカプセル化構造体と、少なくとも2つの画素ユニットとを含む。少なくとも2つのカプセル化構造体は、少なくとも2つの画素ユニットをカプセル化するように構成されてもよい。薄膜トランジスタ層は、基板上に配置され、画素定義層は薄膜トランジスタ層上に配置されており、画素定義層は画素領域および側部カプセル化領域を有する、側部カプセル化領域は、カプセル化構造体によってカプセル化された画素ユニットの周りに配置され、画素領域および側部カプセル化領域は、画素定義層に配置された貫通孔である。画素ユニットはOLED発光コンポーネントを含み、OLED発光コンポーネントは画素領域内に部分的にまたは完全に配置される。基板は、無機材料層を含み、側部カプセル化領域に対応する位置にビアが設けられ、ビアは無機材料層を露出させる。 According to a ninth aspect, the technical solution of the present application further provides a display panel. The display panel includes a substrate used as a substrate, a thin film transistor layer, a pixel defining layer, at least two encapsulating structures, and at least two pixel units. The at least two encapsulation structures may be configured to encapsulate at least two pixel units. A thin film transistor layer is disposed on the substrate, a pixel defining layer is disposed on the thin film transistor layer, the pixel defining layer has a pixel region and a side encapsulation region, the side encapsulation region is surrounded by an encapsulation structure. Disposed around the encapsulated pixel unit, the pixel region and the side encapsulation regions are through holes disposed in the pixel definition layer. The pixel unit includes an OLED light emitting component, the OLED light emitting component being partially or completely disposed within the pixel area. The substrate includes a layer of inorganic material and is provided with a via at a location corresponding to the side encapsulation region, the via exposing the layer of inorganic material.

無機材料層は、良好な水-酸素バリア効果を達成することができるので、基板の無機材料層は、カプセル化ユニットをカプセル化するためのカプセル化層として使用することができる。 Since the inorganic material layer can achieve a good water-oxygen barrier effect, the inorganic material layer of the substrate can be used as an encapsulation layer to encapsulate the encapsulation unit.

カプセル化構造体が特に配置される場合、カプセル化構造体は、OLED発光コンポーネントの、薄膜トランジスタ層から離れた側に配置される。カプセル化構造体は、側部カプセル化領域およびビアを貫通してもよく、側部カプセル化領域内の基板のビアから露出した無機材料層と封止接触している。 If the encapsulation structure is specifically arranged, the encapsulation structure is arranged on the side of the OLED light emitting component remote from the thin film transistor layer. The encapsulation structure may pass through the side encapsulation region and the via and is in sealing contact with the inorganic material layer exposed from the via of the substrate within the side encapsulation region.

本出願の技術的解決策では、少なくとも2つの画素ユニットをカプセル化するために少なくとも2つのカプセル化構造体を使用することにより、大きなカプセル化層が形成されるのを防止することができ、それにより、ディスプレイパネルを含むフレキシブルディスプレイが曲げられ、巻かれ、自由に変形されるなどのシナリオでカプセル化層に亀裂が入るときに生じる水-酸素浸入を効果的に回避することができる。また、基板の無機材料層を、カプセル化部をカプセル化するカプセル化層として用いることにより、ディスプレイパネルを加工するステップを効果的に削減することができ、ディスプレイパネルの曲げ特性が向上し、製造難易度や製造コストが低減される。加えて、本出願の本実施形態では、OLED発光コンポーネントをカプセル化することに加えて、カプセル化構造体は、平坦化層、ソース、ドレイン、層間絶縁層、金属間絶縁層、およびゲートなどの構造体のうちの1つまたは複数をさらにカプセル化することができる。これにより、カプセル化構造体が保護される。 The technical solution of the present application can prevent the formation of a large encapsulation layer by using at least two encapsulation structures to encapsulate at least two pixel units; This can effectively avoid the water-oxygen infiltration that occurs when the encapsulation layer cracks in scenarios such as when the flexible display including the display panel is bent, rolled, and freely deformed. In addition, by using the inorganic material layer of the substrate as an encapsulation layer that encapsulates the encapsulation part, the steps for processing the display panel can be effectively reduced, the bending properties of the display panel are improved, and the manufacturing Difficulty and manufacturing costs are reduced. Additionally, in this embodiment of the present application, in addition to encapsulating the OLED light emitting components, the encapsulation structure includes a planarization layer, a source, a drain, an interlayer dielectric layer, an intermetallic dielectric layer, and a gate. One or more of the structures can be further encapsulated. This protects the encapsulated structure.

本出願の一実施形態による電子デバイスの構造の概略図である。1 is a schematic diagram of the structure of an electronic device according to an embodiment of the present application; FIG. 本出願の一実施形態によるフレキシブルディスプレイの構造の概略図である。1 is a schematic diagram of the structure of a flexible display according to an embodiment of the present application; FIG. 実施形態に係るディスプレイパネルの構造の概略図である。FIG. 1 is a schematic diagram of a structure of a display panel according to an embodiment. 本出願の一実施形態によるディスプレイパネルの構造の概略図である。1 is a schematic diagram of the structure of a display panel according to an embodiment of the present application; FIG. 本出願の一実施形態によるOLED発光コンポーネントの構造の概略図である。1 is a schematic diagram of the structure of an OLED light emitting component according to an embodiment of the present application; FIG. 本出願の一実施形態によるカプセル化構造体の構造の概略図である。1 is a schematic diagram of the structure of an encapsulation structure according to an embodiment of the present application; FIG. 図6のA-A断面図である。7 is a sectional view taken along line AA in FIG. 6. FIG. 図6のB-B断面図である。7 is a sectional view taken along line BB in FIG. 6. FIG. 本出願の一実施形態によるLTPS-TFT基板の構造の概略図である。1 is a schematic diagram of the structure of an LTPS-TFT substrate according to an embodiment of the present application; FIG. 本出願の一実施形態による、第1のカプセル化層が形成されたディスプレイパネルの上面図である。1 is a top view of a display panel with a first encapsulation layer formed thereon, according to an embodiment of the present application; FIG. 本出願の一実施形態による、第1のカプセル化層が形成されたディスプレイパネルの断面図である。1 is a cross-sectional view of a display panel with a first encapsulation layer formed thereon, according to an embodiment of the present application; FIG. 本出願の一実施形態に係る、アノードが形成されたディスプレイパネルの断面図である。1 is a cross-sectional view of a display panel with an anode formed thereon, according to an embodiment of the present application; FIG. 本出願の一実施形態による画素定義層が形成されたディスプレイパネルの断面図である。1 is a cross-sectional view of a display panel with a pixel-defining layer formed thereon according to an embodiment of the present application; FIG. 本出願の一実施形態による、第3の金属グリッド線とカソードとの間の接続部の構造の概略図である。FIG. 3 is a schematic diagram of the structure of the connection between the third metal grid line and the cathode according to an embodiment of the present application; 図14のC-C断面図である。15 is a sectional view taken along the line CC in FIG. 14. FIG. 図14のD-D断面図である。15 is a sectional view taken along line DD in FIG. 14. FIG. 本出願の一実施形態に係るフォトスペーサが形成されたディスプレイパネルの断面図である。1 is a cross-sectional view of a display panel on which photo spacers are formed according to an embodiment of the present application. 本出願の一実施形態による、OLEDが形成されたディスプレイパネルの断面図である。1 is a cross-sectional view of a display panel with OLEDs formed thereon, according to an embodiment of the present application; FIG. 本出願の一実施形態による、第2のカプセル化層が形成されたディスプレイパネルの断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view of a display panel with a second encapsulation layer formed thereon, according to an embodiment of the present application. 本出願の別の実施形態による、第2のカプセル化層が形成されたディスプレイパネルの断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view of a display panel with a second encapsulation layer formed thereon, according to another embodiment of the present application. 本出願の実施形態に係る第2の平坦化層が形成されたディスプレイパネルの断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view of a display panel on which a second planarization layer is formed according to an embodiment of the present application. 本出願の一実施形態による、第3のカプセル化層が形成されたディスプレイパネルの断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view of a display panel with a third encapsulation layer formed thereon, according to an embodiment of the present application. 本出願の別の実施形態によるディスプレイパネルの構造の概略図である。FIG. 3 is a schematic diagram of the structure of a display panel according to another embodiment of the present application.

本出願の実施形態で提供されるディスプレイパネルの理解を容易にするために、以下では、まず、本出願の実施形態で提供されるディスプレイパネルの適用シナリオについて説明する。ディスプレイパネルは、携帯電話、タブレットコンピュータ、ウェアラブルデバイス、またはパームトップコンピュータ(personal digital assistant、PDA)などの電子デバイスに配置され得る。図1に示すように、電子デバイスは、一般に、ディスプレイ101、中間フレーム102、後部ハウジング103、およびプリント回路基板(printed circuit board、PCB 104)を含み得る。中間フレーム102は、プリント回路基板およびディスプレイ101を支持するように構成され得る。ディスプレイ101およびプリント回路基板は、中間フレーム102の両側に配置されている。後部ハウジング103は、プリント回路基板の、中間フレーム102から離れた側に配置されている。さらに、電子デバイスは、PCB 104上に配置されたコンポーネント1041をさらに含み得る。コンポーネント1041は、PCB 104の、中間フレーム102に面する側に配置されてもよいが、これに限定されない。本出願の実施形態で提供されるディスプレイパネルは、具体的には、電子デバイスのディスプレイ内に配置される。ディスプレイは、フレキシブルディスプレイであってもよいし、リジッドディスプレイであってもよい。フレキシブルディスプレイは、OLEDフレキシブルディスプレイまたは量子ドット発光ダイオード(quantum dot light emitting diode、QLED)フレキシブルディスプレイであってもよい。本出願の以下の実施形態では、ディスプレイがOLEDフレキシブルディスプレイである例が説明のために使用され、OLEDフレキシブルディスプレイの配置方法は、別の形態のディスプレイの配置方法と同様である。 In order to facilitate understanding of the display panel provided in the embodiments of the present application, the application scenario of the display panel provided in the embodiments of the present application will first be described below. The display panel may be placed on an electronic device such as a mobile phone, tablet computer, wearable device, or palmtop computer (personal digital assistant, PDA). As shown in FIG. 1, the electronic device may generally include a display 101, an intermediate frame 102, a rear housing 103, and a printed circuit board (PCB 104). Intermediate frame 102 may be configured to support a printed circuit board and display 101. A display 101 and a printed circuit board are arranged on either side of the intermediate frame 102. The rear housing 103 is located on the side of the printed circuit board remote from the intermediate frame 102. Furthermore, the electronic device may further include a component 1041 located on the PCB 104. Component 1041 may be placed on the side of PCB 104 facing intermediate frame 102, but is not limited thereto. The display panels provided in embodiments of the present application are specifically placed within a display of an electronic device. The display may be a flexible display or a rigid display. The flexible display may be an OLED flexible display or a quantum dot light emitting diode (QLED) flexible display. In the following embodiments of the present application, an example is used for explanation where the display is an OLED flexible display, and the way the OLED flexible display is arranged is similar to the way other forms of displays are arranged.

図2に示すように、本出願の本実施形態におけるOLEDフレキシブルディスプレイは、保護カバー201、偏光子202、タッチパネル203、ディスプレイパネル204、放熱層205、および保護層206を含み得るが、これらに限定されない。OLEDフレキシブルディスプレイの具体的な配置については、図2を参照されたい。偏光子202は保護カバー201に固定されており、タッチパネル203は偏光子202とディスプレイパネル204との間に配置されている。あるいは、タッチパネル203が保護カバー201に固定された後、タッチパネル203とディスプレイパネル204との間に偏光子202が配置されてもよい。 As shown in FIG. 2, the OLED flexible display in this embodiment of the present application may include, but is not limited to, a protective cover 201, a polarizer 202, a touch panel 203, a display panel 204, a heat dissipation layer 205, and a protective layer 206. Not done. Please refer to FIG. 2 for the specific arrangement of the OLED flexible display. Polarizer 202 is fixed to protective cover 201, and touch panel 203 is arranged between polarizer 202 and display panel 204. Alternatively, after the touch panel 203 is fixed to the protective cover 201, the polarizer 202 may be placed between the touch panel 203 and the display panel 204.

保護カバー201は、保護機能を実装し、ディスプレイの表示効果への影響を低減するために、透明なガラスカバーまたはポリイミドなどの有機材料で作られたカバーであってもよい。偏光子202は、アノード光の反射を回避するために、円偏光子であってもよい。タッチパネル203は、独立して配置されていてもよいし、ディスプレイパネル204と一体構造になっていてもよい。放熱層205は、放熱用の銅箔で構成されていてもよい。保護層206は、保護発泡体であってもよい。フレキシブルディスプレイの層構造は、光学的に透明な接着剤または不透明な感圧接着剤(図示せず)を用いて互いに接着されてもよい。さらに、ディスプレイパネル204には複数の画素ユニット(図示せず)が配置されているが、複数の画素ユニットは任意の形状であってよく、複数の画素ユニットの配置方法は本出願では限定されない。空気中の水蒸気や酸素等は、画素ユニットのOLED発光コンポーネントの寿命に大きく影響する。したがって、OLED発光コンポーネントのすべての機能層が大気中の水蒸気、酸素などから完全に分離されるように、ディスプレイパネル上の画素ユニットに対して厳密な水-酸素封止のカプセル化が行われる必要がある。 The protective cover 201 may be a transparent glass cover or a cover made of organic material, such as polyimide, to implement the protective function and reduce the impact on the display effect of the display. Polarizer 202 may be a circular polarizer to avoid reflection of anode light. The touch panel 203 may be arranged independently or may have an integral structure with the display panel 204. The heat dissipation layer 205 may be made of copper foil for heat dissipation. Protective layer 206 may be a protective foam. The layered structure of the flexible display may be adhered to each other using an optically clear adhesive or an opaque pressure sensitive adhesive (not shown). Furthermore, although a plurality of pixel units (not shown) are arranged on the display panel 204, the plurality of pixel units may have any shape, and the method of arranging the plurality of pixel units is not limited in this application. Water vapor, oxygen, etc. in the air greatly affect the lifespan of the OLED light-emitting components of the pixel unit. Therefore, strict water-oxygen encapsulation must be performed for the pixel units on the display panel so that all functional layers of the OLED light-emitting component are completely isolated from atmospheric water vapor, oxygen, etc. There is.

図3は、典型的なOLEDフレキシブルディスプレイのディスプレイパネルを示す。ディスプレイパネルは、上部カプセル化層301および下部カプセル化層302を有する。本実施形態において、ディスプレイパネルの「上部」とは、ディスプレイパネルが使用されるときにユーザにより近い側を意味する。上部カプセル化層301は、ディスプレイパネル全体を覆う一体構造であり、第1の無機層3011と、第2の無機層3012と、第1の無機層3011と第2の無機層3012との間に配置されたフレキシブルサンドイッチ層3013とを有する。第1の無機層3011および第2の無機層3012は、化学気相成長(chemical vapor deposition、CVD)法により製造されたSiO層またはSiNx層であってもよい。フレキシブルサンドイッチ層3013は、ポリイミド(polyimide、PI)またはインクジェット印刷(ink jet print、IJP)技術を使用して形成された硬化ポリエステルポリマー有機層であってもよい。SiOまたはSiNx層は、主に水-酸素バリアを実装するように構成され、フレキシブルサンドイッチ層3013は、応力を解放し、柔軟性を向上させ、異物によって引き起こされるカプセル化不良を低減するために、ある程度水-酸素バッファを実装することができる。上部カプセル化層301は、全表面構造であり、構造は剛性構造である。上部カプセル化層が曲げられると、上部カプセル化層にかかる応力が比較的大きくなり、亀裂が発生しやすくなる。この場合、第1の無機層3011または第2の無機層3012に亀裂が発生した場合、両無機層の間の有機層に亀裂が発生しているか否かに関わらず、ディスプレイパネルの画素ユニットおよびカソード層のOLED発光コンポーネントに水および酸素が侵入する。その結果、OLED発光コンポーネントが不良となるか、またはカソードが電気的特徴を失い、OLEDフレキシブルディスプレイ上に黒点が発生する。また、上部カプセル化層301は全表面構造であるため、亀裂からディスプレイパネル内に侵入した水や酸素は、隣接する画素ユニット間で拡散する。その結果、複数のOLED発光コンポーネントが不良となるか、または複数のOLED発光コンポーネントのカソードが電気的特徴を失い、深刻にはOLEDフレキシブルディスプレイ全体が表示に支障をきたす。 FIG. 3 shows a typical OLED flexible display display panel. The display panel has a top encapsulation layer 301 and a bottom encapsulation layer 302. In this embodiment, the "top" of the display panel means the side closer to the user when the display panel is in use. The upper encapsulation layer 301 is a monolithic structure that covers the entire display panel, and includes a first inorganic layer 3011, a second inorganic layer 3012, and a layer between the first inorganic layer 3011 and the second inorganic layer 3012. and a flexible sandwich layer 3013 arranged therein. The first inorganic layer 3011 and the second inorganic layer 3012 may be a SiO 2 layer or a SiNx layer manufactured by a chemical vapor deposition (CVD) method. The flexible sandwich layer 3013 may be a polyimide (PI) or a cured polyester polymer organic layer formed using ink jet print (IJP) technology. The SiO 2 or SiN , a water-oxygen buffer can be implemented to some extent. The upper encapsulation layer 301 is a full surface structure and the structure is a rigid structure. When the upper encapsulation layer is bent, the stress on the upper encapsulation layer becomes relatively large and cracks are more likely to occur. In this case, if a crack occurs in the first inorganic layer 3011 or the second inorganic layer 3012, the pixel unit of the display panel and Water and oxygen enter the OLED light emitting components of the cathode layer. As a result, the OLED light emitting component becomes defective or the cathode loses electrical characteristics, resulting in black spots on the OLED flexible display. Additionally, since the upper encapsulation layer 301 has a full surface structure, water and oxygen that enter the display panel through cracks will diffuse between adjacent pixel units. As a result, the OLED light-emitting components become defective or the cathodes of the OLED light-emitting components lose their electrical characteristics, and seriously, the entire OLED flexible display has trouble displaying.

加えて、下部カプセル化層302は、一般に、ディスプレイパネルの基板内の第1の基板材料層PI 1および第2の基板材料層PI 2(第1の基板材料層PI 1および第2の基板材料層PI 2の両方がポリイミドポリマー有機層であってもよい)と、第1の基板材料層PI 1と第2の基板材料層PI 2との間に配置されたバリア層3021とを含む一体構造である。バリア層3021は、一般にSiOまたはSiNx層である。下部カプセル化層302は、全表面構造であり、構造も剛性構造である。下部カプセル化層が曲げられると、亀裂も発生しやすくなる。下部カプセル化層302に亀裂が発生すると、水および酸素も亀裂に沿ってOLED発光コンポーネントに入る。その結果、OLEDフレキシブルディスプレイ上にブロックスポットが発生する。また、下部カプセル化層302は全表面構造であるため、亀裂からディスプレイパネル内に侵入した水や酸素は、隣接する画素ユニット間で拡散する。その結果、複数のOLED発光コンポーネントが不良となるか、または複数のOLED発光コンポーネントのカソードが電気的特徴を失い、深刻にはOLEDフレキシブルディスプレイ全体が表示に支障をきたす。 In addition, the lower encapsulation layer 302 generally includes a first substrate material layer PI 1 and a second substrate material layer PI 2 (the first substrate material layer PI 1 and the second substrate material layer PI 2 in the substrate of the display panel). both of the layers PI 2 may be polyimide polymer organic layers) and a barrier layer 3021 arranged between the first substrate material layer PI 1 and the second substrate material layer PI 2 It is. Barrier layer 3021 is typically a SiO 2 or SiNx layer. The lower encapsulation layer 302 is a full surface structure and a rigid structure. When the lower encapsulation layer is bent, it is also more prone to cracking. When a crack occurs in the lower encapsulation layer 302, water and oxygen also enter the OLED light emitting component along the crack. As a result, block spots occur on the OLED flexible display. Additionally, since the lower encapsulation layer 302 has a full surface structure, water and oxygen that enter the display panel through cracks will diffuse between adjacent pixel units. As a result, the OLED light-emitting components become defective or the cathodes of the OLED light-emitting components lose their electrical characteristics, and seriously, the entire OLED flexible display has trouble displaying.

そのため、OLEDフレキシブルディスプレイが曲げられたり、折り畳まれたりすると、亀裂から水や酸素が侵入し、OLED発光コンポーネントの腐食の原因となる。その結果、OLED発光コンポーネントの電源を入れることができず、またはOLED発光コンポーネントが劣化し、その結果、発光することができない。 Therefore, when the OLED flexible display is bent or folded, water and oxygen can enter through the cracks, causing corrosion of the OLED light-emitting components. As a result, the OLED light emitting component cannot be powered on or the OLED light emitting component is degraded and, as a result, cannot emit light.

上記の問題を解決するために、本出願の一実施形態は、ディスプレイパネルが曲げられ、巻かれ、自由に変形されるなどのシナリオにおいてカプセル化層に亀裂が入るときに生じる水-酸素浸入を解決し、フレキシブルディスプレイ上の黒点などの不良問題を軽減するために、ディスプレイパネルを提供する。以下に添付図面を参照して、ディスプレイパネルの構造を詳細に説明する。 To solve the above problem, one embodiment of the present application eliminates water-oxygen infiltration that occurs when the encapsulation layer cracks in scenarios such as when the display panel is bent, rolled, and freely deformed. To provide a display panel to solve and alleviate defective problems such as black spots on flexible displays. The structure of the display panel will be described in detail below with reference to the accompanying drawings.

図4に示すように、本出願の一実施形態はディスプレイパネルを提供する。ディスプレイパネルは、基板、薄膜トランジスタ層、画素定義層412、画素ユニット、およびカプセル化構造体を含む。薄膜トランジスタ層は、基板上に配置されている。画素定義層は、薄膜トランジスタ層上に配置されている。図4に示すように、本出願の本実施形態では、基板は、薄膜トランジスタ層などの上層ごとにフレキシブルベアラを提供することができる。基板は、下から上に順に積層された第1の基板材料層PI 1、バリア層402、および第2の基板材料層PI 2を含み得るが、これらに限定されない(本実施形態では、ディスプレイパネルの「上部」とは、ディスプレイパネルが使用されるときにユーザにより近い側を意味する。)。具体的には、第1の基板材料層PI 1の材料は、フレキシブルポリイミド基板材料であってもよいし、ポリエチレンテレフタレート(polyethylene terephthalate、PET)、紙、金属、極薄ガラス等のフレキシブル材料であってもよく、バリア(barrier)層402は、水および酸素バリアを実行するように構成されてもよく、第2の基板材料層PI 2の材料も、フレキシブルポリイミド基板材料であってもよいし、ポリエチレンテレフタレート(polyethylene terephthalate、PET)、紙、金属、極薄ガラス等のフレキシブル材料であってもよい。本出願のいくつかの実施形態では、基板の構造を単純化するために、基板内のバリア層402または第2の基板材料層PI 2は、代替的に省略されてもよい。 As shown in FIG. 4, one embodiment of the present application provides a display panel. The display panel includes a substrate, a thin film transistor layer, a pixel definition layer 412, a pixel unit, and an encapsulation structure. A thin film transistor layer is disposed on the substrate. A pixel definition layer is disposed on the thin film transistor layer. As shown in FIG. 4, in this embodiment of the present application, the substrate may provide flexible bearers for each upper layer, such as a thin film transistor layer. The substrate may include, but is not limited to, a first substrate material layer PI 1, a barrier layer 402, and a second substrate material layer PI 2 stacked in order from bottom to top (in this embodiment, the display panel "Top" means the side closer to the user when the display panel is in use). Specifically, the material of the first substrate material layer PI 1 may be a flexible polyimide substrate material, or a flexible material such as polyethylene terephthalate (PET), paper, metal, or ultra-thin glass. The barrier layer 402 may be configured to perform a water and oxygen barrier, and the material of the second substrate material layer PI 2 may also be a flexible polyimide substrate material; It may also be a flexible material such as polyethylene terephthalate (PET), paper, metal, ultra-thin glass, or the like. In some embodiments of the present application, the barrier layer 402 or the second substrate material layer PI 2 in the substrate may alternatively be omitted to simplify the structure of the substrate.

薄膜トランジスタ層が特に配置される場合、薄膜トランジスタ層は、バッファ層403、活性層、ゲート絶縁体層405、ゲートG、第1の金属グリッド線M1、金属間絶縁層406、金属キャパシタ407、層間絶縁層408、ソースS、ドレインD、第2の金属グリッド線M2、および第1の平坦化層409のうちの1つまたは複数を含み得る。これは、本出願の本実施形態では限定されない。 When the thin film transistor layer is specifically arranged, the thin film transistor layer includes a buffer layer 403, an active layer, a gate insulator layer 405, a gate G, a first metal grid line M1, an intermetal insulating layer 406, a metal capacitor 407, an interlayer insulating layer. 408, a source S, a drain D, a second metal grid line M2, and a first planarization layer 409. This is not limited in this embodiment of the present application.

任意選択的に、本出願の本実施形態では、例として低温ポリシリコン(low temperature poly silicon、LTPS)薄膜トランジスタ(thin film transistor、TFT)が使用される。薄膜トランジスタ層は、ゲート絶縁体層405、金属間絶縁層406、層間絶縁層408、および第1の平坦化層409を含んでもよい。任意選択的に、薄膜トランジスタ層は、バッファ層403、ゲート絶縁体層405、金属間絶縁層406、層間絶縁層408、および第1の平坦化層409を含んでもよい。任意選択的に、薄膜トランジスタ層は、バッファ層403、活性層、ゲート絶縁体層405、ゲートG、金属間絶縁層406、層間絶縁層408、ソースS、ドレインD、および第1の平坦化層409を含んでもよい。本出願の本実施形態では、薄膜トランジスタ層は、バッファ層403、活性層、ゲート絶縁体層405、ゲートG、第1の金属グリッド線M1、金属間絶縁層406、金属キャパシタ407、層間絶縁層408、ソースS、ドレインD、第2の金属グリッド線M2、および第1の平坦化層409を含む。図4を参照されたい。以下、本出願の本実施形態における薄膜トランジスタ層の各層構造について詳細に説明する。 Optionally, in this embodiment of the present application, a low temperature poly silicon (LTPS) thin film transistor (TFT) is used as an example. The thin film transistor layer may include a gate insulator layer 405, an intermetal dielectric layer 406, an interlayer dielectric layer 408, and a first planarization layer 409. Optionally, the thin film transistor layer may include a buffer layer 403, a gate insulator layer 405, an intermetal dielectric layer 406, an interlayer dielectric layer 408, and a first planarization layer 409. Optionally, the thin film transistor layers include a buffer layer 403, an active layer, a gate insulator layer 405, a gate G, an intermetal insulating layer 406, an interlayer insulating layer 408, a source S, a drain D, and a first planarization layer 409. May include. In this embodiment of the present application, the thin film transistor layers include a buffer layer 403, an active layer, a gate insulator layer 405, a gate G, a first metal grid line M1, an intermetal insulating layer 406, a metal capacitor 407, an interlayer insulating layer 408 , a source S, a drain D, a second metal grid line M2, and a first planarization layer 409. Please refer to FIG. 4. Hereinafter, each layer structure of the thin film transistor layer in this embodiment of the present application will be described in detail.

バッファ(buffer)層403は、不純物イオンが基板上に配置された薄膜トランジスタ層の特徴に影響を及ぼすのを防止し、さらに水-酸素バリアを実行するように構成されてもよい。 Buffer layer 403 may be configured to prevent impurity ions from affecting the characteristics of thin film transistor layers disposed on the substrate and also to perform a water-oxygen barrier.

活性層は、P-SiおよびLTPSを主成分とする。活性層はTFT半導体層であり、半導体スイッチおよび導電線は異なるドーピングに基づいて形成されてもよい。図4に示すように、図4の活性層の中央部のP-Siは半導体スイッチを表すために使用されており、P-Siの両側の2箇所がソースSおよびドレインDをP-Siに接続するための導電線となる導体である。 The active layer is mainly composed of P-Si and LTPS. The active layer is a TFT semiconductor layer, and the semiconductor switches and conductive lines may be formed based on different doping. As shown in FIG. 4, the P-Si in the center of the active layer in FIG. 4 is used to represent a semiconductor switch, and two locations on both sides of the P-Si connect the source S and drain D to the P-Si. A conductor that becomes a conductive wire for connection.

ゲート絶縁体(gate insulator)層405は、活性層をゲートGから絶縁分離してもよい。 A gate insulator layer 405 may isolate the active layer from the gate G.

ゲート(gate)Gは、ゲート絶縁体層405上に形成され、TFTコンポーネントスイッチとして用いられる。例えば、P型TFTの場合、ゲートに負電圧が印加されると、ソースおよびドレインに比較的大きな電流が存在し、TFTはオン状態を呈し、または、ゲートに正の電圧が印加されると、ソースおよびドレイン上に弱いリーク電流しか存在せず、TFTはオフ状態を呈し、N型TFTの場合、ゲートに負電圧が印加されると、ソースおよびドレインには弱いリーク電流しか存在せず、TFTはオフ状態を呈し、または、ゲートに正電圧が印加されると、ソースおよびドレインに比較的大きな電流が存在し、TFTはオン状態を呈する。 A gate G is formed on the gate insulator layer 405 and is used as a TFT component switch. For example, in the case of a P-type TFT, when a negative voltage is applied to the gate, a relatively large current exists in the source and drain, and the TFT exhibits an on state, or when a positive voltage is applied to the gate, There is only a weak leakage current on the source and drain, and the TFT exhibits an off state, and for N-type TFT, when a negative voltage is applied to the gate, there is only a weak leakage current on the source and drain, and the TFT exhibits an off-state, or when a positive voltage is applied to the gate, a relatively large current exists in the source and drain, and the TFT exhibits an on-state.

第1の金属グリッド線M1は、ゲート絶縁体層405上に形成され、通常、走査線となるゲートGと共に形成されてもよい。画面ディスプレイはプログレッシブスキャニングディスプレイであるため、TFTゲートスイッチを行ごとにオンにするために、走査線がすべての行のTFTスイッチゲートを接続し、データ線信号および電力線信号が各行の情報をリフレッシュすることを可能にする。 The first metal grid line M1 is formed on the gate insulator layer 405 and may be formed together with the gate G, which typically becomes a scan line. The screen display is a progressive scanning display, so the scanning line connects the TFT switch gates of all rows to turn on the TFT gate switches row by row, and the data line signal and power line signal refresh the information of each row. make it possible.

金属間絶縁(inner metal dielectric、IMD)層406は、第1の金属グリッド線M1と金属キャパシタ(metal capacitance、MC)407との間の絶縁体層、および金属キャパシタ407の絶縁層として使用されてもよい。 An inner metal dielectric (IMD) layer 406 is used as an insulating layer between the first metal grid line M1 and a metal capacitor (MC) 407, and as an insulating layer of the metal capacitor 407. Good too.

金属キャパシタ407は、静電容量式の電源オン板および他の駆動線として用いられ、第1の金属グリッド線M1は、静電容量式の電源ダウン板として用いられてもよい。 The metal capacitor 407 may be used as a capacitive power-on board and other drive lines, and the first metal grid line M1 may be used as a capacitive power-down board.

層間絶縁(inner layer dielectric、ILD)層408は、ゲートGとソースおよびドレインとの間の絶縁体層として用いられる。 An inner layer dielectric (ILD) layer 408 is used as an insulator layer between the gate G and the source and drain.

ソース(source)Sは、層間絶縁層408上に形成され、活性層に接続されている。ソースSが活性層に接続された後、回路接続を実装するためにオーミックコンタクトが形成される。 A source S is formed on the interlayer insulating layer 408 and connected to the active layer. After the source S is connected to the active layer, ohmic contacts are formed to implement the circuit connection.

ドレイン(drain)Dは、層間絶縁層408上に形成され、活性層に接続されている。ドレインDが活性層に接続された後、回路接続を実装するためにオーミックコンタクトが形成される。 A drain D is formed on the interlayer insulating layer 408 and connected to the active layer. After the drain D is connected to the active layer, an ohmic contact is formed to implement the circuit connection.

第2の金属グリッド線M2は、層間絶縁層408においてビア4081を介して金属キャパシタ407に接続されている。層間絶縁層408は、M2と金属キャパシタ407などの構造体との間の絶縁体層として用いられてもよい。また、第2の金属グリッド線M2は、ソースSおよびドレインDと共に形成されてもよく、データ信号や電力信号等を伝送するために、ソースSおよびドレインDの駆動線として用いられる。具体的には、データ信号および電力信号は、集積回路(integrated circuit chip、IC)を介して提供され、通常、第2の金属グリッド線M2を介して伝送される。伝送方向は、通常、列伝送の走査線方向に対して垂直である。各列の画素は、伝送のために列内のTFTソースSまたはドレインDに接続される独立したデータ線を有する。電力信号も、伝送のために各列のTFTソースSまたはドレインDにアクセスされる。しかしながら、データ線とは異なり、電力信号は比較的単純な直流信号または固定値パルス信号である。そのため、通常、すべての電力線を短絡して統一的に伝送する。 The second metal grid line M2 is connected to the metal capacitor 407 via a via 4081 in the interlayer insulating layer 408. Interlayer dielectric layer 408 may be used as an insulator layer between M2 and a structure such as metal capacitor 407. Further, the second metal grid line M2 may be formed together with the source S and drain D, and is used as a drive line for the source S and drain D to transmit data signals, power signals, and the like. Specifically, data and power signals are provided via an integrated circuit chip (IC) and typically transmitted via a second metal grid line M2. The transmission direction is typically perpendicular to the scan line direction of column transmission. Each column of pixels has an independent data line connected to the TFT source S or drain D in the column for transmission. Power signals are also accessed to the TFT sources S or drains D of each column for transmission. However, unlike data lines, power signals are relatively simple DC signals or fixed value pulse signals. Therefore, all power lines are usually short-circuited for unified transmission.

第1の平坦化(planarization、PLN)層409は、基板電極の変動に対する平坦化、絶縁、位相保護の機能を有する。 The first planarization (PLN) layer 409 has the functions of planarization, insulation, and phase protection against variations in the substrate electrode.

画素定義層412が特に設けられる場合、画素定義層412は、薄膜トランジスタ層上にスリットコートを介してフォトレジスト系の有機物を塗布することによって形成された層構造であってもよい。加えて、画素領域4121および側部カプセル化領域4122は、画素定義層412に対する、露光または現像などの加工によって得ることができる。画素領域4121および側部カプセル化領域4122はそれぞれ、画素定義層412を貫通するホール構造であってもよく、側部カプセル化領域4122は、カプセル化構造体によってカプセル化された画素ユニットの周りに配置される。 When the pixel defining layer 412 is specifically provided, the pixel defining layer 412 may be a layered structure formed by applying a photoresist-based organic material onto the thin film transistor layer through a slit coating. In addition, the pixel region 4121 and the side encapsulation region 4122 can be obtained by processing the pixel definition layer 412, such as exposure or development. The pixel region 4121 and the side encapsulation region 4122 may each be a hole structure passing through the pixel defining layer 412, and the side encapsulation region 4122 is formed around the pixel unit encapsulated by the encapsulation structure. Placed.

画素ユニットは、ディスプレイパネルの表示機能を実装するための最小単位であり、OLED発光コンポーネントを含む。OLED発光コンポーネントは、画素領域内に配置されてもよい。図5は、本出願の一実施形態によるOLED発光コンポーネントの層構造の概略図である。OLED発光コンポーネントは、順に積層されたアノード(anode)411、正孔注入層(hole injection layer、HIL)414、正孔輸送層(hole transport layer、HTL)415、発光層(emission layer、EL)416、電子輸送層(electron transport layer、ETL)417、カソード(cathode)418、およびキャップ層(capping layer、CPL)419を含み得るが、これらに限定されない。図4および図5を併せて参照されたい。OLED発光コンポーネントの各層構造を製造する処理では、各層構造を形成するために使用される材料は流体であるため、製造処理の管理および制御の困難さを軽減するために、一部の材料は画素領域4121の外側に広がるが、OLED発光コンポーネントの発光効果は影響を受けないことが理解されよう。本出願の本実施形態では、OLED発光コンポーネントが画素領域内に部分的に配置される例が説明のために使用されることに留意されたい。あるいは、OLED発光コンポーネントは、画素領域内に完全に配置されてもよい。これは、本出願の本実施形態では限定されない。 A pixel unit is the smallest unit for implementing the display function of a display panel, and includes an OLED light emitting component. The OLED light emitting component may be located within the pixel area. FIG. 5 is a schematic diagram of a layer structure of an OLED light emitting component according to an embodiment of the present application. The OLED light emitting component includes an anode 411, a hole injection layer (HIL) 414, a hole transport layer (HTL) 415, and an emission layer (EL) 416, which are stacked in order. , an electron transport layer (ETL) 417, a cathode 418, and a capping layer (CPL) 419. Please refer to FIGS. 4 and 5 together. In the process of manufacturing each layer structure of OLED light emitting components, the materials used to form each layer structure are fluids, so some materials are It will be appreciated that although extending outside the region 4121, the light emitting effect of the OLED light emitting component is not affected. It is noted that in this embodiment of the present application, an example is used for explanation in which the OLED light emitting component is partially located within the pixel area. Alternatively, the OLED light emitting component may be placed completely within the pixel area. This is not limited in this embodiment of the present application.

カプセル化構造体が特に配置される場合、カプセル化構造体は画素ユニットと1対1に対応し得る。例えば、各画素ユニットは、1つのカプセル化構造体によってカプセル化される。具体的には、カプセル化構造体は、第1のカプセル化層410および第2のカプセル化層420を含む。第1のカプセル化層410は、OLED発光コンポーネントと薄膜トランジスタ層との間に配置され、画素定義層412の側部カプセル化領域4122から露出されてもよい。図4から、第2のカプセル化層420は画素ユニットを覆い、第2のカプセル化層420は、第1のカプセル化層410と封止接触するように側部カプセル化領域4122を貫通することが分かる。このようにして、各画素ユニットは、各画素ユニットが独立してカプセル化されるように、第1のカプセル化層410および第2のカプセル化層420によって包まれる。さらに、画素定義層412は、2つの隣接するカプセル化構造体の間に形成される。画素定義層412の材料は有機材料であり、フレキシブル材料であるため、隣接するカプセル化構造体はフレキシブルに接続され得る。したがって、本出願における技術的解決策は、ディスプレイパネル上に大きなカプセル化層が形成されるのを防止することができ、ディスプレイパネルを含むOLEDフレキシブルディスプレイが曲げられ、巻かれ、自由に変形されるなどのシナリオでカプセル化層に亀裂が入るときに生じる水-酸素浸入を効果的に回避することができる。本実施形態では、第1のカプセル化層410の材料は、SiO、SiNx、またはAlなどの無機材料であってもよいが、これらに限定されず、第2のカプセル化層420の材料もまた、SiO、SiNx、またはAlなどの無機材料であってもよいが、これらに限定されない。これにより、比較的良好な水-酸素バリア効果が達成される。第1のカプセル化層410および第2のカプセル化層420は、単層の無機カプセル化層であってもよいし、無機層と有機層とが交互に積層された多層積層構造のカプセル化層であってもよく、例えば、無機層と有機層と無機層とが順に積層された三層構造であってもよいし、無機層と有機層と無機層とが順に積層された四層構造であってもよいし、積層された五層以上の五層構造であってもよいことが理解されよう。 If the encapsulation structure is specifically arranged, the encapsulation structure may have a one-to-one correspondence with the pixel unit. For example, each pixel unit is encapsulated by one encapsulation structure. Specifically, the encapsulation structure includes a first encapsulation layer 410 and a second encapsulation layer 420. A first encapsulation layer 410 is disposed between the OLED light emitting component and the thin film transistor layer and may be exposed from side encapsulation regions 4122 of the pixel definition layer 412. From FIG. 4, the second encapsulation layer 420 covers the pixel unit, and the second encapsulation layer 420 penetrates the side encapsulation region 4122 to make sealing contact with the first encapsulation layer 410. I understand. In this way, each pixel unit is encapsulated by a first encapsulation layer 410 and a second encapsulation layer 420 such that each pixel unit is independently encapsulated. Additionally, a pixel definition layer 412 is formed between two adjacent encapsulation structures. The material of the pixel defining layer 412 is an organic material and is a flexible material, so that adjacent encapsulation structures can be flexibly connected. Therefore, the technical solution in this application can prevent the formation of a large encapsulation layer on the display panel, and the OLED flexible display including the display panel can be bent, rolled and deformed freely. The water-oxygen infiltration that occurs when the encapsulation layer cracks in such scenarios can be effectively avoided. In this embodiment, the material of the first encapsulation layer 410 may be an inorganic material such as, but not limited to, SiO 2 , SiNx, or Al 2 O 3 , and the material of the second encapsulation layer 420 The material may also be an inorganic material such as, but not limited to, SiO 2 , SiNx, or Al 2 O 3 . This achieves a relatively good water-oxygen barrier effect. The first encapsulation layer 410 and the second encapsulation layer 420 may be a single-layer inorganic encapsulation layer, or may be an encapsulation layer with a multilayer laminate structure in which inorganic layers and organic layers are alternately laminated. For example, it may have a three-layer structure in which an inorganic layer, an organic layer, and an inorganic layer are laminated in order, or a four-layer structure in which an inorganic layer, an organic layer, and an inorganic layer are laminated in order. It will be understood that a five-layer structure of five or more laminated layers may be used.

各画素ユニットは、1つのカプセル化構造体によって独立してカプセル化されているので、ディスプレイパネル上に大きなカプセル化層が形成されることを防止することができる。カプセル化構造体は互いに独立している。ディスプレイパネルがOLEDフレキシブルディスプレイに適用される場合、OLEDフレキシブルディスプレイが任意の方向に10万回を超えて曲げられても、ディスプレイパネルは依然として良好なカプセル化機能を有することができる。したがって、本出願の本実施形態におけるディスプレイパネルは、OLEDフレキシブルディスプレイが曲げられ、巻かれ、自由に変形されるなどの適用シナリオにおけるカプセル化層の亀裂リスクを低減することができ、それにより、水および酸素がカプセル化層を通って浸透し、ディスプレイパネルに入るときに生じるフレキシブルディスプレイの表示不良の問題を回避することができる。加えて、各画素ユニットが独立してカプセル化されるので、任意のカプセル化構造体に入る水および酸素が隣接するOLED発光コンポーネント間で拡散するのをさらに防ぐことができ、それによって隣接するOLED発光コンポーネントの発光性能が影響を受けるのを防ぐことができる。 Since each pixel unit is independently encapsulated by one encapsulation structure, forming a large encapsulation layer on the display panel can be prevented. Encapsulation structures are independent of each other. When the display panel is applied to an OLED flexible display, even if the OLED flexible display is bent in any direction more than 100,000 times, the display panel can still have a good encapsulation function. Therefore, the display panel in this embodiment of the present application can reduce the risk of cracking of the encapsulation layer in application scenarios such as when the OLED flexible display is bent, rolled and freely deformed, thereby reducing the risk of cracking of the encapsulation layer. and can avoid the problem of display defects in flexible displays that occur when oxygen permeates through the encapsulation layer and enters the display panel. Additionally, since each pixel unit is independently encapsulated, water and oxygen entering any encapsulation structure can be further prevented from diffusing between adjacent OLED light emitting components, thereby The light emitting performance of the light emitting component can be prevented from being affected.

加えて、複数の画素ユニット(複数の画素ユニットの数は、ディスプレイパネル上の画素ユニットの総数よりも少ない)は、代替的に、1つのカプセル化構造体によってカプセル化されてもよいことに留意されたい。カプセル化構造体は、任意の形状であってもよい。図6を参照されたい。例えば、固定された単一の折り畳み方向(図中の矢印を有する曲線は折り畳み方向を示す)を有するディスプレイパネルの場合、すべての画素ユニットは、画素ユニットカプセル化を実装するための列状または行状のカプセル化構造体を形成するように、折り畳み方向に沿って列または行にグループ化されてもよい。これにより、ディスプレイパネルの固定された単一の折り畳み方向におけるディスプレイパネルの折り畳み性能を効果的に向上させることができる。加えて、各画素ユニットを独立してカプセル化する実施形態と比較して、画素ユニットカプセル化を実装するために列状または行状のカプセル化構造体を形成する本実施形態は、製造困難性および製造コストを効果的に低減することができる。引き続き図6を参照されたい。本出願のいくつかの他の実施形態では、いくつかの隣接する画素ユニットは、1つのカプセル化構造体(図中の一点鎖線矩形ボックスを参照)によってカプセル化されてもよい。一般に、ディスプレイパネル上には比較的大量の画素ユニットがあり、いくつかの隣接する画素ユニットをカプセル化するためのカプセル化構造体の面積は、ディスプレイパネル全体の面積よりも小さい。したがって、本実施形態におけるカプセル化方法はまた、ディスプレイパネルの曲げ要件に適合し、良好なカプセル化特徴を実装することができる。各画素ユニットが独立してカプセル化されるか、またはディスプレイパネル上の画素ユニットの総数よりも少ない数の複数の画素ユニットが1つのカプセル化構造体によってカプセル化されることが、ディスプレイパネル上の画素ユニットについて説明される。したがって、本出願では、前述の2つのカプセル化構造体は両方とも画素レベルのカプセル化構造体と呼ばれる。 Additionally, note that multiple pixel units (the number of multiple pixel units is less than the total number of pixel units on the display panel) may alternatively be encapsulated by one encapsulation structure. I want to be The encapsulating structure may be of any shape. Please refer to FIG. For example, for a display panel with a fixed single folding direction (the curve with an arrow in the figure indicates the folding direction), all pixel units are arranged in columns or rows to implement pixel unit encapsulation. may be grouped into columns or rows along the folding direction to form an encapsulated structure of. Thereby, the folding performance of the display panel in a single fixed folding direction of the display panel can be effectively improved. In addition, compared to embodiments that encapsulate each pixel unit independently, the present embodiment of forming column or row encapsulation structures to implement pixel unit encapsulation presents manufacturing difficulties and Manufacturing costs can be effectively reduced. Please continue to refer to FIG. In some other embodiments of the present application, several adjacent pixel units may be encapsulated by one encapsulation structure (see dash-dotted rectangular box in the figure). Generally, there are a relatively large number of pixel units on a display panel, and the area of an encapsulation structure for encapsulating several adjacent pixel units is smaller than the area of the entire display panel. Therefore, the encapsulation method in this embodiment can also meet the bending requirements of the display panel and implement good encapsulation features. On the display panel, each pixel unit is independently encapsulated, or multiple pixel units less than the total number of pixel units on the display panel are encapsulated by one encapsulation structure. A pixel unit will be explained. Therefore, in this application, both of the aforementioned two encapsulation structures are referred to as pixel-level encapsulation structures.

ディスプレイパネル上の画素レベルのカプセル化構造体によってカプセル化されたOLED発光コンポーネント間の電気的接続を実装して、ディスプレイパネル全体のディスプレイを制御するために、ディスプレイパネル上に金属線をさらに配置することができる。金属線が特に配置される場合、金属線は、図4の第3の金属グリッド線M3であってもよい。図6を参照すると、各画素ユニットのOLED発光コンポーネントのカソード418は、第3の金属グリッド線M3に接続されている。このようにして、図5に示すように、正孔は、アノード411を使用して、各OLED発光コンポーネントの正孔注入層414および正孔輸送層415を順に貫通し、その後、発光層416に到達することができる。電子は、カソード418から電子輸送層417を通って発光層416に到達することができる。発光層416上では、正孔と電子とが互いに結合されて励起状態の励起子を形成している。励起子は、発光層416上の有機発光分子にエネルギーを伝達し、有機発光分子の電子を励起して基底状態から励起状態に遷移させる。励起状態の電子線を失活させ、光子を発生させて発光させる。すべてのOLED発光コンポーネントのカソード418が第3の金属グリッド線M3を介して接続されているので、第3の金属グリッド線M3は、カソード駆動信号をすべてのOLED発光コンポーネントのカソード418に同時に送信して、同期カソード信号制御を実施することができる。第3の金属グリッド線M3の材料は、チタンアルミニウム合金、モリブデン等であってもよい。また、第3の金属グリッド線M3が特に配置される場合、引き続き図4を参照されたい。第3の金属グリッド線M3は、画素定義層412の、薄膜トランジスタ層から離れた側に配置されている。あるいは、図7および図8を参照されたい。図7は、図6におけるA-A断面図であり、第3の金属グリッド線M3がカソード418に接続されていない位置におけるディスプレイパネルの断面図である。図8は、図6におけるB-B断面図であり、第3の金属グリッド線M3がカソード418に接続された位置におけるディスプレイパネルの断面図である。図7および図8に示す実施形態では、第3の金属グリッド線M3は、第1のカプセル化層410上に配置されてもよい。あるいは、他の実施形態において、第3の金属グリッド線M3は、薄膜トランジスタ層(例えば、平坦化層409、層間絶縁層408、または金属間絶縁層406)の層構造上に配置されてもよい。 Further placing metal lines on the display panel to implement electrical connections between the OLED light emitting components encapsulated by the pixel-level encapsulation structure on the display panel to control the display across the display panel. be able to. If a metal line is specifically arranged, the metal line may be the third metal grid line M3 in FIG. 4 . Referring to FIG. 6, the cathode 418 of the OLED light emitting component of each pixel unit is connected to the third metal grid line M3. In this way, as shown in FIG. can be reached. Electrons can reach the light emitting layer 416 from the cathode 418 through the electron transport layer 417. On the light emitting layer 416, holes and electrons are combined with each other to form excitons in an excited state. The excitons transfer energy to the organic light emitting molecules on the light emitting layer 416 and excite the electrons of the organic light emitting molecules to transition from the ground state to the excited state. The excited state of the electron beam is deactivated to generate photons and emit light. Since the cathodes 418 of all OLED light emitting components are connected through the third metal grid line M3, the third metal grid line M3 transmits cathode drive signals to the cathodes 418 of all OLED light emitting components simultaneously. Therefore, synchronous cathode signal control can be implemented. The material of the third metal grid line M3 may be titanium aluminum alloy, molybdenum, or the like. Also, if the third metal grid line M3 is specifically arranged, please continue to refer to FIG. 4. The third metal grid line M3 is arranged on the side of the pixel definition layer 412 that is remote from the thin film transistor layer. Alternatively, please refer to FIGS. 7 and 8. FIG. 7 is a cross-sectional view taken along line AA in FIG. 6, and is a cross-sectional view of the display panel at a position where the third metal grid line M3 is not connected to the cathode 418. FIG. 8 is a cross-sectional view taken along line BB in FIG. 6, and is a cross-sectional view of the display panel at a position where the third metal grid line M3 is connected to the cathode 418. In the embodiment shown in FIGS. 7 and 8, the third metal grid line M3 may be disposed on the first encapsulation layer 410. Alternatively, in other embodiments, the third metal grid line M3 may be disposed on a layer structure of a thin film transistor layer (eg, planarization layer 409, interlayer dielectric layer 408, or intermetal dielectric layer 406).

引き続き図8を参照されたい。本出願の本実施形態におけるディスプレイパネルは、画素定義層412上に配置されたフォトスペーサ413をさらに含んでもよく、フォトスペーサ413はフォトスペーサであってもよい。フォトスペーサ413を画素定義層412上に配置することにより、蒸着によってOLED発光コンポーネントを形成する処理において、蒸着によってOLED発光コンポーネントの各機能層を形成するための蒸着マスクがディスプレイパネルに接触することを効果的に防止することができ、ディスプレイパネルの製品歩留まりを向上させることができる。 Please continue to refer to FIG. The display panel in this embodiment of the present application may further include a photo spacer 413 disposed on the pixel definition layer 412, and the photo spacer 413 may be a photo spacer. Placing the photo spacer 413 on the pixel-defining layer 412 ensures that the deposition mask for forming each functional layer of the OLED light-emitting component by vapor deposition contacts the display panel during the process of forming the OLED light-emitting component by vapor deposition. It can be effectively prevented and the product yield of display panels can be improved.

上記の構造に加えて、ディスプレイパネルは、第2の平坦化層421をさらに含んでもよい。第2の平坦化層421は、第2のカプセル化層420の、薄膜トランジスタ層から遠い側に配置されている。第2の平坦化層421を堆積させることで、その後の処理で平坦な加工面を設けることができる。また、第2の平坦化層421は、異物を覆い、第2の平坦化層421上に配置された他の膜層に異物が侵入することを防止してもよい。さらに、引き続き図8を参照されたい。第2の平坦化層421上には、全表面の第3のカプセル化層422がさらに設けられてもよい。本出願では、ディスプレイパネル上に配置された全表面カプセル化構造体は、パネルレベルのカプセル化構造体と呼ばれる。したがって、ディスプレイパネルは、ディスプレイパネルの水-酸素バリア効果を向上させるのを助けるために、画素レベルのカプセル化構造体とパネルレベルのカプセル化構造体との両方を有する。また、第3のカプセル化層422は、単層の無機カプセル化層であってもよいし、無機層と有機層とが交互に積層された多層積層構造のカプセル化層であってもよく、例えば、無機層、有機層、無機層が順に積層された三層構造であってもよいし、無機層、有機層、無機層、有機層が順に積層された四層構造であってもよいし、積層によって形成された五層以上の構造であってもよい。 In addition to the above structure, the display panel may further include a second planarization layer 421. The second planarization layer 421 is arranged on the side of the second encapsulation layer 420 remote from the thin film transistor layer. By depositing the second planarization layer 421, a flat processed surface can be provided in subsequent processing. Further, the second planarization layer 421 may cover foreign matter and prevent the foreign matter from entering other film layers disposed on the second planarization layer 421. Further, please continue to refer to FIG. A third encapsulation layer 422 over the entire surface may further be provided on the second planarization layer 421 . In this application, a full-surface encapsulation structure placed on a display panel is referred to as a panel-level encapsulation structure. Accordingly, the display panel has both a pixel-level encapsulation structure and a panel-level encapsulation structure to help improve the water-oxygen barrier effect of the display panel. Further, the third encapsulation layer 422 may be a single-layer inorganic encapsulation layer, or may be an encapsulation layer with a multilayered structure in which inorganic layers and organic layers are alternately laminated. For example, it may have a three-layer structure in which an inorganic layer, an organic layer, and an inorganic layer are laminated in this order, or a four-layer structure in which an inorganic layer, an organic layer, an inorganic layer, and an organic layer are laminated in this order. , or may have a structure of five or more layers formed by lamination.

本出願の本実施形態におけるディスプレイパネルは、画素レベルのカプセル化構造体およびパネルレベルのカプセル化構造体の両方を備え、画素ユニットの二重保護を提供する。この場合、パネルレベルのカプセル化構造体を通って水および酸素がディスプレイパネルに入ったとしても、画素レベルのカプセル化構造体のバリアのために、水および酸素はOLED発光コンポーネントに入ることができない。したがって、この解決策は、ディスプレイパネルの水-酸素バリア効果の向上を助けることができる。 The display panel in this embodiment of the present application comprises both a pixel-level encapsulation structure and a panel-level encapsulation structure, providing dual protection of the pixel units. In this case, even if water and oxygen enter the display panel through the panel-level encapsulation structure, water and oxygen cannot enter the OLED light-emitting component due to the barrier of the pixel-level encapsulation structure. . Therefore, this solution can help improve the water-oxygen barrier effect of the display panel.

本出願の一実施形態は、フレキシブルディスプレイをさらに提供する。フレキシブルディスプレイは、保護カバー、偏光子、タッチパネル、ディスプレイパネル、放熱層、および保護層を含み得るが、これらに限定されない。フレキシブルディスプレイが特に配置される場合、偏光子は保護カバーに固定され、タッチパネルは偏光子とディスプレイパネルとの間に配置される。または、タッチパネルが保護カバーに固定された後、タッチパネルとディスプレイパネルとの間に偏光子が配置されてもよい。ディスプレイパネルは、上記の実施形態のいずれか1つのディスプレイパネルであってもよい。 One embodiment of the present application further provides a flexible display. A flexible display may include, but is not limited to, a protective cover, a polarizer, a touch panel, a display panel, a heat dissipation layer, and a protective layer. When a flexible display is specifically arranged, the polarizer is fixed to the protective cover and the touch panel is placed between the polarizer and the display panel. Alternatively, a polarizer may be placed between the touch panel and the display panel after the touch panel is fixed to the protective cover. The display panel may be a display panel of any one of the embodiments described above.

保護カバーは、保護機能を実装し、ディスプレイの表示効果への影響を低減するために、透明なガラスカバーまたはポリイミドなどの有機材料で作られたカバーであってもよい。偏光子は、アノード光の反射を回避するために、円偏光子であってもよい。タッチパネルは、独立して配置されていてもよいし、ディスプレイパネルと一体構造になっていてもよい。放熱層は、放熱用の銅箔であってもよい。保護層は、保護発泡体であってもよい。フレキシブルディスプレイの層構造は、光学的に透明な接着剤または不透明な感圧接着剤を用いて互いに接着されてもよい。 The protective cover may be a transparent glass cover or a cover made of organic materials such as polyimide to implement the protective function and reduce the impact on the display effect of the display. The polarizer may be a circular polarizer to avoid reflection of the anode light. The touch panel may be arranged independently or may be integrated with the display panel. The heat dissipation layer may be a copper foil for heat dissipation. The protective layer may be a protective foam. The layered structure of the flexible display may be adhered to each other using an optically transparent adhesive or an opaque pressure sensitive adhesive.

ディスプレイパネルが特に配置される場合、ディスプレイパネルは、基板と、薄膜トランジスタ層と、画素定義層と、少なくとも2つのカプセル化構造体と、少なくとも2つの画素ユニットとを含む。少なくとも2つのカプセル化構造体は、少なくとも2つの画素ユニットをカプセル化するように構成される。薄膜トランジスタ層は、基板上に配置されている。画素定義層は、薄膜トランジスタ層上に配置されている。本出願の本実施形態では、基板は、薄膜トランジスタ層などの上層ごとにフレキシブルベアラを提供することができる。基板は、下から上に順に積層された第1の基板材料層、バリア層、および第2の基板材料層を含み得るが、これらに限定されない。本出願のいくつかの実施形態では、基板の構造を単純化するために、基板内のバリア層または第2の基板材料層が省略されてもよい。 If the display panel is particularly arranged, the display panel includes a substrate, a thin film transistor layer, a pixel defining layer, at least two encapsulating structures and at least two pixel units. The at least two encapsulation structures are configured to encapsulate at least two pixel units. A thin film transistor layer is disposed on the substrate. A pixel definition layer is disposed on the thin film transistor layer. In this embodiment of the present application, the substrate may provide flexible bearers for each upper layer, such as a thin film transistor layer. The substrate may include, but is not limited to, a first substrate material layer, a barrier layer, and a second substrate material layer stacked in order from bottom to top. In some embodiments of the present application, a barrier layer or a second substrate material layer within the substrate may be omitted to simplify the structure of the substrate.

薄膜トランジスタ層が特に配置される場合、薄膜トランジスタ層は、バッファ層、活性層、ゲート絶縁体層、ゲート、第1の金属グリッド線、金属間絶縁層、金属キャパシタ、層間絶縁層、ソース、ドレイン、第2の金属グリッド線、および第1の平坦化層のうちの1つまたは複数を含み得る。これは、本出願の本実施形態では限定されない。 When the thin film transistor layer is specifically arranged, the thin film transistor layer includes a buffer layer, an active layer, a gate insulator layer, a gate, a first metal grid line, an intermetal insulating layer, a metal capacitor, an interlayer insulating layer, a source, a drain, a first 2 metal grid lines, and a first planarization layer. This is not limited in this embodiment of the present application.

画素定義層が特に配置される場合、画素定義層上には、画素領域および側部カプセル化領域が配置される。画素領域および側部カプセル化領域は、画素定義層を貫通するホール構造であってもよく、側部カプセル化領域は、カプセル化構造体によってカプセル化された画素ユニットの周りに配置される。画素ユニットは、ディスプレイパネルの表示機能を実装するための最小単位であり、OLED発光コンポーネントを含む。OLED発光コンポーネントは、部分的にまたは完全に画素領域内に配置される。 If the pixel definition layer is specifically arranged, the pixel region and the side encapsulation region are arranged on the pixel definition layer. The pixel region and the side encapsulation region may be hole structures passing through the pixel defining layer, and the side encapsulation region is arranged around the pixel unit encapsulated by the encapsulation structure. A pixel unit is the smallest unit for implementing the display function of a display panel, and includes an OLED light emitting component. The OLED light emitting component is located partially or completely within the pixel area.

カプセル化構造体が特に配置される場合、カプセル化構造体は画素ユニットと1対1に対応し得る。例えば、各画素ユニットは、1つのカプセル化構造体によってカプセル化される。具体的には、カプセル化構造体は、第1のカプセル化層および第2のカプセル化層を含む。第1のカプセル化層は、OLED発光コンポーネントと薄膜トランジスタ層との間に配置され、画素定義層の側部カプセル化領域から露出されてもよい。第2のカプセル化層は画素ユニットを覆い、第2のカプセル化層は、第1のカプセル化層と封止接触するように側部カプセル化領域を貫通する。このようにして、各画素ユニットは、各画素ユニットが独立してカプセル化されるように、第1のカプセル化層および第2のカプセル化層によって包まれる。 If the encapsulation structure is specifically arranged, the encapsulation structure may have a one-to-one correspondence with the pixel unit. For example, each pixel unit is encapsulated by one encapsulation structure. Specifically, the encapsulation structure includes a first encapsulation layer and a second encapsulation layer. The first encapsulation layer may be disposed between the OLED light emitting component and the thin film transistor layer and exposed from the side encapsulation region of the pixel definition layer. A second encapsulation layer covers the pixel unit, and the second encapsulation layer passes through the side encapsulation regions to make sealing contact with the first encapsulation layer. In this way, each pixel unit is encapsulated by the first encapsulation layer and the second encapsulation layer such that each pixel unit is independently encapsulated.

可能な実施形態では、複数の画素ユニット(複数の画素ユニットの数は、ディスプレイパネル上の画素ユニットの総数よりも少ない)は、代替的に、1つのカプセル化構造体によってカプセル化されてもよい。カプセル化構造体は、任意の形状であってもよい。例えば、固定された単一の折り畳み方向を有するディスプレイパネルの場合、すべての画素ユニットは、画素ユニットカプセル化を実装するための列状または行状のカプセル化構造体を形成するように、折り畳み方向に沿って列または行にグループ化されてもよい。 In a possible embodiment, multiple pixel units (the number of multiple pixel units is less than the total number of pixel units on the display panel) may alternatively be encapsulated by one encapsulation structure. . The encapsulating structure may be of any shape. For example, for a display panel with a fixed single folding direction, all pixel units are aligned in the folding direction to form a column or row encapsulation structure to implement pixel unit encapsulation. may be grouped into columns or rows along the line.

本実施形態におけるフレキシブルディスプレイが任意の方向に10万回を超えて曲げられたとしても、ディスプレイパネルは依然として良好なカプセル化特徴を有することができる。これにより、フレキシブルディスプレイが曲げられたり、巻かれたり、自由に変形したりする適用シナリオにおいて、カプセル化層に亀裂が入ることによって生じる水-酸素浸入を回避することができ、それによって、水および酸素がカプセル化層を通って浸透してディスプレイパネルに入ることによって生じるフレキシブルディスプレイの表示不良の問題を回避することができる。加えて、各画素ユニットは独立してカプセル化されるか、またはグループ化によってカプセル化されるので、任意のカプセル化構造体に入る水および酸素が隣接するカプセル化構造体間で拡散するのをさらに防ぐことができ、それによってフレキシブルディスプレイ全体の発光不良を回避することができる。 Even if the flexible display in this embodiment is bent in any direction more than 100,000 times, the display panel can still have good encapsulation characteristics. This can avoid water-oxygen infiltration caused by cracks in the encapsulation layer in application scenarios where the flexible display is bent, rolled or freely deformed, thereby avoiding water and oxygen infiltration. The problem of display defects in flexible displays caused by oxygen penetrating through the encapsulation layer and entering the display panel can be avoided. In addition, each pixel unit is encapsulated independently or by grouping, which prevents water and oxygen entering any encapsulation structure from diffusing between adjacent encapsulation structures. Furthermore, it is possible to prevent light emission defects in the entire flexible display.

本出願の一実施形態は、電子デバイスをさらに提供する。電子デバイスは、中間フレームと、後部ハウジングと、プリント回路基板と、上記の実施形態のいずれか1つによるフレキシブルディスプレイとを含む。中間フレームは、プリント回路基板およびOLEDフレキシブルディスプレイを支持するように構成されてもよい。OLEDフレキシブルディスプレイおよびプリント回路基板は、中間フレームの両側に配置されている。後部ハウジングは、プリント回路基板の、中間フレームから離れた側に配置される。 One embodiment of the present application further provides an electronic device. The electronic device includes an intermediate frame, a rear housing, a printed circuit board, and a flexible display according to any one of the embodiments described above. The intermediate frame may be configured to support a printed circuit board and an OLED flexible display. An OLED flexible display and a printed circuit board are placed on either side of the intermediate frame. The rear housing is located on the side of the printed circuit board remote from the intermediate frame.

本出願の本実施形態における電子デバイスは、折り畳み可能なデバイスであってもよい。電子デバイスのOLEDフレキシブルディスプレイを折り畳む処理において、フレキシブルディスプレイのディスプレイパネルのカプセル化層の亀裂リスクは比較的低く、それにより、水および酸素がカプセル化層を通って浸透してディスプレイパネルに入るときに生じるOLEDフレキシブルディスプレイの表示不良の問題が回避される。 The electronic device in this embodiment of the present application may be a foldable device. In the process of folding OLED flexible displays of electronic devices, the risk of cracking the encapsulation layer of the display panel of the flexible display is relatively low, thereby preventing water and oxygen from penetrating through the encapsulation layer and entering the display panel. The resulting problem of poor display of OLED flexible displays is avoided.

本出願におけるディスプレイパネルの構造をさらに理解するために、本出願の一実施形態は、ディスプレイパネルを製造する処理をさらに提供する。製造処理は、以下の詳細なステップを含む。 To further understand the structure of the display panel in the present application, one embodiment of the present application further provides a process for manufacturing the display panel. The manufacturing process includes the following detailed steps.

ステップ001:基板を製造する。本出願の本実施形態では、トップゲート低温ポリシリコン(low temperature poly-silicon、LTPS)薄膜トランジスタ(thin film transistor、TFT)基板が例として使用され得る。基板の層構造設定方法については、図9を参照されたい。基板は、ベアラ層401上に形成されてもよく、ベアラ層は、ベアラガラス層であってもよく、ディスプレイパネルの製造処理における支持を実施する。加えて、ビア4091は、その後の電極接続を容易にするために、第1の平坦化層409上に確保される必要がある。LTPS-TFT基板を製造する処理は比較的成熟しているため、LTPS-TFT基板を製造する処理については本出願では詳細に説明しない。 Step 001: Manufacture a substrate. In this embodiment of the present application, a top-gate low temperature poly-silicon (LTPS) thin film transistor (TFT) substrate may be used as an example. Please refer to FIG. 9 for the method of setting the layer structure of the substrate. The substrate may be formed on a bearer layer 401, which may be a bearer glass layer, to provide support in the manufacturing process of the display panel. In addition, vias 4091 need to be secured on the first planarization layer 409 to facilitate subsequent electrode connections. Since the process of manufacturing LTPS-TFT substrates is relatively mature, the process of manufacturing LTPS-TFT substrates is not described in detail in this application.

ステップ002:第1のカプセル化層410を製造する。このステップでは、SiO、SiNx、またはAl堆積層は化学気相成長(chemical vapor deposition、CVD)、原子層堆積(atomic layer deposition、ALD)などによって形成されて、第1のカプセル化層410として機能することができる。そして、フォトレジストの塗布、露光、現像、エッチング、フォトレジストの剥離等により、第1のカプセル化層410をパターニングする。したがって、画素ユニットを形成するための各領域に対応して、第1のカプセル化層410が切断され、各画素ユニットに対応する独立した第1のカプセル化層410が形成される。ステップ002で形成された第1のカプセル化層410のパターンについては、図10を参照されたい。破線は、画素ユニット43を形成する領域を表し、実線は、独立して形成された第1のカプセル化層410を表す。また、図11は、第1のカプセル化層410を製造した後のディスプレイパネルの断面図である。図から分かるように、各画素ユニットに対応する独立した第1のカプセル化層410は、その後の電極接続を容易にするために、第1の平坦化層409上に確保されたビア4091を避けて形成される。 Step 002: Manufacturing the first encapsulation layer 410. In this step, a SiO2 , SiNx , or Al2O3 deposited layer is formed by chemical vapor deposition (CVD), atomic layer deposition (ALD), etc. to form the first encapsulation layer. It can function as layer 410. Then, the first encapsulation layer 410 is patterned by applying a photoresist, exposing it to light, developing it, etching it, peeling off the photoresist, and the like. Therefore, the first encapsulation layer 410 is cut corresponding to each region for forming a pixel unit, and an independent first encapsulation layer 410 corresponding to each pixel unit is formed. See FIG. 10 for the pattern of the first encapsulation layer 410 formed in step 002. The dashed lines represent the regions forming the pixel units 43, and the solid lines represent the independently formed first encapsulation layer 410. Further, FIG. 11 is a cross-sectional view of the display panel after manufacturing the first encapsulation layer 410. As can be seen, the independent first encapsulation layer 410 corresponding to each pixel unit avoids the vias 4091 secured on the first planarization layer 409 to facilitate subsequent electrode connections. It is formed by

ステップ003:アノード411を製造する。一般に、酸化インジウムスズ(indium tin oxide、ITO)、Ag、およびITOが物理蒸着(physical vapor deposition、PVD)によって順に堆積されて、OLED発光コンポーネントのアノード411を製造する。次いで、フォトレジストコーティング、露光、現像、エッチング、フォトレジスト剥離などによってアノード411をパターニングして、図12に示すアノード411を形成することができる。アノード411は、ビア4091を介してドレインDと接触して接続され、封止を実装することができる。 Step 003: Manufacture anode 411. Generally, indium tin oxide (ITO), Ag, and ITO are sequentially deposited by physical vapor deposition (PVD) to fabricate the anode 411 of the OLED light emitting component. The anode 411 can then be patterned by photoresist coating, exposure, development, etching, photoresist stripping, etc. to form the anode 411 shown in FIG. 12. Anode 411 may be connected in contact with drain D via via 4091 to implement a seal.

ステップ004:画素定義層(pixel definition layer、PDL)412を製造する。まず、ステップ003の後に形成される構造体、例えば、第1の平坦化層409、第1のカプセル化層410またはアノード411に、スリットコート(Slit Coating)によりフォトレジスト系の有機物を塗布してもよい。その後、露光や現像等を行うことで、パターニングされた画素定義層412を得ることができる。図13に示すように、パターン化画素定義層412上には、画素領域4121と、画素領域4121の周囲に形成された側部カプセル化領域4122とが形成されている。画素ユニットのOLED発光コンポーネントは、画素領域4121内に形成されてもよく、側部カプセル化領域4122は、その後の画素ユニットカプセル化を実装するために、第1のカプセル化層410を露出させるために使用される。 Step 004: Manufacturing a pixel definition layer (PDL) 412. First, a photoresist-based organic material is applied to the structure formed after step 003, for example, the first planarization layer 409, the first encapsulation layer 410, or the anode 411, by slit coating. Good too. Thereafter, by performing exposure, development, etc., a patterned pixel definition layer 412 can be obtained. As shown in FIG. 13, a pixel region 4121 and a side encapsulation region 4122 formed around the pixel region 4121 are formed on the patterned pixel definition layer 412. OLED light emitting components of the pixel unit may be formed within the pixel region 4121, with side encapsulation regions 4122 for exposing the first encapsulation layer 410 for implementing subsequent pixel unit encapsulation. used for.

ステップ005:その後すべての画素ユニットのOLED発光コンポーネントのカソードを電気的に接続するように、カソードに接続された第3の金属グリッド線M3を製造する。さらに、いくつかの第3の金属グリッド線M3はまた、データ信号を送信するためのデータ線として使用されてもよい。 Step 005: Then fabricate a third metal grid line M3 connected to the cathodes so as to electrically connect the cathodes of the OLED light emitting components of all pixel units. Furthermore, some third metal grid lines M3 may also be used as data lines for transmitting data signals.

一般に、第3の金属グリッド線M3が製造されるとき、画素定義層412上に金属層を形成するために、まず、Ti、Al、およびTiなどの材料が順に堆積されてもよく、またはMoなどの材料がPVDによって堆積されてもよい。次いで、金属層をパターニングして、フォトレジストコーティング、露光、現像、エッチング、およびフォトレジスト剥離のうちの1つまたは複数によって第3の金属グリッド線M3を形成することができる。図14は、第3の金属グリッド線M3の配線の解決策を示す(図は、第3の金属グリッド線M3およびその後形成されるカソード418のパターンを含む)。
Generally, when the third metal grid line M3 is manufactured, materials such as Ti, Al, and Ti may be sequentially deposited first to form a metal layer on the pixel-defining layer 412, or Mo Materials such as may be deposited by PVD. The metal layer may then be patterned to form third metal grid lines M3 by one or more of photoresist coating, exposure, development, etching, and photoresist stripping. FIG. 14 shows a solution for the wiring of the third metal grid line M3 (the figure includes the pattern of the third metal grid line M3 and the subsequently formed cathode 418).

また、図15は、図14のC-C断面図である。図15は、ステップ005の後、第3の金属グリッド線M3がカソード418に接続されていない位置におけるディスプレイパネルの断面図である。図16は、図14のD-D断面図である。図16は、ステップ005の後、第3の金属グリッド線M3がカソード418に接続される位置におけるディスプレイパネルの断面図である。 Further, FIG. 15 is a sectional view taken along the line CC in FIG. 14. FIG. 15 is a cross-sectional view of the display panel at a position where the third metal grid line M3 is not connected to the cathode 418 after step 005. FIG. 16 is a sectional view taken along line DD in FIG. 14. FIG. 16 is a cross-sectional view of the display panel at a position where the third metal grid line M3 is connected to the cathode 418 after step 005.

本出願の可能な実施形態では、ステップ005の後、製造処理は、任意選択的に、ステップ006:フォトスペーサ(photo spacer、PS)413を製造することを含んでもよい。フォトスペーサ413を特に形成する際には、まずスリットコートによりフォトレジストを塗布した後、露光、現像等によりフォトスペーサ413を得ることが一般的である。製造されたフォトスペーサ413と製造された画素定義層412との積層関係については、図17を参照されたい。図17に示すように、フォトスペーサ413の断面形状は、台形であってもよいし、矩形等の他の形状であってもよいことは勿論である。また、フォトスペーサ413を配置する位置も、特定の状況に応じて選択されてもよい。画素定義層412上にフォトスペーサ413を製造することにより、その後の蒸着によるOLED発光コンポーネントの形成処理において、マスクがディスプレイパネルの表面に接触することを効果的に防止することができる。 In possible embodiments of the present application, after step 005, the manufacturing process may optionally include step 006: manufacturing a photo spacer (PS) 413. When specifically forming the photo spacers 413, it is common to first apply a photoresist by slit coating, and then obtain the photo spacers 413 by exposure, development, and the like. Please refer to FIG. 17 for the stacking relationship between the manufactured photo spacer 413 and the manufactured pixel definition layer 412. As shown in FIG. 17, the cross-sectional shape of the photo spacer 413 may be a trapezoid, or may have another shape such as a rectangle. Further, the position at which the photo spacer 413 is arranged may also be selected depending on the specific situation. Fabricating the photospacer 413 on the pixel-defining layer 412 can effectively prevent the mask from contacting the surface of the display panel during the subsequent deposition process to form the OLED light-emitting component.

ステップ007:パターン化OLED発光コンポーネントを製造する。OLED発光コンポーネントは、順に積層された正孔注入層(hole injection layer、HIL)414、正孔輸送層(hole transport layer、HTL)415、発光層(emission layer、EL)416、電子輸送層(electron transport layer、ETL)417、カソード(cathode)418、およびキャップ層(capping layer、CPL)419を含むが、これらに限定されない。 Step 007: Fabricate the patterned OLED light emitting component. The OLED light emitting component includes a hole injection layer (HIL) 414, a hole transport layer (HTL) 415, an emission layer (EL) 416, and an electron transport layer (EL) 416, which are stacked in this order. a transport layer (ETL) 417, a cathode 418, and a capping layer (CPL) 419.

図17および図18を参照されたい。画素定義層412によって定義された画素領域4121内にOLED発光コンポーネントが形成される場合、OLED発光コンポーネントの各層構造は、別のフィルム層の縁部の厚さ不整合およびアンダーカット(undercut)を使用して、微細金属マスク(FFM)蒸着、印刷、フィルムリフトオフ(film lift off)、およびレーザエッチングによってパターニングされる。図18では、正孔注入層414、正孔輸送層415、発光層416、電子輸送層417、カソード418、およびキャップ層419は、FFMによって実装されるOLED発光コンポーネントのすべての蒸着層のパターニング設計を提示するための例として使用される。 See FIGS. 17 and 18. When an OLED light-emitting component is formed within a pixel region 4121 defined by a pixel-defining layer 412, each layer structure of the OLED light-emitting component uses edge thickness mismatch and undercut of another film layer. and patterned by fine metal mask (FFM) deposition, printing, film lift off, and laser etching. In FIG. 18, the hole injection layer 414, hole transport layer 415, light emitting layer 416, electron transport layer 417, cathode 418, and capping layer 419 are all deposited layer patterning designs of the OLED light emitting component implemented by FFM. used as an example to present.

本出願の本実施形態では、OLED発光コンポーネントが画素領域内に部分的に配置される例が説明のために使用されることに留意されたい。あるいは、OLED発光コンポーネントは、画素領域内に完全に配置されてもよい。これは、本出願の本実施形態では限定されない。 It is noted that in this embodiment of the present application, an example is used for explanation in which the OLED light emitting component is partially located within the pixel area. Alternatively, the OLED light emitting component may be placed completely within the pixel area. This is not limited in this embodiment of the present application.

ステップ008:第2のカプセル化層420を製造する。図19を参照されたい。第2のカプセル化層420を特に製造する場合には、まず、CVDやALD法を用いて、第2のカプセル化層420としてSiO、SiNx、Alが堆積されればよい。次いで、第2のカプセル化層420は、フォトレジストコーティング、露光、現像、エッチング、フォトレジスト剥離などによってパターニングされ、各画素ユニットの上方に位置し、各画素ユニットに対応する独立した第2のカプセル化層420を形成することができる。隣接する画素ユニット間の第1のカプセル化層410も独立して配置されるので、画素ユニットの第2のカプセル化層420および第1のカプセル化層410は、画素定義層412の側部カプセル化領域4122を使用することによって封止接触してもよい。図19は、第3の金属グリッド線M3がカソード418に接続されていない位置で画素カプセル化を行う様子を示している。図20は、第3の金属グリッド線M3がカソード418に接続される位置で画素カプセル化を行う様子を示している。 Step 008: Manufacturing the second encapsulation layer 420. Please refer to FIG. 19. When specifically manufacturing the second encapsulation layer 420, first, SiO 2 , SiNx, or Al 2 O 3 may be deposited as the second encapsulation layer 420 using a CVD or ALD method. The second encapsulation layer 420 is then patterned by photoresist coating, exposure, development, etching, photoresist stripping, etc. to form independent second capsules located above each pixel unit and corresponding to each pixel unit. A chemical layer 420 can be formed. The first encapsulation layer 410 between adjacent pixel units is also arranged independently, so that the second encapsulation layer 420 and the first encapsulation layer 410 of the pixel unit overlap the side encapsulation of the pixel-defining layer 412. A sealing contact may be made by using a sealed region 4122. FIG. 19 shows pixel encapsulation at a location where the third metal grid line M3 is not connected to the cathode 418. FIG. 20 shows pixel encapsulation at the location where the third metal grid line M3 is connected to the cathode 418.

ディスプレイパネルを製造する前述の処理ステップでは、対応する第2のカプセル化層420および対応する第1のカプセル化層410が画素ユニットごとに形成され、それにより、各画素ユニットが独立してカプセル化されることができ、言い換えれば、ディスプレイパネルの画素レベルのカプセル化構造体が形成される。このようにして、画素ユニット間のカプセル化接続を切断することによって、大きなカプセル化層が形成されることを防止することができ、それによって、ディスプレイパネルを含むOLEDフレキシブルディスプレイが曲げられ、巻かれ、自由に変形されるなどのシナリオにおいてカプセル化層に亀裂が入るときに生じる水-酸素浸入を効果的に回避することができる。さらに、OLEDフレキシブルディスプレイは、真の多方向折り畳み、カール、自由変形、および小半径屈曲をさらに実装し、それによって真の自由なフレキシブルカプセル化を実装することができる。 In the aforementioned processing steps of manufacturing a display panel, a corresponding second encapsulation layer 420 and a corresponding first encapsulation layer 410 are formed for each pixel unit, such that each pixel unit is independently encapsulated. In other words, a pixel-level encapsulation structure of the display panel is formed. In this way, by cutting the encapsulation connections between pixel units, it is possible to prevent the formation of large encapsulation layers, thereby causing the OLED flexible display including the display panel to be bent and rolled. , the water-oxygen infiltration that occurs when the encapsulation layer cracks in scenarios such as being freely deformed can be effectively avoided. Furthermore, OLED flexible displays can further implement true multi-directional folding, curling, free deformation, and small radius bending, thereby implementing true free flexible encapsulation.

さらに、画素定義層412には溝および突起が設けられており、溝および突起は第2のカプセル化層420に転写されてもよい。しかしながら、その後の加工を容易にするために、図21を参照されたい。ステップ008の後に形成されたディスプレイパネル上に、第2の平坦化層421をさらに形成することができる。また、第2の平坦化層421は、異物を覆い、第2の平坦化層421上に配置された他の膜層に異物が侵入することを防止してもよい。 Further, the pixel definition layer 412 is provided with grooves and protrusions, which may be transferred to the second encapsulation layer 420. However, to facilitate subsequent processing, please refer to FIG. 21. A second planarization layer 421 may further be formed on the display panel formed after step 008. Further, the second planarization layer 421 may cover foreign matter and prevent the foreign matter from entering other film layers disposed on the second planarization layer 421.

さらに、図22を参照されたい。第2の平坦化層421上には、全表面の第3のカプセル化層422がさらに形成されてもよく、ディスプレイパネル上に全表面水-酸素バリアカプセル化を形成するために、第3のカプセル化層422は、SiO、SiNx、またはAlを堆積させてもよい。したがって、画素レベルのカプセル化構造体とパネルレベルのカプセル化構造体との両方を組み合わせたカプセル化モードがディスプレイパネル上に形成され、ディスプレイパネルの水-酸素バリアカプセル化効果をさらに向上させる。 Further, please refer to FIG. 22. A full-surface third encapsulation layer 422 may further be formed on the second planarization layer 421 to form a full-surface water-oxygen barrier encapsulation on the display panel. Encapsulation layer 422 may be deposited with SiO 2 , SiNx, or Al 2 O 3 . Therefore, an encapsulation mode that combines both pixel-level encapsulation structure and panel-level encapsulation structure is formed on the display panel to further improve the water-oxygen barrier encapsulation effect of the display panel.

本出願におけるディスプレイパネルの製造処理の終わりに、レーザを使用してベアラ層401と第1の基板材料層PI 1との間の接触面を照射することができ、その結果、ベアラ層401は第1の基板材料層PI 1に対する接着性を失い、したがって、ベアラ層401が除去される。これにより、フレキシブルディスプレイパネルが得られる。 At the end of the manufacturing process of the display panel in this application, a laser can be used to illuminate the interface between the bearer layer 401 and the first substrate material layer PI 1, so that the bearer layer 401 1 loses its adhesion to the substrate material layer PI 1 and thus the bearer layer 401 is removed. A flexible display panel is thereby obtained.

ディスプレイパネルが処理された後、ディスプレイパネルは、OLEDフレキシブルディスプレイの特定のサイズ要件に基づいて切断されてもよい。次いで、タッチパネルおよび偏光子が取り付けられ、電気的接続を実装するために必要な結合処理が実行される。フレキシブルカバー、放熱用銅箔、保護フィルム等が取り付けられている。最後に、OLEDフレキシブルディスプレイがカスタマイズされた機能を有して組み立てられ、OLEDフレキシブルディスプレイの製造を完了するために必要な性能チェックが行われる。 After the display panel is processed, the display panel may be cut based on the specific size requirements of the OLED flexible display. The touch panel and polarizer are then attached and the necessary bonding processes are performed to implement the electrical connections. A flexible cover, copper foil for heat dissipation, protective film, etc. are attached. Finally, the OLED flexible display is assembled with customized features and the necessary performance checks are performed to complete the manufacturing of the OLED flexible display.

図23を参照されたい。本出願のいくつかの実施形態では、ディスプレイパネルがさらに提供される。ディスプレイパネルは、基板、薄膜トランジスタ層、画素定義層412、画素ユニット、およびカプセル化構造体を含む。カプセル化構造体は、画素ユニットをカプセル化するように構成される。画素定義層412は、カプセル化構造体によってカプセル化された画素ユニットの周りに配置された画素領域および側部カプセル化領域を有する。画素定義層412は、薄膜トランジスタ層上にスリットコートを介してフォトレジスト系の有機物を塗布してもよく、露光や現像等によって画素領域や側部カプセル化領域を得てもよい。 Please refer to FIG. 23. In some embodiments of the present application, a display panel is further provided. The display panel includes a substrate, a thin film transistor layer, a pixel definition layer 412, a pixel unit, and an encapsulation structure. The encapsulation structure is configured to encapsulate the pixel unit. Pixel definition layer 412 has a pixel region and side encapsulation regions arranged around a pixel unit encapsulated by an encapsulation structure. The pixel definition layer 412 may be formed by coating a photoresist-based organic material on the thin film transistor layer through a slit coating, or by forming a pixel region or a side encapsulation region by exposure, development, or the like.

薄膜トランジスタ層は、積層されたバッファ層403、活性層、ゲート絶縁体層405、金属間絶縁層406、層間絶縁層408、および第1の平坦化層409を含み得るが、これらに限定されない。バッファ層403、ゲート絶縁体層405、金属間絶縁層406、層間絶縁層408は、一般的にSiO、SiNx、Al等の無機材料からなる無機層構造であり、比較的良好な水-酸素バリア効果を得ることができる。したがって、本実施形態では、薄膜トランジスタ層の前述の無機層構造を第1のカプセル化層として使用することができる。また、本実施形態では、薄膜トランジスタ層上の側部カプセル化領域に対応する位置にビアがさらに設けられており、当該ビアは、薄膜トランジスタ層の無機層構造(例えば、層間絶縁層408、金属間絶縁層406、ゲート絶縁体層405、バッファ層403)を露出させるように構成されている。例えば、図23では、薄膜トランジスタ層上のビアによって層間絶縁層408が露出している。 The thin film transistor layers may include, but are not limited to, a stacked buffer layer 403, an active layer, a gate insulator layer 405, an intermetal dielectric layer 406, an interlayer dielectric layer 408, and a first planarization layer 409. The buffer layer 403, gate insulator layer 405, intermetal insulating layer 406, and interlayer insulating layer 408 generally have an inorganic layer structure made of an inorganic material such as SiO 2 , SiNx, Al 2 O 3 , etc., and have relatively good properties. A water-oxygen barrier effect can be obtained. Therefore, in this embodiment, the above-described inorganic layer structure of the thin film transistor layer can be used as the first encapsulation layer. In addition, in this embodiment, a via is further provided on the thin film transistor layer at a position corresponding to the side encapsulation region, and the via is connected to the inorganic layer structure of the thin film transistor layer (for example, the interlayer dielectric layer 408, the intermetal dielectric layer 406, gate insulator layer 405, buffer layer 403). For example, in FIG. 23, the interlayer insulating layer 408 is exposed by a via on the thin film transistor layer.

本出願の本実施形態では、画素ユニットは、OLED発光コンポーネントを含み得るが、これに限定されない。OLED発光コンポーネントは、部分的にまたは完全に画素領域内に配置される。カプセル化構造体が特に配置される場合、第2のカプセル化層420として使用されるカプセル化構造体は、各画素ユニットを1対1対応で覆う。言い換えれば、各画素ユニットは、1つのカプセル化構造体によってカプセル化される。第2のカプセル化層420は、側部カプセル化領域および薄膜トランジスタ層上のビアを貫通して薄膜トランジスタ層の無機層構造(例えば、層間絶縁層408)と封止接触し、それによって、各画素ユニットは、薄膜トランジスタ層および第2のカプセル化層420の無機層構造(例えば、層間絶縁層408)によって包まれ、各画素ユニットを独立してカプセル化し、言い換えれば、画素レベルのカプセル化構造体を形成する。これにより、大きなカプセル化層が形成されることを防止することができ、それによって、ディスプレイパネルを含むOLEDフレキシブルディスプレイが曲げられたり、巻かれたり、自由に変形したりするシナリオにおいてカプセル化層に亀裂が入るときに生じる水-酸素浸入を効果的に回避することができる。 In this embodiment of the present application, the pixel unit may include, but is not limited to, an OLED light emitting component. The OLED light emitting component is located partially or completely within the pixel area. If the encapsulation structure is specifically arranged, the encapsulation structure used as the second encapsulation layer 420 covers each pixel unit in a one-to-one correspondence. In other words, each pixel unit is encapsulated by one encapsulation structure. The second encapsulation layer 420 makes sealing contact with the inorganic layer structure (e.g., interlayer dielectric layer 408) of the thin film transistor layer through side encapsulation regions and vias on the thin film transistor layer, thereby making each pixel unit is wrapped by an inorganic layer structure (e.g., interlayer dielectric layer 408) of the thin film transistor layer and the second encapsulation layer 420, encapsulating each pixel unit independently, in other words, forming a pixel-level encapsulation structure. do. This can prevent the formation of a large encapsulation layer, thereby preventing the encapsulation layer from forming in scenarios where the OLED flexible display, including the display panel, is bent, rolled or deformed freely. Water-oxygen infiltration that occurs when cracking can be effectively avoided.

図23は一例であることに留意されたい。本実施形態では、画素ユニットは、OLED発光コンポーネント、平坦化層409、ソースS、およびドレインDを含む。任意選択的に、画素ユニットは、層間絶縁層408をさらに含んでもよい。任意選択的に、画素ユニットは、金属間絶縁層406およびゲートGをさらに含んでもよい。 It should be noted that FIG. 23 is an example. In this embodiment, the pixel unit includes an OLED light emitting component, a planarization layer 409, a source S, and a drain D. Optionally, the pixel unit may further include an interlayer insulating layer 408. Optionally, the pixel unit may further include an intermetal insulating layer 406 and a gate G.

加えて、本実施形態では、複数の画素ユニット(複数の画素ユニットの数は、ディスプレイパネル上の画素ユニットの総数よりも少ない)は、代替的に、全体として1つのカプセル化構造体によってカプセル化されてもよい。カプセル化構造体は、任意の形状であってもよい。図6を参照されたい。例えば、固定された単一の折り畳み方向(図中の矢印を有する曲線は折り畳み方向を示す)を有するディスプレイパネルの場合、すべての画素ユニットを列または行にグループ化して、列状または行状のカプセル化構造体を形成し、画素ユニットカプセル化を実装することができる。これにより、ディスプレイパネルの曲げ特性が向上し、製造困難性および製造コストが低減される。引き続き図6を参照されたい。本出願のいくつかの他の実施形態では、いくつかの隣接する画素ユニットは、1つのカプセル化構造体(図中の一点鎖線矩形ボックスを参照)によってカプセル化されてもよい。各画素ユニットが独立してカプセル化されるか、またはディスプレイパネル上の画素ユニットの総数よりも少ない数の複数の画素ユニットが1つのカプセル化構造体によってカプセル化されることが、ディスプレイパネル上の画素ユニットについて説明される。したがって、本出願では、前述の2つのカプセル化構造体は両方とも画素レベルのカプセル化構造体と呼ばれる。 Additionally, in this embodiment, multiple pixel units (the number of multiple pixel units is less than the total number of pixel units on the display panel) are alternatively encapsulated by one encapsulation structure as a whole. may be done. The encapsulating structure may be of any shape. Please refer to FIG. For example, for a display panel with a fixed single folding direction (the curve with an arrow in the figure indicates the folding direction), all pixel units can be grouped into columns or rows to create columns or rows of capsules. pixel unit encapsulation can be implemented. This improves the bending properties of the display panel and reduces manufacturing difficulty and cost. Please continue to refer to FIG. In some other embodiments of the present application, several adjacent pixel units may be encapsulated by one encapsulation structure (see dash-dotted rectangular box in the figure). On the display panel, each pixel unit is independently encapsulated, or multiple pixel units less than the total number of pixel units on the display panel are encapsulated by one encapsulation structure. A pixel unit will be explained. Therefore, in this application, both of the aforementioned two encapsulation structures are referred to as pixel-level encapsulation structures.

本実施形態では、ディスプレイパネル上の画素ユニットは独立してカプセル化され、その結果、各画素ユニットまたはn(n<ディスプレイパネル上の画素ユニットの総数)個の画素ユニットは、1つのカプセル化構造体(画素レベルのカプセル化構造体)によってカプセル化される。これにより、ディスプレイパネルの曲げ特性を効果的に向上させることができ、ディスプレイパネルを曲げる処理においてカプセル化構造体が損傷する可能性を低減し、OLED発光コンポーネントの不良などの問題を緩和し、ディスプレイパネルを含むOLEDフレキシブルディスプレイの寿命を延ばすことができる。加えて、本出願の本実施形態では、OLED発光コンポーネントをカプセル化することに加えて、カプセル化構造体は、平坦化層409、ソースS、ドレインD、層間絶縁層408、金属間絶縁層406、およびゲートGなどの構造体のうちの1つまたは複数をさらにカプセル化することができる。これにより、カプセル化構造体が保護される。加えて、カプセル化構造体の一部として既存の構造体が使用されるので、処理ステップが省略され、コストおよび製造時間が短縮される。 In this embodiment, the pixel units on the display panel are independently encapsulated, so that each pixel unit or n (n<total number of pixel units on the display panel) pixel units is integrated into one encapsulation structure. (a pixel-level encapsulation structure). This can effectively improve the bending properties of the display panel, reduce the possibility of damage to the encapsulation structure in the process of bending the display panel, alleviate problems such as defective OLED light-emitting components, and display The lifespan of OLED flexible displays including panels can be extended. Additionally, in this embodiment of the present application, in addition to encapsulating the OLED light emitting components, the encapsulation structure includes a planarization layer 409, a source S, a drain D, an interlayer dielectric layer 408, an intermetal dielectric layer 406 , and gate G can be further encapsulated. This protects the encapsulated structure. Additionally, because existing structures are used as part of the encapsulation structure, processing steps are eliminated, reducing cost and manufacturing time.

さらに、ディスプレイパネル上に第3の金属グリッド線M3がさらに配置されてもよく、各画素ユニットのOLED発光コンポーネントのカソード418は第3の金属グリッド線M3に接続される。第3の金属グリッド線M3の材料は、チタンアルミニウム合金、モリブデン等であってもよい。第3の金属グリッド線M3が特に配置される場合には、図23を参照されたい。第3の金属グリッド線M3は、画素定義層412の、薄膜トランジスタ層から離れた側に配置されてもよい。または、第3の金属グリッド線M3は、薄膜トランジスタ層(例えば、平坦化層409、層間絶縁層408、または金属間絶縁層406)の層構造上に配置されてもよい。 Furthermore, a third metal grid line M3 may further be arranged on the display panel, and the cathode 418 of the OLED light emitting component of each pixel unit is connected to the third metal grid line M3. The material of the third metal grid line M3 may be titanium aluminum alloy, molybdenum, or the like. If the third metal grid line M3 is specifically arranged, please refer to FIG. 23. The third metal grid line M3 may be located on the side of the pixel definition layer 412 that is remote from the thin film transistor layer. Alternatively, the third metal grid line M3 may be placed on the layer structure of the thin film transistor layer (eg, the planarization layer 409, the interlayer insulation layer 408, or the intermetal insulation layer 406).

引き続き図23を参照されたい。本出願の本実施形態におけるディスプレイパネルは、画素定義層412上に配置されたフォトスペーサ413をさらに含んでもよく、フォトスペーサ413はフォトスペーサであってもよい。フォトスペーサ413を画素定義層412上に配置することにより、蒸着によってOLED発光コンポーネントを形成する処理において、蒸着によってOLED発光コンポーネントの各機能層を形成するための蒸着マスクがディスプレイパネルに接触することを効果的に防止することができ、ディスプレイパネルの製品歩留まりを向上させることができる。 Please continue to refer to FIG. 23. The display panel in this embodiment of the present application may further include a photo spacer 413 disposed on the pixel definition layer 412, and the photo spacer 413 may be a photo spacer. Placing the photo spacer 413 on the pixel-defining layer 412 ensures that the deposition mask for forming each functional layer of the OLED light-emitting component by vapor deposition contacts the display panel during the process of forming the OLED light-emitting component by vapor deposition. It can be effectively prevented and the product yield of display panels can be improved.

上記の構造に加えて、ディスプレイパネルは、第2の平坦化層421をさらに含んでもよい。第2の平坦化層421は、第2のカプセル化層420の、薄膜トランジスタ層から遠い側に配置されている。第2の平坦化層421を堆積させることで、その後の処理で平坦な加工面を設けることができる。また、第2の平坦化層421は、異物を覆い、第2の平坦化層421上に配置された他の膜層に異物が侵入することを防止してもよい。さらに、引き続き図23を参照されたい。第2の平坦化層421上には、全表面の第3のカプセル化層422がさらに設けられてもよい。本実施形態では、ディスプレイパネル上に配置された全表面カプセル化構造体は、パネルレベルのカプセル化構造体と呼ばれる。したがって、ディスプレイパネルは、ディスプレイパネルの水-酸素バリア効果を向上させるのを助けるために、画素レベルのカプセル化構造体とパネルレベルのカプセル化構造体との両方を有する。 In addition to the above structure, the display panel may further include a second planarization layer 421. The second planarization layer 421 is arranged on the side of the second encapsulation layer 420 remote from the thin film transistor layer. By depositing the second planarization layer 421, a flat processed surface can be provided in subsequent processing. Further, the second planarization layer 421 may cover foreign matter and prevent the foreign matter from entering other film layers disposed on the second planarization layer 421. Further, please continue to refer to FIG. 23. A third encapsulation layer 422 over the entire surface may further be provided on the second planarization layer 421 . In this embodiment, a full-surface encapsulation structure placed on a display panel is referred to as a panel-level encapsulation structure. Accordingly, the display panel has both a pixel-level encapsulation structure and a panel-level encapsulation structure to help improve the water-oxygen barrier effect of the display panel.

本実施形態におけるディスプレイパネルを製造する際の製造処理は、図9~図22に示すディスプレイパネルを製造する処理と同様である。ここでは詳細は再び説明されない。本実施形態におけるディスプレイパネルを製造する処理と、前述のディスプレイパネルを製造する処理との違いは、本実施形態では、薄膜トランジスタ層の無機層構造(例えば、層間絶縁層408)を露出させるように構成されたビアは、薄膜トランジスタ層上の画素定義層の側部カプセル化領域に対応する位置に設けられる必要があり、その結果、第2のカプセル化層420が形成されるとき、第2のカプセル化層420と薄膜トランジスタ層の無機層構造(例えば、層間絶縁層408)とがビアを介して封止接触することができ、それによってディスプレイパネルの画素レベルのカプセル化が実現されることである。本実施形態におけるディスプレイパネルを製造する1つの処理は、例えば、以下のステップを含む。 The manufacturing process for manufacturing the display panel in this embodiment is similar to the process for manufacturing the display panels shown in FIGS. 9 to 22. Details are not explained here again. The difference between the process for manufacturing the display panel in this embodiment and the process for manufacturing the display panel described above is that in this embodiment, the inorganic layer structure (for example, the interlayer insulating layer 408) of the thin film transistor layer is configured to be exposed. The defined vias need to be provided at locations corresponding to the side encapsulation regions of the pixel definition layer on the thin film transistor layer, so that when the second encapsulation layer 420 is formed, the second encapsulation layer 420 Layer 420 and the inorganic layer structure of the thin film transistor layer (eg, interlayer dielectric layer 408) can be in sealing contact via vias, thereby achieving pixel-level encapsulation of the display panel. One process for manufacturing the display panel in this embodiment includes, for example, the following steps.

ステップ001:基板を製造する。例えば、基板は、順に積層された第1の基板材料層、バリア層、および第2の基板材料層を含む。 Step 001: Manufacture a substrate. For example, the substrate includes a first layer of substrate material, a barrier layer, and a second layer of substrate material stacked in sequence.

ステップ002:基板上に薄膜トランジスタ層を形成し、薄膜トランジスタ層は、無機材料層、例えば、バッファ層、ゲート絶縁体層、金属間絶縁層、および層間絶縁層のうちの1つまたは複数を含む。 Step 002: Forming a thin film transistor layer on a substrate, the thin film transistor layer including one or more of an inorganic material layer, such as a buffer layer, a gate insulator layer, an intermetal insulation layer, and an interlayer insulation layer.

ステップ003:薄膜トランジスタ層上に第1のビアおよび第2のビアを設ける。第1のビアは、薄膜トランジスタ層のドレインを露出させるように構成され、第2のビアは、薄膜トランジスタ層の前述の無機層構造のうちのいずれか1つまで延在する。 Step 003: Provide a first via and a second via on the thin film transistor layer. The first via is configured to expose the drain of the thin film transistor layer, and the second via extends to any one of the aforementioned inorganic layer structures of the thin film transistor layer.

ステップ004:アノードを製造する。アノードを製造する具体的な処理については、前述の実施形態におけるディスプレイパネルを製造する処理を参照されたい。ここでは詳細は再び説明されない。アノードは、封止を実装するために、第1のビアを介してドレインと接触し、ドレインに接続されてもよい。 Step 004: Manufacture the anode. For the specific process of manufacturing the anode, please refer to the process of manufacturing the display panel in the embodiment described above. Details are not explained here again. The anode may contact and be connected to the drain via a first via to implement the seal.

ステップ005:画素定義層を製造する。画素定義層を製造する具体的な処理については、前述の実施形態におけるディスプレイパネルを製造する処理を参照されたい。ここでは詳細は再び説明されない。形成された画素定義層は、画素領域および側部カプセル化領域を有する。画素ユニットのOLED発光コンポーネントは、画素領域内に形成されてもよい。側部カプセル化領域は、第2のビアに対向して配置され、薄膜トランジスタ層の無機層を露出させ、その後に画素ユニットカプセル化を実装する。 Step 005: Fabricate the pixel definition layer. For the specific process of manufacturing the pixel definition layer, please refer to the process of manufacturing the display panel in the embodiment described above. Details are not explained here again. The formed pixel definition layer has a pixel region and a side encapsulation region. The OLED light emitting component of the pixel unit may be formed within the pixel area. A side encapsulation region is placed opposite the second via and exposes an inorganic layer of the thin film transistor layer, followed by implementing pixel unit encapsulation.

ステップ006:その後すべての画素ユニットのOLED発光コンポーネントのカソードを電気的に接続するように、カソードに接続された第3の金属グリッド線を製造する。第3の金属グリッド線を製造する具体的な処理については、前述の実施形態におけるディスプレイパネルを製造する処理を参照されたい。ここでは詳細は再び説明されない。 Step 006: Fabricate a third metal grid line connected to the cathodes so as to then electrically connect the cathodes of the OLED light emitting components of all pixel units. For the specific process of manufacturing the third metal grid line, please refer to the process of manufacturing the display panel in the embodiment described above. Details are not explained here again.

ステップ007:フォトスペーサの製造フォトスペーサを製造する具体的な処理については、上記実施形態におけるディスプレイパネルを製造する処理を参照されたい。ここでは詳細は再び説明されない。画素定義層上にフォトスペーサを製造することにより、その後の蒸着によるOLED発光コンポーネントの形成処理において、マスクがディスプレイパネルの表面に接触することを効果的に防止することができる。 Step 007: Manufacture of photo spacers For the specific process of manufacturing photo spacers, please refer to the process of manufacturing the display panel in the above embodiment. Details are not explained here again. By fabricating the photospacer on the pixel-defining layer, it is possible to effectively prevent the mask from contacting the surface of the display panel during the subsequent deposition process to form the OLED light-emitting component.

ステップ008:パターン化OLED発光コンポーネントを製造する。画素定義層の画素領域にOLED発光コンポーネントが形成される場合、OLED発光コンポーネントは画素領域内に部分的に配置されてもよいし、OLED発光コンポーネントは画素領域内に完全に配置されてもよい。これは、本出願の本実施形態では限定されない。また、OLED発光コンポーネントの層構造および具体的な製造処理については、上記の実施形態におけるディスプレイパネルの製造処理を参照されたい。ここでは詳細は再び説明されない。 Step 008: Fabricate the patterned OLED light emitting component. When an OLED light emitting component is formed in a pixel region of the pixel defining layer, the OLED light emitting component may be partially located within the pixel region, or the OLED light emitting component may be completely located within the pixel region. This is not limited in this embodiment of the present application. For the layer structure and specific manufacturing process of the OLED light emitting component, please refer to the manufacturing process of the display panel in the above embodiments. Details are not explained here again.

ステップ009:カプセル化構造体を製造する。まず、SiO、SiNx、またはAlがCVD、ALDなどによって堆積されて、全表面カプセル化構造体層を形成することができる。次いで、全表面カプセル化構造体層をフォトレジストコーティング、露光、現像、エッチング、フォトレジスト剥離などによってパターニングして、各画素ユニットの上方に位置し、各画素ユニットに対応する独立したカプセル化構造体を形成することができる。薄膜トランジスタ層のカプセル化構造体と無機材料層とは、画素定義層の側部カプセル化領域を介して封止接触してもよい。 Step 009: Manufacture the encapsulation structure. First, SiO 2 , SiNx, or Al 2 O 3 can be deposited by CVD, ALD, etc. to form a full surface encapsulation structure layer. The entire surface encapsulation structure layer is then patterned by photoresist coating, exposure, development, etching, photoresist stripping, etc. to form an independent encapsulation structure located above and corresponding to each pixel unit. can be formed. The encapsulation structure of the thin film transistor layer and the inorganic material layer may be in sealing contact through side encapsulation regions of the pixel-defining layer.

さらに、画素定義層には溝および突起が設けられ、溝および突起はカプセル化構造体に転写されてもよい。しかしながら、その後の加工を容易にするために、ステップ009の後に形成されたディスプレイパネル上に平坦化層をさらに形成することができる。また、平坦化層は、平坦化層上に配置された他の膜層に異物が侵入することを防止するために、異物を覆ってもよい。さらに、表面全体の第3のカプセル化層を平坦化層上に形成することができる。 Additionally, the pixel defining layer may be provided with grooves and protrusions, and the grooves and protrusions may be transferred to the encapsulation structure. However, a planarization layer may be further formed on the display panel formed after step 009 to facilitate subsequent processing. Further, the planarization layer may cover foreign matter in order to prevent foreign matter from entering other film layers disposed on the planarization layer. Furthermore, a third encapsulation layer over the entire surface can be formed on the planarization layer.

さらに、本出願のいくつかの実施形態では、基板は、積層された第1の基板材料層PI 1、バリア層402、および第2の基板材料層PI 2を含み得る。バリア層402は、一般にSiO、SiNx、Al等の無機材料からなる無機層構造であり、比較的良好な水-酸素バリア効果を得ることができる。したがって、本出願のいくつかの実施形態では、基板の無機層構造(例えば、バリア層402)を第1のカプセル化層として使用することができる。この場合、基板上であって、薄膜トランジスタ層上の側部カプセル化領域に対応する位置には、ビアが設けられていてもよく、当該ビアは、基板の無機層構造(例えば、バリア層402)を露出させていてもよい。画素ユニットカプセル化は、前述の実施形態と同様である。ここでは詳細は再び説明されない。 Further, in some embodiments of the present application, the substrate may include a stacked first substrate material layer PI 1, a barrier layer 402, and a second substrate material layer PI 2. The barrier layer 402 generally has an inorganic layer structure made of an inorganic material such as SiO 2 , SiNx, Al 2 O 3 or the like, and can obtain a relatively good water-oxygen barrier effect. Accordingly, in some embodiments of the present application, the inorganic layer structure of the substrate (eg, barrier layer 402) can be used as the first encapsulation layer. In this case, a via may be provided on the substrate at a position corresponding to the side encapsulation region on the thin film transistor layer, and the via may be provided in the inorganic layer structure of the substrate (for example, the barrier layer 402). may be exposed. Pixel unit encapsulation is similar to previous embodiments. Details are not explained here again.

本出願の一実施形態は、フレキシブルディスプレイをさらに提供する。フレキシブルディスプレイは、保護カバー、偏光子、タッチパネル、ディスプレイパネル、放熱層、および保護層を含み得るが、これらに限定されない。フレキシブルディスプレイが特に配置される場合、偏光子は保護カバーに固定され、タッチパネルは偏光子とディスプレイパネルとの間に配置される。または、タッチパネルが保護カバーに固定された後、タッチパネルとディスプレイパネルとの間に偏光子が配置されてもよい。ディスプレイパネルは、上記の実施形態のいずれか1つのディスプレイパネルであってもよい。 One embodiment of the present application further provides a flexible display. A flexible display may include, but is not limited to, a protective cover, a polarizer, a touch panel, a display panel, a heat dissipation layer, and a protective layer. When a flexible display is specifically arranged, the polarizer is fixed to the protective cover and the touch panel is placed between the polarizer and the display panel. Alternatively, a polarizer may be placed between the touch panel and the display panel after the touch panel is fixed to the protective cover. The display panel may be a display panel of any one of the embodiments described above.

本実施形態では、薄膜トランジスタ層は、積層されたバッファ層、活性層、ゲート絶縁体層、金属間絶縁層、層間絶縁層、および第1の平坦化層を含み得るが、これらに限定されない。バッファ層、ゲート絶縁体層、金属間絶縁層、層間絶縁層は、一般的にSiO、SiNx、Al等の無機材料からなる無機層構造であり、比較的良好な水-酸素バリア効果を得ることができる。したがって、本実施形態では、薄膜トランジスタ層の前述の無機層構造を第1のカプセル化層として使用することができる。 In this embodiment, the thin film transistor layer may include, but is not limited to, a stacked buffer layer, an active layer, a gate insulator layer, an intermetal insulating layer, an interlayer insulating layer, and a first planarization layer. The buffer layer, gate insulator layer, intermetal insulating layer, and interlayer insulating layer generally have an inorganic layer structure made of inorganic materials such as SiO 2 , SiNx, Al 2 O 3, etc., and have a relatively good water-oxygen barrier. effect can be obtained. Therefore, in this embodiment, the above-described inorganic layer structure of the thin film transistor layer can be used as the first encapsulation layer.

カプセル化構造体が特に配置される場合、第2のカプセル化層として使用されるカプセル化構造体は、各画素ユニットを1対1対応で覆う。言い換えれば、各画素ユニットは、1つのカプセル化構造体によってカプセル化される。第2のカプセル化層は、薄膜トランジスタ層上の側部カプセル化領域およびビアを貫通して薄膜トランジスタ層の無機層構造(例えば、層間絶縁層)と封止接触し、それによって、各画素ユニットは、薄膜トランジスタ層および第2のカプセル化層の無機層構造(例えば、層間絶縁層)によって包まれ、各画素ユニットを独立してカプセル化する、言い換えれば、画素レベルのカプセル化構造体を形成する。本実施形態では、画素ユニットは、OLED発光コンポーネント、平坦化層、ソース、およびドレインを含むことに留意されたい。任意選択的に、画素ユニットは、層間絶縁層をさらに含んでもよい。任意選択的に、画素ユニットは、金属間絶縁層およびゲートをさらに含んでもよい。 If the encapsulation structure is specifically arranged, the encapsulation structure used as the second encapsulation layer covers each pixel unit in a one-to-one correspondence. In other words, each pixel unit is encapsulated by one encapsulation structure. The second encapsulation layer makes sealing contact with the inorganic layer structure (e.g., interlayer dielectric layer) of the thin film transistor layer through side encapsulation regions and vias on the thin film transistor layer, such that each pixel unit The thin film transistor layer and the second encapsulation layer are wrapped by an inorganic layer structure (eg, an interlayer dielectric layer) to independently encapsulate each pixel unit, in other words, form a pixel-level encapsulation structure. Note that in this embodiment, the pixel unit includes an OLED light emitting component, a planarization layer, a source, and a drain. Optionally, the pixel unit may further include an interlayer insulating layer. Optionally, the pixel unit may further include an intermetal dielectric layer and a gate.

可能な実施形態では、複数の画素ユニット(複数の画素ユニットの数は、ディスプレイパネル上の画素ユニットの総数よりも少ない)は、代替的に、1つのカプセル化構造体によってカプセル化されてもよい。カプセル化構造体は、任意の形状であってもよい。例えば、固定された単一の折り畳み方向を有するディスプレイパネルの場合、すべての画素ユニットは、画素ユニットカプセル化を実装するための列状または行状のカプセル化構造体を形成するように、折り畳み方向に沿って列または行にグループ化されてもよい。 In a possible embodiment, multiple pixel units (the number of multiple pixel units is less than the total number of pixel units on the display panel) may alternatively be encapsulated by one encapsulation structure. . The encapsulating structure may be of any shape. For example, for a display panel with a fixed single folding direction, all pixel units are aligned in the folding direction to form a column or row encapsulation structure to implement pixel unit encapsulation. may be grouped into columns or rows along the line.

本実施形態におけるフレキシブルディスプレイが任意の方向に10万回を超えて曲げられたとしても、ディスプレイパネルは依然として良好なカプセル化特徴を有することができる。これにより、フレキシブルディスプレイが曲げられたり、巻かれたり、自由に変形したりする適用シナリオにおいて、カプセル化層に亀裂が入ることによって生じる水-酸素浸入を回避することができ、それによって、水および酸素がカプセル化層を通って浸透してディスプレイパネルに入ることによって生じるフレキシブルディスプレイの表示不良の問題を回避することができる。加えて、各画素ユニットは独立してカプセル化されるか、またはグループ化によってカプセル化されるので、任意のカプセル化構造体に入る水および酸素が隣接するカプセル化構造体間で拡散するのをさらに防ぐことができ、それによってフレキシブルディスプレイ全体の発光不良を回避することができる。 Even if the flexible display in this embodiment is bent in any direction more than 100,000 times, the display panel can still have good encapsulation characteristics. This can avoid water-oxygen infiltration caused by cracks in the encapsulation layer in application scenarios where the flexible display is bent, rolled or freely deformed, thereby avoiding water and oxygen infiltration. The problem of display defects in flexible displays caused by oxygen penetrating through the encapsulation layer and entering the display panel can be avoided. In addition, each pixel unit is encapsulated independently or by grouping, which prevents water and oxygen entering any encapsulation structure from diffusing between adjacent encapsulation structures. Furthermore, it is possible to prevent light emission defects in the entire flexible display.

本出願の一実施形態は、電子デバイスをさらに提供する。電子デバイスは、中間フレームと、後部ハウジングと、プリント回路基板と、上記の実施形態のいずれか1つによるフレキシブルディスプレイとを含む。中間フレームは、プリント回路基板およびフレキシブルディスプレイを支持するように構成されてもよい。フレキシブルディスプレイおよびプリント回路基板は、中間フレームの両側に配置される。後部ハウジングは、プリント回路基板の、中間フレームから離れた側に配置される。 One embodiment of the present application further provides an electronic device. The electronic device includes an intermediate frame, a rear housing, a printed circuit board, and a flexible display according to any one of the embodiments described above. The intermediate frame may be configured to support a printed circuit board and a flexible display. A flexible display and a printed circuit board are placed on either side of the intermediate frame. The rear housing is located on the side of the printed circuit board remote from the intermediate frame.

本出願の本実施形態における電子デバイスは、折り畳み可能なデバイスであってもよい。電子デバイスのフレキシブルディスプレイを折り畳む処理において、フレキシブルディスプレイのディスプレイパネルのカプセル化層の亀裂リスクは比較的低く、それにより、水および酸素がカプセル化層を通って浸透してディスプレイパネルに入ることによって生じるフレキシブルディスプレイの表示不良の問題が回避される。 The electronic device in this embodiment of the present application may be a foldable device. In the process of folding the flexible display of electronic devices, the risk of cracking the encapsulation layer of the display panel of the flexible display is relatively low, thereby causing water and oxygen to penetrate through the encapsulation layer and enter the display panel. The problem of poor display on flexible displays is avoided.

前述の説明は、本出願の特定の実装形態にすぎず、本出願の保護範囲を限定するものではない。本出願で開示された技術的範囲内で当業者によって容易に考え出されるいかなる変形形態または置換形態も、本出願の保護範囲内にあるものとする。したがって、本出願の保護範囲は、特許請求の範囲の保護範囲に従うものとする。 The foregoing descriptions are only specific implementations of the present application and do not limit the protection scope of the present application. Any variations or substitutions easily figured out by a person skilled in the art within the technical scope disclosed in this application shall fall within the protection scope of this application. Therefore, the protection scope of this application shall be subject to the protection scope of the claims.

101 ディスプレイ
102 中間フレーム
103 後部ハウジング
104 PCB
1041 コンポーネント
301 上部カプセル化層
3011 第1の無機層
3012 第2の無機層
3013 フレキシブルサンドイッチ層
302 下部カプセル化層
201 保護カバー
202 偏光子
203 タッチパネル
204 ディスプレイパネル
205 放熱層
206 保護層
401 ベアラ層
3021 バリア層
402 バリア層
403 バッファ層
404 活性層
405 ゲート絶縁体層
406 金属間絶縁層
407 金属キャパシタ
408 層間絶縁層
409 第1の平坦化層
4081 ビア
4091 ビア
PI 1 第1の基板材料層
PI 2 第2の基板材料層
G ゲート
M1 第1の金属グリッド線
M2 第2の金属グリッド線
M3 第3の金属グリッド線
S ソース
D ドレイン
410 第1のカプセル化層
411 アノード
412 画素定義層
4121 画素領域
4122 側部カプセル化領域
413 フォトスペーサ
414 正孔注入層
415 正孔輸送層
416 発光層
417 電子輸送層
418 カソード
419 キャップ層
420 第2のカプセル化層
421 第2の平坦化層
422 第3のカプセル化層
43 画素ユニット。
101 Display 102 Intermediate frame 103 Rear housing 104 PCB
1041 Components 301 Upper encapsulation layer 3011 First inorganic layer 3012 Second inorganic layer 3013 Flexible sandwich layer 302 Lower encapsulation layer 201 Protective cover 202 Polarizer 203 Touch panel 204 Display panel 205 Heat dissipation layer 206 Protective layer 401 Bearer layer 3021 Barrier Layer 402 Barrier layer 403 Buffer layer 404 Active layer 405 Gate insulator layer 406 Intermetal insulating layer 407 Metal capacitor 408 Interlayer insulating layer 409 First planarization layer 4081 Via 4091 Via PI 1 First substrate material layer PI 2 Second Substrate material layer G Gate M1 First metal grid line M2 Second metal grid line M3 Third metal grid line S Source D Drain 410 First encapsulation layer 411 Anode 412 Pixel definition layer 4121 Pixel region 4122 Side part Encapsulation region 413 Photospacer 414 Hole injection layer 415 Hole transport layer 416 Light emitting layer 417 Electron transport layer 418 Cathode 419 Cap layer 420 Second encapsulation layer 421 Second flattening layer 422 Third encapsulation layer 43 pixel unit.

Claims (19)

基板と、薄膜トランジスタ層と、画素定義層と、少なくとも2つのカプセル化構造体と、少なくとも2つの画素ユニットとを備えるディスプレイパネルであって、前記少なくとも2つのカプセル化構造体が、前記少なくとも2つの画素ユニットをカプセル化するように構成されており、
前記薄膜トランジスタ層が、前記基板上に配置されており、
前記画素定義層が前記薄膜トランジスタ層上に配置されており、前記画素定義層が画素領域および側部カプセル化領域を含み、前記側部カプセル化領域が前記カプセル化構造体によってカプセル化された前記画素ユニットの周りに配置されており、前記画素領域および前記側部カプセル化領域が前記画素定義層上に配置された貫通孔であり、
前記画素ユニットがOLED発光コンポーネントを含み、前記OLED発光コンポーネントが、前記画素領域内に部分的にまたは完全に配置されており、
前記カプセル化構造体が、第1のカプセル化層および第2のカプセル化層を含み、前記第1のカプセル化層が、前記OLED発光コンポーネントの、前記薄膜トランジスタ層に近い側に配置され、前記第2のカプセル化層が、前記OLED発光コンポーネントの、前記薄膜トランジスタ層から遠い側に配置され、前記第1のカプセル化層と前記第2のカプセル化層とが、前記側部カプセル化領域内で封止接触しており、
フォトスペーサが、前記側部カプセル化領域によって囲まれた領域の外側に配置された前記画素定義層上のみに配置され、前記フォトスペーサの頂部が前記OLED発光コンポーネントの頂部よりも高い、
ディスプレイパネル。
A display panel comprising a substrate, a thin film transistor layer, a pixel-defining layer, at least two encapsulating structures, and at least two pixel units, the at least two encapsulating structures including the at least two pixel units. It is configured to encapsulate the unit and
the thin film transistor layer is disposed on the substrate,
the pixel, the pixel-defining layer being disposed on the thin film transistor layer, the pixel-defining layer including a pixel region and a side encapsulation region, the side encapsulation region being encapsulated by the encapsulation structure; the pixel region and the side encapsulation region are through-holes disposed on the pixel-defining layer;
the pixel unit includes an OLED light emitting component, the OLED light emitting component being partially or completely disposed within the pixel area;
The encapsulation structure includes a first encapsulation layer and a second encapsulation layer, the first encapsulation layer being disposed on a side of the OLED light emitting component proximate to the thin film transistor layer; two encapsulation layers are disposed on a side of the OLED light emitting component remote from the thin film transistor layer, the first encapsulation layer and the second encapsulation layer being encapsulated within the side encapsulation region. are in contact with each other,
a photo-spacer is disposed only on the pixel-defining layer disposed outside the area surrounded by the side encapsulation region , and the top of the photo-spacer is higher than the top of the OLED light emitting component;
display panel.
カプセル化構造体の数が画素ユニットの数と同じであり、前記カプセル化構造体の各々が1つの画素ユニットをカプセル化するように構成されている、請求項1に記載のディスプレイパネル。 The display panel of claim 1, wherein the number of encapsulating structures is the same as the number of pixel units, and each of the encapsulating structures is configured to encapsulate one pixel unit. 前記第1のカプセル化層が、無機材料層からなる単層構造、または、無機材料層と有機材料層とが交互に積層された多層構造であり、
前記第2のカプセル化層が、無機材料層からなる単層構造、または、無機材料層と有機材料層とが交互に積層された多層構造である、
請求項1または2に記載のディスプレイパネル。
The first encapsulation layer has a single layer structure consisting of an inorganic material layer or a multilayer structure in which inorganic material layers and organic material layers are alternately laminated,
The second encapsulation layer has a single layer structure consisting of an inorganic material layer, or a multilayer structure in which inorganic material layers and organic material layers are alternately laminated.
A display panel according to claim 1 or 2.
前記ディスプレイパネルが金属線をさらに備え、すべてのOLED発光コンポーネントのカソードが前記金属線を介して接続されている、請求項1に記載のディスプレイパネル。 The display panel of claim 1, wherein the display panel further comprises a metal line, and the cathodes of all OLED light emitting components are connected via the metal line. 前記金属線が、前記画素定義層の、前記薄膜トランジスタ層から離れた側に配置されている、または、前記金属線が、前記第1のカプセル化層上に配置されている、または、前記金属線が、前記薄膜トランジスタ層の層構造上に配置されている、請求項4に記載のディスプレイパネル。 the metal line is disposed on a side of the pixel defining layer remote from the thin film transistor layer, or the metal line is disposed on the first encapsulation layer, or the metal line The display panel according to claim 4, wherein is arranged on the layer structure of the thin film transistor layer. 保護カバーと、偏光子と、タッチパネルと、請求項1から5のいずれか一項に記載のディスプレイパネルとを備えるフレキシブルディスプレイであって、前記偏光子が前記保護カバーに固定されており、前記タッチパネルが前記偏光子と前記ディスプレイパネルとの間に配置されている、または
前記タッチパネルが、前記保護カバーに固定されており、前記偏光子が、前記タッチパネルと前記ディスプレイパネルとの間に配置されている、フレキシブルディスプレイ。
A flexible display comprising a protective cover, a polarizer, a touch panel, and the display panel according to any one of claims 1 to 5, wherein the polarizer is fixed to the protective cover, and the touch panel is disposed between the polarizer and the display panel, or the touch panel is fixed to the protective cover, and the polarizer is disposed between the touch panel and the display panel. , flexible display.
中間フレームと、後部ハウジングと、プリント回路基板と、請求項6に記載のフレキシブルディスプレイとを備える電子デバイスであって、
前記中間フレームが、前記プリント回路基板および前記フレキシブルディスプレイを支持するように構成され、前記プリント回路基板および前記フレキシブルディスプレイが、前記中間フレームの両側に配置されており、
前記後部ハウジングが、前記プリント回路基板の、前記中間フレームから離れた側に配置されている、電子デバイス。
An electronic device comprising an intermediate frame, a rear housing, a printed circuit board, and a flexible display according to claim 6,
the intermediate frame is configured to support the printed circuit board and the flexible display, the printed circuit board and the flexible display being disposed on opposite sides of the intermediate frame;
The electronic device, wherein the rear housing is located on a side of the printed circuit board remote from the intermediate frame.
ディスプレイパネルの製造方法であって、前記ディスプレイパネルが、基板と、薄膜トランジスタ層と、画素定義層と、少なくとも2つのカプセル化構造体と、少なくとも2つの画素ユニットとを備え、前記少なくとも2つのカプセル化構造体が、前記少なくとも2つの画素ユニットをカプセル化するように構成され、前記カプセル化構造体が、第1のカプセル化層および第2のカプセル化層を含み、前記画素ユニットが、OLED発光コンポーネントを含み、前記方法が、
前記基板を製造するステップと、
前記基板上に前記薄膜トランジスタ層を形成し、前記薄膜トランジスタ層上に第1のビアを設けるステップであって、前記第1のビアが前記薄膜トランジスタ層のドレインまで延在する、ステップと、
少なくとも2つの独立した第1のカプセル化層を得るために、前記薄膜トランジスタ層上に全表面の第1のカプセル化構造体層を形成し、前記全表面の第1のカプセル化構造体層をパターニングする、ステップと、
前記第1のカプセル化層の各々上に画素領域および側部カプセル化領域を形成するために、前記画素定義層を形成し、前記画素定義層をパターニングするステップであって、前記側部カプセル化領域が、前記第1のカプセル化層を露出させるために使用される、ステップと、
前記側部カプセル化領域によって囲まれた領域の外側に配置された前記画素定義層上のみにフォトスペーサを形成するステップであって、前記フォトスペーサの頂部が前記OLED発光コンポーネントの頂部よりも高い、ステップと、
前記画素領域内に前記OLED発光コンポーネントを形成するステップであって、前記OLED発光コンポーネントが前記第1のビアを介して前記ドレインに接続される、ステップと、
少なくとも2つの独立した第2のカプセル化層を得るために、前記OLED発光コンポーネントの、前記薄膜トランジスタ層から離れた側に、前記薄膜トランジスタ層に対応する全表面の第2のカプセル化構造体層を形成し、前記全表面の第2のカプセル化構造体層をパターニングするステップであって、前記第2のカプセル化層および前記第1のカプセル化層が前記側部カプセル化領域内で封止接触している、ステップと、
を含む、製造方法。
A method of manufacturing a display panel, the display panel comprising a substrate, a thin film transistor layer, a pixel defining layer, at least two encapsulation structures, and at least two pixel units, the at least two encapsulation structures comprising: A structure is configured to encapsulate the at least two pixel units, the encapsulation structure including a first encapsulation layer and a second encapsulation layer, and the pixel unit comprising an OLED light emitting component. The method comprises:
manufacturing the substrate;
forming the thin film transistor layer on the substrate and providing a first via on the thin film transistor layer, the first via extending to a drain of the thin film transistor layer;
forming a full-surface first encapsulation structure layer on the thin film transistor layer and patterning the full-surface first encapsulation structure layer to obtain at least two independent first encapsulation layers; do, step,
forming a pixel-defining layer and patterning the pixel-defining layer to form a pixel region and a side encapsulation region on each of the first encapsulation layers; a region is used to expose the first encapsulation layer;
forming a photospacer only on the pixel-defining layer disposed outside an area surrounded by the side encapsulation region , the top of the photospacer being higher than the top of the OLED light emitting component; step and
forming the OLED light emitting component in the pixel region, the OLED light emitting component being connected to the drain via the first via;
forming a second encapsulation structure layer on the entire surface corresponding to the thin film transistor layer on the side of the OLED light emitting component remote from the thin film transistor layer to obtain at least two independent second encapsulation layers; patterning the entire surface second encapsulation structure layer, the second encapsulation layer and the first encapsulation layer being in sealing contact within the side encapsulation regions; Steps and steps
manufacturing methods, including
第1のカプセル化層を形成する前記ステップが、具体的には、
前記全表面の第1のカプセル化構造体層を形成するために、前記薄膜トランジスタ層にSiO、SiNx、またはAlのうちの1つまたは複数を堆積させるステップと、
前記第1のカプセル化層を得るために前記全表面の第1のカプセル化構造体層をパターニングするステップであって、コーティングするステップ、露光するステップ、現像するステップ、エッチングするステップ、または剥離するステップのうちの1つまたは複数を含む、ステップと、を含む、請求項8に記載の製造方法。
The step of forming a first encapsulation layer specifically comprises:
depositing one or more of SiO 2 , SiNx, or Al 2 O 3 on the thin film transistor layer to form the entire surface first encapsulation structure layer;
patterning the entire surface first encapsulation structure layer to obtain the first encapsulation layer, including coating, exposing, developing, etching or peeling; 9. The manufacturing method of claim 8, comprising the steps of:
前記画素定義層が形成される前に、前記第1のカプセル化層上にアノードを形成するステップであって、前記アノードが前記第1のビアを介して前記ドレインに接続される、ステップをさらに含む、請求項8または9に記載の製造方法。 forming an anode on the first encapsulation layer before the pixel defining layer is formed, the anode being connected to the drain via the first via; The manufacturing method according to claim 8 or 9, comprising: アノードを形成する前記ステップが、具体的には、
アノード材料層を形成するために、前記第1のカプセル化層上にITO、Ag、およびITOを順に堆積させるステップと、
前記アノードを得るために、前記アノード材料層をパターニングするステップであって、コーティングするステップ、露光するステップ、現像するステップ、エッチングするステップ、または剥離するステップのうちの1つまたは複数を含む、ステップとを含む、請求項10に記載の製造方法。
The step of forming an anode specifically includes:
sequentially depositing ITO, Ag, and ITO on the first encapsulation layer to form an anode material layer;
patterning the anode material layer to obtain the anode, comprising one or more of coating, exposing, developing, etching, or stripping; The manufacturing method according to claim 10, comprising:
金属線を形成するステップをさらに含み、各々の前記OLED発光コンポーネントのカソードが前記金属線に接続される、請求項8に記載の製造方法。 9. The manufacturing method of claim 8, further comprising forming a metal line, the cathode of each OLED light emitting component being connected to the metal line. 金属線を形成する前記ステップが、具体的には、
画素定義層が形成された後、金属層を形成するためにTi、Al、およびTiを順に堆積させるステップと、
前記金属線を得るために、前記金属層をパターニングするステップであって、コーティングするステップ、露光するステップ、現像するステップ、エッチングするステップ、または剥離するステップのうちの1つまたは複数を含む、ステップと、
を含む、請求項12に記載の製造方法。
Specifically, the step of forming the metal wire includes:
After the pixel defining layer is formed, sequentially depositing Ti, Al, and Ti to form a metal layer;
patterning the metal layer to obtain the metal line, comprising one or more of coating, exposing, developing, etching, or stripping; and,
The manufacturing method according to claim 12, comprising:
第2のカプセル化層を形成する前記ステップが、具体的には、
前記全表面の第2のカプセル化構造体層を形成するために、前記画素定義層および前記OLED発光コンポーネント上にSiO、SiNx、またはAlのうちの1つまたは複数を堆積させるステップと、
前記第2のカプセル化層を得るために前記全表面の第2のカプセル化構造体層をパターニングするステップであって、コーティングするステップ、露光するステップ、現像するステップ、エッチングするステップ、または剥離するステップのうちの1つまたは複数を含む、ステップと、
を含む、請求項8に記載の製造方法。
The step of forming a second encapsulation layer specifically comprises:
depositing one or more of SiO 2 , SiNx, or Al 2 O 3 on the pixel-defining layer and the OLED light-emitting component to form the entire surface second encapsulation structure layer; and,
patterning the entire surface second encapsulation structure layer to obtain the second encapsulation layer, including coating, exposing, developing, etching or peeling; a step, including one or more of the steps;
The manufacturing method according to claim 8, comprising:
基板と、薄膜トランジスタ層と、画素定義層と、少なくとも2つのカプセル化構造体と、少なくとも2つの画素ユニットとを備えるディスプレイパネルであって、前記少なくとも2つのカプセル化構造体が、前記少なくとも2つの画素ユニットをカプセル化するように構成されており、
前記薄膜トランジスタ層が、前記基板上に配置されており、
前記画素定義層が前記薄膜トランジスタ層上に配置されており、前記画素定義層が画素領域および側部カプセル化領域を含み、前記側部カプセル化領域が前記カプセル化構造体によってカプセル化された前記画素ユニットの周りに配置されており、前記画素領域および前記側部カプセル化領域が前記画素定義層上に配置された貫通孔であり、
前記薄膜トランジスタ層が、無機材料層からなり、前記側部カプセル化領域に対応する位置にビアが設けられており、前記ビアが、前記無機材料層を露出させており、
前記画素ユニットがOLED発光コンポーネントを含み、前記OLED発光コンポーネントが、前記画素領域内に部分的にまたは完全に配置され、
前記カプセル化構造体が、前記OLED発光コンポーネントの、前記薄膜トランジスタ層から離れた側に配置され、前記カプセル化構造体および前記無機材料層が、前記側部カプセル化領域内で封止接触しており、
フォトスペーサが、前記側部カプセル化領域によって囲まれた領域の外側に配置された前記画素定義層上のみに配置され、前記フォトスペーサの頂部が前記OLED発光コンポーネントの頂部よりも高い、
ディスプレイパネル。
A display panel comprising a substrate, a thin film transistor layer, a pixel-defining layer, at least two encapsulating structures, and at least two pixel units, the at least two encapsulating structures including the at least two pixel units. It is configured to encapsulate the unit and
the thin film transistor layer is disposed on the substrate,
the pixel, the pixel-defining layer being disposed on the thin film transistor layer, the pixel-defining layer including a pixel region and a side encapsulation region, the side encapsulation region being encapsulated by the encapsulation structure; the pixel region and the side encapsulation region are through-holes disposed on the pixel-defining layer;
The thin film transistor layer is made of an inorganic material layer, and a via is provided at a position corresponding to the side encapsulation region, and the via exposes the inorganic material layer.
the pixel unit includes an OLED light emitting component, the OLED light emitting component being partially or completely disposed within the pixel area;
the encapsulation structure is disposed on a side of the OLED light emitting component remote from the thin film transistor layer, the encapsulation structure and the inorganic material layer being in sealing contact within the side encapsulation region; ,
a photo-spacer is disposed only on the pixel-defining layer disposed outside the area surrounded by the side encapsulation region , and the top of the photo-spacer is higher than the top of the OLED light emitting component;
display panel.
カプセル化構造体の数が画素ユニットの数と同じであり、前記カプセル化構造体の各々が1つの画素ユニットをカプセル化するように構成されている、請求項15に記載のディスプレイパネル。 16. The display panel of claim 15, wherein the number of encapsulation structures is the same as the number of pixel units, and each of the encapsulation structures is configured to encapsulate one pixel unit. 前記カプセル化構造体が、無機材料層による単層構造、または、無機材料層と有機材料層とが交互に積層された多層構造である、請求項15または16に記載のディスプレイパネル。 17. The display panel according to claim 15, wherein the encapsulation structure has a single layer structure including inorganic material layers or a multilayer structure in which inorganic material layers and organic material layers are alternately laminated. 前記ディスプレイパネルが金属線をさらに備え、すべてのOLED発光コンポーネントのカソードが前記金属線を介して接続されている、請求項15に記載のディスプレイパネル。 16. The display panel of claim 15, wherein the display panel further comprises a metal line, and the cathodes of all OLED light emitting components are connected via the metal line. 前記金属線が、前記画素定義層の、前記薄膜トランジスタ層から離間する側に配置されている、または、前記金属線が、前記薄膜トランジスタ層の層構造上に配置されている、請求項18に記載のディスプレイパネル。 19. The metal line according to claim 18, wherein the metal line is arranged on a side of the pixel defining layer that is spaced apart from the thin film transistor layer, or the metal line is arranged on a layer structure of the thin film transistor layer. display panel.
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