JP7286282B2 - リーク検査システム、プログラム - Google Patents

Description

本発明は、検査対象容器の漏れを検査するリーク検査システムおよびそのプログラムに関する。

容器の漏れを検査する場合、検査対象容器と漏れの無い基準容器とに空気等の気体を高圧に加圧導入した後、これらを封止し、その後の検査対象容器の内圧と基準容器の内圧との差圧の変化を観察することで検査対象容器の漏れの有無を判断する方法が一般的に行われている。検査対象容器に漏れがあれば差圧が生じ、その大きさは時間に比例するというのが基本思想である。

しかし、観察される差圧の変化には、漏れのほかに、温度変動に起因する差圧の変化分が含まれる。すなわち、検査対象容器内の気体温度と基準容器内の気体温度がなんらかの理由で相違しても差圧は発生する。そこで、漏洩検査で測定した差圧の変化から、温度に起因する差圧の影響を除去する技術が各種提案されている。

たとえば、下記特許文献１では、検査対象容器であるワークと漏れの無い基準容器であるマスタを同圧の高圧に加圧してから封止した状態で放置したときの差圧の変化を所定時間測定する漏洩検査を行う。さらにこの漏洩検査の前後に、ワークとマスタを大気開放してから封止した状態で放置したときのワーク・マスタ間の差圧の変化を所定時間測定する温度補償用測定工程を行う。そして、前後の温度補償用測定工程で求めた温度補償値（差圧の変化率）の平均値を用いて、漏洩検査時の温度変動に基づく差圧の変化分を推定して、漏洩検査の測定結果を温度補償する。

また、特許文献１では、漏洩検査前の温度補償用測定工程が行われてから漏洩検査が実施されるまでの第１時間と、漏洩検査後の温度補償用測定工程が実施されるまでの第２時間とに差が生じた場合を考慮して、漏洩検査前の温度補償用測定工程で得た温度補償値と漏洩検査後の温度補償用測定工程で得た温度補償値を、第１時間と第２時間の逆比で加重平均した値で、漏洩検査時の測定結果を温度補償することが開示される。

特許第４９９４４９４号

特許文献１では、漏洩検査の前後の温度補償用測定で得た温度補償値が線形に変化するものと仮定して温度補償を行っている。しかしながら実際には温度の影響は線形に変化するものではないので、正確な温度補正になっていない。そのため、最終的に差圧変化率が検出された場合、それが除去できなかった温度ノイズによるものか、漏れによるものかの区別をつけられない。さらに、適切な測定期間を決めて測定期間を最小化することもできなかった。

本発明は、上記問題の解決を課題とするものであり、測定期間の低減を図りつつ、温度の影響を除去して高い精度で漏れを判断することのできるリーク検査システムおよびプログラムを提供することを目的としている。

かかる目的を達成するための本発明の要旨とするところは、次の各項の発明に存する。

［１］リーク検査装置と、情報処理装置とを有するリーク検査システムであって、
前記リーク検査装置は、
検査対象容器と漏れのない基準容器とを大気圧Ｐ_Ｅ開放から双方を封止した後の両容器の内圧の差圧を所定期間にわたり繰り返し測定し、測定した各差圧と測定時刻とを対応付けて記録する大気圧封止測定ステップを行い、
前記大気圧封止測定ステップの終了後に続けて、前記検査対象容器内と基準容器内とに気体を導入して所定の試験圧Ｐ_Ｔに加圧した後に双方を封止し、封止後の両容器の内圧の差圧を所定期間にわたり繰り返し測定し、測定した各差圧と測定時刻とを対応付けて記録する試験圧封止測定ステップを行い、
前記大気圧封止測定ステップで記録したデータから、時間の経過に伴う差圧の変化率の変化率が一定以下になるときの差圧のデータの前記大気圧封止測定ステップでの測定時刻Ｔ_ａとそのときの差圧の変化率Ｑを求める第１勾配取得ステップと、
前記試験圧封止測定ステップで測定したデータから、時間の経過に伴う差圧の変化率の変化率が一定以下になるときの差圧のデータの前記試験圧封止測定ステップでの測定時刻Ｔ_ｂとそのときの差圧の変化率Ｒを求める第２勾配取得ステップと、
測定時刻Ｔ_ａから測定時刻Ｔ_ｂまでを連続して計時した場合の時間差をＴ_Ｓとし、

の演算で前記検査対象容器の漏れの程度を示す値としてＬを求める、もしくは前記演算で求めたＬの値と所定の許容値との比較から前記検査対象容器の漏れの有無を判断する漏れ判断ステップと、
を行うと共に、
前記リーク検査装置は、
漏れのない基準容器と、周囲と異なる温度であって漏れの無い検査対象容器とを、大気圧Ｐ_Ｅ開放から双方を封止した後、両容器の内圧の差圧の測定を一定時間行っては両容器を再び大気圧Ｐ_Ｅ開放とする工程を複数回連続的に繰り返す準備測定ステップを行って、該準備測定ステップで取得した測定データを前記情報処理装置へ出力し、
前記情報処理装置は、
前記リーク検査装置から取得した測定データ、もしくは前記測定データのうちの初めの所定回数分を除く測定データに基づいて、前記検査対象容器と前記基準容器とを大気圧Ｐ_Ｅ開放から封止した後の両容器の内圧の差圧の変化の時定数である大時定数を導出し、
前記リーク検査装置は、
前記情報処理装置が求めた前記大時定数を入力し、前記判断ステップでは、前記入力した大時定数を用いて前記Ｌの値を演算する
ことを特徴とするリーク検査システム。

ワークとマスタを大気圧Ｐ_Ｅ開放から封止後の両容器の内圧の差圧の温度に基づく変化を支配する時定数は大時定数と小時定数の２つであり、そのうちの小時定数に係る差圧の変化は短時間で無視できる大きさに減衰する。また、大時定数に係る差圧の変化については、大気圧封止測定で求めた温度に基づく差圧の変化を引き起こした容器の温度変化の作用が、ほぼそのまま試験圧封止測定のときも継続していると考えられる。そこで、大気圧測定の差圧曲線の勾配の変化率が一定以下になったとき(小時定数に係る変化等が無視できるほどに減衰したとき)の差圧データの測定時刻Ｔ_ａとそのときの勾配（差圧の変化率）Ｑを求める。また試験圧封止測定での差圧曲線の勾配の変化率が一定以下になったとき（小時定数に係る変化等が無視できるほどに減衰したとき）の差圧データの測定時刻Ｔ_ｂとそのときの差圧の変化率Ｒを求める。Ｒは漏れによる差圧の変化分と温度による差圧の変化分を含む。Ｒに含まれる温度による差圧の変化分は、大気圧封止測定の測定時刻Ｔ_ａにおける勾配Ｑが大時定数に従って測定時刻Ｔ_ｂまで経過した時の値に対応する。すなわち、測定時刻Ｔ_ａから測定時刻Ｔ_ｂまでの時間をＴｓとし、圧力比を考慮すると、

である。よって、これをＲから減算することで漏れＬを求めることができる。大時定数の測定は、検査対象容器の１種類毎に１回行えば良い。リーク検査装置は大時定数を求めるための差圧の測定を行ってその測定データを情報処理装置へ出力し、情報処理装置はリーク検査装置から受けた測定データに基づいて大時定数を導出して出力し、リーク検査装置は情報処理装置が導出した大時定数を入力し、これを漏れ判定の演算に使用する。

［２］リーク検査装置と、情報処理装置とを有するリーク検査システムであって、
前記リーク検査装置は、
検査対象容器と漏れのない基準容器とを大気圧Ｐ_Ｅ開放から双方を封止した後の両容器の内圧の差圧を測定期間Ｔ_Ｍにわたって繰り返し測定し、測定した各差圧を測定開始からの順位と共に記録する大気圧封止測定ステップを行い、
前記大気圧封止測定ステップの終了後に続けて、前記検査対象容器内と基準容器内とに気体を導入して所定の試験圧Ｐ_Ｔに加圧した後、前記大気圧封止測定ステップでの測定期間Ｔ_Ｍの終了から圧縮空気導入時間Ｔ_Ｉの経過後に双方が封止された状態となり、封止後の両容器の内圧の差圧を測定期間Ｔ_Ｍにわたって繰り返し測定し、測定した各差圧を測定開始からの順位と共に記録する試験圧封止測定ステップを行い、
前記大気圧封止測定ステップで記録したデータを封止時から時間Ｔ毎のグループ（グループ番号ｍ＝１、２、…Ｍ）に分け、グループ毎の差圧の平均値を時間Ｔで除した、Ｐ_ＥＤ、ｍ （ｍ＝１、２、…Ｍ） を求め、

なる差分列を求める第１勾配取得ステップと、
前記試験圧封止測定ステップで記録したデータを封止時から時間Ｔ毎のグループ（グループ番号ｍ＝１、２、…Ｍ）に分け、グループ毎の差圧の平均値を時間Ｔで除した、Ｐ_ＤＤ、ｍ （ｍ＝１、２、…Ｍ） を求め、

なる差分列を求める第２勾配取得ステップと、
測定期間Ｔ_Ｍと圧縮空気導入時間Ｔ_Ｉの和をＴ_Ｓとし、

なる数列においてｍの増加に伴ってＬ_ｍの値が一定値に収束する場合にその収束値を前記検査対象容器の漏れの程度を示す値と判断する、もしくは、Ｌ_ｍの絶対値が所定の許容値以下となるｍが存在する場合に漏れ無しと判断する漏れ判断ステップと、
を行うと共に、
前記リーク検査装置は、
漏れのない基準容器と、周囲と異なる温度であって漏れの無い検査対象容器とを、大気圧Ｐ_Ｅ開放から双方を封止した後、両容器の内圧の差圧の測定を一定時間行っては両容器を再び大気圧Ｐ_Ｅ開放とする工程を複数回連続的に繰り返す準備測定ステップを行って、該準備測定ステップで取得した測定データを前記情報処理装置へ出力し、
前記情報処理装置は、
前記リーク検査装置から取得した測定データ、もしくは前記測定データのうちの初めの所定回数分を除く測定データに基づいて、前記検査対象容器と前記基準容器とを大気圧Ｐ_Ｅ開放から封止した後の両容器の内圧の差圧の変化の時定数である大時定数を導出し、
前記α_２は、

であり、
前記リーク検査装置は、
前記情報処理装置が求めた前記大時定数を入力し、該入力した大時定数に基づいて前記α_２を求め、
前記判断ステップでは、前記入力した大時定数および前記α_２を用いて前記Ｌ_ｍの値を演算する
ことを特徴とするリーク検査システム。

上記発明では、差圧の測定値から漏れを簡単な演算で判定する。すなわち、Ｑ_ｍは大気圧封止測定の測定開始から時間Ｔ×ｍ後の差圧曲線の勾配に対応する値であり、Ｒ_ｍは試験圧封止測定の測定開始から時間Ｔ×ｍ後の差圧曲線の勾配に対応する値であり、Ｌ_ｍは試験圧封止測定の測定開始から時間Ｔ×ｍ後における漏れを表している。時間Ｔ毎の平均をとることで、測定のノイズを除去している。ｍを増加させてＬ_ｍが一定値に収束したとき、小時定数に係る変化などの過渡的な変化が収まったことを示し、このときの収束値が漏れを示すことになる（収束値が０なら漏れ無し）。

［３］前記リーク検査装置は、
前記漏れ判断ステップにおいて、Ｌ_Ｍ－１の絶対値が前記許容値を超える場合は、

なる数列を作成し、Ｄ_ｍが０に収束するときは、漏れがあると判断する
ことを特徴とする［２］に記載のリーク検査システム。

上記発明では、漏れ判断でＬ_Ｍ－１の絶対値が許容値を超える場合、検査対象容器に漏れがあるのか、測定時間Ｔ_Ｍが不足しているかの区別がつかないので、

なる数列を作成し、Ｄ_ｍが０に収束するか否かによりその区別をつける。０に収束しなければ測定期間Ｔ_Ｍの不足であり、０に収束すればＬ_Ｍ－１で漏れを正しく判断できる。すなわち、漏れがある。

［４］Ｄ_ｍが０に収束しないときは、測定期間Ｔ_Ｍを延長し、大気圧封止測定ステップから再度行う
ことを特徴とする［３］に記載のリーク検査システム。

［５］Ｌ_ｍが収束する最小のｍに基づいて、測定期間Ｔ_Ｍを設定する
ことを特徴とする［２］乃至［４］のいずれか１つに記載のリーク検査システム。

上記発明では、Ｌ_ｍが収束すれば、検査対象容器に漏れがあるか否かを正しく判別することができる。よって、Ｌ_ｍが収束するときの最小のｍに基づいて定めた測定期間Ｔ_Ｍは正しい判定が可能な最小測定期間となる。

［６］リーク検査装置と、情報処理装置とを有するリーク検査システムであって、
前記リーク検査装置は、
検査対象容器と漏れのない基準容器とを大気圧Ｐ_Ｅ開放から双方を封止した後の両容器の内圧の差圧を測定期間Ｔ_Ｍにわたって繰り返し測定し、測定した各差圧を測定開始からの順位と共に記録する大気圧封止測定ステップを行い、
前記大気圧封止測定ステップの終了後に続けて、前記検査対象容器内と基準容器内とに気体を導入して所定の試験圧Ｐ_Ｔに加圧した後、前記大気圧封止測定ステップでの測定期間Ｔ_Ｍの終了後から圧縮空気導入時間Ｔ_Ｉの経過後に双方が封止された状態となり、封止後の両容器の内圧の差圧を所定期間にわたって繰り返し測定し、測定した各差圧を測定開始からの順位と共に記録する試験圧封止測定ステップを行い、
前記大気圧封止測定ステップで記録したデータを封止時から時間Ｔ毎のグループ（グループ番号ｋ＝１、２、…Ｍ）に分け、グループ毎の差圧の平均値を時間Ｔで除した、Ｐ_ＥＤ、ｍ （ｍ＝１、２、…Ｍ） を求め、

として、

の絶対値が所定の許容値以下になる最小のｍの値ｍ_ａを求める第１勾配取得ステップと、
前記試験圧封止測定ステップで記録したデータを封止時から時間Ｔ毎のグループ（グループ番号ｍ＝１、２、…Ｍ）に分け、グループ毎の差圧の平均値を時間Ｔで除した、Ｐ_ＤＤ、ｍ （ｍ＝１、２、…Ｍ） を求め、

として、

の絶対値が所定の許容値以下になる最小のｍの値ｍ_ｂを求め、ｍ_ａとｍ_ｂのうちの小さくない方の値をｋとして、Ｑ_ｋとＲ_ｋを求める第２勾配取得ステップと、
測定期間Ｔ_Ｍと圧縮空気導入時間Ｔ_Ｉの和をＴ_Ｓとし、

の演算で前記検査対象容器の漏れの程度を示す値としてＬを求める、もしくは前記演算で求めたＬの値と所定の許容値との比較から前記検査対象容器の漏れの有無を判断する漏れ判断ステップと、
を行うと共に、
前記リーク検査装置は、
漏れのない基準容器と、周囲と異なる温度であって漏れの無い検査対象容器とを、大気圧Ｐ_Ｅ開放から双方を封止した後、両容器の内圧の差圧の測定を一定時間行っては両容器を再び大気圧Ｐ_Ｅ開放とする工程を複数回連続的に繰り返す準備測定ステップを行って、該準備測定ステップで取得した測定データを前記情報処理装置へ出力し、
前記情報処理装置は、
前記リーク検査装置から取得した測定データ、もしくは前記測定データのうちの初めの所定回数分を除く測定データに基づいて、前記検査対象容器と前記基準容器とを大気圧Ｐ_Ｅ開放から封止した後の両容器の内圧の差圧の変化の時定数である大時定数を導出し、
前記α_２は、

であり、
前記リーク検査装置は、
前記情報処理装置が求めた前記大時定数を入力し、該入力した大時定数に基づいて前記α_２を求め、
前記判断ステップでは、前記入力した大時定数および前記α_２を用いて前記Ｌの値を演算する
ことを特徴とするリーク検査システム。

前述の［２］に係る発明では、差分列Ｌ_ｍを作ったが、［６］に係る発明では、Ｑ_ｍ、Ｒ_ｍの段階で小時定数に係る変化を収束させ(許容値以下とし)、収束したＱ_ｋとＲ_ｋを用いてＬを演算する。どの段階で収束させるかという点以外は［２］と同様である。

［７］ｍ_ａとｍ_ｂのいずれかを求めることができない場合は、測定期間Ｔ_Ｍを延長し、ｋを決定できた場合はｋの値に基づいて以後の測定期間Ｔ_Ｍを設定する
ことを特徴とする［６］に記載のリーク検査システム。

上記発明では、ｍ_ａとｍ_ｂのいずれかを求めることができない場合、すなわち、Ｑ_Ｍ－１，Ｒ_Ｍ－１のいずれかが許容値以下にならない（収束しない）ときは測定期間Ｔ_Ｍを延長し、ｋが求まる（Ｑ，Ｒの両方が収束する）場合は、そのｋに基づいて測定期間Ｔ_Ｍを設定する。

［８］リーク検査装置と、情報処理装置とを有するリーク検査システムであって、
前記リーク検査装置は、
検査対象容器と漏れのない基準容器とを大気圧Ｐ_Ｅ開放から双方を封止した後の両容器の内圧の差圧を測定期間Ｔ_Ｍにわたって繰り返し測定し、測定した各差圧を測定開始からの順位と共に記録する大気圧封止測定ステップを行い、
前記大気圧封止測定ステップの終了後に続けて、前記検査対象容器内と基準容器内とに気体を導入して所定の試験圧Ｐ_Ｔに加圧した後、前記大気圧封止測定ステップでの測定期間Ｔ_Ｍの終了後から圧縮空気導入時間Ｔ_Ｉの経過後に双方が封止された状態となり、封止後の両容器の内圧の差圧を所定期間にわたって繰り返し測定し、測定した各差圧を測定開始からの順位と共に記録する試験圧封止測定ステップを行い、
前記大気圧封止測定ステップで記録したデータを封止時から時間Ｔ毎のグループ（グループ番号ｋ＝１、２、…Ｍ）に分け、グループ毎の差圧の平均値を時間Ｔで除した値を、Ｐ_ＥＤ、ｍ （ｍ＝１、２、…Ｍ）として、

を求める第１勾配取得ステップと、
前記試験圧封止測定ステップで記録したデータを封止時から時間Ｔ毎のグループ（グループ番号ｍ＝１、２、…Ｍ）に分け、グループ毎の差圧の平均値を時間Ｔで除した値を、Ｐ_ＤＤ、ｍ （ｍ＝１、２、…Ｍ）として、

を求める第２勾配取得ステップと、
測定期間Ｔ_Ｍと圧縮空気導入時間Ｔ_Ｉの和をＴ_Ｓとし、

の演算で前記検査対象容器の漏れの程度を示す値としてＬを求める、もしくは前記演算で求めたＬの値と所定の許容値との比較から前記検査対象容器の漏れの有無を判断する漏れ判断ステップと、
を行うと共に、
前記リーク検査装置は、
漏れのない基準容器と、周囲と異なる温度であって漏れの無い検査対象容器とを、大気圧Ｐ_Ｅ開放から双方を封止した後、両容器の内圧の差圧の測定を一定時間行っては両容器を再び大気圧Ｐ_Ｅ開放とする工程を複数回連続的に繰り返す準備測定ステップを行って、該準備測定ステップで取得した測定データを前記情報処理装置へ出力し、
前記情報処理装置は、
前記リーク検査装置から取得した測定データ、もしくは前記測定データのうちの初めの所定回数分を除く測定データに基づいて、前記検査対象容器と前記基準容器とを大気圧Ｐ_Ｅ開放から封止した後の両容器の内圧の差圧の変化の時定数である大時定数を導出し、
前記α_２は、

であり、
前記リーク検査装置は、
前記情報処理装置が求めた前記大時定数を入力し、該入力した大時定数に基づいて前記α_２を求め、
前記判断ステップでは、前記入力した大時定数および前記α_２を用いて前記Ｌの値を演算する
ことを特徴とするリーク検査システム。

上記発明では、適切な測定期間Ｔ_Ｍが決定された後の測定方法を示す。測定期間Ｔ_Ｍの最後における差圧曲線の勾配Ｑ_Ｍ－１、Ｒ_Ｍ－１を求め、これらからＬを演算すればよい。

［９］前記リーク検査装置と前記情報処理装置の間における情報の授受を、通信、記録媒体、手動の入力操作のうちの１または２以上の手段を用いて行う
ことを特徴とする［１］乃至［８］のいずれか１つに記載のリーク検査システム。

［１０］前記リーク検査装置は、操作パネルを備え、前記情報処理装置が導出した前記大時定数の入力操作を前記操作パネルで受け付ける
ことを特徴とする［１］乃至［９］のいずれか1つに記載のリーク検査システム。

［１１］前記大気圧封止測定ステップでの測定期間をTM、前記大気圧封止ステップでの測定期間の終了から前記試験圧封止測定ステップにおいて前記検査対象容器と前記基準容器の双方が試験圧に加圧されて封止された状態になるまでの時間である圧縮空気導入時間をTIとし、
前記情報処理装置は、大時定数に代えて、
β＝ｅｘｐ（－（TM＋TI）／大時定数）
を導出し、
前記リーク検査装置は、前記情報処理装置が導出した前記βを入力して演算に使用する
ことを特徴とする［１］乃至［１０］のいずれか１つに記載のリーク検査システム。

［１２］［１］乃至［１０］のいずれか１つに記載のリーク検査システムにおける情報処理装置で実行されるプログラムであって、
前記リーク検査装置から前記測定データを入力するステップと、
前記測定データに基づいて、前記検査対象容器と前記基準容器とを大気圧Ｐ_Ｅ開放から封止した後の両容器の内圧の差圧の温度に基づく変化を支配する二つの時定数のうちの大きい方の時定数である大時定数を導出するステップと、
導出した前記大時定数を出力する出力ステップと、
を有するプログラム。

［１３］［１１］に記載のリーク検査システムにおける情報処理装置で実行されるプログラムであって、
前記リーク検査装置から前記測定データを入力するステップと、
前記測定データに基づいて、前記検査対象容器と前記基準容器とを大気圧Ｐ_Ｅ開放から封止した後の両容器の内圧の差圧の温度に基づく変化を支配する二つの時定数のうちの大きい方の時定数である大時定数を求めて前記βを導出するステップと、
導出した前記βを出力する出力ステップと、
を有するプログラム。

本発明に係るリーク検査システムおよびプログラムによれば、測定期間の低減を図りつつ、温度の影響を除去して高い精度で漏れを判断することができる。

本発明の実施の形態に係るリーク検査システムのシステム構成を示す図である。 本発明の実施の形態に係るリーク検査システムが有するリーク検査装置の概略構成を示す図である。 大気圧封止測定工程で得た測定データに基づく差圧曲線と、試験圧封止測定工程で得た測定データに基づく差圧曲線を連続した時間軸で表したグラフである。 大気圧封止測定工程から試験圧封止測定工程におけるワークとマスタ内の気体の温度差の変化を示す図である。 大時定数導出工程においてリーク検査システム５が行う処理を示す流れ図である。 準備測定工程における差圧の計測シーケンスを示す図である。 準備測定工程で測定した各回の差圧計測における平均勾配Ｇ_０、Ｇ_１、Ｇ_２、…と、各回の開始時刻との関係を示す図である。 リーク検査装置が情報処理装置に送信する測定データの一例を示す図である。 図８のデータに基づいて情報処理装置が導出した中間データを示す図である。 図９の中間データをプロットした点に基づいて求めた最小二乗法直線を示す図である。 リーク検査システムが一般のリーク検査工程で行う処理を示す流れ図である。

以下、図面に基づき本発明の実施の形態を説明する。

図１は、本発明に係るリーク検査システム５の概略構成を示している。リーク検査システム５は、検査対象となる容器（例えば、給湯器の熱交換器や貯湯タンク）の漏れを検査する装置であり、検査対象容器であるワーク２と、ワーク２と同形状、同材料で構成された容器であって漏れのないことが確認されたマスタ３に気体を導入してこれらの差圧を測定するリーク検査装置１０と、データ処理を行う情報処理装置６０を有して構成される。ワーク２とマスタ３は同じ力学的および熱力学的パラメータを持った異なる容器である。リーク検査装置１０と情報処理装置６０は、通信可能に接続されてデータを授受する。

図２に示すように、リーク検査装置１０は、加圧源接続口１１と、ワーク接続口１２と、マスタ接続口１３と、排気ポート１４を備えている、リーク検査装置１０は内部の管路として、加圧源接続口１１に一端が接続された第１配管２１を有し、該第１配管２１は途中で二手に分岐して第２配管２２と第３配管２３となり、第２配管２２の他端はワーク接続口１２に、第３配管２３の他端はマスタ接続口１３にそれぞれ接続されている。

第１配管２１には第１開閉弁３１が介挿されている。第２配管２２には第２開閉弁３２が介挿されている。また第３配管２３には第３開閉弁３３が介挿されている。第２開閉弁３２とワーク接続口１２との間の第２配管２２は途中で分岐して差圧計３７の一方の接続口に接続されている。同様に、第３開閉弁３３とマスタ接続口１３との間の第３配管２３は途中で分岐して差圧計３７の他方の接続口に接続されている。差圧計３７はその一方の接続口にかかる圧力と他方の接続口にかかる圧力の差（差圧）を計測する。第１開閉弁３１と第３開閉弁３３との間の所定箇所で第３配管２３から第４管路２４が分岐しており、該第４管路２４の途中に第４開閉弁３４が設けてある。第４管路２４の終端は排気ポート１４となっており、排気ポート１４は大気開放にされる。

リーク検査装置１０は、弁の開閉や検査の流れの制御、差圧の測定、測定結果の記録および記録した測定結果に基づく漏れ判定のための演算、情報処理装置６０との間のデータの授受等を行う検査処理部４０を有する。検査処理部４０は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）等で構成された制御部４１と、制御部４１にバスを通じて接続された、記憶部４２、操作パネル４３、弁制御Ｉ／Ｆ４６、差圧計Ｉ／Ｆ４７、通信部４８、記録媒体Ｉ／Ｆ４９を有して構成される。

制御部４１のＣＰＵがＲＯＭに格納されたプログラムに従って各種の処理を実行することでリーク検査装置１０における検査動作および演算、判定等が行われる。

記憶部４２は、ＲＡＭや不揮発メモリ、ハードディスク装置などで構成され、設定された検査条件や、測定したデータ等が記憶される。操作パネル４３は、ユーザから各種の設定操作を受け付ける操作入力部４４、ユーザに対して各種の操作画面、設定画面、動作状況を示す画面などを表示する表示部４５を有する。表示部４５は液晶ディスプレイ等で構成される。操作入力部４４は表示部４５の表示画面上に設けられたタッチスクリーンによるソフトウェアスイッチやその他の機械的スイッチなどで構成される。リーク検査装置１０は操作パネル４３を通じてユーザから各種の設定値の入力操作等を受け付ける。

弁制御Ｉ/Ｆ４６は、各第１開閉弁３１～第４開閉弁３４へ制御信号(開閉を指示する信号)を出力する。差圧計Ｉ/Ｆ４７は、差圧計３７に対して制御信号を出力したり、差圧計３７の出力する検出信号を入力したりする機能を果たす。通信部４８は、情報処理装置６０やその他の外部機器との間で各種データを授受する機能を果たす。通信方式は任意でよく、たとえば、ＬＡＮ（Local Area Network）、ＲＳ-２３２ＣやＵＳＢなどによるシリアル通信である。記録媒体Ｉ/Ｆ４９は、メモリカードやＵＳＢメモリ、ＣＤなどの記憶媒体に対してデータのリード／ライトを行う。

加圧源接続口１１には、図示省略の電空レギュレータ等を介して加圧気体の供給元である圧力源が接続される。

ワーク接続口１２にはワーク２が接続され、マスタ接続口１３にはマスタ３が接続される。

図１に示すように、情報処理装置６０は、ＣＰＵ６１にバスを通じて記憶部６２、通信部６３、ユーザＩ／Ｆ６４、記録媒体Ｉ／Ｆ６７を接続して構成される。記憶部６２は、ＲＯＭ、ＲＡＭ、不揮発メモリ、ハードディスク装置などで構成される。通信部６３は、リーク検査装置１０やその他の外部機器との間で各種データを授受する機能を果たす。通信方式はリーク検査装置１０の通信部４８と同様に任意でよい。ユーザＩ/Ｆ６４には、ユーザ操作を受け付けるキーボード、マウス、タッチスクリーンなどの操作入力部６５、各種の画面を表示する液晶ディスプレイなどの表示部６６が接続される。表示部６６には演算結果、漏れ判定の結果等が表示される。記録媒体Ｉ/Ｆ６７は、メモリカードやＵＳＢメモリ、ＣＤなどの記憶媒体に対してデータのリード／ライトを行う。

情報処理装置６０は記憶部６２に記憶されているプログラムに従ってＣＰＵ６１が処理を行うことで、リーク検査装置１０のデータの授受や本発明に係るデータ処理を行う。なお、情報処理装置６０は、汎用のパーソナルコンピュータ（ＰＣ）に、本発明に係るデータ処理等を行うためのソフトウェアをインストールして構成されてもよい。

次に本発明の概要を説明する。

本発明に係るリーク検査システム５によるリーク検査では、ワーク２とマスタ３とを大気圧Ｐ_Ｅ開放した後に双方を封止し、封止後の両容器の内圧の差圧を差圧計３７で所定期間にわたり繰り返し測定し、測定した各差圧と測定時刻(測定時刻に代わり、測定時刻を特定できれば測定順位などでもよい)とを対応付けて記録する大気圧封止測定工程を行う。次に、大気圧封止測定工程の終了後に続けて、ワーク２とマスタ３とに気体を導入して所定の試験圧Ｐ_Ｔに加圧した後に双方を封止し、封止後の両容器の内圧の差圧を所定期間にわたり繰り返し測定し、測定した各差圧と測定時刻(測定時刻に代わり、測定時刻を特定できれば測定順位などでもよい)とを対応付けて記録する試験圧封止測定工程を行う。

そして、大気圧封止測定工程で記録したデータから、時間の経過に伴う差圧の変化を表したグラフ（差圧曲線）の勾配（差圧の変化率）の差分（変化率）が一定以下になったときの差圧のデータの大気圧封止測定工程での測定時刻Ｔ_ａとそのときの差圧の変化率（勾配）Ｑを求める第１勾配取得工程、及び、試験圧封止測定工程で記録したデータから、時間の経過に伴う差圧の勾配(差圧の変化率)の差分（変化率）が一定以下になったときの差圧のデータの試験圧封止測定工程での測定時刻Ｔ_ｂとそのときの差圧の変化率（勾配）Ｒを求める第２勾配取得工程を行う。

その後、測定時刻Ｔ_ａから測定時刻Ｔ_ｂまでを連続して計時した場合の時間差をＴ_Ｓとし、ワーク２の漏れＬを、

の演算で求める、もしくはＬの値に基づいてワーク２の漏れの有無を判断する漏れ判断工程を行う。

図３は、大気圧封止測定工程で得た測定データに基づく時間の経過に伴う差圧変化と、試験圧封止測定工程で得た測定データに基づく差圧変化とを、大気圧封止測定工程の開始時点から連続した時間軸で表したグラフ(差圧曲線)である。試験圧封止測定工程での差圧変化は、ワーク２からの漏れによる差圧変化と、温度に基づく差圧変化の和である。一方、大気圧封止測定工程での差圧変化は、温度に基づく差圧変化のみと考えられる。

しかし、同じワーク２について大気圧封止測定工程と試験圧封止測定工程を同時に行うことはできない。そこで、本発明では、試験圧封止測定工程の直前に実施した大気圧封止測定工程で得た差圧曲線の勾配Ｑ（差圧の変化率)から、試験圧封止測定工程での温度による差圧の変化率を推定し、これに試験圧と大気圧の比を乗じた値を、試験圧封止測定工程で得た差圧曲線の勾配Ｒから減じることで、試験圧封止測定工程での漏れによる差圧の変化率(漏れＬ)を推定する。

ところで、図３と同じ時間軸においてワーク２内の気体温度とマスタ３内の気体温度との温度差の変化を示すと図４のようになる。ワーク２内の気体温度は、大気圧封止測定工程において曲線ＡＢのように変化し、もし大気圧封止測定工程の後に試験圧への加圧を行われなければ、そのまま継続した変化となり、破線ＢＣで示すようになる。実際には、試験圧に加圧されることで容器内の気体が断熱圧縮されて温度上昇するため、ＢＤＥのように変化する(グラフは誇張して描いてある)。

しかし、空気に比べて容器の熱容量が十分大きいこと、加圧による発熱はワーク２とマスタ３の双方でほとんど等しいことなどから、たとえば、容器内の空気を６分の１に断熱圧縮しても、ワーク２とマスタ３の内部の気体温度の差は、加圧しない場合とほとんど変わらない。すなわち、現実には、図４のＡＢＤ´ＣのようにＡＢＣにほぼ重なる曲線になる。

そして、絶対温度と圧力とは比例するので、試験圧での温度による差圧変化は温度差変化と同様になる。すなわち、大気圧封止測定工程での温度による差圧の変化は、その後の試験圧封止測定においては、封止圧力の比をかければそのまま継続していると推定される。

そこで、温度差のあるワーク２とマスタ３とを大気圧Ｐ_Ｅ開放から封止した後の両容器の内圧の差圧の変化（これは温度に基づく変化）を支配する２つの時定数のうちの大きい方の時定数である大時定数を予め測定して求めておく。そして、漏れ判断工程では、勾配Ｑの測定時刻Ｔ_ａから勾配Ｒの測定時刻Ｔ_ｂまでの経過時間Ｔ_Ｓと大時定数とで勾配Ｑを補正して、勾配Ｒの測定時刻Ｔ_ｂになったときの温度による差圧の変化率を推定する。また大気圧と試験圧の違いをＰ_Ｔ／Ｐ_Ｅにより補正する。すなわち、

の演算で漏れＬを求めて、漏れの有無を判断する。なお、上記温度による差圧の変化を支配する２つの時定数の内の小さい方を小時定数とする。

第１勾配取得工程、第２勾配取得工程では、差圧曲線の勾配の変化率が一定以下に収まった後の勾配(差圧の変化率)を取得することで、温度に係る変化のうち小時定数に係る差圧変化等が無視できる程度に十分減衰するのを待っている。

次に、より詳細に、本発明の理論的な説明を行う。

ここでは計測時間内での周囲温度変化が無視できる場合を扱う。周囲温度が計測時間内に無視できないほど変化する場合には、別の方法を考えるべきである。それは計測時間が長い場合や、換気が速く行われるなどの場合に起こる。本発明は、容器等の環境温度の変化が無視できる程度に短時間で、測定を終了する漏れ試験法に関する。

以下で使用する差圧は、
差圧Ｐ_Ｄ＝(マスタの内圧)－（ワークの内圧）
とする。

図２において、第２開閉弁３２、第３開閉弁３３を封止した時刻をｔ＝０とするとき、周囲の温度が変わらないときに生じる差圧は

である。ただしＰ_Ｃを封止圧力とするとき

であって、Ｇは質量流量、Ｍ_Ｃは封止された空気質量である。この質量流量Ｇは、Ｐ_Ｅを環境圧力、Ｋ_Ｖをリークを生じさせている孔により定まる定数として

である。Ｃ_１及びＣ_２は温度の初期条件で決定するので、漏れ測定前に知ることはできない。

漏れ測定前に知ることができるパラメータは次のものである。
ガス定数：Ｒ
製品によって決定するパラメータ（温度変化の時定数）：Ｔ_１，Ｔ_２，
試験条件により決定する既知の量：Ｐ_Ｃ，Ｐ_Ｅ，Ｍ_Ｃ，μ_，θ_０，
μは空気粘度、θ_０は空気温度である。Ｔ_１は小時定数、Ｔ_２は大時定数である。

式(1)はＰ_Ｃが大気圧のときも試験圧のときも成り立つ。しかし、パラメータはすべて異なり、時間の原点も異なる。

本発明が好適に適用できる容器は、

が成り立つものである。差圧の計測、記録は、測定期間である時間Ｔ_Ｍにわたって行う。Ｔ_Ｍの大きさの目安は、

である。なお、大気圧での時間Ｔ_Ｍにわたる差圧測定と次の試験圧での差圧測定の開始の間には加圧するためにインターバルＴ_Ｉが必要である。おおむね

程度のＴを選んで

とおく。これらは、差圧の時間的な変化の比較において使用する。

＜圧力変化の様子を一つの指数関数で近似する＞
さて、式(1)のｔにｔ＋Ｔを代入すると

である。式(9)から式(1)のα_２倍を引くと、大時定数の指数関数を消去することができる。式(10)の左辺はリークを評価するための関数である。

まず、大気圧による１回目の測定について考察する。
容器内を環境圧力Ｐ_Ｅ（大気圧）で満たして密閉した後に差圧が発生したならば、その差圧は内部気体温度の変化により生じたと言える。このときには、式(2)において

であるが、式(4)、(3)、(2)により、

である。これを式(10)に代入して、次式を得る

左辺の観測値をプロットすれば、それは定数と指数関数の和となる。式(13)の左辺を測定値から求め、その変化が微小になれば、測定を打ち切る。

式(13)は、十分時間が経過して、二つの容器（ワークとマスタ）の温度差が０になっても、差圧は０にならないことを示す。式(13)の値が一定とみなせる程度に収束するまでが、計測に必要な時間である。それゆえ

程度とすれば、式(13)の右辺第２項が微小となり、温度により生じる圧力変化率が

と、求められる。これは、時定数Ｔ_２が非常に大きいことによる、見せ掛けの質量変化率（偽りの漏れ）である。

次に第２回目の測定は、試験圧力Ｐ_Ｔを両容器に封止して行う。圧力が変わるので、Ｃ_０＝０とはいえない。また時間原点が変わるので、温度初期値が変更される。したがって、式(13)に代わり

としなければならない。初期値により定まる定数が前と異なるので、ここではＣ´_１、Ｃ´_２と記号を区別してある。大気圧による第１回目の測定と試験圧による第２回目の測定との時間的な関係は図２に示される。

容器に試験圧をかけたとき、漏れ孔があれば漏れを生じる。一方、漏れの有無に関わらず、容器内には温度変化による気体圧力の変化が生じる。観測される差圧変化は、漏れによる差圧変化と温度による差圧変化の和である。同じ容器に対して加圧なしと加圧ありの場合の同時測定を行うことは不可能であるから、これらの分離には、なんらかの推論が必要である。そこで、温度による差圧変化を推定し、その推定値と異なる差圧が観測されたならば、その差が「漏れ」による圧力変化であるとみなすものとする。

まず次の量を求める。

これに式(13)、(16)を代入して

さて、測定の有無に関わらず、容器と外部環境との熱交換は続く。しかし容器を加圧すると、内部にあった気体は圧縮されて、熱が発生する。このことは空気の温度上昇を引き起こすし、容器への熱伝達により容器温度も上昇する。加圧による発熱量はマスタとワークにおいてほとんど等しいから、容器温度差は時定数Ｔ_２により定まる連続的な変化で近似され、その状況での容器温度差推定が行える。図４は２つの測定を通じた、容器温度差の変化を説明している。

大気圧封止で計測しているときの容器内空気の温度差が、曲線ＡＢで表されている。加圧がなければ、この曲線は破線ＢＤ´Ｃのように続く。この曲線は、ＡＢの延長であって、数式的には、ＡＢまでの経過により決定されている。ＢＤ´は加圧過程であるから、温度差はＢＤのようになるが、Ｄ´とＤはほとんど重なる場合が多いので、ここでは、そのような場合を考察する。その後の温度は、ＤＥのような容器の放熱で代表される変化過程をたどるが、その曲線はＤ´Ｃとほぼ重なると仮定することができる。この仮定が成り立たないという事例のときはあるが、そういう事例に対して本発明を適用すると不正確な結果を招く。

さて、曲線ＡＢＣは、

と近似することができて、加圧後の時刻の原点はＴ_Ｍ＋Ｔ_Ｉだけ、加圧前の大気圧封止測定よりも後である。加圧後の時間、初期値など関係量は、大気圧封止の場合の記号にダッシュ（´）をつけて表す。しからば、ＢＣとＤＥがほとんど重なっているので、

であるが、Ｔ_２＞＞Ｔ_１であるから、通常は第２項は第１項に比べて微小である。

それゆえ

と推定できる。それゆえ、漏れによる圧力変化率は

となる。この右辺第２項が減衰するのは、データを観測して待つべき時間を調査する。これはＬの経時特性から、減衰の時定数Ｔ_１を観測すれば、毎度調べる必要はない。式(23)式の右辺の第２項が減衰した後に残る右辺の第１項は漏れを表しているから、測定値から求まる式(17)の演算結果は、漏れを示すことになる。

測定値から求まる式(17)の右辺は、ノイズを含む。また、リークを見るには、左辺(式(23))の指数関数項の減衰を待つ必要がある。ノイズに関しては、Ｌの時間幅Ｔにわたる平均値を求めて、近似的に消去する。この平均化は、上記のデータ処理の前で行っても、結果は同じである。

漏れ量推定は、式(17)をデータから計算することにより行われる。この計算では、大時定数Ｔ_２を前もって知っている必要がある。マスタを加熱せず、ワークを加熱して、差圧の時間曲線を一度求めれば、Ｔ_２の数値は十分正確に知ることができる。

次に、差圧を測定し、式(17)に対応する演算を行って漏れの有無を判断する検査工程について説明する。

リーク検査システム５では、所定の測定を行って大時定数を求める大時定数導出工程を行い、その後、ワーク２について漏れの有無を調べる一般のリーク検査工程を行う。大時定数の測定は、測定物１種類に対して１回行えば良く、個々のリーク検査においては、一般の検査プロセスを実行するだけで良い。まず、大時定数導出工程について説明する。

＜大時定数（Ｔ_２）の測定＞
図５は、大時定数導出工程においてリーク検査システム５が行う処理を示す流れ図である。まず、リーク検査装置１０は、大時定数を測定するための準備測定工程を行う（ステップＳ１０１）。準備測定工程では、リーク検査装置１０のマスタ接続口１３に漏れのないマスタを接続し、ワーク接続口１２には周囲と異なる温度であって漏れの無いことが確認されているワークを接続する。

次いでワークとマスタを環境空気に開放してから封止し、差圧計測を始める。この差圧は、時刻ｔ＝０において、弁（第２開閉弁３２，第３開閉弁３３）を遮断して差圧計測を開始し、一定時間Ｔ_Ａ後に弁３２、３３を開放して、零（大気開放で差圧０の状態）に戻す操作をする。なお、一定時間Ｔ_Ａに渡る差圧計測で得られる差圧曲線が直線近似できる程度に短いＴ_Ａを取る。

準備測定工程では、このような一定時間Ｔ_Ａに渡る差圧計測を、Ｔ_Ｂ時間の大気開放期間を挟んで複数回繰り返し行う。すなわち、図６に示すように、ｔ＝０で大気開放から封止し、一定時間Ｔ_Ａに渡る第１回目の差圧計測（Ｅ_０）、Ｔ_Ｂ時間の大気開放、再び封止して一定時間Ｔ_Ａに渡る第２回目の差圧計測（Ｅ₁）、Ｔ_Ｂ時間の大気開放、再び封止して一定時間Ｔ_Ａに渡る第３回目の差圧計測（Ｅ₂）…のようにして差圧の計測を繰り返す。

たとえば、1回の差圧計測では一定時間Ｔ_Ａを５０秒とし、０．２秒毎の差圧の計測を５０秒間に渡って行う。時間Ｔ_Ｂは、１０秒前後とし、差圧計測を、たとえば、２０回繰り返す。この際、実際の各回の差圧計測の開始時刻（StartTime:第１回目の差圧計測の開始時点（ｔ＝０）からの経過時間、ＳＴ_１，ＳＴ_２…）を測定する。

リーク検査装置１０は、各回の差圧計測（Ｅ_０～Ｅ_ｎ）で得た測定データから各回の差圧計測における差圧曲線の平均勾配Ｇ_０、Ｇ_１、Ｇ_２、…を求める。図７は、各回の差圧計測における平均勾配Ｇ_０、Ｇ_１、Ｇ_２、…と、各回の開始時刻（StartTime：ＳＴ_ｎ）との関係を示している。図７の横軸は時間、縦軸は差圧である。リーク検査装置１０は、各回の開始時刻（StartTime：ＳＴ_ｎ）とその回の平均勾配Ｇ_ｎを紐付けたデータを作成して情報処理装置６０へ出力する（図５、ステップＳ１０２）。図８は、リーク検査装置１０が情報処理装置６０に送信する測定データの一例を示している。

リーク検査装置１０は、たとえば、ＲＳ-２３２Ｃ等のシリアル通信で測定データを情報処理装置６０に送信する。

情報処理装置６０は、リーク検査装置１０から測定データを受信し（図５、ステップＳ２０１）、その受信した測定データに基づいて大時定数を演算で導出する（ステップＳ２０２）。大時定数の導出は以下のように行う。

各回の差圧計測（Ｅ_０～Ｅ_ｎ）における差圧曲線は、ほとんど直線とみなせる程度にＴ_Ａは短い。このとき、

となっているから、両辺の対数を取った形

から、最小二乗法で１／Ｔ_２を求めれば良い。ｋ＝３くらいまでのデータは、もう一つの時定数の影響を受けることがあるので、削除してから、残りのデータを使ってＴ_２を求めるほうが、より真値に近くなる。

詳細には、情報処理装置６０は、図８のデータに基づいて、Log（Ｇ_１/Ｇ_０）、Log（Ｇ_２/Ｇ_０）、Log（Ｇ_３/Ｇ_０）…を求め、これらを各回のStartTime（ＳＴ_ｎ）に対応付けた図９のデータを作成する。そして、図９に示すStartTime（ＳＴ_ｎ）をX座標、Log（Ｇ_ｎ/Ｇ_０）の値をY座標とする点を、図１０に示すような座標上にプロットした場合の、これらプロット点に対する最小二乗法直線を求める。そして、この最小二乗法直線の勾配の逆数を大時定数として導出する。

情報処理装置６０は、導出した大時定数をリーク検査装置１０に対して出力し（図５、ステップＳ２０３）、リーク検査装置１０は情報処理装置６０の出力した大時定数を入力して（ステップＳ１０３）、大時定数導出工程は終了する。

ここでは、情報処理装置６０は、大時定数を自装置の表示部６６に表示し、ユーザがこれを目視で読み取り、その値を、操作パネル４３の操作入力部４４を使用してリーク検査装置１０に手入力する。なお、情報処理装置６０からリーク検査装置への大時定数の受け渡しは、手入力に代えて、通信で行っても良いし、記録媒体を介して行うようにしてもよい。

次に、ワーク２の漏れを計測する一般のリーク検査工程について説明する。

漏れ測定に使う時間を１分ないし数分程度とする場合には、０．１秒程度の時間ステップｓごとに、差圧の測定及び記録を行う。この時間ステップｓのｎ倍(ｎは整数で、おおむね１０以上)をＴとし、ＴのＭ倍（Ｍは整数でおおむね４以上）＝Ｔ_Ｍを差圧記録時間（測定期間Ｔ_Ｍ）とする。大気圧封止でのＴ_Ｍにわたる測定記録の完了から、次に行われる試験圧での差圧測定開始までの時間をＴ_Ｉとし、Ｔ_Ｉはできるだけ短く設定する。漏れ測定に使う時間が長い場合には、それに応じてｓも大きく取って良い。

＜α及びβの決定＞
式(17)に対応する演算を行って漏れの有無を判断するには、式(17)に含まれるα及びβの値を特定する必要がある。圧力の過渡応答は一つの線形関数と、二つの一次遅れステップ応答の和で表される。一次遅れステップ応答の時定数で、大きいほうが既述の大時定数であり、それを用いて

である。Ｔ、Ｔ_Ｍ、Ｔ_Ｉは試験者が任意に定めることができるが便宜上、Ｍを正整数としてＴ_ＭはＴのＭ倍に設定する。大時定数Ｔ_２は試験体（ワーク）によって定まる固有値により決定するもので、試験体によって定まる。Ｔ_２は製品が決まれば決定するので、前述のようにして、一度測定しておけば、その後の同じ製品に対して、その値を使い続けることができる。

＜一般のリーク検査工程＞
図１１に一般のリーク検査工程の流れを示す。まず、第１開閉弁３１を閉じた状態のリーク検査装置１０のマスタ接続口１３にマスタ３を接続し、ワーク接続口１２に検査対象のワーク２を接続する（図１１、ステップＳ１２１）。

次にリーク検査装置１０は、大気圧封止測定工程を行う（ステップＳ１２２）。大気圧封止測定工程では、リーク検査装置１０は、第２開閉弁３２、第３開閉弁３３、第４開閉弁３４を開いて大気圧Ｐ_Ｅ開放とし、その後、第４開閉弁３４を閉じ、さらに第２開閉弁３２、第３開閉弁３３を同時に閉じて、ワーク２とマスタ３を大気圧で封止する。双方を封止したときを測定の開始時点として、両容器の内圧の差圧を時間ｓ毎に、測定期間Ｔ_Ｍにわたって繰り返し測定し、測定した各差圧を測定開始からの順位と共に（たとえば測定順に）記録する。前述したように、時間ｓのｎ倍がＴであり、Ｔの整数倍（Ｍ倍、たとえば１０倍）が測定期間Ｔ_Ｍである。測定の順位に代えて測定の時刻と紐付けて記録してもよい。

大気圧封止での測定が終了したら続けて試験圧封止測定工程を行う（図１１、ステップＳ１２３）。具体的には、リーク検査装置１０は、第２開閉弁３２、第３開閉弁３３を開いた後に第１開閉弁３１を開き、ワーク２とマスタ３の双方に圧力源から気体を導入して試験圧に加圧する。試験圧に加圧後、第１開閉弁３１を閉じ、さらに第２開閉弁３２、第３開閉弁３３を同時に閉じることでワーク２とマスタ３を試験圧で封止する。

双方を封止したときを測定の開始時点として、両容器の内圧の差圧を時間ｓ毎に、測定期間Ｔ_Ｍにわたって繰り返し測定し、測定した各差圧を測定開始からの順位と共に（たとえば測定順に）記録する。大気圧封止での測定終了から試験圧封止での測定開始までの時間(チャージ時間)が予め定めた圧縮空気導入時間Ｔ_Ｉとなるように試験を進めるものとする。

差圧測定は、大気圧封止測定とこれに続けて行う試験圧封止測定の２回を一組として行い記録する。なお、検査対象のワークの大時定数Ｔ_２を前述の大時定数導出工程で予め求めてリーク検査装置１０に入力しておき、さらにα、βを式(26)、(27)により予め求めておく。一般のリーク検査工程では、上記の大時定数、α、βを使用した演算を行う。

なお、前述した大時定数導出工程では、情報処理装置６０にて大時定数を導出し、これをリーク検査装置１０に入力するようにしたが、情報処理装置６０でβを求め、これをリーク検査装置１０に入力するようにしてもよい。この場合、図５のステップＳ１０２で時間Ｔ_Ｓ、すなわち（Ｔ_M＋T_Ｉ）の値をリーク検査装置１０から情報処理装置６０に送信し、情報処理装置６０は、この値と自装置で求めた大時定数Ｔ_２とから(27)式でβを求める。大時定数Ｔ_２に代えてβの値を情報処理装置６０で算出してリーク検査装置１０に入力する場合には、リーク検査装置１０は、情報処理装置６０から受けたβの値に基づいてαの値を導出する。

次に、リーク検査装置１０は、大気圧封止測定工程および試験圧封止測定工程で測定して得た差圧データに基づいて、ワーク２の漏れの有無を判断するための演算判断工程を行って（図１１、ステップＳ１２４）本処理を終了する。複数のワーク２検査する場合には、図１１の処理を繰り返せばよい。演算判断工程は、前述の第１勾配取得工程、第２勾配取得工程、漏れ判断工程を含む。Ｓ１２４の演算判断工程では以下に説明する演算を行う。

［大気圧封止の差圧データに基づく演算］
記録した差圧を、

とする。これから、ｎ個(時間Ｔ)ごとの平均値を作って記録する。この処理は測定中に行って、その結果だけを記録してもよい。

これより次の数列をつくる。

Ｑ_ｍは項数がＭ－１の数列である。

［試験圧封止の差圧データに基づく演算］
大気圧封止の場合と同様に差圧をｎ個ごとに区切って、その平均値を作って記録する。この処理は測定中に行って、その結果だけを記録してもよい。

これより

をつくる。Ｒ_ｍは項数がＭ－１の数列である。

［Ｑ_ｍとＲ_ｍに基づく漏れ判断の演算］
Ｑ_ｍとＲ_ｍから次の数列を作る。

この数列は、漏れにより発生する差圧の変化率の近似値であって、ｍの増加にともない一定値に近づく。この収束値を用いて、漏れＵは次式で表される。

漏れの許容値Ｕ_Ｃが定めてあるときには、次式が成り立つ場合を漏れ検査合格とする。

一般の測定では、式(35)が成り立たない場合もある。そのときには漏れを疑うが、漏れでない場合もある。そこで、式(35)が成り立たない場合には次の処理を行う。

［漏れが疑われる場合の処理］
Ｌ_Ｍ－１の値が大きい場合には、漏れを疑う。このときには、記録してある数列｛Ｌ_Ｍ｝を調査する。すなわちＬ_Ｍの差分列

をつくり、Ｄ_ｍが０に収束するときには、得られているＬ_Ｍ－１は漏れを表している。
このとき

ならば、差分列Ｄ_ｍは０に収束していない。Ｄ_ｍが０に収束していないならば、それは、温度の過渡現象が計測時間内に落ち着いていないことを表している。この場合には、得た結果を破棄し、単に再測定を行うか、Ｍの値を増やして再計測を行い、式(36)以下の判定を再度行う。これで測定終了となる。

この段階でＤ_ｍが０に収束しないならば、測定器あるいは測定システムが不適切、あるいはパラメータの誤入力の疑いがある。

この再計測に関して次の注意が必要である。搬送されてきたワークが環境温度に比べて特に高温、あるいは低温のときには、計測時間が不足になる場合がある。このような場合には、１回目の計測により、温度が環境温度に近づくので、計測時間の延長をしないで、単なる再計測を行っても、Ｌ_Ｍ－１が０に収束し、式(35)が成り立つようになることがある。このときには、２回目の計測値が正しく、最初のＬ_Ｍ－１は初期温度差が過大であったことにより、収束に至らなかった値である。

［最短の測定期間Ｔ_Ｍ］
Ｍ－１以下のｍでＬ_ｍが一定値に収束する場合、一定値に収束する最小のｍ（もしくはこれに少数の余裕量（たとえば１または２）を加えた値）を新たなＭとして測定期間Ｔ_Ｍを定めればよい。同様に式(35)が成立する最小のｍ（もしくはこれに少数の余裕量（たとえば１または２）を加えた値）を新たなＭとして測定期間Ｔ_Ｍを定めればよい。このようにして最小の測定期間Ｔ_Ｍを設定することができる。その後の同じ製品に対する試験ではこの測定期間Ｔ_Ｍを用いればよい。

＜一般のリーク検査工程の変形例＞
変形例では、式(30)、式(32)の段階でそれぞれ収束を確認する。すなわち、式(30)の数列を求めた後、

の絶対値が所定の許容値以下になる最小のｍの値ｍ_ａを求める。また、式(32)の数列を求めた後、

の絶対値が所定の許容値以下になる最小のｍの値ｍ_ｂを求める。次にｍ_ａとｍ_ｂのうちの小さくない方の値をｋとして、Ｑ_ｋとＲ_ｋを求める。ここでは、ｒ_ｍについては、最初にｍ＝ｍ_ａでｒ_ｍを求め、その絶対値が所定の許容値以下ならばｍ_ａをｋとする。その絶対値が所定の許容値以下でなければ、ｍの値をｍ_ａから＋１ずつ増して行き、ｒ_ｍの絶対値が所定の許容値以下になる最小のｍの値をｋとする。

そして、

の演算で求めたＬの値に基づいてワークの漏れの有無を判断する。Ｌの絶対値が所定の許容値以下ならば漏れ無し(合格品)と判定し、Ｌの絶対値が許容値を超えるならば漏れあり（不合格品）と判定する。

ｍ_ａとｍ_ｂのいずれかを求めることができない場合、すなわち、ｑ_ｍ、ｒ_ｍの絶対値が許容値以下に収束しない場合は、測定期間Ｔ_Ｍを延長する。一方、ｋを決定できた場合はｋの値に基づいて以後の測定期間Ｔ_Ｍを設定する。たとえば、ｋの値（もしくはこれに少数の余裕量（１または２）を加えた値）を新たなＭとして測定期間Ｔ_Ｍを定めればよい。このようにして最小の測定期間を設定することができる。

その後の同じ製品の別のワークに対する試験ではこの測定期間Ｔ_Ｍを用いればよい。また演算では最終の勾配Ｑ_Ｍ－１とＲ_Ｍ－１を求め、Ｌ_Ｍ－１から漏れを判断すればよい。

以上のように本発明によれば、大時定数を求めておけば、あとは、最小二乗法や連立方程式を用いることなく、簡単な四則演算で漏れを判定することができる。また、測定期間Ｔ_Ｍの過不足を判定して、最短の測定期間Ｔ_Ｍを設定することができる。また、漏れ無し判定の理論的根拠が明確である。

以上、本発明の実施の形態を図面によって説明してきたが、具体的な構成は実施の形態に示したものに限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲における変更や追加があっても本発明に含まれる。

実施の形態では、圧力源からワーク２、マスタ３に導入する気体を空気としたが、空気以外であってもよく、窒素としてもよい。ただし、水蒸気は良くない。

本発明は、リーク検査システムのほか、リーク検査システムの情報処理装置で実行されるプログラムも含まれる。

実施の形態で示すリーク検査装置１０は一例であり、これに限定されるものではなく、大気圧封止測定に続けて試験圧封止測定を実施可能な検査装置であればよい。

実施の形態では、大時定数を求める演算以外の演算をリーク検査装置１０側で行うようにしたが、各種の測定データや測定条件等を情報処理装置６０に転送し、リーク検査装置１０で行っていた演算の一部または全部を情報処理装置６０で行うようにしてもよい。たとえば、大気圧封止測定工程で得た測定データや試験圧封止測定工程で得た測定データ並びに各種測定条件の設定値などをリーク検査装置１０から情報処理装置６０へ受け渡し、情報処理装置６０にて演算判断工程の全部または一部の演算を行うようにしてもよく、最終的な漏れ判定の結果を情報処理装置６０で求めて表示するようにしてもよい。

情報処理装置６０とリーク検査装置１０との間のデータの授受は、通信によるほか、記録媒体を介して行っても良く、手入力としてもよい。実施の形態では、情報処理装置６０で求めた大時定数やβの値を手入力でリーク検査装置１０へ入力するようにしたが、通信や記録媒体を用いてリーク検査装置１０に入力するようにしてもよい。

２…ワーク
３…マスタ
５…リーク検査システム
１０…リーク検査装置
１１…加圧源接続口
１２…ワーク接続口
１３…マスタ接続口
１４…排気ポート
２１…第１配管
２２…第２配管
２３…第３配管
２４…第４管路
３１…第１開閉弁
３２…第２開閉弁
３３…第３開閉弁
３４…第４開閉弁
３７…差圧計
４０…検査処理部
４１…制御部
４２…記憶部
４３…操作パネル
４４…操作入力部
４５…表示部
４６…弁制御Ｉ／Ｆ
４７…差圧計Ｉ／Ｆ
４８…通信部
４９…記録媒体Ｉ／Ｆ
６０…情報処理装置
６１…ＣＰＵ
６２…記憶部
６３…通信部
６４…ユーザＩ／Ｆ
６５…操作入力部
６６…表示部
６７…記録媒体Ｉ／Ｆ

Claims (13)

1. リーク検査装置と、情報処理装置とを有するリーク検査システムであって、
   前記リーク検査装置は、
   検査対象容器と漏れのない基準容器とを大気圧Ｐ_Ｅ開放から双方を封止した後の両容器の内圧の差圧を所定期間にわたり繰り返し測定し、測定した各差圧と測定時刻とを対応付けて記録する大気圧封止測定ステップを行い、
   前記大気圧封止測定ステップの終了後に続けて、前記検査対象容器内と基準容器内とに気体を導入して所定の試験圧Ｐ_Ｔに加圧した後に双方を封止し、封止後の両容器の内圧の差圧を所定期間にわたり繰り返し測定し、測定した各差圧と測定時刻とを対応付けて記録する試験圧封止測定ステップを行い、
   前記大気圧封止測定ステップで記録したデータから、時間の経過に伴う差圧の変化率の変化率が一定以下になるときの差圧のデータの前記大気圧封止測定ステップでの測定時刻Ｔ_ａとそのときの差圧の変化率Ｑを求める第１勾配取得ステップと、
   前記試験圧封止測定ステップで測定したデータから、時間の経過に伴う差圧の変化率の変化率が一定以下になるときの差圧のデータの前記試験圧封止測定ステップでの測定時刻Ｔ_ｂとそのときの差圧の変化率Ｒを求める第２勾配取得ステップと、
   測定時刻Ｔ_ａから測定時刻Ｔ_ｂまでを連続して計時した場合の時間差をＴ_Ｓとし、
   

   

   の演算で前記検査対象容器の漏れの程度を示す値としてＬを求める、もしくは前記演算で求めたＬの値と所定の許容値との比較から前記検査対象容器の漏れの有無を判断する漏れ判断ステップと、
   を行うと共に、
   前記リーク検査装置は、
   漏れのない基準容器と、周囲と異なる温度であって漏れの無い検査対象容器とを、大気圧Ｐ_Ｅ開放から双方を封止した後、両容器の内圧の差圧の測定を一定時間行っては両容器を再び大気圧Ｐ_Ｅ開放とする工程を複数回連続的に繰り返す準備測定ステップを行って、該準備測定ステップで取得した測定データを前記情報処理装置へ出力し、
   前記情報処理装置は、
   前記リーク検査装置から取得した測定データ、もしくは前記測定データのうちの初めの所定回数分を除く測定データに基づいて、前記検査対象容器と前記基準容器とを大気圧Ｐ_Ｅ開放から封止した後の両容器の内圧の差圧の変化の時定数である大時定数を導出し、
   前記リーク検査装置は、
   前記情報処理装置が求めた前記大時定数を入力し、前記判断ステップでは、前記入力した大時定数を用いて前記Ｌの値を演算する
   ことを特徴とするリーク検査システム。
2. リーク検査装置と、情報処理装置とを有するリーク検査システムであって、
   前記リーク検査装置は、
   検査対象容器と漏れのない基準容器とを大気圧Ｐ_Ｅ開放から双方を封止した後の両容器の内圧の差圧を測定期間Ｔ_Ｍにわたって繰り返し測定し、測定した各差圧を測定開始からの順位と共に記録する大気圧封止測定ステップを行い、
   前記大気圧封止測定ステップの終了後に続けて、前記検査対象容器内と基準容器内とに気体を導入して所定の試験圧Ｐ_Ｔに加圧した後、前記大気圧封止測定ステップでの測定期間Ｔ_Ｍの終了から圧縮空気導入時間Ｔ_Ｉの経過後に双方が封止された状態となり、封止後の両容器の内圧の差圧を測定期間Ｔ_Ｍにわたって繰り返し測定し、測定した各差圧を測定開始からの順位と共に記録する試験圧封止測定ステップを行い、
   前記大気圧封止測定ステップで記録したデータを封止時から時間Ｔ毎のグループ（グループ番号ｍ＝１、２、…Ｍ）に分け、グループ毎の差圧の平均値を時間Ｔで除した、Ｐ_ＥＤ、ｍ （ｍ＝１、２、…Ｍ） を求め、
   

   

   なる差分列を求める第１勾配取得ステップと、
   前記試験圧封止測定ステップで記録したデータを封止時から時間Ｔ毎のグループ（グループ番号ｍ＝１、２、…Ｍ）に分け、グループ毎の差圧の平均値を時間Ｔで除した、Ｐ_ＤＤ、ｍ （ｍ＝１、２、…Ｍ） を求め、
   

   

   なる差分列を求める第２勾配取得ステップと、
   測定期間Ｔ_Ｍと圧縮空気導入時間Ｔ_Ｉの和をＴ_Ｓとし、
   

   

   なる数列においてｍの増加に伴ってＬ_ｍの値が一定値に収束する場合にその収束値を前記検査対象容器の漏れの程度を示す値と判断する、もしくは、Ｌ_ｍの絶対値が所定の許容値以下となるｍが存在する場合に漏れ無しと判断する漏れ判断ステップと、
   を行うと共に、
   前記リーク検査装置は、
   漏れのない基準容器と、周囲と異なる温度であって漏れの無い検査対象容器とを、大気圧Ｐ_Ｅ開放から双方を封止した後、両容器の内圧の差圧の測定を一定時間行っては両容器を再び大気圧Ｐ_Ｅ開放とする工程を複数回連続的に繰り返す準備測定ステップを行って、該準備測定ステップで取得した測定データを前記情報処理装置へ出力し、
   前記情報処理装置は、
   前記リーク検査装置から取得した測定データ、もしくは前記測定データのうちの初めの所定回数分を除く測定データに基づいて、前記検査対象容器と前記基準容器とを大気圧Ｐ_Ｅ開放から封止した後の両容器の内圧の差圧の変化の時定数である大時定数を導出し、
   前記α_２は、
   

   

   であり、
   前記リーク検査装置は、
   前記情報処理装置が求めた前記大時定数を入力し、該入力した大時定数に基づいて前記α_２を求め、
   前記判断ステップでは、前記入力した大時定数および前記α_２を用いて前記Ｌ_ｍの値を演算する
   ことを特徴とするリーク検査システム。
3. 前記リーク検査装置は、
   前記漏れ判断ステップにおいて、Ｌ_Ｍ－１の絶対値が前記許容値を超える場合は、
   

   

   なる数列を作成し、Ｄ_ｍが０に収束するときは、漏れがあると判断する
   ことを特徴とする請求項２に記載のリーク検査システム。
4. Ｄ_ｍが０に収束しないときは、測定期間Ｔ_Ｍを延長し、大気圧封止測定ステップから再度行う
   ことを特徴とする請求項３に記載のリーク検査システム。
5. Ｌ_ｍが収束する最小のｍに基づいて、測定期間Ｔ_Ｍを設定する
   ことを特徴とする請求項２乃至４のいずれか１つに記載のリーク検査システム。
6. リーク検査装置と、情報処理装置とを有するリーク検査システムであって、
   前記リーク検査装置は、
   検査対象容器と漏れのない基準容器とを大気圧Ｐ_Ｅ開放から双方を封止した後の両容器の内圧の差圧を測定期間Ｔ_Ｍにわたって繰り返し測定し、測定した各差圧を測定開始からの順位と共に記録する大気圧封止測定ステップを行い、
   前記大気圧封止測定ステップの終了後に続けて、前記検査対象容器内と基準容器内とに気体を導入して所定の試験圧Ｐ_Ｔに加圧した後、前記大気圧封止測定ステップでの測定期間Ｔ_Ｍの終了後から圧縮空気導入時間Ｔ_Ｉの経過後に双方が封止された状態となり、封止後の両容器の内圧の差圧を所定期間にわたって繰り返し測定し、測定した各差圧を測定開始からの順位と共に記録する試験圧封止測定ステップを行い、
   前記大気圧封止測定ステップで記録したデータを封止時から時間Ｔ毎のグループ（グループ番号ｋ＝１、２、…Ｍ）に分け、グループ毎の差圧の平均値を時間Ｔで除した、Ｐ_ＥＤ、ｍ （ｍ＝１、２、…Ｍ） を求め、
   

   

   として、
   

   

   の絶対値が所定の許容値以下になる最小のｍの値ｍ_ａを求める第１勾配取得ステップと、
   前記試験圧封止測定ステップで記録したデータを封止時から時間Ｔ毎のグループ（グループ番号ｍ＝１、２、…Ｍ）に分け、グループ毎の差圧の平均値を時間Ｔで除した、Ｐ_ＤＤ、ｍ （ｍ＝１、２、…Ｍ） を求め、
   

   

   として、
   

   

   の絶対値が所定の許容値以下になる最小のｍの値ｍ_ｂを求め、ｍ_ａとｍ_ｂのうちの小さくない方の値をｋとして、Ｑ_ｋとＲ_ｋを求める第２勾配取得ステップと、
   測定期間Ｔ_Ｍと圧縮空気導入時間Ｔ_Ｉの和をＴ_Ｓとし、
   

   

   の演算で前記検査対象容器の漏れの程度を示す値としてＬを求める、もしくは前記演算で求めたＬの値と所定の許容値との比較から前記検査対象容器の漏れの有無を判断する漏れ判断ステップと、
   を行うと共に、
   前記リーク検査装置は、
   漏れのない基準容器と、周囲と異なる温度であって漏れの無い検査対象容器とを、大気圧Ｐ_Ｅ開放から双方を封止した後、両容器の内圧の差圧の測定を一定時間行っては両容器を再び大気圧Ｐ_Ｅ開放とする工程を複数回連続的に繰り返す準備測定ステップを行って、該準備測定ステップで取得した測定データを前記情報処理装置へ出力し、
   前記情報処理装置は、
   前記リーク検査装置から取得した測定データ、もしくは前記測定データのうちの初めの所定回数分を除く測定データに基づいて、前記検査対象容器と前記基準容器とを大気圧Ｐ_Ｅ開放から封止した後の両容器の内圧の差圧の変化の時定数である大時定数を導出し、
   前記α_２は、
   

   

   であり、
   前記リーク検査装置は、
   前記情報処理装置が求めた前記大時定数を入力し、該入力した大時定数に基づいて前記α_２を求め、
   前記判断ステップでは、前記入力した大時定数および前記α_２を用いて前記Ｌの値を演算する
   ことを特徴とするリーク検査システム。
7. ｍ_ａとｍ_ｂのいずれかを求めることができない場合は、測定期間Ｔ_Ｍを延長し、ｋを決定できた場合はｋの値に基づいて以後の測定期間Ｔ_Ｍを設定する
   ことを特徴とする請求項６に記載のリーク検査システム。
8. リーク検査装置と、情報処理装置とを有するリーク検査システムであって、
   前記リーク検査装置は、
   検査対象容器と漏れのない基準容器とを大気圧Ｐ_Ｅ開放から双方を封止した後の両容器の内圧の差圧を測定期間Ｔ_Ｍにわたって繰り返し測定し、測定した各差圧を測定開始からの順位と共に記録する大気圧封止測定ステップを行い、
   前記大気圧封止測定ステップの終了後に続けて、前記検査対象容器内と基準容器内とに気体を導入して所定の試験圧Ｐ_Ｔに加圧した後、前記大気圧封止測定ステップでの測定期間Ｔ_Ｍの終了後から圧縮空気導入時間Ｔ_Ｉの経過後に双方が封止された状態となり、封止後の両容器の内圧の差圧を所定期間にわたって繰り返し測定し、測定した各差圧を測定開始からの順位と共に記録する試験圧封止測定ステップを行い、
   前記大気圧封止測定ステップで記録したデータを封止時から時間Ｔ毎のグループ（グループ番号ｋ＝１、２、…Ｍ）に分け、グループ毎の差圧の平均値を時間Ｔで除した値を、Ｐ_ＥＤ、ｍ （ｍ＝１、２、…Ｍ）として、
   

   

   を求める第１勾配取得ステップと、
   前記試験圧封止測定ステップで記録したデータを封止時から時間Ｔ毎のグループ（グループ番号ｍ＝１、２、…Ｍ）に分け、グループ毎の差圧の平均値を時間Ｔで除した値を、Ｐ_ＤＤ、ｍ （ｍ＝１、２、…Ｍ）として、
   

   

   を求める第２勾配取得ステップと、
   測定期間Ｔ_Ｍと圧縮空気導入時間Ｔ_Ｉの和をＴ_Ｓとし、
   

   

   の演算で前記検査対象容器の漏れの程度を示す値としてＬを求める、もしくは前記演算で求めたＬの値と所定の許容値との比較から前記検査対象容器の漏れの有無を判断する漏れ判断ステップと、
   を行うと共に、
   前記リーク検査装置は、
   漏れのない基準容器と、周囲と異なる温度であって漏れの無い検査対象容器とを、大気圧Ｐ_Ｅ開放から双方を封止した後、両容器の内圧の差圧の測定を一定時間行っては両容器を再び大気圧Ｐ_Ｅ開放とする工程を複数回連続的に繰り返す準備測定ステップを行って、該準備測定ステップで取得した測定データを前記情報処理装置へ出力し、
   前記情報処理装置は、
   前記リーク検査装置から取得した測定データ、もしくは前記測定データのうちの初めの所定回数分を除く測定データに基づいて、前記検査対象容器と前記基準容器とを大気圧Ｐ_Ｅ開放から封止した後の両容器の内圧の差圧の変化の時定数である大時定数を導出し、
   前記α_２は、
   

   

   であり、
   前記リーク検査装置は、
   前記情報処理装置が求めた前記大時定数を入力し、該入力した大時定数に基づいて前記α_２を求め、
   前記判断ステップでは、前記入力した大時定数および前記α_２を用いて前記Ｌの値を演算する
   ことを特徴とするリーク検査システム。
9. 前記リーク検査装置と前記情報処理装置の間における情報の授受を、通信、記録媒体、手動の入力操作のうちの１または２以上の手段を用いて行う
   ことを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１つに記載のリーク検査システム。
10. 前記リーク検査装置は、操作パネルを備え、前記情報処理装置が導出した前記大時定数の入力操作を前記操作パネルで受け付ける
    ことを特徴とする請求項１乃至９のいずれか1つに記載のリーク検査システム。
11. 前記大気圧封止測定ステップでの測定期間をTM、前記大気圧封止ステップでの測定期間の終了から前記試験圧封止測定ステップにおいて前記検査対象容器と前記基準容器の双方が試験圧に加圧されて封止された状態になるまでの時間である圧縮空気導入時間をTIとし、
    前記情報処理装置は、大時定数に代えて、
    β＝ｅｘｐ（－（TM＋TI）／大時定数）
    を導出し、
    前記リーク検査装置は、前記情報処理装置が導出した前記βを入力して演算に使用する
    ことを特徴とする請求項１乃至１０のいずれか１つに記載のリーク検査システム。
12. 請求項１乃至１０のいずれか１つに記載のリーク検査システムにおける情報処理装置で実行されるプログラムであって、
    前記リーク検査装置から前記測定データを入力するステップと、
    前記測定データに基づいて、前記検査対象容器と前記基準容器とを大気圧Ｐ_Ｅ開放から封止した後の両容器の内圧の差圧の温度に基づく変化を支配する二つの時定数のうちの大きい方の時定数である大時定数を導出するステップと、
    導出した前記大時定数を出力する出力ステップと、
    を有するプログラム。
13. 請求項１１に記載のリーク検査システムにおける情報処理装置で実行されるプログラムであって、
    前記リーク検査装置から前記測定データを入力するステップと、
    前記測定データに基づいて、前記検査対象容器と前記基準容器とを大気圧Ｐ_Ｅ開放から封止した後の両容器の内圧の差圧の温度に基づく変化を支配する二つの時定数のうちの大きい方の時定数である大時定数を求めて前記βを導出するステップと、
    導出した前記βを出力する出力ステップと、
    を有するプログラム。

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