JP6849019B2 - 撮像素子および撮像装置 - Google Patents
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Description
第2の態様によると、撮像装置は、第1の態様による撮像素子を備える。
図1は、第1の実施の形態に係る撮像装置1の構成を示すブロック図である。撮像装置1は、光学系2、撮像素子3、および制御部4を備える。光学系2は、撮像素子3に被写体からの光を射出する。撮像素子3は、光学系2から射出された光を撮像して、例えば、画像データを生成する。制御部4は、撮像素子3から出力された画像データに対して各種の画像処理を行う。また、制御部4は、撮像素子3の動作を制御するための制御信号を撮像素子3に出力する。なお、光学系2は、撮像装置1から着脱可能にしてもよい。
(1)撮像素子3は、光電変換された電荷により生成された信号を信号線17に読み出す読出回路100と、基準電流源I1からの電流i1に基づく電圧を記憶する記憶回路110と、読出回路100により信号を読み出すための電流を信号線17に供給する電流源であって、記憶回路110に記憶された電圧により生成される電流を信号線17に供給する電流源30と、を備える。第1の実施の形態では、電流源30は、記憶回路110に記憶された電圧により生成される電流を信号線17に供給する。そのため、IRドロップの影響を低減することができる。
(2)第1の実施の形態では、スイッチSWOをオンした後は、電流源30は記憶部32に記憶された電圧に基づく電流を生成する。電流源30により生成された電流は、配線抵抗(R1−R3)を介してグランドに流れる。グランド配線では電流と抵抗のIR積による電圧降下(IRドロップ)が生じて、電流源30のソース電圧が上昇する。記憶部32は電流源30のゲートソース間の相対的な電圧を保持しているため、電流源30のソース電圧が上昇することに伴って電圧Vgが上昇し、ゲートソース間電圧の変動が抑制される。ゲートソース間電圧の変動が抑制されることにより、電流源30により供給される電流の変動を抑制することができる。
(4)撮像素子3は、光電変換された電荷により生成された第1信号を第1信号線17Aに読み出す第1読出回路100Aと、光電変換された電荷により生成された第2信号を第2信号線17Bに読み出す第2読出回路100Bと、基準電流源I1からの電流i1に基づく電圧を記憶する第1記憶回路110Aと、基準電流源I1からの電流i1に基づく電圧を記憶する第2記憶回路110Bと、第1読出回路100Aにより第1信号を読み出すための電流を第1信号線17Aに供給する電流源であって、第1記憶回路110Aに記憶された電圧により生成される電流を第1信号線17Aに供給する第1電流源30Aと、第2読出回路100Bにより第2信号を読み出すための電流を第2信号線17Bに供給する電流源であって、第2記憶回路110Bに記憶された電圧により生成される電流を第2信号線17Bに供給する第2電流源30Bと、を備える。第1の実施の形態では、第1電流源30Aは、第1記憶回路110Aに記憶された電圧により生成される電流を信号線17Aに供給し、第2電流源30Bは、第2記憶回路110Bに記憶された電圧により生成される電流を信号線17Bに供給する。そのため、複数の信号線において、IRドロップの影響を低減することができる。
(6)第1記憶回路110Aは、第1読出回路100Aにより第1信号を第1信号線17Aに読み出しているときに、基準電流源I1からの電流i1を、第1読出回路100Aにより第1信号を第1信号線17Aに読み出していないときより小さくなるように制御する第1制御部33Aを有し、第2記憶回路110Bは、第2読出回路100Bにより第2信号を第2信号線17Bに読み出しているときに、基準電流源I1からの電流i1を、第2読出回路100Bにより第2信号を第2信号線17Bに読み出していないときより小さくなるように制御する第2制御部33Bを有する。このようにしたので、読出回路100は、記憶回路110に記憶された電圧により生成される電流に基づいて、画素信号を信号線17に読み出すことができる。また、基準電流源I1からの電流i1を小さくなるように調整することで、消費電力を低減することができる。
図7を参照して、第2の実施の形態に係る撮像素子3を説明する。なお、図中、第1の実施の形態と同一もしくは相当部分には、同一の参照番号を付し、相違点を主に説明する。第2の実施の形態では、基準電流源I1からの電流i1に基づく電圧を記憶する第1記憶部32と、第1記憶部32に記憶された電圧により生成された電流を供給する供給部130と、有する電流源回路50をさらに備え、電流源30は、電流源回路50からの電流により読出回路100に供給する電流を生成する。
(8)記憶回路110は、基準電流源I1からの電流i1に基づく電圧を記憶する第1記憶部32と、第1記憶部32に記憶された電圧により生成された電流を供給する供給部130と、供給部130から供給された電流に基づく電圧を記憶する第2記憶部132と、を有し、電流源30は、第2記憶部132に記憶された電圧により生成される電流を信号線17に供給する。このようにしたので、基準電流源I1の基準電流i1に基づいて供給部130に電流を生成させて、供給部130からの電流に基づいて電流源30に電流を生成させることができる。
(9)記憶回路110は、供給部130及び第2記憶部132の間に設けられ、読出回路100により信号を信号線17に読み出しているときに、基準電流源I1から第1記憶部32に流れる電流を、読出回路100により信号を信号線17に読み出していないときより小さくなるように制御する制御部33を有する。このようにしたので、読出回路100は、記憶回路110に記憶された電圧により生成される電流に基づいて、画素信号を信号線17に読み出すことができる。また、基準電流源I1からの電流i1を小さくなるように調整することで、消費電力を低減することができる。
図8は、第3の実施の形態に係る電流源30と記憶回路110の構成を示す回路図である。なお、図中、第1の実施の形態と同一もしくは相当部分には、同一の参照番号を付し、相違点を主に説明する。図3に示した第1の実施の形態では、基準電流源回路31の基準電流源I1は、記憶回路110A−110Cに順次基準電流i1を供給して、電流源30A−30Cの閾値電圧と基準電流i1とに基づく電圧を記憶させる例について説明した。これに対して、第3の実施の形態では、基準電流源回路31の基準電流源I1は、基準電圧生成部60に基準電流i1を供給して基準電圧Vbを生成し、基準電圧Vbを各記憶回路110A−110Cに共通に記憶させる。
(10)第3の実施の形態では、撮像素子3は、基準電流i1に基づき基準電圧Vbを生成する基準電圧生成部60を更に備える。このようにしたので、複数の記憶回路110A−110Cに、基準電流i1に基づく基準電圧Vbを同時に記憶させることができる。
図9(a)は、変形例1に係る電流源回路50とその周辺回路の構成を示す図である。変形例1に係る撮像素子3は、プリチャージ部70とスイッチSWSrとを更に備える。変形例1に係る電流源回路50(50A−50C)は、それぞれ図3に示した電流源30A−30Cおよび記憶部32A−32Cと同一の電流源および記憶部から構成される。
図10(a)は、変形例2に係る電流源回路50とその周辺回路の構成を示す図である。変形例2に係る撮像素子3では、変形例1に対して、スイッチSWXを更に備える。
図11(a)は、変形例3に係る電流源回路50とその周辺回路の構成を示す図である。変形例3に係る撮像素子3では、基準電流源回路31A−31Cを備える。基準電流源回路31A−31Cは、それぞれ基準電流源I1−I3を含んで構成される。基準電流源I1−I3は、それぞれ異なる電流値となる基準電流i1−i3を生成する。変形例3に係る電流源回路50は、それぞれ図3に示した電流源30および記憶部32と同一の電流源および記憶部から構成される。
図12(a)は、変形例4に係る電流源回路50とその周辺回路の構成を示す図である。変形例4に係る撮像素子3では、スイッチSWSbを更に備える。スイッチSWSbはその制御信号がハイレベルとなりオンすることで、グランドレベルを各電流源回路50A−50Cに与える。変形例4に係る電流源回路50は、それぞれ図3に示した電流源および記憶部と同一の電流源および記憶部から構成される。
上述した実施の形態では、各電流源30は、1つのトランジスタにより構成される例を説明した。しかし、図13(a)−(d)に示す例のように、複数のトランジスタM10及びM20のカスコード接続によって構成してもよい。電流源30をトランジスタのカスコード構成とすることで、電流源30の出力インピーダンスを高めることができ、電流源30が供給する電流の変動を抑制することができる。
撮像素子3は、1つの半導体基板により構成してもよいし、複数の半導体基板を積層した構成としてもよい。撮像素子3は、たとえば、読出回路100が設けられた第1半導体基板と、第1記憶部32及び供給部130が設けられた第2半導体基板とを備えるようにする。
(1)光電変換された電荷により生成された信号を信号線に読み出す読出回路と、電源回路からの電流に基づく電圧を保持する保持回路と、上記信号線に接続されるドレイン部と、上記保持回路及び上記ドレイン部に接続されるゲート部と、を有するトランジスタを含む電流源であって、上記保持回路に保持された電圧により生成される電流を上記信号線に供給する電流源と、を備える撮像素子。
(2)(1)のような撮像素子において、上記保持回路は、上記電源回路からの電流に基づく電圧を保持する第1保持部と、上記第1保持部に保持された電圧により生成された電流を供給する供給部と、上記供給部から供給された電流に基づく電圧を保持する第2保持部と、を有し、上記電流源は、上記第2保持部に保持された電圧により生成される電流を上記信号線に供給する。
(3)(2)のような撮像素子において、上記保持回路は、上記供給部及び上記第2保持部の間に設けられ、上記読出回路により上記信号を上記信号線に読み出しているときに、上記電源回路から上記第1保持部に流れる電流を、上記読出回路により上記信号を上記信号線に読み出していないときより小さくなるように制御する制御部を有する。
(4)(2)又は(3)のような撮像素子において、上記保持回路は、上記読出回路により上記信号を上記信号線に読み出しているときに、上記電源回路からの電流に基づく電圧を上記第1保持部に保持する。
(5)(2)又は(3)のような撮像素子において、上記第1保持部及び上記供給部は、上記読出回路が設けられた第1半導体基板とは異なる第2半導体基板に設けられている。
(6)(5)のような撮像素子において、上記第1半導体基板は、上記第2半導体基板により積層されている。
(7)(1)から(6)のような撮像素子を備えた撮像装置。
(8)光電変換された電荷により生成された第1信号を第1信号線に読み出す第1読出回路と、光電変換された電荷により生成された第2信号を第2信号線に読み出す第2読出回路と、電源回路からの電流に基づく電圧を保持する第1保持回路と、上記電源回路からの電流に基づく電圧を保持する第2保持回路と、上記第1信号線に接続される第1ドレイン部と、上記第1保持回路及び上記第1ドレイン部に接続される第1ゲート部と、を有する第1トランジスタを含む電流源であって、上記第1保持回路に保持された電圧により生成される電流を上記第1信号線に供給する第1電流源と、上記第2信号線に接続される第2ドレイン部と、上記第2保持回路及び上記第2ドレイン部に接続される第2ゲート部と、を有する第2トランジスタを含む電流源であって、上記第2保持回路に保持された電圧により生成される電流を上記第2信号線に供給する第2電流源と、を備える撮像素子。
(9)(8)のような撮像素子において、上記第2保持回路は、上記第1保持回路に上記電源回路からの電流に基づく電圧が保持された後に、上記電源回路からの電流に基づく電圧を保持する。
(10)(8)又は(9)のような撮像素子において、上記第1保持回路は、上記第1読出回路により上記第1信号を上記第1信号線に読み出しているときに、上記電源回路からの電流を、上記第1読出回路により上記第1信号を上記第1信号線に読み出していないときより小さくなるように制御する第1制御部を有し、上記第2保持回路は、上記第2読出回路により上記第2信号を上記第2信号線に読み出しているときに、上記電源回路からの電流を、上記第2読出回路により上記第2信号を上記第2信号線に読み出していないときより小さくなるように制御する第2制御部を有する。
(11)(8)のような撮像素子において、上記第1保持回路は、上記電源回路からの電流に基づく電圧を保持する第1保持部と、上記第1保持部に記憶された電圧により生成された電流を出力する第1供給部と、上記第1供給部から供給された電流に基づく電圧を保持する第2保持部と、を有し、上記第2保持回路は、上記電源回路からの電流に基づく電圧を保持する第3保持部と、上記第3保持部に記憶された電圧により生成された電流を出力する第2供給部と、上記第2供給部から供給された電流に基づく電圧を保持する第4保持部と、を有し、上記第1電流源は、上記第2保持部に保持された電圧により生成される電流を上記第1信号線に供給し、上記第2電流源は、上記第4保持部に保持された電圧により生成される電流を上記第2信号線に供給する。
(12)(11)のような撮像素子において、上記第1保持回路は、上記第1供給部及び上記第2保持部の間に設けられ、上記第1読出回路により上記第1信号を上記第1信号線に読み出しているときに、上記電源回路から上記第2保持部に流れる電流を、上記第1読出回路により上記第1信号を上記第1信号線に読み出していないときより小さくなるように制御する第1制御部を有し、上記第2保持回路は、上記第2供給部及び上記第4保持部の間に設けられ、上記第2読出回路により上記第2信号を上記第2信号線に読み出しているときに、上記電源回路から上記第4保持部に流れる電流を、上記第2読出回路により上記第2信号を上記第2信号線に読み出していないときより小さくなるように制御する第2制御部を有する。
(13)(11)又は(12)のような撮像素子において、上記第1保持回路は、上記第1読出回路により上記第1信号を上記第1信号線に読み出しているときに、上記電源回路からの電流に基づく電圧を上記第1保持部に保持し、上記第2保持回路は、上記第2読出回路により上記第2信号を上記第2信号線に読み出しているときに、上記電源回路からの電流に基づく電圧を上記第4保持部に保持する。
(14)(11)から(13)のような撮像素子において、上記第3保持部は、上記第1保持部に上記電源回路からの電流に基づく電圧が保持された後に、上記電源回路からの電流に基づく電圧を保持する。
(15)(11)から(14)のような撮像素子において、上記第1保持部、上記第2保持部、上記第1供給部及び上記第2供給部は、上記第1読出回路及び上記第2読出回路が設けられた第1半導体基板とは異なる第2半導体基板に設けられている。
(16)(15)のような撮像素子において、上記第1半導体基板は、上記第2半導体基板により積層されている。
(17)(8)から(16)のような撮像素子を備えた撮像装置。
(18)複数の電子部品を有する電子回路と、電源回路からの電流に基づく電圧を保持する保持回路と、前記電子回路に接続されるドレイン部と、前記保持回路及び前記ドレイン部に接続されるゲート部と、を有するトランジスタを含む電流源であって、前記保持回路に保持された電圧により生成される電流を前記電子回路に供給する電流源と、を備える電子機器。
(19)(18)のような電子機器において、前記電源回路及び前記保持回路の間に設けられ、前記電源回路から前記保持回路の間の電気的な接続を制御する第1制御部と第2制御部とを備え、前記保持回路および前記ドレイン部は、前記第1制御部を介して接続され、前記電源回路および前記第1制御部は、前記第2制御部を介して接続される。
(20)(18)又は(19)のような電子機器において、前記保持回路は、前記電源回路からの電流に基づく電圧を保持する第1保持部と、前記第1保持部に保持された電圧により生成された電流を供給する供給部と、前記供給部から供給された電流に基づく電圧を保持する第2保持部と、を有し、前記電流源は、前記第2保持部に保持された電圧により生成される電流を前記電子回路に供給する。
(21)(20)のような電子機器において、前記保持回路は、前記電子回路が動作を行っているときに、前記電源回路からの電流に基づく電圧を前記第1保持部に保持する。
(22)(18)から(21)のような電子機器において、前記電源回路は、電流値の異なる電流を供給する複数の電流源回路を含み、前記保持回路は、前記複数の電流源回路のうち、選択された電流源回路からの電流に基づく電圧を保持する。
(23)(18)から(22)のような電子機器において、前記電流源による前記電子回路への電流供給動作を禁止する第3制御部を備える。
(24)(23)のような電子機器において、前記第3制御部は、グランドに接続される。
(25)(18)から(24)のような電子機器において、前記電流源は、前記トランジスタを含む複数のトランジスタによりカスコード接続で構成されている。
(26)(20)から(21)のような電子機器において、前記第1保持部及び前記供給部は、前記電子回路が設けられた第1半導体基板とは異なる第2半導体基板に設けられている。
(27)(26)のような電子機器において、前記第1半導体基板は、前記第2半導体基板により積層されている。
(28)(18)から(27)のような電子機器において、前記電子回路は、光電変換された電荷により生成される信号を読み出す読出回路である。
(29)(18)から(27)のような電子機器において、前記電子回路は、アナログ信号をデジタル信号に変換する変換部を構成する比較器である。
(1)光電変換された電荷により生成された信号を信号線に読み出す読出回路と、基準電流源からの電流に基づく電圧を記憶する記憶回路と、上記読出回路により上記信号を読み出すための電流を上記信号線に供給する電流源であって、上記記憶回路に記憶された電圧により生成される電流を上記信号線に供給する電流源と、を備える撮像素子。
(2)(1)のような撮像素子において、上記記憶回路は、上記基準電流源からの電流に基づく電圧を記憶する第1記憶部と、上記第1記憶部に記憶された電圧により生成された電流を供給する供給部と、上記供給部から供給された電流に基づく電圧を記憶する第2記憶部と、を有し、上記電流源は、上記第2記憶部に記憶された電圧により生成される電流を上記信号線に供給する。
(3)(2)のような撮像素子において、上記記憶回路は、上記供給部及び上記第2記憶部の間に設けられ、上記読出回路により上記信号を上記信号線に読み出しているときに、上記基準電流源から上記第1記憶部に流れる電流を、上記読出回路により上記信号を上記信号線に読み出していないときより小さくなるように調節する調節部を有する。
(4)(3)のような撮像素子において、上記記憶回路は、上記読出回路により上記信号を上記信号線に読み出しているときに、上記基準電流源からの電流に基づく電圧を上記第1記憶部に記憶する。
(5)(1)から(4)のような撮像素子において、上記電流源は、上記信号線に接続されるドレイン部と、上記記憶回路及び上記ドレイン部に接続されるゲート部と、を含むトランジスタを有する。
(6)(2)から(4)のような撮像素子において、上記第1記憶部及び上記供給部は、上記読出回路が設けられた第1半導体基板とは異なる第2半導体基板に設けられている。
(7)(6)のような撮像素子において、上記第1半導体基板は、上記第2半導体基板により積層されている。
(8)(1)から(7)のような撮像素子を備えた撮像装置。
(9)光電変換された電荷により生成された第1信号を第1信号線に読み出す第1読出回路と、光電変換された電荷により生成された第2信号を第2信号線に読み出す第2読出回路と、基準電流源からの電流に基づく電圧を記憶する第1記憶回路と、上記基準電流源からの電流に基づく電圧を記憶する第2記憶回路と、上記第1読出回路により上記第1信号を読み出すための電流を上記第1信号線に供給する電流源であって、上記第1記憶回路に記憶された電圧により生成される電流を上記第1信号線に供給する第1電流源と、上記第2読出回路により上記第2信号を読み出すための電流を上記第2信号線に供給する電流源であって、上記第2記憶回路に記憶された電圧により生成される電流を上記第2信号線に供給する第2電流源と、を備える撮像素子。
(10)(9)のような撮像素子において、上記第2記憶回路は、上記第1記憶回路に上記基準電流源からの電流に基づく電圧が記憶された後に、上記基準電流源からの電流に基づく電圧を記憶する。
(11)(9)又は(10)のような撮像素子において、上記第1記憶回路は、上記第1読出回路により上記第1信号を上記第1信号線に読み出しているときに、上記基準電流源からの電流を、上記第1読出回路により上記第1信号を上記第1信号線に読み出していないときより小さくなるように調節する第1調節部を有し、上記第2記憶回路は、上記第2読出回路により上記第2信号を上記第2信号線に読み出しているときに、上記基準電流源からの電流を、上記第2読出回路により上記第2信号を上記第2信号線に読み出していないときより小さくなるように調節する第2調節部を有する。
(12)(9)のような撮像素子において、上記第1記憶回路は、上記基準電流源からの電流に基づく電圧を記憶する第1記憶部と、上記第1記憶部に記憶された電圧により生成された電流を出力する第1供給部と、上記第1供給部から供給された電流に基づく電圧を記憶する第2記憶部と、を有し、上記第2記憶回路は、上記基準電流源からの電流に基づく電圧を記憶する第3記憶部と、上記第3記憶部に記憶された電圧により生成された電流を出力する第2供給部と、上記第2供給部から供給された電流に基づく電圧を記憶する第4記憶部と、を有し、上記第1電流源は、上記第2記憶部に記憶された電圧により生成される電流を上記第1信号線に供給し、上記第2電流源は、上記第4記憶部に記憶された電圧により生成される電流を上記第2信号線に供給する。
(13)(12)のような撮像素子において、上記第1記憶回路は、上記第1供給部及び上記第2記憶部の間に設けられ、上記第1読出回路により上記第1信号を上記第1信号線に読み出しているときに、上記基準電流源から上記第2記憶部に流れる電流を、上記第1読出回路により上記第1信号を上記第1信号線に読み出していないときより小さくなるように調節する第1調節部を有し、上記第2記憶回路は、上記第2供給部及び上記第4記憶部の間に設けられ、上記第2読出回路により上記第2信号を上記第2信号線に読み出しているときに、上記基準電流源から上記第4記憶部に流れる電流を、上記第2読出回路により上記第2信号を上記第2信号線に読み出していないときより小さくなるように調節する第2調節部を有する。
(14)(12)又は(13)のような撮像素子において、上記第1記憶回路は、第1読出回路により上記第1信号を上記第1信号線に読み出しているときに、上記基準電流源からの電流に基づく電圧を上記第1記憶部に記憶し、上記第2記憶回路は、上記第2読出回路により上記第2信号を上記第2信号線に読み出しているときに、上記基準電流源からの電流に基づく電圧を上記第4記憶部に記憶する。
(15)(12)から(14)のような撮像素子において、上記第3記憶部は、上記第1記憶部に上記基準電流源からの電流に基づく電圧が記憶された後に、上記基準電流源からの電流に基づく電圧を記憶する。
(16)(9)から(15)のような撮像素子において、上記第1電流源は、上記第1信号線に接続される第1ドレイン部と、上記第1記憶回路及び上記第1ドレイン部に接続される第1ゲート部と、を含む第1トランジスタを有し、上記第2電流源は、上記第2信号線に接続される第2ドレイン部と、上記第2記憶回路及び上記第2ドレイン部に接続される第2ゲート部と、を含む第2トランジスタを有する。
(17)(12)から(15)のような撮像素子において、上記第1記憶部、上記第2記憶部、上記第1供給部及び上記第2供給部は、上記第1読出回路及び上記第2読出回路が設けられた第1半導体基板とは異なる第2半導体基板に設けられている。
(18)(17)のような撮像素子において、上記第1半導体基板は、上記第2半導体基板により積層されている。
(19)(9)から(18)のような撮像素子を備えた撮像装置。
日本国特許出願2015年第195279号(2015年9月30日出願)
Claims (11)
- 光を電荷に変換する光電変換部を有する画素と、
電源回路からの電流に基づく電圧を記憶する記憶部と、前記電源回路と前記記憶部との間の接続を制御する制御部と、を有する記憶回路と、
前記記憶回路で記憶された電圧に基づく電流を前記画素に供給するための電流源と、
を備える撮像素子。 - 請求項1に記載の撮像素子において、
前記制御部は、前記電源回路と前記記憶部との間において直列に接続される第1スイッチと第2スイッチとを少なくとも有する撮像素子。 - 請求項2に記載の撮像素子において、
前記第1スイッチは、前記電源回路と前記記憶部との間において、前記第2スイッチよりも前記電源回路側に配置され、
前記制御部は、前記電源回路と前記記憶部との間を非接続状態にする場合、前記第2スイッチを前記第1スイッチよりも前にオフにする撮像素子。 - 請求項2または請求項3に記載の撮像素子において、
前記電流源は、前記画素に接続されるドレイン部と、前記記憶回路に接続されるゲート部と、を有するトランジスタを含み、
前記ドレイン部は、前記第2スイッチを介して前記ゲート部と接続される撮像素子。 - 請求項4に記載の撮像素子において、
前記ドレイン部は、前記第1スイッチを介して前記電源回路と接続される撮像素子。 - 請求項1から請求項5のいずれか一項に記載の撮像素子において、
前記画素は、前記光電変換部で変換された電荷により生成される信号を読み出すための読出回路を有する撮像素子。 - 請求項6に記載の撮像素子において、
前記読出回路は、前記光電変換部の電荷を転送するための転送部と、前記転送部により前記光電変換部の電荷が転送されるフローティングディフュージョンと、前記フローティングディフュージョンに接続されるゲート端子を有するトランジスタを含む出力部と、を備える撮像素子。 - 請求項6または請求項7に記載の撮像素子において、
前記読出回路により読み出された前記信号が出力される信号線を備え、
前記電流源は、前記信号線を介して前記画素に接続される撮像素子。 - 請求項1から請求項8のいずれか一項に記載の撮像素子において、
前記光電変換部は、第1半導体基板に配置され、
前記記憶回路は、第2半導体基板に配置される撮像素子。 - 請求項9に記載の撮像素子において、
前記第1半導体基板は、前記第2半導体基板により積層される撮像素子。 - 請求項1から請求項10のいずれか一項に記載の撮像素子を備える撮像装置。
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