JP4661212B2 - 物理情報取得方法および物理情報取得装置並びに半導体装置 - Google Patents

Description

本発明は、物理情報取得方法および物理情報取得装置に関する。より詳細には、たとえば光や放射線などの外部から入力される電磁波に対して感応性をする複数の単位構成要素が配列されてなり、単位構成要素によって電気信号に変換された物理量分布を電気信号として読出可能な、たとえば固体撮像装置などの、物理量分布検知の半導体装置を用いる場合に好適な、所定目的用の情報を取得する技術に関する。特に、読出時間と固定パターンノイズとの関わりに関する。

たとえば光や放射線などの外部から入力される電磁波あるいは圧力（接触など）などの物理量変化に対して感応性をする単位構成要素（たとえば画素）をライン状もしくはマトリクス状に複数個配列してなる物理量分布検知半導体装置が様々な分野で使われている。

一例として映像機器の分野では、物理量の一例である光（電磁波の一例）の変化を検知するＣＣＤ（Charge Coupled Device ）型あるいはＭＯＳ（Metal Oxide Semiconductor ；金属酸化膜半導体）やＣＭＯＳ（Complementary Metal-oxide Semiconductor； 相補金属酸化膜半導体）型の撮像素子（撮像デバイス）を用いた固体撮像装置が使われている。

また、コンピュータ機器の分野では、指紋に関する情報を圧力に基づく電気的特性の変化や光学的特性の変化に基づき指紋の像を検知する指紋認証装置などが使われている。これらは、単位構成要素（固体撮像装置にあっては画素）によって電気信号に変換された物理量分布を電気信号として読み出す。

また、固体撮像装置の中には、電荷生成部で生成された信号電荷に応じた画素信号を生成する画素信号生成部に増幅用の駆動トランジスタを有する増幅型固体撮像素子（ＡＰＳ；Active Pixel Sensor ／ゲインセルともいわれる）構成の画素を備えた増幅型固体撮像装置がある。たとえば、ＣＭＯＳ型固体撮像装置の多くはそのような構成をなしている。

このような増幅型固体撮像装置において画素信号を外部に読み出すには、複数の単位画素が配列されている画素部に対してアドレス制御をし、個々の単位画素からの信号を決められたアドレスの順または任意に選択して読み出すようにしている。つまり、増幅型固体撮像装置は、アドレス制御型の固体撮像装置の一例である。

また、単位画素がマトリクス状に配されたＸ−Ｙアドレス型固体撮像素子の一種である増幅型固体撮像素子は、画素そのものに増幅機能を持たせるために、ＭＯＳ構造などの能動素子（ＭＯＳトランジスタ）を用いて画素を構成している。すなわち、光電変換素子であるフォトダイオードに蓄積された信号電荷（光電子やホール）を前記能動素子で増幅し、画像情報として読み出す。

この種のＸ−Ｙアドレス型固体撮像素子では、たとえば、画素トランジスタが２次元行列状に多数配列されて画素部が構成され、ライン（行）ごとあるいは画素ごとに入射光に対応する信号電荷の蓄積が開始され、その蓄積された信号電荷に基づく電流または電圧の信号がアドレス指定によって各画素から順に読み出される。ここで、ＭＯＳ（ＣＭＯＳを含む）型においては、アドレス制御の一例として、１行分を同時にアクセスして行単位で画素信号を画素部から読み出す方式が多く用いられている。

＜従来の固体撮像装置の構成と動作＞
図１７は、従来例のＣＭＯＳ固体撮像装置（ＣＭＯＳイメージセンサ）の概略構成図である。この図１７に示した固体撮像装置１は、単位画素３から画素信号を出力する増幅用トランジスタがソースフォロワ回路を構成するようになっており、かつ、たとえば非特許文献１に示されるように、ソースフォロワの負荷としてカレントミラー回路を用いているものである。

１９９６ ＩＳＳＣＣ ＳＬＩＤＥ ＳＵＰＰＬＥＭＥＮＴ， ＳＥＳＳＩＯＮ ６，ＰＡＰＥＲ ＴＰ ６．５（ｐｐ．８０，８１，３７２，２７２）

図１７に示すように、この固体撮像装置１は、複数の単位画素３が配列された撮像部（画素部）１０と、撮像部１０の外側に設けられた水平走査部１２および垂直走査部１４と、垂直列ごとに配されたカラム信号処理部２２を有するカラム処理部２０と、撮像部１０の単位画素３に画素信号読出用の動作電流（読出電流）を供給する読出電流源部２７と、出力回路８８とを備えている。これらの各機能部は、同一の半導体基板上に設けられている。

詳細は、図示を割愛するが、単位画素３は、たとえば、行および列に、すなわち２次元マトリクス状に配列され、また、所定行を選択し、さらに画素信号を垂直信号線（信号読出線）１８に読み出すために、垂直走査部１４で制御される行制御線１５や画素信号をカラム処理部２０に伝達する垂直信号線１８と接続される。

また図示を割愛するが、単位画素３には、受光量に応じた信号電荷を生成するフォトダイオードや、生成された信号電荷に基づいて画素信号を生成するフローティングディフュージョンアンプ構成の画素信号生成部などが設けられる。

ここで、画素信号生成部には、読出電流源部２７との間で回路構成されることで、略一定の動作電流（読出電流）が供給されるソースフォロワ構成の増幅用トランジスタ４２が設けられる。

カラム処理部２０には、単位画素３からの画素信号Ｓ１を保持する蓄積機能を持った回路（カラム信号処理部）が設けられる。一例として、スイッチ用のトランジスタ１１２と画素信号Ｓ１に応じた電圧値を保持する記憶部１１４とが設けられている。トランジスタ１１２のゲートには、各記憶部１１４に画素信号を保持させる書込制御信号ＭＷＲが供給される。垂直信号線１８には、入射光に応じてフォトダイオードなどから出力される信号電荷に応じた電位から、ソースフォロワ構成の増幅用トランジスタ４２の閾値電圧値だけ低下させられた画素信号Ｓ１が出力され、これが記憶部１１４に印加される。

読出電流源部２７は、各垂直列に設けられたトランジスタ３０８，３０３（３０３を特に負荷ＭＯＳトランジスタという）と、全垂直列に対して共用される電流生成部３１２およびトランジスタ３１４を有する基準電流源部３１０とを備えている。トランジスタ３０８のゲートには、負荷制御信号SFLACTが各垂直列に対して共通に入力されるようになっている。各垂直列の負荷ＭＯＳトランジスタ３０３は基準電流源部３１０のトランジスタ３１４との間でカレントミラー回路を構成するように接続されている。

各負荷ＭＯＳトランジスタ３０３のソースは、接地線であるソース線３０９に共通に接続されている。ソース線３０９は、水平方向の端部（図１７の左右の垂直列）で基板バイアスである接地（ＧＮＤ）に接続され、負荷ＭＯＳトランジスタ３０３の接地に対する動作電流（読出電流）が、チップの左右両端から供給されるような構成となっている。

各カラム信号処理部の出力側は、トランジスタ１２２を介して水平信号線８６に接続されている。水平信号線８６は出力回路８８に接続される。出力回路８８から出力された撮像信号Ｓ３は、出力端子８８ａから固体撮像装置１（デバイス）の外部に出力される。

図１８は、図１７に示した従来例の固体撮像装置１の動作を説明するためのタイミングチャートである。

読出し前に負荷制御信号SFLACTをアクティブＨにして垂直信号線１８に電位確定用電流Ｉloadを流すとともに書込制御信号ＭＷＲもアクティブＨにして、信号保持部２４の記憶部１１４に画素信号Ｓ１を読み出して記憶する準備をする（ｔ３０）。

次に、垂直走査部１４から単位画素３に供給する転送信号ＴＲＧをアクティブＨにして、単位画素３から垂直信号線１８を介して出力される電圧モードの画素信号Ｓ１を各記憶部１１４に読み出して記憶する（ｔ３２〜ｔ３４）。

その後、先に書込制御信号ＭＷＲをインアクティブＬにしてから（ｔ３８）、負荷制御信号SFLACTをインアクティブＬにして垂直信号線１８への電位確定用電流Ｉloadの供給を停止し（ｔ４０）、画素信号の垂直転送を終える。この画素信号の垂直転送動作は１行分の単位画素３に対して同時に行なわれる。

記憶部１１４に転送され保持された画素信号Ｓ２は、水平走査部１２からの水平読出パルスφｇにより各垂直列のトランジスタ１２２が所定の順に制御されることで、たとえば図１７中の左端から順番に垂直列を選択され、水平方向に順に水平信号線８６に転送される（ｔ４２〜ｔ４４（＿１〜ｈ））。

ここで、この従来例においては、画素信号Ｓ１の増幅にはソースフォロワを利用し、負荷としてカレントミラー型の負荷ＭＯＳトランジスタ３０３を各垂直列に配置している。この負荷ＭＯＳトランジスタ３０３の電流値は負荷ＭＯＳ電流源として機能する基準電流源部３１０によって決められる。

実際には、垂直信号線１８には千数百個の単位画素３が接続されることもあるため、垂直信号線１８の線抵抗９ａと浮遊容量９ｂとによって、比較的大きな寄生素子９が寄生負荷として各垂直列に接続された形となる。この負荷となる寄生素子９が大きなＣＲ時定数を持ち、負荷ＭＯＳトランジスタ３０３の電流値が小さい場合には、記憶部１１４への画素信号Ｓ１の読出しが所定時間内に収まらず、すなわち信号読出期間（ｔ３２〜ｔ３８）内に記憶部１１４に保持される電位Ｖｍが安定化しないので、ノイズの原因になってしまう。

具体的には、安定化の程度は各垂直列に流れる読取電流値に依存するので、固体撮像装置１から出力される画像信号Ｓ３に縦筋状の固定パターンノイズが発生する。一般に人間の目の特性から、ランダムノイズに比べて筋状のノイズは目立ち易い。そのため、縦筋状のノイズを防止することが望まれる。

この寄生負荷に起因した縦筋状のノイズを防止する一手法として、基準電流源部３１０の電流値を大きくして各垂直列の負荷ＭＯＳトランジスタ３０３が流す電流値すなわち単位画素３に供給する読出電流を大きくすることで、単位画素３からの画素信号の読出しを加速することが考えられる。

しかしながらこの場合、負荷ＭＯＳトランジスタ３０３のソース線３０９に生じる電圧降下（ＩＲドロップ）が大きくなってしまい、この電圧降下に伴う弊害が発生する。

たとえば、図１７に示したように、負荷ＭＯＳ群３００の接地（ＧＮＤ）に対する動作電流（読出電流）が、チップの左右両端から供給されるような構成の場合、中央の垂直列に近づくほど電圧降下が大きくなるという電圧降下の場所依存性を持つ。その結果、端の負荷ＭＯＳトランジスタ３０３に対して中央の負荷ＭＯＳトランジスタ３０３は、ソース線３０９の電位がＧＮＤよりも上昇する程度が増す。よって、端の列と中央の列との負荷ＭＯＳトランジスタ３０３の各ゲート−ソース間電圧Ｖｇｓの差が漸次大きくなり、結果的には、負荷ＭＯＳトランジスタ３０３に流れる読取電流が端部から中央部へと漸次小さくなる場所依存性を持ち、固定パターンノイズの一種であるいわゆるシェーディングが増加してしまうという問題が発生する。

すなわち、たとえ単位画素３に備えられた増幅用トランジスタとの間でソースフォロワを構成して読取電流を供給する負荷ＭＯＳトランジスタ３０３に特性ばらつきがないとしても、読取電流が大きい場合には、負荷ＭＯＳトランジスタ３０３に流れる読取電流の場所依存性のため記憶部１１４に保持される電位Ｖｍがばらつき、固体撮像装置１から出力される撮像信号Ｓ３に場所依存性を持った固定パターンノイズが発生する。

したがって、現状では、垂直信号線１８に生じる寄生素子９に起因した縦筋状の固定パターンノイズや、基板バイアス効果に起因した場所依存性を持った固定パターンノイズが発生しないようにするには、小さな読出電流で時間を掛けて読み出すしかなく、垂直読出処理の高速化ができないという問題がある。単位画素３の数が増えるほど読出処理の高速化が求められるようになるので、上記問題の解決が時代のニーズとなる。

本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、信号読出線の寄生負荷や基板バイアス効果に起因したノイズの発生を防止しつつ、読出時間を短縮することのできる仕組みを提案することを目的とする。

本発明に係る物理情報取得方法は、物理量の変化を検知する検知部と前記検知部で検知した物理量の変化に基づいて単位信号を出力する単位信号生成部とを単位構成要素内に含み、当該単位構成要素が所定の順に複数配され、該各単位構成要素の単位信号生成部の出力部にそれぞれ接続される複数の読出し信号線と、該複数の読出し信号線を介して複数の前記単位構成要素から複数の単位信号を読み出すときに各読出し信号線を流れる電流が流入する、両端部が接地された共通電位線と、当該共通電位線と各読出し信号線との間にそれぞれが接続された複数の負荷トランジスタと、各読出し信号線にそれぞれが接続された複数の記憶部と、を有する物理量分布検知のための半導体装置を使用し、物理量についての所定の検知条件の元で取得された前記単位信号に基づいて所定目的用の物理情報を取得する物理情報取得方法であって、
複数の前記単位構成要素から複数の前記単位信号を読み出す際に、前記半導体装置のチップの端部に設けられた電流源部から、第１の電流を流す期間を規定する第１の所定期間内の一部の期間である第２の所定期間だけ、前記第１の電流より大きな第２の電流を、前記複数の負荷トランジスタの各ゲートに接続された複数の電荷保持部に供給し、前記第２の電流に対応する電荷を各電荷保持部に保持させて各負荷トランジスタを介した前記共通電位線への電流流入を加速することによって、前記第２の電流に相当する電流を前記複数の前記単位構成要素の各出力部に加速して供給し、
前記第２の所定期間の終了時を起点とした残りの前記第１の所定期間において、前記第１の電流に対応する電荷を各電荷保持部に保持させることで各負荷トランジスタを介した前記共通電位線への電流流入により、前記第１の電流に相当する電流を前記複数の前記単位構成要素の各出力部に供給し、
該第１の電流の供給後に、前記複数の記憶部で保持され、前記複数の単位信号のそれぞれの大きさに応じた複数の読出し信号線の電位を確定し、確定した複数の電位を前記複数の単位信号として読み出す。

なお、単位信号生成部の出力部に信号確定用の動作電流よりも大きな電流を所定期間供給する以前については、単位信号生成部の出力部に信号確定用の動作電流を供給しておくようにしてもよいが、このことは必須ではない。

本発明に係る物理情報取得装置は、物理量分布検知のための半導体装置を使用し、物理量についての所定の検知条件の元で取得された前記単位信号に基づいて所定目的用の物理情報を取得する物理情報取得装置であって、前記半導体装置は、物理量の変化を検知する検知部と前記検知部で検知した物理量の変化に基づいて単位信号を生成して出力する出力部を具備した単位信号生成部とを単位構成要素内に含み、当該単位構成要素が所定の順に複数配された単位構成要素アレイ部と、該各単位構成要素の単位信号生成部の出力部にそれぞれ接続される複数の読出し信号線と、該複数の読出し信号線を介して複数の前記単位構成要素から複数の単位信号を読み出すときに各読出し信号線を流れる電流が流入する、両端が接地された共通電位線と、該共通電位線と各読出し信号線との間にそれぞれが接続された複数の負荷トランジスタと、各読出し信号線にそれぞれが接続された複数の記憶部と、カレントミラー回路に定電流を流し、該電流と同じ電流を出力するカレントミラー回路の電流出力部から第１の電流または第２の電流を流す、上記半導体装置のチップの端部に設けられた電流源部と、前記カレントミラー回路の前記読出し信号線ごとの各電流出力部に接続された複数のスイッチを所定期間制御して、前記第１の電流または前記第２の電流を出力し、該複数のスイッチの各出力にそれぞれ接続され、対応するスイッチの出力から供給された前記第１の電流または前記第２の電流に対応する電荷をそれぞれが保持する複数の電荷保持部を含み、前記複数のスイッチが制御信号により制御されて非導通のとき、前記複数の電荷保持部に蓄積された電位により前記複数の読出し信号線に接続された前記複数の負荷トランジスタを動作させて、前記第１の電流または前記第２の電流に相当する電流を前記複数の読出し信号線に供給するカレントコピア回路と、を有し、前記複数の単位構成要素から前記複数の単位信号を読み出す際に、前記電流源部から、前記第１の電流を流す期間を規定する第１の所定期間内の一部の期間である第２の所定期間だけ、前記第１の電流より大きな第２の電流を、前記複数の負荷トランジスタの各ゲートに接続された前記複数の電荷保持部に供給し、前記第２の電流に対応する電荷を各電荷保持部に保持させて各負荷トランジスタを介した前記共通電位線への電流流入を加速することによって、前記第２の電流に相当する電流を前記複数の前記単位構成要素の各出力部に加速して供給し、前記第２の所定期間の終了時を起点とした残りの前記第１の所定期間において、前記第１の電流に対応する電荷を各電荷保持部に保持させることで各負荷トランジスタを介した前記共通電位線への電流流入により、前記第１の電流に相当する電流を前記複数の前記単位構成要素の各出力部に供給し、該第１の電流の供給後に、前記複数の記憶部で保持され、前記複数の単位信号のそれぞれの大きさに応じた電位を確定し、確定した複数の電位を前記複数の単位信号として読み出す。
また、本発明の半導体装置は、物理量についての検知時間に応じて取得された単位信号に基づいて所定目的用の物理情報を取得する半導体装置であって、物理量の変化を検知する検知部と前記検知部で検知した物理量の変化に基づいて前記単位信号を生成して出力する出力部を具備した単位信号生成部とを単位構成要素内に含み、当該単位構成要素が所定の順に複数配された単位構成要素アレイ部と、該各単位構成要素の単位信号生成部の出力部にそれぞれ接続される複数の読出し信号線と、該複数の読出し信号線を介して複数の前記単位構成要素から複数の単位信号を読み出すときに各読出し信号線を流れる電流が流入する、両端が接地された共通電位線と、該共通電位線と各読出し信号線との間にそれぞれが接続された複数の負荷トランジスタと、各読出し信号線にそれぞれが接続された複数の記憶部と、カレントミラー回路に定電流を流し、該電流と同じ電流を出力するカレントミラー回路の電流出力部から第１の電流または第２の電流を流す、上記半導体装置のチップの端部に設けられた電流源部と、前記カレントミラー回路の前記読出し信号線ごとの各電流出力部に接続された複数のスイッチを所定期間制御して、前記第１の電流または前記第２の電流を出力し、該複数のスイッチの各出力にそれぞれ接続され、対応するスイッチの出力から供給された前記第１の電流または前記第２の電流に対応する電荷をそれぞれが保持する複数の電荷保持部を含み、前記複数のスイッチが制御信号により制御されて非導通のとき、前記複数の電荷保持部に蓄積された電位により前記複数の読出し信号線に接続された前記複数の負荷トランジスタを動作させて、前記第１の電流または前記第２の電流に相当する電流を前記複数の読出し信号線に供給するカレントコピア回路と、を同一半導体基板に有し、前記複数の単位構成要素から前記複数の単位信号を読み出す際に、前記電流源部から、前記第１の電流を流す期間を規定する第１の所定期間内の一部の期間である第２の所定期間だけ、前記第１の電流より大きな第２の電流を、前記複数の負荷トランジスタの各ゲートに接続された前記複数の電荷保持部に供給し、前記第２の電流に対応する電荷を各電荷保持部に保持させて各負荷トランジスタを介した前記共通電位線への電流流入を加速することによって、前記第２の電流に相当する電流を前記複数の前記単位構成要素の各出力部に加速して供給し、前記第２の所定期間の終了時を起点とした残りの前記第１の所定期間において、前記第１の電流に対応する電荷を各電荷保持部に保持させることで各負荷トランジスタを介した前記共通電位線への電流流入により、前記第１の電流に相当する電流を前記複数の前記単位構成要素の各出力部に供給し、該第１の電流の供給後に、前記複数の記憶部で保持され、前記複数の単位信号のそれぞれの大きさに応じた電位を確定し、確定した複数の電位を前記複数の単位信号として読み出す。

また従属項に記載された発明は、本発明に係る物理情報取得装置のさらなる有利な具体例を規定する。

たとえば、電流源部だけでなく、単位信号を単位信号生成部から読み出す際に、単位信号生成部の出力部に信号確定用の動作電流よりも大きな電流を所定期間供給し、この後、信号確定用の動作電流を単位信号生成部の出力部に供給するように、電流源部を制御して動作電流の大きさを変更させる制御部を備えるようにするのがよい。この場合、電流源部と制御部とを、単位構成要素が配される半導体と同一の半導体に一体的に形成するのが好ましい。装置をコンパクトにする、各機能部の取扱いを容易にするなどのためである。

ここで、単位信号生成部の出力部と電流源部との回路的な接続としては、電流源部が出力部の負荷として回路的に接続されることでソースフォロワを構成するようにするのがよい。この場合、電流源部は、ソースフォロワに動作電流すなわち単位信号を出力部から読み出すための読出電流を供給する。

また、出力部の負荷として回路的に接続される電流源部は、出力部に対する負荷として回路的に接続されるカレントミラー回路やカレントコピア回路を備えているものとするとよい。

この場合、電流源部の構成としては、動作電流の大きさを規定する基準電流を生成する基準電流源部を設け、かつこの基準電流源部で生成された基準電流に対応する動作電流を単位信号生成部の出力部に供給するカレントコピア回路を実質的に直接に接続配置するか、もしくは電流出力部が実質的に基準電流源部に直接に接続されることでカレントミラー回路を構成するように設けるのがよい。この場合、基準電流源部とカレントミラー回路や電流出力部とが対になって、単位信号生成部の出力部に対して独立動作可能に配置されるように、それぞれを複数設けるのがよい。

基準電流源部と電流出力部との複数対が、動作電流を単位信号生成部の出力部に供給する複数の個別電流源部として機能する。この場合、それぞれが単位信号生成部の出力部に対して独立して動作可能に設ける。そして、複数の個別電流源部が流す電流を合成して単位信号生成部の出力部に供給する電流合成型の構成にする。

ここで、複数の基準電流源部とカレントミラー回路や電流出力部とを複数設ける場合、これら（基準電流源部とカレントミラー回路や電流出力部の対のもしくは何れか一方）を構造的に分散配置させるのがよい。たとえば、複数の単位構成要素が配された２次元領域に対して、それぞれ反対側の位置に（たとえば垂直信号線の上下２方向に分けて）配するのがよい。デバイスとしての構造的な対象性を取ることで、垂直信号線に流す電流を対象に分散し、画素信号転送時の電圧降下を対象に分散でき、垂直方向のシェーディングを抑圧できるためである。たとえば上下２方向に分散すれば、電圧降下を半分にできる。

また電流源部の構成としては、動作電流の大きさを規定する基準電流を生成する複数の基準電流源部を設け、かつこの基準電流源部で生成された基準電流に対応する動作電流を単位信号生成部の出力部に供給するカレントコピア回路もしくは電流出力部と、基準電流源部とカレントコピア回路とを切替接続可能な、あるいは基準電流源部と電流出力部とをカレントミラー回路を構成するように切替接続可能な切替部を設けるようにしてもよい。

この場合、切替部によって、カレントコピア回路もしくは電流出力部が、複数の基準電流源部に対して共用されるようにする。複数の基準電流源部と切替部を介した共用される電流出力部との複数対が、動作電流を単位信号生成部の出力部に供給する複数の個別電流源部として機能する。この場合にも、切替部を介することで複数の基準電流源部のそれぞれが単位信号生成部の出力部に対して独立して動作可能に設ける。そして、複数の個別電流源部が流す電流を切替使用して単位信号生成部の出力部に供給する電流切替型の構成にする。特に、大電流を流す方を信号確定用の動作電流よりも大きな電流を流すものとして切替使用する。

つまり、単位信号生成部の出力部に信号確定用の動作電流よりも大きな電流を所定期間供給するための電流源部の構成としては、動作電流を単位信号生成部の出力部に供給する複数の個別電流源部を、それぞれを単位信号生成部の出力部に対して独立動作可能に設け、これらを、単位信号生成部の出力部に信号確定用の動作電流よりも大きな電流を流し得るように使い分けるとよい。なお、複数の個別電流源部は、構造的に分散して配置するのがよい。

たとえば、複数の個別電流源部を同時に所定期間動作させることで、単位信号生成部の出力部に信号確定用の動作電流よりも大きな電流を所定期間供給するようにする。要するに、複数の個別電流源部が流す電流を合成して単位信号生成部の出力部に供給する電流合成型の構成にするということである。

あるいは、複数の個別電流源部の一方を信号確定用の動作電流を流すものとし、他方を信号確定用の動作電流よりも大きな電流を流すものとし、またこれら複数の個別電流源部を切り替える切替部を設けて、この切替部により複数の個別電流源部のうちの他方、つまり、信号確定用の動作電流よりも大きな電流を流す方を所定期間動作させることで、単位信号生成部の出力部に信号確定用の動作電流よりも大きな電流を所定期間供給するようにしてもよい。要するに、大きさの異なる読出電流を流す複数の個別電流源部を設けておき、大電流を流す方を信号確定用の動作電流よりも大きな電流を流すものとして切替使用する電流切替型の構成にするということである。

本発明によれば、信号確定用の動作電流を単位信号生成部の出力部に供給して、読み出された単位信号に基づく所定目的用の物理情報を表わす信号の大きさを確定させる前に、単位信号生成部の出力部に信号確定用の動作電流よりも大きな電流を所定期間、つまり一時的に供給するようにした。

これにより、この所定期間内は、出力部に供給する動作電流、すなわち単位信号を出力部から読み出すための読出電流を大きくすることで、単位構成要素の出力部から読み出された単位信号に基づく所定目的用の物理情報を表わす信号の大きさの確定を加速することができる。加速用の大電流を出力部に供給することで、読取電流値が小さい場合に生じ得る、信号読出期間内に記憶部に保持される電位が安定化しないことに起因した縦筋ノイズの発生を防止しつつ、読出処理の高速化を実現できる。

また、加速させた後に、単位信号に基づく所定目的用の物理情報を表わす信号の大きさを確定する際には、信号確定用の動作電流、すなわち加速用の大電流よりも小さな動作電流に設定するので、動作電流を大電流にした際に生じ得る基板バイアス効果の影響を受けない。よって、読出処理の高速化と場所依存性を持った固定パターンノイズの発生の防止をともに実現できる。シェーディングを増加させずに読出時間を短縮することができる。

以下、図面を参照して本発明の実施形態について詳細に説明する。

＜第１実施形態＞
以下、図面を参照して本発明の実施形態について詳細に説明する。なお、以下においては、Ｘ−Ｙアドレス型の固体撮像装置の一例である、ＣＭＯＳ撮像素子をデバイスとして使用した場合を例に説明する。

ただしこれは一例であって、対象となるデバイスはＭＯＳ型の撮像デバイスに限らない。光や放射線などの外部から入力される電磁波に対して感応性をする単位構成要素をライン状もしくはマトリクス状に複数個配列してなる物理量分布検知用の半導体装置の全てに、後述する実施形態が同様に適用できる。特に、一方の読出方向である垂直列方向に１つの垂直信号線１８を共有する複数の単位画素３を備えた構成とする場合に用いると好適である。

＜撮像装置の概略構成＞
図１は、本発明に係る物理情報取得装置の一実施形態であるＣＭＯＳ固体撮像装置の概略構成図である。この固体撮像装置１は、たとえばカラー画像を撮像し得る電子スチルカメラやＦＡ（Factory Automation）カメラとして適用されるようになっている。

固体撮像装置１は、入射光量に応じた信号を出力する図示しない検知部としての受光素子を含む単位画素が行および列の正方格子状に配列された（すなわち２次元マトリクス状の）撮像部を有し、各単位画素からの信号出力が電圧信号であって、ＣＤＳ(Correlated Double Sampling ；相関２重サンプリング）処理機能部やその他の機能部が垂直列ごとに設けられたカラム型のものである。

すなわち、図１に示すように、固体撮像装置１は、複数の単位画素３（単位構成要素の一例）が行および列に（２次元行列状に）多数配列された撮像部（画素部）１０いわゆるエリアセンサ部と、撮像部１０の外側に設けられた駆動制御部７と、各垂直列に配されたカラム信号処理部（図ではカラム回路と記す）２２を有するカラム処理部２０と、読出電流源部２７と、水平選択スイッチ部６０とを備えている。

なお、読出電流源部２７は、撮像部１０とカラム処理部２０との間の信号経路（垂直信号線１８）上に設けられ、各垂直信号線１８に対してドレイン端子が接続された図示しない負荷ＭＯＳトランジスタを含む負荷トランジスタ部が配され、各負荷ＭＯＳトランジスタを駆動制御する負荷制御部（負荷ＭＯＳコントローラ）が設けられている。なお、読出電流源部２７の詳細については後述する。

駆動制御部７としては、たとえば水平走査部１２と垂直走査部１４とを備える。また、駆動制御部７の他の構成要素として、水平走査部１２、垂直走査部１４、あるいはカラム処理部２０などの固体撮像装置１の各機能部に所定タイミングの制御パルスを供給する駆動信号操作部（読出アドレス制御装置の一例）１６が設けられている。

これらの駆動制御部７の各要素は、撮像部１０とともに、半導体集積回路製造技術と同様の技術を用いて単結晶シリコンなどの半導体領域に一体的に形成され、半導体システムの一例である固体撮像素子（撮像デバイス）として構成される。

図１では、簡単のため行および列の一部を省略して示しているが、現実には、撮像部１０の各行や各列には、数十から数千の単位画素３が配置される。なお、図示を割愛するが、撮像部１０には、各画素に所定のカラーコーディングを持つ色分離フィルタが形成される。また図示を割愛するが、撮像部１０の各単位画素３は、フォトダイオードやフォトゲートなどの光電変換素子およびトランジスタ回路によって構成されている。

また、垂直信号線１８に多数の単位画素３が接続されることで、垂直信号線１８の線抵抗９ａと浮遊容量９ｂとによって、比較的大きな寄生素子９が各垂直列に接続された形となる。

単位画素３は、垂直列選択のための垂直制御線１５を介して垂直走査部１４と、また複数の検知部で検知され増幅素子を有する単位信号生成部で増幅された後に単位画素３から出力される画素信号Ｓ１（＿１〜ｈ；１行中の画素番号）をそれぞれ伝送する伝送線としての垂直信号線１８を介してカラム処理部２０と、それぞれ接続されている。

水平走査部１２や垂直走査部１４は、駆動信号操作部１６から与えられる駆動パルスに応答してシフト動作（走査）を開始するようになっている。垂直制御線１５には、単位画素３を駆動するための種々のパルス信号が含まれる。

水平走査部１２は、水平方向の読出列（水平方向のアドレス）を規定する（カラム処理部２０内の個々のカラム信号処理部２２を選択する）水平アドレス設定部１２ｘと、水平アドレス設定部１２ｘにて規定された読出アドレスに従ってカラム処理部２０の各信号を水平信号線８６に導く水平駆動部１２ｙとを有する。

水平アドレス設定部１２ｘは、図示を割愛するが、シフトレジスタあるいはデコーダを有して構成されており、カラム信号処理部２２からの画素情報を所定の順に選択し、その選択した画素情報を水平信号線８６に出力する選択手段としての機能を持つ。

垂直走査部１４は、垂直方向の読出行（垂直方向のアドレス）や水平方向の読出列（水平方向のアドレス）を規定する（撮像部１０の行を選択する）垂直アドレス設定部１４ｘと、垂直アドレス設定部１４ｘにて規定された読出アドレス上（水平行方向）の単位画素３に対する制御線にパルスを供給して駆動する垂直駆動部１４ｙとを有する。

垂直アドレス設定部１４ｘは、図示を割愛するが、信号を読み出す行の基本的な制御を行なう垂直シフトレジスタあるいはデコーダの他に、電子シャッタ用の行の制御を行なうシャッタシフトレジスタも有する。

垂直シフトレジスタは、撮像部１０から画素情報を読み出すに当たって各画素を行単位で選択するためのものであり、各行の垂直駆動部１４ｙとともに信号出力行選択手段を構成する。シャッタシフトレジスタは、電子シャッタ動作を行なうに当たって各画素を行単位で選択するためのものであり、各行の垂直駆動部１４ｙとともに電子シャッタ行選択手段を構成する。

駆動信号操作部１６は、図示しないが、各部の動作に必要なクロックや所定タイミングのパルス信号を供給するタイミングジェネレータＴＧ（読出アドレス制御装置の一例）の機能ブロックと、端子１ａを介して入力クロックCLK0や動作モードなどを指令するデータを受け取り、また端子１ｂを介して固体撮像装置１の情報を含むデータDATAを出力する通信インタフェースの機能ブロックとを備える。また、水平アドレス信号を水平アドレス設定部１２ｘへ、また垂直アドレス信号を垂直アドレス設定部１４ｘへ出力し、各アドレス設定部１２ｘ，１４ｘは、それを受けて対応する行もしくは列を選択する。

なお、駆動信号操作部１６は、撮像部１０や水平走査部１２など、他の機能要素とは独立して、別の半導体集積回路として提供されてもよい。この場合、撮像部１０や水平走査部１２などから成る撮像デバイスと駆動信号操作部１６とにより、半導体システムの一例である撮像装置が構築される。この撮像装置は、周辺の信号処理回路や電源回路なども組み込まれた撮像モジュールとして提供されてもよい。

カラム処理部２０は、垂直列（カラム）ごとにカラム信号処理部２２を有して構成されており、１行分の画素の信号を受けて、各カラム信号処理部２２が対応列の画素信号Ｓ１（＿１〜ｈ；１行中の画素番号）を処理して、処理済みの画素信号Ｓ１（＿１〜ｈ；１行中の画素番号）を出力する。

たとえば、カラム信号処理部２２は、図示を割愛するが、蓄積容量を具備した記憶部を有し、単位画素３から垂直信号線１８を介して読み出された画素信号（単位信号）Ｓ１に基づく所定目的用の物理情報を表わす電位信号Ｖｍを記憶するラインメモリ構造の信号保持機能を備えるようにすることができる（後述する図２を参照）。また同様に蓄積容量を持ち、ＣＤＳ(Correlated Double Sampling ；相関２重サンプリング）処理を利用したノイズ除去手段の機能を備えるようにしてもよい。

ＣＤＳ処理を行なう場合、駆動信号操作部１６から与えられるサンプルパルスＳＨＰとサンプルパルスＳＨＤといった２つのサンプルパルスに基づいて、垂直信号線１８を介して入力された電圧モードの画素情報に対して、画素リセット直後の信号レベル（ノイズレベル；０レベル）と真の信号レベルとの差分をとる処理を行なうことで、画素ごとの固定ばらつきによる固定パターンノイズ（ＦＰＮ；Fixed Pattern Noise ）やリセットノイズといわれるノイズ信号成分を取り除く。

なお、カラム信号処理部２２には、ＣＤＳ処理機能部などの後段に、必要に応じて信号増幅機能を持つＡＧＣ(Auto Gain Control) 回路やその他の処理機能回路などを設けることも可能である。

カラム処理部２０の後段には、図示しない水平読出用のスイッチ（選択スイッチ）を備えた水平選択スイッチ部６０が設けられている。各垂直列のカラム信号処理部２２の出力端は、カラム信号処理部２２から画素信号Ｓ２を順次読み出すための各垂直列に対応する水平選択スイッチ部６０の選択スイッチの入力端ｉにそれぞれ接続されている。

水平選択スイッチ部６０の各垂直列の制御ゲート端ｃは、水平方向の読出アドレスを制御・駆動する水平走査部１２の水平駆動部１２ｙに接続される。一方、水平選択スイッチ部６０の各垂直列の選択スイッチの出力端ｏは、行方向に画素信号を順次転送出力する水平信号線８６が共通接続されている。水平信号線８６の後端には出力回路８８が設けられている。

水平信号線８６は、単位画素３のそれぞれから垂直信号線１８を介して伝送される個々の画素信号Ｓ１（詳しくはそれに基づく画素信号Ｓ２）を、垂直信号線１８の配列方向である水平方向に所定順に出力するため読出線として機能するものであり、カラム信号処理部２２から、垂直列ごとに存在する図示しない選択スイッチによって選択された信号を取り出して出力回路８８に渡す。

すなわち、カラム信号処理部２２により処理された画素情報を表わす信号電荷に応じた各垂直列の電圧信号は、水平走査部１２からの水平選択信号φＨ１〜φＨｈに応じた水平読出パルスφｇ１〜φｇｈにより駆動される垂直列ごとに設けられた選択スイッチにより所定のタイミングで選択され水平信号線８６に読み出される。そして、水平信号線８６の後端に設けられた出力回路８８に入力される。

出力回路８８は、撮像部１０から水平信号線８６を通して出力される各単位画素３の画素信号Ｓ２＿１〜ｈ（ｈ＝ｎ）を適当なゲインで増幅した後、撮像信号Ｓ３として図示しない外部回路に出力端子８８ａを介して供給する。この出力回路８８は、たとえば、バッファリングだけする場合もあるし、その前に黒レベル調整、列ばらつき補正、色関係処理などを行なうこともある。

つまり、本実施形態のカラム型の固体撮像装置１においては、単位画素３からの出力信号（電圧信号）が、垂直信号線１８→カラム処理部２０（カラム信号処理部２２）→水平信号線８６→出力回路８８の順で伝送される。その駆動は、１行分の画素出力信号は垂直信号線１８を介してパラレルにカラム処理部２０に送り、処理後の信号は水平信号線８６を介してシリアルに出力するようにする。この画素信号のカラム処理部２０までの垂直転送動作は１行分の単位画素３に対して同時に行なわれる。

なお、垂直列や水平列ごとの駆動が可能である限り、それぞれのパルス信号を単位画素３に対して水平行方向および垂直列方向の何れから供給するか、すなわちパルス信号を印加するための駆動クロック線の物理的な配線方法は自由である。

このような構成の固体撮像装置１において、水平走査部１２や垂直走査部１４およびそれらを制御する駆動信号操作部１６により、撮像部１０の各画素を水平行単位で順に選択し、その選択した１つの水平行分の画素の情報を同時に読み出すタイプのＣＭＯＳイメージセンサが構成される。

出力回路８８の後段に設けられる図示しない外部回路は、撮像部１０や駆動制御部７などが同一の半導体領域に一体的に形成された固体撮像素子とは別の基板（プリント基板もしくは半導体基板）上に構成されており、各撮影モードに対応した回路構成が採られるようになっている。

撮像部１０や駆動制御部７などからなる固体撮像素子（本発明に係る半導体装置や物理情報取得装置の一例）と外部回路とによって、固体撮像装置１が構成されている。駆動制御部７を撮像部１０やカラム処理部２０と別体にして、撮像部１０やカラム処理部２０で固体撮像素子（半導体装置の一例）を構成し、この固体撮像素子と別体の駆動制御部７とで、撮像装置（本発明に係る物理情報取得装置の一例）として構成してもよい。

なおここでは、固体撮像素子の後段の信号処理を担当する外部回路を固体撮像素子（撮像チップ）外で行なう例を示したが、外部回路の全てもしくは一部（たとえばＡ／Ｄ変換部やデジタルアンプ部など）の機能要素を、固体撮像素子のチップに内蔵するように構成してもよい。つまり、撮像部１０や駆動制御部７などが同一の半導体領域に一体的に形成された固体撮像素子と同一の半導体基板上に外部回路を構成して、実質的に、固体撮像装置１と物理情報取得装置とが同一のものとして構成してもよい。

また図では、水平選択スイッチ部６０や駆動制御部７を撮像部１０とともに備えて固体撮像装置１を構成し、実質的に、固体撮像装置１が物理情報取得装置としても機能するように構成しているが、物理情報取得装置は、必ずしもこのような構成に限定されない。水平選択スイッチ部６０や駆動制御部７の全体もしくは一機能部分が撮像部１０と同一の半導体領域に一体的に形成されたものであることは要件ではない。水平選択スイッチ部６０および駆動制御部７を、撮像部１０とは異なる回路基板（別の半導体基板に限らず一般的な回路基板をも意味する）、たとえば外部回路が設けられる回路基板に形成してもよい。

＜＜画素構造＞＞
図２は、図１に示した固体撮像装置１に使用される単位画素３の構成例を示す図である。撮像部１０内の単位画素（画素セル）３の構成は、通常のＣＭＯＳイメージセンサと同様であり、本実施形態では、ＣＭＯＳセンサとして汎用的な４ＴＲ構成のものを使用することができるし、４ＴＲ構成のものに限らず、たとえば、特許第２７０８４５５号公報に記載のように、３つのトランジスタからなる３ＴＲ構成のものを使用することもできる。もちろん、これらの画素構成は一例であり、通常のＣＭＯＳイメージセンサのアレイ構成であれば、何れのものでも使用できる。

画素内アンプとしては、たとえばフローティングディフュージョンアンプ構成のものが用いられる。一例としては、電荷生成部に対して、電荷読出部（転送ゲート部／読出ゲート部）の一例である読出選択用トランジスタ、リセットゲート部の一例であるリセットトランジスタ、垂直選択用トランジスタ、およびフローティングディフュージョンの電位変化を検知する検知素子の一例であるソースフォロア構成の増幅用トランジスタを有する構成を使用することができる。

たとえば、図２に示すように、電荷生成部と３つのトランジスタからなる３ＴＲ構成とすることで、単位画素３におけるトランジスタが占める面積を少なくし、画素サイズを小さくすることができる（たとえば特許第２７０８４５５号公報参照）。

この３ＴＲ構成の単位画素３は、光電変換を行なうことで受光した光に対応する信号電荷を生成する電荷生成部３２（たとえばフォトダイオード）と、電荷生成部３２により生成された信号電荷に対応する信号電圧を増幅するための、ドレイン線（ＤＲＮ）に接続された増幅用トランジスタ４２と、電荷生成部３２をリセットするためのリセットトランジスタ３６とを、それぞれ有している。また、図示しない垂直走査部１４より転送配線（ＴＲＦ）５５を介して走査される読出選択用トランジスタ（転送ゲート部）３４が、電荷生成部３２と増幅用トランジスタ４２のゲートとの間に設けられている。

増幅用トランジスタ４２のゲートおよびリセットトランジスタ３６のソースは読出選択用トランジスタ３４を介して電荷生成部３２に、リセットトランジスタ３６のドレインおよび増幅用トランジスタ４２のドレインはドレイン線に、それぞれ接続されている。また、増幅用トランジスタ４２のソースは垂直信号線５３に接続されている。

読出選択用トランジスタ３４は、転送配線５５を介して転送駆動バッファ２５０により駆動されるようになっている。リセットトランジスタ３６は、リセット配線５６を介してリセット駆動バッファ２５２により駆動されるようになっている。

転送駆動バッファ２５０、リセット駆動バッファ２５２とも基準電圧である０Ｖと、電源電圧の２値で動作する。特に、この画素における読出選択用トランジスタ３４のゲートに供給されるローレベル電圧は０Ｖである。

増幅用トランジスタ４２は各垂直信号線５３（図１の垂直信号線１８に相当）に接続されており、また垂直信号線５３は垂直列ごとに読出電流源部２７の定電流源Ｉｎの一部をなす負荷ＭＯＳトランジスタ２７ｚのドレインに接続され、また各負荷ＭＯＳトランジスタ２７ｚには、図示しない負荷制御部からの負荷制御信号SFLACTが共通に入力され、信号読出し時には、各増幅用トランジスタ４２に接続された負荷ＭＯＳトランジスタ２７ｚによって、予め決められた定電流を流し続けるようになっている。つまり、負荷ＭＯＳトランジスタ２７ｚは、選択行の増幅用トランジスタ４２とソースフォロアを組んで読出電流を増幅用トランジスタ４２に供給することで、垂直信号線５３への信号出力をさせる。

この３ＴＲ構成の単位画素３においては、４ＴＲ構成と同様に、フローティングディフュージョン３８は増幅用トランジスタ４２のゲートに接続されているので、増幅用トランジスタ４２はフローティングディフュージョン３８の電位に対応した信号を垂直信号線５３に出力する。

リセットトランジスタ３６は、リセット配線（ＲＳＴ）５６が行方向に延びており、ドレイン線（ＤＲＮ）５７は殆どの画素に共通になっている。このドレイン線５７は、ドレイン駆動バッファ（以下ＤＲＮ駆動バッファという）２４０により駆動される。リセットトランジスタ３６はリセット駆動バッファ２５２により駆動され、フローティングディフュージョン３８の電位を制御する。

ドレイン線５７が行方向に分離されているが、このドレイン線５７は１行分の画素の信号電流を流さなければならないので、実際には列方向に電流を流せるように、全行共通の配線となる。電荷生成部３２（光電変換素子）にて生成された信号電荷は読出選択用トランジスタ３４によりフローティングディフュージョン３８に転送される。

ここで、３ＴＲ構成の単位画素３には、４ＴＲ構成とは異なり、増幅用トランジスタ４２と直列に接続される垂直選択用トランジスタ４０が設けられていない。垂直信号線５３には多数の画素が接続されているが、画素の選択は、選択トランジスタではなく、ＦＤ電位の制御により行なう。通常は、ＦＤ電位をロー（Ｌｏｗ）にしている。画素を選択するときは、選択画素のＦＤ電位をハイ（Ｈｉｇｈ）にすることで、選択画素の信号を垂直信号線５３に出す。その後、選択画素のＦＤ電位をローに戻す。この操作は１行分の画素に対して同時に行なわれる。

このようにＦＤ電位を制御するためには、１）選択行ＦＤ電位をハイにするときに、ドレイン線５７をハイにし、選択行のリセットトランジスタ３６を通して、そのＦＤ電位をハイにする、２）選択行ＦＤ電位をローに戻すときに、ドレイン線５７をローにし、選択行のリセットトランジスタ３６を通して、そのＦＤ電位をローにする、という動作を行なう。

画素信号の読出し時には、先ずリセットパルスφＲＳＴをアクティブにして、同一行に配置された単位画素３のフォトダイオードなどの電荷生成部３２をリセットする。この後、リセットされた各単位画素３は入射される光を変換して電荷を蓄積する。一定の蓄積時間が経過すると、読出対象の垂直信号線１８ごとに読出電流が負荷ＭＯＳトランジスタ２７ｚから供給される。

この状態で転送信号φＴＲＧをアクティブして電荷生成部３２の信号電荷をフローティングディフュージョン３８に転送する。すると、ソースフォロア構成の増幅用トランジスタ４２の電位が信号電荷に応じて変化する。これにより、対象行に配置された単位画素３のうち、読出電流が供給された垂直列に配置されている単位画素３から、入射光を変換した画素信号Ｓ１が読み出される。

＜＜読出電流源部の詳細；第１実施形態＞＞
図３は、読出電流源部２７の第１実施形態の回路構成を説明する図である。ここでは、読出電流源部２７の他に、カラム処理部２０の一例として設けられる信号保持部２４、水平走査部１２、および出力回路８８を示している（後述する他の実施形態の回路構成でも同様である）。

第１実施形態の構成は、画素信号生成部５のソースフォロワの負荷としてカレントミラー回路を用いるとともに、読出電流源部２７を複数段（それぞれに参照子ａ，ｂを付して示す）並列に備え、一方にて通常の読出用の動作電流（読出電流）を供給しつつ、他方（１つとは限らない）にて、一時的に読出加速用の動作電流（加速読出電流）をさらに供給するつまり補給する点に特徴を有する。以下具体的に説明する。

信号保持部２４は、垂直列ごとに、撮像部１０と水平信号線８６の信号系路上に設けられたスイッチとして機能するＮｃｈ型のトランジスタ１１２と、トランジスタ１１２の水平信号線８６側と接地（ＧＮＤ）との間に設けられた記憶回路（単一の記憶素子でもよい）１１４とを備える。各垂直列の記憶部１１４を纏めてラインメモリと称する。トランジスタ１１２のゲートには、各記憶部１１４に画素信号を保持させる書込制御信号ＭＷＲが図示しない駆動信号操作部１６から供給される。

水平選択スイッチ部６０は、垂直列ごとに、トランジスタ１１２の水平信号線８６側の信号系路上に設けられた水平読出用の選択スイッチとして機能するＮｃｈ型のトランジスタ１２２を備えている。トランジスタ１２２のゲートには、水平走査部１２からの水平選択信号φＨ１〜φＨｈに応じた駆動パルスφｇ１〜φｇｈが供給され、所定のタイミングで何れかの垂直列の記憶部１１４が選択され、記憶部１１４に一時的にされていた画素信号Ｓ２（Ｖｍ）が水平信号線８６に読み出されるようになっている。

また、第１実施形態の特徴部分である読出電流源部２７は、図２に示した負荷ＭＯＳトランジスタ２７ｚに対応するＮｃｈ型のトランジスタ３０４（負荷ＭＯＳトランジスタ）と、電流出力端であるトランジスタ３０４のドレインと単位画素３の画素信号生成部５に対しての電流供給線としての機能を持つ垂直信号線１８とを接続する切替スイッチとして機能するＮｃｈ型のトランジスタ３０８とを垂直列ごとに備えるとともに、全垂直列に対して共用される基準電流源部３１０を備えている。

トランジスタ３０４，３０８（纏めて負荷ＭＯＳ群３００ともいう）は垂直信号線１８と接地（ＧＮＤ）との間に縦続接続されている。具体的には、各トランジスタ３０８は、ドレインが垂直信号線１８に接続され、そのソースがトランジスタ３０４のドレインに接続され、ゲートには図示しない負荷制御部からの負荷制御信号SFLACTが各垂直列に対して共通に入力されるようになっている。

基準電流源部３１０は、電源側に配された電流生成部３１２と電流生成部３１２に対して接地側に配されたＮｃｈ型のトランジスタ３１４とを有し、トランジスタ３１４が各垂直列のトランジスタ３０４との間でカレントミラー回路を構成するように接続されている。具体的には、トランジスタ３０４，３１４のソースがともに接地（ＧＮＤ）に接続され、トランジスタ３１４のゲートが、各垂直列のトランジスタ３０４のゲートに共通に接続され、かつ自身のドレインに接続され、さらに電流生成部３１２の出力端に接続されている。

カレントミラー回路は、電流生成部３１２から出力される電流信号を受け取り、この受け取った電流信号の大きさに対応する大きさの電流信号を出力する電流／電流変換部の一例である。カレントミラー回路を構成する各垂直列の全トランジスタ３０４と基準電流源部３１０のトランジスタ３１４としては、電流ばらつきができるだけ生じないように、同じ特性のものが用いられる。各垂直列の電流ばらつきに起因する縦筋状ノイズの発生を防止するためである。

なお、各トランジスタ３０４は、ソースが接地線であるソース線３０９に共通に接続されている。ソース線３０９は、水平方向の端部（図３の左右の垂直列）で基板バイアスである接地（ＧＮＤ）に接続されるようになっている。つまり、負荷ＭＯＳ群３００の接地（ＧＮＤ）に対する動作電流（読出電流）が、チップの左右両端から供給されるような構成となっている。

このような構成により、単位画素３で取得された画素信号Ｓ１の増幅にはソースフォロワを利用し、負荷としてカレントミラー型の負荷ＭＯＳ（読出電流源部２７の負荷ＭＯＳ群３００）を各列に配置するようになっている。負荷ＭＯＳ群３００の電流値は負荷ＭＯＳ電流源として機能する基準電流源部３１０によって決められる。

ここで、第１実施形態の読出電流源部２７は、基準電流源部３１０を複数段備えるとともに、特に、トランジスタ３０４，３０８からなる各垂直列に設けられる負荷ＭＯＳ群３００をも複数段、垂直信号線１８に対して並列に動作するように備える点に特徴を持つ。

一方の読出方向である垂直列方向に１つの垂直信号線１８を共有するように接続された複数の単位画素３、すなわち同一垂直列の複数の単位画素３が、これら複数の読出電流源部２７ａ，２７ｂを構成する各垂直列にそれぞれ複数設けられる負荷ＭＯＳ群３００を共有する構成となる。

図示した例では、読出電流源部２７を２段構え（それぞれに参照子ａ，ｂを付して示す）にしており、一方の読出電流源部２７ａは、通常の読出用の動作電流を供給する読出電流源部として機能し、他方の読出電流源部２７ｂは、読出加速用の動作電流を供給する読出電流源部として機能する。以下、一方の読出電流源部２７ａを通常読出電流源部２７ａ、他方の読出電流源部２７ｂを加速読出電流源部２７ｂともいう。

各負荷ＭＯＳ群３００ａ，３００ｂは、図示しない負荷制御部からの対応する負荷制御信号SFLACTａ，SFLACTｂによって独立に制御されるようになっている。すなわち、通常読出電流源部２７ａの負荷ＭＯＳ群３００ａを構成するトランジスタ３０８ａのゲートには、負荷制御信号SFLACTａが各垂直列に対して共通に入力され、加速読出電流源部２７ｂの負荷ＭＯＳ群３００ｂを構成するトランジスタ３０８ｂのゲートには、負荷制御信号SFLACTｂが各垂直列に対して共通に入力される。

通常読出電流源部２７ａの各垂直列の負荷ＭＯＳ群３００ａによる記憶部１１４の電位確定用電流Ｉａ（≠０）は、負荷ＭＯＳ群３００ａとカレントミラー接続されている通常読出用の基準電流源部３１０ａが決定し、加速読出電流源部２７ｂの各垂直列の負荷ＭＯＳ群３００ｂによる読出加速用電流Ｉｂ（≠０）は、負荷ＭＯＳ群３００ｂとカレントミラー接続されている加速読出用の基準電流源部３１０ｂが決定するような構成となっている。

電位確定用電流Ｉａと読出加速用電流Ｉｂの比（Ｉｂ／Ｉａ）は、“１以下”でもよいが、たとえば２倍以上さらに好ましくは５倍以上とするのが好ましい。比が大きい程、読出加速用電流Ｉｂを供給する時間を短くすることができる。負荷ＭＯＳ群３００ａによる電位確定用電流Ｉａ用の電流源と負荷ＭＯＳ群３００ｂによる読出加速用電流Ｉｂ用の電流源とが各垂直信号線１８に対して並列に配される構成となっているので、負荷ＭＯＳ群３００ａ，３００ｂがともに電流供給動作をすることで、垂直信号線１８には、読出加速用電流Ｉｂの値（≠０）に拘らず、電位確定用電流Ｉａよりも大きな合成電位確定用電流Ｉａ＋Ｉｂ（＞Ｉａ）が流れることとなる。

＜＜読出電流源部の動作；第１実施形態＞＞
図４は、図３に示した第１実施形態の読出電流源部２７の動作を説明するタイミングチャートである。

垂直転送フェーズ時には、画素信号の読出し前に負荷制御信号SFLACTａをアクティブ（本例ではＨレベル）にして垂直信号線１８に電位確定用電流Ｉａを流すとともに（ｔ３０）、書込制御信号ＭＷＲもアクティブ（本例ではＨレベル）にして（ｔ３１）、信号保持部２４の記憶部１１４に画素信号Ｓ１を読み出して記憶する準備をする。

次に、垂直走査部１４から単位画素３に供給する転送信号φＴＲＧをアクティブ（本例ではＨレベル）にして、単位画素３の電荷生成部３２で生成された電荷信号を画素信号生成部５にて電圧モードの画素信号Ｓ１に変換にして、カラム信号処理部２２を介して信号保持部２４の各記憶部１１４に読み出して記憶する（ｔ３２〜ｔ３４）。

その後、先に書込制御信号ＭＷＲをインアクティブ（Ｌレベル）にしてから（ｔ３８）、負荷制御信号SFLACTａをインアクティブ（Ｌレベル）にして垂直信号線１８への電位確定用電流Ｉａの供給を停止し（ｔ４０）、画素信号の垂直転送を終える。これにより、信号確定用の動作電流である電位確定用電流Ｉａを単位画素３を構成する画素信号生成部５の出力部として配される増幅用トランジスタ４２に供給して、単位画素３から読み出された画素信号Ｓ１に基づく所定目的用の物理情報を表わす電位信号Ｖｍの大きさを確定させることができる。この画素信号の垂直転送動作は１行分の単位画素３に対して同時に行なわれる。

記憶部１１４に転送され保持された電位信号Ｖｍによって表わされる画素信号Ｓ２は、水平走査部１２からの水平読出パルスφｇにより各垂直列のトランジスタ１２２が所定の順に制御されることで、たとえば図３中の左端から順番に垂直列を選択され、水平方向に順に水平信号線８６に転送される（水平転送フェーズ；ｔ４２〜ｔ４４（＿１〜ｈ））。

ここで、この第１実施形態においては、読出電流源部２７を２段構成としており、負荷制御信号SFLACTａによる負荷ＭＯＳ群３００ａに対する駆動制御の他に、負荷制御信号SFLACTｂによって負荷ＭＯＳ群３００ｂを独立に制御できるようになっている。

具体的には、負荷制御信号SFLACTａをアクティブＨにして垂直信号線１８に電流値Ｉａを流し（ｔ３０）、さらに転送信号φＴＲＧをアクティブＨにしてカラム信号処理部２２を介して信号保持部２４の各記憶部１１４に画素信号Ｓ２を読み出して記憶することができるようにするのとほぼ同時に、負荷制御信号SFLACTｂをアクティブＨにして垂直信号線１８に電流値Ｉｂを流す（ｔ３２）。

前述のように、負荷ＭＯＳ群３００ａによる電位確定用電流Ｉａ用の電流源と負荷ＭＯＳ群３００ｂによる読出加速用電流Ｉｂ用の電流源とが各垂直信号線１８に対して並列に配される構成となっている。したがって、負荷制御信号SFLACTａ，SFLACTｂの何れもがアクティブＨになっている負荷ＭＯＳ群３００ａ，３００ｂがともに電流供給動作をする期間内（ｔ３２〜ｔ３６）は、垂直信号線１８には、電位確定用電流Ｉａに読出加速用電流Ｉｂが補給されることで、合成電位確定用電流Ｉａ＋Ｉｂ（＞Ｉａ）という電位確定用電流Ｉａよりも大きな電流が流れる。

記憶部１１４に保持される画素信号Ｓ２を示す電圧値Ｖｍ（＿１，２，…，ｈ）が目標値にある程度近くなったところで負荷制御信号SFLACTｂをインアクティブＬにし、垂直信号線１８に流れる電流値を電位確定用電流Ｉａに戻す（ｔ３６）。つまり、期間ｔ３２〜ｔ３６に一時的に垂直信号線１８に流れる読出電流値すなわち画素信号生成部５に供給する読出電流値を大きくすることで、単位画素３からの画素信号の読出しを加速し、記憶部１１４の保持電位Ｖｍがほぼ画素信号Ｓ１に対応する適正な電位になったところで垂直信号線１８に流れる電流値を電位確定用電流Ｉａに戻す。

こうすることで、負荷ＭＯＳ群３００ａ，３００ｂがともに電流供給動作をする期間内（ｔ３２〜ｔ３６）は、記憶部１１４への読出電流が電位確定用電流Ｉａからより大きな合成電位確定用電流Ｉａ＋Ｉｂに切り替るので、記憶部１１４に保持される画素信号Ｓ２を示す電圧値Ｖｍ（＿１，２，…，ｈ）の立上りを速くすることができる。すなわち、垂直信号線１８に流れる読出電流を、電位確定用電流Ｉａに加えて読出加速用電流Ｉｂを補給して読出加速することにより、記憶部１１４の電位の安定化を速くすることができる。

つまり、記憶部１１４の電位Ｖｍが確定する際には、垂直信号線１８に流れる電流値は電位確定用電流Ｉａに戻っているので、負荷ＭＯＳ群３００ａのソース線３０９ａに生じる電圧降下（ＩＲドロップ）は、電位確定用電流Ｉａによる分だけであり、電位確定用電流Ｉａを常時大きくする従来例とは異なり、ＩＲドロップを小さくすることができる。

よって、ＩＲドロップによる端と中央のトランジスタ３０４のゲート―ソース間電圧のずれを小さくすることができ、読出電流の場所依存性の影響を、電位確定用電流Ｉａを常時大きくする従来例に比べて弱くすることができ、端部の垂直列と中央部の垂直列との間でのＩＲドロップ差によって生じるシェーディングを小さくすることができる。つまり、信号読出時間を早くするために負荷ＭＯＳ群３００の電流値を合成電位確定用電流Ｉａ＋Ｉｂにして一時的に上げても、記憶部１１４の電位が決定する際には電流値が電位確定用電流Ｉａに戻っているので小さくでき、シェーディングの増加という問題を招かない。

よって、比較的大きな寄生素子９が各列に接続された形となる場合であって寄生素子９が大きなＣＲ時定数を持つ場合であっても、一時的に垂直信号線１８に流れる読出電流値を大きくして読出しを加速して、記憶部１１４への読出しが所定時間内に収まるようにすることで、読出時間の短縮化と縦筋ノイズの抑圧を両立させつつ、さらに、その後に読出電流を電位確定用電流Ｉａに戻すことで読出時間の短縮化とシェーディング増加の回避を両立させることができる。

＜＜読出電流源部の詳細；第２実施形態＞＞
図５は、読出電流源部２７の第２実施形態の回路構成を説明する図である。第２実施形態の構成は、読出電流源部２７を複数段（それぞれに参照子ａ，ｂを付して示す）並列に備える点では第１実施形態と同様であるが、基準電流源部３１０を複数段備えるとともに、特に、トランジスタ３０４，３０８からなる各垂直列に設けられる負荷ＭＯＳ群３００を１つで共用するようにしている点で、負荷ＭＯＳ群３００をも複数段（具体的には２段）備えるようにしていた第１実施形態と異なる。すなわちこの第２実施形態では、基準電流源部３１０のみが複数段（具体的には２段）構えとなっている点に特徴を有する。以下具体的に説明する。

基準電流源部３１０は、第１実施形態と同様に、電源側に配された電流生成部３１２ａ，３１２ｂと、各電流生成部３１２ａ，３１２ｂに対して接地側に配されたＮｃｈ型のトランジスタ３１４ａ，３１４ｂとを有し、トランジスタ３１４ａ，３１４ｂが各垂直列のトランジスタ３０４との間でカレントミラー回路を構成するように接続されている。

ここで、第２実施形態の構成においては、１つの負荷ＭＯＳ群３００を通常読出電流源部２７ａと加速読出電流源部２７ｂとで共用（兼用）するべく、基準電流源部３１０は、トランジスタ３１４ａ，３１４ｂの各ゲートと各垂直列のトランジスタ３０４のゲートとの間に切替手段として機能する２入力−１出力型のスイッチ３１８を備えている。

スイッチ３１８は、一方の入力端子ａがトランジスタ３１４ａのゲートと接続され、他方の入力端子ｂがトランジスタ３１４ｂのゲートと接続され、出力端子ｏが負荷ＭＯＳ群３００を構成するトランジスタ３０４のゲートと接続されており、図示しない駆動信号操作部１６からの切替制御信号Φに基づいてトランジスタ３１４ａ，３１４ｂの各ゲートのトランジスタ３０４のゲートへの接続を切り替えるようになっている。具体的には、スイッチ３１８は、切替制御信号ΦがインアクティブＬのときに基準電流源部３１０ａのゲートを選択し、アクティブＨのときに基準電流源部３１０ｂのゲートを選択するようになっている。

通常読出電流源部２７ａの各垂直列の負荷ＭＯＳ群３００ａによる電位確定用電流Ｉａ（≠０）は通常読出用の基準電流源部３１０ａが決定し、加速読出電流源部２７ｂの各垂直列の負荷ＭＯＳ群３００ｂによる読出加速用電流Ｉｂ（≠０）は、加速読出用の基準電流源部３１０ｂが決定するような構成となっている。電位確定用電流Ｉａと読出加速用電流Ｉｂの比（Ｉｂ／Ｉａ）は、“１を超える”ようにする。たとえば２倍以上、さらに好ましくは５倍以上とするのが好ましい。比が大きい程、読出加速用電流Ｉｂを供給する時間を短くすることができる。

負荷ＭＯＳ群３００ａによる電位確定用電流Ｉａ用の電流源と負荷ＭＯＳ群３００ｂによる読出加速用電流Ｉｂ用の電流源とがスイッチ３１８によって各垂直信号線１８に対して切り替えられて接続される構成となっているので、共用される負荷ＭＯＳ群３００が基準電流源部３１０ａ，３１０ｂの何れか一方に基づいて動作することで、垂直信号線１８には、電位確定用電流Ｉａ（≠０）と読出加速用電流Ｉｂ（≠０）の何れか一方が流れることとなる。

電位確定用電流Ｉａと読出加速用電流Ｉｂの比（Ｉｂ／Ｉａ）が“１を超える”ようにしておくことで、スイッチ３１８が基準電流源部３１０ｂ側を選択したときに、電位確定用電流Ｉａよりも大きな読出加速用電流Ｉｂが垂直信号線１８に流れるようにすることができる。

＜＜読出電流源部の動作；第２実施形態＞＞
図６は、図５に示した第２実施形態の読出電流源部２７の動作を説明するタイミングチャートである。

読出し前に負荷制御信号SFLACTをアクティブＨにして垂直信号線１８に電位確定用電流Ｉａを流すとともに（ｔ３０）、書込制御信号ＭＷＲもアクティブＨにして（ｔ３１）、信号保持部２４の記憶部１１４に画素信号Ｓ１を読み出して記憶する準備をする。

次に、垂直走査部１４から単位画素３に供給する転送信号φＴＲＧをアクティブ（本例ではＨレベル）にして、単位画素３の電荷生成部３２で生成された電荷信号を画素信号生成部５にて電圧モードの画素信号Ｓ１に変換にして、カラム信号処理部２２を介して信号保持部２４の各記憶部１１４に読み出して記憶する（ｔ３２〜ｔ３４）。

その後、先に書込制御信号ＭＷＲをインアクティブＬにしてから（ｔ３８）、負荷制御信号SFLACTをインアクティブＬにして垂直信号線１８への電位確定用電流Ｉａの供給を停止し（ｔ４０）、画素信号の垂直転送を終える。この画素信号の垂直転送動作は１行分の単位画素３に対して同時に行なわれる。

記憶部１１４に転送され保持された画素信号Ｓ２は、水平走査部１２からの水平読出パルスφｇにより各垂直列のトランジスタ１２２が所定の順に制御されることで、たとえば図３中の左端から順番に垂直列を選択され、水平方向に順に水平信号線８６に転送される（ｔ４２〜ｔ４４（＿１〜ｈ））。

ここで、この第２実施形態においては、読出電流源部２７の基準電流源部３１０ａ，３１０ｂをスイッチ３１８で切り替えるように基準電流源部３１０のみを２段構成にしており、切替制御信号Φに基づくスイッチ３１８による選択切替動作によって、共用される負荷ＭＯＳ群３００に流れる電流を制御できるようになっている。

具体的には、負荷制御信号SFLACTをアクティブＨにする際には（ｔ３０）、切替制御信号ΦをインアクティブＬにして負荷ＭＯＳ群３００に電位確定用電流Ｉａが流れるようにしておく。そして、転送信号φＴＲＧをアクティブＨにする際に切替制御信号ΦをアクティブＨにすることで、負荷ＭＯＳ群３００に読出加速用電流Ｉｂが流れるようにする（ｔ３２）。

記憶部１１４に保持される画素信号Ｓ２を示す電圧値Ｖｍ（＿１，２，…，ｈ）が目標値にある程度近くなったところで切替制御信号ΦをインアクティブＬにし、垂直信号線１８に流れる電流値を電位確定用電流Ｉａに戻す（ｔ３６）。つまり、期間ｔ３２〜ｔ３６に一時的に垂直信号線１８に流れる読出電流値を大きくすることで、単位画素３からの画素信号の読出しを加速し、記憶部１１４の保持電位Ｖｍがほぼ画素信号Ｓ１に対応する適正な電位になったところで垂直信号線１８に流れる電流値を電位確定用電流Ｉａに戻す。

前述のように、この第２実施形態では、読出加速用電流Ｉｂと電位確定用電流Ｉａとの比（Ｉｂ／Ｉａ）を“１を超える”ように設定しているので、記憶部１１４への読出電流が電位確定用電流Ｉａからより大きな読出加速用電流Ｉｂに切り替るので、第１実施形態と同様に、記憶部１１４に保持される画素信号Ｓ２を示す電圧値Ｖｍ（＿１，２，…，ｈ）の立上りを速くすることができる。すなわち、垂直信号線１８に流れる読出電流を電位確定用電流Ｉａよりも大きな読出加速用電流Ｉｂに切り替えて読出加速することにより、記憶部１１４の電位の安定化を速くすることができる。

つまり、第２実施形態においても、スイッチ３１８により、読出し最中に負荷ＭＯＳ群３００のゲート電位を切り替えることで、一時的に大電流（読出加速用電流Ｉｂ）を流した後、電流値を電位確定用電流Ｉａに戻すことができる。記憶部１１４の電位Ｖｍが確定する際には、垂直信号線１８に流れる電流値は電位確定用電流Ｉａに戻っているので、負荷ＭＯＳ群３００のソース線３０９に生じる電圧降下（ＩＲドロップ）は、電位確定用電流Ｉａによる分だけであり、電位確定用電流Ｉａを常時大きくする従来例とは異なり、ＩＲドロップを小さくすることができる。

よって、第１実施形態と同様に、比較的大きな寄生素子９が各列に接続された形となる場合であって寄生素子９が大きなＣＲ時定数を持つ場合であっても、一時的に垂直信号線１８に流れる読出電流値を大きくして読出しを加速して、記憶部１１４への読出しが所定時間内に収まるようにすることで、読出時間の短縮化と縦筋ノイズの抑圧を両立させつつ、さらに、その後に読出電流を電位確定用電流Ｉａに戻すことで読出時間の短縮化とシェーディング増加の回避を両立させることができる。

加えて、垂直列ごとに、１つの負荷ＭＯＳ群３００を通常読出電流源部２７ａと加速読出電流源部２７ｂとで共用するようにしているので、負荷ＭＯＳ群３００をも複数段（具体的には２段）構えとして、垂直信号線１８に対して並列に動作するように構成している第１実施形態よりも負荷ＭＯＳ群３００の回路部材を少なくでき、回路面積の面で有利となる。

＜＜読出電流源部の詳細；第３実施形態＞＞
図７は、読出電流源部２７の第３実施形態の回路構成を説明する図である。第３実施形態の構成は、第１実施形態に対する変形例を示しており、読出電流源部２７の負荷ＭＯＳ群３００および基準電流源部３１０をそれぞれ複数段（それぞれに参照子ａ，ｂを付して示す）並列に備える点では第１実施形態と同様であるが、画素信号生成部５のソースフォロワの負荷としてカレントコピア（電流記憶）回路を設けるようにしている点で、カレントミラー回路を設けている第１実施形態と異なる。以下具体的に説明する。

第３実施形態の読出電流源部２７は、単位画素３の画素信号生成部５に読出電流を供給する電流サンプリング部としての機能を持ったカレントコピア部４００と、カレントコピア部４００に定電流を供給する基準電流源部４１０とを備える。

基準電流源部４１０は、カレントミラー回路で構成されている。具体的には、基準電流源部４１０は、接地側に配された電流生成部４１２と電流生成部４１２に対して電源側に配されたＰｃｈ型のトランジスタ４１４と、トランジスタ４１４との間でカレントミラー回路を構成するように接続されたＰｃｈ型のトランジスタ４１６とを有している。

トランジスタ４１４，４１６のソースがともに電源に接続され、トランジスタ４１４のゲートが、トランジスタ４１６のゲートに共通に接続され、かつ自身のドレインに接続され、さらに電流生成部４１２の出力端に接続されている。トランジスタ４１６のドレインは各垂直列のカレントコピア部４００に接続されるようになっている。

カレントコピア部４００は、基準電流源部４１０から出力された電流を複写（コピー）して単位画素３の画素信号生成部５に供給するカレントコピア用のＮｃｈ型のトランジスタ（以下コピアトランジスタという）４０２と、コピアトランジスタ４０２のゲート電位を記憶（蓄積）するコンデンサ（キャパシタ）などの記憶素子４０４とを有している。

またカレントコピア部４００は、コピアトランジスタ４０２のゲート電位を記憶素子４０４へ蓄積する際にオン状態とする切替スイッチとして機能するＮｃｈ型のトランジスタ４０６，４０７と、コピアトランジスタ４０２のソースと単位画素３の画素信号生成部５に対しての電流供給線としての機能を持つ垂直信号線１８とを接続する切替スイッチとして機能するＮｃｈ型のトランジスタ４０８とを有している。

本実施形態においては、各コピアトランジスタ４０２のソースを接地線４０９に共通に接続し、各コピアトランジスタ４０２のゲートと接地線４０９の間にサンプリング用の記憶素子４０４を配している。接地線４０９は、水平方向の端部（図７の左右の垂直列）で基板バイアスである接地（ＧＮＤ）に接続されるようになっている。つまり、カレントコピア部４００の接地（ＧＮＤ）に対する動作電流（読出電流）が、チップの左右両端から供給されるような構成となっている。

また、コピアトランジスタ４０２のゲートにトランジスタ４０６のソースが、コピアトランジスタ４０２のドレインにトランジスタ４０６のドレインが接続されている。トランジスタ４０６は、コピアトランジスタ４０２のゲート電位を記憶素子４０４にラッチするためのスイッチとして機能する。画素信号を垂直転送する際は、トランジスタ４０６はオフとされる。

さらに、トランジスタ４０２，４０６の各ドレインにトランジスタ４０７のソースを接続し、基準電流源部４１０を構成するトランジスタ４１６のドレインが、各垂直列のトランジスタ４０７のドレインに共通に接続されるようにしている。

トランジスタ４０６，４０７には、コピアトランジスタ４０２のゲート電位を設定する際にそれぞれをアクティブにする２つの制御パルスΦＡ，ΦＢが図示しないゲート回路で生成されて垂直列ごとに供給される。ゲート回路としては、たとえば水平走査部１２からの選択パルスと駆動信号操作部１６からのイネーブル信号との論理積を取るなどの回路が設けられる。また、トランジスタ４０８のゲートには、図示しない負荷制御部からの負荷制御信号SFLACTが各垂直列に対して共通に入力されるようになっている。

なお、制御パルスΦＡ，ΦＢ生成用に水平走査部１２が発する水平選択パルスは、各信号保持部２４に対する出力制御を行なうための水平選択パルスφｇとは異なるタイミングで発せられる。水平走査部１２の動作効率を良好にする点や読出電流源部２７の動作設定期間を新たに設ける必要がない点やこれによって制御回路部分の回路規模を節約できるなどの点で都合がよい。

スイッチとして機能するトランジスタ４０６，４０７を導通状態（オン）に制御すると、カレントコピア部４００は入力フェーズとなり、基準電流源部４１０からの電流（電位確定用電流Ｉａもしくは読出加速用電流Ｉｂ）が記憶素子４０４に流れ、コピアトランジスタ４０２のゲート電位が、コピアトランジスタ４０２自ら出力する読出電流（つまり電位確定用電流Ｉａもしくは読出加速用電流Ｉｂ）の値を設定する設定電位となる。

一方、トランジスタ４０６，４０７を非導通状態（オフ）に制御すると、カレントコピア部４００は出力フェーズとなり、コピアトランジスタ４０２に保持しておいたコピアトランジスタ４０２のゲート電位に応じた電流（つまり電位確定用電流Ｉａもしくは読出加速用電流Ｉｂ）を、そのコピアトランジスタ４０２のドレイン・ソース間に、垂直信号線１８に対する読出電流として供給し得るようになる。

ここで、第３実施形態の読出電流源部２７は、基準電流源部４１０を複数段備えるとともに、コピアトランジスタ４０２や記憶素子４０４などからなる各垂直列に設けられるカレントコピア部４００をも複数段、垂直信号線１８に対して並列に動作するように備える点に特徴を持つ。

図示した例では、読出電流源部２７を２段構え（それぞれに参照子ａ，ｂを付して示す）にしており、一方の読出電流源部２７ａは、通常の読出用の動作電流を供給する読出電流源部として機能し、他方の読出電流源部２７ｂは、読出加速用の動作電流を供給する読出電流源部として機能する。以下、この第３実施形態においても、一方の読出電流源部２７ａを通常読出電流源部２７ａ、他方の読出電流源部２７ｂを加速読出電流源部２７ｂともいう。

各カレントコピア部４００ａ，４００ｂは、図示しない負荷制御部からの対応する負荷制御信号SFLACTａ，SFLACTｂによって独立に制御されるようになっている。すなわち、通常読出電流源部２７ａのカレントコピア部４００ａを構成するトランジスタ４０８ａのゲートには負荷制御信号SFLACTａが各垂直列に対して共通に入力され、加速読出電流源部２７ｂのカレントコピア部４００ｂを構成するトランジスタ４０８ｂのゲートには、負荷制御信号SFLACTｂが各垂直列に対して共通に入力される。

なお、制御パルスΦＡ，ΦＢは、カレントコピア部４００ａ，４００ｂとで、ΦＡ１／ΦＢ１，ΦＡ２／ΦＢ２，…，ΦＡｈ／ΦＢｈのように、垂直列ごとに異なるものが使用され、かつ同一の垂直列に対して共通のものが使用される。

通常読出電流源部２７ａの各垂直列のカレントコピア部４００ａによる記憶部１１４の電位確定用電流Ｉａ（≠０）は通常読出用の基準電流源部４１０ａが決定し、加速読出電流源部２７ｂの各垂直列のカレントコピア部４００ｂによる読出加速用電流Ｉｂ（≠０）は、加速読出用の基準電流源部４１０ｂが決定するような構成となっている。

カレントコピア部４００ａによる電位確定用電流Ｉａ用の電流源とカレントコピア部４００ｂによる読出加速用電流Ｉｂ用の電流源とが各垂直信号線１８に対して並列に配される構成となっているので、カレントコピア部４００ａ，４００ｂがともに電流供給動作をすることで、垂直信号線１８には、読出加速用電流Ｉｂの値（≠０）に拘らず、電位確定用電流Ｉａよりも大きな合成電位確定用電流Ｉａ＋Ｉｂ（＞Ｉａ）が流れることとなる。

この第３実施形態においても、電位確定用電流Ｉａと読出加速用電流Ｉｂの比（Ｉｂ／Ｉａ）は、“１以下”でもよいが、たとえば２倍以上、さらに好ましくは５倍以上とするのが好ましい。比が大きい程、読出加速用電流Ｉｂを供給する時間を短くすることができる。ただし、比を大きくし過ぎると、逆に電流を引っ張りすぎて、すなわち加速し過ぎて、電位確定用電流Ｉａに戻す時間が掛かることが懸念されるので、一概に大きいほどよいとはいえず、この点も考慮して読出加速用電流Ｉｂを設定するのが望ましい。たとえば比を３倍位に設定するのがよい。

＜＜読出電流源部の動作；第３実施形態＞＞
図８は、図７に示した第３実施形態の読出電流源部２７の動作を説明するタイミングチャートである。

第３実施形態の構成においては、コピアトランジスタ４０２ａ、４０２ｂのゲートに接続される記憶素子４０４に、カレントコピアの電位を蓄積する時間を別途確保する必要がある。一例としては、ｎ−１行目信号の水平転送フェイズ期間（ｔ４２〜ｔ４４（＿１〜ｈ））に、ｎ行目の垂直転送用のコピアトランジスタ４０２ａ、４０２ｂのゲート電位設定もしておくことで、効率的な垂直読出処理を行なうようにする。

たとえば、負荷制御信号SFLACTをインアクティブＬにした状態で、水平走査部１２からの水平選択信号φＨ１〜φＨｈに応じた水平読出パルスφｇ１〜φｇｈを順次Ｈレベルにして水平転送すると同時に、トランジスタ４０６，４０７への制御パルスΦＡ＿１，ΦＢ＿１もＨレベルにして、次行（ｎ行）の垂直読出しのために、１列目の信号確定用のコピアトランジスタ４０２ａおよび加速読出用のコピアトランジスタ４０２ｂの各ゲート電位を設定する（ｔ４２＿１）。

すなわち、制御パルスΦＡ，ΦＢのアクティブ信号が選択された１つの垂直列のトランジスタ４０６，４０７に供給され、それぞれがオン状態になる。これにより、基準電流源部４１０の電流出力機能を持つトランジスタ４１６から電位確定用電流Ｉａあるいは読出加速用電流Ｉｂが出力され、コピアトランジスタ４０２のゲートに電位が印加される。

対象垂直列の水平転送およびゲート電位設定処理が完了すると、水平走査部１２は、別の垂直列の処理に切り替える。別の垂直列の処理が開始される際には、その前の垂直列のカレントコピア部４００のトランジスタ４０６，４０７はオフになる。このとき、その前の垂直列に読出電流を供給していたコピアトランジスタ４０２のゲート電位（設定電位）が、記憶素子４０４に蓄積される。

ただしこの際には、制御パルスΦＢ＿１を先にＬレベルに戻してから（ｔ４３＿１）、制御パルスΦＡ＿１ΦをＬレベルに戻す（ｔ４４＿１）。これは、制御パルスΦＡを先にＬレベル戻してしまうと、折角設定したゲート電位がコピアトランジスタ４０２ａ，４０２ｂ自身を介してＧＮＤに抜けてしまうからである。

以下同様にして、撮像部１０を構成する全ての垂直列に順次繰り返されることで、全列の水平転送とコピアトランジスタ４０２ａ，４０２ｂのゲート電位の設定を一緒に実行する。

次に、ｎ行目信号の垂直読出処理に当たっては、カレントミラー回路を利用した第１実施形態と同様に、ｎ行目信号の垂直転送フェイズ期間（ｔ３０〜ｔ４２＿１）に、負荷制御信号SFLACTをアクティブＨにして垂直信号線１８に電位確定用電流Ｉａを流すとともに（ｔ３０）、書込制御信号ＭＷＲもアクティブＨにして（ｔ３１）、信号保持部２４の記憶部１１４に画素信号Ｓ１を読み出して記憶する準備をする。

次に、垂直走査部１４から単位画素３に供給する転送信号φＴＲＧをＨレベルにして、単位画素３の電荷生成部３２で生成された電荷信号を画素信号生成部５にて電圧モードの画素信号Ｓ１に変換にして、カラム信号処理部２２を介して信号保持部２４の各記憶部１１４に読み出して記憶する（ｔ３２〜ｔ３４）。

その後、先に書込制御信号ＭＷＲをインアクティブＬにしてから（ｔ３８）、負荷制御信号SFLACTをインアクティブＬにして垂直信号線１８への電位確定用電流Ｉａの供給を停止し（ｔ４０）、画素信号の垂直転送を終える。この画素信号の垂直転送動作は１行分の単位画素３に対して同時に行なわれる。

ここで、ｎ−１行目信号の水平転送フェイズ期間におけるコピアトランジスタ４０２ａ，４０２ｂのゲート電位は、通常読出電流源部２７ａや加速読出電流源部２７ｂの定電流出力、すなわち、基準電流源部４１０の定電流出力（電位確定用電流Ｉａもしくは読出加速用電流Ｉｂ）を用いて、この定電流値と同じ電流値がコピアトランジスタ４０２のドレイン・ソース間に流れるように設定される。

つまり、コピアトランジスタ４０２がダイオード接続となって、カレントコピア部４００においてミラー回路の入力段トランジスタに相当するものになるので、コピアトランジスタ４０２のゲート電位は、コピアトランジスタ４０２自ら出力する読出電流（つまり電位確定用電流Ｉａもしくは読出加速用電流Ｉｂ）の値を設定する設定電位となる。

したがって、この後に負荷制御信号SFLACTをアクティブＨにすると、トランジスタ４０８がオンし、コピアトランジスタ４０２のドレイン・ソース間に、基準電流源部４１０によって供給される電流値（電位確定用電流Ｉａもしくは読出加速用電流Ｉｂ）と等しい値の動作電流が流れる。

このようにしてコピアトランジスタ４０２が基準電流源部４１０の出力と同じ電流値を出力すると、この動作電流は垂直信号線１８を介して、単位画素３の画素信号生成部５に供給されるようになる。これにより、コピアトランジスタ４０２の出力電流は、カレントコピア部４００と対応する垂直列の単位画素３から画素信号を読み出す読出電流として用いられるようになる。

つまり、この第３実施形態においても、第１実施形態と同様に、通常読出電流源部２７ａと加速読出電流源部２７ｂとが独立に動作可能になっており、通常読出電流源部２７ａにより垂直信号線１８に読出電流（電位確定用電流Ｉａ）を供給しつつ、加速読出電流源部２７ｂにて、一時的に読出加速用電流Ｉｂをさらに供給（補給）することができる。

したがって、カレントコピア部４００ａ，４００ｂがともに電流供給動作をする期間を設けて記憶部１１４への読出電流が電位確定用電流Ｉａからより大きな合成電位確定用電流Ｉａ＋Ｉｂに切り替えるようにすることができ、記憶部１１４に保持される画素信号Ｓ２を示す電圧値Ｖｍ（＿１，２，…，ｈ）の立上りを速くすることができる。よって、第１実施形態と同様に、垂直信号線１８に流れる読出電流を、電位確定用電流Ｉａに加えて読出加速用電流Ｉｂを補給して読出加速することにより、記憶部１１４の電位の安定化を速くすることができる。

したがって、第１実施形態と同様に、比較的大きな寄生素子９が各列に接続された形となる場合であって寄生素子９が大きなＣＲ時定数を持つ場合であっても、一時的に垂直信号線１８に流れる読出電流値を大きくして読出しを加速して、記憶部１１４への読出しが所定時間内に収まるようにすることで、読出時間の短縮化と縦筋ノイズの抑圧を両立させつつ、さらに、その後に読出電流を電位確定用電流Ｉａに戻すことで読出時間の短縮化とシェーディング増加の回避を両立させることができる。

加えて、第３実施形態では、読出電流の供給手段としてカレントコピア回路を利用しているので、読出電流源部２７を構成するトランジスタの特性ばらつきによって、各垂直列に供給する電流値がばらつくという問題を回避でき、筋状ノイズを大幅に低減できる。

第１あるいは第２実施形態のように、読出電流源部２７の負荷ＭＯＳ群３００にカレントミラー回路構成を採用すると、電流生成部３１２から出力される電流信号を受け取り、この受け取った電流信号の大きさに対応する大きさの電流信号を垂直信号線１８に出力することができる。

しかしながら、実際には、カレントミラー回路を構成するトランジスタ３０４，４１４の特性（特に閾値電圧）ばらつきによって、各垂直列に供給する電流値がばらつくこと避けることができず、垂直列ごとに各単位画素３から出力される画素信号レベルにばらつきが生じることになる。同一垂直列の全単位画素３について同様のばらつきが生じる一方、他の垂直列との間では異なるばらつきが生じるので、結果的には、縦筋状の固定パターンノイズ（縦筋状ノイズ）となって人間の目に観察される。

なお、特性（特に閾値電圧）ばらつきは、撮像部１０の画素信号生成部５に設けられるソースフォロワ構成の増幅用トランジスタ４２（図２参照）にも存在し、これによっても画像中にノイズが発生するが、このノイズはランダムに存在するものとなる。

上述のカレントミラー回路を構成するトランジスタ３０４，４１４の特性ばらつきに起因した縦筋状ノイズの方が、ソースフォロワ構成の増幅用トランジスタ４２の特性ばらつきに起因したランダムノイズよりは目に付き易い。一時的に大電流（Ｉａ＋Ｉｂ、もしくはＩｂ＞Ｉａ）にして記憶部１１４への読出しが所定時間内に収まるようにしてから電位確定用電流Ｉａに戻しても、各垂直列の電位確定用電流Ｉａにばらつきを持つことになり、この縦筋状ノイズを防止することは困難である。

これに対して、第３実施形態のようにカレントコピア回路を採用すれば、垂直列に電流を供給する各コピアトランジスタ４０２の閾値電圧がばらついても、各コピアトランジスタ４０２のゲートには、ドレイン・ソース間に基準電流源部４１０の出力と同じ値の電流を流すことのできる電位がラッチされているので、各垂直列に同じ電流値の読出電流を供給でき、垂直列間の画素信号レベルのばらつきを大幅に抑制することができる。

なお、カレントミラー回路よりもカレントコピア（電流記憶）回路の方が回路部材が多くなり、回路面積の面では、第１実施形態の方が第２実施形態よりも有利となる。したがって、カレントミラー回路に起因した縦筋状ノイズの防止と回路面積の低減の何れを優先させるかを勘案して、第１および第３実施形態の何れを採用するかを決めればよい。

＜＜読出電流源部の詳細；第４実施形態＞＞
図９は、読出電流源部２７の第４実施形態の回路構成を説明する図である。第４実施形態の構成は、第２実施形態に対して、第３実施形態と同様に、画素信号生成部５のソースフォロワの負荷としてカレントコピア（電流記憶）回路を設けるようにしている点で、カレントミラー回路を設けている第２実施形態と異なる。以下具体的に説明する。

基準電流源部４１０は、第３実施形態と同様に、接地側に配された電流生成部４１２ａ，４１２ｂと、各電流生成部４１２ａ，４１２ｂに対して電源側に配されたＰｃｈ型のトランジスタ４１４ａ，４１４ｂと、トランジスタ４１４ａ，４１４ｂとの間でカレントミラー回路を構成するように接続されたＰｃｈ型のトランジスタ４１６ａ，４１６ｂとを有している。

ここで第４実施形態の構成においては、１つのカレントコピア部４００を通常読出電流源部２７ａと加速読出電流源部２７ｂとで共用（兼用）するべく、基準電流源部４１０は、トランジスタ４１６ａ，４１６ｂの各ドレインと各垂直列のトランジスタ４０７のドレインとの間に切替手段として機能する２入力−１出力型のスイッチ４１８を備えている。

スイッチ４１８は、一方の入力端子ａがトランジスタ４１６ａのドレインと接続され、他方の入力端子ｂがトランジスタ４１６ｂのドレインと接続され、出力端子ｏがカレントコピア部４００を構成するトランジスタ４０７のドレインと接続されており、図示しない駆動信号操作部１６からの切替制御信号Φに基づいてトランジスタ４１６ａ，４１６ｂの各ドレインのトランジスタ４０７のドレインへの接続を切り替えるようになっている。具体的には、スイッチ４１８は、切替制御信号ΦがインアクティブＬのときに基準電流源部４１０ａのトランジスタ４１６ａのドレインを選択し、アクティブＨのときに基準電流源部４１０ｂのトランジスタ４１６ｂのドレインを選択するようになっている。

通常読出電流源部２７ａの各垂直列のカレントコピア部４００ａによる電位確定用電流Ｉａ（≠０）は通常読出用の基準電流源部４１０ａが決定し、加速読出電流源部２７ｂの各垂直列のカレントコピア部４００ｂによる読出加速用電流Ｉｂ（≠０）は、加速読出用の基準電流源部４１０ｂが決定するような構成となっている。電位確定用電流Ｉａと読出加速用電流Ｉｂの比（Ｉｂ／Ｉａ）は、“１を超える”ようにする。たとえば２倍以上、さらに好ましくは５倍以上とするのが好ましい。比が大きい程、読出加速用電流Ｉｂを供給する時間を短くすることができる。

カレントコピア部４００ａによる電位確定用電流Ｉａ用の電流源とカレントコピア部４００ｂによる読出加速用電流Ｉｂ用の電流源とがスイッチ４１８によって各垂直信号線１８に対して切り替えられて接続される構成となっているので、共用されるカレントコピア部４００が基準電流源部４１０ａ，４１０ｂの何れか一方に基づいて動作することで、垂直信号線１８には、電位確定用電流Ｉａ（≠０）と読出加速用電流Ｉｂ（≠０）の何れか一方が流れることとなる。

電位確定用電流Ｉａと読出加速用電流Ｉｂの比（Ｉｂ／Ｉａ）が“１を超える”ようにしておくことで、スイッチ４１８が基準電流源部４１０ｂ側を選択したときに、第２実施形態と同様に、電位確定用電流Ｉａよりも大きな読出加速用電流Ｉｂが垂直信号線１８に流れるようにすることができる。

＜＜読出電流源部の動作；第４実施形態＞＞
図１０は、図９に示した第４実施形態の読出電流源部２７の動作を説明するタイミングチャートである。

第３実施形態に対して第２実施形態と同様の変更を加えており、負荷制御信号SFLACTをアクティブＨにする際には（ｔ３０）、切替制御信号ΦをインアクティブＬにしてカレントコピア部４００に電位確定用電流Ｉａが流れるようにしておき、転送信号φＴＲＧをアクティブＨにする際に切替制御信号ΦをアクティブＨにすることで、カレントコピア部４００に読出加速用電流Ｉｂが流れるようにする（ｔ３２）。

そして、記憶部１１４に保持される画素信号Ｓ２を示す電圧値Ｖｍ（＿１，２，…，ｈ）が目標値にある程度近くなったところで切替制御信号ΦをインアクティブＬにし、垂直信号線１８に流れる電流値を電位確定用電流Ｉａに戻す（ｔ３６）。つまり、期間ｔ３２〜ｔ３６に一時的に垂直信号線１８に流れる読出電流値を大きくすることで、単位画素３からの画素信号の読出しを加速し、記憶部１１４の保持電位Ｖｍがほぼ画素信号Ｓ１に対応する適正な電位になったところで垂直信号線１８に流れる電流値を電位確定用電流Ｉａに戻す。

前述のように、この第４実施形態でも、第２実施形態と同様に、読出加速用電流Ｉｂと電位確定用電流Ｉａとの比（Ｉｂ／Ｉａ）を“１を超える”ように設定しているので、記憶部１１４への読出電流が電位確定用電流Ｉａからより大きな読出加速用電流Ｉｂに切り替るので、第３実施形態と同様に、記憶部１１４に保持される画素信号Ｓ２を示す電圧値Ｖｍ（＿１，２，…，ｈ）の立上りを速くすることができる。すなわち、垂直信号線１８に流れる読出電流を電位確定用電流Ｉａよりも大きな読出加速用電流Ｉｂに切り替えて読出加速することにより、記憶部１１４の電位の安定化を速くすることができる。

つまり、第４実施形態においても、スイッチ４１８により、読出し最中に基準電流源部４１０ａ，４１０ｂとカレントコピア部４００との接続を切り替えることで、一時的に大電流（読出加速用電流Ｉｂ）を流した後、電流値を電位確定用電流Ｉａに戻すことができる。記憶部１１４の電位Ｖｍが確定する際には、垂直信号線１８に流れる電流値は電位確定用電流Ｉａに戻っているので、カレントコピア部４００の接地線４０９に生じる電圧降下（ＩＲドロップ）は、電位確定用電流Ｉａによる分だけであり、電位確定用電流Ｉａを常時大きくする従来例とは異なり、ＩＲドロップを小さくすることができる。

よって、第３実施形態と同様に、比較的大きな寄生素子９が各列に接続された形となる場合であって寄生素子９が大きなＣＲ時定数を持つ場合であっても、一時的に垂直信号線１８に流れる読出電流値を大きくして読出しを加速して、記憶部１１４への読出しが所定時間内に収まるようにすることで、読出時間の短縮化と縦筋ノイズの抑圧を両立させつつ、さらに、その後に読出電流を電位確定用電流Ｉａに戻すことで読出時間の短縮化とシェーディング増加の回避を両立させることができる。

加えて、垂直列ごとに、１つのカレントコピア部４００を通常読出電流源部２７ａと加速読出電流源部２７ｂとで共用するようにしているので、カレントコピア部４００をも複数段（具体的には２段）構えとして、垂直信号線１８に対して並列に動作するように構成している第３実施形態よりもカレントコピア部４００の回路部材を少なくでき、回路面積の面で有利となる。

さらに、第３実施形態と同様に、画素信号生成部５のソースフォロワの負荷としてカレントコピア回路を使用しているので、各垂直列に同じ電流値の読出電流を供給でき、垂直列間の画素信号レベルのばらつきを大幅に抑制することができる。

ただし、第２実施形態と同様に、カレントミラー回路よりもカレントコピア回路の方が回路部材が多くなるので、回路面積の面では、第３実施形態の方が第４実施形態よりも有利となる。

＜＜固体撮像装置の変形例；第５実施形態＞＞
図１１は、本発明に係る物理情報取得装置の一実施形態であるＣＭＯＳ固体撮像装置の変形例を示す概略構成図である。以下この変形例を第５実施形態という。

第５実施形態は、動作電流の大きさを規定する基準電流を生成する基準電流源部３１０およびこの基準電流源部３１０で生成された基準電流に対応する動作電流を画素信号生成部（単位信号生成部）５の出力部である増幅用トランジスタ４２に供給する電流出力部としてのトランジスタ３０４が実質的に直接に接続されることでカレントミラー回路を構成するように設ける場合であって、基準電流源部３１０と各垂直列に設けられる電流出力部としてのトランジスタ３０４を対にして、それぞれ複数を増幅用トランジスタ４２に対して独立動作可能に配置する第１実施形態の場合において、複数の単位画素３が配された撮像部１０の２次元領域に対し、それぞれ反対側の位置に分けて配する点に特徴を有する。

具体的には、図１１に示すように、負荷ＭＯＳ群３００ａ，３００ｂと基準電流源部３１０ａ，３１０ｂとをそれぞれ対にして、各対を垂直信号線１８の上下２方向に分けて配置する。図では、ａ同士／ｂ同士とし、垂直信号線１８に対してａ系統を図中の下側に配し、ｂ系統を図中の上側に配している。

信号保持部２４、水平選択スイッチ部６０、水平走査部１２、および出力回路８８に関しては、それぞれ１つを垂直信号線１８に対して図中の下側（ａ系統と同じ側）に配し、２系統の読出電流源部２７ａ，２７ｂが共用するようにしている。

＜＜固体撮像装置の変形例；第６実施形態＞＞
図１２は、本発明に係る物理情報取得装置の一実施形態であるＣＭＯＳ固体撮像装置の他の変形例を示す概略構成図である。以下この変形例を第６実施形態という。

第６実施形態は、動作電流の大きさを規定する基準電流を生成する基準電流源部４１０およびこの基準電流源部３１０で生成された基準電流に対応する動作電流を画素信号生成部（単位信号生成部）５の出力部である増幅用トランジスタ４２に供給するカレントコピア部４００が実質的に直接に接続されるように設ける場合であって、基準電流源部４１０と各垂直列に設けられるカレントコピア部４００を対にして、それぞれ複数を増幅用トランジスタ４２に対して独立動作可能に配置する第３実施形態の場合において、複数の単位画素３が配された撮像部１０の２次元領域に対して、それぞれ反対側の位置に分けて配する点に特徴を有する。

具体的には、図１２に示すように、カレントコピア部４００ａ，４００ｂと基準電流源部４１０ａ，４１０ｂとをそれぞれ対にして、各対を垂直信号線１８の上下２方向に分けて配置する。図では、ａ同士／ｂ同士とし、垂直信号線１８に対してａ系統を図中の下側に配し、ｂ系統を図中の上側に配している。

信号保持部２４、水平選択スイッチ部６０、水平走査部１２、および出力回路８８に関しては、それぞれ１つを垂直信号線１８に対して図中の下側（ａ系統と同じ側）に配し、２系統の読出電流源部２７ａ，２７ｂが共用するようにしている。

＜＜等価回路；第５および第６実施形態＞＞
図１３は、第５および第６実施形態における読出電流に関わる部分を示した等価回路である。

負荷ＭＯＳ群３００ａ，３００ｂもしくはカレントコピア部４００ａ，４００ｂが垂直信号線１８に対して図中の上下に配され、それぞれの接地（ＧＮＤ）側にはＩＲドロップ成分８ａ，８ｂが存在する。

ここで、第１あるいは第３実施形態のように通常読出電流源部２７ａと加速読出電流源部２７ｂとをともに動作させると増幅用トランジスタ４２に合成電流Ｉａ＋Ｉｂを流すことができ、また第２あるいは第４実施形態のように通常読出電流源部２７ａと加速読出電流源部２７ｂとを切り替えて動作させると、増幅用トランジスタ４２に電位確定用電流Ｉａまたは読出加速用電流Ｉｂを切り替えて流すことができる。

このように、基準電流源部３１０ａ，３１０ｂもしくは基準電流源部４１０ａ，４１０ｂというように基準電流源部を複数設けるとともに、基準電流源部３１０との間でカレントミラー回路を構成する負荷ＭＯＳ群３００やカレントコピア部４００を複数設ける場合に、複数の単位画素３が配された撮像部１０の２次元領域に対して、それぞれ反対側の位置に（たとえば垂直信号線１８の上下２方向に分けて）配すると、負荷ＭＯＳ群３００やカレントコピア部４００を構造的に分散配置させることができる。

よって、一時的に回路基板に大きな読出電流を流しても、この大きな読出電流が周辺回路に与える影響を分散させることができる。特に、それぞれを撮像部１０に対して反対側の位置に配することで、デバイスとしての構造的な対象性を取ることができ、垂直信号線１８に流す電流を対象に分散し、画素信号転送時の電圧降下を対象に分散できる。
たとえば、単位画素３から記憶部１１４への距離が大きい（すなわち抵抗Ｒが大きい）ほど、また、読出電流が大きい（すなわちＩが大きい）ほど、電圧降下（ＩＲドロップ）は大きくなり、シェーディングは大きくなる。ここで、垂直信号線１８に流す電流を上下２方向に分散すると、画素信号転送時の電圧降下を半分にでき、垂直方向のシェーディングを抑圧できる。すなわち、上下方向に半分ずつの電流を流すと、単位画素３に流れる電流はＩ／２＋Ｉ／２＝Ｉで変わらないが、電圧降下Ｖ＝Ｉ×Ｒは、Ｖ＝（１／２）Ｉ×Ｒとなり、垂直方向シェーディングに有利となる。

なお、上述した第５および第６実施形態では、負荷ＭＯＳ群３００やカレントコピア部４００と基準電流源部３１０，４１０の双方を対にして垂直信号線１８の上下２方向に分けて配置する構成を示したが、これに限らず、負荷ＭＯＳ群３００やカレントコピア部４００と基準電流源部３１０，４１０の何れか一方のみを垂直信号線１８の上下２方向に分けて配置する構成を採ることもできる。

つまり、第１実施形態におけるカレントミラー回路を構成する複数の負荷ＭＯＳ群３００や第３実施形態における複数のカレントコピア部４００を垂直信号線１８の上下２方向に分けて配置しつつ、それぞれに電流を供給する複数の電流源３１０，４１０に関しては一方にのみに配置する構成、もしくはその逆に、第１実施形態におけるカレントミラー回路を構成する複数の負荷ＭＯＳ群３００や第３実施形態における複数のカレントコピア部４００に関しては一方にのみに配置しつつ、それぞれに電流を供給する複数の電流源３１０，４１０のみを垂直信号線１８の上下２方向に分けて配置する構成を採ることを排除するものではない。

また、第２、第４実施形態で説明したように、負荷ＭＯＳ群３００やカレントコピア部４００を共用しつつ、基準電流源部３１０，４１０のみを複数とする場合においても、複数の基準電流源部３１０，４１０をスイッチ３１８，４１８を用いて切り替えることで、実質的には、読出電流源部２７を複数備えるように動作させる構成を採ることができる。この場合、読出電流源部２７を複数とさせる機能を持つのは基準電流源部３１０，４１０となるので、基準電流源部３１０，４１０を垂直信号線１８の上下２方向に分けて配置する構成を採ることもできる。

＜＜固体撮像装置の変形例；第７実施形態＞＞
図１４は、本発明に係る物理情報取得装置の一実施形態であるＣＭＯＳ固体撮像装置の他の変形例を示す概略構成図である。以下この変形例を第７実施形態という。

第７実施形態は、第５実施形態に対して、複数の単位画素３が配された撮像部１０で生成される画素信号を読み出して蓄積する信号保持部２４をも、撮像部１０の２次元領域に対してそれぞれ反対側の位置に分けて配するようにした点に特徴を有する。

具体的には、図１４に示すように、負荷ＭＯＳ群３００ａおよび基準電流源部３１０ａの対と、これら負荷ＭＯＳ群３００ａおよび基準電流源部３１０ａに対応する信号保持部２４ａを、それぞれ垂直信号線１８に対して図中の下側に配し、負荷ＭＯＳ群３００ｂおよび基準電流源部３１０ｂの対と、これら負荷ＭＯＳ群３００ｂおよび基準電流源部３１０ｂに対応する信号保持部２４ｂを、それぞれ垂直信号線１８に対して図中の上側に配している。

また、２つの信号保持部２４ａ，２４ｂを垂直信号線１８に対して図中の下側／上側に配したことに対応して、水平選択スイッチ部６０、水平走査部１２、水平信号線８６、および出力回路８８をも個別に設けて（それぞれに参照子ａ，ｂを付して示す）、垂直信号線１８に対してａ系統を図中の下側に配し、ｂ系統を図中の上側に配している。この場合、２系統の信号保持部２４ａ，２４ｂに設けられている記憶部１１４ａ，１１４ｂに保持された電位信号Ｖｍａ，Ｖｍｂを独立に（時間的には同時でよい）にそれぞれの水平信号線８６ａ，８６ｂに読み出して出力回路８８ａ，８８ｂに渡し、出力回路８８ａ，８８ｂの後段にてそれぞれの出力信号Ｓ３ａ，Ｓ３ｂを用いて合成処理を行なう。

＜＜固体撮像装置の変形例；第８実施形態＞＞
図１５は、本発明に係る物理情報取得装置の一実施形態であるＣＭＯＳ固体撮像装置の他の変形例を示す概略構成図である。以下この変形例を第８実施形態という。

第８実施形態は、第６実施形態に対して、複数の単位画素３が配された撮像部１０で生成される画素信号を読み出して蓄積する信号保持部２４をも、撮像部１０の２次元領域に対してそれぞれ反対側の位置に分けて配するようにした点に特徴を有する。

具体的には、図１５に示すように、カレントコピア部４００ａおよび基準電流源部４１０ａの対と、これらカレントコピア部４００ａおよび基準電流源部４１０ａに対応する信号保持部２４ａを、それぞれ垂直信号線１８に対して図中の下側に配し、カレントコピア部４００ｂおよび基準電流源部４１０ａの対と、これらカレントコピア部４００ａおよび基準電流源部４１０ａに対応する信号保持部２４ｂを、それぞれ垂直信号線１８に対して図中の上側に配している。

また、第７実施形態と同様に、２つの信号保持部２４ａ，２４ｂを垂直信号線１８に対して図中の下側／上側に配したことに対応して、水平選択スイッチ部６０、水平走査部１２、水平信号線８６、および出力回路８８をも個別に設けて（それぞれに参照子ａ，ｂを付して示す）、垂直信号線１８に対してａ系統を図中の下側に配し、ｂ系統を図中の上側に配している。この場合、２系統の信号保持部２４ａ，２４ｂに設けられている記憶部１１４ａ，１１４ｂに保持された電位信号Ｖｍａ，Ｖｍｂを独立に（時間的には同時でよい）にそれぞれの水平信号線８６ａ，８６ｂに読み出して出力回路８８ａ，８８ｂに渡し、出力回路８８ａ，８８ｂの後段にて合成処理を行なう。

＜＜等価回路；第７および第８実施形態＞＞
図１６は、第７および第８実施形態における読出電流に関わる部分を示した等価回路である。

負荷ＭＯＳ群３００ａ，３００ｂもしくはカレントコピア部４００ａ，４００ｂが垂直信号線１８に対して図中の上下に配され、それぞれの接地（ＧＮＤ）側にはＩＲドロップ成分８ａ，８ｂが存在する。

また、２系統の信号保持部２４ａ，２４ｂに設けられている記憶部１１４ａ，１１４ｂに保持された電位信号Ｖｍａ，Ｖｍｂを独立に（時間的には同時でよい）にそれぞれの水平信号線８６ａ，８６ｂに読み出して出力回路８８ａ，８８ｂに渡す。出力回路８８ａ，８８ｂの後段に合成処理部８９を設けて、この合成処理部８９において電位信号Ｖｍａ，Ｖｍｂについて合成処理を行なう。

ここで、第１あるいは第３実施形態のように通常読出電流源部２７ａと加速読出電流源部２７ｂとをともに動作させると増幅用トランジスタ４２に合成電流Ｉａ＋Ｉｂを流すことができ、また第２あるいは第４実施形態のように通常読出電流源部２７ａと加速読出電流源部２７ｂとを切り替えて動作させると、増幅用トランジスタ４２に電位確定用電流Ｉａまたは読出加速用電流Ｉｂを切り替えて流すことができる。

このように、基準電流源部３１０ａ，３１０ｂもしくは基準電流源部４１０ａ，４１０ｂというように基準電流源部を複数設け、かつ撮像部１０で生成される画素信号を読み出して蓄積する信号保持部２４をも複数設けるとともに、複数の単位画素３が配された撮像部１０の２次元領域に対して、それぞれ反対側の位置に（たとえば垂直信号線１８の上下２方向に分けて）配すると、第５および第６実施形態と同様に、負荷ＭＯＳ群３００やカレントコピア部４００を構造的に分散配置させることができ、一時的に回路基板に大きな読出電流を流しても、この大きな読出電流が周辺回路に与える影響を分散させることができる。

なお、信号保持部２４をも構造的に分散配置させると、信号保持部（出力回路も）を１つにしたままの第５および第６実施形態とで等価回路上違いが生じるが、このことでの、シェーディング抑制に対する特段の効果はないと考えてよいし、面積的にも無駄となる。しかしながら、たとえば２行分を別々のカラム（＝信号保持部２４）に格納しておき、読出しの際に１行目と２行目を加算して読みだすなど、仕様上必要とされる場合には、信号保持部２４を２つ配置する効果がある。

なお、図示しないが、第７および第８実施形態においては、水平選択スイッチ部６０、水平走査部１２、および出力回路８８に関しては、それぞれ１つを垂直信号線１８に対して図中の片側（たとえばａ系統と同じ側）に配し、２系統の読出電流源部２７ａ，２７ｂおよび信号保持部２４ａ，２４ｂが共用するようにしてもよい。この場合、水平信号線８６をも共用することとし、２系統の信号保持部２４ａ，２４ｂに設けられている記憶部１１４ａ，１１４ｂに保持された電位信号Ｖｍａ，Ｖｍｂを同時に水平信号線８６に読み出すことで、水平信号線８６上にて合成して出力回路８８に渡すようにする。

なお、第５〜第８実施形態の変形例における考え方は、要するに以下の通りである。接地線やソース線におけるＩＲドロップに起因した負荷ＭＯＳトランジスタ（上記例ではトランジスタ３０４）のゲート−ソース間電圧Ｖｇｓの差によるシェーディングの問題に関しては、負荷ＭＯＳトランジスタを撮像部１０の周りに分散させることの効果が高いが、それ以外の機能部、たとえば、基準電流源部や信号保持部を上下配置することに、シェーディング特性的に特別な効果はない。ただし、デバイス仕様上、これらを複数に分散させることは可能である。

一方、カレントミラー型負荷ＭＯＳ群やカレントコピア型負荷ＭＯＳ群のみを上下配置することは、小面積化の面で効果が高い。ただし、基準電流源から上下負荷ＭＯＳへの距離が、上下どちらかが遠くなり、その配線にノイズが乗り易くなるので、ノイズ性能の観点からは不利となり得る。

また、第７や第８実施形態のように、記憶部１１４を分散させる場合、合成容量の設定値次第でノイズと一時的な加速電流によるシェーディング抑制の効果の効き方が変わってくる。すなわち、元と同じ容量を２箇所に配置（＝合成容量は元よりも大きくなる；たとえば２倍）したのでは、レイアウト的に容量値として効いてくる面積以外にも必要な面積が２倍となるので効率が悪く、２分割する効果や電流を増やした効果が得られないので、合成容量が元と同じ容量となるようにするのが好ましい。一方、合成容量が大きいと、キャパシタ面積ばらつきに強くなるので、それだけノイズには強くなり得る。

よって、全体のバランスを取るべく、これらの両面から、合成容量値を設定するのが好ましい。容量面積ばらつきによるノイズ（やはり縦筋になる）を抑えるために容量値を若干増大化し、電流を一時的に増やすことで読出しを一時的に加速し、シェーディングの問題を改善するようにするとよい。

なお、上部／下部の各カラム領域（実施形態での信号保持部）から画素信号を出力回路に読み出す回路構成に関しては、様々な構成を採ることができる。たとえば、水平信号線８６を共用して、水平信号線８６上で合成して読み出すことができる。ただし、お互いに遠いので合成するのは実際上は難しいと考えられる。なお、出力端子まで上下別々に用意し、後段の回路にて合成する構成を採ることもできる。これらの場合、水平選択スイッチ部、水平走査部、および出力回路も共用できる。

あるいは、それぞれに対応した出力回路を個別に（上下に）設けて後で適当に合成するようにしてもよい。この場合、水平選択スイッチ部、水平走査部、および出力回路も上下別々に設けるのがよい。
何れにしても、どのような回路構成を採るかは、仕様上から決定すればよい。何れにしても、シェーディング特性的に特別な効果はないと考えてよい。

本発明に係る物理情報取得装置の一実施形態であるＣＭＯＳ固体撮像装置の概略構成図である。 図１に示した固体撮像装置に使用される単位画素の構成例を示す図である。 読出電流源部の第１実施形態の回路構成を説明する図である。 図３に示した第１実施形態の読出電流源部の動作を説明するタイミングチャートである。 読出電流源部の第２実施形態の回路構成を説明する図である。 図５に示した第２実施形態の読出電流源部の動作を説明するタイミングチャートである。 読出電流源部の第３実施形態の回路構成を説明する図である。 図７に示した第３実施形態の読出電流源部の動作を説明するタイミングチャートである。 読出電流源部の第４実施形態の回路構成を説明する図である。 図９に示した第４実施形態の読出電流源部の動作を説明するタイミングチャートである。 本発明に係る物理情報取得装置の一実施形態であるＣＭＯＳ固体撮像装置の第５実施形態を示す概略構成図である。 本発明に係る物理情報取得装置の一実施形態であるＣＭＯＳ固体撮像装置の第６実施形態を示す概略構成図である。 第５および第６実施形態における読出電流に関わる部分を示した等価回路である。 本発明に係る物理情報取得装置の一実施形態であるＣＭＯＳ固体撮像装置の第７実施形態を示す概略構成図である。 本発明に係る物理情報取得装置の一実施形態であるＣＭＯＳ固体撮像装置の第８実施形態を示す概略構成図である。 第７および第８実施形態における読出電流に関わる部分を示した等価回路である。 従来例のＣＭＯＳ固体撮像装置（ＣＭＯＳイメージセンサ）の概略構成図である。 図１７に示した従来例の固体撮像装置の動作を説明するためのタイミングチャートである。

符号の説明

１…固体撮像装置、３…単位画素、５…画素信号生成部、７…駆動制御部、９…寄生素子、１０…撮像部、１１２…トランジスタ、１１４…記憶部、１２…水平走査部、１２２…トランジスタ、１４…垂直走査部、１５…垂直制御線、１６…駆動信号操作部、１８，５３…垂直信号線、２０…カラム処理部、２２…カラム信号処理部、２４…信号保持部、２７…読出電流源部、２７ａ…通常読出電流源部、２７ｂ…加速読出電流源部、２７ｚ…負荷ＭＯＳトランジスタ、３２…電荷生成部、３８…フローティングディフュージョン、４２…増幅用トランジスタ、４２…増幅用トランジスタ、６０…水平選択スイッチ部、８６…水平信号線、８８…出力回路、３００…負荷ＭＯＳ群、３０２，３０４…トランジスタ、３０３…負荷ＭＯＳトランジスタ、３０９…ソース線、３１０…基準電流源部、３１２…電流生成部、３１４…トランジスタ、３１８…スイッチ、４００…カレントコピア部、４０２…コピアトランジスタ、４０４…記憶素子、４０６，４０７，４０８，４１４，４１６…トランジスタ、４０９…接地線、４１０…基準電流源部、４１２…電流生成部

Claims (14)

1. 物理量の変化を検知する検知部と前記検知部で検知した物理量の変化に基づいて単位信号を出力する単位信号生成部とを単位構成要素内に含み、当該単位構成要素が所定の順に複数配され、該各単位構成要素の単位信号生成部の出力部にそれぞれ接続される複数の読出し信号線と、該複数の読出し信号線を介して複数の前記単位構成要素から複数の単位信号を読み出すときに各読出し信号線を流れる電流が流入する、両端部が接地された共通電位線と、当該共通電位線と各読出し信号線との間にそれぞれが接続された複数の負荷トランジスタと、各読出し信号線にそれぞれが接続された複数の記憶部と、を有する物理量分布検知のための半導体装置を使用し、物理量についての所定の検知条件の元で取得された前記単位信号に基づいて所定目的用の物理情報を取得する物理情報取得方法であって、
   複数の前記単位構成要素から複数の前記単位信号を読み出す際に、前記半導体装置のチップの端部に設けられた電流源部から、第１の電流を流す期間を規定する第１の所定期間内の一部の期間である第２の所定期間だけ、前記第１の電流より大きな第２の電流を、前記複数の負荷トランジスタの各ゲートに接続された複数の電荷保持部に供給し、前記第２の電流に対応する電荷を各電荷保持部に保持させて各負荷トランジスタを介した前記共通電位線への電流流入を加速することによって、前記第２の電流に相当する電流を前記複数の前記単位構成要素の各出力部に加速して供給し、
   前記第２の所定期間の終了時を起点とした残りの前記第１の所定期間において、前記第１の電流に対応する電荷を各電荷保持部に保持させることで各負荷トランジスタを介した前記共通電位線への電流流入により、前記第１の電流に相当する電流を前記複数の前記単位構成要素の各出力部に供給し、
   該第１の電流の供給後に、前記複数の記憶部で保持され、前記複数の単位信号のそれぞれの大きさに応じた複数の読出し信号線の電位を確定し、確定した複数の電位を前記複数の単位信号として読み出す
   物理情報取得方法。
2. 物理量分布検知のための半導体装置を使用し、物理量についての所定の検知条件の元で取得された前記単位信号に基づいて所定目的用の物理情報を取得する物理情報取得装置であって、
   前記半導体装置は、
   物理量の変化を検知する検知部と前記検知部で検知した物理量の変化に基づいて単位信号を生成して出力する出力部を具備した単位信号生成部とを単位構成要素内に含み、当該単位構成要素が所定の順に複数配された単位構成要素アレイ部と、
   該各単位構成要素の単位信号生成部の出力部にそれぞれ接続される複数の読出し信号線と、
   該複数の読出し信号線を介して複数の前記単位構成要素から複数の単位信号を読み出すときに各読出し信号線を流れる電流が流入する、両端が接地された共通電位線と、
   該共通電位線と各読出し信号線との間にそれぞれが接続された複数の負荷トランジスタと、
   各読出し信号線にそれぞれが接続された複数の記憶部と、
   カレントミラー回路に定電流を流し、該電流と同じ電流を出力するカレントミラー回路の電流出力部から第１の電流または第２の電流を流す、上記半導体装置のチップの端部に設けられた電流源部と、
   前記カレントミラー回路の前記読出し信号線ごとの各電流出力部に接続された複数のスイッチを所定期間制御して、前記第１の電流または前記第２の電流を出力し、該複数のスイッチの各出力にそれぞれ接続され、対応するスイッチの出力から供給された前記第１の電流または前記第２の電流に対応する電荷をそれぞれが保持する複数の電荷保持部を含み、前記複数のスイッチが制御信号により制御されて非導通のとき、前記複数の電荷保持部に蓄積された電位により前記複数の読出し信号線に接続された前記複数の負荷トランジスタを動作させて、前記第１の電流または前記第２の電流に相当する電流を前記複数の読出し信号線に供給するカレントコピア回路と、
   を有し、
   前記複数の単位構成要素から前記複数の単位信号を読み出す際に、
   前記電流源部から、前記第１の電流を流す期間を規定する第１の所定期間内の一部の期間である第２の所定期間だけ、前記第１の電流より大きな第２の電流を、前記複数の負荷トランジスタの各ゲートに接続された前記複数の電荷保持部に供給し、前記第２の電流に対応する電荷を各電荷保持部に保持させて各負荷トランジスタを介した前記共通電位線への電流流入を加速することによって、前記第２の電流に相当する電流を前記複数の前記単位構成要素の各出力部に加速して供給し、
   前記第２の所定期間の終了時を起点とした残りの前記第１の所定期間において、前記第１の電流に対応する電荷を各電荷保持部に保持させることで各負荷トランジスタを介した前記共通電位線への電流流入により、前記第１の電流に相当する電流を前記複数の前記単位構成要素の各出力部に供給し、
   該第１の電流の供給後に、前記複数の記憶部で保持され、前記複数の単位信号のそれぞれの大きさに応じた電位を確定し、確定した複数の電位を前記複数の単位信号として読み出す
   物理情報取得装置。
3. 前記読出し信号線の配線方向である前記単位信号の読出し方向に、前記単位信号生成部を複数有し、
   前記電流源部は、前記読出し方向の複数の前記単位信号生成部に対して共用されるように構成されている
   請求項２記載の物理情報取得装置。
4. 前記単位信号生成部の出力部を構成するトランジスタは、前記電流源部により流れる電流が制御される前記負荷トランジスタが回路的に接続されることで、ソースフォロア回路を構成し、該ソースフォロア回路に前記第１の電流または第２の電流が流れる
   請求項２に記載の物理情報取得装置。
5. 前記電流源部は、前記第１の電流または前記第２の電流に相当する電流を前記単位信号生成部の出力部に供給する第１のカレントミラー回路を有する第１の基準電流源部と、第２のカレントミラー回路を有する第２の基準電流源部とを有し、
   前記第１の基準電流源部と前記第２の基準電流源部のそれぞれが、前記単位信号生成部の出力部に対して独立動作可能に設けられている
   請求項２に記載の物理情報取得装置。
6. 前記電流源部と前記単位信号生成部の出力部とが対になって、前記第１の基準電流源部と第２の基準電流源部が、前記単位信号生成部の出力部に対して独立動作可能に配置されるようにそれぞれ複数設けられている
   請求項５に記載の物理情報取得装置。
7. 前記電流源部は、前記第１の基準電流源部と前記第２の基準電流源部を含む複数の電流源部が、構造的に分散されて配置されている
   請求項５に記載の物理情報取得装置。
8. 前記電流源部は、前記第１の基準電流源部と前記第２の基準電流源部に対応して設けられた前記第１のカレントミラー回路の第１の電流出力部と前記第２のカレントミラー回路の第２の電流出力部とが、複数の前記単位構成要素が配された２次元領域において、前記読出し信号線の配線方向の一方端側と他方端側に分かれて配されている
   請求項７に記載の物理情報取得装置。
9. 前記電流源部は、前記第１の基準電流源部と前記第２の基準電流源部を切り替える切替部を有し、
   前記第１の基準電流源部は信号確定用の前記第１の電流を流すものであり、前記第２の基準電流源部は前記第１の電流より大きな前記第２の電流を流すものであり、
   前記切替部により、前記第２の基準電流源を前記第２の所定期間だけ動作させることで前記第２のカレントミラー回路に接続された前記カレントコピア回路の前記電荷保持部に前記第２の電流を供給し、該電荷保持部に保持された電荷により前記負荷トランジスタを制御して、前記単位信号生成部の出力部に前記第２の電流に相当する電流を所定期間供給する
   請求項５に記載の物理情報取得装置。
10. 物理量についての検知時間に応じて取得された単位信号に基づいて所定目的用の物理情報を取得する半導体装置であって、
    物理量の変化を検知する検知部と前記検知部で検知した物理量の変化に基づいて前記単位信号を生成して出力する出力部を具備した単位信号生成部とを単位構成要素内に含み、当該単位構成要素が所定の順に複数配された単位構成要素アレイ部と、
    該各単位構成要素の単位信号生成部の出力部にそれぞれ接続される複数の読出し信号線と、
    該複数の読出し信号線を介して複数の前記単位構成要素から複数の単位信号を読み出すときに各読出し信号線を流れる電流が流入する、両端が接地された共通電位線と、
    該共通電位線と各読出し信号線との間にそれぞれが接続された複数の負荷トランジスタと、
    各読出し信号線にそれぞれが接続された複数の記憶部と、
    カレントミラー回路に定電流を流し、該電流と同じ電流を出力するカレントミラー回路の電流出力部から第１の電流または第２の電流を流す、上記半導体装置のチップの端部に設けられた電流源部と、
    前記カレントミラー回路の前記読出し信号線ごとの各電流出力部に接続された複数のスイッチを所定期間制御して、前記第１の電流または前記第２の電流を出力し、該複数のスイッチの各出力にそれぞれ接続され、対応するスイッチの出力から供給された前記第１の電流または前記第２の電流に対応する電荷をそれぞれが保持する複数の電荷保持部を含み、前記複数のスイッチが制御信号により制御されて非導通のとき、前記複数の電荷保持部に蓄積された電位により前記複数の読出し信号線に接続された前記複数の負荷トランジスタを動作させて、前記第１の電流または前記第２の電流に相当する電流を前記複数の読出し信号線に供給するカレントコピア回路と、
    を同一半導体基板に有し、
    前記複数の単位構成要素から前記複数の単位信号を読み出す際に、
    前記電流源部から、前記第１の電流を流す期間を規定する第１の所定期間内の一部の期間である第２の所定期間だけ、前記第１の電流より大きな第２の電流を、前記複数の負荷トランジスタの各ゲートに接続された前記複数の電荷保持部に供給し、前記第２の電流に対応する電荷を各電荷保持部に保持させて各負荷トランジスタを介した前記共通電位線への電流流入を加速することによって、前記第２の電流に相当する電流を前記複数の前記単位構成要素の各出力部に加速して供給し、
    前記第２の所定期間の終了時を起点とした残りの前記第１の所定期間において、前記第１の電流に対応する電荷を各電荷保持部に保持させることで各負荷トランジスタを介した前記共通電位線への電流流入により、前記第１の電流に相当する電流を前記複数の前記単位構成要素の各出力部に供給し、
    該第１の電流の供給後に、前記複数の記憶部で保持され、前記複数の単位信号のそれぞれの大きさに応じた電位を確定し、確定した複数の電位を前記複数の単位信号として読み出す
    半導体装置。
11. 前記読出し信号線の配線方向である前記単位信号の読出し方向に、前記単位信号生成部を複数有し、
    前記電流源部は、前記読出し方向の複数の前記単位信号生成部に対して共用されるように構成されている
    請求項１０に記載の半導体装置。
12. 前記読出し信号線に対して、第１の電流出力部と第２の電流出力部が並列に接続され、該第１の電流出力部
    が接続される第１の電荷保持部に前記第１の電流が供給されて第１の電位を発生し、前記第２の電流出力部が接続される第２の電荷保持部に前記第２の電流が供給されて第２の電位を発生し、前記第１の電位で前記第１の所定期間に、前記第２の電荷保持部にゲートが接続された第１の負荷トランジスタを駆動して前記読出し信号線を介して前記単位信号生成部の出力部に第１の電流に相当する電流を供給し、前記第２の電位で、前記第２の所定期間に、前記第２の電荷保持部にゲートが接続された第２の負荷トランジスタを駆動して前記読出し信号線を介して前記単位信号生成部の出力部に第２の電流に相当する電流を供給する
    請求項１０に記載の半導体装置。
13. 前記電流源部は、前記第１の電流または第２の電流を前記単位信号生成部の出力部に供給する第１のカレントミラー回路を有する第１の基準電流源部と、前記第２のカレントミラー回路を有する第２の基準電流源部を有し、
    前記第１の基準電流源部と前記第２の基準電流源部のそれぞれが、前記単位信号生成部の出力部に対して独立動作可能に設けられている
    請求項１０に記載の半導体装置。
14. 前記電流源部は、電流切替スイッチを含む切替部を有し、該電流切替スイッチを用いて、前記第１の規準電流源部と前記第２の基準電流源部を切り替えて、前記スイッチに電流を出力する
    請求項１３に記載の半導体装置。

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