JP6504938B2 - 液体吐出ヘッド用基板および液体吐出ヘッド - Google Patents

Description

本発明は、液体を吐出する液体吐出ヘッド、および液体吐出ヘッドに用いられる液体吐出ヘッド用基板に関するものである。

インク等の液体を吐出する液体吐出ヘッドの一例として、吐出口が形成された吐出口形成部材と、液体を発泡させるための熱エネルギーを発生する発熱抵抗体を備えた液体吐出ヘッド用基板とを有する構成がある。発熱抵抗体を駆動することにより、発熱抵抗体に対応する液体吐出ヘッド用基板の液体との接触部分（以下、「熱作用部」とも称する）において液体が急激に加熱され、熱作用部上の液体が発泡する。この発泡に伴う圧力によって液体を吐出口から吐出させ、メディア表面に記録を行うことができる。

その際、液体吐出ヘッドの熱作用部は、液体の発泡、収縮に伴うキャビテーションによる衝撃などの物理的作用や、インク等の液体による化学的作用を複合的に受ける。よって、これらの影響から発熱抵抗体を保護するために、発熱抵抗体を覆う保護膜を設けている。

ここで、熱作用部となる保護膜の液体との接触部分では、液体に含まれる色材等の添加物が高温加熱されることにより分解され、難溶解性の物質に変化し、この物質が保護膜の表面に物理吸着する現象が起こる。この物理吸着した物質は「コゲ」と称されているが、このように保護膜の表面にコゲが付着すると、発熱抵抗体から液体への熱伝導が不均一になり発泡が不安定となることにより、液体の吐出が不安定となる恐れがある。

この課題に対し、特許文献１には、電極を設け、保護膜側が正、電極側が負となるよう電圧を印加して液体と保護膜の構成材料との間に電気化学反応を生じさせ、保護膜の表面を液体に溶出させてコゲを除去するクリーニング方法が記載されている。

特開２００８−１０５３６４号公報

ところで、上述した電気化学反応を利用したコゲ除去の現象は、保護膜のうち電極に近い領域では保護膜の構成材料の溶出が速く進み、電極から遠い領域では溶出が遅く進む。そのため、保護膜と電極との距離を十分にとることで保護膜領域内における距離に応じた溶出速度の差の影響を小さくできる。しかし、保護膜と電極との距離が短いとこの溶出速度の差がより顕著になるため、液体吐出ヘッドのクリーニング処理を続けると、保護膜の厚みにばらつきが生じてしまう。これにより、液体に対する熱伝導に差が生じて安定した発泡現象を生ずることができなくなり、良好な液体吐出を保つことが困難となる恐れがある。

一方で、保護膜と電極との距離を十分に確保して電極を配置すると、その位置によっては液体吐出ヘッドが大型化する可能性がある。

そこで、本発明の目的は、液体吐出ヘッド用基板の大型化を抑制しつつ、保護膜領域内の溶出量の差を低減できるよう保護膜と電極との距離を確保して、安定した吐出状態を維持することを目的とする。

本発明の液体吐出ヘッド用基板は、複数の発熱抵抗体が配列された発熱抵抗体列と、前記発熱抵抗体を覆う保護膜と、を有する液体吐出ヘッド用基板であって、前記液体吐出ヘッド用基板の前記保護膜が設けられる面の側に設けられ、液体を流すための複数の開口が前記発熱抵抗体列の方向に沿って配列された開口列と、前記面の側に設けられ、前記保護膜との間に電圧を印加可能な電極と、を有し、前記電極は少なくとも一部が前記開口列の方向において隣接する前記開口の間に位置することを特徴とする。

本発明によると、液体吐出ヘッド用基板の大型化を抑制しつつ、保護膜領域内の溶出量の差を低減できるよう保護膜と電極との距離を確保して、安定した吐出状態を維持することが可能となる。

液体吐出装置の斜視図である。 液体吐出ヘッドユニットの斜視図である。 第１の実施形態の液体吐出ヘッドの発熱抵抗体を含む部分を説明するための図である。 比較例の液体吐出ヘッドの発熱抵抗体を含む部分を説明するための図である。 比較例の液体吐出ヘッドの発熱抵抗体を含む部分を説明するための図である。 第１の実施形態の変形例の液体吐出ヘッドの発熱抵抗体を含む部分を説明するための図である。 第２の実施形態の液体吐出ヘッドの発熱抵抗体を含む部分を説明するための図である。 第３の実施形態の液体吐出ヘッドの発熱抵抗体を含む部分を説明するための図である。 第４の実施形態の液体吐出ヘッドの発熱抵抗体を含む部分を説明するための図である。 その他の実施形態の液体吐出ヘッドの発熱抵抗体を含む部分を説明するための図である。

（液体吐出装置）
図１は、本発明の実施形態に係る液体吐出ヘッドユニット１が搭載された液体吐出装置２が示されている。本実施形態の液体吐出装置２はシリアルスキャン方式の記録装置であり、ガイド軸３によってキャリッジ４が主走査方向に移動自在にガイドされている。液体吐出ヘッドユニット１はキャリッジ４に搭載され、記録媒体に対して相対移動可能なように液体吐出装置２に搭載されている。キャリッジ４は、不図示のキャリッジモータおよびその駆動力を伝達するベルト等の不図示の駆動力伝達機構により、主走査方向に往復移動される。液体吐出装置２は、液体吐出ヘッドユニット１を主走査方向に移動させつつ、記録媒体に向かってインク等の液体を吐出させる記録動作と、その記録幅に対応する距離だけ記録媒体を副走査方向に搬送する搬送動作と、を繰り返すことによって、記録を行う。このとき、液体吐出装置２は、不図示の送りローラ等の搬送機構によって液体吐出ヘッドユニット１の主走査方向に交差する搬送方向に記録媒体を搬送する。

（液体吐出ヘッドユニット）
図２は、図１に示される液体吐出ヘッドユニット１の斜視図である。液体吐出ヘッドユニット１は、支持部材５に液体吐出ヘッド１００が接合されて構成されている。

液体吐出ヘッド１００は、液体吐出ヘッド用基板としての基板６と吐出口形成部材７とが接合されて構成される。吐出口形成部材７は、液体を吐出する複数の吐出口８が略等間隔に配列してなる吐出口列９を複数備えている。不図示のタンクに貯留された液体が支持部材５に設けられた流路を介して液体吐出ヘッドユニット１に供給される。

（第１の実施形態）
次に、図３を用いて第１の実施形態に係る液体吐出ヘッド１００の構成について説明する。図３は、図２に示す液体吐出ヘッド１００の発熱抵抗体１０の周辺の構成を説明するための図である。図３（ａ）は液体吐出ヘッド１００の一部を示す平面断面図、図３（ｂ）は図３（ａ）のＡ−Ａ’断面図、図３（ｃ）は図３（ａ）のＢ−Ｂ’断面図、図３（ｄ）は吸引回復時の液体の流れを説明するための図である。

基板６には、吐出口８に対向して設けられ、液体を吐出するための熱エネルギーを発生する発熱抵抗体１０が複数配列された発熱抵抗体列２６が吐出口列９の方向に沿って設けられている。吐出口列９および発熱抵抗体列２６は液体吐出ヘッド１００の長手方向、すなわち基板６の長手方向に沿って設けられている。

また、吐出口列９の方向に隣接する発熱抵抗体１０の間には隔壁２０が設けられており、発熱抵抗体１０が設けられた圧力室１１がこの隔壁２０によって区切られている。なお、本実施形態では、一例として、隔壁２０の長さｅ（図３（ａ））が１２μｍ、隔壁２０の長さｆ（図３（ａ））が７０μｍである。

基板６には、圧力室１１に液体を供給するための供給口１３が複数設けられ、この供給口１３は吐出口列９の方向（発熱抵抗体列２６の方向）に沿って配列されている。すなわち、この供給口１３が配列して設けられた供給口列１９は、基板６の長手方向に沿って設けられている。この供給口列１９は、発熱抵抗体列２６を挟むようにその両側にそれぞれ配置されている。なお、本実施態態では供給口１３の形状は略矩形であり、一例として、基板６の表面において、供給口１３の長さｇ（図３（ａ））は２０μｍ、供給口１３の長さｈ（図３（ａ））は４０μｍである。発熱抵抗体１０の重心、すなわち、基板６の表面において一様に発熱抵抗体１０の質量を分布させたときの質量中心と供給口１３の発熱抵抗体１０の側の端部との距離ｄ（図３（ａ））は３０μｍである。

基板６と吐出口形成部材７とが接合されることで、圧力室１１に対して両側に配置された供給口１３同士を連通する液室２１が設けられている（図３（ｂ））。なお、一例として、発熱抵抗体１０の重心と液室２１を形成する壁の面との距離ｃ（図３（ａ））は７５μｍである。

次に、基板６の積層構成について説明する。図３（ｂ）に示すように基板６の基体２７は例えばシリコンで形成されており、基体２７の表面には例えばＳｉＯ_２やＳｉＮの絶縁層１４等が設けられている。さらに、基板６にはＴａＳｉＮ等で形成された発熱抵抗体１０が設けられており、この発熱抵抗体１０は不図示の電極配線層と接続されている。この電極配線層は外部端子と電気的に接続されており、この電極配線層を介して発熱抵抗体１０に電源を供給し、発熱抵抗体１０を発熱させる。これにより、発熱抵抗体１０に対応する熱作用部に接する液体が発泡して液体が吐出される。

発熱抵抗体１０はＳｉＮ等で形成された絶縁層１６で被覆されており、その吐出口形成部材７の側には例えばＴａで形成された密着層１７、さらには保護膜１８が設けられている。１つの保護膜１８が１つの発熱抵抗体１０を被覆するように設けられている。密着層１７は不図示の電極配線層を介して外部端子と電気的に接続されており、これにより、複数の保護膜１８と外部端子とが電気的に接続されている。

なお、保護膜１８は、比較的低いｐＨ値の電解液でも溶出する特性を持つＩｒやＲｕといった白金族材料を用いることが好ましい。また、絶縁層１６や密着層１７は必ずしも設けられていなくてもよく、保護膜１８が発熱抵抗体１０を直接被覆してもよい。本実施形態では、保護膜１８は１つの発熱抵抗体１０の全ての部分を被覆しており、一例として、基板６の表面における保護膜１８の大きさは２０μｍ×２０μｍである。

図３（ａ）、（ｃ）に示すように、基板６には、液体と保護膜１８との間で電気化学反応を生じさせるための電極１５が設けられている。電極１５は、基板６の表面の、供給口列１９の方向において互いに隣接する供給口１３の間に設けられており、本実施形態では、電極１５は隣接する供給口１３間の中心に位置している。本実施形態では、一例として、基板６の表面における電極１５の大きさは１０μｍ×１０μｍである。なお、電極１５も保護膜１８と同じ材料を用いて形成することが好ましい。

電極１５は、不図示の外部端子と電気的に接続された例えばＴａからなる電極配線層２２と接続されている。これにより、電極１５に外部から電源を供給することが可能となっており、すなわち、電極１５は保護膜１８との間に電圧を印加可能な構成となっている。液室２１内に液体を充填したのち、保護膜１８側が正、電極１５側が負となるよう電圧を印加することで電気化学反応が起こり、液体と接触している保護膜１８の表面が液体に溶出する。これにより、保護膜１８の表面に堆積したコゲを除去することが可能となる。この液体は電解質を含んでいればよく、記録に用いられるインク等の液体を用いてもよい。

次に、本実施形態の効果を、図３〜図５を用いて説明する。図４、図５は、本実施形態の効果を説明するための比較例を示す図であり、図４（ａ）は比較例１の液体吐出ヘッド１００の一部を示す平面断面図、図４（ｂ）は図４（ａ）のＡ−Ａ’断面図である。また、図５（ａ）は比較例２の液体吐出ヘッド１００の一部を示す平面断面図、図５（ｂ）は図５（ａ）のＡ−Ａ’断面図であり、図５（ｃ）は吸引回復時の液体の流れを説明するための図である。

図４では、大きさ１０μｍ×１０μｍの電極１５が供給口１３と保護膜１８との間に設けられており、電極１５と保護膜１８との最長の距離ａ（図４（ａ））は１５μｍ、電極１５と保護膜１８との最短の距離ｂ（図４（ａ））は５μｍである。このため、電極１５と保護膜１８の電極１５から最も遠い部分との間の電気抵抗は、電極１５と保護膜１８の電極１５に最も近い部分との間の電気抵抗の約３倍程度になる。

ここで、保護膜１８と電極１５との距離とは、発熱抵抗体１０と重複する保護膜１８の領域と、この領域から最も近い位置に設けられた電極１５の、この領域に最も近い箇所との距離であり、これが最長となる距離をａ、最短となる距離をｂとする。以下の説明においても同様とする。図４（ａ）に示す比較例１では、発熱抵抗体１０の列に対してその両側に電極１５が設けられた構成であるので、最長となる距離ａは保護膜１８の重心から電極１５までの距離となる。

電気化学反応により保護膜１８の構成材料を液体に溶出させて保護膜１８表面のコゲの除去動作を行うと、電極１５から最も遠い保護膜１８の重心の近傍部分では、保護膜１８の電極１５に最も近い部分と比べて保護膜１８の溶出量が少なくなる。そのため、長時間液体吐出ヘッドを使用してコゲの除去動作を繰り返し行うと、保護膜１８の厚みがその位置によって異なってしまい、液体に対する発熱抵抗体１０の熱伝導が異なることになり、液体の吐出が不安定になる恐れがある。

一方で、図５では、大きさ１０μｍ×１０μｍの電極１５が基板６の表面において供給口１３の列に対して発熱抵抗体１０の列とは反対側に設けられている。電極１５と保護膜１８との最長の距離ａ（図５（ａ））は７５μｍ、電極１５と保護膜１８との最短の距離ｂ（図５（ａ））は６５μｍである。このため、電極１５と保護膜１８の電極１５から最も遠い部分との間の電気抵抗と、電極１５と保護膜１８の電極１５に最も近い部分との間の電気抵抗との比の値は約１．１５程度である。このように電気抵抗の比の値が小さくなり、保護膜１８の位置による溶出量の差が小さくなるので、液体の吐出が不安定になるものではない。

しかし、図５のような位置に電極１５を設けると、基板６の表面において吐出口列９の方向に直交する方向に基板６の長さが長くなってしまい、特に吐出口列９の数が多い場合には基板６の大型化、ひいてはコストの増加につながってしまう。例えば、図５では、発熱抵抗体１０の重心と液室２１を形成する壁の面との距離ｃ（図５（ａ））が９０μｍとなり、図３の構成における距離ｃと比較して１５μｍ長くなる。

また、液体吐出ヘッド１００に液体を充填する際や記録を繰り返し行った場合、液室２１に泡２４が取り込まれたり残留したりして、この泡２４が電極１５の設けられた領域に到達する場合がある。図５のような位置に電極１５を設けた場合、吸引回復などで吐出口８から液体を吸引しても、図５（ａ）に示すように、供給口１３からの液体の流れ２５は電極１５の表面を通りにくい。すると、図５（ｃ）に示すように、電極１５の表面に液体がほとんど流れ込まれずに泡２４が抜けることがなく滞留し、電極１５が液体に接触しなくなる恐れがある。この場合、保護膜１８との間に適切に電圧を印加することができず、適切なコゲ除去動作が実現できない恐れがある。

そこで本実施形態では、上述したように、電極１５は、基板６の表面の、供給口列１９の方向に隣接する供給口１３の間に設けられている。一例として、電極１５と保護膜１８との最長の距離ａ（図３（ａ））は４３μｍ、電極１５と保護膜１８との最短の距離ｂ（図３（ａ））は３６μｍであり、これらの電気抵抗の比の値は約１．１９程度と、図５の構成と同等にまで低減される。このため、保護膜１８の位置による溶出量の差が小さくなる。また、図５の例のように基板６の表面において吐出口列９の方向に直交する方向に基板６の長さが長くなることも抑制される。さらに、吸引回復時には、図３（ｄ）に示すように、電極１５の表面に液体の流れが生じるため、泡が発生しても電極１５の表面で滞留することが抑制され、泡だまりによってコゲ除去動作が適切に行われない恐れも低減される。

このように本実施形態によると、供給口１３と圧力室１１を近づけて圧力室１１への液体の再充填を高速化し高速印字を実現しつつ、保護膜の溶出量の差を低減できるよう保護膜１８と電極１５の距離を確保しているので、安定した吐出状態を維持できる。また、液体吐出ヘッド用基板６の大型化を抑制することが可能となる。さらに、泡だまりによってコゲ除去動作が妨げられる恐れを低減することが可能となる。

なお、電極１５と保護膜１８との距離に関して、上述した最長の距離ａと最短の距離ｂとの関係が１＜ａ／ｂ≦２となるように電極１５を設けることがより望ましい。これにより、長時間にわたって液体吐出ヘッド１００を使用しコゲ除去動作を繰り返し行っても、保護膜１８の位置による溶出量の差による影響をほとんど無視できる程度にすることができるためである。

また、発熱抵抗体１０は、絶縁層１４に形成された不図示のスルーホールに挿通され、絶縁層１４中に形成されたＡｌ、Ａｌ−Ｓｉ、Ａｌ−Ｃｕ等の金属材料からなる電極配線層に接続されることが望ましい。このような構成とすることで、発熱抵抗体１０に接続される配線を基板６の表面の供給口１３の間の領域に設けずに済むため、供給口１３の間に電極１５を配置する領域を確保しやすくなる。

また、発熱抵抗体１０の列に交差する方向における基板６の小型化の観点からは、図３（ａ）に示すように、供給口１３の、発熱抵抗体１０の列から最も離れた部分よりも発熱抵抗体１０の列に寄った位置に電極１５が設けられていることが好ましい。すなわち、電極１５が発熱抵抗体列２６から離れる方向に供給口１３の間からはみ出さないように設けられていることが好ましい。

また、図６（ａ）に示すように、電極１５の重心Ｃが、配列方向の両側に設けられた供給口１３の重心を結ぶ直線ｌよりも発熱抵抗体１０の列に寄った位置に位置するように、電極１５が設けられていることが望ましい。これにより、吸引回復や液体の再充填の際に供給口１３から吐出口８に向かう流れ２５が電極１５の表面を通り易くなり、上述した泡だまりの発生をより抑えることが可能となる。

一方で、保護膜１８と電極１５の距離を確保する観点からは、図６（ｂ）のように、電極１５の重心Ｃが、配列方向の両側の供給口１３の重心を結ぶ直線ｌよりも発熱抵抗体１０の列から離れた位置に位置するように、電極１５が設けられていることが好ましい。

また、電極１５はその全ての部分が供給口１３の間に位置していなくてもよく、電極１５の少なくとも一部が供給口１３の配列方向における供給口１３の間に位置していればよい。

また、電極１５は、供給口列１９を構成する供給口１３のそれぞれの間に設けられていることがより好ましい。これにより、保護膜１８に対してより均一にコゲの除去を行うことができるためである。

（第２の実施形態）
次に、図７を用いて第２の実施形態について説明する。なお、上述の実施形態と同様に構成される部分については図中同一符号を付して説明を省略し、異なる部分について説明する。

上述の実施形態では一列の発熱抵抗体１０の列に対してその両側に供給口１３の列が設けられた構成であったが、本実施形態では一列の発熱抵抗体１０の列に対して片側に一列の供給口１３の列が設けられた構成である。なお、本実施形態では、上述した電極１５と保護膜１８との最長の距離ａ、最短の距離ｂは、図７に示す通りとなる。

（第３の実施形態）
次に、図８を用いて第３の実施形態について説明する。なお、上述の実施形態と同様に構成される部分については図中同一符号を付して説明を省略し、異なる部分について説明する。

本実施形態では、上述の実施形態と比べて供給口列を構成する供給口１３の数を少なくしている。すなわち、上述の実施形態では１つの供給口１３が発熱抵抗体１０のそれぞれに隣接するように供給口１３を設けていたが、本実施形態では１つの供給口１３が複数の発熱抵抗体１０に隣接するように供給口１３を設けている。具体的には、本実施形態では、一つの供給口１３に対して二つの流路１２が接続されており、一つの供給口１３から主に二つの圧力室１１に液体が供給される構成である。高速記録を実現するためには、吐出口８から液体を吐出させた後、圧力室１１に液体をすばやく再充填する必要があり、圧力室１１と供給口１３に近づけることに加え、供給口１３の圧力損失が小さい方が好ましい。

ここで、略矩形状の管路の圧力損失は、そのアスペクト比が小さいほど小さくなる。例えば本実施形態では、供給口１３の長さｊが４０μｍ、長さｉが３０μｍ（図８）で供給口１３は二つの流路１２と接続されている。一方で、上述の実施形態では、供給口１３の長さｇが２０μｍ、供給口１３の長さｈが４０μｍ（図３（ａ））で供給口１３は一つの流路１２と接続されている。両者の構成においてその圧力損失はほぼ同程度である。

このように、一つの供給口１３に複数の流路１２を接続することで、供給口１３の圧力損失を大きくなることを抑えつつ、供給口１３の配列方向に交差する方向（本実施形態では配列方向に直交する方向）の供給口１３のサイズを小さくすることができる。

なお、図８では一つの供給口１３に液室２１を介して二つの流路１２が接続されているが、接続される流路１２は三つ以上であってもよい。

（第４の実施形態）
次に、図９を用いて第４の実施形態について説明する。なお、上述の実施形態と同様に構成される部分については図中同一符号を付して説明を省略し、異なる部分について説明する。

本実施形態では、発熱抵抗体１０の重心Ｈとこの発熱抵抗体１０の最も近くに位置する電極１５の重心Ｃとが発熱抵抗体列２６に直交する方向において横並びに位置している。すなわち、基板６の表面において発熱抵抗体１０の重心Ｈと電極１５の重心Ｃとを結ぶ直線が、発熱抵抗体列２６に直交する方向に平行になるように、電極１５が設けられている。また、発熱抵抗体１０の重心Ｈと供給口１３の重心Ｓとを結ぶ直線は、発熱抵抗体列２６に直交する方向に交差している。

本実施形態においても、電極１５は供給口１３の配列方向において隣接する供給口１３の間に位置しており、保護膜１８の溶出量の差を低減できるように保護膜１８と電極１５の距離を確保しているので、安定した吐出状態を維持することができる。また、供給口１３の配列方向に交差する方向における液体吐出ヘッド用基板６の大型化を抑制することが可能となる。

なお、保護膜１８と電極１５との距離をより長くする観点からは、本実施形態のような電極１５の配置よりも、上述の実施形態のような電極１５の配置の方がより好ましい。すなわち、上述の実施形態のように、発熱抵抗体１０の重心とこの発熱抵抗体１０の最も近くに位置する電極１５の重心とが発熱抵抗体列２６に直交する方向においてずれて位置することがより好ましい。

（その他の実施形態）
次に、図１０を用いてその他の実施形態について説明する。なお、上述の実施形態と同様に構成される部分については図中同一符号を付して説明を省略し、異なる部分について説明する。

図１０（ａ）〜（ｃ）に示す実施形態では、電極１５が設置されている供給口１３の間に、吐出口形成部材７と基板６とを接続する接続部としての柱状部材２３が設けられている。上述の実施形態では基板６の表面の供給口１３間の領域は吐出口形成部材７から離れており、このように吐出口形成部材７と基板６とが接していない部分の距離が長いと、液体吐出ヘッド１００が割れたり変形したりする恐れがある。

そこで、本実施形態では、供給口１３の間に柱状部材２３を設けることで、電極１５の表面を通る吐出口８と供給口１３との液体の流れを確保しつつ、液体吐出ヘッド１００の信頼性を向上することができる。なお、柱状部材２３は、図１０（ａ）のように独立した複数の部材で設けられていても、図１０（ｂ）のように壁状であってもよい。

また、図１０（ａ）、（ｂ）は電極１５の表面に柱状部材２３を設ける構成であるが、コゲ除去動作に用いられる電極１５の面積を確保するために、図１０（ｃ）のように、柱状部材２３を電極１５が設けられていない供給口１３の間の領域に設けてもよい。また、供給口１３の配列方向に複数の柱状部材２３を配置してもよい。

６ 基板（液体吐出ヘッド用基板）
１０ 発熱抵抗体
１３ 供給口
１５ 電極
１８ 保護膜

Claims (19)

1. 複数の発熱抵抗体が配列された発熱抵抗体列と、
   前記発熱抵抗体を覆う保護膜と、
   を有する液体吐出ヘッド用基板であって、
   前記液体吐出ヘッド用基板の前記保護膜が設けられる面の側に設けられ、液体を流すための複数の開口が前記発熱抵抗体列の方向に沿って配列された開口列と、
   前記面の側に設けられ、前記保護膜との間に電圧を印加可能な電極と、
   を有し、
   前記電極は少なくとも一部が前記開口列の方向において隣接する前記開口の間に位置することを特徴とする液体吐出ヘッド用基板。
2. 前記発熱抵抗体の重心と該発熱抵抗体の最も近くに位置する前記電極の重心とは、前記面における前記発熱抵抗体列の方向に直交する方向においてずれて位置する、請求項１に記載の液体吐出ヘッド用基板。
3. 前記電極は、該電極の両側に設けられた前記隣接する開口の、前記発熱抵抗体列から最も離れた部分よりも前記発熱抵抗体列に寄った位置に設けられている、請求項１または請求項２に記載の液体吐出ヘッド用基板。
4. 前記電極の重心は、該電極の両側に設けられた前記隣接する開口の重心を結ぶ直線よりも前記発熱抵抗体列に寄った位置に位置する、請求項１乃至請求項３のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド用基板。
5. 前記電極の重心は、該電極の両側に設けられた前記隣接する開口の重心を結ぶ直線よりも前記発熱抵抗体列から離れた位置に位置する、請求項１乃至請求項３のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド用基板。
6. 前記保護膜および前記電極はＩｒまたはＲｕで形成されている、請求項１乃至請求項５のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド用基板。
7. 前記保護膜および前記電極は液体が流れる流路に面している、請求項１乃至請求項６のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド用基板。
8. 前記電極は、前記開口列における前記隣接する開口の間のそれぞれに設けられている、請求項１乃至請求項７のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド用基板。
9. 前記開口列のうちの前記開口のそれぞれは、前記発熱抵抗体列のうちの前記発熱抵抗体のそれぞれに隣接して設けられている、請求項１乃至請求項８のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド用基板。
10. 前記開口列のうちの前記開口のそれぞれは、前記発熱抵抗体列のうちの複数の前記発熱抵抗体に隣接して設けられている、請求項１乃至請求項８のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド用基板。
11. 前記開口は前記面と前記面の裏面とを貫通する貫通孔の一部である、請求項１乃至請求項１０のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド用基板。
12. 前記保護膜と前記電極との間に電圧を印加することで液体と接する前記保護膜が液体に溶出する、請求項１乃至請求項１１のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド用基板。
13. 外部から電源を供給するための外部端子と、
    前記電極と前記外部端子とを接続するための配線と、
    を有する、請求項１乃至請求項１２のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド用基板。
14. 前記配線はＴａからなる、請求項１３に記載の液体吐出ヘッド用基板。
15. 複数の発熱抵抗体が配列された発熱抵抗体列と、前記発熱抵抗体を覆う保護膜と、
    を有する液体吐出ヘッド用基板と、
    液体を吐出する吐出口が形成された吐出口形成部材と、
    を有し、
    前記液体吐出ヘッド用基板の前記保護膜が設けられる面の側に設けられ、液体を流すための複数の開口が前記発熱抵抗体列の方向に沿って配列された開口列と、
    前記面の側に設けられ、前記保護膜との間に電圧を印加可能な電極と、
    を有し、
    前記電極は少なくとも一部が前記開口列の方向において隣接する前記開口の間に位置することを特徴とする液体吐出ヘッド。
16. 前記発熱抵抗体の重心と該発熱抵抗体の最も近くに位置する前記電極の重心とは、前記面における前記発熱抵抗体列の方向に直交する方向においてずれて位置する、請求項１５に記載の液体吐出ヘッド。
17. 前記液体吐出ヘッド用基板と前記吐出口形成部材とを接続する接続部が前記隣接する開口の間に設けられている、請求項１５または請求項１６に記載の液体吐出ヘッド。
18. 前記接続部は、前記電極が設けられていない位置に設けられている、請求項１７に記載の液体吐出ヘッド。
19. 前記電極は前記接続部よりも前記発熱抵抗体から離れた位置に設けられている、請求項１７または請求項１８に記載の液体吐出ヘッド。

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