JP5569092B2

JP5569092B2 - 液体噴射ヘッド、液体噴射ヘッドユニット及び液体噴射装置

Info

Publication number: JP5569092B2
Application number: JP2010072414A
Authority: JP
Inventors: 晴久植澤; 峻介渡邉
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2010-03-26
Filing date: 2010-03-26
Publication date: 2014-08-13
Anticipated expiration: 2030-03-26
Also published as: CN102218915A; US20120256989A1; CN102218915B; US8740365B2; JP2011201222A

Description

本発明は、ノズル開口から液体を噴射する液体噴射ヘッド、液体噴射ヘッドユニット及
び液体噴射装置に関する。

液滴を噴射する液体噴射ヘッドの代表例であるインクジェット式記録ヘッドとしては、
例えば、圧力発生室が形成された流路形成基板と、流路形成基板の一方面側に設けられる
圧電素子を具備し、この圧電素子の変位によって圧力発生室内に圧力を付与することで、
ノズル開口からインク滴を噴射するものがある。

また、複数の圧力発生室に共通して連通するリザーバーを２つ設け、インクタンクから
２つのリザーバーにインクを供給するようにしたものがある（例えば、特許文献１参照）
。

さらに、圧力発生室の並設方向に加温水を流すヘッド内液体流路を設け、ヘッド内液体
流路を流れる加温水によって圧力発生室内のインクを加熱するようにしたインクジェット
式記録ヘッドが提案されている（例えば、特許文献２参照）。

これによれば、圧力発生室内のインクを加熱して粘度を小さくして、インク吐出特性を
向上している。

特許第３０９７３２１号公報特開２００８−５５７１６号公報

しかしながら、特許文献１では、リザーバーを２つ設けただけで、圧力発生室内のイン
クを加熱することも、また、２つのリザーバー内のインクを循環させることも行って居ら
ず、所望のインク吐出特性でインクを吐出させることができないという問題がある。

また、特許文献２のように、圧力発生室の並設方向に加温水が流れるヘッド内液体流路
を設けただけでは、圧力発生室の並設方向の両端部において加熱される温度が均一になら
ずに温度勾配が発生し、各ノズル開口から吐出されるインクの吐出特性にばらつきが生じ
て印刷品質が低下してしまうという問題がある。

さらに、圧力発生室等の個別流路のそれぞれに加熱手段を設けるのは実質的に困難であ
り、ノズル開口近傍のインクの加熱が不十分となり、十分に加熱されたインクを良好な吐
出特性で吐出させることができないという問題がある。

なお、このような問題はインクジェット式記録ヘッドだけではなく、インク以外の液体
を噴射する液体噴射ヘッドにおいても同様に存在する。

本発明はこのような事情に鑑み、全ての圧力発生室の液体を略均等な温度に加熱して、
液体噴射特性を均一化して、印刷品質を向上することができる液体噴射ヘッド、液体噴射
ヘッドユニット及び液体噴射装置を提供することを目的とする。

上記課題を解決する本発明の態様は、第１の液室と、第２の液室と、前記第１の液室と前記第２の液室との間に設けられた複数の圧力発生室と、前記第１の液室と前記第２の液室との間に設けられた循環流路と、前記圧力発生室に圧力変化を生じさせて、前記圧力発生室に連通したノズル開口から液体を吐出させる圧力発生手段と、前記圧力発生室よりも上流側の液体を加熱する加熱手段と、を具備し、複数の前記圧力発生室は、それぞれ、前記第１の液室に接続され、前記第２の液室に接続されず、前記循環流路は、前記第１の液室と前記第２の液室とに接続され、かつ、一以上の前記圧力発生室で構成される圧力発生室群の間に設けられることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
あるいは、液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室及び該圧力発生室の一端側に設けられて複数の圧力発生室が連通する第１の液室を有する液体流路と、前記圧力発生室に圧力変化を生じさせて前記ノズル開口から液体を吐出させる圧力発生手段と、該液体流路の前記圧力発生室よりも上流側の液体を加熱する加熱手段と、前記圧力発生室の他端側に設けられる第２の液室と、前記圧力発生室が一以上で構成される圧力発生室群の間に形成されて、前記第１の液室と前記第２の液室とを接続する循環流路と、を具備することを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
これらの態様では、圧力発生室と並行して加熱された液体が流れる循環流路を設けることで、全ての圧力発生室内の液体を均一な温度に加熱することができると共に、ノズル開口近傍まで均一な温度で加熱することができる。これにより、液体の粘度をコントロールして、液体吐出特性を向上及び均一化することができる。

ここで、前記循環流路には、前記液体の流れる方向に対して直交する方向に突出した突
起部が設けられていることが好ましい。これによれば、循環流路を流れる液体の接触面積
が広がり、熱伝導率を向上して、圧力発生室内の液体を短時間で所望の温度まで効率良く
加熱することができる。

また、前記圧力発生室が、流路形成基板を厚さ方向に貫通することなく、当該流路形成
基板の一方面側に凹部として形成されていると共に、一方面側に開口する凹形状を有する
と共に、前記循環流路が、前記流路形成基板の厚さ方向で前記圧力発生室に相対向する領
域まで延設された延設部を有することが好ましい。これによれば、圧力発生室に相対向す
る領域に延設部を設けることで、さらに熱伝導率を向上して、短時間で所望の温度まで効
率良く加熱することができる。

また、前記循環流路が、隣り合う前記圧力発生室の間に設けられていることが好ましい
。これによれば、全ての圧力発生室内の液体を均一な温度に加熱することができる。

また、前記圧力発生室群が、２つの前記圧力発生室で構成されていてもよい。これによ
れば、流路形成基板の小型化を図り、液体噴射ヘッドを小型化することができる。

また、前記液体流路には、前記第１の液室から前記循環流路を介して前記第２の液室に
液体の流れを発生させる液流形成手段が設けられていることが好ましい。これによれば、
液体を第１の液室から循環流路を介して第２の液室まで循環させることができる。

さらに、本発明の他の態様は、上記態様の液体噴射ヘッドを２以上具備することを特徴
とする液体噴射ヘッドユニットにある。
かかる態様では、各ノズル開口から吐出される液体の液体噴射特性を均一化することが
できる。

また、本発明の他の態様は、上記態様の液体噴射ヘッド又は液体噴射ヘッドユニットを
具備することを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる態様では、各ノズル開口から吐出される液体の液体噴射特性を均一化して、印刷
品質を向上した液体噴射装置を実現できる。

実施形態１に係る記録ヘッドを示す断面図である。実施形態１に係る流路形成基板を示す平面図である。実施形態２に係る記録ヘッドを示す断面図である。実施形態３に係る記録ヘッドを示す断面図である。一実施形態に係る記録装置の概略構成を示す図である。

以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態１に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録
ヘッドの断面図であり、図２は、流路形成基板を示す平面図である。

図１に示すように、本実施形態のインクジェット式記録ヘッド１０は、複数の圧力発生
室１１が並設された流路形成基板１２と、各圧力発生室１１に連通する複数のノズル開口
１３が穿設されたノズルプレート１４と、流路形成基板１２のノズルプレート１４とは反
対側の面に設けられる振動板１５と、振動板１５上に設けられる圧電素子１６とを有する
。

流路形成基板１２には、図１及び図２に示すように、各圧力発生室１１が隔壁１７によ
って区画されてその幅方向に複数並設されている。また流路形成基板１２の圧力発生室１
１の長手方向一端側には、第１の液室であるマニホールド１８が流路形成基板１２を貫通
して設けられている。そして、各圧力発生室１１とマニホールド１８とは、それぞれイン
ク供給路１９を介して接続されている。このインク供給路１９は、本実施形態では、圧力
発生室１１よりも狭い幅で形成されており、マニホールド１８から圧力発生室１１に流入
するインクの流路抵抗を一定に保持する役割を果たしている。

一方、流路形成基板１２の圧力発生室１１の長手方向他端部側には、第２の液室である
循環液室２０が設けられている。この循環液室２０とマニホールド１８とは流路形成基板
１２に形成される複数の循環流路２１によってそれぞれ連通している。循環流路２１は、
圧力発生室１１が一以上で構成される圧力発生室群の間に形成されている。本実施形態で
は、循環流路２１を、各圧力発生室１１の両側、すなわち、圧力発生室１１の列の両外側
と、互いに隣り合う圧力発生室１１の間とにそれぞれ設けた。つまり、本実施形態では、
圧力発生室群を１つの圧力発生室１１で構成するようにした。なお、圧力発生室群を２つ
の圧力発生室１１で構成し、循環流路２１を圧力発生室群の間、すなわち、互いに隣り合
う圧力発生室１１の間を一つおきに設けるようにしてもよい。もちろん、圧力発生室群を
構成する圧力発生室１１の数は、３つ以上であってもよいが、循環流路２１を流れる加熱
されたインクで圧力発生室１１内のインクを加熱するため、圧力発生室群は、圧力発生室
１１が２つ以下が好ましい。

このような各循環流路２１は、マニホールド１８と循環液室２０との間に略一定幅で形
成されている。例えば、本実施形態では、各循環流路２１は、圧力発生室１１と略同一の
幅で、且つ流路形成基板１２を貫通して形成されている。

また圧力発生室１１は、本実施形態では、流路形成基板１２を貫通することなく形成さ
れており、圧力発生室１１のマニホールド１８とは反対の端部側には、流路形成基板１２
を貫通してノズル開口１３に連通するノズル開口連通路２２が形成されている。

流路形成基板１２の一方面側にはノズルプレート１４が接合されている。そして上述の
ように各ノズル開口１３が流路形成基板１２に設けられたノズル開口連通路２２を介して
各圧力発生室１１と連通している。また、流路形成基板１２の他方面側、すなわち圧力発
生室１１の開口面側には振動板１５が接合され、圧力発生室１１、循環流路２１、マニホ
ールド１８及び循環液室２０等はこの振動板１５によって封止されている。そして圧力発
生室１１に対応する振動板１５上には圧電素子１６が、その先端部を当接させた状態で固
定されている。圧電素子１６は、圧電体層２５と個別内部電極２６及び共通内部電極２７
とが交互に積層され、圧電変形に寄与しない不活性領域が固定基板２８に固着されている
。また圧電素子１６の不活性領域には、駆動ＩＣ２９が搭載された駆動配線３０が接続さ
れている。

また、振動板１５上には、圧力発生室１１に圧力変化を生じさせる圧力発生手段である
圧電素子１６が固定基板２８に固定された状態で収容される収容部３１を有するヘッドケ
ース３２が固定されている。ヘッドケース３２には、マニホールド１８に連通する供給連
通路４０と、循環液室２０に連通する回収連通路４１と、が設けられている。そして、供
給連通路４０及び回収連通路４１には、それぞれ供給管１００及び回収管１０１を介して
液体貯留部５が接続されている。液体貯留部５は、インクを貯留したインクタンク等から
なり、液体貯留部５からのインクは、供給管１００及び供給連通路４０を介してマニホー
ルド１８に供給される。また、マニホールド１８に供給されたインクは、循環流路２１を
介して循環液室２０に充填され、循環液室２０のインクは、回収連通路４１及び回収管１
０１を介して液体貯留部５に回収される。すなわち、本実施形態においては、供給管１０
０、回収管１０１及び各インクジェット式記録ヘッド１０の流路（例えば、マニホールド
１８、循環流路２１及び循環液室２０等）からなり、液体貯留部５のインクを循環させる
循環用液体流路が設けられている。なお、本実施形態のインクジェット式記録ヘッド１０
の液体流路とは、供給連通路４０、回収連通路４１、マニホールド１８、インク供給路１
９、圧力発生室１１、循環液室２０及び循環流路２１で構成されている。

なお、回収管１０１の途中には、ポンプ１０２が設けられており、液体貯留部５からの
インクは、ポンプ１０２の圧力により循環する。すなわち、本実施形態では、ポンプ１０
２が、マニホールド１８から循環流路２１を介して循環液室２０にインクの流れを形成す
る液流形成手段となっている。

さらに、ヘッドケース３２の外周面には、ヘッドケース３２内に設けられた供給連通路
４０を通過するインクを加熱する電熱ヒーター等の加熱手段４２が設けられている。加熱
手段４２は、供給連通路４０内を通過するインクを加熱して、加熱されたインクをマニホ
ールド１８に供給する。すなわち、加熱手段４２は、インクジェット式記録ヘッド１０の
液体流路の圧力発生室１１よりも上流側である供給連通路４０を流れるインクを加熱する
。なお、インクを加熱する加熱手段４２は、ヘッドケース３２の外周面側ではなく、流路
内に設けることも考えられるが、流路はとても小さく、加熱手段４２も小さくなり、小さ
な加熱手段４２では流路内を流れるインクを十分に加熱することはできない。また、液体
貯留部５にも加熱手段を設け、加熱されたインクが、ヘッドケース３２に供給されるよう
にしてもよい。

また、圧電素子１６の先端が当接する振動板１５は、例えば、樹脂フィルム等の弾性部
材からなる弾性膜３３と、この弾性膜３３を支持する、例えば、金属材料等からなる支持
板３４との複合板で形成されており、弾性膜３３側が流路形成基板１２に接合されている
。また振動板１５の各圧力発生室１１に対向する領域内には、圧電素子１６の先端部が当
接する島部３５が設けられている。すなわち振動板１５の各圧力発生室１１の周縁部に対
向する領域に他の領域よりも厚さの薄い薄肉部３６が形成されて、この薄肉部３６の内側
にそれぞれ島部３５が設けられている。

なお、振動板１５のマニホールド１８に対向する領域には、薄肉部３６と同様に、支持
板３４が除去されて実質的に弾性膜３３のみで構成されるコンプライアンス部３７が設け
られている。ヘッドケース３２のコンプライアンス部３７に対向する部分には、コンプラ
イアンス部３７の変形を許容する空間である空間部３８が形成されている。

このようなインクジェット式記録ヘッド１０では、液体貯留部５からのインクが供給管
１００を介して供給連通路４０に供給される。供給連通路４０に供給されたインクは、加
熱手段４２によって加熱されてマニホールド１８に供給される。マニホールド１８に供給
された加熱されたインクは、一部が圧力発生室１１に供給されて、所望のタイミングで圧
電素子１６が駆動することで圧力発生室１１の容積を変化させてノズル開口１３からイン
ク滴が吐出される。また、マニホールド１８の加熱されたインクは、ポンプ１０２の圧力
によって循環流路２１を介して循環液室２０内に供給され、循環液室２０から回収連通路
４１及び回収管１０１を介して液体貯留部５に回収される。このとき、本実施形態では、
加熱されたインクを隣り合う圧力発生室１１の間に設けられた循環流路２１を介して循環
させることで、循環流路２１を流れる加熱されたインクによって各圧力発生室１１の内部
のインクを均一温度に加熱することができる。ちなみに、インクジェット式記録ヘッド１
０は、インク滴の吐出が常に連続して行われる訳ではなく、所望のタイミングでインク滴
が吐出されるため、インク滴を吐出してから次のインク滴を吐出するまで圧力発生室１１
内に加熱されたインクが供給されずに圧力発生室１１内のインクの温度が低下してしまう
ことがある。しかしながら、本実施形態では、圧力発生室１１と平行して加熱されたイン
クを流す循環流路２１を設けることで、循環流路２１を流れるインクで圧力発生室１１内
のインクを加熱することができる。

なお、例えば、圧力発生室１１自体を循環流路とする構成、すなわち、圧力発生室１１
の一端部側をマニホールドに接続し、他端部側を循環液室２０に接続する構成も考えられ
るものの、このような構成では、圧電素子によって圧力発生室１１に圧力変化を生じさせ
た際に、圧力発生室１１内の圧力が循環液室２０側に逃げてしまい、ノズル開口１３から
インク滴を吐出させることができない。本実施形態では、隣り合う圧力発生室１１の間に
循環流路２１を設けることで、圧力発生室１１に付与した圧力が循環液室２０に直接逃げ
るのを抑制して、インク滴の吐出を良好に行うことができる。

また、圧力発生室１１の並設方向に流れる循環流路を設けた場合、圧力発生室１１の並
設方向（循環流路を流れる方向）に向かって温度勾配が発生し、各圧力発生室１１を全て
均一な温度に加熱することができない。本実施形態では、隣り合う圧力発生室１１の間に
圧力発生室１１の並設方向と直交する方向にインクが流れる循環流路２１を設けることで
、全ての圧力発生室１１内のインクを略均一な温度に加熱することができ、全てのノズル
開口１３から同じ温度のインク滴を同じ吐出特性で吐出させることができる。

また、循環流路２１は、マニホールド１８と循環液室２０とを連通して、インクを循環
するため、圧力発生室１１の直前のマニホールド１８内において、インクの成分が沈降す
るのを抑制することができる。すなわち、インクの成分が沈降していない成分の均一なイ
ンクを圧力発生室１１近傍まで供給することができ、印刷特性を向上することができる。

（実施形態２）
図３は、本発明の実施形態２に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録
ヘッドの断面図である。なお、上述した実施形態１と同様の部材には同一の符号を付して
重複する説明は省略する。

図３に示すように、本実施形態のインクジェット式記録ヘッド１０Ａは、循環流路２１
の内面に、マニホールド１８から循環液室２０に向かう方向と交差する方向に突出した複
数の突起部２３が設けられている。

本実施形態の突起部２３は、断面が三角形状を有し、ノズルプレート１４の循環流路２
１側の内面に２つと、振動板１５側に２つの合計４つが略等間隔となるように配置されて
いる。もちろん、突起部２３は、循環流路２１の側面、すなわち、隔壁１７の循環流路２
１側の面に設けるようにしてもよい。

このような突起部２３を設けることで、マニホールド１８から循環液室２０までの循環
流路２１を流れるインクに接触する表面積を増やして、加熱されたインクによって圧力発
生室１１内のインクを加熱する熱伝導率を向上することができる。これにより、圧力発生
室１１内のインクを循環流路２１を流れる加熱されたインクで短時間で所望の温度に効率
良く加熱することができる。

（実施形態３）
図４は、本発明の実施形態３に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録
ヘッドの断面図である。なお、上述した実施形態１と同様の部材には同一の符号を付して
重複する説明は省略する。

図４に示すように、本実施形態のインクジェット式記録ヘッド１０Ｂは、循環流路２１
Ａが、流路形成基板１２の厚さ方向で圧力発生室１１に相対向する領域まで延設された延
設部２４を有する。

延設部２４は、本実施形態では、マニホールド１８側に直接連通するように設けられて
、マニホールド１８と同様に並設された圧力発生室１１に亘って一体となる空間が画成さ
れるように設けられている。すなわち、延設部２４は、隣り合う循環流路を圧力発生室１
１の並設方向で連通するように設けられている。

このように循環流路２１Ａに延設部２４を設けることで、延設部２４を流れる加熱され
たインクによって圧力発生室１１内のインクをさらに短時間で効率良く加熱することがで
きる。

勿論、本実施形態の延設部２４を有する循環流路２１Ａに、上述した実施形態２の突起
部２３を設けることで、さらに圧力発生室１１内のインクを短時間で効率良く加熱するこ
とができる。

なお、本実施形態では、延設部２４をマニホールド１８側に設けることで、延設部２４
がマニホールド１８と直接連通するようにしたが、延設部２４の位置は、特にこれに限定
されず、例えば、延設部２４を圧力発生室１１の長手方向の中央部にマニホールド１８や
循環液室２０と独立して設けるようにしてもよい。また、延設部２４を循環液室２０側に
循環液室２０と直接連通するように設けるようにしてもよい。

（他の実施形態）
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は、上述したものに限定されるも
のではない。

例えば、上述した実施形態１では、回収管１０１に設けたポンプ１０２の圧力によって
、液体貯留部５のインクをインクジェット式記録ヘッド１０〜１０Ｂとの間で循環させる
ようにしたが、特にこれに限定されず、インクジェット式記録ヘッド１０〜１０Ｂの流路
内に、マニホールド１８から循環流路２１、２１Ａを介して循環液室２０にインクの流れ
を形成するポンプ等の液流形成手段を設けるようにしてもよい。例えば、上述した実施形
態では、循環流路２１、２１Ａの一方側には振動板１５が設けられており、循環流路２１
は振動板１５によって封止されているため、循環流路２１を封止する振動板１５を変形さ
せるようなアクチュエーターをポンプとして設けるようにしてもよい。このようなアクチ
ュエーターとしては、圧電素子を用いた圧電アクチュエーターや、振動板と電極との間に
静電気を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズル開口１３から液滴を吐
出させるいわゆる静電式アクチュエーターを用いることができる。また、循環流路２１、
２１Ａ内に発熱素子を配置して、発熱素子の発熱で発生するバブルによってマニホールド
１８から循環液室２０へのインクの流れを形成してもよい。

さらに、上述した実施形態では、圧力発生室１１に圧力変化を生じさせる圧力発生手段
として、圧電素子１６を用いて説明したが、特にこれに限定されず、例えば、振動板上に
下電極、圧電体層及び上電極を積層した撓み振動タイプの圧電素子や、圧力発生室内に発
熱素子を配置して、発熱素子の発熱で発生するバブルによってノズル開口から液滴を吐出
するもの、振動板と電極との間に静電気を発生させて、静電気力によって振動板を変形さ
せてノズル開口から液滴を吐出させるいわゆる静電式アクチュエーターなどを使用するこ
とができる。

また、これら上述したインクジェット式記録ヘッド１０〜１０Ｂは、インクジェット式
記録ヘッドユニットの一部を構成して、インクジェット式記録装置に搭載される。図５は
、そのインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。

本実施形態のインクジェット式記録装置は、装置本体にインクジェット式記録ヘッド１
０〜１０Ｂを固定し、ノズル開口１３の並設方向に対して直交する方向に記録用紙等の被
噴射媒体を搬送することで被噴射媒体への印刷を行う、いわゆるライン式のインクジェッ
ト式記録装置である。

図５に示すように、インクジェット式記録装置Ｉは、インクジェット式記録ヘッド１０
を具備するインクジェット式記録ヘッドユニット１と、装置本体２と、移動手段の一例で
ある給紙ローラー３と、液体貯留部５とを備えている。

インクジェット式記録ヘッドユニット１（以下、ヘッドユニット１とも言う）は、複数
のインクジェット式記録ヘッド１０が保持されたベースプレート６に取り付けられたフレ
ーム部材７を備えており、このフレーム部材７を介してヘッドユニット１が装置本体２に
固定されている。

また、装置本体２には給紙ローラー３が設けられている。給紙ローラー３は、装置本体
２に給紙された紙等の被噴射媒体である記録シートＳを搬送し、記録シートＳをインクジ
ェット式記録ヘッド１０のインクの吐出面側を通過させる。

また、上述したように、各インクジェット式記録ヘッド１０には、装置本体２に固定さ
れてインクを貯留する液体貯留部５がフレキシブルチューブ等の供給管１００及び回収管
１０１を介して接続されている。液体貯留部５からのインクは、供給管１００を介して各
インクジェット式記録ヘッド１０に供給され、インクジェット式記録ヘッド１０で吐出さ
れなかったインクは回収管１０１を介して液体貯留部５に回収される。また、回収管１０
１の途中にはポンプ１０２が設けられており、液体貯留部５からのインクは、ポンプ１０
２の圧力によって循環する。

このようなインクジェット式記録装置Ｉでは、給紙ローラー３により搬送方向に記録シ
ートＳが搬送されると共に、ヘッドユニット１のインクジェット式記録ヘッド１０によっ
てインクが吐出されて記録シートＳに画像等が印刷される。

なお、上述した例では、インクジェット式記録ヘッド１０を具備するヘッドユニット１
をインクジェット式記録装置Ｉに設けるようにしたが、インクジェット式記録装置Ｉに搭
載するヘッドユニット１を２以上としてもよい。また、インクジェット式記録装置Ｉに直
接インクジェット式記録ヘッド１０を搭載するようにしてもよい。

また、上述した例では、インクジェット式記録ヘッド１０が固定されて記録シートＳを
搬送するだけで印刷を行うライン式のインクジェット式記録装置を例示したが、本発明は
、他のタイプのインクジェット式記録装置にも適用することができる。例えば、記録シー
トＳの搬送方向と交差する方向（主走査方向）に移動するキャリッジにインクジェット式
記録ヘッド１０を搭載し、インクジェット式記録ヘッド１０を主走査方向に移動させなが
ら印刷を行う、いわゆるシリアル型のインクジェット式記録装置にも本発明を適用するこ
とができる。

また、本実施形態では、液体貯留部が装置本体に固定されたタイプのインクジェット式
記録装置Ｉを例示したが、特にこれに限定されず、例えば、インクカートリッジ等の液体
貯留部を各インクジェット式記録ヘッド又はインクジェット式記録ヘッドユニットに固定
するタイプのインクジェット式記録装置にも本発明を適用することができる。

さらに本実施形態では、液体噴射装置の一例としてインクジェット式記録装置を挙げて
説明したが、本発明は広く液体噴射ヘッドを具備する液体噴射装置全般を対象としたもの
であり、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドを具備する液体噴射装置にも勿論適
用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンター等の画像記
録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に
用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等
の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機
物噴射ヘッド等が挙げられる。

Ｉインクジェット式記録装置（液体噴射装置）、１インクジェット式記録ヘッド
ユニット（液体噴射ヘッドユニット）、５液体貯留部、１０、１０Ａ、１０Ｂイ
ンクジェット式記録ヘッド、１１圧力発生室、１２流路形成基板、１３ノズ
ル開口、１４ノズルプレート、１５振動板、１６圧電素子（圧力発生手段）
、１８マニホールド（第１の液室）、２０循環液室（第２の液室）、２１、２
１Ａ循環流路、２３突起部、２４延設部、２９駆動ＩＣ、３０駆動配
線、３２ヘッドケース

Claims

第１の液室と、
第２の液室と、
前記第１の液室と前記第２の液室との間に設けられた複数の圧力発生室と、
前記第１の液室と前記第２の液室との間に設けられた循環流路と、
前記圧力発生室に圧力変化を生じさせて、前記圧力発生室に連通したノズル開口から液体を吐出させる圧力発生手段と、
前記圧力発生室よりも上流側の液体を加熱する加熱手段と、
を具備し、
複数の前記圧力発生室は、それぞれ、前記第１の液室に接続され、前記第２の液室に接続されず、
前記循環流路は、前記第１の液室と前記第２の液室とに接続され、かつ、一以上の前記圧力発生室で構成される圧力発生室群の間に設けられることを特徴とする液体噴射ヘッド。
前記第１の液室に接続された供給連通路と、前記第２の液室に接続された回収連通路とが設けられたヘッドケースを、さらに具備し、
前記加熱手段は、前記ヘッドケースの外周面に設けられたことを特徴とする請求項１記載の液体噴射ヘッド。
前記循環流路には、前記液体の流れる方向に対して直交する方向に突出した突起部が設けられていることを特徴とする請求項１又は２記載の液体噴射ヘッド。
前記循環流路が、隣り合う前記圧力発生室の間に設けられていることを特徴とする請求項１〜３の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
前記圧力発生室群が、２つの前記圧力発生室で構成されていることを特徴とする請求項１〜３の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
前記液体流路には、前記第１の液室から前記循環流路を介して前記第２の液室に液体の流れを発生させる液流形成手段が設けられていることを特徴とする請求項１〜５の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
請求項１〜６の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドを２以上具備することを特徴とする液体噴射ヘッドユニット。
請求項１〜６の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
請求項７記載の液体噴射ヘッドユニットを具備することを特徴とする液体噴射装置。