JP6366590B2 - エポキシ樹脂混合物、エポキシ樹脂組成物、硬化物および半導体装置 - Google Patents
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Description
また、近年、反りや、はんだリフロー等の半田ショックに対する耐性が非常に強く求められている。特にチップが薄型化していく中、鉛フリー半田の温度(260℃)に耐えられることが求められており、この半田ショックの応力を回避するために高温での弾性率が低く応力を逃すことのできる封止材が求められている。また反りに関してはその抑制のため、高い耐熱性と高温での低弾性率が求められている。この低弾性率と耐熱性は難燃性と同様、相反する特性であり、耐熱性を上げようと架橋密度をあげてしまうと高温での弾性率が高くなり、リフロー時の応力を逃しきれず、チップに負荷がかかる、またパッケージにクラック、反りがでる等の問題が生じる。
そこで、硬化物の耐熱性及び該耐熱性と相反する特性を両立できるエポキシ樹脂の開発が望まれていた。
即ち、本発明は、優れた硬化物の耐熱性を有しながら、該耐熱性と相反する特性である、硬化物の機械強度、難燃性、高温での弾性率に優れ、硬化前は粘度が低い等の特性を同時に満たすことができるエポキシ樹脂混合物を提供することを目的とし、さらに該エポキシ樹脂混合物を用いた、エポキシ樹脂組成物、硬化物および半導体装置を提供することを目的とする。
すなわち本発明は、
下記式(1)で表される化合物を60〜75%(ゲルパーミエーションクロマトグラフィー 面積%)、及び、ビフェノールのエポキシ化物を5〜30%(同上)含有するエポキシ樹脂混合物。
軟化点が80〜100℃である前項(1)に記載のエポキシ樹脂混合物。
(3)
150℃におけるICI溶融粘度(コーンプレート法)が0.08〜0.35Pa・sである前項(1)又は(2)に記載のエポキシ樹脂混合物。
(4)
前項(1)〜(3)のいずれか一項に記載のエポキシ樹脂混合物と硬化剤を含有するエポキシ樹脂組成物。
(5)
前項(1)〜(3)のいずれか一項に記載のエポキシ樹脂混合物と硬化触媒を含有するエポキシ樹脂組成物。
(6)
前項(4)又は(5)に記載のエポキシ樹脂組成物を硬化した硬化物。
(7)
半導体チップを前項(4)又は(5)に記載のエポキシ樹脂組成物を用いて封止して得られる半導体装置、に関する。
上記データから特許文献1に記載のエポキシ樹脂は塩素量が非常に多く、電子材料用途には不向きであり、また非常に着色があることから色味の必要とされる用途においては使用が困難であることが示唆される。また、エポキシ当量が294g/eq.と理論値(252.7g/eq.)と比較し大きいこと、また塩素量の多さから、エポキシが閉環せずに残留したエピハロヒドリン構造が多く含有されることが示唆され、二官能であるにも関わらず、このようなエポキシ環が完成されていない構造であれば、架橋がうまく進まず、フェノール樹脂による硬化や、イミダゾール等の塩基性触媒によるアニオン重合、オニウム塩等によるカチオン重合を行った際に、その機械特性や吸水性といった特性において課題が生じる場合が多い。特に電子材料用途においてはこれらの硬化だけでなく、アミン系の硬化においても硬化時の塩素の遊離が起因となる配線の腐食等が予想され、電気信頼性を落とす要因となる。
近年特に半導体のチップと基板との接合に銅のワイヤを使用することが多くなってきており、このような電気腐食の課題はいっそう重要となっており、解決すべき課題点となる。
さらに本特許文献1に記載のエポキシ樹脂はその分子内の極性の問題から粘度が高くなる。さらには構造の特性から機械強度や密着性が悪くなるという傾向があり、半導体の封止材等の用途への展開が難しい状態であった。
Rで最も好ましいのは水素原子である。Rが示す、上記炭素数1〜6のアルキル基としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基等の直鎖、分岐鎖または環状構造を有するアルキル基が挙げられる。ここで、Rはメチル基、エチル基が好ましく、メチル基が特に好ましい。
Rが示す、炭素数1〜6のアルコキシ基としては、例えば、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、ブトキシ基等の直鎖、分岐鎖または環状構造を有するアルコキシ基が挙げられる。ここで、Rはメトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基が好ましく、メトキシ基が特に好ましい。
また、本発明のエポキシ樹脂に含有されている全塩素としては5000ppm以下が好ましく、より好ましくは3000ppm以下、特に好ましくは2000ppm以下である。塩素量による悪影響については前述と同様である。なお、塩素イオン、ナトリウムイオンについては各々5ppm以下が好ましく、より好ましくは3ppm以下である。塩素イオンは先に記載し、いうまでも無いが、ナトリウムイオン等のカチオンも、特にパワーデバイス用途においては非常に重要なファクターとなり、高電圧がかかった際の不良モードの一因となる。
ここで、理論エポキシ当量とは、原料であるフェノール化合物のフェノール性水酸基が過不足なくグリシジル化した時に算出されるエポキシ当量を示す。
また、具体的なエポキシ当量の値としては、Rが全て水素原子の場合、210.0g/eq.〜280.0g/eq.が好ましく、220.0g/eq.〜250.0g/eq.が特に好ましい。エポキシ当量が上記範囲内にあることで、硬化物の耐熱性、電気信頼性に優れたエポキシ樹脂を得ることができる。
また、溶融粘度は0.08〜0.35Pa・s(ICI 溶融粘度 150℃ コーンプレート法)、より好ましくは0.08〜0.3Pa・s、特に好ましくは0.08〜0.25Pa・sである。無機材料(フィラー等)を混合して用いる場合、流動性が悪い等の課題が生じる。
本発明のエポキシ樹脂混合物は、前記式(1)で表される化合物とビフェノールのエポキシ化物を所定の比率で混合しても構わないが、下記式(4)で表されるフェノール化合物(DPPI)とビフェノールの混合物とエピハロヒドリンとの反応によって合成してもよい。
ここで、前記各種フェノール類としては、例えば、フェノール、クレゾール、エチルフェノール、プロピルフェノール、キシレノール、メチルブチルフェノールなどが挙げられる。本発明においてはフェノールフタレインの使用が好ましい。
また、前記合成により得られるフェノールフタレイン誘導体としては、例えば下記式(2)で表される構造が挙げられる。
残存フェノールフタレイン誘導体の量はDPPIの精製(洗浄、再結晶、再沈殿等)によって調整可能である。
また、本発明において使用されるDPPIは、軟化点が100℃以上であることが好ましい。軟化点が100℃以上であることで、生成するエポキシ樹脂混合物の耐熱性に寄与する。特に本発明において使用されるDPPIは融点を有することが好ましく、その融点が200℃以上であることが好ましい。
前記式(5)で表される構造のビフェノールは、例えば2,2’体、2,4’体、4,4’体等が存在するが、中でも4,4’体のビフェノールが好ましい。
また、純度は95%以上のものが好適に使用できる。
3.0モルを下回るとエポキシ当量が大きくなることがあり、また、できたエポキシ樹脂の作業性が悪くなる可能性がある。15モルを超えると溶剤量が多量となるため、廃棄物、生産性の面で好ましくない。
アルカリ金属水酸化物の使用量は原料の本発明で用いられるフェノール混合物の水酸基1モルに対して通常0.90〜1.5モルであり、好ましくは0.95〜1.25モル、より好ましくは0.99〜1.15モルである。
系中の水分が多い場合には、得られたエポキシ樹脂混合物の硬化物において電気信頼性が悪くなることがあり、水分は5%以下にコントロールして合成することが好ましい。また、非極性プロトン溶媒を使用してエポキシ樹脂を得た際には、電気信頼性に優れるエポキシ樹脂の硬化物が得られるため、非極性プロトン溶媒は好適に使用できる。
これらのエポキシ化反応の反応物を水洗後、または水洗無しに加熱減圧下でエピハロヒドリンや溶媒等を除去する。また更に加水分解性ハロゲンの少ないエポキシ樹脂混合物とするために、回収したエポキシ化物を炭素数4〜7のケトン化合物(たとえば、メチルイソブチルケトン、メチルエチルケトン、シクロペンタノン、シクロヘキサノン等が挙げられる。)を溶剤として溶解し、水酸化ナトリウム、水酸化カリウムなどのアルカリ金属水酸化物の水溶液を加えて反応を行い、閉環を確実なものにすることも出来る。この場合アルカリ金属水酸化物の使用量はエポキシ化に使用した本発明で用いられるフェノール混合物の水酸基1モルに対して通常0.01〜0.3モル、好ましくは0.05〜0.2モルである。反応温度は通常50〜120℃、反応時間は通常0.5〜2時間である。
また、ビフェノールのみをエポキシ化した場合と比較して、このような製法で得られたエポキシ樹脂混合物は結晶性が低いため、精製が容易に行えることから残存塩素量が少ないエポキシ樹脂混合物を得ることが容易となる。
硬化促進剤は、エポキシ樹脂100に対して0.01〜5.0重量部が必要に応じ用いられる。
本発明においては特に電子材料用途に使用するため、前述のフェノール樹脂が好ましい。
半導体装置とは前述に挙げるICパッケージ群となる。
本発明の半導体装置は、パッケージ基板や、ダイなどの支持体に設置したシリコンチップを本発明のエポキシ樹脂組成物で封止することで得られる。成型温度、成型方法については前述のとおりである。
以下に実施例で用いた各種分析方法について記載する。
エポキシ当量: JIS K 7236 (ISO 3001) に準拠
ICI溶融粘度: JIS K 7117−2 (ISO 3219) に準拠
軟化点: JIS K 7234 に準拠
全塩素: JIS K 7243−3 (ISO 21672−3) に準拠
塩素イオン: JIS K 7243−1 (ISO 21672−1) に準拠
GPC:
カラム(Shodex KF−603、KF−602x2、KF−601x2)
連結溶離液はテトラヒドロフラン
流速は0.5ml/min.
カラム温度は40℃
検出:RI(示差屈折検出器)
ガラス転移点(Tg):
TMA 熱機械測定装置 TA−instruments製、Q400EM
測定温度範囲:40℃〜280℃
昇温速度:2℃/分
撹拌機、還流冷却管、撹拌装置を備えた1Lの4つ口フラスコにフェノール化合物(DPPI1)(前記式(4)において置換基Rがすべて水素原子の化合物 SABIC PPPBP)137.7部、ビフェノール27.9部、エピクロロヒドリン555部、ジメチルスルホキシド139部を加え、水浴を50℃にまで昇温した。内温が45℃を越えたところでフレーク状の水酸化ナトリウム44部を90分かけて分割添加した後、更に45℃で2時間、70℃で1時間後反応を行った。反応終了後水洗を行い、油層からロータリーエバポレータを用いて140℃で減圧下、過剰のエピクロルヒドリン等の溶剤を留去した。残留物にメチルイソブチルケトン505部を加え溶解し、水洗により生成した塩化ナトリウム等を除去後、有機層を70℃にまで昇温し、撹拌下で30重量%の水酸化ナトリウム水溶液20部を加え、1時間反応を行った後、洗浄水が中性になるまで水洗を行い、得られた溶液を、ロータリーエバポレータを用いて180℃で減圧下にメチルイソブチルケトン等を留去することで本発明のエポキシ樹脂混合物(EP1)を210部得た。得られたエポキシ樹脂混合物のエポキシ当量は226g/eq.、軟化点が92℃、ICI溶融粘度0.15Pa・s(150℃)、全塩素量505ppm、加水分解性塩素480ppm、塩素イオン0.1ppm、ナトリウムイオン0.1ppmであった。また前記式(1)の化合物は72面積%(GPC)、ビフェノールのエポキシ化物は16面積%(GPC)であった。さらに、前記式(1)の化合物(a)とビフェノールのエポキシ化物(b)は重量比で(a)/(b)=4.5、モル比率で2.64である。他構造については前記式(4)の化合物同士、ビフェノール同士、前記式(4)とビフェノールが混在して結合した化合物を含むものであった。
撹拌機、還流冷却管、撹拌装置を備えた1Lの4つ口フラスコにフェノール化合物(DPPI1)(前記式(4)において置換基Rがすべて水素原子の化合物 SABIC PPPBP)295部、エピクロロヒドリン971部、ジメチルスルホキシド165部を加え、水浴を45℃にまで昇温した。内温が40℃を越えたところでフレーク状の水酸化ナトリウム66部を90分かけて分割添加した後、更に45℃2時間、70℃で1時間後反応を行った。反応終了後水洗を行い、油層からロータリーエバポレータを用いて140℃で減圧下、過剰のエピクロルヒドリン等の溶剤を留去した。残留物にメチルイソブチルケトン760部を加え溶解し、水洗により生成した塩化ナトリウム等を除去後、有機層を70℃にまで昇温し、撹拌下で30重量%の水酸化ナトリウム水溶液30部を加え、1時間反応を行った後、洗浄水が中性になるまで水洗を行い、得られた溶液を、ロータリーエバポレータを用いて180℃で減圧下にメチルイソブチルケトン等を留去することで前記式(1)で表される構造を有するエポキシ樹脂(EP4)を353部得た。得られたエポキシ樹脂のエポキシ当量は267g/eq.、軟化点が99℃、ICI溶融粘度0.91Pa・s(150℃)、全塩素量540ppm、加水分解性塩素430ppm、塩素イオン0.1ppm、ナトリウムイオン0.1ppmであった。また前記式(1)の構造の化合物は88面積%(GPC)、残り12面積%は前記式(4)の構造の化合物同士が結合した化合物を含むものであった。
実施例1で得られた本発明のエポキシ樹脂混合物(EP1)と比較用のエポキシ樹脂(EP2;フェノール-ビフェニレンアラルキル型エポキシ樹脂 日本化薬株式会社製 NC−3000、EP3;トリスフェノールメタン型エポキシ樹脂 日本化薬株式会社製 EPPN−502H)、を使用し、エポキシ樹脂と硬化剤(フェノールノボラック(明和化成工業(株)製 H−1)またはフェノールアラルキル樹脂(三井化学(株)製 ミレックスXLC−3L))を等当量で配合し、硬化触媒(硬化促進剤、トリフェニルホスフィン(北興化学(株)製 TPP))と必要に応じてフィラー(溶融シリカ 瀧森製 MSR−2122 表中のフィラー量%はエポキシ樹脂組成物全体に対する割合)を入れ、ミキシングロールを用いて均一に混合・混練し、封止用エポキシ樹脂組成物を得た。このエポキシ樹脂組成物をミキサーにて粉砕し、更にタブレットマシーンにてタブレット化した。このタブレット化された本発明及び比較用のエポキシ樹脂組成物をトランスファー成型(175℃×60秒)し、更に脱型後160℃×2時間+180℃×6時間の条件で硬化、評価用試験片を得た。
なお、硬化物の物性は以下の要領で測定した。また、硬化物の物性の評価項目によって、使用する硬化剤種は下記表1の通りとし、硬化促進剤の使用量は、耐熱性及び収縮率の評価に使用する試料ではエポキシ樹脂重量に対し1%とし、難燃性の評価に使用する試料ではエポキシ樹脂重量に対し2%とした。
JISK−6911(成型収縮率)に準拠
<難燃性試験>
・難燃性の判定:UL94に準拠して行った。ただし、サンプルサイズは幅12.5mm×長さ150mmとし、厚さは0.8mmで試験を行った。
・残炎時間:5個1組のサンプルに10回接炎したあとの残炎時間の合計
実施例1で得られた本発明のエポキシ樹脂混合物(EP1)と合成例1で得られた比較用のエポキシ樹脂(EP4)を使用し、エポキシ樹脂と硬化剤(フェノールノボラック(明和化成工業(株)製 H−1)またはフェノールアラルキル樹脂(三井化学(株)製 ミレックスXLC−3L))を等当量で配合し、硬化触媒(硬化促進剤、トリフェニルホスフィン(北興化学(株)製 TPP))と必要に応じてフィラー(溶融シリカ 瀧森製 MSR−2122 表中のフィラー量%はエポキシ樹脂全体に対する割合)を入れ、ミキシングロールを用いて均一に混合・混練し、封止用エポキシ樹脂組成物を得た。このエポキシ樹脂組成物をミキサーにて粉砕し、更にタブレットマシーンにてタブレット化した。このタブレット化された本発明及び比較用のエポキシ樹脂組成物をトランスファー成型(175℃×60秒)し、更に脱型後160℃×2時間+180℃×6時間の条件で硬化、評価用試験片を得た。
なお、硬化物の物性は以下の要領で測定した。また、硬化物の物性の評価項目によって、使用する硬化剤種は下記表2の通りとし、硬化促進剤の使用量は、耐熱性、機械強度及び密着性の評価に使用する試料ではエポキシ樹脂重量に対し1%とし、難燃性の評価に使用する試料ではエポキシ樹脂重量に対し2%とした。
・熱機械測定装置 TA−instruments製、Q400EM
・測定温度範囲:40℃〜280℃
・昇温速度:2℃/分
<曲げ試験>
・JIS K 6911に準拠 室温と120℃でテストを行った。
<ピール強度>
・180℃剥離試験 JIS K−6854−2に準拠 圧延銅箔使用
<難燃性試験>
・難燃性の判定:UL94に準拠して行った。ただし、サンプルサイズは幅12.5mm×長さ150mmとし、厚さは0.8mmで試験を行った。
・残炎時間:5個1組のサンプルに10回接炎したあとの残炎時間の合計
撹拌機、還流冷却管、撹拌装置を備えたフラスコにフェノール化合物(DPPI1)(前記式(4)において置換基Rがすべて水素原子の化合物 SABIC PPPBP)256部、エピクロロヒドリン971部、ベンジルトリメチルアンモニウムクロライド3部を加え、水浴を70℃にまで昇温した。ここに49%水酸化ナトリウム水溶液100部を90分かけて滴下した後、更に70℃で4時間後反応を行った。反応終了後水洗を行い、油層からロータリーエバポレータを用いて140℃で減圧下、過剰のエピクロルヒドリン等の溶剤を留去することで前記式(1)で表される構造を有するエポキシ樹脂(EP5)を290部得た。得られた前記式(1)で表される構造を有するエポキシ樹脂のエポキシ当量は297g/eq.、軟化点が95℃、ICI溶融粘度0.70Pa・s(150℃)、全塩素量10450ppm、加水分解性塩素9700ppmであった。
実施例1で得られた本発明のエポキシ樹脂混合物(EP1)と合成例2で得られた比較用のエポキシ樹脂(EP5)用い、エポキシ樹脂と硬化剤(フェノールノボラック(明和化成工業(株)製 H−1))を等当量で配合し、硬化触媒(硬化促進剤)としてトリフェニルフォスフィン(北興化学(株)製 TPP)をエポキシ樹脂の重量に対し、1%添加し、ミキシングロールを用いて均一に混合・混練し、封止用エポキシ樹脂組成物を得た。このエポキシ樹脂組成物をミキサーにて粉砕し、更にタブレットマシーンにてタブレット化した。このタブレット化されたエポキシ樹脂組成物をトランスファー成型(175℃×60秒)し、更に脱型後160℃×2時間+180℃×6時間の条件で硬化、評価用試験片を得た。
なお、硬化物の物性は以下の要領で測定した。
・熱機械測定装置 TA−instruments製、Q400EM
・測定温度範囲:40℃〜280℃
・昇温速度:2℃/分
撹拌機、還流冷却管、撹拌装置を備えたフラスコにビフェノール100部、エピクロロヒドリン971部、メタノール97部を加え、水浴を70℃にまで昇温した。ここにフレーク状の水酸化ナトリウム41部を90分かけて分割添加した後、更に70℃で1時間後反応を行った。反応後、析出したエポキシ樹脂と塩化ナトリウムとの混合物を溶剤類から濾別した。70℃の温水200部で5回洗浄し、乾燥することで、前記式(5)で表されるビフェノール型のエポキシ樹脂(EP7)を121部得た。
得られたエポキシ樹脂(EP7)と合成例1で得られたエポキシ樹脂(EP4)を、それぞれ20部と80部の割合でテトラヒドロフラン300部に加え、そのままロータリーエバポレータにて180℃で減圧下にテトラヒドロフランを留去することで本発明のエポキシ樹脂混合物(EP8)を得た。得られたエポキシ樹脂混合物(EP8)は半晶状であり、そのエポキシ当量は247g/eq.、軟化点が95℃、ICI溶融粘度0.18Pa・s(150℃)、全塩素量 1820ppm、加水分解性塩素 1670ppmであった。
前記実施例1で得られたエポキシ樹脂混合物(EP1)及び、実施例5で得られたエポキシ樹脂(EP8)を使用し、エポキシ樹脂と硬化剤(フェノールアラルキル樹脂(日本化薬(株)製 KAYAHARD GPH−65))を等当量で配合し、硬化触媒(硬化促進剤、トリフェニルホスフィン(北興化学(株)製 TPP)をエポキシ樹脂の重量に対し2%添加)と必要に応じてフィラー(溶融シリカ 瀧森製 MSR−2122 表中のフィラー量%はエポキシ樹脂組成物全体に対する割合)を入れ、ミキシングロールを用いて均一に混合・混練し、封止用エポキシ樹脂組成物を得た。このエポキシ樹脂組成物をミキサーにて粉砕し、更にタブレットマシーンにてタブレット化した。このタブレット化されたエポキシ樹脂組成物をトランスファー成型(175℃×60秒)し、更に脱型後160℃×2時間+180℃×6時間の条件で硬化、評価用試験片を得た。
なお、硬化物の物性は以下の要領で測定した。
・熱機械測定装置 TA−instruments製、Q400EM
・測定温度範囲:40℃〜280℃
・昇温速度:2℃/分
<難燃性試験>
・難燃性の判定:UL94に準拠して行った。ただし、サンプルサイズは幅12.5mm×長さ150mmとし、厚さは0.8mmで試験を行った。
・残炎時間:5個1組のサンプルに10回接炎したあとの残炎時間の合計
撹拌機、還流冷却管、撹拌装置を備えた1Lの4つ口フラスコにフェノール化合物(イギリス特許1,158,606 example7に記載の手法に準拠して合成 純度99%以上 残留フェノールフタレイン14ppm、鉄分<5ppm、融点289-290℃)137.7部、ビフェノール27.9部、エピクロロヒドリン470部、ジメチルスルホキシド120部を加え、水浴を50℃にまで昇温した。内温が45℃を越えたところでフレーク状の水酸化ナトリウム44部を90分かけて分割添加した後、更に45℃で2時間、70℃で1時間後反応を行った。反応終了後、ロータリーエバポレータを用いて140℃で減圧下、過剰のエピクロルヒドリン等の溶剤を留去した。残留物にメチルイソブチルケトン505部を加え溶解し、水洗により生成した塩化ナトリウム等を除去後、有機層を70℃にまで昇温し、撹拌下で30重量%の水酸化ナトリウム水溶液10部を加え、1時間反応を行った後、洗浄水が中性になるまで水洗を行い、得られた溶液を、ロータリーエバポレータを用いて180℃で減圧下にメチルイソブチルケトン等を留去することで本発明のエポキシ樹脂混合物(EP13)を205部得た。得られたエポキシ樹脂混合物のエポキシ当量は236g/eq.、軟化点が92℃、ICI溶融粘度0.15Pa・s(150℃)、全塩素量 309ppm、加水分解性塩素 278ppm、塩素イオン0.1ppm、ナトリウムイオン0.1ppmであった。また前記式(1)の化合物の含有割合は65面積%(GPC)、ビフェノールのエポキシ化物の含有割合は15面積%(GPC)であった。さらに、前記式(1)の化合物(a)とビフェノールのエポキシ化物(b)は重量比で(a)/(b)=4.3、モル比率で2.55である。他構造については前記式(1)の化合物同士、ビフェノール同士、前記式(1)の化合物とビフェノールが混在して結合した化合物を含むものであった。
撹拌機、還流冷却管、撹拌装置を備えた1Lの4つ口フラスコにフェノール化合物(イギリス特許1,158,606 example7に記載の手法に準拠して合成 純度99%以上 残留フェノールフタレイン14ppm、鉄分<5ppm、融点289-290℃)125.7部、ビフェノール33.6部、エピクロロヒドリン463部、ジメチルスルホキシド116部を加え、水浴を50℃にまで昇温した。内温が45℃を越えたところでフレーク状の水酸化ナトリウム44部を90分かけて分割添加した後、更に45℃で2時間、70℃で1時間後反応を行った。反応終了後、ロータリーエバポレータを用いて140℃で減圧下、過剰のエピクロルヒドリン等の溶剤を留去した。残留物にメチルイソブチルケトン505部を加え溶解し、水洗により生成した塩化ナトリウム等を除去後、有機層を70℃にまで昇温し、撹拌下で30重量%の水酸化ナトリウム水溶液10部を加え、1時間反応を行った後、洗浄水が中性になるまで水洗を行い、得られた溶液を、ロータリーエバポレータを用いて180℃で減圧下にメチルイソブチルケトン等を留去することで本発明のエポキシ樹脂混合物(EP14)を195部得た。得られたエポキシ樹脂混合物のエポキシ当量は225g/eq.、軟化点が81℃、ICI溶融粘度0.09Pa・s(150℃)、全塩素量 377ppm、加水分解性塩素 281ppm、塩素イオン0.1ppm、ナトリウムイオン0.1ppmであった。また前記式(1)の化合物の含有割合は63面積%(GPC)、ビフェノールのエポキシ化物の含有割合は19面積%(GPC)であった。さらに、前記式(1)の化合物(a)とビフェノールのエポキシ化物(b)は重量比で(a)/(b)=3.3、モル比率で1.96である。他構造については前記式(1)の化合物同士、ビフェノール同士、前記式(1)の化合物とビフェノールが混在して結合した化合物を含むものであった。
撹拌機、還流冷却管、撹拌装置を備えた1Lの4つ口フラスコにフェノール化合物(イギリス特許1,158,606 example7に記載の手法に準拠して合成 純度99%以上 残留フェノールフタレイン14ppm、鉄分<5ppm、融点289-290℃)151.5部、ビフェノール21.4部、エピクロロヒドリン463部、ジメチルスルホキシド116部を加え、水浴を50℃にまで昇温した。内温が45℃を越えたところでフレーク状の水酸化ナトリウム44部を90分かけて分割添加した後、更に45℃で2時間、70℃で1時間後反応を行った。反応終了後、ロータリーエバポレータを用いて140℃で減圧下、過剰のエピクロルヒドリン等の溶剤を留去した。残留物にメチルイソブチルケトン505部を加え溶解し、水洗により生成した塩化ナトリウム等を除去後、有機層を70℃にまで昇温し、撹拌下で30重量%の水酸化ナトリウム水溶液10部を加え、1時間反応を行った後、洗浄水が中性になるまで水洗を行い、得られた溶液を、ロータリーエバポレータを用いて180℃で減圧下にメチルイソブチルケトン等を留去することで本発明のエポキシ樹脂混合物(EP15)を210部得た。得られたエポキシ樹脂混合物のエポキシ当量は248g/eq.、軟化点が83℃、ICI溶融粘度0.31Pa・s(150℃)、全塩素量 410ppm、加水分解性塩素 299ppm、塩素イオン0.1ppm、ナトリウムイオン0.1ppmであった。また前記式(1)の化合物の含有割合は72面積%(GPC)、ビフェノールのエポキシ化物の含有割合は12面積%(GPC)であった。さらに、前記式(1)の化合物(a)とビフェノールのエポキシ化物(b)は重量比で(a)/(b)=6.0、モル比率で3.56である。他構造については前記式(1)の化合物同士、ビフェノール同士、前記式(1)の化合物とビフェノールが混在して結合した化合物を含むものであった。
実施例8〜10で得られたエポキシ樹脂混合物(EP13、14、15)、比較用のエポキシ樹脂EP10〜12(EP10: 日本化薬製 オルソクレゾールノボラックエポキシ樹脂 EOCN-1020-70、EP11: 三菱化学製 ビフェニルタイプエポキシ樹脂 YX-4000H、EP12: 日本化薬製 ビフェニルアラルキルエポキシ樹脂 NC-3000)を使用し、エポキシ樹脂と硬化剤(フェノールノボラック:明和化成工業製 H-1)を等当量で配合し、硬化促進剤としてトリフェニルフォスフィンをエポキシ樹脂の重量に対し、1%添加し、ミキシングロールを用いて均一に混合・混練し、封止用エポキシ樹脂組成物を得た。このエポキシ樹脂組成物をミキサーにて粉砕し、更にタブレットマシーンにてタブレット化した。このタブレット化されたエポキシ樹脂組成物をトランスファー成型(175℃×60秒)し、更に脱型後160℃×2時間+180℃×6時間の条件で硬化、評価用試験片を得た。
なお、硬化物の物性は以下の要領で測定した。
動的粘弾性測定器:TA−instruments、DMA−2980
測定温度範囲:−30〜280℃
温速度:2℃/分
試験片サイズ:5mm×50mmに切り出した物を使用した(厚みは約800μm)
Tg:Tan−δのピーク点をTgとした。
実施例11〜13及び比較例10において、硬化剤をビフェニルタイプフェノールアラルキル樹脂(日本化薬製 KAYAHARD GPH-65)に変更した以外は同様の操作を行った。
実施例8で得られたエポキシ樹脂混合物(EP13)と比較用のエポキシ樹脂(EP16;トリスフェノールメタン型エポキシ樹脂 日本化薬株式会社製 EPPN−501H)、を使用し、各々のエポキシ樹脂と硬化剤(ビフェニルタイプフェノールアラルキル樹脂: 軟化点73℃ 日本国特開2003-113225 実施例1に記載の手法を用いて合成 水酸基当量 207g/eq.)を等当量で配合し、硬化促進剤としてトリ-p-トリルフォスフィン(エポキシ樹脂重量に対し、1%)を添加し、ミキシングロールを用いて均一に混合・混練し、封止用エポキシ樹脂組成物を得た。このエポキシ樹脂組成物をミキサーにて粉砕し、更にタブレットマシーンにてタブレット化した。このタブレット化されたエポキシ樹脂組成物をトランスファー成型(175℃×60秒)し、更に脱型後160℃×2時間+180℃×6時間の条件で硬化、評価用試験片を得、下記の測定を行なった。
熱機械測定装置 TA−instruments製、Q400EM
測定温度範囲:40℃〜280℃
昇温速度:2℃/分
動的粘弾性測定器:TA−instruments製、DMA−2980
測定温度範囲:−30℃〜280℃
温速度:2℃/分
試験片サイズ:5mm×50mmに切り出した物を使用した(厚みは約800μm)。
解析条件Tg:DMA測定に於けるTanδのピーク点(tanδMAX)をTgとした。
得られた試験片の一部をサイクルミルにより粉砕し、粉状とし、篩にかけ100μmメッシュ通過、75μmメッシュオンの粒径にそろえ、5-10mgのサンプルをとり、TG-DTAで熱重量減少温度を確認した。5%の重量減少温度を指標とした。
TG−DTAにて測定(Td5)
測定サンプル :粉状 (100μmメッシュ通過、 75μmメッシュオン) 5-10mg
測定条件 : 昇温速度 10℃/ min Air flow 200ml/min5%重量減少温度を測定した。
撹拌機、還流冷却管、撹拌装置を備えた1Lの4つ口フラスコにフェノール化合物(イギリス特許1,158,606 example7に記載の手法に準拠して合成 純度99%以上 残留フェノールフタレイン14ppm、鉄分<5ppm、融点289-290℃)138部、ビフェノール28部、エピクロロヒドリン463部、ジメチルスルホキシド115部を加え、水浴を50℃にまで昇温した。内温が45℃を越えたところでフレーク状の水酸化ナトリウム44部を90分かけて分割添加した後、更に45℃で2時間、70℃で1時間後反応を行った。反応終了後、ロータリーエバポレータを用いて140℃で減圧下、過剰のエピクロルヒドリン等の溶剤を留去した。残留物にメチルイソブチルケトン505部を加え溶解し、水洗により生成した塩化ナトリウム等を除去後、有機層を70℃にまで昇温し、撹拌下で30重量%の水酸化ナトリウム水溶液10部を加え、1時間反応を行った後、洗浄水が中性になるまで水洗を行い、得られた溶液を、ロータリーエバポレータを用いて180℃で減圧下にメチルイソブチルケトン等を留去することでエポキシ樹脂(EP17)を189部得た。得られたエポキシ樹脂のエポキシ当量は241g/eq.、軟化点が85.3℃、ICI溶融粘度0.15Pa・s(150℃)、全塩素量 460ppm、加水分解性塩素 394ppm、塩素イオン0.6ppm、ナトリウムイオン0.7ppmであった。また前記式(1)の構造は69.5面積%(GPC)、ビフェノールのエポキシ化物は15.0面積%(GPC)であった。さらに、前記式(1)の化合物(a)とビフェノールのエポキシ化物(b)は重量比で(a)/(b)=4.6、モル比率2.73である。他構造については前記式(1)の化合物同士、ビフェノール同士、前記式(1)の化合物とビフェノールが混在して結合した化合物を含むものであった。
撹拌機、還流冷却管、撹拌装置を備えた1Lの4つ口フラスコにフェノール化合物(イギリス特許1,158,606 example7に記載の手法に準拠して合成 純度99%以上 残留フェノールフタレイン14ppm、鉄分<5ppm、融点289-290℃)126部、ビフェノール34部、エピクロロヒドリン463部、ジメチルスルホキシド116部を加え、水浴を50℃にまで昇温した。内温が45℃を越えたところでフレーク状の水酸化ナトリウム43部を90分かけて分割添加した後、更に45℃で2時間、70℃で1時間後反応を行った。反応終了後、ロータリーエバポレータを用いて140℃で減圧下、過剰のエピクロルヒドリン等の溶剤を留去した。残留物にメチルイソブチルケトン600部を加え溶解し、水洗により生成した塩化ナトリウム等を除去後、有機層を70℃にまで昇温し、撹拌下で30重量%の水酸化ナトリウム水溶液10部を加え、1時間反応を行った後、洗浄水が中性になるまで水洗を行い、得られた溶液を、ロータリーエバポレータを用いて180℃で減圧下にメチルイソブチルケトン等を留去することでエポキシ樹脂(EP18)を190部得た。得られたエポキシ樹脂のエポキシ当量は235g/eq.、軟化点が93.0℃、ICI溶融粘度0.09Pa・s(150℃)、全塩素量 467ppm、加水分解性塩素 388ppm、塩素イオン0.3ppm、ナトリウムイオン0.4ppmであった。また前記式(1)の構造は65.0面積%(GPC)、ビフェノールのエポキシ化物は18.6面積%(GPC)であった。さらに、前記式(1)の化合物(a)とビフェノールのエポキシ化物(b)は重量比で(a)/(b)=3.5、モル比率2.08である。他構造については前記式(1)の化合物同士、ビフェノール同士、前記式(1)の化合物とビフェノールが混在して結合した化合物を含むものであった。
撹拌機、還流冷却管、撹拌装置を備えた1Lの4つ口フラスコにフェノール化合物(イギリス特許1,158,606 example7に記載の手法に準拠して合成 純度99%以上 残留フェノールフタレイン14ppm、鉄分<5ppm、融点289-290℃)102部、ビフェノール45部、エピクロロヒドリン462部、ジメチルスルホキシド116部を加え、水浴を50℃にまで昇温した。内温が45℃を越えたところでフレーク状の水酸化ナトリウム44部を90分かけて分割添加した後、更に45℃で2時間、70℃で1時間後反応を行った。反応終了後、ロータリーエバポレータを用いて140℃で減圧下、過剰のエピクロルヒドリン等の溶剤を留去した。残留物にメチルイソブチルケトン505部を加え溶解し、水洗により生成した塩化ナトリウム等を除去後、有機層を70℃にまで昇温し、撹拌下で30重量%の水酸化ナトリウム水溶液10部を加え、1時間反応を行った後、洗浄水が中性になるまで水洗を行い、得られた溶液を、ロータリーエバポレータを用いて180℃で減圧下にメチルイソブチルケトン等を留去することでエポキシ樹脂(EP19)を177部得た。得られたエポキシ樹脂のエポキシ当量は220g/eq.、軟化点が109℃、ICI溶融粘度0.03Pa・s(150℃)、全塩素量 457ppm、加水分解性塩素 401ppm、塩素イオン0.9ppm、ナトリウムイオン0.8ppmであった。また前記式(1)の構造は58.0面積%(GPC)、ビフェノールのエポキシ化物は26.8面積%(GPC)であった。さらに、前記式(1)の化合物(a)とビフェノールのエポキシ化物(b)は重量比で(a)/(b)=2.2、モル比率1.31である。他構造については前記式(1)の化合物同士、ビフェノール同士、前記式(1)の化合物とビフェノールが混在して結合した化合物を主として含むものであった。
実施例18、19及び比較例13で得られたエポキシ樹脂混合物(EP17、EP18、EP19)を使用し、硬化剤としてビフェニルタイプフェノールアラルキル樹脂(日本化薬製 KAYAHARD GPH-65)を等当量で配合し、硬化促進剤(トリフェニルフォスフィン 北興化学製)をエポキシ樹脂の重量に対し1%添加し、ミキシングロールを用いて均一に混合・混練し、エポキシ樹脂組成物を得た。このエポキシ樹脂組成物をミキサーにて粉砕し、更にタブレットマシーンにてタブレット化した。このタブレット化されたエポキシ樹脂組成物をトランスファー成型(175℃×60秒)し、更に脱型後160℃×2時間+180℃×6時間の条件で硬化、評価用試験片を得た。
この評価用試験片を用いて、収縮率と耐熱性を評価した。収縮率は得られた成型物の金型との差を測定することによって成型収縮の大きさを確認した。耐熱性は以下の要領で測定した。
熱機械測定装置 TA−instruments製、Q400EM
測定温度範囲:40℃〜280℃
昇温速度:2℃/分
<硬化収縮>
JISK−6911(成型収縮率)に準拠
前述の実施例6の組成の本発明のエポキシ樹脂組成物において耐半田クラック性の試験を行った。表面が金属の銅製の図1に示す96PinQFP(チップサイズ:7×7×厚み0.1mm、パッケージサイズ:14×14×厚み1.35mm)リードフレーム(使用前にアセトンで十分に表面をふき、汚れを取った物を使用)耐半田クラック性評価用リードフレームとし、リードフレームをトランスファー成型金型にセットし、上記同様にしてタブレット化したエポキシ樹脂組成物をトランスファー成型(175℃×60秒)し、更に脱型後160℃×2時間+180℃×6時間の条件で硬化、耐半田クラック性の試験評価用試験片を3サンプル得た(図2)。得られた3つの試験片について60℃/85%RHの相対湿度に設定された恒温槽中に5時間放置し吸湿させ、さらにこの吸湿後、280℃×10秒間の半田リフロー試験を行った。この時の熱衝撃によって生じるパッケージクラックについて目視によってクラックの発生を確認したが、いずれのサンプルにもクラックは見当たらなかった。
実施例18、19で得られた本発明のエポキシ樹脂混合物(EP18、19)と硬化剤(フェノールノボラック(明和化成工業(株)製 H−1))を等当量で配合し、硬化触媒(硬化促進剤)としてトリフェニルフォスフィン(北興化学(株)製 TPP)をエポキシ樹脂の重量に対し、1%添加し、ミキシングロールを用いて均一に混合・混練し、封止用エポキシ樹脂組成物を得た。このエポキシ樹脂組成物をミキサーにて粉砕し、更にタブレットマシーンにてタブレット化した。このタブレット化されたエポキシ樹脂組成物をトランスファー成型(175℃×60秒)し、更に脱型後160℃×2時間+180℃×6時間の条件で硬化、評価用試験片を得た。評価結果を表9に示す。
耐熱性・寸法安定性(線膨張変化率)
熱機械測定装置 TA−instruments製、Q400EM
測定温度範囲:40℃〜280℃
昇温速度:2℃/分
動的粘弾性測定器:TA−instruments製、DMA−2980
測定温度範囲:−30℃〜280℃
温速度:2℃/分
試験片サイズ:5mm×50mmに切り出した物を使用した(厚みは約800μm)。
解析条件Tg:DMA測定に於けるTanδのピーク点(tanδMAX)をTgとした。
<誘電率、誘電正接>
空洞共振器を使用し、関東電子応用化学製 1GHz用の治具を用いて測定(0.5mmx70mmに切り出したものを使用)
<曲げ試験>
・JIS K 6911に準拠 室温で120℃でテストを行った
<ピール強度>
・180℃剥離試験 JIS K−6854−2に準拠 圧延銅箔使用
<吸水・吸湿率>
・85℃85%の高温高湿槽にて24時間放置後の重量増加%で評価
<KIC:破壊強靭性試験>
・コンパクテンション ASTME−399に準拠
なお、本出願は、2013年9月10日付で出願された日本国特許出願(特願2013−186859)及び2014年7月14日付で出願された日本国特許出願(特願2014−143791)に基づいており、その全体が引用により援用される。また、ここに引用されるすべての参照は全体として取り込まれる。
Claims (7)
- 軟化点が80〜100℃である請求項1に記載のエポキシ樹脂混合物。
- 150℃におけるICI溶融粘度(コーンプレート法)が0.08〜0.35Pa・sである請求項1又は請求項2に記載のエポキシ樹脂混合物。
- 請求項1〜3のいずれか一項に記載のエポキシ樹脂混合物と硬化剤を含有するエポキシ樹脂組成物。
- 請求項1〜3のいずれか一項に記載のエポキシ樹脂混合物と硬化触媒を含有するエポキシ樹脂組成物。
- 請求項4又は5に記載のエポキシ樹脂組成物を硬化した硬化物。
- 半導体チップを請求項4又は5に記載のエポキシ樹脂組成物を用いて封止して得られる半導体装置。
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