JP6346304B2 - 高純度流体輸送システムに適した可鍛性ガスケット - Google Patents

Description

本発明は、流体導管の各部分の間のジョイントの封止に用いられる可鍛性金属ガスケットに関する。

インターフェース構造と関連するガスケットとの多くの組み合わせは流体輸送システムの設計においてよく見られる。これらの構造包は、フランジ（ｆｌａｎｇｅ）と、封止蓋（ｇｌａｎｄｓ）と、部材連結部材と、様々なシステム部材が機械的に組み合わせられることにより相互連結される流体導管構造の配置が形成される他の部材とを備える。

代表的な流体輸送装置は、例えば、精密工業製品、石油製品、または半導体の製造によく用いられ、真空や圧力に対して耐用できるか、または純度が要求されるか、或いは複合的な上述の条件が要求される工業設備によく見られる。
部材中の流体導管は半導体製造設備内においてプロセス材料の制御に用いられ、通常は輸送される反応物を高純度に維持させねばならず、且つ一般的には、例えば、石油化学工場で使用される流体導管よりずっと小さい断面積を有する。多くの場合、従事者は金属ガスケットが優れた性能を有していることを見出し、特にプロセス流体または拡散される汚染物質はガスケットを通過させることで結果的に漏出が防止され、故に、金属ガスケットはポリマー材料よりもガスケットとして好ましい。

ある既知の流体導管のジョイントにはリング形状の平坦な金属ガスケットが使用され、前記ガスケットが、対向し合う装置部材の円形導管開孔を包囲させる同じ形状の２つの環状突起の間で圧迫される。環状突起は軸方向に沿って互いに向けて延伸され、これにより可鍛性を有する金属ガスケットの恒久的な塑性変形が引き起こされて、例えばヘリウム等の閉じ込めるのが難しい流体の漏出が封止される効果が発生する。
このジョイントの代表例としては、例えば、Ｃａｒｌｓｏｎ及びＷｈｅｅｌｅｒに発行されたアメリカ特許出願第３２０８７５８号明細書（Ｖａｒｉａｎ（登録商標）Ｃｏｎｆｌａｔ（登録商標）フランジとして知られる）、Ｃａｌｌａｈａ及びＷｅｎｎｅｒｓｔｒｏｍに発行されたアメリカ特許出願第３５２１９１０号明細書（Ｓｗａｇｅｌｏｋ（登録商標）ＶＣＲ（登録商標）付属品として知られる）、及びＨａｒｒａ並びにＮｙｓｔｒｏｍに発行されたアメリカ特許出願第４３０３２５１号明細書がある。

他の既知の流体導管のジョイントには複雑な形状のリング形状の平坦な金属ガスケットが使用され、前記ガスケットが対向し合う装置部材の円形導管開孔を包囲させる同じ形状の２つの環状突起の間で圧迫される。このジョイントの代表例としては、Ｌｅｉｇｈに発行されたアメリカ特許出願第４８５４５９７号明細書、ＭｃＧａｒｖｅｙに発行されたアメリカ特許出願第５５０５４６４号明細書、及びＯｈｍｉに発行されたアメリカ特許出願第６１３５１５５号明細書に記載されている（現在の工業界の人間には初期版のＷ形封止ジョイント形式が知られている）。
アメリカ特許出願第６１３５１５５号明細書によると、ジョイントが組み合わせられる際にガスケットの位置を維持させると共にガスケットを中心に維持させる単独の保持部材（ｒｅｔａｉｎｅｒ）が更に提供される。この単独の保持部材構造は同様に、Ｂａｒｂｅｒ及びＡｌｄｒｉｄｇｅに発行されたアメリカ特許出願第５６７３９４６号明細書及びアメリカ特許出願第５７５８９１０号明細書、並びにＯｈｍｉに発行されたアメリカ特許出願第７１４０６４７号明細書にも見られる。

他の既知の流体導管ジョイントとしては、工業界ではＣ形封止ジョイント形式と呼ばれるものがあり、複雑な形状を有するリング形状の金属ガスケットが使用される。このガスケットは相対し合う２つの装置部材の間に圧迫され、少なくとも１つの部材の表面にはガスケットが収容される円形ザグリ凹溝を有する。このジョイントの代表例としては、例えば、Ｎｉｃｈｏｌｓｏｎに発行されたアメリカ特許出願第５３５４０７２号明細書、Ｍａに発行されたアメリカ特許出願第６０４２１２１号明細書、Ｄｏｙｌｅに発行されたアメリカ特許出願第６３５７７６０号明細書及びアメリカ特許出願第６６８８６０８号明細書、並びにＳｐｅｎｃｅ及びＦｅｌｂｅｒに発行されたアメリカ特許出願第６４０９１８０号明細書に記載されている。
Ｓｐｅｎｃｅ及びＦｅｌｂｅｒに発行されたアメリカ特許出願第６４０９１８０号明細書には、ジョイントが組み合わせられる際にガスケットの位置を維持させると共にガスケットを中心に維持させる単独の保持部材（ｒｅｔａｉｎｅｒ）が更に公開されている。この単独の保持部材の構造は同様に、Ｓｗｅｎｓｅｎに発行されたアメリカ特許出願第５７３０４４８号明細書、Ｋｏｊｉｍａ及びＡｏｙａｍａに発行されたアメリカ特許出願第５９８４３１８号明細書、Ｄｏｙｌｅに発行されたアメリカ特許出願第６８４５９８４号明細書、及びＷｈｉｔｌｏｗに発行されたアメリカ特許出願第６９４５５３９号明細書にも見られる。

更に他の既知の流体導管ジョイントとしては、工業界ではＺ形封止と呼ばれるものが存在し、リング形状の金属ガスケットが使用される。このガスケットは相対し合う２つの装置部材の間に圧迫され、円形導管開孔を包囲させる接合の特徴によりガスケットを剪断させるコーナーが形成される。このコーナーによるジョイントの剪断については、本発明者であるＫｉｍ Ｎｇｏｃ Ｖｕに発行されたアメリカ特許出願第５８０３５０７号明細書及びアメリカ特許出願第６３９４１３８号明細書に記載されており、同様に保持部材構造が使用される。上述の全ての特許の全ての内容は均しく参照に組み入れられている。

前述の設計例の多くは、ジョイントが連結される前にガスケットの対向される面が擦過されるという相当大きなリスクが存在し、この損壊によりジョイントの漏出の防止という効果が失われた。単独の保持部材によりガスケットの中心位置調整が行われることにより、流体導管管路ポートとガスケットを通過させる中心導管との間で位置が一致するように合わせられるが、但し、不必要なコストが掛かる。半導体プロセスに用いられる幾つかの流体輸送システムにおいて、同時に多種類の導管のジョイントが使用される状況では、設備のメンテナンス担当者は、各種のガスケットを大量にストックしておかなければならない。

上述の状況に鑑み、本発明は自動的に中心位置調整が行われて封止領域が保護されることにより前述の問題を解決させる、容易に製造できる単品の可鍛性を有する金属ガスケットを提供する。
本発明に係るガスケットは環状部分であり、この環状部分は、前記リングの中心軸に関する特定の特徴を有し、且つ截面の輪郭の周囲を回転させることにより形成されるトーラスとして描写される。ガスケットは、例えば、旋盤またはねじ切り盤による固体原料の加工または管状の製造に利便に使用され、但し、例えば、打ち抜き加工や適切なアニーリングプロセスと結合される鋳造プロセス等の他のプロセスも考慮に入れられる。従事者ならば、塑造またはフッ素樹脂（ＰＦＡ）等の高分子材料で加工成型されるガスケットが使用されることにより、封止領域の保護及び自動で中心位置調整が行われるという長所を理解できるが、但し、プロセス流体や汚染物質の拡散に対する抵抗能力は減少してしまう。

ガスケットのトーラスは一般的に流体導管管路の内径に大方対応される内径、及び結合される装置部材により制限される外径を有する。ガスケットのトーラスはガスケットの中心の流体導管孔の軸に対して垂直になる第一軸方向端面封止領域を有し、第一軸方向端面封止領域は一般的に平坦である。ガスケットのトーラスは第一軸方向端面封止領域とは反対になる第二軸方向端面封止領域を更に有し、第二軸方向端面封止領域はガスケットの中心の流体導管孔の軸に対して垂直になり、第二軸方向端面封止領域も一般的には平坦である。第一軸方向端面封止領域により包囲される内側突起リップが十分に軸方向に延伸されることにより第一軸方向端面封止領域が保護され、且つ第一封止領域より小さい直径を有する。第二軸方向端面封止領域を包囲させる外側突起リップが十分に軸方向に延伸されることにより第二軸方向端面封止領域が保護され、且つ第二封止領域より大きい直径を有する。内側突起リップ及び外側突起リップは、隣接される封止領域を超えた適度な距離（例えば、０．０１０インチ）を軸方向に各自延伸される。内側突起リップ及び外側突起リップは最も多くのあらゆる凸面輪郭を有し、但し、滑らかな曲面になる最外周部分及びテーパー側は容易に機械加工可能であり、且つ半導体設備に一般的に使用されるクリーンルームの条件において、流体輸送装置が装設される際にガスケットに擦傷や引っ掻き傷がつく可能性を最小限にまで低める。ガスケットは旋盤またはねじ切り盤による円形棒原料等の固体原料の加工または管状の製造に利便に使用され、但し、例えば、打ち抜き加工や適切なアニーリングプロセスと結合される鋳造プロセス等の他のプロセスも考慮に入れられる。従事者ならば、塑造またはフッ素樹脂（ＰＦＡ）等の高分子材料で加工成型されるガスケットが使用されることにより、封止領域の保護及び自動で中心位置調整が行われるという長所を理解できるが、但し、プロセス流体や汚染物質の拡散に対する抵抗能力は減少してしまう。円形棒原料が使用される場合、その材料は、本発明では好ましくはステンレスまたはハステロイ（Ｈａｓｔｅｌｌｏｙ）（登録商標）Ｃ２７６やＣ２２等の他の適合する材料である。

コーナー剪断形式のジョイントと共に使用されるガスケットの平坦な第一軸方向端面封止領域の内径は、通常平坦な第二軸方向端面封止領域の外径とほぼ同じである。他の実施形態に係るガスケットの平坦な第一軸方向端面封止領域の内径は、通常平坦な第二軸方向端面封止領域の外径とほぼ同じである。他の実施形態に係るガスケットの平坦な第一軸方向端面封止領域の内径は、平坦な第二軸方向端面封止領域の外径より小さく、ＶＣＲ型のジョイントと一緒に使用しやすくなる。

本発明に係るガスケットの有用なバリエーションにはガスケット材料を貫通させる穴がなく、このため、隙間なく封止する作用により流体が流体導管を通過させるのを防止させることは本技術分野では周知のものである。本発明に係るガスケットの更なるバリエーションはガスケット材料を貫通させる１つまたは複数の穴を有し、大きな中央穴ではなく、流体が流体導管を通過させるのを減少或いは制限させることは本技術領域では周知である（アメリカ特許出願第７８７４２０８号明細書で使用されているコーナー剪断形式ジョイントのこの機能の応用例を参照）。

特に、本発明の実施形態において、高純度流体輸送システムに適した可鍛性ガスケットを提供する。ガスケットは、第一側と、反対の第二側と、外周部分とを備え、ガスケットは前記第一側に位置される内側突起リップ及び前記第二側に位置される外側突起リップを更に備える。前記内側突起リップ及び前記外側突起リップの周囲は互いに所定の間隔で離れる。実施形態に示すように、ガスケットは円形である。ガスケットは金属、または高分子材料で製造される。金属によるガスケットは円形棒の固体原料、例えば、ステンレスやハステロイが加工されることで製造される。

ガスケットの第一側は前記内側突起リップに外側向きに設置される平坦な第一封止領域を備え、ガスケットの前記第二側は前記外側突起リップに内側向きに設置される平坦な第二封止領域を備える。図示するように、ガスケットの第一側はガスケットの第二側の点対称となる。ガスケットの第一側は、内側突起リップの部分が形成される扇形部分と、扇形部分から延伸される外側向きのテーパー部分と、テーパー部分から外側向きに延伸されて平坦な第一封止領域に連接される滑らかな曲線とを更に含む。ガスケットの第二側は、前記外側突起リップの部分が形成される扇形部分と、扇形部分から延伸される内向きのテーパー部分と、テーパー部分から内向きに延伸されて平坦な第二封止領域に連接される滑らかな曲線とを更に含む。ガスケットは中央軸方向穴が定義される内周を有するトーラスで構成され、且つ各平坦な第一封止領域及び平坦な第二封止領域は中央軸方向穴に対してほぼ垂直になる。

ガスケットは、ジョイントを有する部材が組み合わせられることにより形成される流体導管中の封止配置に設置され、ジョイントは、ジョイントザグリ部分と、ジョイント溝部分と、ジョイントザグリ部分から延伸されるザグリコーナーと、ジョイント溝部分から延伸される溝部コーナーとを備える。また、内側突起リップによりガスケット及びジョイントザグリ部分の位置合わせが行われ、外側突起リップによりガスケット及びジョイント溝部分の位置合わせが行われ、ジョイントが完全に結合される場合、ザグリコーナーによりガスケットの第一封止領域が剪断され、溝部コーナーによりガスケットの第二封止領域が剪断される。

本発明の更なる特徴及び長所について、以下の説明に図面を合わせて参照することで最良の理解を促す。これらの図において、相似する部材の符号は相似する部分を表す。

本発明の一実施形態によるガスケットを示す上面図である。 図１ａに示すガスケットのＡ−Ａ線に沿った断面図である。 図１ａ及び図１ｂに示す一部のガスケットを示すコーナー図である。 図１ｂに示す“Ｂ”の一部分を示す拡大詳細図である。 平面隅せん断流体供給素子を有する部分の流体輸送システム及び本発明のガスケットを使用する上面図である。 図３ａに示すシステムのＡ−Ａ線に沿った断面図である。 図３ａ及び図３ｂにおけるシステムを示すコーナー断面図である。 図３ｂに示す“Ｃ”の一部分を示す拡大詳細図である。 陥凹及び平面隅せん断流体供給素子を有する部分の流体輸送システム及び本発明のガスケットを使用する上面図である。 図４ａに示すシステムのＡ−Ａ線に沿った断面図である。 図４ａ及び図４ｂにおけるシステムを示すコーナー断面図である。 図４ｂに示す“Ｄ”の一部分を示す拡大詳細図である。 他の陥凹のび平面隅せん断流体供給素子を有する部分の流体輸送システム及び本発明のガスケットを使用する上面図である。 図５ａに示すシステムのＡ−Ａ線に沿った断面図である。 図５ａ及び図５ｂにおけるシステムを示すコーナー断面図である。 図５ｂに示す“Ｅ”の一部分を示す拡大詳細図である。

図面を参照する。複数の図面及び実施形態において、相似する部材符号は同じまたは対応し合う部分を表し、図１ａ乃至図１ｃ及び図２には本発明の原理に基づいて構成されるガスケット１０の実施形態を示す。
ガスケット１０は内側突起リップ２０及び滑らかで真っ直ぐな中央の軸方向穴４０を有し、内側突起リップ２０は約３０度の外側向きのテーパー２１として始まる。約０．００７インチの軸方向長さに達すると、外側向きのテーパー２１は外側向き且つ半径約０．００６インチの滑らかな曲線に変換されて約９０度の扇形部分２２が形成され、次いで、反対の軸方向に４５度の角度を呈する外側向きのテーパー２３が始まる。
これにより外側向きのテーパー２１の開始箇所とほぼ同じ軸方向位置になり、外側向きのテーパー２３が更に滑らかな曲線２４に変わり、滑らかな曲線２４は更に外側向きになると共に半径が約０．００４インチとなり、平坦な第一軸方向端面領域３０に連接され、第一軸方向端面領域３０はガスケットの中央の軸方向穴４０の軸に垂直になり、中央の軸方向穴４０には流体導管孔が定義される。平坦な第一軸方向端面領域３０は径方向に外側向きに約０．００５インチ延伸され、続いて外側向きになる半径約０．０２０インチの滑らかな曲線に変換されて約９０度の扇形部分２６が形成される。ガスケット外径５０の垂直壁は中心軸線に平行する。

上述の実施形態において、ガスケット外径５０から変換される外側突起リップ６０の輪郭及び平坦な第二封止領域７０は対応される内側突起リップ２０及び平坦な第一軸方向端面領域３０の点対称である。ガスケット１０は滑らかな外径５０及び外側突起リップ６０を有し、外側突起リップ６０は約３０度の内向きのテーパー６１から始まる。約０．００７インチの軸方向長さに達すると、内向きのテーパー６１は内向きになる半径約０．００６インチの滑らかな曲線に変換され、約９０度の扇形部分６２が形成され、次いで、更に反対軸方向に沿って４５度を呈する内向きのテーパー６３が始まる。
約３０度の内向きのテーパー６１から始まる同じ軸方向の位置に達すると、内向きのテーパー６３が内向きになる半径約０．００４インチの滑らかな曲線６４へと変わり、且つ平坦な第二軸方向端面領域７０に連接され、第一軸方向端面領域３０は流体導管孔を定義されるガスケットの中央の軸方向穴４０の軸に垂直になる。平坦な第一軸方向端面領域３０は径方向に沿って外側向きに約０．００５インチに延伸され、続いて内向きになる半径約０．０２０インチの滑らかな曲線に変換されて約９０度の扇形部分６６が形成される。ガスケットの中央の軸方向穴４０の垂直壁は中心軸線に平行する。

第一封止領域３０と第二個封止領域７０との間の軸方向の間隔については、ガスケットが使用される対応される装置部材のサイズに適したものが選択される。実施形態において、約０．０５８インチの軸方向の間隔により、完全に結合された際にガスケットを約０．０１２インチ圧縮させる平面コーナー剪断形式のジョイントにガスケットが使用可能になる。ちなみに、コーナー剪断形式のジョイントの装設の特徴は、対応される装置部材の内側に凹む軸方向の様々な深度に位置され、同じ実施形態がこれらの異なる組み合わせに使用可能である。

ガスケット１０は、例えば旋盤またはねじ切り盤による円形棒原料等の固体原料の加工または管状の製造に利便に使用される。但し、打ち抜き加工や適切なアニーリングプロセスと結合される鋳造プロセス等の他のプロセスも考慮に入れられる。従事者ならば、塑造またはフッ素樹脂（ＰＦＡ）等の高分子材料で加工成型されるガスケットが使用されることにより、封止領域の保護及び自動で中心位置調整が行われるという長所を理解できるが、但し、プロセス流体や汚染物質の拡散に対する抵抗能力は減少してしまう。円形棒原料が使用される場合、その材料は、本発明では好ましくはステンレスまたはハステロイ（Ｈａｓｔｅｌｌｏｙ）Ｃ２７６やＣ２２等の他の適合する材料である。

図３ａ−３ｄに示すように、本発明に係るガスケット１０が平面コーナー剪断形式ジョイントと一緒に使用される装設の特徴は、アメリカ特許出願第５、８０３、５０７号明細書または６、３９４、１３８号明細書に記載のものと類似する。
内側突起リップ２０によりガスケット１０及びジョイントザグリ部分３２０の位置合わせが行われ、外側突起リップ６０によりガスケット１０及びジョイント溝部分３６０の位置合わせが行われる。ジョイントが完全に結合されると、ザグリコーナー（ｃｏｕｎｔｅｒｂｏｒｅ ｃｏｍｅｒ）３２２によりガスケットの第一封止領域３０が剪断され、溝部コーナー（ｇｒｏｏｖｅ ｐｏｒｔｉｏｎ ｃｏｍｅｒ）３６２によりガスケットの第二封止領域７０が剪断される。
ガスケットの中央の軸方向穴４０は上位部材導管ポート３６４と同じ直径を有し、上位部材導管ポート３６４の直径は通常下側部材導管ポート３２４の直径と同じである。この設計において、上位部材導管ポート３６４及び下側部材導管ポート３２４は通常コーナーの特徴３６２及び３２２を有し、ジョイント部材の平面にラッピング加工が施されることでより鋭利になり、上位部材導管ポート３６４及び下側部材導管ポート３２４のコーナーの特徴３６２及び３２２は互いに反対になるインターフェース表面３６５及び３２５に位置される必要がある。ジョイントは最も好ましくは、互いに反対になるインターフェース表面３６５及び３２５の間に厚いシム（ｔｈｉｃｋ ｓｈｉｍ）３１０が置かれた後に結合されることにより、ガスケット１０に必要な圧縮（通常は０．０１２インチ）が加えられるようになると共に全締結力が作用された際にハードストップが提供される。

図４ａ−４ｄに示すように、本発明に係るガスケット１０がコーナー剪断形式ジョイントと共に使用される装設の特徴について、幾つかの部材は内向きに凹んでいることを特徴はとする。前述のように、内側突起リップ２０によりガスケット１０及びジョイントザグリ部分４２０の位置合わせが行われ、外側突起リップ６０によりガスケット１０及びジョイント溝部分４６０の位置合わせが行われる。ジョイントが完全に結合されると、ザグリコーナー４２２によりガスケットの第一封止領域（ｆｉｒｓｔ ｓｅａｌｉｎｇ ｒｅｇｉｏｎ）３０が剪断され、溝部コーナー４６２によりガスケットの第二封止領域（ｓｅｃｏｎｄ ｓｅａｌｉｎｇ ｒｅｇｉｏｎ）７０が剪断される。ガスケットの中央の軸方向穴（ｃｅｎｔｒａｌ ａｘｉａｌ ｂｏｒｅ）４０は上位部材導管ポート４６４と同じ直径を有し、上位部材導管ポート４６４の直径は通常下側部材導管ポート４２４の直径と同じである。
このもう１つの設計において、下側部材導管ポート４２４は、ジョイントザグリ部分４２０及びそのコーナーの特徴４２２を有し、そのコーナーの特徴４２２は、やや大きいザグリ４２３に位置されると共に下部材表面４２５の下方で凹む。平面上部材を備える設計において、ジョイント溝部分４６０及びコーナーの特徴４６２は選択的に上部材の平面にラッピング加工が施されることでより鋭利になる。ジョイントは対向し合うインターフェース表面４６５及び４２５の間に如何なるシムも設置されない状況で結合され、大きなザグリ４２３の深度が選択されることによりガスケット１０の必要な圧縮（通常は０．０１２インチ）が達成され、且つ全締結力が作用されるとハードストップが生じる。類似する平面下部材の設計及び内側に陥没される上部材の設計の組み合わせも実施されるが、但し、説明を簡潔にするために詳細については省略する。

図５ａ−５ｄに示すように、本発明に係るガスケット１０がコーナー剪断形式ジョイントと共に使用される装設の特徴は、内向きに対称になって凹むことを部材の特徴とする。前述のように、内側突起リップ２０によりガスケット１０及びジョイントザグリ部分５２０の位置合わせが行われ、外側突起リップ６０によりガスケット１０及びジョイント溝部分５６０の位置合わせが行われる。
ジョイントが完全に結合されると、ザグリコーナー５２２によりガスケットの第一封止領域３０が剪断され、溝部コーナー５６２によりガスケットの第二封止領域７０が剪断される。ガスケットの中央の軸方向穴４０は上位部材導管ポート５６４と同じ直径を有し、上位部材導管ポート５６４の直径は通常下側部材導管ポート５２４の直径と同じである。このもう１つの設計において、下側部材導管ポート５２４はジョイントザグリ部分５２０及びコーナーの特徴５２２を有し、コーナーの特徴５２２はやや大きいザグリ（ｃｏｕｎｔｅｒｂｏｒｅ）５２３に位置されると共に下部材表面５２５の下方で凹む。同様に、上位部材導管ポート５６４はジョイント溝部分５６０及びコーナーの特徴５６２を有し、コーナーの特徴５６２は深いザグリ５６３に位置されると共に部材表面５６５の上方で凹む。
ジョイントは対向し合うインターフェース表面５６５及び５２５の間に如何なるシムも設置されない状況で結合され、ザグリ５２３及び５６３の深度が選択されることによりガスケット１０の必要な圧縮（通常は０．０１２インチ）が達成され、且つ全締結力が作用されるとハードストップが生じる。

一定の技術力を持つ従事者ならば、本発明に係るガスケット１０の全ての実施形態において、内側突起リップ２０及び外側突起リップ６０は互いに径方向に変位され（図２参照）、これは内側突起リップ２０及び外側突起リップ６０がそれぞれ封止領域３０及び７０の反対の辺縁から始まるためであることを更に理解できる。
中央の軸方向穴４０に隣接される内向き扇形部分６６の滑らかな開口部形式及び約３０度の外側向きのテーパー２１として始まる内側突起リップ２０の滑らかな形式により、流体導管での実質的な不慮の漏出及び汚染物質の流出が回避される。

ここでは具体的な例及び実施形態を描写して本発明について説明したが、しかしながら、本発明の精神及び範囲を逸脱しない様々な改変が可能である。よって、上述の説明は本発明の制限と解釈すべきではなく、好ましい実施形態の例示にすぎず、本発明は以下の特許請求の範囲の請求項の範囲内において、様々な方式で実施可能である。

１０ ガスケット
２０ 内側突起リップ
２１ 外側向きのテーパー
２２ 扇形部分
２３ 外側向きのテーパー
２４ 滑らかな曲線
３０ 第一軸方向端面領域
４０ 中央の軸方向穴
５０ ガスケット外径
６０ 外側突起リップ
６１ 内向きのテーパー
６２ 扇形部分
６３ 内向きのテーパー
６４ 滑らかな曲線
６６ 扇形部分
７０ 第二封止領域
３１０ 厚いシム
３２０ ジョイントザグリ部分
３２２ ザグリコーナー
３２４ 下側部材導管ポート
３２５ インターフェース表面
３６０ ジョイント溝部分
３６２ 溝部コーナー
３６４ 上位部材導管ポート
３６５ インターフェース表面
４２０ ジョイントザグリ部分
４２２ ザグリコーナー
４２４ 下側部材導管ポート
４２５ インターフェース表面
４６０ ジョイント溝部分
４６２ 溝部コーナー
４６４ 上位部材導管ポート
４６５ インターフェース表面
５２０ ジョイントザグリ部分
５２２ ザグリコーナー
５２３ ザグリ
５２４ 下側部材導管ポート
５２５ インターフェース表面
５６０ ジョイント溝部分
５６２ 溝部コーナー
５６３ ザグリ
５６４ 上位部材導管ポート
５６５ インターフェース表面

Claims (11)

1. 第一側と、反対の第二側と、外周部分とを備え、
   前記第一側に位置される内側突起リップ（ｒａｉｓｅｄ ｉｎｎｅｒ ｌｉｐ）及び前記第二側に位置される外側突起リップ（ｒａｉｓｅｄ ｏｕｔｅｒ ｌｉｐ）を更に備える高純度流体輸送システムに適した可鍛性ガスケットであって、
   前記内側突起リップ及び前記外側突起リップの周囲は互いに所定の間隔で離れ、前記内側突起リップは、前記ガスケットの内周部分に連続して設置され、前記外側突起リップは、前記ガスケットの外周部分に連続して設置され、
   前記ガスケットの前記第一側は、前記内側突起リップに外側向きに設置される平坦な第一封止領域（ｆｌａｔ ｆｉｒｓｔ ｓｅａｌｉｎｇ ｒｅｇｉｏｎ）を備え、前記ガスケットの前記第二側は、前記外側突起リップに内側向きに設置される平坦な第二封止領域（ｓｅｃｏｎｄ ｓｅａｌｉｎｇ ｒｅｇｉｏｎ）を備え、
   前記ガスケットはジョイントを有する部材が組み合わせられることにより形成される流体導管中の密封配置に設置され、
   前記ジョイントは、ジョイントザグリ部分（ｊｏｉｎｔ ｃｏｕｎｔｅｒｂｏｒｅ ｐｏｒｔｉｏｎ）と、ジョイント溝部分（ｊｏｉｎｔ ｇｒｏｏｖｅ ｐｏｒｔｉｏｎ）と、前記ジョイントザグリ部分から延伸されるザグリコーナー（ｃｏｕｎｔｅｒｂｏｒｅ ｃｏｒｎｅｒ）と、前記ジョイント溝部分から延伸される溝部コーナーと（ｇｒｏｏｖｅ ｐｏｒｔｉｏｎ ｃｏｒｎｅｒ）を備え、
   前記内側突起リップにより前記ガスケット及び前記ジョイントザグリ部分の位置合わせが行われ、
   前記外側突起リップにより前記ガスケット及び前記ジョイント溝部分の位置合わせが行われ、
   前記ジョイントが完全に結合される場合、前記ザグリコーナーにより前記平坦な第一封止領域に剪断応力が印加され、前記溝部コーナーにより前記平坦な第二封止領域に剪断応力が印加されることを特徴とする、
   高純度流体輸送システムに適した可鍛性ガスケット。
2. 前記ガスケットは円形状であることを特徴とする、請求項１に記載の高純度流体輸送システムに適した可鍛性ガスケット。
3. 前記ガスケットは金属材料であることを特徴とする、請求項１に記載の高純度流体輸送システムに適した可鍛性ガスケット。
4. 前記ガスケットは円形棒原料が加工されることにより製造されることを特徴とする、請求項３に記載の高純度流体輸送システムに適した可鍛性ガスケット。
5. 前記円形棒原料はステンレスまたはハステロイ（Ｈａｓｔｅｌｌｏｙ）（登録商標）を含むことを特徴とする、請求項４に記載の高純度流体輸送システムに適した可鍛性ガスケット。
6. 前記ガスケットは高分子材料で製造されることを特徴とする、請求項１に記載の高純度流体輸送システムに適した可鍛性ガスケット。
7. 前記ガスケットは、中央軸方向穴（ｃｅｎｔｒａｌ ａｘｉａｌ ｂｏｒｅ）が定義される内周を有するトーラス（ｔｏｒｕｓ）を備えることを特徴とする、請求項１に記載の高純度流体輸送システムに適した可鍛性ガスケット。
8. 前記ガスケットの前記第一側は前記ガスケットの前記第二側の点対称であることを特徴とする、請求項１に記載の高純度流体輸送システムに適した可鍛性ガスケット。
9. 前記ガスケットの前記第一側は、前記内側突起リップの一部分が形成される扇形部分（ｃｉｒｃｕｌａｒ ｓｅｃｔｏｒ）と、前記扇形部分から延伸される外側向きのテーパー部分（ｏｕｔｗａｒｄ ｔａｐｅｒｉｎｇ ｐｏｒｔｉｏｎ）と、前記テーパー部分から外側向きに延伸されて前記平坦な第一封止領域に連接される滑らかな曲線（ｍｏｏｔｈ ｃｕｒｖｅ）とを更に備えることを特徴とする、請求項１に記載の高純度流体輸送システムに適した可鍛性ガスケット。
10. 前記ガスケットの前記第二側は、前記外側突起リップの一部分が形成される扇形部分と、前記扇形部分から延伸される内向きのテーパー部分（ｉｎｗａｒｄｌｙ ｔａｐｅｒｉｎｇ ｐｏｒｔｉｏｎ）と、前記テーパー部分から内向きに延伸されて前記平坦な第二封止領域に連接される滑らかな曲線とを更に備えることを特徴とする、請求項９に記載の高純度流体輸送システムに適した可鍛性ガスケット。
11. 前記ガスケットは中央軸方向穴が定義される内周を有するトーラスを備え、且つ各前記平坦な第一封止領域及び前記平坦な第二封止領域は前記中央軸方向穴に対してほぼ垂直になることを特徴とする、請求項１に記載の高純度流体輸送システムに適した可鍛性ガスケット。

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