JP6244721B2 - 波長多重伝送装置の製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、例えば光トランシーバに搭載されて光通信システムに用いられる波長多重伝送装置の製造方法、及びその製造方法で製造された波長多重伝送装置に関する。

近年の急激な通信容量の増大に対応し光トランシーバを小型化するために、波長多重伝送装置に対する小型化の要求が非常に強い。この小型化の要求に応えるために、波長の異なるレーザ光を出射する複数のレーザ素子をアレイ状に一列に並べることがある。この場合、当該複数のレーザ素子から略平行のレーザ光が出射される。

特許文献１には、複数のレーザ素子を一列に並べた波長多重伝送装置が開示されている。この波長多重伝送装置は、複数のレーザ素子から出射されたレーザ光を光合波部で合波して波長多重光を生成するものである。

特開２０１０−２１１１６４号公報

波長多重光は集光レンズを介して光ファイバに入射する。波長多重光の光ファイバへの結合効率を高めるためには、波長多重光を構成するレーザ光の平行度を高めたり、波長多重光を構成するレーザ光の位置ずれを抑制したりすることが望ましい。しかしながら、波長多重光を構成するレーザ光の平行度を高めたり、波長多重光を構成するレーザ光の位置ずれを抑制したりするためには、例えば光合波部の部品を高い組み立て精度で組み立てる必要が生じる問題があった。

本発明は、上述のような課題を解決するためになされたもので、満たすべき組み立て精度を緩和しつつ、波長多重光の光ファイバへの結合効率を高めた波長多重伝送装置の製造方法、及び波長多重伝送装置を提供することを目的とする。

本願の発明に係る波長多重伝送装置の製造方法は、複数のレーザ素子を一列に並べて第１基板に固定する第１工程と、該複数のレーザ素子から出射されたレーザ光を合波して波長多重光を生成するように配置した複数の反射板を第２基板に固定する第２工程と、該第１工程と該第２工程の後に、該レーザ光の経路上にコリメートレンズを配置し、該コリメートレンズの位置を調整することで該波長多重光を構成するレーザ光が平行となるようにしてから、該コリメートレンズを該第１基板に固定する平行度改善工程と、を備えたことを特徴とする。

本発明によれば、波長多重伝送装置の満たすべき組み立て精度を緩和しつつ、波長多重光の光ファイバへの結合効率を高めることができる。

本発明の実施の形態１に係る波長多重伝送装置の平面図である。 フィルタの透過特性を示す図である。 コリメートレンズの位置を調整することを示す平面図である。 レーザ光の経路を示す図である。 波長多重光を構成するレーザ光の角度ずれを示す図である。 角度ずれ量θと結合効率の計算結果を示すグラフである。 本発明の実施の形態２に係るレンズ部品を示す正面図である。 比較例のレンズ部品の正面図である。 本発明の実施の形態３に係る波長多重伝送装置のパッケージ内を示す平面図である。 光合波部内のレーザ光を示す図である。 波長多重光を構成するレーザ光を示す図である。 波長多重光を構成するレーザ光を示す図である。 波長多重光を構成するレーザ光の位置ずれを示す図である。 位置ずれ量ｄｐと結合効率の計算結果を示すグラフである。 本発明の実施の形態４に係る波長多重伝送装置の製造方法のフローチャートである。 製造途中の波長多重伝送装置のレーザ光を示す平面図である。

本発明の実施の形態に係る波長多重伝送装置の製造方法と波長多重伝送装置について図面を参照して説明する。同じ又は対応する構成要素には同じ符号を付し、説明の繰り返しを省略する場合がある。

実施の形態１．
図１は、本発明の実施の形態１に係る波長多重伝送装置１０の平面図である。波長多重伝送装置１０はパッケージ１２を備えている。パッケージ１２内には、レーザ光を出射する光送信部１４と、波長多重光を生成する光合波部１６が収容されている。パッケージ１２内の波長多重光の経路上に集光レンズ７０が設置されている。パッケージ１２には、集光レンズ７０によって集光された光が入射する光ファイバ７２が取り付けられている。

光送信部１４について説明する。光送信部１４は第１基板１８を備えている。第１基板１８の上には第１サブマウント２０、第２サブマウント２２、第３サブマウント２４、及び第４サブマウント２６が固定されている。第１サブマウント２０には、第１レーザ素子２８と第１コリメートレンズ３０が固定されている。第２サブマウント２２には、第２レーザ素子３２と第２コリメートレンズ３４が固定されている。第３サブマウント２４には、第３レーザ素子３６と第３コリメートレンズ３８が固定されている。第４サブマウント２６には、第４レーザ素子４０と第４コリメートレンズ４２が固定されている。

第１レーザ素子２８、第２レーザ素子３２、第３レーザ素子３６、第４レーザ素子４０はそれぞれ異なる波長のレーザ光を出射する。第１コリメートレンズ３０、第２コリメートレンズ３４、第３コリメートレンズ３８、第４コリメートレンズ４２は、それぞれ第１レーザ素子２８、第２レーザ素子３２、第３レーザ素子３６、第４レーザ素子４０から出射されたレーザ光をコリメートする（略平行とする）ものである。

光合波部１６について説明する。光合波部１６は第２基板５０を備えている。第２基板５０には、第１フィルタ５２、第２フィルタ５４、及び第３フィルタ５６が固定されている。第１−第３フィルタ５２、５４、５６は破線Ｌ１に沿って並んでいる。

図２は、第１−第３フィルタ５２、５４、５６の透過特性を示す図である。第１フィルタ５２は、第１レーザ素子２８が出射する波長λ_０のレーザ光を透過し、それ以外の波長のレーザ光を反射する。第２フィルタ５４は、第２レーザ素子３２が出射する波長λ_１のレーザ光を透過し、それ以外の波長のレーザ光を反射する。第３フィルタ５６は、第３レーザ素子３６が出射する波長λ_２のレーザ光を透過し、それ以外の波長のレーザ光を反射する。

図１の説明に戻る。第２基板５０には、第１反射板６０、第２反射板６２、及び第３反射板６４が固定されている。第１−第３反射板６０、６２、６４は破線Ｌ２に沿って並んでいる。第１−第３反射板６０、６２、６４は全ての波長のレーザ光を反射する。なお、破線Ｌ１と破線Ｌ２は平行である。

実施の形態１に係る波長多重伝送装置の製造方法について説明する。まず、第１−第４レーザ素子２８、３２、３６、４０（以後、これらをまとめて複数のレーザ素子と称する）を一列に並べてサブマウントに固定することで、複数のレーザ素子を第１基板１８に固定する。この工程を第１工程と称する。

次いで、第１−第３フィルタ５２、５４、５６及び第１−第３反射板６０、６２、６４（以後、第１−第３フィルタ５２、５４、５６及び第１−第３反射板６０、６２、６４をまとめて複数の反射板と称する）を、第２基板５０に固定する。複数の反射板は、複数のレーザ素子から出射されたレーザ光を合波して波長多重光を生成することができるように配置する。この工程を第２工程と称する。

第１工程と第２工程の後に、レーザ光の経路上にコリメートレンズを配置する。具体的には、複数のレーザ素子から出射されたレーザ光を光合波部１６に入射させつつ、波長多重光を構成するレーザ光が平行となるようにコリメートレンズの位置を調整する。調整後、コリメートレンズをサブマウントに固定することで、コリメートレンズを第１基板１８に固定する。この工程を平行度改善工程と称する。

複数の反射板がどのような位置ばらつきで第２基板５０に固定されるかは、光合波部１６ごとに相違するので、平行度改善工程は現物の光合波部１６とその光合波部１６と合わせて用いる光送信部１４とを用いて行う。なお、平行度改善工程はパッケージ１２の外で行うことができる。

図３は、平行度改善工程においてコリメートレンズの位置を調整することを示す平面図である。第１−第３フィルタ５２、５４、５６は破線Ｌ１に沿ってずれなく配置され、第１−第３反射板６０、６２、６４は破線Ｌ２に沿ってずれなく配置されることが理想的である。しかしながら一定のずれ（誤差）は回避できない。図３の第１反射板６０は破線Ｌ２からずれている。

図４は、第１レーザ素子２８から出射したレーザ光２８ａと第２レーザ素子３２から出射したレーザ光の経路を示す図である。一点鎖線で示されたレーザ光２８ａは第１フィルタ５２を透過し波長多重光８０の一部となる。第２レーザ素子３２から出射したレーザ光３２ａ（破線で示す）は第２フィルタ５４を透過し、第１反射板６０で反射され、第１フィルタ５２で反射されることで波長多重光８０の一部となる。

第１反射板６０は破線Ｌ２から角度βだけずれているので、波長多重光８０を構成するレーザ光２８ａとレーザ光３２ａは平行にならない。光合波部へ入射するレーザ光と、光合波部から出射するレーザ光のなす角度は、反射板６０のずれ角度βの２倍の２βとなる。従って反射板に角度ずれがあると、仮に第１レーザ素子２８から出射されて光合波部に入射するレーザ光と、第２レーザ素子３２から出射されて光合波部に入射するレーザ光とが平行であったとしても、波長多重光８０を構成するレーザ光は平行にならない。

そこで、第２コリメートレンズ３４の位置を図３の矢印で示す方向に移動して、図４のレーザ光３２ａを実線で示すレーザ光３２ｂに変更する。これにより、レーザ光３２ｂはレーザ光３２ａとは異なる角度で光合波部に入射し、波長多重光８０を構成するレーザ光２８ａとレーザ光３２ｂを平行とすることができる。このようにしてコリメートレンズの位置を調整するのが平行度改善工程である。必要に応じて、第３コリメートレンズ３８と第４コリメートレンズ４２の位置も調整して、波長多重光を構成するレーザ光の平行度を高める。

図５は、波長多重光を構成するレーザ光の角度ずれを示す図である。ここでは焦点距離２ｍｍの集光レンズ７０を用いた。図５では、波長多重光を構成するレーザ光が角度θの角度ずれを有していることが示されている。この角度ずれにより、波長多重光の光ファイバへの結合効率が低下する。

図６は、角度ずれ量θと結合効率の計算結果を示すグラフである。図６から、例えば角度ずれによる結合損失を０．５ｄＢ以下にするためには角度ずれは０．０４度以下にしなければならないことが分かる。この場合、光送信部と光合波部全体の組み立て誤差に起因する角度ずれを０．０４度以下にしなければならないので、例えば光送信部の組み立て誤差に起因する角度ずれを０．０２度以下にし、光合波部の組み立て誤差に起因する角度ずれを０．０２度以下にしなければならない。

さらに、上述のとおり光合波部の部品（複数の反射板のいずれか）がずれることによるレーザ光の角度ずれは当該ずれ量の２倍になるので、光合波部内の部品の組み立て誤差は０．０１度以下にしなければならない。このような非常に厳しい角度精度（組み立て精度）を満たすには、製造が難しくなったり、部品自体の精度への要求が厳しくなったりしてコスト高となる問題があった。

しかしながら、本発明の実施の形態１に係る波長多重伝送装置の製造方法によれば、平行度改善工程を実施することで波長多重光の平行度を改善して光ファイバへの結合効率を高めることができる。平行度改善工程の実施により、光送信部及び光合波部内で生じる角度ずれを厳しく制限する必要はなくなるので、満たすべき組み立て精度を緩和することができる。例えば、焦点距離０．５ｍｍのコリメートレンズを用いた場合にはコリメートレンズに許される位置ずれ量は０．３μｍとなり、現在の製造技術で比較的容易に達成可能である。

本発明は、４波長のレーザ光を波長多重するものに限定されず、複数波長のレーザ光を波長多重するものである。複数の反射板は、レーザ光がジグザグに進むように配置したが、波長多重光を生成できる限り反射板の配置はこれに限定されない。

実施の形態２．
本発明の実施の形態２に係る波長多重伝送装置の製造方法と波長多重伝送装置は、実施の形態１との共通点が多いので実施の形態１との相違点を中心に説明する。本発明の実施の形態２に係る波長多重伝送装置の製造方法と波長多重伝送装置は、コリメートレンズの第１基板への固定方法に特徴がある。

図７は、本発明の実施の形態２に係るコリメートレンズ１００の第１基板１８への固定方法を示す図である。コリメートレンズ１００は枠体１０２に囲まれている。コリメートレンズ１００と枠体１０２でレンズ部品１０４を構成している。枠体１０２の外形は４角形となっている。そのため、枠体１０２は第１面１０２ａ、第２面１０２ｂ、第３面１０２ｃ、及び第４面１０２ｄを有している。第１面１０２ａは第２サブマウント２２を介して第１基板１８に固定されている。第１面１０２ａと第２サブマウント２２の固定、及び第２サブマウント２２と第１基板１８の固定には、例えば溶接又は接着剤を用いる。

コリメートレンズ１００の光軸位置Ｐ２と、枠体１０２の外形中心Ｐ１とは離れている。そのため、第１面１０２ａを第２サブマウント２２に固定したときと、第２面１０２ｂを第２サブマウント２２に固定したときと、第３面１０２ｃを第２サブマウント２２に固定したときと、第４面１０２ｄを第２サブマウント２２に固定したときとで、コリメートレンズ１００の光軸位置を変えることができる。その際、レンズ部品１０４と第２サブマウント２２の固定位置を変える必要はない。

平行度改善工程では、波長多重光の平行度改善のために枠体１０２の外形のどの面をサブマウントを介して第１基板１８に固定するかを適宜に選択することで、容易に波長多重光の平行度を改善できる。しかも、この選択は、レンズ部品１０４を枠体１０２の外形に沿って回転させるだけで達成できる。

枠体１０２の外形中心Ｐ１の座標を（０，０）とすると、第１面１０２ａをサブマウント２２に固定したときの光軸位置Ｐ２は（Ｘ１,−Ｙ１）であり、第２面１０２ｂをサブマウント２２に固定したときの光軸位置Ｐ２は（−Ｘ１,−Ｙ１）であり、第３面１０２ｃをサブマウント２２に固定したときの光軸位置Ｐ２は（−Ｘ１,Ｙ１）であり、第４面１０２ｄをサブマウント２２に固定したときの光軸位置Ｐ２は（Ｘ１,Ｙ１）である。そのため、光軸位置Ｐ２の４段階の位置調整が可能となる。

ここで、比較例について説明する。図８は、比較例のレンズ部品の正面図である。コリメートレンズ１１０は、上部突起部１１２ａを有する枠体１１２に囲まれている。上部突起部１１２ａをピンセットなどで保持し、凹状のホルダ１１４を介して上下・左右に位置調整する。その後、レーザ溶接などの方法により、枠体１１２とホルダ１１４、及びホルダ１１４とサブマウント２２を固定する。溶接により例えば溶接部１１６、１１８、１２０、１２２が形成される。

比較例の場合、コリメートレンズ１１０、枠体１１２、及びホルダ１１４が必要となるので、レンズ部品の横幅が大きくなってしまう。横幅の大きいレンズ部品を複数並べると波長多重伝送装置が大型化してしまう問題があった。ところが、本発明の実施の形態２に係るレンズ部品１０４は枠体１０２を直接サブマウント２２に固定するので比較例のホルダ１１４が不要となる。よって波長多重伝送装置の大型化を回避できる。

枠体１０２の外形は多角形であればよく、４角形に限定されない。当該外形がＮ角形のレンズ部品であれば、光軸位置のＮ段階の位置調整が可能となる。またこのレンズ部品１０４は他の実施の形態に係る波長多重伝送装置の製造方法と波長多重伝送装置に利用してもよい。

実施の形態３．
本発明の実施の形態３に係る波長多重伝送装置の製造方法と波長多重伝送装置は、実施の形態１との共通点が多いので実施の形態１との相違点を中心に説明する。本発明の実施の形態３に係る波長多重伝送装置の製造方法と波長多重伝送装置は、波長多重光を構成するレーザ光の位置ずれを改善するものである。

図９は、本発明の実施の形態３に係る波長多重伝送装置のパッケージ内を示す平面図である。一点鎖線Ｌ３とＬ４は平行である。光合波部１６（第２基板５０）は光送信部１４（第１基板１８）に対して角度γだけ傾いている。

本発明の実施の形態３に係る波長多重伝送装置の製造方法を説明する。まず、一列に並べられた複数のレーザ素子と、複数のレーザ素子から出射されたレーザ光をコリメートするコリメートレンズとを第１基板１８に固定する。この工程を第１工程と称する。次いで、レーザ光を合波して波長多重光を生成するように配置した複数の反射板を第２基板５０に固定する。この工程を第２工程と称する。

波長多重光を構成するレーザ光は、光送信部１４の部品（複数のレーザ素子、コリメートレンズ）、又は光合波部１６の部品（複数の反射板）が理想的な固定位置から僅かにずれることにより、一定の間隔（位置ずれ）を有している。そこで、第１工程と第２工程の後に、波長多重光を構成するレーザ光の間隔を小さくするように、第２基板５０の第１基板１８に対する角度を調整する。この工程を位置ずれ改善工程と称する。こうして図９の波長多重伝送装置が完成する。

図１０は、レーザ光が光合波部に入射する位置と、光合波部から出射する波長多重光２００の位置の距離を示す図である。破線Ｌ１と破線Ｌ２は平行である。破線Ｌ１と破線Ｌ２の距離はｄとする。光合波部に入射するレーザ光の破線Ｌ１の法線に対する角度をαとする。

Ｄ１は、第２レーザ素子３２から出射されたレーザ光３２ａが光合波部に入射する位置と、光合波部から出射する位置の距離であり以下の式で表される。
Ｄ１＝２ｄｓｉｎα
Ｄ２は、第３レーザ素子３６から出射されたレーザ光３６ａが光合波部に入射する位置と、光合波部から出射する位置の距離であり以下の式で表される。
Ｄ２＝４ｄｓｉｎα
Ｄ３は、第４レーザ素子４０から出射されたレーザ光４０ａが光合波部に入射する位置と、光合波部から出射する位置の距離であり以下の式で表される。
Ｄ３＝６ｄｓｉｎα

第２基板５０を第１基板１８に対して回転することでγの値を変えると、破線Ｌ１、破線Ｌ２も回転するので、αの値が変わる。この変化により、Ｄ２はＤ１の２倍変化し、Ｄ３はＤ１の３倍変化する。この性質を利用して、波長多重光を構成するレーザ光の間隔（位置ずれ）を小さくする。第１レーザ素子２８から出射したレーザ光２８ａは光合波部１６で一度も反射されないので、レーザ光２８ａの位置はγに依存しない。そこで、レーザ光２８ａに対する位置ずれを低下させるように、他のレーザ素子から出射したレーザ光の位置を変化させる。

図１１は、波長多重光を構成するレーザ光を示す図である。図１１には、図１０のＸＹ平面に入射する４つのレーザ光が示されている。Ｘ軸に対して光合波部を傾ければ、レーザ光３２ａ、３６ａ、４０ａをＸ方向に動かすことができる。さらに、Ｙ方向についても、波長多重光を構成するレーザ光の間隔（位置ずれ）を小さくする必要がある。そこで、Ｙ軸に対して光合波部を傾ければ、レーザ光３２ａ、３６ａ、４０ａをＹ方向に動かすことができる。

次に、例えば、波長多重光を構成するレーザ光が図１２に実線で示す位置に分布している場合を考える。レーザ光２８ａの位置を原点にする。レーザ光４０ａが原点から最も離れており、その距離はおよそ８５μｍである。波長多重光を構成するレーザ光の間隔（位置ずれ）を小さくするためには、レーザ光４０ａをレーザ光２８ａ側に移動させなければならない。

そこで、光合波部をＸ軸及びＹ軸に対して傾ける。これによりレーザ光３２ａがＸ方向に＋８μｍ、Ｙ方向に−１０μｍ移動し、移動後のレーザ光３２ａ´は（−１２、−３０）に位置する。レーザ光３６ａはレーザ光３２ａの２倍変化するので、レーザ光３６ａはＸ方向に＋１６μｍ、Ｙ方向に−２０μｍ移動する。移動後のレーザ光３６ａ´は（３６、０）に位置する。

レーザ光４０ａはレーザ光３２ａの３倍変化するので、レーザ光４０ａはＸ方向に＋２４μｍ、Ｙ方向に−３０μｍ移動する。移動後のレーザ光３８ａ´は（−３６、３０）に位置する。これにより、レーザ光４０ａ´の原点からの距離を約４７umにまで低減することができる。

図１３は、波長多重光を構成するレーザ光の位置ずれを示す図である。ここでは焦点距離２ｍｍの集光レンズ７０を用いた。レーザ光間の位置ずれ量はｄｐとする。図１４は、位置ずれ量ｄｐと光ファイバへの結合効率の計算結果を示すグラフである。集光レンズ７０への位置ずれによる結合損失を０．５ｄＢ以下にするためには位置ずれ量は６０μｍ以下にしなければならない。実施の形態１でも言及したが、光送信部と光合波部の組み立て精度を高めて位置ずれ量を６０μｍ以下にしようとすると、製造困難及びコスト高の問題が生じる。

本発明の実施の形態３に係る波長多重伝送装置の製造方法によれば、位置ずれ改善工程を実施することで、波長多重光を構成するレーザ光の間隔（位置ずれ）を小さくする。よって、満たすべき組み立て精度を緩和しつつ、波長多重光の光ファイバへの結合効率を高めることができる。

図１２で示した例においては、レーザ光４０ａと原点の距離（位置ずれ量ｄｐ）をおよそ８５μｍから４７μｍへ低減できるので、結合効率が−１ｄＢから−０．３ｄＢに改善する。しかも、光送信部と光合波部の部品が理想的な固定位置から僅かにずれる問題を解消する必要はないので、組み立て精度を厳しくする必要はなく、むしろ従来よりも組み立て精度を緩和できる。なお、γを１度変化させると例えば、レーザ光３２ａは約１０５μｍ移動し、レーザ光３６ａは約２０９μｍ移動し、レーザ光４０ａは約３１４μｍ移動する。

実施の形態４．
図１５は、本発明の実施の形態４に係る波長多重伝送装置の製造方法のフローチャートである。本発明の実施の形態４に係る波長多重伝送装置の製造方法では、まず、実施の形態１に係る第１工程と第２工程を実施する（ステップＳ１）。次いで、実施の形態１で説明した平行度改善工程を実施する（ステップＳ２）。なお、平行度改善工程において、光合波部１６は第２基板５０に固定せず第２基板５０に仮置きした状態とする。

図１６は、ステップＳ２終了後のレーザ光を示す平面図である。レーザ光２８ａとレーザ光３２ａは平行になっているものの、両者の間に位置ずれ（ギャップＧ１）が生じている。第３レーザ素子３６から出射したレーザ光と第４レーザ素子４０から出射したレーザ光も、レーザ光２８ａに対して位置ずれを生じる。特に、第４レーザ素子４０から出射したレーザ光は最も多くの反射板で反射されるので、反射板の取り付け位置の誤差の影響を大きく受ける。そのため、位置ずれが最も大きい。このような位置ずれは光ファイバへの結合効率の低下につながるので改善しなければならない。

そこで、本発明の実施の形態４に係る波長多重伝送装置の製造方法では、平行度改善工程の後に、実施の形態３で説明した位置ずれ改善工程を実施する（ステップＳ３）。このように、本発明の実施の形態４に係る波長多重伝送装置の製造方法では、平行改善工程後における位置ずれを位置ずれ改善工程で改善することで、平行度が高く、かつ位置ずれの少ない波長多重光を得ることができる。しかも、この効果を得るために組み立て精度を高める必要はなく、むしろ、満たすべき組み立て精度を緩和できる。

１０ 波長多重伝送装置、 １２ パッケージ、 １４ 光伝送部、 １６ 光合波部、 １８ 第１基板、 ２０,２２,２４,２６ サブマウント、 ２８ 第１レーザ素子、 ３０ 第１コリメートレンズ、 ３２ 第２レーザ素子、 ３４ 第２コリメートレンズ、 ３６ 第３レーザ素子、 ３８ 第３コリメートレンズ、 ４０ 第４レーザ素子、 ４２ 第４コリメートレンズ、 ５０ 第２基板、 ５２ 第１フィルタ、 ５４ 第２フィルタ、 ５６ 第３フィルタ、 ６０ 第１反射板、 ６２ 第２反射板、 ６４ 第３反射板、 ７０ 集光レンズ、 ７２ 光ファイバ、 ８０ 波長多重光、 １００ コリメートレンズ、 １０２ 枠体、 １０４ レンズ部品

Claims (3)

1. 複数のレーザ素子を一列に並べて第１基板に固定する第１工程と、
   前記複数のレーザ素子から出射されたレーザ光を合波して波長多重光を生成するように配置した複数の反射板を第２基板に固定する第２工程と、
   前記第１工程と前記第２工程の後に、前記レーザ光の経路上にコリメートレンズを配置し、前記コリメートレンズの位置を調整することで前記波長多重光を構成するレーザ光が平行となるようにしてから、前記コリメートレンズを前記第１基板に固定する平行度改善工程と、を備えたことを特徴とする波長多重伝送装置の製造方法。
2. 前記コリメートレンズは枠体に囲まれ、
   前記枠体の外形は多角形であり、
   前記コリメートレンズの光軸位置と、前記枠体の外形中心とは離れており、
   前記平行度改善工程では、前記枠体の外形のいずれかの面を前記第１基板に固定することを特徴とする請求項１に記載の波長多重伝送装置の製造方法。
3. 前記平行度改善工程の後に、前記波長多重光を構成するレーザ光の間隔を小さくするように、前記第２基板の前記第１基板に対する角度を調整する位置ずれ改善工程を備えたことを特徴とする請求項１又は２に記載の波長多重伝送装置の製造方法。

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