JP6098255B2 - Surface mount type piezoelectric oscillator - Google Patents
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Description
本発明は、絶縁性のベース上に圧電振動素子と集積回路素子が実装された表面実装型圧電発振器に関するものであって、特に表面実装型圧電発振器のパッケージ構造を改善するものである。 The present invention relates to a surface-mount piezoelectric oscillator in which a piezoelectric vibration element and an integrated circuit element are mounted on an insulating base, and particularly to improve the package structure of a surface-mount piezoelectric oscillator.
水晶振動板等の圧電振動素子を用いた圧電発振器は、安定して精度の高い発振周波数を得ることができるため、電子機器等の基準周波数源として多種の分野で使用されている。表面実装型圧電発振器では、絶縁性のベースとしてセラミック多層基板を用い、当該ベースの収納部に発振回路等の集積回路素子を配置するとともに、当該集積回路素子の上方に水晶振動板を支持固定し、蓋により気密封止を行ったものである。このような構成はC−MOS等のインバータ増幅器(発振用増幅器)を内蔵したワンチップの集積回路素子のカスタム化により比較的部品点数が少なく、シンプルな構成であり、低コスト化に寄与している。 A piezoelectric oscillator using a piezoelectric vibration element such as a quartz diaphragm can stably obtain a highly accurate oscillation frequency, and is therefore used in various fields as a reference frequency source for electronic devices and the like. In a surface-mounted piezoelectric oscillator, a ceramic multilayer substrate is used as an insulating base, an integrated circuit element such as an oscillation circuit is disposed in a housing portion of the base, and a crystal diaphragm is supported and fixed above the integrated circuit element. , Hermetically sealed with a lid. Such a configuration has a relatively small number of parts due to customization of a one-chip integrated circuit element incorporating an inverter amplifier (oscillation amplifier) such as a C-MOS, contributing to cost reduction. Yes.
このような表面実装型圧電発振器では、ワイヤボンディングに比較して小型化低背化が実現できることから、特許文献1にも示すように、セラミックのベースの収納部の配線パターンに集積回路素子のパッドを、金等の金属バンプを用いて超音波熱圧着によるフリップチップボンディング接合されることが近年多くなっている。
In such a surface mount type piezoelectric oscillator, since it can be reduced in size and height as compared with wire bonding, as shown in
ところで、上述のような表面実装型圧電発振器をはんだにより接合し搭載する回路基板には様々な材料のものがある。この材料によってはパッケージと回路基板との間で熱膨張差が生じて、パッケージと回路基板を接合するはんだにも応力が生じるため、クラックが発生することがある。特に、パッケージとしてアルミナ等のセラミック材料を用い、回路基板としてガラスエポキシ基板を用いた組み合わせ構成であれば、パッケージの熱膨張係数に対して回路基板の熱膨張係数が大きくなり、はんだから疲労破壊が生じやすくなる。また当該パッケージと回路基板とに衝撃が加わると、はんだクラック部分から剥離が生じるといった問題点もあった。 By the way, there are various materials for circuit boards on which the surface-mounted piezoelectric oscillator as described above is mounted by soldering. Depending on this material, a difference in thermal expansion occurs between the package and the circuit board, and stress is also generated in the solder joining the package and the circuit board, so that cracks may occur. In particular, when a ceramic material such as alumina is used as the package and a glass epoxy substrate is used as the circuit board, the thermal expansion coefficient of the circuit board is larger than the thermal expansion coefficient of the package, and fatigue damage from solder is caused. It tends to occur. Further, when an impact is applied to the package and the circuit board, there is a problem that peeling occurs from a solder crack portion.
このようなはんだクラックの問題については、表面実装型圧電発振器の小型化に伴って外部端子の面積も小さくなり対応が困難になってきている。特に、圧電振動子に比べて、機能する外部端子の数が多く、かつその機能する各外部端子の役割も多様となっている圧電発振器では、外部端子の面積だけでなく、各外部端子の役割に応じた配置にも制限が加わるため、より対応が困難になってきているのが現状である。 With respect to such a solder crack problem, it is becoming difficult to cope with the reduction in the area of the external terminal as the surface-mounted piezoelectric oscillator is downsized. In particular, in a piezoelectric oscillator that has a large number of functioning external terminals and a variety of roles for each functioning external terminal as compared to a piezoelectric vibrator, not only the area of the external terminal but also the role of each external terminal. Since there is a restriction on the arrangement according to the current situation, it is becoming more difficult to deal with the situation.
そこで、上記課題を解決するために、本発明は、小型化に対応させながら、はんだクラックの対応も行えるより信頼性の高い表面実装型圧電発振器を提供することを目的とする。 Accordingly, in order to solve the above-described problems, an object of the present invention is to provide a more reliable surface-mount piezoelectric oscillator that can cope with solder cracks while reducing the size.
上記の目的を達成するために、本発明の特許請求項1に示すように、発振用増幅器を内蔵した集積回路素子と、前記集積回路素子と接続される一対の励振電極が形成された圧電振動素子と、矩形状のセラミック基板が積層されて収納部と外装部とが構成され、収納部に形成された複数の配線パターンと、外装部に形成され前記配線パターンの一部と接続された外部端子とを有する絶縁性のベースとがあり、前記ベースの外装部の底面には、4角と長辺中央に6つの外部端子が形成され、前記ベースの外装部の底面の一方の長辺に接する2角には、実装用外部端子としての電源用外部端子と出力用外部端子とが対向して形成されており、前記ベースの外装部の底面の一方の長辺から離隔した状態で、前記電源用外部端子と前記出力用外部端子の間には、前記集積回路素子の発振用増幅器の出力側で前記圧電振動素子の励振電極と接続される第1測定用外部端子が形成されており、前記ベースの外装部の底面の一方の長辺から離隔した状態で、前記ベースの外装部の長辺方向の側面には、前記集積回路素子のデータ調整用のデータ入出力端子が形成されており、前記ベースの外装部の底面の他方の長辺に接する2角には、実装用外部端子としての接地用外部端子と他の外部端子とが対向して形成されており、前記ベースの外装部の底面の他方の長辺から離隔した状態で、前記接地用外部端子と前記他の外部端子の間には、前記集積回路素子のデータ調整用のデータ制御端子が形成されており、前記ベースの外装部の底面の他方の長辺から離隔した状態で、前記ベースの外装部の長辺方向の側面には、前記集積回路素子の発振用増幅器の入力側で前記圧電振動素子の励振電極と接続される第2測定用外部端子が形成されており、前記実装用外部端子に接合材を用いて回路基板の配線パターンへ接合するとともに、前記データ制御端子にも接合材を用いて回路基板のグランド用配線パターンのみへ接合することを特徴とする。 In order to achieve the above object, according to a first aspect of the present invention, there is provided a piezoelectric vibration in which an integrated circuit element incorporating an oscillation amplifier and a pair of excitation electrodes connected to the integrated circuit element are formed. An element and a rectangular ceramic substrate are stacked to form a storage portion and an exterior portion, and a plurality of wiring patterns formed in the storage portion and an external portion formed in the exterior portion and connected to a part of the wiring pattern There are insulating bases having terminals, and six external terminals are formed at the center of the square and long side on the bottom surface of the base exterior portion, and on one long side of the bottom surface of the base exterior portion. In the two corners in contact with each other, a power external terminal and an output external terminal as mounting external terminals are formed to face each other, and in a state separated from one long side of the bottom surface of the exterior portion of the base, Between the external terminal for power supply and the external terminal for output Includes a first measurement external terminal connected to the excitation electrode of the piezoelectric vibration element on the output side of the oscillation amplifier of the integrated circuit element, and one long side of the bottom surface of the exterior portion of the base A data input / output terminal for data adjustment of the integrated circuit element is formed on the side surface in the long side direction of the base exterior portion in a state separated from the base, and the other length of the bottom surface of the base exterior portion is formed. In the two corners in contact with the side, a grounding external terminal as an external terminal for mounting and another external terminal are formed facing each other, and in a state separated from the other long side of the bottom surface of the exterior portion of the base A data control terminal for data adjustment of the integrated circuit element is formed between the ground external terminal and the other external terminal, and is separated from the other long side of the bottom surface of the exterior portion of the base In the state, the long side direction of the exterior part of the base A second measurement external terminal connected to the excitation electrode of the piezoelectric vibration element on the input side of the oscillation amplifier of the integrated circuit element is formed on the side surface, and a bonding material is used for the mounting external terminal. In addition to bonding to the circuit board wiring pattern, the data control terminal is also bonded to only the ground wiring pattern of the circuit board using a bonding material.
上記構成により、表面実装型圧電発振器の製造段階でのみ利用し、製品として使用する場合はユーザー側で不要である前記集積回路素子のデータ調整用のデータ制御端子は、回路基板のグランド用配線パターンに接合材を用いて接続しているので、このデータ制御端子に対して不要な電圧が加わることがなくなるため、集積回路素子のデータが書き換わることがなくなる。そして、製品化された表面実装型圧電発振器としてユーザー側で必要な実装用外部端子だけでなく、前記データ制御端子を回路基板へ搭載する際の接合補強用の外部端子として利用できる。つまり、製造時にはデータの入出力が可能な状態で不安定なデータ制御端子であっても、当該データ制御端子を回路基板へ搭載する際にはデータを書き換えられない安定した接合補強用の外部端子として再利用できる。別途接合補強用の外部端子を設ける必要もなく、かつそれぞれ機能する各外部端子の役割を変更することもなく、規格に応じた外部端子の配置的な制限にも対応することができる。以上により、小型化に対応させながら、はんだクラックの対応も行えるより信頼性の高い外部端子の接続構造が得られる。 With the above configuration, the data control terminal for data adjustment of the integrated circuit element, which is used only in the manufacturing stage of the surface mount piezoelectric oscillator and is not necessary on the user side when used as a product, is a wiring pattern for grounding a circuit board Since a connection material is used for the connection, an unnecessary voltage is not applied to the data control terminal , so that the data of the integrated circuit element is not rewritten. The product can be used not only as a mounting external terminal necessary on the user side as a surface-mounted piezoelectric oscillator, but also as an external terminal for reinforcing the connection when the data control terminal is mounted on a circuit board. In other words, even if the data control terminal is unstable in a state where data can be input and output at the time of manufacture, the external terminal for stable joint reinforcement that cannot rewrite data when the data control terminal is mounted on a circuit board Can be reused as It is not necessary to provide an external terminal for reinforcing the connection separately, and the role of each functioning external terminal is not changed, and it is possible to deal with restrictions on arrangement of the external terminals according to the standard. As described above, it is possible to obtain a more reliable external terminal connection structure that can cope with solder cracks while reducing the size.
また、前記ベースの外装部の底面の一方の長辺に接する2角には、電源用外部端子と出力用外部端子とが対向して形成されており、これらの外部端子の間には前記ベースの外装部の底面の一方の長辺から離隔した状態で、前記集積回路素子の発振用増幅器の出力側で前記圧電振動素子の励振電極と接続される第1測定用外部端子が形成され、前記ベースの外装部の底面の他方の長辺から離隔した状態で、前記ベースの外装部の長辺方向の側面には、前記集積回路素子の発振用増幅器の入力側で前記圧電振動素子の励振電極と接続される第2測定用外部端子が形成されているので、不要ノイズが増幅され、圧電発振器としての電気的な特性に悪影響を与えやすい発振用増幅器の入力側(ゲート側G)に接続された第2測定用外部端子を、外部からのノイズの影響の高い電源用外部端子と出力用外部端子から遠い位置に配置することができる。このため、不要ノイズによる悪影響を極力抑えることが可能となり、出力ラインを流れる交流や高周波信号による不要な輻射ノイズの悪影響も軽減できる。特に、表面実装型圧電発振器が小型化されると、外部端子や配線パターン等の形成位置がますます制限される中で、前記出力用外部端子や電源用外部端子と第2測定用外部端子との距離も短くなり、その悪影響もより一層受けやすくなるが、本発明では表面実装型圧電発振器の小型化を妨げることなく、不要ノイズの悪影響を抑えることができる。 In addition, a power supply external terminal and an output external terminal are opposed to each other at two corners in contact with one long side of the bottom surface of the base exterior portion, and the base is between the external terminals. A first measurement external terminal connected to the excitation electrode of the piezoelectric vibration element on the output side of the oscillation amplifier of the integrated circuit element in a state separated from one long side of the bottom surface of the exterior portion of the integrated circuit element; The excitation electrode of the piezoelectric vibration element on the input side of the oscillation amplifier of the integrated circuit element is disposed on the side surface in the long side direction of the base exterior part while being separated from the other long side of the bottom surface of the base exterior part. Is connected to the input side (gate side G) of the oscillation amplifier that is likely to amplify unwanted noise and adversely affect the electrical characteristics of the piezoelectric oscillator. Whether the second measurement external terminal is external It can be a high power supply external terminal influence of noise to place the output external terminal position distant. For this reason, it becomes possible to suppress the bad influence by unnecessary noise as much as possible, and the bad influence of the unnecessary radiation noise by the alternating current and high frequency signal which flow through an output line can also be reduced. In particular, when the surface-mounted piezoelectric oscillator is miniaturized, the positions of forming external terminals and wiring patterns are increasingly limited, and the output external terminal, power supply external terminal, second measurement external terminal, However, in the present invention, the adverse effect of unnecessary noise can be suppressed without impeding the downsizing of the surface mount piezoelectric oscillator.
また、前記ベースの外装部の底面や側面に形成されている一対の調整用外部端子と一対の測定用外部端子(第1測定用外部端子と第2測定用外部端子)は、前記ベースの外装部の底面の各長辺(一方と他方)から離隔した状態で形成されているため、表面実装型圧電発振器の小型化に対応させながら、各機能を有する調整用外部端子と測定用外部端子とでお互いに干渉することがなくなり、発振器を製造する際や製品化された後にも悪影響を与えることがない。加えて、各機能を有するお互いの外部端子の配置的な制限にも対応することができる。 In addition, a pair of external adjustment terminals and a pair of measurement external terminals (first measurement external terminal and second measurement external terminal) formed on the bottom and side surfaces of the exterior portion of the base are the exterior of the base. Are formed in a state of being separated from each long side (one side and the other side) of the bottom surface of the unit, so that an adjustment external terminal and a measurement external terminal having various functions can be achieved while corresponding to the miniaturization of the surface mount type piezoelectric oscillator. Thus, they do not interfere with each other and do not adversely affect the manufacturing of the oscillator or after it has been commercialized. In addition, it is possible to deal with restrictions on arrangement of external terminals having functions.
以上のように、本発明は、小型化に対応させながら、はんだクラックの対応も行え、発振用増幅器を内蔵した発振回路構成の表面実装型圧電発振器に対しても、ノイズの悪影響を受けにくい電気的特性の優れたより信頼性の高い表面実装型圧電発振器を提供することができる。 As described above, the present invention can cope with solder cracks while corresponding to downsizing, and it is an electric circuit that is less susceptible to the adverse effects of noise on a surface-mounted piezoelectric oscillator having an oscillation circuit configuration with a built-in oscillation amplifier. It is possible to provide a more reliable surface-mount piezoelectric oscillator with excellent mechanical characteristics.
以下、本発明による好ましい実施形態につきセラミック多層基板のベースを用いた表面実装型水晶発振器(表面実装型圧電発振器)を例にとり図面とともに説明する。 Hereinafter, a preferred embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings by taking a surface-mounted crystal oscillator (surface-mounted piezoelectric oscillator) using a ceramic multilayer base as an example.
表面実装型水晶発振器6は、上部が開口した凹部を有する絶縁性のセラミック多層基板からなるベース1(以下、ベースと称する)と、当該ベースの中に収納される集積回路素子2と、同じく当該ベース中の上部に収納される圧電振動素子3と、ベースの開口部に接合される蓋4とからなる。この表面実装型水晶発振器では、ベース1と蓋4とが封止材5を用いて接合されて気密封止され、表面実装型水晶発振器6が構成されている。以下、この表面実装型水晶発振器6の各構成について説明する。
The surface-
セラミック多層基板のベース1は全体として直方体で、最下層であるアルミナ等のセラミック材料からなる平面視矩形状の一枚板の底部11と、この底部11上に積層した中間層のセラミック材料の平面視枠形状の堤部12と、最上層のセラミック材料の平面視枠形状の堤部13とから構成され、収納部10を有する断面凹形の箱状体(外装部14)に形成されている。収納部10は第1の収納部10a(下部収納部)と第2の収納部10b(上部収納部)からなり、それぞれ集積回路素子2と圧電振動素子3が収納される。なお、セラミック多層基板として本形態のように3層構造のベースに限定されるものではなく、ベースの収納部の構造に応じて4層以上で構成してもよい。
The
前記セラミック多層基板のベース1の最上層である堤部13の上面(端面)は平坦であり、後述する蓋4との接合領域(金属膜)13aである。この接合領域13aは、タングステンあるいはモリブデン等のメタライズ材料からなるメタライズ層と、このメタライズ層に積層されたニッケル層と、このニッケル層に積層された金層とから構成される。タングステンあるいはモリブデンは厚膜印刷技術を活用してメタライズ技術によりセラミック焼成時に一体的に形成され、メタライズ層上にニッケル層、金層の順でメッキ形成される。
The upper surface (end surface) of the
ベース1の外周壁の4角には上下方向に伸長するキャスタレーションC1,C2,C3,C4がそれぞれ形成され、ベース1の外周壁の長辺中央の一部には上下方向に伸長する半長円状のキャスタレーションC5,C6がそれぞれ形成されている。当該キャスタレーションはベースの外周壁に対して円弧状あるいは半長円状の切り欠きが上下方向に形成された構成である。なお、前記接合領域13aはベースの堤部12,13を上下に貫通接続する図示しない導電ビアやキャスタレーション上部に形成された図示しない配線パターンのいずれか少なくとも一方により、ベース底面側に形成された外部端子パッドGT3の一部に電気的に導出されている。当該外部端子パッドGT3をアース接続することにより、後述する金属製の蓋が接合領域13a、導電ビアやキャスタレーション上部の配線パターンなどを介して接地され、表面実装型水晶発振器の電磁気的なシールド効果を得ることができる。
Casters C1, C2, C3, and C4 that extend in the vertical direction are formed on the four corners of the outer peripheral wall of the
ベース1の内部において、下方面には前記堤部(側壁部)12により構成され、集積回路素子2を収納する第1の収納部10aが形成され、当該第1の収納部の底面から上部に突き出し、後述する圧電振動素子の端部を保持する保持台10cと、前記第1の収納部を介して前記保持台と対向位置する枕部10dが形成されている。また前記第1の収納部10aの上方には前記堤部(側壁部)13により構成された第2の収納部10bが形成されている。
Inside the
前記セラミック多層基板のベース1の最下層である底部11の上面(前記第1の収納部10aの内底面)には、図5に示すように、後述する集積回路素子2と接続される複数の配線パターンH11〜H18が並んで形成されている。
On the upper surface of the bottom 11 (the inner bottom surface of the first storage portion 10a) which is the lowermost layer of the
前記セラミック多層基板のベース1の最下層である底部11の下面(ベースの外装部の底面)には、4角と長辺中央に6つの外部端子GTが形成されている。具体的には図3に示すように、前記4角の外部端子が実装用外部端子GT1,GT2,GT3,GT4として構成される。実装用外部端子GT1,GT2,GT3,GT4は、それぞれ4角のキャスタレーションC1,C2,C3,C4を介してベース1の最下層である底部11の側面(底面層のセラミック基板の側面)にも引き回し電極GT11,GT21,GT31,GT41が形成されている。
Six external terminals GT are formed at the four corners and at the center of the long side on the lower surface of the bottom portion 11 (the bottom surface of the base exterior portion) which is the lowermost layer of the
例えば、本形態では、実装用外部端子GT1は電源用外部端子(VCC)、実装用外部端子GT2は出力用外部端子(OUT)、実装用外部端子GT3は接地用外部端子(GND)、実装用外部端子GT4は他の外部端子であり、出力制御用外部端子(OE)や周波数制御用外部端子(VCONT)、NC外部端子などいずれかとして構成した。 For example, in this embodiment, the mounting external terminal GT1 is a power supply external terminal (VCC), the mounting external terminal GT2 is an output external terminal (OUT), the mounting external terminal GT3 is a grounding external terminal (GND), and mounting. The external terminal GT4 is another external terminal, and is configured as any one of an output control external terminal (OE), a frequency control external terminal (VCONT), an NC external terminal, and the like.
そして、底部11の下面(ベースの外装部の底面)の長辺16(一方の長辺)に接する2角には、電源用外部端子(VCC)としての実装用外部端子GT1と、出力用外部端子(OUT)としての実装用外部端子GT2とが対向して形成されており、底部11の下面(ベースの外装部の底面)の長辺15(他方の長辺)に接する2角には、接地用外部端子(GND)としての実装用外部端子GT3と、他の外部端子としての実装用外部端子GT4とが対向して形成している。なお、実装用外部端子GT1,GT2,GT3,GT4は、引き回し電極GT11,GT21,GT31,GT41を介して、配線パターンH11,H12,H13,H14に電気的に導出されている。 In addition, two corners in contact with the long side 16 (one long side) of the bottom surface of the bottom portion 11 (the bottom surface of the base exterior portion) are a mounting external terminal GT1 as a power external terminal (VCC) and an output external terminal. The mounting external terminal GT2 as a terminal (OUT) is formed to face the two corners that are in contact with the long side 15 (the other long side) of the bottom surface of the bottom portion 11 (the bottom surface of the base exterior portion). A mounting external terminal GT3 as a grounding external terminal (GND) and a mounting external terminal GT4 as another external terminal are formed to face each other. The mounting external terminals GT1, GT2, GT3, and GT4 are electrically led to the wiring patterns H11, H12, H13, and H14 via the routing electrodes GT11, GT21, GT31, and GT41.
前記底部11の下面の長辺中央の一対の外部端子のうち長辺15に近接するもの(実装用外部端子GT3と実装用外部端子GT4の間)が、配線パターンH17と接続され、後述する集積回路素子2のデータ調整用の一方の調整用外部端子GT7として構成される。前記長辺中央の一対の外部端子のうち長辺16に近接するもの(実装用外部端子GT1と実装用外部端子GT2の間)が、第2の出力側の配線パターンH26と接続され、後述する圧電振動素子3の励振電極の一つと直接接続された圧電振動素子の特性測定用の第1測定用外部端子GT8として構成される。
Of the pair of external terminals at the center of the long side of the bottom surface of the bottom portion 11, the one close to the long side 15 (between the mounting external terminal GT3 and the mounting external terminal GT4) is connected to the wiring pattern H17 and integrated later. The
本形態では、調整用外部端子GT7は、集積回路素子へのデータ入出力するデータ入出力用外部端子(IO)として構成し、底部11の下面の長辺15から底部11の中心方向へ離隔した状態で形成されている。第1測定用外部端子GT8は、図1における集積回路素子2の発振用増幅器の出力側に相当し、後述する圧電振動素子3の一方の励振電極31に接続され、底部11の下面の長辺16から底部11の中心方向へ離隔した状態で形成されている。なお、これら外部端子GT7,GT8は、上部に貫通接続する導電ビアV1,V2を介して、複数の配線パターンH1のいずれかに電気的に導出されている。
In this embodiment, the adjustment external terminal GT7 is configured as a data input / output external terminal (IO) for inputting / outputting data to / from the integrated circuit element, and is separated from the long side 15 of the bottom surface of the bottom portion 11 toward the center of the bottom portion 11. It is formed in a state. The first measurement external terminal GT8 corresponds to the output side of the oscillation amplifier of the
セラミック多層基板のベース1の中間層である堤部12の一対の長辺中央には、キャスタレーションC5,C6の一部がそれぞれ形成されている。これら堤部12の長辺中央のキャスタレーションの上部のうち長辺15に近接するものが、第2の入力側の配線パターンH25と接続され、後述する圧電振動素子3の励振電極の一つと直接接続された圧電振動素子の特性測定用の第2測定用外部端子GT5として構成される。これら堤部12の長辺中央のキャスタレーションの上部のうち長辺16に近接するものが、配線パターンH18と接続され、後述する集積回路素子2のデータ調整用の他方の調整用外部端子GT6として構成される。
Part of castellations C5 and C6 are formed at the center of a pair of long sides of the
本形態では、第2測定用外部端子GT5は、図1における集積回路素子2の発振用増幅器の入力側に相当し、後述する圧電振動素子3の他方の励振電極32に接続され、底部11の下面の長辺15から離隔した状態で形成されている。調整用外部端子GT6は、集積回路素子へデータの入出力を制御するデータ制御用外部端子(CS)として構成し、底部11の下面の長辺16から離隔した状態で形成されている。なお、これら外部端子GT5,GT6は、中間層である堤部12の上面にのみ形成されているので、底部11の下面の長辺15,16と、最上層である堤部13の接合領域(金属膜)13aとから離隔した状態で形成されている。
In this embodiment, the second measurement external terminal GT5 corresponds to the input side of the oscillation amplifier of the
前記測定用外部端子GT5,GT8に対して、圧電振動素子特性装置のコンタクトプローブを接触することで後述する圧電振動素子3単独の特性を測定することができる。
By contacting a contact probe of a piezoelectric vibration element characteristic device with the measurement external terminals GT5 and GT8, the characteristic of the
前記セラミック多層基板のベース1の中間層である堤部12の上面(前記第2の収納部10bの底面)には、後述する圧電振動素子3を搭載する保持台10cが形成されており、その上面には後述する圧電振動素子3と接続される第2の入力側の配線パターンH25と第2の出力側の配線パターンH26とが形成されている。前記保持台10cは堤部12の一部が収納部10の方に突出することで構成されている。この第2の入力側の配線パターンH25は、下部に貫通接続する導電ビアV3を介して、第1の入力側の配線パターンH15に電気的に導出されている。第2の出力側の配線パターンH26は、下部に貫通接続する導電ビアV4を介して、第1の出力側の配線パターンH16に電気的に導出されている。
On the upper surface of the bank portion 12 (the bottom surface of the second storage portion 10b), which is an intermediate layer of the
以上のような構成のベース1は周知のセラミック積層技術やメタライズ技術を用いて形成される。実装用外部端子GT1,GT2,GT3,GT4、引き回し電極GT11,GT21,GT31,GT41、測定用外部端子GT5,GT8、調整用外部端子GT6,GT7、配線パターンH11,H12,H13,H14,H15,H16,H17,H18,H25,H26は、接合領域13aの形成と同様にタングステンあるいはモリブデン等によるメタライズ層の上面にニッケルメッキ層、金メッキ層の各層が形成された構成である。
The
第1の収納部10aの内底面に搭載される集積回路素子2は、C−MOSなどのインバータ増幅器(発振用増幅器)を内蔵したワンチップの集積回路素子であり、図6に示すように、圧電振動素子3とともに発振回路を構成する。集積回路素子2の底面側には複数のパッドPが形成されている。当該集積回路素子2は、例えば金などの金属バンプCを介して、集積回路素子2の複数のパッドPとベース1に形成された配線パターンH11〜H18とを例えばFCBにより接続される。なお、本形態では、金属バンプにより接合した構成を例にしているが、ワイヤボンディングを用いてもよい。
The
この時、集積回路素子2の電源に相当するパッドPを実装用外部端子GT1(電源用外部端子)と接続される電源用の配線パターンH11に接続する。集積回路素子2の出力に相当するパッドPを実装用外部端子GT2(出力用外部端子)と接続される出力用の配線パターンH12に接続する。集積回路素子2の接地部に相当するパッドPを実装用外部端子GT3(接地用外部端子)と接続される接地用の配線パターンH13に接続する。集積回路素子2の他のパッドPを実装用外部端子GT4(他の外部端子)と接続される他の配線パターンH14に接続する。集積回路素子2のデータ入出力に相当するパッドPを調整用外部端子GT7(データ入出力用外部端子(IO))と接続されるデータ入出力用の配線パターンH17に接続する。集積回路素子2のへデータの入出力制御に相当するパッドPを調整用外部端子GT6(データ制御用外部端子(CS))と接続されるデータ入出力制御用の配線パターンH18に接続する。また、図1における集積回路素子2の発振用増幅器の出力側に相当し、後述する圧電振動素子3の励振電極31に接続されるパッドPを第1測定用外部端子GT8と接続される第1の出力側の配線パターンH16に接続する。図1における集積回路素子2の発振用増幅器の入力側に相当し、後述する圧電振動素子3の励振電極32に接続されるパッドPを第2測定用外部端子GT5と接続される第1の入力側の配線パターンH15に接続する。
At this time, the pad P corresponding to the power supply of the
集積回路素子2の上方で、収納部10の同一空間である第2の収納部10bには所定の間隔を持って圧電振動素子3が搭載される。圧電振動素子3は例えば矩形状のATカット水晶振動板であり、その表面に矩形状の励振電極31とこの引出電極が形成され、その裏面に矩形状の励振電極32とこの引出電極が形成されており、これら一対の励振電極31,32が表裏面で対向して形成されている。これらの電極は、例えば、クロムまたはニッケルの下地電極層と、銀または金の中間電極層と、クロムまたはニッケルの上部電極層とから構成された積層薄膜、クロムやニッケルの下地電極層と、銀または金の上部電極層とから構成された積層薄膜である。これら各電極は真空蒸着法やスパッタリング法等の薄膜形成手段により形成することができる。
Above the
圧電振動素子3とベース1との接合は、例えばペースト状であり銀フィラー等の金属微小片を含有するシリコーン系の導電樹脂接着剤(導電性接合材)Sを用いている。図2に示すように、導電性樹脂接着剤Sは、配線パターンH25,H26のうちの一部の上面に塗布されるとともに、導電性樹脂接着剤Sを圧電振動素子3と保持台10cの間に介在させ硬化させることで、お互いを電気的機械的に接合している。以上により、圧電振動素子3の一端部をベース1の第1の収納部10aの底面から隙間を設けながら、圧電振動素子3の対向する他端部をベースの保持台10cに接合して、片持ち保持される。なお、本形態では、シリコーン系の導電樹脂接着剤により接合した構成を例にしているが、この導電性接合材として他の導電性樹脂接着剤や金属バンプ、金属メッキバンプなどを用いてもよい。
The
この時、圧電振動素子3の励振電極31に接続される引出電極を、図1における集積回路素子2の発振用増幅器の出力側に相当し、第1測定用外部端子GT8と接続される第2の出力側の配線パターンH26に接続する。圧電振動素子3の励振電極32に接続される引出電極を、図1における集積回路素子2の発振用増幅器の入力側に相当し、第2測定用外部端子GT5と接続される第2の入力側の配線パターンH25に接続する。
At this time, the extraction electrode connected to the
ベース1を気密封止する蓋4は、例えば、コバール等からなるコア材に金属ろう材(封止材)が形成された構成である。この金属ろう材からなる封止材5がベース1の接合領域(金属膜)13aと接合される構成となる。金属製の蓋4の平面視外形はセラミックベースの当該外形とほぼ同じであるか、若干小さい構成となっている。
The
収納部10に集積回路素子2と圧電振動素子3が格納されたベース1の接合領域13aに対して金属製の蓋4にて被覆し、金属製の蓋4の封止材5とベースの接合領域13aを溶融硬化させ、気密封止を行うことで表面実装型水晶発振器6の完成となる。
The joint area 13a of the
このように構成された表面実装型水晶発振器6は、図2に示すように、回路基板7の配線パターン71に対してはんだなどの接合材8を用いて接合される。つまり、実装用外部端子GT1,GT2,GT3,GT4(図1ではGT1,GT2のみ図示)に接合材8を用いて回路基板7の配線パターン71へ接合する。調整用外部端子GT7も接合材8を用いて回路基板7のグランド用配線パターン72へ接合する。
As shown in FIG. 2, the surface-mounted
上記実施形態により、製品化された表面実装型水晶発振器6としてユーザー側で必要な実装用外部端子GT1,GT2,GT3,GT4だけでなく、表面実装型水晶発振器の製造段階でのみ利用し、製品化にはユーザー側で不要である調整用外部端子GT7を回路基板7へ搭載する際の接合補強用の外部端子として利用できる。
According to the above embodiment, the surface
本形態では、調整用外部端子GT7はデータ入出力用外部端子(IO)、調整用外部端子GT6はデータ制御用外部端子(CS)として構成されているので、データ制御用外部端子(CS)に特定の電圧を加えることで、データ入出力用外部端子(IO)に対して特定の調整データを入力できるように構成されている。そこで、調整用外部端子GT6(データ外部制御用外部端子(CS))を、回路基板7の搭載面と対向しない表面実装型水晶振動子6の外装部14の側面であり、底部11の下面の長辺16と、最上層である堤部13の接合領域(金属膜)13aとから離隔した状態で形成している。このため、回路基板7への搭載後に少なくとも前記調整用外部端子GT6(データ外部制御用外部端子(CS))に対しては、外部(回路基板7)から特定の電圧が加わることがなくなるので、集積回路素子2のデータが書き換わることがなくなる。
In this embodiment, the adjustment external terminal GT7 is configured as a data input / output external terminal (IO), and the adjustment external terminal GT6 is configured as a data control external terminal (CS). By applying a specific voltage, specific adjustment data can be input to the data input / output external terminal (IO). Therefore, the adjustment external terminal GT6 (data external control external terminal (CS)) is a side surface of the exterior portion 14 of the surface-mount
なお、上記形態に限らず、データ制御用外部端子(CS)を調整用外部端子GT7とし、データ入出力用外部端子(IO)を調整用外部端子GT6として入れ替えて構成してもよい。この場合も、調整用外部端子GT7は、回路基板7のグランド用配線パターン72に接合材8を用いて接続しているので、調整用外部端子GT7に対して不要な電圧が加わることがなくなるので集積回路素子2のデータが書き換わることがなくなる。
Note that the present invention is not limited to the above configuration, and the data control external terminal (CS) may be replaced with the adjustment external terminal GT7, and the data input / output external terminal (IO) may be replaced with the adjustment external terminal GT6. Also in this case, since the adjustment external terminal GT7 is connected to the ground wiring pattern 72 of the
つまり、小型化された表面実装型水晶発振器であっても、製品化後に必要な実装用外部端子GT1,GT2,GT3,GT4だけでなく、製造時にはデータの入出力が可能な状態で不安定な調整用外部端子GT7であっても、調整用外部端子GT7を回路基板へ搭載する際にはデータを書き換えられない安定した接合補強用の外部端子として再利用することができるようになる。実装用外部端子や調整用外部端子以外に別途接合補強用の外部端子を設ける必要がない。また、それぞれ機能する各実装用外部端子や調整用外部端子の役割を変更することもなく、規格に応じた外部端子の配置的な制限にも対応することができる。以上により、小型化に対応させながら、はんだクラックの対応も行え、より信頼性の高い外部端子の接続構造が得られる。 In other words, even a miniaturized surface-mount crystal oscillator is unstable in a state where data can be input / output at the time of manufacture, as well as the external terminals GT1, GT2, GT3, and GT4 that are required after the commercialization. Even when the adjustment external terminal GT7 is mounted on the circuit board, the adjustment external terminal GT7 can be reused as an external terminal for stable joint reinforcement in which data cannot be rewritten. There is no need to separately provide an external terminal for reinforcing joints other than the mounting external terminal and the adjustment external terminal. Further, it is possible to cope with the layout restrictions of the external terminals according to the standard without changing the roles of the respective mounting external terminals and adjusting external terminals that function. As described above, solder cracks can be dealt with while reducing the size, and a more reliable external terminal connection structure can be obtained.
また、上記形態に加えて、製品化にはユーザー側で不要であるとともに集積回路素子2の発振用増幅器の出力側に相当し、後述する圧電振動素子3の一方の励振電極31に接続された圧電振動素子の特性測定用の第1測定用外部端子GT8を、回路基板7へ搭載する際の接合補強用の外部端子として利用してもよい。この場合、表面実装型水晶発振器の特性に悪影響を与えないようにするために、回路基板7に形成された非接続パターン(NCパターン)に接続するとよい。
Further, in addition to the above form, it is not necessary for commercialization on the user side, corresponds to the output side of the oscillation amplifier of the
また、調整用外部端子GT6,GT7と、測定用外部端子GT5,GT8とは、ベースの外装部の底面の長辺から離隔した状態で形成されているため、表面実装型水晶発振器の小型化に対応させながら、各機能を有するお互いの外部端子間(実装用外部端子と調整用外部端子、調整用外部端子と測定用外部端子、測定用外部端子と実装用外部端子、実装用外部端子と調整用外部端子と測定用外部端子)で干渉することがなくなり、発振器を製造する際や製品化された後にも悪影響を与えることがない。加えて、各機能を有するお互いの外部端子の配置的な制限にも対応することができる。 In addition, the adjustment external terminals GT6 and GT7 and the measurement external terminals GT5 and GT8 are formed in a state of being separated from the long side of the bottom surface of the base exterior portion, thereby reducing the size of the surface mount crystal oscillator. While corresponding to each other external terminals having each function (mounting external terminal and adjustment external terminal, adjustment external terminal and measurement external terminal, measurement external terminal and mounting external terminal, adjustment with mounting external terminal The external terminal for measurement and the external terminal for measurement) will not interfere with each other, and will not adversely affect the oscillator when it is manufactured or after it is commercialized. In addition, it is possible to deal with restrictions on arrangement of external terminals having functions.
また、引き回し電極GT11,GT21,GT31,GT41にも接合材8が這い上がり、回路基板7へ搭載する際の接合補強と接合材8の塗布状態を認識するための部分として利用できる。
Further, the
上記実施形態により、不要ノイズが増幅され、圧電発振器としての電気的な特性に悪影響を与えやすい発振用増幅器の入力側(ゲート側G)に接続された入力側配線パターン(第1の入力側の配線パターンH15と第2の入力側の配線パターンH25)と第2測定用外部端子GT5とを、外部からのノイズの影響の高い電源ライン(集積回路素子2の電源に相当するパッドPから電源用の配線パターンH11を経由した電源用の実装用外部端子GT1等)と出力ライン(集積回路素子2の出力に相当するパッドPから出力用の配線パターンH12を経由した出力用の実装用外部端子GT2等)から遠い位置に配置することができる。このため、不要ノイズによる悪影響を極力抑えることが可能となり、前記出力ラインを流れる交流や高周波信号による不要な輻射ノイズの悪影響も軽減できる。
According to the above-described embodiment, the input side wiring pattern (on the first input side) connected to the input side (gate side G) of the oscillation amplifier that easily amplifies unnecessary noise and easily adversely affects the electrical characteristics of the piezoelectric oscillator. The wiring pattern H15, the second input-side wiring pattern H25), and the second measurement external terminal GT5 are connected to the power supply line (pad P corresponding to the power supply of the integrated circuit element 2) that is highly influenced by external noise. Mounting external terminal GT1 for power supply via the wiring pattern H11) and an output line (mounting external terminal GT2 for output from the pad P corresponding to the output of the
特に、表面実装型圧電発振器が小型化されると、外部端子や配線パターン等の形成位置がますます制限される中で、前記出力ラインや前記電源ラインと前記入力側配線パターンや第2測定用外部端子GT5との距離も短くなり、その悪影響もより一層受けやすくなるが、本発明では表面実装型圧電発振器の小型化を妨げることなく、不要ノイズの悪影響を抑えることができる。 In particular, when the surface-mount type piezoelectric oscillator is downsized, the positions where external terminals and wiring patterns are formed are increasingly limited, and the output line, the power supply line, the input-side wiring pattern, and the second measurement are used. Although the distance from the external terminal GT5 is shortened and the adverse effect thereof is more easily affected, the present invention can suppress the adverse effect of unnecessary noise without hindering the downsizing of the surface-mount piezoelectric oscillator.
なお、上記した本実施例では、圧電振動素子としてATカット水晶振動板を用いているが、これに限定されるものでなく、音叉型水晶振動片であってもよい。また、圧電振動素子として水晶を材料としているが、これに限定されるものではなく、圧電セラミックスやLiNbO3等の圧電単結晶材料を用いてもよい。すなわち、任意の圧電振動素子が適用可能である。また、圧電振動素子を片持ち保持するものを例にしているが、圧電振動素子の両端を保持する構成であってもよい。また導電性接合材として、シリコーン系の導電樹脂接着剤を例にしているが、他の導電性樹脂接着剤でもよく、金属バンプや金属メッキバンプのバンプ材、ろう材等を用いてもよい。 In the above-described embodiment, an AT cut quartz crystal vibrating plate is used as the piezoelectric vibrating element. However, the present invention is not limited to this, and a tuning fork type quartz vibrating piece may be used. Further, although quartz is used as the piezoelectric vibration element, the present invention is not limited to this, and a piezoelectric single crystal material such as piezoelectric ceramics or LiNbO 3 may be used. That is, any piezoelectric vibration element can be applied. In addition, although the example in which the piezoelectric vibration element is cantilevered is taken as an example, a configuration in which both ends of the piezoelectric vibration element are retained may be employed. Moreover, although the silicone type conductive resin adhesive is taken as an example of the conductive bonding material, other conductive resin adhesives may be used, and bump materials, brazing materials, etc. of metal bumps and metal plating bumps may be used.
また、本実施例では、圧電振動素子3と集積回路素子2とを用いているが、これに限定されるものではなく、圧電振動素子3の個数は任意に設定可能であり、さらに集積回路素子2に加えて他の回路部品を搭載してもよい。すなわち、用途にあわせてベースに搭載する部材を設定変更することができる。また、集積回路素子とベースとの電気的接続は、フリップチップボンディング工法に限らず、ワイヤボンディング工法などを採用してもよい。発振用増幅器としてC−MOSのインバータ増幅器を内蔵したワンチップの集積回路素子を用いた発振回路構成を例にしているが、他の発振用増幅器を含む発振回路構成でもよい。
In this embodiment, the
また、本実施例では、金属ろう材による封止を例にしたが、これに限定されるものではなく、シーム封止、ビーム封止(例えば、レーザビーム、電子ビーム)やガラス封止等でも適用することができる。 In this embodiment, sealing with a metal brazing material is taken as an example. However, the present invention is not limited to this, and seam sealing, beam sealing (for example, laser beam, electron beam), glass sealing, etc. Can be applied.
また、本実施例では、表面実装型圧電発振器として上部のみが開口した凹部を有するベース1の内底面に集積回路素子2を収納し、その上部に圧電振動素子3を収納した積層型配置のもののみを開示しているが、上部と下部が開口した凹部を有するベースの下部凹部の内底面に集積回路素子2を収納し、上部凹部の内底面に圧電振動素子3を収納したH型配置のものなどに適用してもよい。
Further, in this embodiment, the surface mount type piezoelectric oscillator has a stacked arrangement in which the integrated
本発明は、その思想または主要な特徴から逸脱することなく、他のいろいろな形で実施することができる。そのため、上述の実施例はあらゆる点で単なる例示にすぎず、限定的に解釈してはならない。本発明の範囲は特許請求の範囲によって示すものであって、明細書本文には、なんら拘束されない。さらに、特許請求の範囲の均等範囲に属する変形や変更は、全て本発明の範囲内のものである。 The present invention can be implemented in various other forms without departing from the spirit or main features thereof. For this reason, the above-described embodiment is merely an example in all respects and should not be interpreted in a limited manner. The scope of the present invention is indicated by the claims, and is not restricted by the text of the specification. Further, all modifications and changes belonging to the equivalent scope of the claims are within the scope of the present invention.
本発明は、表面実装型圧電振動発振器に適用できる。 The present invention can be applied to a surface mount type piezoelectric vibration oscillator.
1 ベース
2 集積回路素子
3 圧電振動素子
4 蓋
5 封止材
6 表面実装型水晶発振器
7 回路基板
8 接合材
S 導電樹脂接着剤(導電性接合材)
C 金属バンプ
V 導電ビア
DESCRIPTION OF
C Metal bump V Conductive via
Claims (1)
発振用増幅器を内蔵した集積回路素子と、
前記集積回路素子と接続される一対の励振電極が形成された圧電振動素子と、
矩形状のセラミック基板が積層されて収納部と外装部とが構成され、収納部に形成された複数の配線パターンと、外装部に形成され前記配線パターンの一部と接続された外部端子とを有する絶縁性のベースとがあり、
前記ベースの外装部の底面には、4角と長辺中央に6つの外部端子が形成され、
前記ベースの外装部の底面の一方の長辺に接する2角には、実装用外部端子としての電源用外部端子と出力用外部端子とが対向して形成されており、
前記ベースの外装部の底面の一方の長辺から離隔した状態で、前記電源用外部端子と前記出力用外部端子の間には、前記集積回路素子の発振用増幅器の出力側で前記圧電振動素子の励振電極と接続される第1測定用外部端子が形成されており、
前記ベースの外装部の底面の一方の長辺から離隔した状態で、前記ベースの外装部の長辺方向の側面には、前記集積回路素子のデータ調整用のデータ入出力端子が形成されており、
前記ベースの外装部の底面の他方の長辺に接する2角には、実装用外部端子としての接地用外部端子と他の外部端子とが対向して形成されており、
前記ベースの外装部の底面の他方の長辺から離隔した状態で、前記接地用外部端子と前記他の外部端子の間には、前記集積回路素子のデータ調整用のデータ制御端子が形成されており、
前記ベースの外装部の底面の他方の長辺から離隔した状態で、前記ベースの外装部の長辺方向の側面には、前記集積回路素子の発振用増幅器の入力側で前記圧電振動素子の励振電極と接続される第2測定用外部端子が形成されており、
前記実装用外部端子に接合材を用いて回路基板の配線パターンへ接合するとともに、前記データ制御端子にも接合材を用いて回路基板のグランド用配線パターンのみへ接合することを特徴とする表面実装型圧電発振器。 A surface mount piezoelectric oscillator,
An integrated circuit element with a built-in oscillation amplifier;
A piezoelectric vibration element having a pair of excitation electrodes connected to the integrated circuit element;
A rectangular ceramic substrate is laminated to form a storage portion and an exterior portion, and a plurality of wiring patterns formed in the storage portion, and external terminals formed in the exterior portion and connected to a part of the wiring pattern And has an insulating base
Six external terminals are formed in the center of the four corners and the long side on the bottom surface of the exterior portion of the base,
In two corners in contact with one long side of the bottom surface of the exterior portion of the base, a power supply external terminal as an external terminal for mounting and an output external terminal are formed to face each other.
The piezoelectric vibration element on the output side of the oscillation amplifier of the integrated circuit element between the power supply external terminal and the output external terminal in a state of being separated from one long side of the bottom surface of the exterior portion of the base A first measurement external terminal connected to the excitation electrode is formed,
A data input / output terminal for data adjustment of the integrated circuit element is formed on the side surface in the long side direction of the base exterior portion while being separated from one long side of the bottom surface of the base exterior portion. ,
In the two corners in contact with the other long side of the bottom surface of the exterior portion of the base, a grounding external terminal as an external terminal for mounting and other external terminals are formed facing each other.
A data control terminal for data adjustment of the integrated circuit element is formed between the ground external terminal and the other external terminal in a state separated from the other long side of the bottom surface of the exterior portion of the base. And
In the state separated from the other long side of the bottom surface of the base exterior portion, the side surface in the long side direction of the base exterior portion is excited on the input side of the oscillation amplifier of the integrated circuit element. A second measuring external terminal connected to the electrode is formed;
The surface mounting is characterized in that a bonding material is used for bonding to the external terminals for mounting, and a bonding material is also used for bonding the data control terminals to only the wiring pattern for grounding of the circuit board. Type piezoelectric oscillator.
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