[go: up one dir, main page]

JP6049936B1 - Air conditioner - Google Patents

Air conditioner Download PDF

Info

Publication number
JP6049936B1
JP6049936B1 JP2016130599A JP2016130599A JP6049936B1 JP 6049936 B1 JP6049936 B1 JP 6049936B1 JP 2016130599 A JP2016130599 A JP 2016130599A JP 2016130599 A JP2016130599 A JP 2016130599A JP 6049936 B1 JP6049936 B1 JP 6049936B1
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
air
flow path
temperature
intake port
taken
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2016130599A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2018004152A (en
Inventor
多 隆 文 喜
多 隆 文 喜
口 俊 二 山
口 俊 二 山
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shinwa Controls Co Ltd
Original Assignee
Shinwa Controls Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shinwa Controls Co Ltd filed Critical Shinwa Controls Co Ltd
Priority to JP2016130599A priority Critical patent/JP6049936B1/en
Application granted granted Critical
Publication of JP6049936B1 publication Critical patent/JP6049936B1/en
Priority to TW106100716A priority patent/TWI621816B/en
Priority to KR1020170014401A priority patent/KR101753554B1/en
Publication of JP2018004152A publication Critical patent/JP2018004152A/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F24HEATING; RANGES; VENTILATING
    • F24FAIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
    • F24F11/00Control or safety arrangements
    • F24F11/70Control systems characterised by their outputs; Constructional details thereof
    • F24F11/72Control systems characterised by their outputs; Constructional details thereof for controlling the supply of treated air, e.g. its pressure
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F24HEATING; RANGES; VENTILATING
    • F24FAIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
    • F24F11/00Control or safety arrangements
    • F24F11/70Control systems characterised by their outputs; Constructional details thereof
    • F24F11/72Control systems characterised by their outputs; Constructional details thereof for controlling the supply of treated air, e.g. its pressure
    • F24F11/74Control systems characterised by their outputs; Constructional details thereof for controlling the supply of treated air, e.g. its pressure for controlling air flow rate or air velocity
    • F24F11/75Control systems characterised by their outputs; Constructional details thereof for controlling the supply of treated air, e.g. its pressure for controlling air flow rate or air velocity for maintaining constant air flow rate or air velocity
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F24HEATING; RANGES; VENTILATING
    • F24FAIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
    • F24F13/00Details common to, or for air-conditioning, air-humidification, ventilation or use of air currents for screening
    • F24F13/08Air-flow control members, e.g. louvres, grilles, flaps or guide plates
    • F24F13/10Air-flow control members, e.g. louvres, grilles, flaps or guide plates movable, e.g. dampers
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F24HEATING; RANGES; VENTILATING
    • F24FAIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
    • F24F3/00Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
    • F24F3/044Systems in which all treatment is given in the central station, i.e. all-air systems
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F24HEATING; RANGES; VENTILATING
    • F24FAIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
    • F24F13/00Details common to, or for air-conditioning, air-humidification, ventilation or use of air currents for screening
    • F24F13/28Arrangement or mounting of filters
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F24HEATING; RANGES; VENTILATING
    • F24FAIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
    • F24F2110/00Control inputs relating to air properties
    • F24F2110/10Temperature
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02BCLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES RELATED TO BUILDINGS, e.g. HOUSING, HOUSE APPLIANCES OR RELATED END-USER APPLICATIONS
    • Y02B30/00Energy efficient heating, ventilation or air conditioning [HVAC]
    • Y02B30/70Efficient control or regulation technologies, e.g. for control of refrigerant flow, motor or heating

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • Air Conditioning Control Device (AREA)
  • Central Air Conditioning (AREA)

Abstract

【課題】環境温度が著しく変動した場合であっても、温度制御対象の空気を安定した状態で且つ速やかに所望の温度に制御することができる空気調和装置を提供する。【解決手段】空気調和装置1は、取込口31及び取込口31から取り込まれた空気を吐出する吐出口32を有する空気通流路30と、取込口31から吐出口32へ向けて空気を通流させる送風機60と、空気通流路30内に収容され取込口31から取り込まれた空気を可変の冷凍能力で冷却する冷却部2と、空気通流路30内に収容され取込口31から取り込まれた空気を可変の加熱能力で加熱する加熱部4と、冷却部2の下流側で且つ加熱部4の下流側の位置から冷却部2の上流側で且つ加熱部4の上流側の位置まで延びるリターン流路100と、を備える。この空気調和装置1では、リターン流路100を介して戻る空気が、取込口31に取り込まれる前の外部の空気に合流されるようになっている。【選択図】図1Provided is an air conditioner that can control air to be temperature-controlled in a stable state and quickly to a desired temperature even when the environmental temperature fluctuates significantly. An air conditioner (1) includes an intake port (31), an air passage (30) having a discharge port (32) for discharging air taken in from the intake port (31), and the intake port (31) toward the discharge port (32). A blower 60 that allows air to flow, a cooling unit 2 that cools the air that is received in the air flow path 30 and is taken in from the intake port 31 with variable refrigeration capacity, and the air that is received in the air flow path 30. The heating unit 4 that heats the air taken in from the inlet 31 with variable heating capacity, and the downstream side of the cooling unit 2 and the downstream side of the heating unit 4 from the upstream side of the cooling unit 2 and the heating unit 4 And a return channel 100 extending to a position on the upstream side. In the air conditioner 1, the air returning through the return flow channel 100 is merged with the external air before being taken into the intake port 31. [Selection] Figure 1

Description

本発明は、空気調和装置に関する。   The present invention relates to an air conditioner.

半導体製造設備におけるクリーンルームの室内温度は、通常、空気調和装置によって厳密に管理されている。例えば、フォトレジストの塗布及び現像を行う装置(コータ等)が設置されたクリーンルームでは、室内温度が目標温度の+0.05℃乃至−0.05℃の誤差範囲内に制御されることが要求される場合がある。このようなクリーンルームに対応可能な空気調和装置として、従来から種々の装置が提案されている(例えば、特許文献1参照)。   The room temperature of a clean room in a semiconductor manufacturing facility is usually strictly controlled by an air conditioner. For example, in a clean room where an apparatus for coating and developing photoresist (coater, etc.) is installed, the room temperature is required to be controlled within an error range of + 0.05 ° C. to −0.05 ° C. of the target temperature. There is a case. Conventionally, various devices have been proposed as an air conditioner capable of handling such a clean room (see, for example, Patent Document 1).

特開2013−108652号公報JP 2013-108652 A

ところで、この種の空気調和装置では、通常、使用温度範囲と温度制御範囲とが定められており、取り込んだ空気が使用温度範囲内の温度であれば、当該空気を温度制御範囲内の所望の設定温度に制御して所定の風量で供給することができる。しかしながら、昨今、多くの地域で、大寒波や大熱波等の発生による環境温度の著しい変動が頻繁に発生しており、これに伴って空気調和装置の制御が不安定になるという不具合が数多く報告されている。   By the way, in this type of air conditioner, a use temperature range and a temperature control range are usually defined, and if the taken-in air is a temperature within the use temperature range, the air is moved to a desired range within the temperature control range. It can be supplied at a predetermined air volume while being controlled to a set temperature. However, in recent years, there have been frequent frequent fluctuations in environmental temperature due to the occurrence of large cold waves, large heat waves, etc., and this has led to many problems that control of the air conditioner becomes unstable. It has been reported.

上記のような環境温度の著しい変動は、空気調和装置が取り込む空気を著しく変動させる場合があり、空気調和装置における冷凍能力又は加熱能力を急激に大きく変化させる必要性を生じさせる場合がある。このような冷凍能力又は加熱能力の急激な変化は、上述の不具合を発生させる要因の一つとなり得る。また、冷凍能力又は加熱能力を急激に大きく変化させる必要性が生じた場合には、空気調和装置が所望の冷凍能力又は加熱能力に十分に追従することができなくなり、その運転を停止せざるを得なくなるという状況も生じ得る。また、環境温度の著しい変動によって空気調和装置にて取り込む空気が使用温度範囲を外れる場合には、基本的に、取り込んだ空気を所望の温度へ制御できなくなる。   Such significant fluctuations in the environmental temperature may cause the air taken in by the air conditioner to fluctuate significantly, which may cause the necessity of drastically changing the refrigeration capacity or heating capacity of the air conditioner. Such a rapid change in the refrigerating capacity or the heating capacity can be one of the factors that cause the above-described problems. In addition, when it becomes necessary to drastically change the refrigeration capacity or the heating capacity, the air conditioner cannot sufficiently follow the desired refrigeration capacity or the heating capacity, and the operation must be stopped. There may be situations where it is impossible to obtain. In addition, when the air taken in by the air conditioner deviates from the operating temperature range due to significant fluctuations in the environmental temperature, basically, the taken-in air cannot be controlled to a desired temperature.

ここで、上記のような環境温度の著しい変動に対する対策としては、例えば、空気調和装置の冷凍能力及び加熱能力の範囲を広くし且つ冷凍能力及び加熱能力の変化時の応答性を向上させることが考えられる。しかしながら、このような対策は、冷凍能力又は加熱能力の拡大や性能向上に伴って装置が不所望に大型化したり、運転に必要なエネルギーが不所望に嵩んだりする虞があるため、必ずしも良好であるとは言えない。   Here, as a countermeasure against the significant fluctuation of the environmental temperature as described above, for example, the range of the refrigerating capacity and the heating capacity of the air conditioner is widened and the responsiveness when the refrigerating capacity and the heating capacity are changed is improved. Conceivable. However, such measures are not always good because there is a risk that the apparatus will undesirably increase in size or the energy required for operation will undesirably increase as the refrigeration capacity or heating capacity expands or improves performance. I can't say that.

本発明は、このような実情を考慮してなされたものであり、環境温度が著しく変動した場合であっても、温度制御対象の空気を安定した状態で且つ速やかに所望の温度に制御することができ、しかも、このような好適な制御性能を確保しつつも装置全体が不所望に大型化したり、運転のためのエネルギーが不所望に増加したりするのを抑制することができる空気調和装置を提供することを目的とする。   The present invention has been made in consideration of such circumstances, and even when the environmental temperature fluctuates significantly, the air to be temperature-controlled can be quickly controlled to a desired temperature in a stable state. In addition, an air conditioner that can suppress the undesirably large size of the entire apparatus or an undesirably increased energy for operation while ensuring such suitable control performance. The purpose is to provide.

本発明は、外部の空気を取り込む取込口及び前記取込口から取り込まれた空気を吐出する吐出口を有する空気通流路と、前記取込口から前記吐出口へ向けて空気を通流させる送風機と、前記空気通流路内に収容され、前記取込口から取り込まれた空気を可変の冷凍能力で冷却する冷却部と、前記空気通流路内に収容され、前記取込口から取り込まれた空気を可変の加熱能力で加熱する加熱部と、前記冷却部の下流側で且つ前記加熱部の下流側の位置から前記冷却部の上流側で且つ前記加熱部の上流側の位置まで延びるリターン流路と、を備え、前記リターン流路を介して前記冷却部の上流側で且つ前記加熱部の上流側の位置に供給される空気が、前記取込口に取り込まれる前の外部の空気又は前記取込口に取り込まれた後の外部の空気に合流されるようになっている、ことを特徴とする空気調和装置、である。   The present invention includes an air passage having an intake port for taking in external air and an outlet port for discharging air taken in from the intake port, and air flow from the intake port toward the discharge port. An air blower, a cooling unit that is accommodated in the air flow path and cools the air taken in from the intake port with a variable refrigeration capacity, and is accommodated in the air flow path, from the intake port A heating unit that heats the taken-in air with variable heating capacity; and a position downstream of the cooling unit and downstream of the heating unit to a position upstream of the cooling unit and upstream of the heating unit. A return flow path extending through the return flow path, and air supplied to a position upstream of the cooling unit and upstream of the heating unit via the return flow channel before being taken into the intake port. Merge with air or external air after being taken into the intake Has manner as the air conditioning apparatus, characterized in that a.

本発明によれば、リターン流路によって、冷却部及び加熱部を通過した空気の一部を冷却部の上流側で且つ加熱部の上流側の位置に供給して、空気通流路の取込口に取り込まれる前の空気又は取込口に取り込まれた後の空気に合流させることができる。これにより、環境温度の著しい変動に応じて取込口に取り込まれる外部の空気の温度が大きく変動した場合であっても、この外部の空気は、温度制御されたリターン流路からの空気と合流することで、その温度が温度制御されるべき温度に近づくようになる。そのため、外部の空気の温度の大きい変動に応じて冷凍能力又は加熱能力を急激に大きく変化させなくても、リターン流路からの空気と合流した外部の空気を所望の温度に制御し易くなる。よって、環境温度が著しく変動した場合であっても、温度制御対象の空気を安定した状態で且つ速やかに所望の温度に制御することができ、しかも、このような好適な制御性能を確保しつつも装置全体が不所望に大型化したり、運転のためのエネルギーが不所望に増加したりするのを抑制することができる。   According to the present invention, the return flow channel supplies a part of the air that has passed through the cooling unit and the heating unit to the upstream side of the cooling unit and the upstream side of the heating unit, and takes in the air flow channel. The air before being taken into the mouth or the air after being taken into the intake can be merged. As a result, even if the temperature of the external air taken into the intake port varies greatly in response to significant fluctuations in the environmental temperature, this external air merges with the air from the temperature-controlled return flow path. By doing so, the temperature approaches the temperature to be temperature controlled. For this reason, it is easy to control the external air joined with the air from the return flow path to a desired temperature without drastically changing the refrigeration capacity or the heating capacity in response to large fluctuations in the temperature of the external air. Therefore, even when the environmental temperature fluctuates significantly, the air to be temperature controlled can be controlled to a desired temperature promptly in a stable state, and such suitable control performance can be ensured. In addition, it is possible to suppress an undesirably large size of the entire apparatus or an undesirably increased energy for operation.

また本発明によれば、リターン流路によって上流側に戻す空気の風量を調節することで、送風機の風量をある一定の値に設定しつつ、リターン流路によって戻らずに吐出口から温度制御対象空間に吐出される空気の風量を変更することが可能となる。そのため、送風機の風量をある一定の値とした際の温度制御の信頼性を空気調和装置において確保しておけば、吐出口から温度制御対象空間に吐出される空気の風量が要求に応じて種々のパターンに変更される場合であっても、各パターンにおいて温度制御の信頼性を確保できる。これにより、要求される空気の風量に応じて、空気調和装置を、好適な制御性能を確保できる状態に速やかにセッティングすることができるため、出荷前後の両方で、空気調和装置を有効に活用することも可能となる。   Further, according to the present invention, by adjusting the air volume of the air returned to the upstream side by the return flow path, the air volume of the blower is set to a certain value, and the temperature control target is set from the discharge port without returning by the return flow path. It becomes possible to change the air volume of the air discharged into the space. Therefore, if reliability of temperature control when the air flow rate of the blower is set to a certain value is ensured in the air conditioner, the air flow rate of air discharged from the discharge port to the temperature control target space can be varied according to demand. Even in the case of changing to this pattern, the reliability of temperature control can be secured in each pattern. As a result, the air conditioner can be quickly set to a state where suitable control performance can be ensured according to the required air volume, so that the air conditioner can be effectively used both before and after shipment. It is also possible.

また本発明に係る空気調和装置において、前記リターン流路内には、前記リターン流路を通流する空気の風量を調節する風量調節用ダンパが設けられていてもよい。   Moreover, the air conditioning apparatus which concerns on this invention WHEREIN: The damper for air volume adjustments which adjusts the air volume of the air which flows through the said return flow path may be provided in the said return flow path.

この場合、風量調節用ダンパを調節することによって、想定される環境温度の変動に応じた、リターン流路からの空気の好適な戻り量を柔軟に設定することができ、環境温度の変動に対する制御の安定性と効率的な運転とのバランスを図ることができる。
例えば取込口に取り込まれる外部の空気の温度が大きく変化した場合には、リターン流路からの空気の戻り量が大きい方が、取り込まれた外部の空気は温度制御されるべき温度により近づくようになる。したがって、外部の空気の温度が大きく変化することが想定される場合には、風量調節用ダンパを調節してリターン流路からの空気の戻り量を大きくすることにより、環境温度の変動に対する制御の安定性を向上させる設定を行うことができる。また、外部の空気の温度が大きく変化することが想定されない場合には、風量調節用ダンパを調節してリターン流路からの空気の戻り量を小さくすることにより、吐出口から温度制御対象空間へ効率的に空気を供給するための設定を行うことができる。
In this case, by adjusting the air volume adjustment damper, it is possible to flexibly set a suitable return amount of air from the return flow path according to the assumed fluctuation of the environmental temperature, and to control the fluctuation of the environmental temperature. The balance between stability and efficient operation can be achieved.
For example, when the temperature of the external air taken into the intake port changes greatly, the larger the return amount of air from the return flow path, the closer the external air taken in will be closer to the temperature to be temperature controlled. become. Therefore, when it is assumed that the temperature of the external air changes greatly, the air flow adjustment damper is adjusted to increase the return amount of the air from the return flow path, thereby controlling the fluctuation of the environmental temperature. Settings can be made to improve stability. If the temperature of the external air is not expected to change significantly, the air flow adjustment damper is adjusted to reduce the return amount of the air from the return flow path, so that the discharge port can move to the temperature control target space. Setting for efficiently supplying air can be performed.

また、前記風量調節用ダンパは、手動及び自動で前記リターン流路を通流する空気の風量を調節可能となっていてもよい。   The air volume adjusting damper may be capable of adjusting the air volume of the air flowing through the return channel manually and automatically.

また、前記送風機は、風量を変更可能であってもよい。   Moreover, the said air blower may be capable of changing the air volume.

この場合、送風機の風量を変更可能で且つ風量調節用ダンパによってリターン流路を通流する空気の風量を調節可能であることで、ユーザーから要求される吐出口から温度制御対象空間への空気の風量を確保しつつ、リターン流路からの空気の戻り量を柔軟に設定することができる。これにより、空気調和装置の適用範囲を拡大でき、使い勝手を極めて向上させることができる。   In this case, the air volume of the blower can be changed and the air volume of the air flowing through the return flow path can be adjusted by the air volume adjusting damper, so that the air from the discharge port required by the user to the temperature control target space can be adjusted. The return amount of air from the return flow path can be set flexibly while securing the air volume. Thereby, the application range of an air conditioning apparatus can be expanded and usability can be improved extremely.

また、前記取込口に、外部の空気を通流させるための取込流路が接続され、前記取込流路には、フィルタ装置が設けられ、前記取込流路における前記フィルタ装置の下流側の位置に、前記リターン流路が連通していてもよい   In addition, an intake passage for allowing external air to flow through is connected to the intake port, and a filter device is provided in the intake passage, and the intake passage is downstream of the filter device. The return flow path may communicate with the position on the side.

この場合、リターン流路からの空気はフィルタ装置を通過する際に生じる圧力損失を受けることなく取込流路内に供給されるため、フィルタ装置を通過した外部の空気とスムーズに合流して、送風機の出力に変動が生じることが抑制されることで、温度制御の安定性を向上させることができる。またリターン流路からの空気は、フィルタ装置を既に通過した空気であるため、汚染の問題が生じることもない。   In this case, since the air from the return flow path is supplied into the intake flow path without receiving a pressure loss that occurs when passing through the filter device, it smoothly merges with the external air that has passed through the filter device, By suppressing fluctuations in the output of the blower, the stability of temperature control can be improved. Further, since the air from the return flow path is air that has already passed through the filter device, the problem of contamination does not occur.

また、前記空気通流路内に、前記空気通流路の一部を二分割する仕切り部材が設けられ、前記仕切り部材によって前記空気通流路の一部が、第1流路と第2流路とに区画され、前記第1流路に前記冷却部が設けられており、前記第1流路及び前記第2流路の開度を調節する流量調節ダンパが設けられ、前記リターン流路からの空気と合流した前記取込口に取り込まれる前の空気又は前記取込口に取り込まれた後の空気の温度が、上流側温度センサで検出されるようになっており、前記流量調節ダンパは、前記上流側温度センサが検出した温度に応じて制御されることで、前記第1流路及び前記第2流路の開度を調節する、ようになっていてもよい。   In addition, a partition member that bisects a part of the air flow channel is provided in the air flow channel, and the partition member causes a part of the air flow channel to be the first flow channel and the second flow channel. The cooling section is provided in the first flow path, a flow rate adjusting damper for adjusting the opening degree of the first flow path and the second flow path is provided, and from the return flow path The temperature of the air before being taken into the intake port merged with the air or the air after being taken into the intake port is detected by an upstream temperature sensor, and the flow control damper is The opening degree of the first flow path and the second flow path may be adjusted by being controlled according to the temperature detected by the upstream temperature sensor.

この場合、リターン流路からの空気と合流した取込口に取り込まれる前の空気又は取込口に取り込まれた後の空気の温度に応じて、合流後の空気に付与する冷凍能力を調節可能であることで、当該空気を所望の温度に効率的に制御することができる。   In this case, the refrigeration capacity to be given to the combined air can be adjusted according to the temperature of the air before being taken into the intake port joined with the air from the return flow path or the air after being taken into the intake port. Thus, the air can be efficiently controlled to a desired temperature.

本発明によれば、環境温度が著しく変動した場合であっても、温度制御対象の空気を安定した状態で且つ速やかに所望の温度に制御することができ、しかも、このような好適な制御性能を確保しつつも装置全体が不所望に大型化したり、運転のためのエネルギーが不所望に増加したりするのを抑制することができる。   According to the present invention, even when the environmental temperature fluctuates significantly, the air to be temperature-controlled can be quickly controlled to a desired temperature in a stable state, and such suitable control performance can be obtained. It is possible to prevent the entire apparatus from being undesirably increased in size and the energy for operation from being increased undesirably while securing the above.

本発明の第1の実施の形態に係る空気調和装置の概略図である。It is the schematic of the air conditioning apparatus which concerns on the 1st Embodiment of this invention. 図1に示す空気調和装置の環境変動の影響に対する影響緩和効果を説明するために用いる環境変動条件の一例を示すグラフを示した図である。It is the figure which showed the graph which shows an example of the environmental variation condition used in order to demonstrate the influence mitigation effect with respect to the influence of the environmental variation of the air conditioning apparatus shown in FIG. 図1に示す空気調和装置の環境変動の影響に対する影響緩和効果を説明するためのグラフを示した図である。It is the figure which showed the graph for demonstrating the influence relaxation effect with respect to the influence of the environmental fluctuation | variation of the air conditioning apparatus shown in FIG. 図1に示す空気調和装置の環境変動の影響に対する影響緩和効果を説明するためのグラフを示した図である。It is the figure which showed the graph for demonstrating the influence relaxation effect with respect to the influence of the environmental fluctuation | variation of the air conditioning apparatus shown in FIG. 図1に示す空気調和装置の環境変動の影響に対する影響緩和効果を説明するためのグラフを示した図である。It is the figure which showed the graph for demonstrating the influence relaxation effect with respect to the influence of the environmental fluctuation | variation of the air conditioning apparatus shown in FIG. 図1に示す空気調和装置の環境変動の影響に対する影響緩和効果を説明するためのグラフを示した図である。It is the figure which showed the graph for demonstrating the influence relaxation effect with respect to the influence of the environmental fluctuation | variation of the air conditioning apparatus shown in FIG. 本発明の第2の実施の形態に係る空気調和装置の概略図である。It is the schematic of the air conditioning apparatus which concerns on the 2nd Embodiment of this invention.

以下に、添付の図面を参照して、本発明の各実施の形態を詳細に説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

(第1の実施の形態)
図1は、本発明の第1の実施の形態に係る空気調和装置1の概略図である。本実施の形態の空気調和装置1は、例えば、フォトレジストの塗布及び現像を行う装置に対し、温度制御された空気を供給して、装置内温度を一定に維持するために用いられる。
(First embodiment)
FIG. 1 is a schematic view of an air-conditioning apparatus 1 according to the first embodiment of the present invention. The air conditioning apparatus 1 according to the present embodiment is used, for example, to supply temperature-controlled air to an apparatus that applies and develops a photoresist to maintain a constant apparatus temperature.

図1に示すように、この空気調和装置1は、当該装置外部の空気を取り込む取込口31及び取込口31から取り込まれた空気を吐出する吐出口32を有する空気通流路30と、取込口31から吐出口32へ向けて空気を通流させる送風機60と、空気通流路30内に収容され、取込口31から取り込まれた空気を可変の冷凍能力で冷却する冷却部2と、空気通流路30内に収容され、取込口31から取り込まれた空気を可変の加熱能力で加熱する加熱部4と、冷却部2の下流側で且つ加熱部4の下流側の位置から冷却部2の上流側で且つ加熱部4の上流側の位置まで延びるリターン流路100と、冷却部2の冷凍能力や加熱部4の加熱能力等を制御する制御ユニット50と、を備えている。   As shown in FIG. 1, the air conditioner 1 includes an intake port 31 that takes in air outside the device, and an air passage 30 that has a discharge port 32 that discharges air taken in from the intake port 31. A blower 60 that allows air to flow from the intake port 31 toward the discharge port 32, and a cooling unit 2 that is housed in the air flow path 30 and cools the air taken in from the intake port 31 with variable refrigeration capacity. A heating unit 4 that is accommodated in the air flow path 30 and that heats the air taken in from the intake port 31 with variable heating capacity, and a position downstream of the cooling unit 2 and downstream of the heating unit 4 And a control unit 50 that controls the refrigeration capacity of the cooling section 2 and the heating capacity of the heating section 4. The return flow path 100 extends to the upstream side of the cooling section 2 and upstream of the heating section 4. Yes.

空気通流路30内においては、冷却部2が加熱部4の上流側に配置され、加熱部4の下流側には加湿装置70がさらに設けられている。加湿装置70は制御ユニット50に電気的に接続され、制御ユニット50の制御によって、取込口31から取り込まれた空気を可変の加湿量で加湿することが可能となっている。また本実施の形態では、送風機60が、空気通流路30内において加湿装置70の下流側に設けられている。送風機60は、風量を変更可能に構成されているが、空気調和装置1の駆動時においては、送風機60は基本的に一定の風量を出力するように駆動される。なお、本実施の形態では、冷却部2が加熱部4の上流側に配置されているが、冷却部2は加熱部4の下流側に配置されてもよい。また送風機60の位置も、図示の例とは異なる位置であってもよい。   In the air passage 30, the cooling unit 2 is disposed on the upstream side of the heating unit 4, and a humidifier 70 is further provided on the downstream side of the heating unit 4. The humidifier 70 is electrically connected to the control unit 50, and the air taken in from the intake port 31 can be humidified with a variable amount of humidification under the control of the control unit 50. In the present embodiment, the blower 60 is provided on the downstream side of the humidifying device 70 in the air passage 30. The blower 60 is configured to be able to change the air volume. However, when the air conditioner 1 is driven, the blower 60 is basically driven to output a constant air volume. In the present embodiment, the cooling unit 2 is disposed on the upstream side of the heating unit 4, but the cooling unit 2 may be disposed on the downstream side of the heating unit 4. Also, the position of the blower 60 may be different from the illustrated example.

空気通流路30の取込口31には、外部の空気を取込口31に向けて通流させるための取込流路312が接続され、取込流路312にはフィルタ装置313が設けられている。本実施の形態では、送風機60の駆動により、外部の空気がフィルタ装置313から取込流路312を通流し、取込口31から空気通流路30内に流入するようになっている。上述のフィルタ装置313は、一例としてケミカルフィルタであるが、HEPAフィルタ又はULPAフィルタでもよいし、ケミカルフィルタとHEPAフィルタ又はULPAフィルタとを含んでいてもよい。   An intake passage 312 for allowing external air to flow toward the intake port 31 is connected to the intake port 31 of the air passage 30. A filter device 313 is provided in the intake passage 312. It has been. In the present embodiment, by driving the blower 60, external air flows from the filter device 313 through the intake passage 312 and flows into the air passage 30 from the intake port 31. The above-described filter device 313 is a chemical filter as an example, but may be a HEPA filter or a ULPA filter, and may include a chemical filter and a HEPA filter or a ULPA filter.

吐出口32には、温度制御された空気をユース領域Uに向けて通流させるための供給流路322が接続され、ここで、ユース領域Uは、例えばフォトレジストの塗布及び現像を行う装置(コータ等)の内部空間等を意味する。図示の例において、吐出口32内には、温度センサ41と湿度センサ42とが設けられ、これら温度センサ41及び湿度センサ42は、冷却部2、加熱部4及び加湿装置70を通過した空気の温度又は湿度を検出するようになっている。温度センサ41及び湿度センサ42は、検出した温度又は湿度を制御ユニット50に出力し、これに応じて、制御ユニット50は、温度センサ41が検出した温度に基づいて冷却部2及び加熱部4を制御するとともに、湿度センサ42が検出した湿度に基づいて加湿装置70を制御するようになっている。なお、図1においては、図示の都合上、温度センサ41及び湿度センサ42が、吐出口32から離れて示されているが、温度センサ41及び湿度センサ42は吐出口32を通過する空気の温度又は湿度を検出可能な任意の態様で配置されている。   The discharge port 32 is connected to a supply flow path 322 for allowing temperature-controlled air to flow toward the use area U. The use area U is, for example, a device for applying and developing a photoresist ( This means the internal space of the coater. In the illustrated example, a temperature sensor 41 and a humidity sensor 42 are provided in the discharge port 32, and the temperature sensor 41 and the humidity sensor 42 are used for the air that has passed through the cooling unit 2, the heating unit 4, and the humidifier 70. It is designed to detect temperature or humidity. The temperature sensor 41 and the humidity sensor 42 output the detected temperature or humidity to the control unit 50, and in response to this, the control unit 50 controls the cooling unit 2 and the heating unit 4 based on the temperature detected by the temperature sensor 41. While controlling, the humidification apparatus 70 is controlled based on the humidity which the humidity sensor 42 detected. In FIG. 1, for convenience of illustration, the temperature sensor 41 and the humidity sensor 42 are shown apart from the discharge port 32, but the temperature sensor 41 and the humidity sensor 42 are the temperatures of the air passing through the discharge port 32. Or it is arrange | positioned in the arbitrary aspects which can detect humidity.

リターン流路100は、本実施の形態において、取込流路312と供給流路322とに跨がるように設けられており、リターン流路100の下流側の端部は、取込流路312におけるフィルタ装置313の下流側の位置に連通している。リターン流路100内には、リターン流路100を通流する空気の風量を調節する風量調節用ダンパ101が設けられており、本実施の形態における風量調節用ダンパ101は、手動及び自動でリターン流路100を通流する空気の風量を調節可能となっている。   In this embodiment, the return flow channel 100 is provided so as to straddle the intake flow channel 312 and the supply flow channel 322, and the downstream end of the return flow channel 100 has an intake flow channel. 312 communicates with a position on the downstream side of the filter device 313. In the return flow path 100, an air volume adjustment damper 101 that adjusts the air volume of the air flowing through the return flow path 100 is provided. The air volume adjustment damper 101 in this embodiment is manually and automatically returned. The air volume of the air flowing through the flow path 100 can be adjusted.

上述の風量調節用ダンパ101が開いた状態において送風機60が駆動されることにより、本実施の形態では、リターン流路100を介して冷却部2の上流側で且つ加熱部4の上流側の位置に供給される空気が、取込口31に取り込まれる前の外部の空気に合流されるようになっている。ここで、空気調和装置1は、風量調節用ダンパ101等の調節により、送風機60が出力する風量の0%〜90%の風量の空気を冷却部2の上流側で且つ加熱部4の上流側の位置に戻すことが可能となるように構成されることが好ましく、0%〜100%の風量の空気を戻すことが可能となるように構成されることがより好ましい。なお、100%の風量の空気を戻す場合には、風量調節用ダンパ101に加えて、供給流路322の流路面積を調節する機構が必要となる。   In the present embodiment, the air blower 60 is driven in a state where the above-described air volume adjusting damper 101 is opened, so that in the present embodiment, the position upstream of the cooling unit 2 and upstream of the heating unit 4 via the return flow channel 100. The air supplied to is joined to the external air before being taken into the intake port 31. Here, the air conditioner 1 adjusts the air volume adjustment damper 101 and the like to adjust the air volume of 0% to 90% of the air volume output from the blower 60 to the upstream side of the cooling unit 2 and the upstream side of the heating unit 4. It is preferable to be configured so that it can be returned to the position, and it is more preferable to be configured so that air with an air volume of 0% to 100% can be returned. In order to return air with 100% air volume, in addition to the air volume adjusting damper 101, a mechanism for adjusting the flow channel area of the supply flow channel 322 is required.

また本実施の形態では、上述のように、リターン流路100の下流側の端部が取込流路312におけるフィルタ装置313の下流側の位置に連通しているが、リターン流路100の下流側の端部は取込流路312におけるフィルタ装置313の上流側の位置に連通していてもよい。また、リターン流路100の下流側の端部は、取込口31の下流側の位置に連通していてもよい。この場合には、リターン流路100を介して冷却部2の上流側で且つ加熱部4の上流側の位置に供給される空気は、取込口31に取り込まれた後の外部の空気に合流されるようになる。   In the present embodiment, as described above, the downstream end of the return flow channel 100 communicates with the downstream position of the filter device 313 in the intake flow channel 312, but the downstream of the return flow channel 100 The end on the side may communicate with a position on the upstream side of the filter device 313 in the intake channel 312. Further, the downstream end of the return flow channel 100 may communicate with a position on the downstream side of the intake port 31. In this case, the air supplied to the upstream side of the cooling unit 2 and the upstream side of the heating unit 4 via the return flow path 100 joins the external air after being taken into the intake port 31. Will come to be.

次に冷却部2及び加熱部4について説明する。まず冷却部2について説明すると、本実施の形態における冷却部2は、図1に示すように、第1冷却ユニット10の冷却コイル14と、第2冷却ユニット20の冷却コイル24と、で構成されている。本実施の形態において、冷却コイル14を含む第1冷却ユニット10は、可変運転周波数で運転され回転数を調節可能な圧縮機11、凝縮器12、膨張弁13、及び冷却コイル14が熱媒体を循環させるように当該順序で配管15により接続されることで構成されており、冷却コイル24を含む第2冷却ユニット20は、可変運転周波数で運転され回転数を調節可能な圧縮機21、凝縮器22、膨張弁23、及び冷却コイル24が熱媒体を循環させるように当該順序で配管25により接続されることにより構成されている。   Next, the cooling unit 2 and the heating unit 4 will be described. First, the cooling unit 2 will be described. The cooling unit 2 according to the present embodiment includes a cooling coil 14 of the first cooling unit 10 and a cooling coil 24 of the second cooling unit 20 as shown in FIG. ing. In the present embodiment, the first cooling unit 10 including the cooling coil 14 is operated at a variable operating frequency, and the compressor 11, the condenser 12, the expansion valve 13, and the cooling coil 14 that can adjust the rotation speed serve as a heat medium. The second cooling unit 20 including the cooling coil 24 is configured to be circulated so as to be circulated, and the second cooling unit 20 including the cooling coil 24 is operated at a variable operating frequency and can adjust the rotation speed. 22, the expansion valve 23, and the cooling coil 24 are connected by a pipe 25 in this order so as to circulate the heat medium.

これら第1及び第2冷却ユニット10,20において、圧縮機11,21は、冷却コイル14,24から流出した低温かつ低圧の気体の状態の熱媒体を圧縮し、高温かつ高圧の気体の状態として、凝縮器12,22に供給するようになっている。圧縮機11,21は、可変運転周波数で運転され運転周波数に応じて回転数を調節可能なインバータ圧縮機である。圧縮機11,21では、運転周波数が高いほど、より多くの熱媒体が凝縮器12,22に供給されるようになっている。圧縮機11としては、インバータとモータとを一体に有するスクロール型圧縮機が採用されることが好ましい。しかしながら、インバータによる運転周波数の調節により回転数を調節して熱媒体の供給量(流量)を調節可能であれば、圧縮機11,21の形式は特に限定されるものではない。   In the first and second cooling units 10 and 20, the compressors 11 and 21 compress the low-temperature and low-pressure gas heat medium flowing out from the cooling coils 14 and 24 to form a high-temperature and high-pressure gas state. The condensers 12 and 22 are supplied. The compressors 11 and 21 are inverter compressors that are operated at a variable operating frequency and whose rotation speed can be adjusted according to the operating frequency. In the compressors 11 and 21, more heat medium is supplied to the condensers 12 and 22 as the operating frequency is higher. As the compressor 11, it is preferable to employ a scroll compressor that integrally includes an inverter and a motor. However, the types of the compressors 11 and 21 are not particularly limited as long as the number of rotations can be adjusted by adjusting the operation frequency by the inverter to adjust the supply amount (flow rate) of the heat medium.

また、凝縮器12,22は、圧縮機11,21で圧縮された熱媒体を冷却水によって冷却すると共に凝縮し、所定の冷却温度の高圧の液体の状態として、膨張弁13,23に供給するようになっている。凝縮器12,22の冷却水には、水が用いられてよいし、その他の冷媒が用いられてもよい。また、膨張弁13,23は、凝縮器12,22から供給された熱媒体を膨張させることにより減圧させて、低温かつ低圧の気液混合状態として、冷却コイル14,24に供給するようになっている。冷却コイル14,24は、供給された熱媒体を温度制御対象の空気と熱交換させて空気を冷却するようになっている。空気と熱交換した熱媒体は、低温かつ低圧の気体の状態となって冷却コイル14,24から流出して再び圧縮機11,21で圧縮されるようになっている。   The condensers 12 and 22 cool the heat medium compressed by the compressors 11 and 21 with cooling water and condense them, and supply them to the expansion valves 13 and 23 as a high-pressure liquid at a predetermined cooling temperature. It is like that. Water may be used for the cooling water of the condensers 12 and 22, or other refrigerants may be used. The expansion valves 13 and 23 are decompressed by expanding the heat medium supplied from the condensers 12 and 22, and are supplied to the cooling coils 14 and 24 in a low-temperature and low-pressure gas-liquid mixed state. ing. The cooling coils 14 and 24 are configured to heat-exchange the supplied heat medium with air to be temperature controlled and cool the air. The heat medium exchanged with air becomes a low-temperature and low-pressure gas state, flows out of the cooling coils 14 and 24, and is compressed again by the compressors 11 and 21.

以上のような各冷却ユニット10,20では、圧縮機11,21の運転周波数を変化させ回転数を調節することにより、凝縮器12,22に供給される熱媒体の供給量を調節可能であると共に、膨張弁13,23の開度を調節可能であることで、冷却コイル14,24に供給される熱媒体の供給量を調節可能となっている。このような調節により冷凍能力が可変となっている。なお、本実施の形態では、制御の安定性を向上させる目的で、第1冷却ユニット10の圧縮機11は、一定の周波数で運転される。このような運転を実施する場合には、圧縮機11は固定周波数で運転される圧縮機であってもよく、この場合には、製造コストを低減することが可能となる。   In each of the cooling units 10 and 20 as described above, the supply amount of the heat medium supplied to the condensers 12 and 22 can be adjusted by changing the operating frequency of the compressors 11 and 21 and adjusting the rotation speed. At the same time, the opening amount of the expansion valves 13 and 23 can be adjusted, so that the supply amount of the heat medium supplied to the cooling coils 14 and 24 can be adjusted. The refrigeration capacity is variable by such adjustment. In the present embodiment, the compressor 11 of the first cooling unit 10 is operated at a constant frequency for the purpose of improving control stability. When performing such operation, the compressor 11 may be a compressor that operates at a fixed frequency, and in this case, the manufacturing cost can be reduced.

また、冷却部2の配置態様について詳述すると、本実施の形態では、図1に示すように、空気通流路30内に、空気通流路30の一部を空気の流れに沿って延びて二分割する仕切り部材200が設けられ、仕切り部材200によって空気通流路30の一部が、第1流路30Aと第2流路30Bとに区画されている。そして第1流路30Aに、冷却部2が設けられている。また、仕切り部材200の下流側の端部に、第1流路30A及び第2流路30Bの開度を調節する流量調節ダンパ201が設けられている。一方で、取込口31内には、上流側温度センサ44が設けられ、上流側温度センサ44は、リターン流路100からの空気と合流した取込口31に取り込まれた後の空気の温度を検出するようになっている。ここで、本実施の形態における流量調節ダンパ201は、上流側温度センサ44が検出した温度に応じて制御ユニット50により制御されることで、第1流路30A及び第2流路30Bの開度を調節することが可能となっている。   Further, the arrangement of the cooling unit 2 will be described in detail. In the present embodiment, as shown in FIG. 1, a part of the air passage 30 extends along the air flow in the air passage 30. A partition member 200 that is divided into two parts is provided, and the partition member 200 divides a part of the air passage 30 into a first passage 30A and a second passage 30B. The cooling unit 2 is provided in the first flow path 30A. Further, a flow rate adjustment damper 201 that adjusts the opening degree of the first flow path 30A and the second flow path 30B is provided at the downstream end of the partition member 200. On the other hand, an upstream temperature sensor 44 is provided in the intake port 31, and the upstream temperature sensor 44 is the temperature of the air after being taken into the intake port 31 that merges with the air from the return flow path 100. Is supposed to be detected. Here, the flow rate adjustment damper 201 in the present embodiment is controlled by the control unit 50 in accordance with the temperature detected by the upstream temperature sensor 44, thereby opening the first flow path 30A and the second flow path 30B. It is possible to adjust.

次に加熱部4について説明すると、本実施の形態における加熱部4は、第1冷却ユニット10における圧縮機11から凝縮器12に向けて流出する熱媒体の一部を分岐させ、加熱コイル16及びその下流側に設けられた加熱量調節弁18を介して圧縮機11の下流側において凝縮器12に流入するように戻す構造を有している。   Next, the heating unit 4 will be described. The heating unit 4 in the present embodiment branches a part of the heat medium flowing out from the compressor 11 toward the condenser 12 in the first cooling unit 10, and the heating coil 16 and It has a structure for returning to the condenser 12 on the downstream side of the compressor 11 via the heating amount adjusting valve 18 provided on the downstream side.

詳しくは、加熱コイル16が、熱媒体入口と熱媒体出口とを有しており、熱媒体入口と、圧縮機11と凝縮器12との間の配管の上流側と、が、他の配管によって接続され、熱媒体出口と、圧縮機11と凝縮器12との間の配管の下流側と、が、さらに他の配管によって接続されている。そして、熱媒体出口から延びる配管に、加熱量調節弁18が設けられている。これにより、加熱部4は、圧縮機11から凝縮器12に向けて流出する熱媒体の一部を分岐させ、加熱コイル16及び加熱量調節弁18を介して凝縮器12に流入するように戻すことが可能となっている。   Specifically, the heating coil 16 has a heat medium inlet and a heat medium outlet, and the heat medium inlet and the upstream side of the pipe between the compressor 11 and the condenser 12 are connected by other pipes. The heat medium outlet and the downstream side of the pipe between the compressor 11 and the condenser 12 are further connected by another pipe. A heating amount adjusting valve 18 is provided in the pipe extending from the heat medium outlet. Thereby, the heating unit 4 branches a part of the heat medium flowing out from the compressor 11 toward the condenser 12 and returns it to the condenser 12 via the heating coil 16 and the heating amount adjustment valve 18. It is possible.

この加熱部4では、圧縮機11によって圧縮された高温かつ高圧の気体の状態の熱媒体が加熱コイル16に供給される。加熱コイル16は、供給された熱媒体を温度制御対象の空気と熱交換させて空気を加熱するようになっている。そして、空気と熱交換した熱媒体は、加熱コイル16から圧縮機11と凝縮器12との間の配管に戻るようになっている。ここで、加熱量調節弁18が、加熱コイル16からの熱媒体の戻り量を調節することにより、加熱コイル16における加熱能力を変更することが可能である。熱媒体の戻し量が多いほど、加熱能力が増加するようになっている。このような加熱部4の加熱能力は、圧縮機11の運転周波数及び/又は加熱量調節弁18の開度に応じて調節可能である。   In the heating unit 4, a high-temperature and high-pressure gaseous heat medium compressed by the compressor 11 is supplied to the heating coil 16. The heating coil 16 heats the air by causing the supplied heat medium to exchange heat with air to be temperature controlled. The heat medium exchanged with air is returned from the heating coil 16 to the pipe between the compressor 11 and the condenser 12. Here, the heating amount adjusting valve 18 can change the heating capacity of the heating coil 16 by adjusting the return amount of the heat medium from the heating coil 16. The heating capacity increases as the return amount of the heat medium increases. The heating capacity of the heating unit 4 can be adjusted according to the operating frequency of the compressor 11 and / or the opening of the heating amount adjustment valve 18.

次に、本実施の形態の空気調和装置1の動作について説明する。本実施の形態の空気調和装置1では、温度制御対象の取込口31から取り込まれた空気が、冷却部2によって冷却され、加熱部4によって加熱され、予め設定された目標温度に向けて制御される。   Next, operation | movement of the air conditioning apparatus 1 of this Embodiment is demonstrated. In the air conditioning apparatus 1 of the present embodiment, the air taken in from the temperature control target inlet 31 is cooled by the cooling unit 2, heated by the heating unit 4, and controlled toward a preset target temperature. Is done.

本実施の形態の空気調和装置1を運転する際には、まず、制御ユニット50において、目標温度と目標湿度とが入力される。また、送風機60が駆動されることにより、空気通流路30内の空気が吐出口32側に流動することにより、空気通流路30の取込口31から温度制御対象の空気が取り込まれる。さらに、各冷却ユニット10,20の圧縮機11,21も駆動される。また、送風機60が出力する風量に対する所定の割合の風量の空気がリターン流路100から冷却部2の上流側で且つ加熱部4の上流側の位置に戻るように、風量調節用ダンパ101の開度が調節されている。   When operating the air conditioning apparatus 1 of the present embodiment, first, the target temperature and the target humidity are input in the control unit 50. In addition, when the blower 60 is driven, the air in the air passage 30 flows toward the discharge port 32, whereby the temperature control target air is taken in from the intake 31 of the air passage 30. Further, the compressors 11 and 21 of the cooling units 10 and 20 are also driven. Further, the air volume adjustment damper 101 is opened so that the air having a predetermined ratio with respect to the air volume output from the blower 60 returns from the return flow path 100 to the upstream side of the cooling unit 2 and the upstream side of the heating unit 4. The degree is adjusted.

上述のように送風機60等が駆動されると、空気通流路30の取込口31から取り込まれた空気は、上流側温度センサ44で温度を検出された後、まず、冷却部2(第1流路30A)及び/又は第2流路30Bを通過し、その後、加熱部4を通過する。その後、この空気は、加湿装置70によって加湿された後、吐出口32から吐出され、一部がユース領域Uに至り、他の一部が冷却部2の上流側で且つ加熱部4の上流側の位置に戻る。ここで、吐出口32を通過する空気は、温度センサ41によって温度が検出され、湿度センサ42によって湿度が検出される。そして、温度センサ41は、検出した温度を制御ユニット50に出力し、湿度センサ42は、検出した湿度を制御ユニット50に出力する。   When the blower 60 or the like is driven as described above, the air taken in from the intake port 31 of the air flow passage 30 is first detected by the upstream temperature sensor 44 and then the cooling unit 2 (first It passes through the first flow path 30A) and / or the second flow path 30B, and then passes through the heating unit 4. Thereafter, the air is humidified by the humidifier 70 and then discharged from the discharge port 32, part of the air reaches the use area U, and the other part is upstream of the cooling unit 2 and upstream of the heating unit 4. Return to position. Here, the temperature of the air passing through the discharge port 32 is detected by the temperature sensor 41, and the humidity is detected by the humidity sensor 42. The temperature sensor 41 outputs the detected temperature to the control unit 50, and the humidity sensor 42 outputs the detected humidity to the control unit 50.

そして、制御ユニット50は、温度センサ41が検出した温度と目標温度との差分に基づいて、加熱量調節弁18の開度、第1冷却ユニット10の膨張弁13の開度、第2冷却ユニット20の膨張弁23の開度、及び圧縮機21の運転周波数を制御し、上記の差分に応じた加熱能力及び冷凍能力が出力されるように制御を行う。また制御ユニット50は、湿度センサ42が検出した湿度と目標湿度との差分に基づいて、加湿装置70の加湿能力も制御する。   Based on the difference between the temperature detected by the temperature sensor 41 and the target temperature, the control unit 50 opens the heating amount adjusting valve 18, the opening degree of the expansion valve 13 of the first cooling unit 10, and the second cooling unit. The opening degree of the 20 expansion valves 23 and the operating frequency of the compressor 21 are controlled, and control is performed so that the heating capacity and the refrigerating capacity corresponding to the above differences are output. The control unit 50 also controls the humidification capability of the humidifier 70 based on the difference between the humidity detected by the humidity sensor 42 and the target humidity.

このような運転の際、本実施の形態の空気調和装置1では、リターン流路100によって、冷却部2及び加熱部4を通過した空気の一部を冷却部2の上流側で且つ加熱部4の上流側の位置に供給して、空気通流路30の取込口31に取り込まれる前の空気に合流させることができる。これにより、環境温度の著しい変動に応じて取込口31に取り込まれる外部の空気の温度が大きく変動した場合であっても、この外部の空気は、温度制御されたリターン流路100からの空気と合流することで、その温度が温度制御されるべき温度に近づくようになる。すなわち、環境変動の影響に対する影響緩和効果が生じる。そのため、外部の空気の温度の大きい変動に応じて冷凍能力又は加熱能力を急激に大きく変化させなくても、リターン流路100からの空気と合流した外部の空気を所望の温度に制御し易くなる。   In such an operation, in the air conditioner 1 of the present embodiment, a part of the air that has passed through the cooling unit 2 and the heating unit 4 is upstream of the cooling unit 2 and the heating unit 4 by the return flow channel 100. Can be combined with the air before being taken into the intake port 31 of the air passage 30. Thereby, even when the temperature of the external air taken into the intake port 31 greatly fluctuates in accordance with a significant change in the environmental temperature, this external air is air from the return flow path 100 whose temperature is controlled. As a result, the temperature approaches the temperature to be temperature controlled. That is, an effect mitigating effect against the influence of environmental fluctuations is produced. Therefore, it becomes easy to control the external air joined with the air from the return flow path 100 to a desired temperature without abruptly changing the refrigeration capacity or the heating capacity in response to a large fluctuation in the temperature of the external air. .

図2乃至図6を参照しつつ、空気調和装置1の環境変動の影響に対する影響緩和効果(環境変動低減効果)を説明する。図2は、環境変動条件の一例を示すグラフであり、横軸は時間、縦軸は温度を示し、取込口31から取り込まれる外部の空気(オープンエア)の時間に応じた温度の変動を示している。図2におけるグラフにおいては、22℃の外部の空気の温度が5分間に1℃(1.0℃/5min)上昇し、10分後に24℃となる環境条件を示している。図3乃至図6は、リターン流路100によって戻す空気(リターンエアー)の風量に応じた、図2に示す環境変動条件の影響に対する影響緩和効果を示すグラフを示している。図3乃至図6の例では、リターンエアーと混合される外部の空気は、リターンエアーの混合によって、冷却部2及び加熱部4に流入する前の状態における環境変動の影響による温度変化が抑制され、その後、冷却部2及び加熱部4を通過した際には、23℃に制御されるようになっている。   The influence mitigation effect (environmental change reduction effect) with respect to the influence of the environmental change of the air conditioner 1 will be described with reference to FIGS. FIG. 2 is a graph showing an example of environmental variation conditions, where the horizontal axis represents time, the vertical axis represents temperature, and the temperature variation according to the time of external air (open air) taken in from the intake port 31 is shown. Show. The graph in FIG. 2 shows an environmental condition in which the temperature of the external air at 22 ° C. rises by 1 ° C. (1.0 ° C./5 min) in 5 minutes and becomes 24 ° C. after 10 minutes. 3 to 6 are graphs showing the effect mitigating effect on the influence of the environmental variation condition shown in FIG. 2 according to the air volume of the air (return air) returned by the return flow path 100. In the examples of FIGS. 3 to 6, the external air mixed with the return air is suppressed from changing in temperature due to the influence of environmental fluctuations in the state before flowing into the cooling unit 2 and the heating unit 4 by mixing the return air. Then, when it passes through the cooling unit 2 and the heating unit 4, it is controlled to 23 ° C.

図3においては、送風機60が出力する風量に対する10%の風量の空気が冷却部2の上流側で且つ加熱部4の上流側の位置に戻るように風量調節用ダンパ101の開度が調節される場合(リターン率10%)における、混合される空気の温度変化を示している。図3では、温度制御対象となる混合された空気(ミキシングエア)の温度が、オープンエアの温度が24℃となる10分後のピーク時において、約23.9℃となっている。ミキシングエアの温度の変動割合は、5分間に0.9℃(0.9℃/5min)となっている。   In FIG. 3, the opening degree of the air volume adjusting damper 101 is adjusted so that the air of 10% of the air volume output from the blower 60 returns to the upstream side of the cooling unit 2 and the upstream side of the heating unit 4. The temperature change of the air to be mixed is shown in FIG. In FIG. 3, the temperature of the mixed air (mixing air) to be temperature controlled is about 23.9 ° C. at the peak of 10 minutes after the open air temperature reaches 24 ° C. The fluctuation rate of the mixing air temperature is 0.9 ° C. (0.9 ° C./5 min) for 5 minutes.

図4においては、送風機60が出力する風量に対する30%の風量の空気が冷却部2の上流側で且つ加熱部4の上流側の位置に戻るように風量調節用ダンパ101の開度が調節される場合(リターン率30%)における、混合される空気の温度変化を示している。図4では、温度制御対象となる混合された空気(ミキシングエア)の温度が、オープンエアの温度が24℃となる10分後のピーク時において、約23.7℃となっている。ミキシングエアの温度の変動割合は、5分間に0.7℃(0.7℃/5min)となっている。   In FIG. 4, the opening degree of the air volume adjusting damper 101 is adjusted so that air of 30% of the air volume output from the blower 60 returns to the position upstream of the cooling unit 2 and upstream of the heating unit 4. The temperature change of the air to be mixed is shown in the case of the above (return rate 30%). In FIG. 4, the temperature of the mixed air (mixing air) to be temperature controlled is about 23.7 ° C. at the peak 10 minutes after the open air temperature reaches 24 ° C. The fluctuation rate of the mixing air temperature is 0.7 ° C. (0.7 ° C./5 min) for 5 minutes.

図5においては、送風機60が出力する風量に対する60%の風量の空気が冷却部2の上流側で且つ加熱部4の上流側の位置に戻るように風量調節用ダンパ101の開度が調節される場合(リターン率60%)における、混合される空気の温度変化を示している。図5では、温度制御対象となる混合された空気(ミキシングエア)の温度が、オープンエアの温度が24℃となる10分後のピーク時において、約23.4℃となっている。ミキシングエアの温度の変動割合は、5分間に0.4℃(0.4℃/5min)となっている。   In FIG. 5, the opening degree of the air volume adjusting damper 101 is adjusted so that the air of 60% of the air volume output from the blower 60 returns to the position upstream of the cooling unit 2 and upstream of the heating unit 4. This shows the temperature change of the air to be mixed in the case of the return (return rate 60%). In FIG. 5, the temperature of the mixed air (mixing air) to be temperature controlled is about 23.4 ° C. at the peak 10 minutes after the open air temperature reaches 24 ° C. The fluctuation rate of the mixing air temperature is 0.4 ° C. (0.4 ° C./5 min) for 5 minutes.

図6においては、送風機60が出力する風量に対する90%の風量の空気が冷却部2の上流側で且つ加熱部4の上流側の位置に戻るように風量調節用ダンパ101の開度が調節される場合(リターン率90%)における、混合される空気の温度変化を示している。図6では、温度制御対象となる混合された空気(ミキシングエア)の温度が、オープンエアの温度が24℃となる10分後のピーク時において、約23.1℃となっている。ミキシングエアの温度の変動割合は、5分間に0.1℃(0.1℃/5min)となっている。   In FIG. 6, the opening degree of the air volume adjusting damper 101 is adjusted such that 90% of the air volume with respect to the air volume output from the blower 60 returns to the upstream side of the cooling unit 2 and the upstream side of the heating unit 4. This shows the temperature change of the air to be mixed in the case of the return (return rate 90%). In FIG. 6, the temperature of the mixed air (mixing air) to be temperature controlled is about 23.1 ° C. at the peak 10 minutes after the open air temperature reaches 24 ° C. The fluctuation rate of the mixing air temperature is 0.1 ° C. (0.1 ° C./5 min) for 5 minutes.

以上の図3〜図6におけるグラフに示されるように、本実施の形態の空気調和装置1では、環境温度の著しい変動に応じて取込口31に取り込まれる外部の空気の温度が大きく変動した場合であっても、この外部の空気は、温度制御されたリターン流路100からの空気と合流することで、その温度が温度制御されるべき温度に近づくようになる。これにより、リターン流路100からの空気と合流した外部の空気を所望の温度に制御し易くなる。   As shown in the graphs in FIGS. 3 to 6 described above, in the air conditioner 1 of the present embodiment, the temperature of the external air taken into the intake 31 greatly fluctuates in accordance with a significant fluctuation in the environmental temperature. Even in this case, the outside air merges with the air from the temperature-controlled return flow path 100 so that the temperature approaches the temperature to be temperature-controlled. Thereby, it becomes easy to control the external air joined with the air from the return flow path 100 to a desired temperature.

したがって、本実施の形態の空気調和装置1によれば、環境温度が著しく変動した場合であっても、温度制御対象の空気を安定した状態で且つ速やかに所望の温度に制御することができ、しかも、このような好適な制御性能を確保しつつも装置全体が不所望に大型化したり、運転のためのエネルギーが不所望に増加したりするのを抑制することができる。   Therefore, according to the air conditioning apparatus 1 of the present embodiment, even when the environmental temperature varies significantly, the air to be temperature controlled can be quickly controlled to a desired temperature in a stable state, In addition, it is possible to prevent the entire apparatus from being undesirably increased in size and unnecessarily increasing the energy for operation while ensuring such suitable control performance.

また本実施の形態の空気調和装置1によれば、リターン流路100によって上流側に戻す空気の風量を調節することで、送風機60の風量をある一定の値に設定しつつ、リターン流路100によって戻らずに吐出口32から温度制御対象空間(ユース領域U)に吐出される空気の風量を変更することが可能となる。そのため、送風機60の風量をある一定の値とした際の温度制御の信頼性を空気調和装置1において確保しておけば、吐出口32から温度制御対象空間に吐出される空気の風量が要求に応じて種々のパターンに変更される場合であっても、各パターンにおいて温度制御の信頼性を確保できる。これにより、要求される空気の風量に応じて、空気調和装置1を、好適な制御性能を確保できる状態に速やかにセッティングすることができるため、出荷前後の両方で、空気調和装置1を有効に活用することも可能となる。   Moreover, according to the air conditioning apparatus 1 of the present embodiment, the return flow path 100 is set while the air volume of the blower 60 is set to a certain value by adjusting the air volume returned to the upstream side by the return flow path 100. Therefore, it is possible to change the air volume of the air discharged from the discharge port 32 to the temperature control target space (use area U) without returning. For this reason, if the air conditioner 1 ensures reliability of temperature control when the air volume of the blower 60 is set to a certain value, the air volume of air discharged from the discharge port 32 to the temperature control target space is required. Even in the case of changing to various patterns accordingly, the reliability of temperature control can be ensured in each pattern. As a result, the air conditioner 1 can be quickly set to a state in which a suitable control performance can be ensured according to the required air volume, so that the air conditioner 1 can be effectively used both before and after shipment. It can also be used.

またリターン流路100内には、リターン流路100を通流する空気の風量を調節する風量調節用ダンパ101が設けられている。これにより、風量調節用ダンパ101を調節することによって、想定される環境温度の変動に応じた、リターン流路100からの空気の好適な戻り量を柔軟に設定することができ、環境温度の変動に対する制御の安定性と効率的な運転とのバランスを図ることができる。例えば取込口31に取り込まれる外部の空気の温度が大きく変化した場合には、リターン流路100からの空気の戻り量が大きい方が、取り込まれた外部の空気は温度制御されるべき温度により近づくようになる。したがって、外部の空気の温度が大きく変化することが想定される場合には、風量調節用ダンパ101を調節してリターン流路100からの空気の戻り量を大きくすることにより、環境温度の変動に対する制御の安定性を向上させる設定を行うことができる。また、外部の空気の温度が大きく変化することが想定されない場合には、風量調節用ダンパ101を調節してリターン流路100からの空気の戻り量を小さくすることにより、吐出口32から温度制御対象空間へ効率的に空気を供給するための設定を行うことができる。   In the return channel 100, an air volume adjusting damper 101 for adjusting the air volume of the air flowing through the return channel 100 is provided. Thus, by adjusting the air volume adjusting damper 101, it is possible to flexibly set a suitable return amount of air from the return flow path 100 in accordance with the assumed fluctuation of the environmental temperature. It is possible to achieve a balance between the stability of control and efficient operation. For example, when the temperature of the external air taken into the intake port 31 has changed significantly, the larger the return amount of the air from the return channel 100, the more the external air taken in depends on the temperature to be temperature controlled. Get closer. Therefore, when it is assumed that the temperature of the external air changes greatly, the air flow adjustment damper 101 is adjusted to increase the return amount of the air from the return flow path 100, so that the variation in the environmental temperature can be prevented. Settings that improve control stability can be made. When the temperature of the external air is not expected to change greatly, the temperature control is performed from the discharge port 32 by adjusting the air volume adjusting damper 101 to reduce the return amount of the air from the return flow path 100. Settings for efficiently supplying air to the target space can be made.

また送風機60は、風量を変更可能である。これにより、送風機60の風量を変更可能で且つ風量調節用ダンパ101によってリターン流路100を通流する空気の風量を調節可能であることで、ユーザーから要求される吐出口32から温度制御対象空間への空気の風量を確保しつつ、リターン流路100からの空気の戻り量を柔軟に設定することができる。これにより、空気調和装置1の適用範囲を拡大でき、使い勝手を極めて向上させることができる。   The blower 60 can change the air volume. Thereby, the air volume of the blower 60 can be changed, and the air volume of the air flowing through the return flow path 100 can be adjusted by the air volume adjusting damper 101, so that the temperature control target space can be set from the discharge port 32 required by the user. It is possible to flexibly set the return amount of air from the return flow path 100 while ensuring the air volume of the air. Thereby, the application range of the air conditioning apparatus 1 can be expanded, and usability can be improved extremely.

また取込口31に、外部の空気を通流させるための取込流路312が接続され、取込流路312には、フィルタ装置313が設けられている。そして、取込流路312におけるフィルタ装置313の下流側の位置に、リターン流路100が連通している。これにより、リターン流路100からの空気はフィルタ装置313を通過する際に生じる圧力損失を受けることなく取込流路312内に供給されるため、フィルタ装置313を通過した外部の空気とスムーズに合流して、送風機60の出力に変動が生じることが抑制されることで、温度制御の安定性を向上させることができる。またリターン流路100からの空気は、フィルタ装置313を既に通過した空気であるため、汚染の問題が生じることもない。   An intake passage 312 for allowing external air to flow is connected to the intake 31, and a filter device 313 is provided in the intake passage 312. The return flow channel 100 communicates with a position on the downstream side of the filter device 313 in the intake flow channel 312. As a result, air from the return flow channel 100 is supplied into the intake flow channel 312 without being subjected to pressure loss that occurs when passing through the filter device 313, so that it can be smoothly combined with external air that has passed through the filter device 313. It is possible to improve the stability of temperature control by merging and suppressing fluctuations in the output of the blower 60. Moreover, since the air from the return flow path 100 has already passed through the filter device 313, the problem of contamination does not occur.

また空気通流路30内に、空気通流路30の一部を二分割する仕切り部材200が設けられ、仕切り部材200によって空気通流路30の一部が、第1流路30Aと第2流路30Bとに区画され、第1流路30Aに冷却部2が設けられている。また第1流路30A及び第2流路30Bの開度を調節する流量調節ダンパ201が設けられている。また、リターン流路100からの空気と合流した取込口31に取り込まれた後の空気の温度が、上流側温度センサ44で検出されるようになっており、流量調節ダンパ201は、上流側温度センサ44が検出した温度に応じて制御されることで、第1流路30A及び第2流路30Bの開度を調節するようになっている。これにより、リターン流路100からの空気と合流した取込口31に取り込まれた後の空気の温度に応じて、合流後の空気に付与する冷凍能力を調節可能であることで、当該空気を所望の温度に効率的に制御することができる。   In addition, a partition member 200 that divides a part of the air passage 30 into two is provided in the air passage 30, and a part of the air passage 30 is separated from the first passage 30 </ b> A and the second passage by the partition member 200. The cooling section 2 is provided in the first flow path 30A. Further, a flow rate adjustment damper 201 that adjusts the opening degree of the first flow path 30A and the second flow path 30B is provided. Further, the temperature of the air after being taken into the intake port 31 that has joined with the air from the return flow path 100 is detected by the upstream temperature sensor 44, and the flow control damper 201 is connected to the upstream side. By controlling according to the temperature detected by the temperature sensor 44, the opening degree of the first flow path 30A and the second flow path 30B is adjusted. Thereby, according to the temperature of the air after being taken in into the intake 31 which joined the air from the return flow path 100, the refrigerating capacity given to the air after joining can be adjusted, It can be efficiently controlled to a desired temperature.

(第2の実施の形態)
次に、図7を参照しつつ本発明の第2の実施の形態に係る空気調和装置1’について説明する。本実施の形態における構成部分のうちの第1の実施の形態の構成部分と同様のものには、同一の符号を付して、説明を省略する。
(Second Embodiment)
Next, an air conditioner 1 ′ according to a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. Of the components in the present embodiment, the same components as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted.

図7に示すように、第2の実施の形態に係る空気調和装置1’では、第1の実施の形態で説明した第2冷却ユニット20が設けられていない。この空気調和装置1’では、第1冷却ユニット10における圧縮機11の周波数と膨張弁13の開度を調節することで、冷凍能力を柔軟に調節するようになっている。その他の構成は、第1の実施の形態と同様である。   As shown in FIG. 7, in the air conditioning apparatus 1 'according to the second embodiment, the second cooling unit 20 described in the first embodiment is not provided. In this air conditioner 1 ′, the refrigeration capacity is flexibly adjusted by adjusting the frequency of the compressor 11 and the opening of the expansion valve 13 in the first cooling unit 10. Other configurations are the same as those of the first embodiment.

このような第2の実施の形態に係る空気調和装置1’によっても、環境温度が著しく変動した場合において、温度制御対象の空気を安定した状態で且つ速やかに所望の温度に制御することができ、しかも、このような好適な制御性能を確保しつつも装置全体が不所望に大型化したり、運転のためのエネルギーが不所望に増加したりするのを抑制することができる。   Even with such an air conditioner 1 ′ according to the second embodiment, when the environmental temperature fluctuates significantly, the air to be temperature controlled can be quickly controlled to a desired temperature in a stable state. And while ensuring such suitable control performance, it can suppress that the whole apparatus undesirably enlarges or energy for operation increases undesirably.

以上、本発明の一実施の形態について説明したが、本発明は、上述の実施の形態に限定されるものではない。例えば、冷却部2及び加熱部4の数は、上述の各実施の形態の態様に限定されるものではない。   Although one embodiment of the present invention has been described above, the present invention is not limited to the above-described embodiment. For example, the number of the cooling units 2 and the heating units 4 is not limited to the aspect of each embodiment described above.

1,1’…空気調和装置
2…冷却部
4…加熱部
10…第1冷却ユニット
20…第2冷却ユニット
30…空気通流路
30A…第1流路
30B…第2流路
31…取込口
32…吐出口
41…温度センサ
42…湿度センサ
44…上流側温度センサ
50…制御ユニット
60…送風機
100…リターン流路
101…風量調節用ダンパ
200…仕切り部材
312…取込流路
313…フィルタ装置
322…供給流路
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1,1 '... Air conditioning apparatus 2 ... Cooling part 4 ... Heating part 10 ... 1st cooling unit 20 ... 2nd cooling unit 30 ... Air flow path 30A ... 1st flow path 30B ... 2nd flow path 31 ... Take-in Port 32 ... Discharge port 41 ... Temperature sensor 42 ... Humidity sensor 44 ... Upstream temperature sensor 50 ... Control unit 60 ... Blower 100 ... Return flow path 101 ... Damper 200 for air volume adjustment ... Partition member 312 ... Intake flow path 313 ... Filter Device 322 ... Supply channel

Claims (5)

外部の空気を取り込む取込口及び前記取込口から取り込まれた空気を吐出する吐出口を有する空気通流路と、
前記取込口から前記吐出口へ向けて空気を通流させる送風機と、
前記空気通流路内に収容され、前記取込口から取り込まれた空気を可変の冷凍能力で冷却する冷却部と、
前記空気通流路内に収容され、前記取込口から取り込まれた空気を可変の加熱能力で加熱する加熱部と、
前記冷却部の下流側で且つ前記加熱部の下流側の位置から前記冷却部の上流側で且つ前記加熱部の上流側の位置まで延びるリターン流路と、を備え、
前記リターン流路を介して前記冷却部の上流側で且つ前記加熱部の上流側の位置に供給される空気が、前記取込口に取り込まれる前の外部の空気又は前記取込口に取り込まれた後の外部の空気に合流されるようになっており、
前記空気通流路内に、前記空気通流路の一部を二分割する仕切り部材が設けられ、
前記仕切り部材によって前記空気通流路の一部が、第1流路と第2流路とに区画され、
前記第1流路に前記冷却部が設けられており、
前記第1流路及び前記第2流路の開度を調節する流量調節ダンパが設けられ、
前記リターン流路からの空気と合流した前記取込口に取り込まれる前の空気又は前記取込口に取り込まれた後の空気の温度が、上流側温度センサで検出されるようになっており、
前記流量調節ダンパは、前記上流側温度センサが検出した温度に応じて制御されることで、前記第1流路及び前記第2流路の開度を調節する、ことを特徴とする空気調和装置。
An air passage having an intake port for taking in external air and a discharge port for discharging air taken in from the intake port;
A blower that allows air to flow from the intake port toward the discharge port;
A cooling unit that is housed in the air flow path and cools the air taken in from the intake port with a variable refrigeration capacity;
A heating unit that is housed in the air flow path and heats the air taken in from the intake port with a variable heating capacity;
A return flow path extending from a position downstream of the cooling unit and downstream of the heating unit to a position upstream of the cooling unit and upstream of the heating unit,
Air supplied to a position upstream of the cooling unit and upstream of the heating unit via the return flow path is taken into the external air before being taken into the intake port or the intake port. is adapted to be joined to the outside of the air after,
A partition member that divides a part of the air passage is divided into two in the air passage,
A part of the air flow path is partitioned into a first flow path and a second flow path by the partition member,
The cooling section is provided in the first flow path;
A flow rate adjusting damper for adjusting an opening degree of the first flow path and the second flow path is provided;
The temperature of the air before being taken into the intake port merged with the air from the return flow path or the air after being taken into the intake port is to be detected by an upstream temperature sensor,
The air conditioner is characterized in that the flow rate adjustment damper is controlled according to the temperature detected by the upstream temperature sensor to adjust the opening degree of the first flow path and the second flow path. .
前記リターン流路内には、前記リターン流路を通流する空気の風量を調節する風量調節用ダンパが設けられている、ことを特徴とする請求項1に記載の空気調和装置。   The air conditioner according to claim 1, wherein an air volume adjusting damper that adjusts an air volume of air flowing through the return flow path is provided in the return flow path. 前記風量調節用ダンパは、手動及び自動で前記リターン流路を通流する空気の風量を調節可能となっている、ことを特徴とする請求項2に記載の空気調和装置。   The air conditioner according to claim 2, wherein the air volume adjusting damper is capable of adjusting an air volume of air flowing through the return flow path manually and automatically. 前記送風機は、風量を変更可能である、ことを特徴とする請求項2又は3に記載の空気調和装置。   The air conditioner according to claim 2 or 3, wherein the blower is capable of changing an air volume. 前記取込口に、外部の空気を通流させるための取込流路が接続され、
前記取込流路には、フィルタ装置が設けられ、
前記取込流路における前記フィルタ装置の下流側の位置に、前記リターン流路が連通している、ことを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の空気調和装置。
An intake passage for allowing external air to flow is connected to the intake port,
The intake passage is provided with a filter device,
The air conditioner according to any one of claims 1 to 4, wherein the return flow path communicates with a position on the downstream side of the filter device in the intake flow path.
JP2016130599A 2016-06-30 2016-06-30 Air conditioner Active JP6049936B1 (en)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2016130599A JP6049936B1 (en) 2016-06-30 2016-06-30 Air conditioner
TW106100716A TWI621816B (en) 2016-06-30 2017-01-10 Air conditioner
KR1020170014401A KR101753554B1 (en) 2016-06-30 2017-02-01 Air conditioner

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2016130599A JP6049936B1 (en) 2016-06-30 2016-06-30 Air conditioner

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP6049936B1 true JP6049936B1 (en) 2016-12-21
JP2018004152A JP2018004152A (en) 2018-01-11

Family

ID=57572455

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2016130599A Active JP6049936B1 (en) 2016-06-30 2016-06-30 Air conditioner

Country Status (3)

Country Link
JP (1) JP6049936B1 (en)
KR (1) KR101753554B1 (en)
TW (1) TWI621816B (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11605549B2 (en) 2018-10-19 2023-03-14 Shinwa Controls Co., Ltd. Air conditioner, unit for floating conveying substrate with air conditioner, and method of supplying air for floating conveying substrate

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6831568B2 (en) * 2017-04-25 2021-02-17 伸和コントロールズ株式会社 Air conditioner

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01147240A (en) * 1987-12-01 1989-06-08 Mitsubishi Electric Corp Airconditioner for ventilation
JP2004003866A (en) * 2003-08-20 2004-01-08 Mitsubishi Electric Corp Ventilation air conditioning system
JP2005241094A (en) * 2004-02-25 2005-09-08 Seibu Giken Co Ltd Dehumidifying air conditioner
JP2006282080A (en) * 2005-04-01 2006-10-19 Denso Corp Air conditioner for vehicle

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5685162A (en) * 1991-04-26 1997-11-11 Nippondenso Co., Ltd. Automotive air conditioner having condenser and evaporator provided within air duct
JP2004130999A (en) * 2002-10-11 2004-04-30 Denso Corp Air conditioner for vehicle
JP2009298274A (en) * 2008-06-12 2009-12-24 Mitsubishi Electric Corp Vehicular ventilating and air-conditioning device
US8915295B2 (en) * 2011-03-31 2014-12-23 Trane International Inc. Method of adaptive control of a bypass damper in a zoned HVAC system
KR101036974B1 (en) 2011-04-01 2011-05-25 김금희 Thermo-hygrostat
JP6018938B2 (en) 2013-01-31 2016-11-02 三機工業株式会社 Air conditioning system for outside air treatment
CN103398443B (en) * 2013-08-02 2016-01-20 重庆海润节能技术股份有限公司 A kind of clean VMC and clean wind method
KR101603904B1 (en) 2015-07-22 2016-03-16 주식회사 범양공조 An air conditioning system with one body heat pump and method for operating the same
JP5886463B1 (en) 2015-08-07 2016-03-16 伸和コントロールズ株式会社 Air conditioner and operation method thereof

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01147240A (en) * 1987-12-01 1989-06-08 Mitsubishi Electric Corp Airconditioner for ventilation
JP2004003866A (en) * 2003-08-20 2004-01-08 Mitsubishi Electric Corp Ventilation air conditioning system
JP2005241094A (en) * 2004-02-25 2005-09-08 Seibu Giken Co Ltd Dehumidifying air conditioner
JP2006282080A (en) * 2005-04-01 2006-10-19 Denso Corp Air conditioner for vehicle

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11605549B2 (en) 2018-10-19 2023-03-14 Shinwa Controls Co., Ltd. Air conditioner, unit for floating conveying substrate with air conditioner, and method of supplying air for floating conveying substrate

Also Published As

Publication number Publication date
TW201802409A (en) 2018-01-16
TWI621816B (en) 2018-04-21
JP2018004152A (en) 2018-01-11
KR101753554B1 (en) 2017-07-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5886463B1 (en) Air conditioner and operation method thereof
US10830509B2 (en) Refrigerant cooling for variable speed drive
US20100023166A1 (en) Free-cooling limitation control for air conditioning systems
US11639819B2 (en) Vector drive for vapor compression systems
JP5514787B2 (en) Environmental test equipment
JP5984456B2 (en) Heat source system control device, heat source system control method, heat source system, power adjustment network system, and heat source machine control device
US11137164B2 (en) Control systems and methods for heat pump systems
WO2018043672A1 (en) Air conditioning system
JP6049936B1 (en) Air conditioner
US20110138827A1 (en) Improved operation of a refrigerant system
JP2005106318A (en) Refrigeration cycle
KR102302343B1 (en) air conditioner
KR20190032560A (en) Air conditioner
US20240247845A1 (en) Heating, ventilation, and air-conditioning systems and methods with bypass line
JP2018185089A (en) Air conditioner
JP5526359B2 (en) Temperature control blower

Legal Events

Date Code Title Description
A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20160913

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20160923

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20161025

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20161122

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6049936

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250