JP5959193B2 - ウェーハ研削方法およびウェーハ研削装置 - Google Patents

Description

本発明は、ウェーハ、特に外周に位置する面取部と該面取部よりも内方に位置する平坦部とを含むウェーハを研削するウェーハ研削方法およびそのような方法を実施するウェーハ研削装置に関する。

半導体製造分野においてはウェーハが年々大型化する傾向にあり、また、実装密度を高めるためにウェーハの薄膜化が進んでいる。ウェーハを薄膜化するために、ウェーハの裏面を研削するいわゆる裏面研削（バックグラインド）が行われる。

ところで、公知であるようにウェーハの外周には発塵防止のために面取部が形成されており、ウェーハ縁部における断面はその先端に向かって幅狭になっている。近年では大幅な裏面研削を行うことが要求されているので、ウェーハの厚さの半分を越えて裏面研削を行う場合もある。そのような場合には、裏面研削後のウェーハの厚さよりもさらに薄いテーパ状の部分がウェーハの外周部に形成されるようになる。

この薄いテーパ状の部分はシャープなエッジとなり、砥石の切込みに対して脆弱であるので、テーパ状の部分にクラックが生じやすい。そして、クラックはウェーハの内部にまで進展する可能性がある。すなわち、クラックがウェーハの内部にまで進展するのは、ウェーハの研削加工時、ウェーハ外周端から内周に向かう砥石の速度ベクトルが大きいほど外周の亀裂を内周に持ち込む作用が大きくなるために起こる。従って、クラックの形成および進展を抑制するために、ウェーハの研削前にあらかじめウェーハエッジがシャープなエッジにならないように、ウェーハの面取部を除去するエッジトリミングが行われている。

特許文献１は、ウェーハの面取部を回転ブレードによってエッジトリミングすることを開示している。特許文献１においては、ウェーハの面取部をエッジトリミングした後で、ターンテーブルを回転させてウェーハを研削ユニットまで移動させ、研削ユニットによりウェーハの平坦部を研削している。

特開２００７−１６５８０２号公報

しかしながら、特許文献１の手法においては、面取部を除去するための回転ブレードおよび回転ブレードを駆動するためのモータが必要である。そして、特許文献１においてはターンテーブルでウェーハを移動させているので、ウェーハの位置を微調整することができない。

ウェーハの位置を微調整する代わりに、特許文献１では、回転ブレードを位置決めするための位置決め機構部を別途必要としている。つまり、特許文献１では、回転ブレード、回転ブレードのためのモータ、および位置決め機構が必要である。従って、特許文献１では装置全体が大型化するという問題があった。
また、基板の外周縁部に、裏面から表面に亘って切削加工を行う際に、切削加工を行う深さが微妙になる。すなわち、基板を完全に分離する場合でも、回転ブレードを少し深く入れすぎると、チャックまで到達してチャックを傷つけることになる。ウェーハを完全に切断できなかった場合は、かえって切断できずに薄く残された箇所から割れる場合もある。

本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、回転ブレードおよびその関連部材を必要とすることなしに、ウェーハの面取部の除去とウェーハの平坦部の研削の両方を行うウェーハ研削方法およびそのような方法を実施するウェーハ研削装置を提供することを目的とする。

１番目の発明によれば、外周に位置する面取部と該面取部よりも内方に位置する平坦部とを含むウェーハを研削するウェーハ研削装置において、前記ウェーハの面取部を研削する面取研削部と前記ウェーハの平坦部を研削する平坦研削部とを含むカップ型研削砥石と、を具備し、前記面取研削部は、前記平坦研削部の外周側に配置されており、さらに、前記ウェーハの前記面取部または前記平坦部が前記カップ型研削砥石の面取研削部及び平坦研削部にそれぞれ対応した位置に位置決めされるように前記ウェーハを前記カップ型研削砥石に対して相対的に移動させる移動機構部と、を具備し、前記移動機構部によって前記ウェーハの前記面取部を、前記カップ型研削砥石における前記面取研削部に対応した位置に位置決めして前記面取研削部により前記ウェーハの前記面取部を除去した後で、前記移動機構部によって前記ウェーハの前記平坦部を、前記カップ型研削砥石における前記平坦研削部に対応した位置に位置決めして前記平坦研削部により前記ウェーハの前記平坦部を研削するようにした、ウェーハ研削装置が提供される。
２番目の発明によれば、１番目の発明において、前記カップ型研削砥石は、前記面取研削部と前記平坦研削部とが互いに同軸に配置されている。
３番目の発明によれば、１番目または２番目の発明において、前記面取研削部と前記平坦研削部とは、互いに段差を持たせて形成されている。
４番目の発明によれば、１番目から３番目のいずれかの発明において、前記ウェーハはベース基材に貼付けられている。
５番目の発明によれば、４番目の発明において、前記ベース基材は前記ウェーハと同一寸法の他のウェーハである。

１番目の発明においては、ウェーハの面取部および平坦部を、それぞれ、砥石の面取研削部と平坦研削部とに対応して位置決めできるので、単一の砥石を用いてウェーハの面取部の除去と平坦部の研削との両方を行うことができる。従って、回転ブレードおよびその関連部材の必要性を排除できる。
また、ウェーハの面取部の除去深さと平坦部の研削深さを、１つの軸についた砥石を使用して任意に設定できるため、例えば面取部の除去深さを所望の平坦研削量よりも少し深く設定しておくことで、平坦研削時におけるシャープエッジからの割れの影響を大幅に低減することが可能となる。
さらに、面取研削部を砥石外周側に配置することで、外周砥石の表面のみならず、外周面も効率的に使用することができる。
２番目の発明においては、面取研削部と平坦研削部とを同軸に配置することで、一つのスピンドル軸で面取部の除去と平坦部の研削が可能であり、一連の面取部および平坦部の研削を続けて行うことができる。
３番目の発明においては、内外周で段差を持たせることで、面取部の研削と、平坦部の研削とを使い分けすることができる。
４番目の発明においては、ウェーハの面取部を除去する際に、ベース基材の一部分が一緒に削除できる。このため、ベース基材を保持する保持部が損傷するのを避けられる。なお、ベース基材は接着剤などによってウェーハに貼付けられるのが好ましい。
５番目の発明においては、ウェーハと同一寸法のベース基材を容易に準備することができる。

本発明に基づくウェーハ研削装置の略斜視図である。 本発明に基づくウェーハ研削装置の側面図である。 図２に示されるウェーハ研削装置の背面図である。 図２に示されるウェーハ研削装置の頂面図である。 ウェーハを示す図である。 カップ型研削砥石の一例を示す部分断面図である。 （ａ）は面取部を除去するときのウェーハ研削装置の部分断面図であり、（ｂ）は図７（ａ）に示されるウェーハ研削装置の部分頂面図である。 面取部除去後におけるウェーハの部分側面図である。 平坦部を研削するときのウェーハ研削装置の部分断面図である。 平坦部研削後におけるウェーハの部分側面図である。 カップ型研削砥石の第１の別例を示す部分断面図である。 カップ型研削砥石の第２の別例を示す部分断面図である。

以下、添付図面を参照して本発明の実施形態を説明する。以下の図面において同様の部材には同様の参照符号が付けられている。理解を容易にするために、これら図面は縮尺を適宜変更している。
図１は、本発明に基づくウェーハ研削装置の略斜視図である。図１に示されるように、ウェーハ研削装置１０は、カップ型研削砥石３６を備えるアーチ型のコラムユニット１２と、コラムユニット１２の下方部に配置された移動機構部としての搬送ユニット１１とを主に含んでいる。

ウェーハ研削装置１０は、ウェーハ６０、例えばシリコンウェーハを研削する。図示されるように、コラムユニット１２の一方の側面１２ｂには単一の溝１３が縦方向に形成されており、この溝１３はメインユニット１２の頂面１２ａから下方通路１４まで延びている。また、搬送ユニット１１は、そのようなウェーハ６０をカップ型研削砥石３６に対応した所望の二つの位置に位置決めさせられる。さらに、搬送ユニット１１は、ウェーハ６０の研削部への搬入および研削部からの搬出を行う。

図１から分かるように、側面１２ｂには、二つのリニアガイド３２、３３がそれぞれ溝１３の両縁部、もしくは隣接して設けられている。さらに、同様なリニアガイド３１が溝１３の底部において、リニアガイド３２、３３に対して平行に設けられている。これらリニアガイド３１、３２、３３は単一のサドルを摺動する案内レールとしての役目を果たす。

図２は本発明に基づくウェーハ研削装置の側面図であり、図３は図２に示されるウェーハ研削装置の正面図であり、図４は図２に示されるウェーハ研削装置の頂面図である。これら図面から分かるように、搬送ユニット１１は、互いに平行な二つのレール２２が配置された搬送台２１を含んでいる。レール２２上には、ウェーハ６０を保持するチャック２９が摺動可能に配置されている。チャック２９に結合されたスライダ２５は、ベルト・プーリ機構２４を介してモータ２６によりボールネジ２３を駆動する。これにより、スライダ２５はレール２２上を摺動するようになる。

なお、チャック２９は図示しない真空源に接続されており、真空作用などによりウェーハ６０を吸着保持する。さらに、搬送台２１の下方にはモータ２７が配置されており、チャック２９はウェーハ６０を保持しつつ鉛直軸回りに回転する。

さらに、図２および図３から分かるように、メインユニット１２のリニアガイド３２、３３には、サドル３４が摺動可能に取付けられている。また、サドル３４は、ボールネジ３８のナット３９を介してリニアガイド３１にも摺動可能に取付けられている。図示されるように、サドル３４の下方には、カップ型のカップ型研削砥石３６が取付けられており、カップ型研削砥石３６はサドル３４と一体的にリニアガイド３１〜３３に沿って摺動する。カップ型研削砥石３６の回転軸はリニアガイド３１〜３３に対して平行に配置されており、サドル３４内部に備えられたモータ３５が駆動すると、カップ型研削砥石３６は回転軸回りに回転する。

前述したように、ボールネジ３８はサドル３４とリニアガイド３１との間に配置されている。ボールネジ３８は上方に配置されたモータ３７により駆動し、カップ型研削砥石３６をチャック２９のウェーハ６０に向かって付加的に送込む研削送り部としての役目を果たす。図２および図４から分かるように、カップ型研削砥石３６をウェーハ６０に向かって送込む送込み方向上、あるいは送込み方向に隣接して、カップ型研削砥石３６の縁部が位置している。

ところで、図５はウェーハを示す図である。図５に示されるように、ウェーハ６０の表面６１には、前工程において複数の回路パターンＣ、例えば貫通電極が格子状に形成されている。図５から分かるように、全ての回路パターンＣはウェーハ６０の平坦部６７上に形成されており、平坦部６７周りに位置するウェーハ６０の外周部は面取部６８として形成されている。なお、ウェーハ６０の裏面６２には、このような回路パターンＣは形成されていない。

そして、図５においては、ウェーハ６０の表面２１はベース基材７０に接着剤などにより貼付けられている。図１等に示されるウェーハ研削装置１０には、ベース基材７０が下方に位置するようにこのようなウェーハ６０が、供給されるものとする。

図５に示されるように、ベース基材７０はウェーハ６０と概ね同一形状の平坦な部材である。ベース基材７０として他のウェーハ６０を使用するのが好ましく、そのような場合にはベース基材７０を容易に準備することができる。ただし、他の形状のベース基材７０を使用してもよい。

次に、図６に、図１等に示されるウェーハ研削装置１０に用いられるカップ型研削砥石３６の一例を模式的な要部断面図で示し、以下説明する。
このカップ型研削砥石３６は、上述のウェーハ６０の平坦部６７を研削する平坦研削部３６ａと、平坦部６７周りの外周部における面取部６８を研削する面取研削部３６ｂとを含んでいる。かかる平坦研削部３６ａと面取研削部３６ｂとにより、それぞれウェーハ６０の平坦部６７と面取部６８とが研削される。
平坦研削部３６ａと面取研削部３６ｂとは、回転する砥石基体３６ｖの回転軸Ｏに同軸的に設けられている。この場合、平坦研削部３６ａは砥石基体３６ｖの回転軸Ｏ寄りに、面取研削部３６ｂは平坦研削部３６ａの外側に配置されている。また、平坦研削部３６ａの研削先端部が面取研削部３６ｂに比較して図中、下方に突出するように段差が設定されている。なお、平坦研削部３６ａと面取研削部３６ｂとには、相互に異なる粒度の砥石を用いてもよく、また、同一の粒度の砥石を用いてもよい。例えば平坦研削部３６ａと面取研削部３６ｂとに、双方ともメタルボンド（♯２０００）の砥石を用いることができる。
また、平坦研削部３６ａと面取研削部３６ｂとは、回転する砥石基体３６ｖに一体的に設けるようにしてもよいが、それぞれ個別に取り外せるようにしてもよい。すなわち、カップ型研削砥石３６を二つに分けて、平坦研削部３６ａと面取研削部３６ｂと二つの砥石に分かれるように構成してもよい。面取研削部３６ｂは、平坦研削部３６ｂの外周部に構成しているが、ウェーハ６０に対して接線方向に応力を作用させるためである。
平面研削部３６ａで薄片化していく過程で、シャープなエッジが形成されると、そのエッジから割れが起こり、その割れが内側に入り込んでいくようになる。その割れが内側に入り込み、ウェーハ６０内部にダメージを及ぼしてしまう最大の要因は、先にも述べたように研削する砥石が、相対的にウェーハ６０中心側に向かう半径方向の速度成分が大きくなることに起因する。すなわち、外周部に立ち上がったシャープエッジが微小に振動し、その割れが、相対的に中心に向かう砥石の速度成分に比例して内側に入り込むのである。
よって、このような事態を回避するためには、面取研削部３６ｂをウェーハ６０に対し、極力接線方向のみに作用させるようにすることが望ましい。特に、面取研削部３６ｂの外径を大きくした方が、接線方向に砥石が作用するようになり、砥石が相対的にウェーハ６０中心側に向かう半径方向の速度成分はより小さくなるので好ましい。

そして、図７（ａ）は面取部を除去するときのウェーハ研削装置の部分断面図であり、図７（ｂ）は図７（ａ）に示されるウェーハ研削装置の部分頂面図である。以下、これら図面を参照して、本発明に基づくウェーハ研削装置１０による面取部６８の除去動作について説明する。

はじめにウェーハ６０をチャック２９に載置する。チャック２９がウェーハ６０を真空保持した後で、搬送ユニット１１におけるモータ２６を駆動させる。これにより、チャック２９はスライダ２５と一緒にレール２２およびネジ２３に沿って摺動するようになる。そして、チャック２９は、図７（ａ）および図７（ｂ）に示されるように、カップ型研削砥石３６における面取研削部３６ｂの研削先端部がウェーハ６０の面取部６８に対応した位置に位置決めされる。

次いで、モータ３５を駆動してカップ型研削砥石３６の砥石基体３６ｖを回転軸Ｏ回りに回転させると共に、モータ２７を駆動してチャック２９を回転軸線回りに回転させる。さらに、モータ３７を駆動してカップ型研削砥石３６をチャック２９のウェーハ６０に向かって送込む。これにより、カップ型研削砥石３６における面取研削部３６ｂの研削先端部はウェーハ６０の面取部６８のみを研削するようになる。
なお、面取研削の方法としては、カップ型研削砥石３６の面取研削部３６ｂの研削先端部を先にウェーハ６０に対して所定の加工深さまで下げる。次いで、その状態でウェーハ６０を保持するチャック２９を、搬送ユニット１１におけるモータ２６を駆動させて、スライダ２５と一緒にレール２２およびネジ２３に沿って移動させて面取研削部３６ｂの研削先端部に、ウェーハ６０の面取部６８を近接させる。
その場合、先に述べたカップ型研削砥石３６の相対的にウェーハ６０中心側に向かう半径方向の速度成分が、内周部へのクラック進展の要因となるおそれがあるため、移動機構部である搬送ユニット１１にあっては、連続的かつ精密に制御された相対速度でチャック２９を移動させることで、カップ型研削砥石３６がウェーハ６０中心側へ相対的に送られることが求められる。この場合のカップ型研削砥石３６とチャック２９との相対送り速度は、砥石回転数や番手に依存する。
さらに、面取研削の方法としては、面取研削部３６ｂの砥石形状によっては、カップ型研削砥石３６の面取研削部３６ｂを、先に所定のウェーハ外周除去部まで入り込ませて、その上でウェーハ６０の上側から順に切り込んで所定の深さまで外周部だけを薄く加工するようにしてもよい。

そして、カップ型研削砥石３６がウェーハ６０の面取部６８を除去するのに十分な量だけ送込まれると、モータ３７を逆回転させて、カップ型研削砥石３６をウェーハ６０から離間させる。図８は面取部除去後におけるウェーハの部分側面図である。図８に示されるように、カップ型研削砥石３６の面取研削部３６ｂは、ウェーハ６０の面取部６８と、これに対応するベース基材７０の一部分を除去する。図８から分かるように、ベース基材７０は、面取部６８を除去するときに、チャック２９が破損するのを防止する役目を果たす。なお、ベース基材７０を排除してウェーハ６０をチャック２９に直接的に保持して面取部６８を除去することも可能である。

次に、図９は平坦部を研削するときのウェーハ研削装置の部分断面図である。以下、図９を参照して、本発明に基づくウェーハ研削装置１０によるウェーハ６０の平坦部６７の研削動作について説明する。
面取部６８の除去が終了すると、ウェーハ６０およびベース基材７０をチャック２９に保持させたままで、モータ２６を駆動させる。これにより、チャック２９はスライダ２５と一緒にレール２２およびネジ２３に沿って摺動する。そして、チャック２９は、図９に示されるように、カップ型研削砥石３６における平坦研削部３６ａの研削先端部がウェーハ６０の平坦部６７に対応した位置に位置決めされる。

次いで、モータ３５を駆動してカップ型研削砥石３６の砥石基体３６ｖを回転軸Ｏ回りに回転させると共に、モータ２７を駆動してチャック２９を回転軸線回りに回転させる。さらに、モータ３７を駆動して平坦研削部３６ａの研削先端部をチャック２９のウェーハ６０に向かって所定量（ウェーハ６０の厚さよりも小さい）だけ送込む。これにより、平坦研削部３６ａの研削先端部によってウェーハ６０の平坦部６７が研削されるようになる。

カップ型研削砥石３６における平坦研削部３６ａの研削先端部がウェーハ６０を所定の厚さまで研削する量だけ送込まれると、モータ３７を逆回転させて、平坦研削部３６ａの研削先端部をウェーハ６０から離間させる。図１０は平坦部研削後におけるウェーハの部分側面図である。図１０に示されるように、平坦部６７の厚さ部分が研削されると、ウェーハ６０は所望の厚さまで薄膜化される。その後、チャック２９の保持を解除して、ウェーハ６０およびベース基材７０を取外す。次いで、所定の治具（図示しない）等を用いて、ウェーハ６０をベース基材７０から離間させる。これにより、薄膜化したウェーハ６０を得ることができる。

このように本発明においては、スライダ２５をネジ２３上に摺動させることにより、ウェーハ６０の面取部６８および平坦部６７を、それぞれカップ型研削砥石３６における面取研削部３６ｂの研削先端部、平坦研削部３６ａの研削先端部に対応して位置決めできる。従って、カップ型研削砥石３６は、ウェーハの面取部の除去を面取研削部３６ｂにより、平坦部の研削を平坦研削部３６ａにより行うことができる。この場合、カップ型研削砥石３６における平坦研削部３６ａと面取研削部３６ｂとは、砥石基体３６ｖに同軸上に配置されているので、一つのスピンドル軸で面取部の除去と平坦部の研削が可能であり、一連の面取部の除去と平坦部の研削とを続けて行うことができる。

また、面取研削部３６ｂを砥石基体３６ｖの外周側に配置することで、外周砥石の表面のみならず、外周面も効率的に使用することができる。
ウェーハ６０の平坦部６７を研削する平坦研削部３６ａに比較して、面取部６８を研削する面取研削部３６ｂが設けられる位置の径が大きいのが有利である。面取研削部３６ｂはウェーハ６０の半径方向外側から相対的に内側に向かって入り込む。このため、面取研削部３６ｂが設けられる位置の径が大きくなるほど、ウェーハ６０に対し、接線方向から面取研削部３６ｂが進入する作用が支配的になる。それ故、薄いウェーハ６０のエッジであっても、ウェーハ６０の中心軸側へクラックは進展せず、ウェーハ６０に割れが生じるのを極力回避することができる。

さらに、面取研削部３６ｂの研削先端部と平坦研削部３６ａの研削先端部とは、段差があるので面取部の研削と、平坦部の研削とを使い分けすることができる。

以上のように、カップ型研削砥石３６は、ウェーハ６０の面取部６８を除去するエッジトリミング用のカッタと、ウェーハ６０の裏面６２を研削する研削部材としての両方として機能する。このため、本発明では、従来技術のような回転ブレードおよびその関連部材を必要とすることはなく、装置全体を小型化することも可能である。

以上、カップ型研削砥石３６の一例を挙げて、ウェーハ研削装置１０によるウェーハ６０の面取部６８を除去するエッジトリミングと、ウェーハ６０の平坦部６７の研削工程について説明した。
カップ型研削砥石３６は、これに限られないのは勿論である。
例えば図１１は、カップ型研削砥石の第１の別例を示す部分断面図である。図１１においては、カップ型研削砥石３６における面取研削部３６ｂと平坦研削部３６ａとは、同軸的に隣接して、しかも面取研削部３６ｂと平坦研削部３６ａにおける研削先端部に段差を設けないで面一となるようにしている。この場合、面取研削部３６ｂと平坦研削部３６ａとで、砥石の種類を異ならしめて用いている。面取部６８を除去するエッジトリミング用としての面取研削部３６ｂにビトリファイド（磁器質）ボンドの♯２０００が用いられ、面全体の研削用として平坦研削部３６ａにメタルボンドの♯２０００が用いられる。面取研削部３６ｂは平坦研削部３６ａの外側に設けられ、面取研削部３６ｂの外周面にもビトリファイド（磁器質）ボンドの♯２０００が用いられる。

図１２はカップ型研削砥石の第２の別例を示す部分断面図である。カップ型研削砥石３６は、図１２のように構成することもできる。この場合、砥石は、砥石基体３６ｖに単一の砥石（例えばビトリファイドボンド：♯２０００）によって、エッジトリミング用と平坦部研削用として兼ねるようにすることもできる。すなわち、砥石がエッジトリミング用領域Ｉと、平坦部研削用の領域IIとを含むようにする。図１２から分かるように、領域Ｉは砥石の下面外側部分及び外周面部分である。領域IIは砥石の下面全体である。

１０ ウェーハ研削装置
１１ 搬送ユニット
１２ コラムユニット
１２ａ 頂面
１２ｂ 側面
１３ 溝
１４ 下方通路
２２ レール
２３ ボールネジ（移動機構部）
２４ プーリ機構
２５ スライダ（移動機構部）
２６ モータ
２７ モータ
２９ チャック（保持部）
３１〜３３ リニアガイド
３４ サドル
３５ モータ
３６ カップ型研削砥石
３６ａ 平坦研削部
３６ｂ 面取研削部
３６ｖ 砥石基体
３７ モータ
３８ ボールネジ
３９ ナット
６０ ウェーハ
６１ 表面
６２ 裏面
６７ 平坦部
６８ 面取部
７０ ベース基材
Ｃ 回路パターン

Claims (5)

1. 外周に位置する面取部と該面取部よりも内方に位置する平坦部とを含むウェーハを研削するウェーハ研削装置において、
   前記ウェーハの面取部を研削する面取研削部と前記ウェーハの平坦部を研削する平坦研削部とを含むカップ型研削砥石と、を具備し、前記面取研削部は、前記平坦研削部の外周側に配置されており、
   さらに、
   前記ウェーハの前記面取部または前記平坦部が前記カップ型研削砥石の面取研削部及び平坦研削部にそれぞれ対応した位置に位置決めされるように前記ウェーハを前記カップ型研削砥石に対して相対的に移動させる移動機構部、を具備し、
   前記移動機構部によって前記ウェーハの前記面取部を、前記カップ型研削砥石における前記面取研削部に対応した位置に位置決めして前記面取研削部により前記ウェーハの前記面取部を除去した後で、前記移動機構部によって前記ウェーハの前記平坦部を、前記カップ型研削砥石における前記平坦研削部に対応した位置に位置決めして前記平坦研削部により前記ウェーハの前記平坦部を研削するようにした、ウェーハ研削装置。
2. 前記カップ型研削砥石は、前記面取研削部と前記平坦研削部とが互いに同軸に配置されている、請求項１に記載のウェーハ研削装置。
3. 前記面取研削部と前記平坦研削部とは、互いに段差を持たせて形成されている、請求項１または２に記載のウェーハ研削装置。
4. 前記ウェーハはベース基材に貼付けられている、請求項１から３のいずれか１項に記載のウェーハ研削装置。
5. 前記ベース基材は前記ウェーハと同一寸法の他のウェーハである、請求項４に記載のウェーハ研削装置。

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