JP5957864B2 - Liquid ejecting head and manufacturing method thereof - Google Patents
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Description
本発明は、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関し、特に液体としてインクを吐出するインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置に関する。 The present invention relates to a liquid ejecting head and a liquid ejecting apparatus, and more particularly to an ink jet recording head and an ink jet recording apparatus that eject ink as a liquid.
液体を吐出する液体噴射ヘッドの代表例として、インクを吐出するインクジェット式記録ヘッドが挙げられる。インクジェット式記録ヘッドとしては、例えば、液体が貯留されるマニホールドを有し、該マニホールドに連通する圧力発生室にインクを取り込み、圧電素子などの圧力発生手段で該圧力発生室を変形させて、ノズルから液体を吐出させるヘッド本体を備えたものが知られている。 A typical example of a liquid ejecting head that ejects liquid is an ink jet recording head that ejects ink. As an ink jet recording head, for example, it has a manifold that stores liquid, takes ink into a pressure generating chamber that communicates with the manifold, deforms the pressure generating chamber with pressure generating means such as a piezoelectric element, and nozzles There is known one provided with a head main body for discharging liquid from the head.
このようなインクジェット式記録ヘッドは、マニホールドに供給されるインクの流路となる液体流路を有している(例えば、特許文献1参照)。液体流路としては、例えば、貫通孔が設けられた部材同士を各貫通孔が連通するように接着剤で接合することにより形成したものが挙げられる。 Such an ink jet recording head has a liquid flow path serving as a flow path for ink supplied to the manifold (see, for example, Patent Document 1). Examples of the liquid flow path include those formed by joining members provided with through holes with an adhesive so that the through holes communicate with each other.
液体流路中に生じた気泡は、液体流路中に配設したフィルターで捕捉されたり、ノズル側から負圧でインクを吸引することで、インクとともに外部に排出される。 Bubbles generated in the liquid flow path are captured by a filter disposed in the liquid flow path, or are sucked out from the nozzle side with a negative pressure to be discharged together with the ink.
しかしながら、貫通孔が設けられた部材同士を接合する接着剤が貫通孔内部に達して硬化すると、その貫通孔内にはみ出した接着剤に気泡が付着し、外部に排出され難くなる。つまり、液体流路中の気泡の排出性が低下してしまう。このように気泡の排出動作を行っても液体流路中に気泡が残留すると、印刷時に気泡がノズル側に移動してインクの吐出不良を起こす原因となる虞がある。 However, when the adhesive that joins the members provided with the through holes reaches the inside of the through holes and hardens, bubbles adhere to the adhesive that protrudes into the through holes and are difficult to be discharged to the outside. That is, the discharge property of the bubbles in the liquid channel is lowered. If bubbles remain in the liquid flow path even when the bubbles are discharged in this way, the bubbles may move to the nozzle side during printing and cause ink ejection failure.
一方、接着剤の量を減らすと、部材同士の接着面に十分な接着剤が行き渡らず、接着剤により接着されていない領域が生じてしまう。この領域には、気泡が滞留したり貫通孔内のインクが浸透し、さらには接着剤と部材との界面を伝ってヘッド内部に達してしまう虞がある。例えば、インクの吐出を制御する回路基板など電気的な部品にインクが到達し、短絡や故障する虞がある。 On the other hand, when the amount of the adhesive is reduced, sufficient adhesive does not reach the bonding surface between the members, and a region not bonded by the adhesive is generated. In this region, there is a possibility that bubbles stay or the ink in the through hole penetrates and reaches the inside of the head through the interface between the adhesive and the member. For example, the ink may reach an electrical component such as a circuit board that controls the ejection of the ink, causing a short circuit or failure.
このように、貫通孔が設けられた部材同士を接合する際に、貫通孔周辺に塗布する接着剤が多すぎても少なすぎても問題が生じてしまう。したがって、貫通孔周辺において接着剤が広がる方向や量を適切に管理する必要がある。 As described above, when the members provided with the through holes are joined to each other, there is a problem whether the adhesive applied to the periphery of the through holes is too much or too little. Therefore, it is necessary to appropriately manage the direction and amount of the adhesive spreading around the through hole.
なお、このような問題は、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置においても同様に存在する。 Such a problem also exists in a liquid ejecting head and a liquid ejecting apparatus that eject liquid other than ink.
本発明はこのような事情に鑑み、液体流路を構成する部材同士を接着剤で確実に接合するとともに、液体流路中の気泡の排出性を高めて吐出品質が向上した液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを目的とする。 In view of such circumstances, the present invention reliably joins members constituting a liquid flow path with an adhesive, and improves discharge quality by improving the discharge of bubbles in the liquid flow path and the liquid. It aims at providing an injection device.
上記課題を解決する本発明の態様は、ノズルから液体を吐出するヘッド本体と、前記ノズルに連通して該ヘッド本体に供給される液体が流通する液体流路と、前記液体流路の一部を構成する貫通孔がそれぞれ設けられ、該貫通孔が連通するように接着剤で接合された第1部材及び第2部材とを備え、前記第1部材の表面には、前記貫通孔の周囲を囲んで前記第2部材側に突出する第1突部、及び該第1突部の外側を囲んで前記第2部材側に突出する第2突部が形成され、前記第1突部及び前記第2突部には、前記接着剤を介して前記第2部材側に接着される接着面を有し、当該接着面と前記第2部材側との間隔がそれぞれ均等になるように形成され、前記第1突部と前記第2突部との間に設けられた前記接着剤は、前記第1突部の接着面を越えて前記貫通孔まで達するとともに、前記第2突部の接着面を越えて前記第2突部の外側まで達していることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。ここで、前記接着剤は、前記第1突部及び第2突部の間の溝部を中心として前記第1突部側及び前記第2突部側へ広がっていることが好ましい。
かかる態様では、第1部材に設けられた第1突部及び第2突部と第2部材との間における接着剤の広がりを管理できるので、第1突部側に接着剤が過多となって液体流路にはみ出しすぎてしまったり、第1突部及び第2突部と第2部材との間で接着剤が引けた状態が生じることを防止することができる。具体的には、接着剤は、第1突部の接着面を越えて貫通孔(液体流路)まで達するとともに、第2突部の接着面を越えて第2突部の外側まで達している。これにより、接着剤が引けた状態が防止され、引けた部分に気泡が残留したり、引けた部分から液体が接着剤と第1部材及び第2部材との界面を通して回路基板等に到達することが防止されている。これにより、気泡の排出性が向上し、かつ信頼性が向上した液体噴射ヘッドが提供される。
An aspect of the present invention that solves the above problems includes a head main body that discharges liquid from a nozzle, a liquid channel that is in communication with the nozzle and through which a liquid supplied to the head main body flows, and a part of the liquid channel The first member and the second member joined with an adhesive so that the through holes communicate with each other, and the surface of the first member has a periphery of the through holes. A first protrusion that surrounds and protrudes toward the second member, and a second protrusion that surrounds the outside of the first protrusion and protrudes toward the second member are formed. The first protrusion and the first protrusion The two protrusions have an adhesive surface bonded to the second member side through the adhesive, and are formed so that the distance between the adhesive surface and the second member side is equal, The adhesive provided between the first protrusion and the second protrusion crosses the bonding surface of the first protrusion. Together reach the through hole Te, a liquid-jet head, characterized in that it reaches the outside of the second projection beyond the adhesive surface of the second projection. Here, it is preferable that the adhesive spreads toward the first protrusion and the second protrusion with the groove between the first protrusion and the second protrusion as a center.
In this mode, since the spread of the adhesive between the first protrusion and the second protrusion provided on the first member and the second member can be managed, the adhesive is excessive on the first protrusion side. It is possible to prevent the adhesive from being pulled out between the first protrusion and the second protrusion and the second member. Specifically, the adhesive reaches the through hole (liquid flow path) beyond the bonding surface of the first protrusion and reaches the outside of the second protrusion beyond the bonding surface of the second protrusion. . Thereby, the state where the adhesive is closed is prevented, and bubbles remain in the closed portion, or the liquid reaches the circuit board or the like through the interface between the adhesive and the first member and the second member from the closed portion. Is prevented. As a result, a liquid ejecting head having improved bubble discharge properties and improved reliability is provided.
ここで、前記第1部材及び前記第2部材の各貫通孔のうち、前記ノズルに遠い方を第1貫通孔、前記ノズルに近い方を第2貫通孔とし、前記第1貫通孔の前記第2部材側の開口形状は、前記第2貫通孔の前記第1部材側の開口形状よりも大きく形成されていることが好ましい。これによれば、接着剤の下流側に第2部材が位置するので、接着剤の下流側に液体中の気泡が残留することを防止できる。したがって、気泡の排出性が向上するので吐出時に気泡がノズル側に移動して液体の吐出不良を起こすことが防止されるため、吐出品質が向上した液体噴射ヘッドが提供される。 Here, out of the through holes of the first member and the second member, the one far from the nozzle is the first through hole, and the one near the nozzle is the second through hole, and the first through hole is the first through hole. The opening shape on the two member side is preferably formed larger than the opening shape on the first member side of the second through hole. According to this, since the second member is located on the downstream side of the adhesive, it is possible to prevent bubbles in the liquid from remaining on the downstream side of the adhesive. Accordingly, since the bubble discharge performance is improved, it is possible to prevent the bubbles from moving to the nozzle side during discharge and causing a liquid discharge failure. Therefore, a liquid jet head with improved discharge quality is provided.
また、前記第1突部及び前記第2突部は、前記第1部材の前記第2部材側の表面から前記接着面までの高さが同じとなるように形成され、前記第2部材の前記接着面に対向する領域は面一に形成されていることが好ましい。これによれば、より一層良好に接着剤の広がりを管理できる。 Further, the first protrusion and the second protrusion are formed so that the height from the surface on the second member side of the first member to the adhesion surface is the same, and the height of the second member The region facing the bonding surface is preferably formed flush. According to this, the spread of the adhesive can be managed even better.
また、前記第1突部及び前記第2突部の前記接着面の幅が同じとなるように形成されていることが好ましい。これによれば、より一層良好に接着剤の広がりを管理できる。 Further, it is preferable that the first protrusion and the second protrusion are formed so that the widths of the bonding surfaces are the same. According to this, the spread of the adhesive can be managed even better.
また、前記ヘッド本体は、液体を吐出するノズルに連通した圧力発生室、該圧力発生室を変形させる複数の圧力発生手段、及び該圧力発生手段が固定されるヘッドケースを備え、前記ヘッドケースには、各圧力発生手段が挿通される挿通孔が設けられ、前記各挿通孔同士の間に位置するように前記貫通孔、前記第1突部及び前記第2突部が設けられていることが好ましい。これによれば、挿通孔と第2突部との間隔を可及的に狭めることが可能である。これにより、複数の圧力発生手段を有する液体噴射ヘッドにおいて、平面視における大きさについて省スペース化が可能となる。 The head body includes a pressure generating chamber communicating with a nozzle for discharging liquid, a plurality of pressure generating means for deforming the pressure generating chamber, and a head case to which the pressure generating means is fixed. Is provided with an insertion hole through which each pressure generating means is inserted, and the through hole, the first protrusion, and the second protrusion are provided so as to be positioned between the insertion holes. preferable. According to this, it is possible to narrow the space | interval of an insertion hole and a 2nd protrusion as much as possible. As a result, in a liquid jet head having a plurality of pressure generating means, it is possible to save space for the size in plan view.
さらに、本発明の他の態様は、上記態様の液体噴射ヘッドを備えることを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる態様では、液体流路を構成する部材同士を接着剤で確実に接合するとともに、液体流路中の気泡の排出性を高めて吐出品質が向上した液体噴射装置が提供される。
According to another aspect of the invention, there is provided a liquid ejecting apparatus including the liquid ejecting head according to the above aspect.
In such an aspect, there is provided a liquid ejecting apparatus in which the members constituting the liquid flow path are reliably bonded with an adhesive, and the discharge property of the bubbles in the liquid flow path is improved to improve the discharge quality.
〈実施形態1〉
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。以下、インクジェット式記録ヘッドは液体噴射ヘッドの一例であり、単に記録ヘッドとも言う。また、インクジェット式記録装置は液体噴射装置の一例である。
<Embodiment 1>
Hereinafter, the present invention will be described in detail based on embodiments. Hereinafter, the ink jet recording head is an example of a liquid ejecting head, and is also simply referred to as a recording head. The ink jet recording apparatus is an example of a liquid ejecting apparatus.
図1は、本実施形態に係るインクジェット式記録装置の概略構成を示す斜視図である。インクジェット式記録装置1は、記録ヘッド2を具備する。記録ヘッド2は、インクカートリッジ3とともにキャリッジ4に搭載され、キャリッジ4は、キャリッジ軸9に沿って移動可能に設けられている。
FIG. 1 is a perspective view showing a schematic configuration of an ink jet recording apparatus according to the present embodiment. The ink jet recording apparatus 1 includes a
駆動モーター(図示せず)の駆動力が複数の歯車およびタイミングベルト7を介してキャリッジ4に伝達されることで、記録ヘッド2を搭載したキャリッジ4はキャリッジ軸9に沿って移動される。
A driving force of a driving motor (not shown) is transmitted to the carriage 4 via a plurality of gears and a
キャリッジ4のキャリッジ軸9に沿う方向の位置は、リニアエンコーダー10によって検出され、検出信号が位置情報として制御部(図示せず)に送信される。これにより、制御部はこのリニアエンコーダー10からの位置情報に基づいてキャリッジ4(記録ヘッド2)の位置を認識しながら、インクの吐出動作等を制御することができる。
The position of the carriage 4 in the direction along the carriage axis 9 is detected by the
また、インクジェット式記録装置1はプラテン5を備えており、紙送り機構8により給紙された紙等の記録媒体である記録シート6がプラテン5に巻き掛けられて搬送されるようになっている。
The ink jet recording apparatus 1 includes a
図2は、記録ヘッドの分解斜視図、図3は、記録ヘッドの底面図及び側面図であり、図4は、図3のA−A線断面図であり、図5は、図3のB−B線断面図であり、図6は、流路部材の要部断面図である。 2 is an exploded perspective view of the recording head, FIG. 3 is a bottom view and a side view of the recording head, FIG. 4 is a cross-sectional view taken along line AA in FIG. 3, and FIG. FIG. 6 is a cross-sectional view taken along the line -B, and FIG.
これらの図に示すように、本実施形態の記録ヘッド2は、流路部材12と、回路基板13と、ヘッド本体14と、ヘッドカバー15とを備えている。
As shown in these drawings, the
流路部材12は、インクカートリッジ3からのインクをヘッド本体14に供給する液体流路の一部を有する部材である。具体的には、流路部材12は、第1流路部材17と、第2流路部材21と、第3流路部材19とが接合されて構成されている。
The
第1流路部材17は、上面に複数のインクカートリッジ3が着脱可能に取り付けられるインクカートリッジ装着部22を備えている。インクカートリッジ装着部22の底部上面には、装着される各インクカートリッジ3に対応して複数のインク導入針23が形成されている。本実施形態では、4色(例えば、シアン、マゼンタ、イエロー、ブラック)のインクに対応して、4本のインク導入針23が列設されている。
The first
インク導入針23の内部には第1インク供給路24が形成されている。インク導入針23をインクカートリッジ3に挿入することで、第1インク供給路24とインクカートリッジ3内部とが連通される。
A first
また、図5に示すように、第1流路部材17の底面(第2流路部材21側の面)には、水平流路86の一部を構成する凹部84が4本形成されている。上述した第1インク供給路24は、各凹部84の一端に開口している。
Further, as shown in FIG. 5, four
図2及び図6に示すように、第2流路部材21は、第2流路部材21の厚さ方向に貫通した第2インク供給路29を備えている。第2インク供給路29の第1流路部材17側の開口部には、フィルター20が配設される。また、第2インク供給路29の回路基板13側は、回路基板13側に突出しており、後述する回路基板13の流路挿通孔34に挿通されている。
As shown in FIGS. 2 and 6, the second
図6に示すように、第3流路部材19は、第1流路部材17と第2流路部材21とに挟持されている。第3流路部材19は、第1流路部材17とで水平流路86を画成する部材である。水平流路86は、第1インク供給路24及び第2インク供給路29に連通している。
As shown in FIG. 6, the third
具体的には、第1流路部材17の各凹部84(図5参照)が第3流路部材19の各凸部85に封止されることで水平流路86が画成される。凸部85は、水平流路86の一部を構成するものであり、第1流路部材17の各凹部84に対向して4本設けられている(図2参照)。第3流路部材19は、各凸部85の周縁部に塗布された樹脂製接着剤102で第1流路部材17に接着されている。これにより、第1流路部材17の各凹部84の開口は第3流路部材19の各凸部85で封止され、4つの水平流路86が形成される。なお、第3流路部材19は第2流路部材21とも接着剤で接着されている。
Specifically, each recess 84 (see FIG. 5) of the
第3流路部材19には、厚さ方向に貫通する連通路27が4つ設けられている。各連通路27は、各凸部85の一端に開口するとともに、第2流路部材21の第2インク供給路29にフィルター20を介して連通している。すなわち、水平流路86は、第1インク供給路24及び第2インク供給路29に連通している。なお、フィルター20は、第1インク供給路24内のインクに混入した気抱や異物を捕捉するものである。
The third
図6に示すように、第1流路部材17と第2流路部材21との間には、シール部材18が挟持されている。シール部材18は、第3流路部材19の外径よりも大きい内径を有し、環状に形成された樹脂等から成る弾性部材である。
As shown in FIG. 6, a
本実施形態では、シール部材18は、断面が凹形状に形成され、この凹形状の底面である接合面82に、第1流路部材17の接合部17aが接している。また、シール部材18の接合面82とは反対側の接合面83が第2流路部材21に接している。
In the present embodiment, the
特に図示しないが、第2流路部材21には、第1流路部材17側に突出するボスが設けられ、このボスが第1流路部材17に設けられた貫通孔に挿通した状態でかしめられることで、第1流路部材17及び第2流路部材21がシール部材18を挟持した状態で固定されている。
Although not particularly illustrated, the second
このように第1流路部材17と第2流路部材21とでシール部材18が挟持されることで、これらの部材から空気室100が画成されている。また、特に図示しないが、シール部材18に設けられた連通路等を介して外部に連通している。第2流路部材21及び第3流路部材19には、それぞれ貫通孔である第3大気連通孔103及び第2大気連通孔101が設けられている。これらの第3大気連通孔103及び第2大気連通孔101は連通し、上述した空気室100に連通している。
As described above, the
図2及び図4に示すように、回路基板13は、表面にIC、抵抗等の電装部品が実装されたものである。回路基板13は、第2流路部材21とヘッド本体14との間に配設されている。
As shown in FIGS. 2 and 4, the
回路基板13は、ヘッド本体14の振動子ユニット45を構成するフレキシブルケーブル33が接合されている。また、回路基板13には、コネクター32が設けられており、図示しない信号ケーブル(図示せず)が接続される。当該信号ケーブルは、インクジェット式記録装置1の制御部に接続される。回路基板13は、当該信号ケーブルを通じて制御部から送られてくる駆動信号等が送信され、フレキシブルケーブル33を介して振動子ユニット45を駆動する。
The
また、回路基板13には、第2インク供給路29に対応する領域に、厚さ方向に貫通した流路挿通孔34が形成されている。流路挿通孔34には、第2インク供給路29の下端が挿通され、第2インク供給路29の下端は、回路基板13より下方でヘッドケース本体47の第1流路71(図7参照)に接続される。
The
回路基板13の第2流路部材21とは反対側には、ヘッド本体14が設けられている。詳細は後述するが、ヘッド本体14は、ヘッドケース41と、流路ユニット39と、圧力発生手段の一例である振動子ユニット45とを具備する。ヘッドケース41は、ヘッドケース本体47と、補強部材48とから構成されている。
A head
ヘッドケース本体47は、例えば、エポキシ系樹脂などの樹脂により作製され、中空箱体状のケース部47a(図2参照)と、該ケース部47aの上端において当該ケース部47aから側方に延出した板状部47b(図2参照)とから構成されている。なお、ケース部47aの下面には、補強部材48に対して位置決めされる突起部75が下方に向けて突設されている(図2参照)。また、補強部材48には、ヘッドケース本体47とは反対側の面に、流路ユニット39が接合されている。
The head case
ヘッド本体14には、ヘッドカバー15が取り付けられている。ヘッドカバー15は、ヘッドケース本体47に接続され、流路ユニット39やヘッドケース41を保護する金属製の部材である。このヘッドカバー15は、薄板部材によって作製され、ヘッドケース41の側面を囲うと共に、下端がノズルプレート49側に略90度屈曲してノズルプレート49の表面に当接している。このヘッドカバー15のノズルプレート49の表面に当接する面は、ノズル(図示せず)を露出するように枠状に形成されている。また、ヘッドカバー15の上端には、側方に突出したフランジ部80が設けられ、このフランジ部80には、ヘッドカバー基準穴81が開設されている。このヘッドカバー基準穴81には、ヘッドケース本体47の下面側に突設されたヘッドカバー位置決め部76が挿通され、ヘッドカバー15が位置決めされる。
A
ここで、図7を用いて、ヘッド本体14について詳細に説明する。図7は、ヘッド本体の要部断面図である。ヘッド本体14を構成する流路ユニット39は、ノズルプレート49と、流路形成基板50と、振動板51とを備えている。
Here, the head
流路形成基板50には、各圧力発生室38が隔壁によって区画されてその幅方向に複数並設されている。例えば、本実施形態では、複数の圧力発生室38が並設された列が流路形成基板50に2列設けられている(図示せず)。
In the flow
各圧力発生室38の列の外側には、各圧力発生室38に供給されるインクを貯留するマニホールド52が、流路形成基板50を厚さ方向に貫通して設けられている。そして、各圧力発生室38とマニホールド52とは、個別流路であるインク供給路53を介して連通している。
A manifold 52 that stores ink supplied to each
このような流路形成基板50は、本実施形態では、シリコン単結晶基板からなり、流路形成基板50に設けられる圧力発生室38等は、流路形成基板50をエッチングすることによって形成されている。
In this embodiment, the flow
流路形成基板50の一方面側にはノズル36が形成されたノズルプレート49が接合されている。圧力発生室38のマニホールド52とは反対の端部側は、ノズル36に連通している。
A
また、流路形成基板50の他方面側、すなわち圧力発生室38の開口面側には振動板51が接合され、各圧力発生室38はこの振動板51によって封止されている。
A
振動板51は、弾性膜55と、この弾性膜55を支持する支持板54との複合板で形成されており、弾性膜55側が流路形成基板50に接合されている。弾性膜55は、例えば、樹脂フィルム等の弾性部材から形成されている。また、支持板54は、例えば、金属材料等から形成されている。
The
また、振動板51の各圧力発生室38に対向する領域内には、圧電素子43の先端部が当接する島部60が設けられている。すなわち振動板51の各圧力発生室38の周縁部に対向する領域に他の領域よりも厚さの薄い薄肉部58が形成されて、この薄肉部58の内側にそれぞれ島部60が設けられている。
In addition, in the region of the
振動板51には、ヘッドケース本体47が接合されている。詳細には、ヘッドケース本体47のケース部47aの下面に接着剤で固定された補強部材48が振動板51上に接合されている。ケース部47aの内部には、補強部材48の挿通孔40と連通される収容空部46が形成され、この収容空部46内に圧力発生手段の一例である振動子ユニット45の一部が収容されている。
A
振動子ユニット45は、固定板42と該固定板42に固定された圧電素子43と圧電素子43に接合されたフレキシブルケーブル33とから構成されている。圧電素子43は、本実施形態では、圧電材料61と電極形成材料62及び63とを縦に交互にサンドイッチ状に挟んで積層されたものである。この圧電素子43の振動に寄与しない不活性領域が固定板42に固着され、圧電素子43の振動に寄与する先端部が振動板51上に当接した状態で固定されている。
The
振動板51のマニホールド52に対向する領域には、薄肉部58と同様に、支持板54がエッチングにより除去されて実質的に弾性膜55のみで構成されるコンプライアンス部59が設けられている。コンプライアンス部59の弾性膜55は、例えば、厚さが数μm程度のPPS(ポリフェニレンサルファイド)フィルムなどの樹脂材料から形成されている。インクは、コンプライアンス部59の弾性膜55を透過しないが、インクに含まれる水分が蒸発した水蒸気は透過する。
In the region facing the
補強部材48のコンプライアンス部59に対向する部分には、コンプライアンス部59の変形を許容するコンプライアンス空間56が形成されている。コンプライアンス空間56は、次のように外部に大気開放されている。
A
ヘッドケース本体47及び補強部材48には、厚さ方向に貫通した第1大気連通孔73が形成されている。この第1大気連通孔73は、補強部材48の振動板51側に形成された連通路48bを介してコンプライアンス空間56に連通している。また、第1大気連通孔73は、第2大気連通孔101にも連通している(図4参照)。一方、上述したように第2大気連通孔101は、第3大気連通孔103及び空気室100を介して外部に連通している。
The head case
すなわち、コンプライアンス空間56は、連通路48b及び第1大気連通孔73、さらに第2大気連通孔101及び第3大気連通孔103を介して空気室100と連通し、該空気室100を経由して大気開放されている。これによりコンプライアンス部59がマニホールド52の圧力変化に伴って良好に変形する。
In other words, the
補強部材48には、厚さ方向に貫通した第1流路71が形成されている。また、ヘッドケース本体47には、厚さ方向に貫通した第2流路72が形成されている。第1流路71は、一方の開口がマニホールド52に連通し、他方の開口が第2流路72に連通している。第2流路72は、一方の開口が第1流路71に連通し、他方の開口が第2インク供給路29(図2、図6等参照)に連通している。
The reinforcing
これらの第1流路71及び第2流路72、さらに、第1インク供給路24、水平流路86、及び第2インク供給路29(図2〜4参照)が連通して液体流路が形成されている。この液体流路には、インクカートリッジからのインクが供給され、該インクは、液体流路を流通してマニホールド52に供給される。
The
ここで、図8及び図9を用いて、補強部材48と振動板51との接合部分について詳細に説明する。図8は、補強部材48の振動板51に接合される面の平面図及びそのA−A線断面図であり、図9は、ヘッド本体14の要部を拡大した要部断面図である。
Here, a joint portion between the reinforcing
本実施形態では、請求項にいう第1部材は補強部材48であり、第2部材は振動板51である。また、第1部材に設けられた第1貫通孔は第1流路71であり、第2部材に設けられた第2貫通孔は振動板51(支持板54及び弾性膜55)に設けられた連通孔78である。
In the present embodiment, the first member in the claims is the reinforcing
図示するように、補強部材48には、長尺方向に沿って2つの挿通孔40が形成されている。第1流路71は、これらの挿通孔40の間に4つ配設されている。また、第1大気連通孔73もこれらの挿通孔40の間に1つ配設されている。
As illustrated, the reinforcing
特に図示しないが、ヘッドケース本体47にも、挿通孔40に対向した収容空部46が2つ設けられており、これらの収容空部46の間に、第2流路72及び第1大気連通孔73が配設されている。
Although not particularly illustrated, the head case
なお、本実施形態では、4色のインクにそれぞれ対応して、4つの第1流路71(第2流路72)が設けられている。流路ユニット39にも4つのマニホールド52が設けられており、各第1流路71は各マニホールド52に連通している。また、各マニホールド52に設けられたコンプライアンス空間56は、共通して1つの第1大気連通孔73に連通している。
In the present embodiment, four first flow paths 71 (second flow paths 72) are provided corresponding to the four colors of ink, respectively. The
補強部材48の振動板51側の表面には、第1流路71の周囲を囲んで振動板51側に突出する第1突部91、及び第1突部91の外側を囲んで振動板51側に突出する第2突部92が形成されている。本実施形態では、第1突部91は、第1流路71の周囲を円環状に囲むように形成され、第2突部92は、さらに第1突部91の周囲を円環状に囲むように形成されている。そして、第1流路71、第1突部91及び第2突部92は、同心円状になっている。第1突部91と第2突部との間には溝部93が形成されている。
On the surface of the reinforcing
また、第1突部91は、振動板51に接着される接着面91aを有し、第2突部92は、振動板51に接着される接着面92aを有している。また、接着面91aと振動板51の表面との間隔G1は、接着面92aと振動板51の表面との間隔G2と均等になるように形成されている。この間隔G1、G2を均等にするために、本実施形態では、第1突部91及び第2突部92の補強部材48の表面からの高さH1、H2はそれぞれ同じとなっており、振動板51の表面を面一としている。さらに、第1突部91の接着面91aの幅W1と、第2突部92の接着面92aの幅W2が同じとなるように形成されている。
The
第1突部91及び第2突部92が形成された補強部材48は、接着剤77で振動板51に接合されている。詳言すると、第1流路71と連通孔78とが連通し、第1突部91の接着面91a及び第2突部92の接着面92aが接着剤77で振動板51に接合されている。
The reinforcing
このような補強部材48と振動板51との接合は、補強部材48の溝部93に接着剤77を付着させる。例えば、接着剤77の量は、溝部93内が満たされ、接着面91a及び接着面92aより盛り上がる程度とする。そして、そのような接着剤77を付着させた補強部材48を振動板51に接合させる。これにより、接着剤77が溝部93を中心として、第1突部91側及び第2突部92側に広がり、接着面91aと振動板51との間及び接着面92aと振動板51との間に浸透し、これらを接着する。
In such joining of the reinforcing
このとき、上述したように振動板51と接着面91a及び接着面92aとの間隔G1及びG2を均等としたため、接着剤77が溝部93を中心として第1突部91側及び第2突部92側に広がる量も均等となる。すなわち、接着剤77が接着面91a及び接着面92aに均等に付着することになる。接着剤77が均等に付着するとは、接着面91a及び接着面92aと振動板51との間における接着剤77の厚みが同等であり、接着面91a及び接着面92aに付着した接着剤77の幅も同等の幅であることをいう。さらに、本実施形態では、第1突部91及び第2突部92の幅W1及び幅W2を均等にしたので、接着剤77が接着面91a及び接着面92aを覆う幅も同じになる。
At this time, as described above, the gaps G1 and G2 between the
このような第1突部91及び第2突部92を形成することで、接着面91a及び接着面92aと振動板51との間に、接着剤77をどの程度付着させるかを管理することが可能となる。すなわち、溝部93に設ける接着剤77の量を適宜定めれば、接着面91a及び接着面92aと振動板51との間に、均等に接着剤77を付着させることができる。
By forming the
仮に、前記した間隔G1はG2よりも広いとする。この場合、接着剤77は第1突部91に多く付着し、第2突部92側にはあまり接着剤77が付着しないということが生じる。つまり、接着剤77が接着面91a及び接着面92aに均等に付着しない。このように接着剤77が均等に付着しないと、第1流路71内にはみ出す接着剤77が過多となり、インクの流れを阻害したり、はみ出した接着剤77にインク中の気泡が付着して気泡の排出性を低下させる虞がある。逆に、第1突部91と振動板51との間の接着剤77が不足する場合もあり得る(接着剤77が引けた状態)。この場合、第1突部91と振動板51との間に生じた接着剤77が無い部分にインクの気泡が溜まってしまったり、その部分からインクが浸透し、回路基板13などに達してしまう虞がある。
Assume that the gap G1 is wider than G2. In this case, a large amount of the adhesive 77 adheres to the
しかしながら、本実施形態に係る記録ヘッド2では、第1突部91及び第2突部92と振動板51との間における接着剤77の広がりを管理できるので、第1突部91側に接着剤77が過多となり第1流路71にはみ出しすぎてしまったり、接着面91aと振動板51との間で接着剤77が引けた状態が生じることを防止することができる。
However, in the
具体的には、接着剤77は、第1突部91の接着面91aを越えて第1流路71まで達するとともに、第2突部92の接着面92aを越えて第2突部92の外側まで達している。これにより、接着剤77が引けた部分に気泡が残留したり、引けた部分からインクが接着剤77と振動板51及び補強部材48との界面を通して回路基板13等に到達することが防止されている。これにより、気泡の排出性が向上し、かつ信頼性が向上した記録ヘッド2が提供される。
Specifically, the adhesive 77 reaches the
また、本実施形態では、第1流路71の開口71aを連通孔78の開口78aよりも大きく形成した。すなわち、液体流路の上流側の開口を下流側の開口よりも大きく形成した。このように開口形状を形成することにより、開口78aは、開口71aの内側に位置する。そして、振動板51の開口78aの周縁の表面は露出している。この振動板51の露出した表面を露出部51aとする。露出部51aは、開口78aよりも外側の領域であって、かつ、補強部材48の接着面91aよりも開口78a側の領域である。
In the present embodiment, the opening 71 a of the
この露出部51aにまで接着剤77が付着している。すなわち、接着剤77は、露出部51aまで付着し、第1流路71内には付着していない。
The adhesive 77 is adhered to the exposed
このように露出部51aを設けることで、第1流路71内にはみ出した接着剤77は、第1流路71の上流側だけがインクに接触することになる。つまり、接着剤77は、第1流路71の下流側には露出部51aが存在するので、接着剤77の下流側の面にはインクが接触しない。
By providing the exposed
図10に示すように、第1流路71の開口71aと連通孔78の開口78aとが同じ開口形状であると、第1流路71内にはみ出した接着剤77は、第1流路71の下流側にもインクが接触する。この場合、接着剤77の下流側の領域Rでは、インクの流速が低下する。このため、領域Rでは、インクに含まれる気泡が下流側に排出されずに残留してしまう。さらに、本実施形態のように第1流路71が鉛直方向に沿っていると、気泡が浮力で上流側に移動しようとしても接着剤77で規制されてしまい、領域Rで気泡がより残留しやすくなっている。
As shown in FIG. 10, when the opening 71 a of the
しかしながら、図9に示した構成では、露出部51aが形成されていることで、接着剤77の下流側には気泡が残留することを防止できる。したがって、気泡の排出性が向上するので印刷時に気泡がノズル側に移動してインクの吐出不良を起こすことが防止されるため、吐出品質が向上した記録ヘッド2が提供される。
However, in the configuration shown in FIG. 9, it is possible to prevent bubbles from remaining on the downstream side of the adhesive 77 by forming the exposed
なお、図10に示したように、第1流路71の開口71aと連通孔78の開口78aとを同じ開口形状とした場合も本発明に含まれる。本発明は、上述したように、接着剤77がはみ出す量を管理することができるので、第1流路71内に接着剤77がはみ出したとしても、気泡の残留が無視できる程度のはみ出し量にすることが可能だからである。
In addition, as shown in FIG. 10, the case where the
また、図8に示すように、第2突部92の接着面92aからはみ出した接着剤77は、振動子ユニット45が挿通される挿通孔40に到達しうる。しかしながら、挿通孔40に接着剤77が流入したとしても、インク中の気泡が残留する原因となるような問題は生じない。したがって、挿通孔40と第2突部92との間隔を可及的に狭めることが可能である。これにより、複数の振動子ユニット45を有する記録ヘッド2において、平面視における大きさについて省スペース化が可能となる。
Further, as shown in FIG. 8, the adhesive 77 protruding from the
以上に説明した記録ヘッド2では、インク滴を噴射する際に、振動子ユニット45及び振動板51の変形によって各圧力発生室38の容積を変化させて所定のノズル36からインク滴を噴射させるようになっている。
In the
具体的には、振動子ユニット45の圧電素子43に電圧を印加することにより圧電素子43を収縮させる。これにより、振動板51が圧電素子43と共に変形されて圧力発生室38の容積が広げられ、圧力発生室38内にマニホールド52からインクが引き込まれる。そして、ノズル36に至るまで内部にインクを満たした後、回路基板13からフレキシブルケーブル33を経由して送信される記録信号に従い、圧電素子43に印加していた電圧を解除する。これにより、圧電素子43が伸張されて元の状態に戻ると共に振動板51も変位して元の状態に戻る。結果として圧力発生室38の容積が収縮して圧力発生室38内の圧力が高まりノズル36からインク滴が噴射される。
Specifically, the
〈他の実施形態〉
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明の基本的構成は上述したものに限定されるものではない。
<Other embodiments>
As mentioned above, although one Embodiment of this invention was described, the basic composition of this invention is not limited to what was mentioned above.
図11は、一実施形態に係るヘッド本体14の要部を拡大した要部断面図である。なお、実施形態1と同一のものには同一の符号を付し、重複する説明は省略する。
FIG. 11 is an enlarged cross-sectional view of a main part of the head
同図に示すように、第1突部91と第2突部92とは、補強部材48の表面からの高さH1、H2が異なる。一方、振動板51は、第1突部91に対向する平坦部54aと、平坦部54aよりも補強部材48側に突出し、第2突部92に対向する平坦部54bを有している。そして、平坦部54aと接着面91aとの間隔G1は、平坦部54bと接着面92aとの間隔G2と同じに形成されている。
As shown in the figure, the
このように、第1突部91及び第2突部92とが同じ高さではなく、また、振動板51の表面が面一でない場合においても、上述した間隔G1及びG2とが同じになるように形成することで、実施形態1と同様に、溝部93に付着させた接着剤77の管理をすることができる。
Thus, even when the
また、実施形態1では、請求項の第1部材として補強部材48、第2部材として振動板51を例示したがこのような部材に限定されない。これらを逆にして、第1部材を振動板51、第2部材を補強部材48としてもよい。他に、第1部材としてヘッドケース本体47、第2部材として第2流路部材とし、第1部材の貫通孔がヘッドケース本体47の第2流路、第2部材の貫通孔が第2流路部材の第2インク供給路29であってもよい。いずれにせよ、液体流路を構成する任意の部材を第1部材及び第2部材とすることができる。
In the first embodiment, the reinforcing
また、圧力発生手段としては、例えば、下電極、圧電材料からなる圧電体層及び上電極を成膜及びリソグラフィー法によって形成した薄膜型の圧電素子を用いてもよく、また、グリーンシートを貼付する等の方法により形成される厚膜型の圧電素子を使用することもできる。また、圧力発生手段として、圧力発生室内に発熱素子を配置して、発熱素子の発熱で発生するバブルによってノズル開口から液滴を吐出するものや、振動板と電極との間に静電気を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズル開口から液滴を吐出させるものなども使用することができる。 Further, as the pressure generating means, for example, a thin film type piezoelectric element in which a lower electrode, a piezoelectric layer made of a piezoelectric material, and an upper electrode are formed by a film forming and lithography method may be used, or a green sheet is attached. A thick film type piezoelectric element formed by such a method can also be used. Also, as a pressure generating means, a heating element is arranged in the pressure generating chamber, and droplets are discharged from the nozzle opening by bubbles generated by the heat generated by the heating element, or static electricity is generated between the diaphragm and the electrode. In addition, it is possible to use a device in which a diaphragm is deformed by electrostatic force and droplets are ejected from a nozzle opening.
上述したインクジェット式記録装置1では、記録ヘッド2がキャリッジ4に搭載されて主走査方向に移動するものを例示したが、特にこれに限定されず、例えば、記録ヘッド2が固定されて、紙等の記録シート6を副走査方向に移動させるだけで印刷を行う、所謂ライン式記録装置にも本発明を適用することができる。
In the ink jet recording apparatus 1 described above, the
なお、上記各実施形態においては、液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッドを、また液体噴射装置の一例としてインクジェット式記録装置を挙げて説明したが、本発明は、広く液体噴射ヘッド及び液体噴射装置全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドや液体噴射装置にも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ELディスプレイ、FED(電界放出ディスプレイ)等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオchip製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられ、かかる液体噴射ヘッドを備えた液体噴射装置にも適用できる。 In each of the above embodiments, an ink jet recording head has been described as an example of a liquid ejecting head, and an ink jet recording apparatus has been described as an example of a liquid ejecting apparatus. The present invention is intended for the entire apparatus, and can of course be applied to a liquid ejecting head and a liquid ejecting apparatus that eject liquid other than ink. Other liquid ejecting heads include, for example, various recording heads used in image recording apparatuses such as printers, color material ejecting heads used in the manufacture of color filters such as liquid crystal displays, organic EL displays, and FEDs (field emission displays). Examples thereof include an electrode material ejection head used for electrode formation, a bio-organic matter ejection head used for biochip production, and the like, and can also be applied to a liquid ejection apparatus provided with such a liquid ejection head.
1 インクジェット式記録装置(液体噴射装置)、 2 インクジェット式記録ヘッド(液体噴射ヘッド)、 12 流路部材、 14 ヘッド本体、 36 ノズル、 40 挿通孔、 41 ヘッドケース、 45 振動子ユニット、 48 補強部材、 48b 連通路、 49 ノズルプレート、 51 振動板、 51a 露出部、 54 支持板、 55 弾性膜、 71 第1流路、 72 第2流路、 77 接着剤、 78 連通孔、 91 第1突部、 91a 接着面、 92 第2突部、 92a 接着面、 93 溝部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Inkjet recording device (liquid ejecting apparatus), 2 Inkjet recording head (liquid ejecting head), 12 Flow path member, 14 Head main body, 36 Nozzle, 40 Insertion hole, 41 Head case, 45 Vibrator unit, 48
Claims (9)
前記ヘッド本体に供給される液体が流通する液体流路と、
前記液体流路の一部を構成する貫通孔がそれぞれ設けられ、該貫通孔が連通するように接着剤で接合された第1部材及び第2部材とを備え、
前記第1部材の表面には、前記貫通孔の周囲を囲んで前記第2部材側に突出する第1突部と、該第1突部の外側を囲んで前記第2部材側に突出する第2突部と、前記第1突部及び第2突部の間の溝部と、が形成され、
前記第1突部及び前記第2突部には、前記接着剤を介して前記第2部材側に接着される接着面を有し、当該接着面と前記第2部材側との間隔がそれぞれ均等になるように形成され、
前記接着剤は、前記溝部を中心として前記第1突部側及び前記第2突部側へ広がっており、かつ、前記第1突部の接着面を越えて前記貫通孔まで達するとともに、前記第2突部の接着面を越えて前記第2突部の外側まで達している
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。 A head body that discharges liquid from a nozzle;
A liquid flow path the liquid flows supplied previously Kihe head body,
A through hole that constitutes a part of the liquid channel is provided, and includes a first member and a second member that are joined with an adhesive so that the through hole communicates,
On the surface of the first member, there are a first protrusion that protrudes toward the second member around the periphery of the through hole, and a first protrusion that protrudes toward the second member around the outside of the first protrusion. Two protrusions and a groove between the first protrusion and the second protrusion are formed,
The first protrusion and the second protrusion have an adhesive surface bonded to the second member side via the adhesive, and the distance between the adhesive surface and the second member side is equal. Formed to be
Before SL adhesives, it said has spread to the first projection side and the second projection side around the groove, and, together with the reach the through-hole beyond the adhesive surface of the first projection, wherein The liquid ejecting head, wherein the liquid ejecting head extends beyond the bonding surface of the second protrusion to the outside of the second protrusion.
前記第1部材及び前記第2部材の各貫通孔のうち、前記ノズルに遠い方を第1貫通孔、前記ノズルに近い方を第2貫通孔とし、
前記第1貫通孔の前記第2部材側の開口形状は、前記第2貫通孔の前記第1部材側の開口形状よりも大きく形成されている
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。 The liquid ejecting head according to claim 1,
Of the through holes of the first member and the second member, the one far from the nozzle is the first through hole, and the one close to the nozzle is the second through hole,
The liquid ejecting head, wherein an opening shape of the first through hole on the second member side is formed larger than an opening shape of the second through hole on the first member side.
前記第1突部及び前記第2突部は、前記第1部材の前記第2部材側の表面から前記接着面までの高さが同じとなるように形成され、前記第2部材の前記接着面に対向する領域は面一に形成されている
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。 The liquid ejecting head according to claim 1 or 2,
The first protrusion and the second protrusion are formed such that the height from the surface on the second member side of the first member to the adhesive surface is the same, and the adhesive surface of the second member The liquid jet head is characterized in that a region facing the surface is formed flush with the surface.
前記第1突部及び前記第2突部の前記接着面の幅が同じとなるように形成されている
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。 In the liquid jet head according to any one of claims 1 to 3,
The liquid ejecting head, wherein the first projecting portion and the second projecting portion are formed to have the same width of the bonding surface.
前記ヘッド本体は、液体を吐出するノズルに連通した圧力発生室、該圧力発生室を変形させる複数の圧力発生手段、及び該圧力発生手段が固定されるヘッドケースを備え、
前記ヘッドケースには、
各圧力発生手段が挿通される挿通孔が設けられ、
前記各挿通孔同士の間に位置するように前記貫通孔、前記第1突部及び前記第2突部が設けられている
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。 In the liquid jet head according to any one of claims 1 to 4,
The head body includes a pressure generation chamber communicating with a nozzle for discharging liquid, a plurality of pressure generation means for deforming the pressure generation chamber, and a head case to which the pressure generation means is fixed,
In the head case,
An insertion hole through which each pressure generating means is inserted is provided,
The liquid ejecting head, wherein the through hole, the first protrusion, and the second protrusion are provided so as to be positioned between the insertion holes.
前記液体噴射ヘッドは、
ノズルから液体を吐出するヘッド本体と、
前記ヘッド本体に供給される液体が流通する液体流路と、
前記液体流路の一部を構成する貫通孔がそれぞれ設けられ、該貫通孔が連通するように接着剤で接合される第1部材及び第2部材と、を備え、
前記第1部材の表面には、前記貫通孔の周囲を囲んで前記第2部材側に突出する第1突部と、該第1突部の外側を囲んで前記第2部材側に突出する第2突部と、前記第1突部及び第2突部の間の溝部と、が形成され、
前記第1突部及び前記第2突部には、前記接着剤を介して前記第2部材側に接着される接着面を有し、当該接着面と前記第2部材側との間隔がそれぞれ均等になるように形成され、
前記第1突部及び前記第2突部の前記接着面より前記接着剤が盛り上がるように、前記溝部に前記接着剤を付着する工程と、
前記溝部に付着された前記接着剤が、前記第1突部の接着面を越えて前記貫通孔まで達するとともに、前記第2突部の接着面を越えて前記第2突部の外側まで達するように、前記第1部材及び前記第2部材を接合する工程と、を有する
ことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。 A method for manufacturing a liquid jet head, comprising:
The liquid jet head includes:
A head body that discharges liquid from a nozzle;
A liquid channel through which the liquid supplied to the head body flows;
A through hole constituting a part of the liquid flow path is provided, and a first member and a second member joined with an adhesive so that the through hole communicates,
On the surface of the first member, there are a first protrusion that protrudes toward the second member around the periphery of the through hole, and a first protrusion that protrudes toward the second member around the outside of the first protrusion. Two protrusions and a groove between the first protrusion and the second protrusion are formed,
The first protrusion and the second protrusion have an adhesive surface bonded to the second member side via the adhesive, and the distance between the adhesive surface and the second member side is equal. Formed to be
Attaching the adhesive to the groove so that the adhesive rises from the adhesive surface of the first protrusion and the second protrusion; and
The adhesive attached to the groove part reaches the through hole beyond the adhesive surface of the first protrusion, and reaches the outside of the second protrusion beyond the adhesive surface of the second protrusion. a method of manufacturing a liquid jet head, characterized in that and a step of joining the first member and the second member.
前記第1部材及び前記第2部材の各貫通孔のうち、前記ノズルに遠い方を第1貫通孔、前記ノズルに近い方を第2貫通孔とし、Of the through holes of the first member and the second member, the one far from the nozzle is the first through hole, and the one close to the nozzle is the second through hole,
前記第1貫通孔の前記第2部材側の開口形状は、前記第2貫通孔の前記第1部材側の開口形状よりも大きく形成されているThe opening shape of the first through hole on the second member side is formed larger than the opening shape of the second through hole on the first member side.
ことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。A method of manufacturing a liquid ejecting head.
前記第1突部及び前記第2突部は、前記第1部材の前記第2部材側の表面から前記接着面までの高さが同じとなるように形成され、前記第2部材の前記接着面に対向する領域は面一に形成されているThe first protrusion and the second protrusion are formed such that the height from the surface on the second member side of the first member to the adhesive surface is the same, and the adhesive surface of the second member The area opposite to is formed flush
ことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。A method of manufacturing a liquid ejecting head.
前記第1突部及び前記第2突部の前記接着面の幅が同じとなるように形成されているThe first protrusion and the second protrusion are formed to have the same width of the bonding surface.
ことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。A method of manufacturing a liquid ejecting head.
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