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JP5706724B2 - X-ray foreign object detection device - Google Patents

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JP5706724B2
JP5706724B2 JP2011059129A JP2011059129A JP5706724B2 JP 5706724 B2 JP5706724 B2 JP 5706724B2 JP 2011059129 A JP2011059129 A JP 2011059129A JP 2011059129 A JP2011059129 A JP 2011059129A JP 5706724 B2 JP5706724 B2 JP 5706724B2
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貴志 金井
貴志 金井
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アンリツ産機システム株式会社
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Description

本発明は、肉、魚、加工食品、医薬品等の被検査物中に混入した異物を検出するX線異物検出装置に関し、特に、複数本のX線ラインセンサからの画像を合成して異物を強調させた画像を得るエネルギーサブトラクション法を採用したX線異物検出装置に関するものである。   The present invention relates to an X-ray foreign object detection device that detects foreign substances mixed in an object to be inspected such as meat, fish, processed foods, and pharmaceuticals, and in particular, combines foreign images by synthesizing images from a plurality of X-ray line sensors. The present invention relates to an X-ray foreign matter detection apparatus that employs an energy subtraction method for obtaining an enhanced image.

一般に、X線異物検出装置は、搬送路上を所定間隔で順次搬送されてくる各品種の被検査物(例えば、肉、魚、加工食品、医薬品など)にX線発生器からX線を照射し、この照射したX線の透過量から被検査物中に金属、ガラス、石、骨などの異物が混入しているか否かや被検査物の欠品などを検査するようになっている。   In general, an X-ray foreign object detection apparatus irradiates X-rays from X-ray generators on various types of inspection objects (for example, meat, fish, processed foods, pharmaceuticals, etc.) that are sequentially conveyed on a conveyance path at predetermined intervals. The inspection object is inspected for foreign substances such as metal, glass, stones, and bones, and a lack of the inspection object, based on the amount of transmitted X-rays.

従来、この種のX線異物検出装置では、管電圧の異なるX線源を用いてローエネルギーとハイエネルギーのX線画像ペアすなわちデュアルエネルギーX線画像を取得し、これら2つのX線画像を合成することで、被検査物の厚みによる影響を低減させ、被検査物をその中の異物とのコントラストを高めて異物を強調させた画像を得るエネルギーサブトラクション法を採用したものが知られている(例えば、特許文献1参照)。   Conventionally, in this type of X-ray foreign object detection device, a low energy and a high energy X-ray image pair, that is, a dual energy X-ray image is acquired using X-ray sources having different tube voltages, and these two X-ray images are synthesized. By using the energy subtraction method, the influence of the thickness of the object to be inspected is reduced, and the image of the object to be inspected is enhanced by increasing the contrast between the object and the foreign object in the object. For example, see Patent Document 1).

特開2010−91483号公報JP 2010-91483 A

しかしながら、特許文献1に記載された従来の技術では、搬送ベルトの周囲長の加工精度に応じて被検査物搬送方向が2つのX線ラインセンサに対して斜めになってしまう場合等において、第1のX線源とX線ラインセンサの組合せにより得た第1のX線画像データと、第2のX線源とX線ラインセンサの組合せにより取得した第2のX線画像データとの間で、被検査物の画像の位置がずれていると、2つのX線画像を合成した合成画像上で被検査物の境界部分に高コントラスト化による強調により不要なエッジ(濃淡の変化が顕著な部分)が発生してしまい、異物検出性能が低下してしまうという問題があった。被検査物の画像の位置ずれは、2つのX線ラインセンサのそれぞれを被検査物搬送方向に対して直交するように調整することで解消できるが、2つのX線ラインセンサを個別に調整する必要があるため、調整作業が困難であるという問題があった。   However, in the conventional technique described in Patent Document 1, the inspection object conveyance direction is inclined with respect to the two X-ray line sensors according to the processing accuracy of the peripheral length of the conveyance belt. Between the first X-ray image data obtained by the combination of the first X-ray source and the X-ray line sensor and the second X-ray image data obtained by the combination of the second X-ray source and the X-ray line sensor If the position of the image of the object to be inspected is shifted, an unnecessary edge (a change in shading is conspicuous in the boundary portion of the object to be inspected on the composite image obtained by synthesizing the two X-ray images. Part) occurs, and there is a problem that the foreign object detection performance is deteriorated. The positional deviation of the image of the inspection object can be eliminated by adjusting each of the two X-ray line sensors so as to be orthogonal to the inspection object conveyance direction, but the two X-ray line sensors are individually adjusted. There is a problem that adjustment work is difficult because it is necessary.

そこで、本発明は、前述のような従来の問題を解決するためになされたもので、合成画像上の被検査物の位置ずれを低減し、異物検出能力の低下を防止することができるX線異物検出装置を提供することを目的としている。   Therefore, the present invention has been made to solve the conventional problems as described above, and can reduce the displacement of the inspection object on the composite image and prevent the foreign matter detection ability from being lowered. An object of the present invention is to provide a foreign object detection device.

本発明に係るX線異物検出装置は、被検査物を搬送面上で被検査物搬送方向に搬送する搬送手段と、前記搬送面上を搬送される被検査物に互いに異なる強度のX線を照射する第1のX線源および第2のX線源と、前記搬送面を挟んで前記第1のX線源および前記第2のX線源と対向する位置に配置され、前記第1のX線源から照射され前記被検査物を透過するX線に応じた第1のX線画像データおよび前記第2のX線源から照射され前記被検査物を透過するX線に応じた第2のX線画像データをそれぞれ出力する第1のX線ラインセンサおよび第2のX線ラインセンサと、前記第1のX線画像データおよび第2のX線画像データを合成して前記被検査物に対応する1つの画像データとして出力する画像合成手段と、前記画像合成手段が出力する画像データに基づいて前記被検査物中の異物の有無を判定する判定手段と、を備えるX線異物検出装置であって、前記第1のX線ラインセンサおよび前記第2のX線ラインセンサを双方が平行となる位置関係を保って支持するとともに、前記被検査物搬送方向に対して角度調整可能に構成された単一の支持部材と、前記支持部材の前記被検査物搬送方向に対する角度の調整操作を行う角度調整部材と、前記第1のX線画像データにおける前記被検査物の幅方向の波形である第1の波形と前記第2のX線画像データにおける前記被検査物の幅方向の波形である第2の波形とを取得し、前記第1の波形と前記第2の波形の差分に基づいて前記支持部材の角度調整方向を判定するとともに、前記第1の波形と前記第2の波形の横位置の差に基づいて前記支持部材の角度調整量を判定する角度調整判定手段と、
前記角度調整判定手段による判定結果を表示する表示手段と、を備えたことを特徴とする。
The X-ray foreign object detection apparatus according to the present invention provides a transport means for transporting an inspection object on the transport surface in the inspection object transport direction, and X-rays having different intensities on the inspection object transported on the transport surface. The first X-ray source and the second X-ray source to be irradiated are disposed at positions facing the first X-ray source and the second X-ray source across the transport surface, First X-ray image data corresponding to X-rays irradiated from the X-ray source and transmitted through the inspection object, and second X-rays corresponding to X-rays irradiated from the second X-ray source and transmitted through the inspection object A first X-ray line sensor and a second X-ray line sensor that respectively output X-ray image data of the first and second X-ray image data, and the first X-ray image data and second X-ray image data, Output as one image data corresponding to the image, and the image combining means outputs Determining means for determining the presence or absence of a foreign substance in the inspection object based on image data, wherein the first X-ray line sensor and the second X-ray line sensor are A single support member configured to be supported in a positional relationship in which both are parallel to each other and adjustable in angle with respect to the inspection object conveyance direction, and an angle of the support member with respect to the inspection object conveyance direction. An angle adjusting member that performs an adjustment operation, a first waveform that is a waveform in the width direction of the inspection object in the first X-ray image data, and a width direction of the inspection object in the second X-ray image data And a second waveform which is a waveform of the first and second waveforms, and an angle adjustment direction of the support member is determined based on a difference between the first waveform and the second waveform, and the first waveform and the second waveform are determined. Based on the difference in the horizontal position of the waveform And determining the angle adjusting decision means for angle adjustment of the support member,
Display means for displaying a determination result by the angle adjustment determination means.

この構成により、角度調整判定手段により判定されて表示手段に表示される角度調整方向および角度調整量に従って、第1のX線ラインセンサと第2のX線ラインセンサを支持する単一の支持部材の被検査物搬送方向に対する角度を、角度調整部材を操作して調整することにより、第1のX線ラインセンサと第2のX線ラインセンサの被検査物搬送方向に対する角度を同時にかつ容易に調整することができる。したがって、合成画像上の被検査物の位置ずれを低減し、異物検出能力の低下を防止することができる。   With this configuration, a single support member that supports the first X-ray line sensor and the second X-ray line sensor according to the angle adjustment direction and the angle adjustment amount determined by the angle adjustment determination unit and displayed on the display unit. By adjusting the angle of the first X-ray line sensor and the second X-ray line sensor at the same time and easily by adjusting the angle of the first X-ray line sensor and the second X-ray line sensor Can be adjusted. Accordingly, it is possible to reduce the displacement of the inspection object on the composite image and prevent the foreign matter detection ability from being lowered.

また、本発明に係るX線異物検出装置は、前記支持部材の前記被検査物搬送方向と直交する直交方向の位置の調整操作を行う位置調整部材と、前記第1のX線画像データにおける前記被検査物の幅方向の波形である第1の波形と前記第2のX線画像データにおける前記被検査物の幅方向の波形である第2の波形とを取得し、前記第1の波形と前記第2の波形の横位置に基づいて前記支持部材の前記直交方向の位置調整方向および前記支持部材の前記直交方向の位置調整量を判定する位置調整判定手段と、を備え、前記表示手段が、前記位置調整判定手段による判定結果を表示することを特徴とする。   In addition, the X-ray foreign object detection device according to the present invention includes a position adjustment member that performs an operation of adjusting the position of the support member in the orthogonal direction orthogonal to the inspection object conveyance direction, and the first X-ray image data. A first waveform that is a waveform in the width direction of the inspection object and a second waveform that is a waveform in the width direction of the inspection object in the second X-ray image data are acquired, and the first waveform and Position adjustment determination means for determining a position adjustment direction of the support member in the orthogonal direction and a position adjustment amount of the support member in the orthogonal direction based on a lateral position of the second waveform, and the display means The determination result by the position adjustment determination means is displayed.

この構成により、位置調整判定手段により判定されて表示手段に表示される位置調整方向および位置調整量に従って、第1のX線ラインセンサと第2のX線ラインセンサを支持する単一の支持部材の被検査物搬送方向と直交する方向の位置を、位置調整部材を操作して調整することにより、第1のX線ラインセンサと第2のX線ラインセンサの被検査物搬送方向と直交する方向の位置を同時にかつ容易に調整することができる。   With this configuration, a single support member that supports the first X-ray line sensor and the second X-ray line sensor according to the position adjustment direction and the position adjustment amount determined by the position adjustment determination unit and displayed on the display unit. The position in the direction orthogonal to the inspection object conveyance direction of the first X-ray line sensor and the second X-ray line sensor is adjusted to be orthogonal to the inspection object conveyance direction by adjusting the position adjusting member. The position in the direction can be adjusted simultaneously and easily.

また、本発明に係るX線異物検出装置は、前記第1のX線ラインセンサが、X線を検出する第1の検出部と、前記第1の検出部を駆動する第1の駆動回路とを有するとともに、前記第2のX線ラインセンサが、X線を検出する第2の検出部と、前記第2の検出部を駆動する第2の駆動回路とを有し、前記支持部材が、前記第1の検出部、前記第1の駆動回路、前記第2の検出部および前記第2の駆動回路が実装されることで前記第1の検出部、前記第1の駆動回路、前記第2の検出部および前記第2の駆動回路を支持する単一の回路基板であることを特徴とする。   In the X-ray foreign object detection device according to the present invention, the first X-ray line sensor includes a first detection unit that detects X-rays, and a first drive circuit that drives the first detection unit. And the second X-ray line sensor includes a second detection unit that detects X-rays and a second drive circuit that drives the second detection unit, and the support member includes: The first detection unit, the first drive circuit, the second drive circuit are mounted by mounting the first detection unit, the first drive circuit, the second detection unit, and the second drive circuit. And a single circuit board that supports the second drive circuit.

この構成により、第1のX線ラインセンサおよび第2のX線ラインセンサの構成部材を、支持部材としての単一の回路基板に実装することにより、回路基板の実装工程で第1のX線ラインセンサと第2のX線ラインセンサの位置決めを同時に行うことができ、後工程での第1のX線ラインセンサと第2のX線ラインセンサの位置決め作業を省略することができる。   With this configuration, the first X-ray line sensor and the second X-ray line sensor are mounted on a single circuit board as a support member by mounting the first X-ray line sensor and the second X-ray line sensor. The positioning of the line sensor and the second X-ray line sensor can be performed at the same time, and the positioning work of the first X-ray line sensor and the second X-ray line sensor in the subsequent process can be omitted.

また、本発明に係るX線異物検出装置は、前記第1のX線ラインセンサが、X線を検出する第1の検出部と、前記第1の検出部を駆動する第1の駆動回路と、前記第1の検出部および前記第1の駆動回路が実装される第1の回路基板と、から構成されるとともに、前記第2のX線ラインセンサが、X線を検出する第2の検出部と、前記第2の検出部を駆動する第2の駆動回路と、前記第2の検出部および前記第2の駆動回路が実装され前記第1の回路基板とは別部材の第2の回路基板と、から構成され、前記支持部材が、前記第1の回路基板および前記第2の回路基板を支持することを特徴とする。   In the X-ray foreign object detection device according to the present invention, the first X-ray line sensor includes a first detection unit that detects X-rays, and a first drive circuit that drives the first detection unit. And a first circuit board on which the first detection unit and the first drive circuit are mounted, and the second X-ray line sensor detects an X-ray. , A second drive circuit for driving the second detection unit, and a second circuit which is mounted on the second detection unit and the second drive circuit and is a separate member from the first circuit board And the support member supports the first circuit board and the second circuit board.

この構成により、第1のX線ラインセンサの第1の回路基板と第2のX線ラインセンサの第2の回路基板とを、単一の支持部材で支持することにより、第1の回路基板と第2の回路基板を支持部材に支持させる組み付け工程において、X線ラインセンサと第2のX線ラインセンサの位置決め作業を行うことができる。   With this configuration, the first circuit board is supported by supporting the first circuit board of the first X-ray line sensor and the second circuit board of the second X-ray line sensor with a single support member. In the assembling process for supporting the second circuit board on the support member, the X-ray line sensor and the second X-ray line sensor can be positioned.

また、本発明に係るX線異物検出装置は、前記支持部材が、前記第1の検出部と前記第2の検出部とが近接する配置で、前記第1のX線ラインセンサおよび前記第2のX線ラインセンサを双方が平行となる位置関係を保って支持することを特徴とする。   In the X-ray foreign object detection device according to the present invention, the support member may be arranged such that the first detection unit and the second detection unit are close to each other, and the first X-ray line sensor and the second X-ray sensor. The X-ray line sensor is supported while maintaining a positional relationship in which both are parallel to each other.

この構成により、第1のX線ラインセンサと第2のX線ラインセンサの被検査物搬送方向に対する角度のずれが僅かに残った場合であっても、第1の検出部と第2の検出部とが近接する配置とすることで、X線画像データ上の被検査物の位置のずれを低減することができる。   With this configuration, even when the first X-ray line sensor and the second X-ray line sensor are slightly misaligned with respect to the inspection object conveyance direction, the first detection unit and the second detection unit By disposing the parts close to each other, the displacement of the position of the inspection object on the X-ray image data can be reduced.

また、本発明に係るX線異物検出装置は、前記角度調整部材を駆動する角度調整部材駆動手段と、前記位置調整部材を駆動する位置調整部材駆動手段と、前記角度調整判定手段が判定した角度調整方向および角度調整量と、前記位置調整判定手段が判定した位置調整方向および位置調整量に従って、前記角度調整部材駆動手段および前記位置調整部材駆動手段を駆動制御する駆動制御手段と、を備えたことを特徴とする。   In addition, the X-ray foreign object detection device according to the present invention includes an angle adjustment member drive unit that drives the angle adjustment member, a position adjustment member drive unit that drives the position adjustment member, and an angle determined by the angle adjustment determination unit. An adjustment direction and an angle adjustment amount; and a drive control means for driving and controlling the angle adjustment member drive means and the position adjustment member drive means according to the position adjustment direction and the position adjustment amount determined by the position adjustment determination means. It is characterized by that.

この構成により、角度調整判定手段が判定した角度調整方向および角度調整量と、位置調整判定手段が判定した位置調整方向および位置調整量に従って、駆動制御手段によって角度調整部材駆動手段および位置調整部材駆動手段が駆動制御されるので、第1のX線ラインセンサと第2のX線ラインセンサの被検査物搬送方向に対する角度、および第1のX線ラインセンサと第2のX線ラインセンサの被検査物搬送方向と直交する方向の位置を自動的に調整することができる。   According to this configuration, the angle adjusting member driving means and the position adjusting member driving by the drive control means according to the angle adjusting direction and the angle adjusting amount determined by the angle adjusting determining means and the position adjusting direction and the position adjusting amount determined by the position adjusting determining means. Since the means is driven and controlled, the angle of the first X-ray line sensor and the second X-ray line sensor with respect to the object conveyance direction and the coverage of the first X-ray line sensor and the second X-ray line sensor. The position in the direction orthogonal to the inspection object conveyance direction can be automatically adjusted.

本発明は、合成画像上の被検査物の位置ずれを低減し、異物検出能力の低下を防止することができるX線異物検出装置を提供することができる。   The present invention can provide an X-ray foreign object detection apparatus that can reduce the displacement of an object to be inspected on a composite image and prevent a decrease in foreign object detection capability.

本発明の一実施の形態に係るX線異物検出装置の概略構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows schematic structure of the X-ray foreign material detection apparatus which concerns on one embodiment of this invention. 本発明の一実施の形態に係るX線異物検出装置の側面および内部構成を示す図である。It is a figure which shows the side surface and internal structure of the X-ray foreign material detection apparatus which concern on one embodiment of this invention. 本発明の一実施の形態に係るX線異物検出装置のX線ラインセンサを示す上面図である。It is a top view which shows the X-ray line sensor of the X-ray foreign material detection apparatus which concerns on one embodiment of this invention. 本発明の一実施の形態に係るX線異物検出装置のX線ラインセンサを示す側面図である。It is a side view which shows the X-ray line sensor of the X-ray foreign material detection apparatus which concerns on one embodiment of this invention. 本発明の一実施の形態に係るX線異物検出装置のX線ラインセンサの他の例を示す上面図である。It is a top view which shows the other example of the X-ray line sensor of the X-ray foreign material detection apparatus which concerns on one embodiment of this invention. 本発明の一実施の形態に係るX線異物検出装置のX線ラインセンサの傾斜状態を示す上面図である。It is a top view which shows the inclination state of the X-ray line sensor of the X-ray foreign material detection apparatus which concerns on one embodiment of this invention. 本発明の一実施の形態に係るX線異物検出装置のX線ラインセンサの傾斜状態の他の例を示す上面図である。It is a top view which shows the other example of the inclination state of the X-ray line sensor of the X-ray foreign material detection apparatus which concerns on one embodiment of this invention. (a)は、被検査物搬送方向から見た搬送面の断面図であり、(b)は、2つのX線ラインセンサから取得した第1の波形および第2の波形を示す図であり、(c)は、第1の波形と第2の波形の差分を示す図であり、(d)は、第1の波形および第2の波形が全体的に横方向に偏移した状態を示す図である。(A) is sectional drawing of the conveyance surface seen from the to-be-inspected object conveyance direction, (b) is a figure which shows the 1st waveform and 2nd waveform which were acquired from two X-ray line sensors, (C) is a figure which shows the difference of a 1st waveform and a 2nd waveform, (d) is a figure which shows the state which the 1st waveform and the 2nd waveform shifted to the horizontal direction entirely. It is. 本発明の一実施の形態に係るX線異物検出装置のX線ラインセンサを示す上面図であり、X線ラインセンサの角度を自動調整する構成を示す図である。It is a top view which shows the X-ray line sensor of the X-ray foreign material detection apparatus which concerns on one embodiment of this invention, and is a figure which shows the structure which adjusts the angle of an X-ray line sensor automatically. 本発明の一実施の形態に係るX線異物検出装置の側面および内部構成を示す図であり、X線ラインセンサの角度を自動調整する構成を示す図である。It is a figure which shows the side surface and internal structure of the X-ray foreign material detection apparatus which concerns on one embodiment of this invention, and is a figure which shows the structure which adjusts the angle of an X-ray line sensor automatically.

以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して説明する。   Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

まず構成について説明する。   First, the configuration will be described.

図1に示すように、X線異物検出装置1は、搬送部2と検出部3とを筐体4の内部に備え、表示器5を筐体4の前面上部に備えている。   As shown in FIG. 1, the X-ray foreign object detection device 1 includes a transport unit 2 and a detection unit 3 inside a housing 4, and a display 5 at the upper front of the housing 4.

搬送部2は、被検査物Wを所定間隔をおいて順次搬送するものである。この搬送部2は、例えば筐体4内部で水平に配置されたベルトコンベアにより構成されている。搬送部2は、図1に示す駆動モータ6により予め設定された搬送速度で駆動され、搬入口7から搬入された被検査物Wを搬送方向である搬出口8側(図中X方向)に向けて、無端状のベルトの上側の搬送面としてのベルト面2a上を搬送させるようになっている。筐体4内部においてベルト面2a上を搬入口7から搬出口8まで貫通する空間は搬送路21を形成している。   The conveyance unit 2 sequentially conveys the inspection object W at a predetermined interval. This conveyance part 2 is comprised by the belt conveyor arrange | positioned horizontally within the housing | casing 4, for example. The transport unit 2 is driven at a transport speed set in advance by the drive motor 6 shown in FIG. 1, and the inspection object W carried in from the transport inlet 7 is moved to the transport outlet 8 side (X direction in the figure) which is the transport direction. On the other hand, it conveys on the belt surface 2a as an upper conveying surface of the endless belt. A space that penetrates the belt surface 2 a from the carry-in port 7 to the carry-out port 8 in the housing 4 forms a transport path 21.

検出部3は、順次搬送される被検査物Wに対し、搬送路21の途中の検査空間22においてX線を照射するとともに被検査物Wを透過するX線を検出するものであり、搬送路21途中の検査空間22の上方に所定高さ離隔して配置されたX線発生器9と、搬送部2内にX線発生器9と対向して配置されたX線検出器10を備えている。   The detection unit 3 irradiates the inspection object W sequentially conveyed with X-rays in the inspection space 22 in the middle of the conveyance path 21 and detects X-rays transmitted through the inspection object W. 21 includes an X-ray generator 9 disposed at a predetermined height above the examination space 22 in the middle of the 21 and an X-ray detector 10 disposed opposite to the X-ray generator 9 in the transport unit 2. Yes.

X線発生源としてのX線発生器9は、金属製の箱体11の内部に設けられた円筒状のX線管30を図示しない絶縁油に浸漬した構成を有している。本実施の形態では、X線管30として、2つのX線管31、32を備え、X線管31、32の陰極からの電子ビームを陽極のターゲットに照射させてX線を生成している。X線管31、32は、その長手方向が被検査物Wの搬送方向(X方向)となるよう配置されている。X線管31、32により生成されたX線は、下方のX線検出器10に向けて、図示しないスリットにより略三角形状のスクリーン状となって搬送方向(X方向)を横切るように照射されるようになっている。   An X-ray generator 9 as an X-ray generation source has a configuration in which a cylindrical X-ray tube 30 provided inside a metal box 11 is immersed in insulating oil (not shown). In the present embodiment, two X-ray tubes 31 and 32 are provided as the X-ray tube 30, and an X-ray is generated by irradiating an anode target with an electron beam from the cathodes of the X-ray tubes 31 and 32. . The X-ray tubes 31 and 32 are arranged such that the longitudinal direction thereof is the conveyance direction (X direction) of the inspection object W. X-rays generated by the X-ray tubes 31 and 32 are irradiated toward the lower X-ray detector 10 so as to cross the transport direction (X direction) in a substantially triangular screen shape by a slit (not shown). It has become so.

ここで、X線管31、32が発生するX線の強度は、X線管31、32の陽極と陰極との間に流す電流(管電流)に比例して変化するとともに、発生するX線の波長がX線管31、32の陽極と陰極との間に印加する電圧(管電圧)に応じて短くなり透過力が強くなる。すなわち、X線管31、32から発生されるX線の線質は、X線管31、32の管電流および管電圧に応じて変化する。本実施の形態では、X線管31が発生するX線の強度とX線管31が発生するX線の強度を異ならせており、例えば、X線管31を高出力(高エネルギーの線質のX線を出力)、X線管32を低出力(低エネルギーの線質のX線を出力)としている。   Here, the intensity of the X-rays generated by the X-ray tubes 31 and 32 changes in proportion to the current (tube current) flowing between the anode and the cathode of the X-ray tubes 31 and 32 and the generated X-rays. Is shortened according to the voltage (tube voltage) applied between the anode and cathode of the X-ray tubes 31 and 32, and the transmission power is increased. That is, the quality of X-rays generated from the X-ray tubes 31 and 32 changes according to the tube current and tube voltage of the X-ray tubes 31 and 32. In the present embodiment, the intensity of X-rays generated by the X-ray tube 31 and the intensity of X-rays generated by the X-ray tube 31 are made different. For example, the X-ray tube 31 has a high output (high energy radiation quality). X-ray is output), and the X-ray tube 32 is set to low output (low energy X-ray output is output).

なお、X線管31、32が発生するX線の強度は、必ずしも一定値に固定されるものではなく、検出対象とする異物および被検査物Wの種類や搬送速度に応じて、X線管31、32の管電流または管電圧が調整されるようになっている。   Note that the intensity of X-rays generated by the X-ray tubes 31 and 32 is not necessarily fixed at a constant value, and the X-ray tube is in accordance with the type of foreign matter to be detected and the inspection object W and the conveyance speed. The tube currents or tube voltages 31 and 32 are adjusted.

X線検出器10は、搬送される被検査物Wの搬送方向(X方向)の平面上で搬送方向と直交するY方向に複数の検出素子を直線状に並べたX線ラインセンサ50を備えている。本実施の形態では、X線ラインセンサ50として、2つのX線ラインセンサ51、52を被検査物Wの搬送方向に備え、X線ラインセンサ51は、高出力のX線管31から照射されて被検査物Wを透過した検出信号(濃度データの画像)を出力し、X線ラインセンサ52は、高出力のX線管32から照射されて被検査物Wを透過した検出信号(濃度データの画像)を出力するようになっている。   The X-ray detector 10 includes an X-ray line sensor 50 in which a plurality of detection elements are linearly arranged in the Y direction orthogonal to the transport direction on the plane in the transport direction (X direction) of the object W to be transported. ing. In the present embodiment, as the X-ray line sensor 50, two X-ray line sensors 51 and 52 are provided in the conveyance direction of the inspection object W, and the X-ray line sensor 51 is irradiated from the high-power X-ray tube 31. Then, a detection signal (density data image) transmitted through the inspection object W is output, and the X-ray line sensor 52 detects the detection signal (density data) irradiated from the high-output X-ray tube 32 and transmitted through the inspection object W. Image).

なお、X線ラインセンサ51、52は、後述するように、X線を受けて光(蛍光)を発する図示しないシンチレータおよびこのシンチレータからの光を受光する受光素子からなる検出部51a、52a(図3参照)と、この検出部51a、52aを駆動する駆動回路51b、52b(図3参照)とを備えている。このようにX線ラインセンサ51、52が検出部51a、52aと駆動回路51b、52bとからなる場合、被検査物搬送方向に対して検出部51a、52aが傾斜していると、検出部51a、52aでそれぞれ検出したX線画像の間で被検査物Wの位置がずれてしまうため、本実施の形態のX線異物検出装置1は、詳細は後述するが、検出部51a、52aの角度と位置が容易に調整できるように構成されている。   As will be described later, the X-ray line sensors 51 and 52 are detectors 51a and 52a (see FIG. 5) that include a scintillator (not shown) that emits light (fluorescence) upon receiving X-rays and a light receiving element that receives light from the scintillator. 3) and drive circuits 51b and 52b (see FIG. 3) for driving the detectors 51a and 52a. As described above, when the X-ray line sensors 51 and 52 include the detection units 51a and 52a and the drive circuits 51b and 52b, if the detection units 51a and 52a are inclined with respect to the inspection object conveyance direction, the detection unit 51a. , 52a, the X-ray foreign object detection device 1 of the present embodiment will be described later in detail, but the angles of the detection units 51a, 52a The position can be easily adjusted.

ここで、本実施の形態では、X線検出器10は、内蔵する図示しないA/D変換部によりX線ラインセンサ51、52の検出信号(輝度値データ)をデジタルデータに変換して濃度データとして出力するようになっているが、X線検出器10の外部にA/D変換部を備える構成としたり、A/D変換前の輝度値データのまま後段の総合制御部40に出力する等の構成としてもよく、デジタルデータである濃度データに変換することは必須要件ではない。   Here, in the present embodiment, the X-ray detector 10 converts the detection signals (luminance value data) of the X-ray line sensors 51 and 52 into digital data by a built-in A / D converter (not shown), and density data. The A / D converter is provided outside the X-ray detector 10, or the luminance value data before A / D conversion is output to the subsequent overall control unit 40, etc. However, it is not an essential requirement to convert it into density data that is digital data.

X線ラインセンサ51、52を備えるX線検出器10からは、後述する総合制御部40(図2参照)での異物混入の有無の判定に必要なX線画像データを出力するようになっている。   The X-ray detector 10 including the X-ray line sensors 51 and 52 outputs X-ray image data necessary for determining whether or not foreign matter is mixed in a general control unit 40 (see FIG. 2) described later. Yes.

図2に示すように、搬送路21内の天井部21aには、搬送方向(X方向)に沿って複数箇所にX線遮蔽用の遮蔽カーテン16が吊り下げ配置されている。遮蔽カーテン16は、X線を遮蔽する鉛粉を混入したゴムシートをのれん状(上部が繋がっており下部が帯状に分割された状態)に加工したものから構成されており、検査空間22から搬送路21を介してX線が筐体4の外部に漏えいすることを防止するものである。   As shown in FIG. 2, X-ray shielding shielding curtains 16 are suspended and arranged at a plurality of locations along the conveyance direction (X direction) on the ceiling portion 21 a in the conveyance path 21. The shielding curtain 16 is composed of a rubber sheet mixed with lead powder that shields X-rays and processed into a good shape (a state in which the upper part is connected and the lower part is divided into strips), and is conveyed from the inspection space 22. This prevents X-rays from leaking outside the housing 4 via the path 21.

遮蔽カーテン16は、本実施の形態では、搬入口7と検査空間22との間、および検査空間22と搬出口8との間にそれぞれ2枚ずつ設けられており、1つの遮蔽カーテン16が被検査物Wと接触して弾性変形して隙間が生じた場合でも、他の遮蔽カーテン16がX線を遮蔽するので漏えい基準量を超えることなくX線の漏えいを防止できるようになっている。   In the present embodiment, two shielding curtains 16 are provided between the carry-in entrance 7 and the inspection space 22 and between the examination space 22 and the carry-out exit 8, respectively. Even when a gap is generated due to elastic deformation due to contact with the inspection object W, the other shielding curtain 16 shields X-rays, so that leakage of X-rays can be prevented without exceeding the leakage reference amount.

なお、検査空間22の上面にはスリットが配置され、検査空間22の下面、側面は、X線の遮蔽のために筐体4等により略閉塞されている。搬送路21における遮蔽カーテン16、スリット、および筺体4等により囲まれた内側の空間が検査空間22を構成している。   Note that a slit is disposed on the upper surface of the inspection space 22, and the lower surface and side surfaces of the inspection space 22 are substantially closed by a housing 4 or the like for shielding X-rays. An inner space surrounded by the shielding curtain 16, the slit, the housing 4, and the like in the transport path 21 constitutes an inspection space 22.

X線異物検出装置1は、X線検出器10から受け取った濃度データに基づく被検査物W中の異物の有無の判定を含む総合的な制御を行う総合制御部40を備えている。   The X-ray foreign matter detection apparatus 1 includes a comprehensive control unit 40 that performs comprehensive control including determination of the presence or absence of foreign matter in the inspection object W based on density data received from the X-ray detector 10.

総合制御部40は、X線異物検出装置1の総合的な制御を行うものであり、X線ラインセンサ51、52からの濃度データを検出して所定のタイミングの濃度データをそれぞれ有効化するデータ検出部61、62と、データ検出部61、62からの濃度データをそれぞれ複数記憶する記憶部43と、X線ラインセンサ51、52からの濃度データの画像(以下、単に画像という)に対して合成処理、フィルタ処理等の画像処理を施す画像処理部44と、画像処理部44で画像処理が施された画像に対して被検査物Wと異物との判別を行って異物の混入の有無を判定する判定部48とを備えている。判定部48による判定結果は表示器5に表示されるようになっている。   The comprehensive control unit 40 performs comprehensive control of the X-ray foreign matter detection apparatus 1 and detects density data from the X-ray line sensors 51 and 52 and activates the density data at a predetermined timing, respectively. Detection unit 61, 62, storage unit 43 that stores a plurality of density data from data detection units 61, 62, and an image of density data from X-ray line sensors 51, 52 (hereinafter simply referred to as an image) An image processing unit 44 that performs image processing such as composition processing and filter processing, and an image subjected to image processing by the image processing unit 44 is discriminated from the object W to be inspected to determine whether foreign matter is mixed in. And a determination unit 48 for determination. The determination result by the determination unit 48 is displayed on the display 5.

データ検出部60は、本実施の形態では2つのデータ検出部61、62からなり、X線ラインセンサ51、52からの濃度データに対して所定のタイミングで入力された濃度データ、すなわち、所定のデータ有効化入力タイミングの範囲のデータだけをそれぞれ有効化するようになっている。   The data detection unit 60 includes two data detection units 61 and 62 in the present embodiment, and density data input at a predetermined timing with respect to the density data from the X-ray line sensors 51 and 52, that is, a predetermined level. Only data within the range of data validation input timing is validated.

記憶部43は、X線ラインセンサ51、52から出力されたデータのうち、データ検出部61、62で有効化されたデータを一時的に記憶するものであり、画像を高速に記憶および読み出しが可能なメモリから構成されている。   The storage unit 43 temporarily stores data validated by the data detection units 61 and 62 among the data output from the X-ray line sensors 51 and 52, and can store and read images at high speed. It consists of possible memory.

画像処理部44は、X線ラインセンサ51、52からの濃度データの画像に対して合成処理、フィルタ処理等の画像処理を施すようになっている。   The image processing unit 44 performs image processing such as synthesis processing and filter processing on the density data images from the X-ray line sensors 51 and 52.

判定部48は、画像処理部44で画像処理が施された画像に対して、画像上の被検査物Wの中から異物を検出し、異物の混入の有無を判定するようになっている。   The determination unit 48 detects foreign matter from the inspected object W on the image subjected to the image processing by the image processing unit 44, and determines whether foreign matter is mixed.

また、X線異物検出装置1は、X線発生器9のX線出力、被検査物Wの搬送速度、X線検出器10の検査パラメータの設定操作、選択操作が行われる設定部49を備えており、この設定部49は、筐体4の前面上部の表示器5の隣に配置されている。   The X-ray foreign object detection apparatus 1 also includes a setting unit 49 that performs an X-ray output of the X-ray generator 9, a conveyance speed of the inspection object W, an inspection parameter setting operation of the X-ray detector 10, and a selection operation. The setting unit 49 is arranged next to the display 5 at the upper front of the housing 4.

図3、図4に示すように、本実施の形態では、X線ラインセンサ51は、X線を検出する検出部51aと、この検出部51aを駆動する駆動回路51bとを有するとともに、X線ラインセンサ52は、X線を検出する検出部52aと、この検出部52aを駆動する駆動回路52bとを有し、これら検出部51a、52a、駆動回路51b、52bは、単一の回路基板71上に実装されることで、この回路基板71に支持されている。また、X線ラインセンサ51とX線ラインセンサ52は、双方が平行となる位置関係を保って回路基板71に支持されている。回路基板71には、検出部51aと検出部52aとが近接および隣接し、駆動回路51bと駆動回路52bとが離隔するよう各部材が配置されている。換言すると、回路基板71には、検出部51aと検出部52aとが向きあうように、これらが配置されている。このため、検出部51aと検出部52aとが近接する配置とすることで、回路基板71が被検査物搬送方向に対して僅かに傾斜した状態、すなわち、検出部51a、52aの延在方向が被検査物搬送方向と直交する方向と平行でない状態であっても、被検査物搬送方向と直交する方向における検出部51aと検出部52aの位置の差を低減することができる。   As shown in FIGS. 3 and 4, in the present embodiment, the X-ray line sensor 51 includes a detection unit 51 a that detects X-rays and a drive circuit 51 b that drives the detection unit 51 a, and X-rays The line sensor 52 includes a detection unit 52a that detects X-rays, and a drive circuit 52b that drives the detection unit 52a. The detection units 51a and 52a and the drive circuits 51b and 52b are configured as a single circuit board 71. By being mounted on, it is supported on this circuit board 71. The X-ray line sensor 51 and the X-ray line sensor 52 are supported by the circuit board 71 while maintaining a positional relationship in which both are parallel. In the circuit board 71, each member is disposed so that the detection unit 51a and the detection unit 52a are close to and adjacent to each other, and the drive circuit 51b and the drive circuit 52b are separated from each other. In other words, on the circuit board 71, these are arrange | positioned so that the detection part 51a and the detection part 52a may face each other. For this reason, by arranging the detection unit 51a and the detection unit 52a close to each other, the circuit board 71 is slightly inclined with respect to the inspection object conveyance direction, that is, the extending direction of the detection units 51a and 52a is Even in a state that is not parallel to the direction orthogonal to the inspection object conveyance direction, the difference in position between the detection unit 51a and the detection unit 52a in the direction orthogonal to the inspection object conveyance direction can be reduced.

回路基板71は、被検査物搬送方向に対して角度調整可能に構成されている。具体的には、回路基板71は、略中央部に、後述するスライド部材78に軸支される回動支点73を備えており、この回動支点73を中心として回動することにより、被検査物搬送方向に対して角度調整可能となっている。回路基板71の角部の側面側には、回路基板71に当接してこの回路基板71の被検査物搬送方向に対する角度の調整を行う角度調整部材74が設けられ、回路基板71の反対側の角部の側面側には、回路基板71に当接してこの回路基板71を角度調整部材74の側に押圧する圧縮ばね75が設けられている。角度調整部材74は、マイクロメータと同様の機構からなっており、調整ハンドル74aが操作されると、角部の位置を図中左右方向に変位させることにより、回路基板71を回動支点73の周りに回動させて、回路基板71の被検査物搬送方向に対する角度を調整するようになっている。   The circuit board 71 is configured to be adjustable in angle with respect to the inspection object conveyance direction. Specifically, the circuit board 71 includes a rotation fulcrum 73 that is pivotally supported by a slide member 78 (described later) at a substantially central portion, and rotates about the rotation fulcrum 73 to be inspected. The angle can be adjusted with respect to the object conveying direction. On the side surface side of the corner portion of the circuit board 71, an angle adjustment member 74 that is in contact with the circuit board 71 and adjusts the angle of the circuit board 71 with respect to the inspection object conveyance direction is provided. On the side surface side of the corner portion, a compression spring 75 is provided which contacts the circuit board 71 and presses the circuit board 71 toward the angle adjusting member 74 side. The angle adjustment member 74 has a mechanism similar to that of a micrometer. When the adjustment handle 74a is operated, the position of the corner portion is displaced in the left-right direction in the drawing, whereby the circuit board 71 is moved to the rotation fulcrum 73. The circuit board 71 is rotated around to adjust the angle of the circuit board 71 with respect to the inspection object conveyance direction.

また、回路基板71は、被検査物搬送方向と直交する方向(図の左右方向)に対して位置調整可能に構成されている。具体的には、回路基板71の回動支点73を軸支するスライド部材78は、筺体4上を被検査物搬送方向と直交する方向にスライド可能に設けられており、このスライド部材78が変位することにより、回路基板71を被検査物搬送方向と直交する方向に位置調整可能となっている。回路基板71の被検査物搬送方向の中央の一方の側面側には、スライド部材78に当接してスライド部材78および回路基板71の被検査物搬送方向と直交する方向の位置の調整を行う位置調整部材76が設けられ、回路基板71の他方の側面側には、スライド部材78に当接してスライド部材78および回路基板71を位置調整部材76の側に押圧する圧縮ばね77が設けられている。位置調整部材76は、マイクロメータと同様の機構からなっており、調整ハンドル76aが操作されると、スライド部材78および回路基板71の被検査物搬送方向と直交する方向の位置を調整するようになっている。   Further, the circuit board 71 is configured to be position-adjustable with respect to a direction (left-right direction in the drawing) orthogonal to the inspection object conveyance direction. Specifically, the slide member 78 that pivotally supports the rotation fulcrum 73 of the circuit board 71 is provided on the housing 4 so as to be slidable in a direction orthogonal to the inspection object transport direction, and the slide member 78 is displaced. By doing so, the position of the circuit board 71 can be adjusted in a direction perpendicular to the inspection object conveyance direction. A position on one side of the center of the circuit board 71 in the inspection object conveyance direction is a position that contacts the slide member 78 and adjusts the position of the slide member 78 and the circuit board 71 in the direction orthogonal to the inspection object conveyance direction. An adjustment member 76 is provided, and a compression spring 77 that contacts the slide member 78 and presses the slide member 78 and the circuit board 71 toward the position adjustment member 76 is provided on the other side surface side of the circuit board 71. . The position adjustment member 76 has a mechanism similar to that of a micrometer. When the adjustment handle 76a is operated, the position of the slide member 78 and the circuit board 71 in the direction orthogonal to the inspection object conveyance direction is adjusted. It has become.

なお、図5に示すように、X線ラインセンサ51を、検出部51a、駆動回路51bおよびこれら検出部51a、駆動回路51bが実装される回路基板51cから構成するとともに、X線ラインセンサ52を、検出部52a、駆動回路52bおよびこれら検出部52a、駆動回路52bが実装される回路基板52cから構成し、これら回路基板51cおよび回路基板52cを、X線ラインセンサ51とX線ラインセンサ52が双方が平行となる位置関係を保つよう単一の支持部材72により支持させてもよい。   As shown in FIG. 5, the X-ray line sensor 51 includes a detection unit 51a, a drive circuit 51b, and a circuit board 51c on which the detection unit 51a and the drive circuit 51b are mounted. The detection unit 52a, the drive circuit 52b, and the circuit board 52c on which the detection unit 52a and the drive circuit 52b are mounted. The X-ray line sensor 51 and the X-ray line sensor 52 include the circuit board 51c and the circuit board 52c. It may be supported by a single support member 72 so as to maintain a positional relationship in which both are parallel.

また、図2に示すように、本実施の形態では、総合制御部40は、回路基板71または支持部材72の調整角度および調整量を判定する角度調整判定部91と、回路基板71または支持部材72の被検査物搬送方向と直交する方向(直交方向)の調整方向および調整量を判定する位置調整判定手段92と、を備え、表示器5は、角度調整判定部91および位置調整判定部92の判定結果を表示するようになっている。   As shown in FIG. 2, in the present embodiment, the overall control unit 40 includes an angle adjustment determination unit 91 that determines an adjustment angle and an adjustment amount of the circuit board 71 or the support member 72, and the circuit board 71 or the support member. And a position adjustment determination unit 92 that determines an adjustment direction and an adjustment amount in a direction (orthogonal direction) orthogonal to the inspection object conveyance direction 72, and the display 5 includes an angle adjustment determination unit 91 and a position adjustment determination unit 92. The judgment result is displayed.

角度調整判定部91は、X線ラインセンサ51から出力された第1のX線画像データにおける被検査物Wの幅方向の波形である第1の波形(図8(a)参照)と、X線ラインセンサ52から出力された第2のX線画像データにおける被検査物Wの幅方向の波形である第2の波形(図8(a)参照)とを取得し、第1の波形と第2の波形の差分に基づいて回路基板71または支持部材72の角度調整方向を判定するとともに、第1の波形と第2の波形の横位置の差に基づいて回路基板71または支持部材72の角度調整量を判定するようになっている。   The angle adjustment determination unit 91 includes a first waveform (see FIG. 8A) that is a waveform in the width direction of the inspection object W in the first X-ray image data output from the X-ray line sensor 51, A second waveform (see FIG. 8A) that is a waveform in the width direction of the inspection object W in the second X-ray image data output from the line line sensor 52 is acquired, and the first waveform and the first waveform are obtained. The angle adjustment direction of the circuit board 71 or the support member 72 is determined based on the difference between the two waveforms, and the angle of the circuit board 71 or the support member 72 is determined based on the difference between the horizontal positions of the first waveform and the second waveform. The adjustment amount is determined.

具体的には、図6または図7に示すように、被検査物搬送方向に対してX線ラインセンサ51、52が傾斜してしまった状態の場合、被検査物搬送方向の手前側から奥側を見ると、図8(a)に示すように、X線ラインセンサ51の位置がX線ラインセンサ52の位置より右側にずれることとなり、図8(b)に示すように、第1の波形より第2の波形が右側に離隔距離Dだけ離れた位置となる。この場合、第1の波形と第2の波形の差分画像においては、図8(c)に示すように、第1の波形および第2の波形の左端では第1の波形の値が第2の波形の値より大きいことによりエッジ100Lがプラス側に発生し、第1の波形および第2の波形の右端では第1の波形の値が第2の波形の値より小さいことによりエッジ100Rがマイナス側に発生する。角度調整判定部91は、第1の波形と第2の波形の差分データにおける2つのエッジ100R、100Lがそれぞれプラス側またはマイナス側の何れであるかにより回路基板71または支持部材72の調整方向を判定し、第1の波形と第2の波形の横方向の離隔距離Dから回路基板71または支持部材72の調整量を判定している。角度調整判定部91は、例えば、図8(c)のように、第1の波形および第2の波形の左端でプラス側のエッジ100Lが発生し、第1の波形および第2の波形の右端でマイナス側のエッジ100Rが発生しているときは、第1の波形が右側に移動しかつ第2の波形が左側に移動してこれらのエッジ100R、100Lが消滅するためには、図8(a)において、X線ラインセンサ51の位置を左側に移動し、かつ、X線ラインセンサ52の位置より右側に移動すればよいため、回路基板71または支持部材72の調整方向が反時計方向であると判定する。この場合、表示器5には、例えば"角度調整方向:反時計方向、角度調整量:0.3°"等と表示される。   Specifically, as shown in FIG. 6 or FIG. 7, when the X-ray line sensors 51 and 52 are inclined with respect to the inspection object conveyance direction, from the front side in the inspection object conveyance direction to the back When viewing the side, as shown in FIG. 8A, the position of the X-ray line sensor 51 is shifted to the right side from the position of the X-ray line sensor 52, and as shown in FIG. The second waveform is located on the right side by a separation distance D from the waveform. In this case, in the difference image between the first waveform and the second waveform, as shown in FIG. 8C, the value of the first waveform is the second value at the left end of the first waveform and the second waveform. The edge 100L is generated on the plus side by being larger than the value of the waveform, and the edge 100R is on the minus side at the right end of the first waveform and the second waveform because the value of the first waveform is smaller than the value of the second waveform. Occurs. The angle adjustment determination unit 91 determines the adjustment direction of the circuit board 71 or the support member 72 depending on whether the two edges 100R and 100L in the difference data of the first waveform and the second waveform are the plus side or the minus side, respectively. The adjustment amount of the circuit board 71 or the support member 72 is determined from the lateral distance D between the first waveform and the second waveform. For example, as illustrated in FIG. 8C, the angle adjustment determination unit 91 generates a positive edge 100 </ b> L at the left end of the first waveform and the second waveform, and the right end of the first waveform and the second waveform. When the negative edge 100R is generated, the first waveform moves to the right side and the second waveform moves to the left side so that the edges 100R and 100L disappear, as shown in FIG. In a), the position of the X-ray line sensor 51 should be moved to the left side and moved to the right side from the position of the X-ray line sensor 52. Therefore, the adjustment direction of the circuit board 71 or the support member 72 is counterclockwise. Judge that there is. In this case, for example, “angle adjustment direction: counterclockwise direction, angle adjustment amount: 0.3 °” is displayed on the display 5.

また、位置調整判定部92は、第1の波形および第2の波形とを取得し、第1の波形と第2の波形の横位置に基づいて、回路基板71または支持部材72の被検査物搬送方向と直交する直交方向の位置調整方向、および回路基板71または支持部材72の被検査物搬送方向と直交する直交方向の位置調整量を判定するようになっている。   Further, the position adjustment determination unit 92 acquires the first waveform and the second waveform, and based on the horizontal position of the first waveform and the second waveform, the circuit board 71 or the test object of the support member 72 The position adjustment direction in the orthogonal direction orthogonal to the conveyance direction and the position adjustment amount in the orthogonal direction orthogonal to the inspection object conveyance direction of the circuit board 71 or the support member 72 are determined.

具体的には、位置調整判定部92は、回路基板71または支持部材72が被検査物搬送方向と直交する直交方向に中央位置から偏ってしまっている状態では、図8(d)に示すように、第1の波形と第2の波形が同じ位置で重なっていても、第1の波形と第2の波形の全体の位置が中央の適正位置から横方向に偏ってしまい好ましくないため、この第1の波形と第2の波形の全体の位置が中央の適正位置になるよう、適正位置との距離および変位方向に応じて、回路基板71または支持部材72の被検査物搬送方向と直交する直交方向の位置の調整方向および調整量を判定するようになっている。位置調整判定部92による判定結果は、表示器5に、例えば"位置調整方向:奥側、位置調整量:2mm"等と表示される。   Specifically, the position adjustment determination unit 92 is as shown in FIG. 8D in a state where the circuit board 71 or the support member 72 is deviated from the center position in the orthogonal direction orthogonal to the inspection object conveyance direction. In addition, even if the first waveform and the second waveform overlap at the same position, the entire position of the first waveform and the second waveform is deviated laterally from the center proper position, which is not preferable. The circuit board 71 or the support member 72 is orthogonal to the inspection object conveyance direction in accordance with the distance from the appropriate position and the displacement direction so that the entire position of the first waveform and the second waveform is the appropriate position in the center. The adjustment direction and adjustment amount of the position in the orthogonal direction are determined. The determination result by the position adjustment determination unit 92 is displayed on the display 5 as, for example, “position adjustment direction: back side, position adjustment amount: 2 mm”.

図9に示すように、角度調整部材74を駆動する角度調整部材駆動モータ81を調整ハンドル74aに連結するとともに、位置調整部材76を駆動する位置調整部材駆動モータ82を調整ハンドル76aに連結し、更に、図10に示すように、総合制御部40にこれら角度調整部材駆動モータ81および位置調整部材駆動モータ82を駆動制御する駆動制御部93を設けるように構成してもよい。   As shown in FIG. 9, an angle adjustment member drive motor 81 for driving the angle adjustment member 74 is connected to the adjustment handle 74a, and a position adjustment member drive motor 82 for driving the position adjustment member 76 is connected to the adjustment handle 76a. Furthermore, as shown in FIG. 10, the general control unit 40 may be configured to be provided with a drive control unit 93 that drives and controls the angle adjustment member drive motor 81 and the position adjustment member drive motor 82.

図9の例では、駆動制御部93は、角度調整判定部91が判定した角度調整方向および角度調整量に従って角度調整部材駆動モータ81を駆動制御し、位置調整判定部92が判定した位置調整方向および位置調整量に従って位置調整部材駆動モータ82を駆動制御する。また、角度調整部材駆動モータ81および位置調整部材駆動モータ82は、パルス駆動するステッピングモータおよび図示しない減速機構等から構成される。このように構成することで、判定された角度調整方向、角度調整量、位置調整方向、位置調整量に従って、駆動制御部93が角度調整部材駆動モータ81および位置調整部材駆動モータ82を駆動制御し、角度と位置の調整作業を自動化することができる。   In the example of FIG. 9, the drive control unit 93 drives and controls the angle adjustment member drive motor 81 according to the angle adjustment direction and the angle adjustment amount determined by the angle adjustment determination unit 91, and the position adjustment direction determined by the position adjustment determination unit 92. The position adjustment member drive motor 82 is driven and controlled according to the position adjustment amount. The angle adjusting member driving motor 81 and the position adjusting member driving motor 82 are composed of a stepping motor that is pulse-driven and a speed reduction mechanism that is not shown. With this configuration, the drive controller 93 controls the angle adjustment member drive motor 81 and the position adjustment member drive motor 82 according to the determined angle adjustment direction, angle adjustment amount, position adjustment direction, and position adjustment amount. The angle and position adjustment work can be automated.

以上のように、本実施の形態に係るX線異物検出装置1は、X線ラインセンサ51およびX線ラインセンサ52を双方が平行となる位置関係を保って支持するとともに、被検査物搬送方向に対して角度調整可能に構成された単一の回路基板71または支持部材72と、回路基板71または支持部材72の被検査物搬送方向に対する角度の調整操作を行う角度調整部材74と、第1のX線画像データにおける被検査物Wの幅方向の波形である第1の波形と第2のX線画像データにおける被検査物Wの幅方向の波形である第2の波形とを取得し、第1の波形と第2の波形の差分に基づいて回路基板71または支持部材72の角度調整方向を判定するとともに、第1の波形と第2の波形の横位置の差に基づいて回路基板71または支持部材72の角度調整量を判定する角度調整判定部91と、角度調整判定部91による判定結果を表示する表示器5と、を備えたことを特徴とする。   As described above, the X-ray foreign object detection device 1 according to the present embodiment supports the X-ray line sensor 51 and the X-ray line sensor 52 while maintaining a positional relationship in which both are parallel to each other, and the inspection object conveyance direction. A single circuit board 71 or a support member 72 configured to be angle adjustable with respect to the angle, an angle adjustment member 74 for adjusting an angle of the circuit board 71 or the support member 72 with respect to the inspection object conveyance direction, and a first A first waveform that is a waveform in the width direction of the inspection object W in the X-ray image data and a second waveform that is a waveform in the width direction of the inspection object W in the second X-ray image data; The angle adjustment direction of the circuit board 71 or the support member 72 is determined based on the difference between the first waveform and the second waveform, and the circuit board 71 is determined based on the difference between the lateral positions of the first waveform and the second waveform. Or the corner of the support member 72 And determining the angle adjustment determination section 91 an adjustment amount, a display unit 5 for displaying the determination result by the angle adjustment determination unit 91, and further comprising a.

この構成により、角度調整判定部91により判定されて表示器5に表示される角度調整方向および角度調整量に従って、X線ラインセンサ51、52を支持する単一の回路基板71または支持部材72の被検査物搬送方向に対する角度を、角度調整部材74を操作して調整することにより、X線ラインセンサ51とX線ラインセンサ52の被検査物搬送方向に対する角度を同時にかつ容易に調整することができる。したがって、合成画像上の被検査物Wの位置ずれを低減し、異物検出能力の低下を防止することができる。   With this configuration, the single circuit board 71 or the support member 72 that supports the X-ray line sensors 51 and 52 is determined according to the angle adjustment direction and the angle adjustment amount determined by the angle adjustment determination unit 91 and displayed on the display 5. By adjusting the angle with respect to the inspection object conveyance direction by operating the angle adjusting member 74, the angles of the X-ray line sensor 51 and the X-ray line sensor 52 with respect to the inspection object conveyance direction can be adjusted simultaneously and easily. it can. Therefore, it is possible to reduce the displacement of the inspection object W on the composite image and prevent the foreign matter detection capability from being lowered.

また、本実施の形態に係るX線異物検出装置1は、回路基板71または支持部材72の被検査物搬送方向と直交する直交方向の位置の調整操作を行う位置調整部材76と、第1のX線画像データにおける被検査物Wの幅方向の波形である第1の波形と第2のX線画像データにおける被検査物Wの幅方向の波形である第2の波形とを取得し、第1の波形と第2の波形の横位置に基づいて回路基板71または支持部材72の直交方向の位置調整方向および回路基板71または支持部材72の直交方向の位置調整量を判定する位置調整判定部92と、を備え、表示器5が、位置調整判定部92による判定結果を表示することを特徴とする。   In addition, the X-ray foreign object detection device 1 according to the present exemplary embodiment includes a position adjustment member 76 that performs an adjustment operation of the position of the circuit board 71 or the support member 72 in the orthogonal direction orthogonal to the inspection object conveyance direction, A first waveform that is a waveform in the width direction of the inspection object W in the X-ray image data and a second waveform that is a waveform in the width direction of the inspection object W in the second X-ray image data are acquired. A position adjustment determination unit that determines the position adjustment direction in the orthogonal direction of the circuit board 71 or the support member 72 and the position adjustment amount in the orthogonal direction of the circuit board 71 or the support member 72 based on the horizontal positions of the first waveform and the second waveform. 92, and the display 5 displays a determination result by the position adjustment determination unit 92.

この構成により、位置調整判定部92により判定されて表示器5に表示される位置調整方向および位置調整量に従って、X線ラインセンサ51とX線ラインセンサ52を支持する単一の回路基板71または支持部材72の被検査物搬送方向と直交する方向の位置を、位置調整部材76を操作して調整することにより、X線ラインセンサ51とX線ラインセンサ52の被検査物搬送方向と直交する方向の位置を同時にかつ容易に調整することができる。   With this configuration, the single circuit board 71 that supports the X-ray line sensor 51 and the X-ray line sensor 52 according to the position adjustment direction and the amount of position adjustment determined by the position adjustment determination unit 92 and displayed on the display 5 or By adjusting the position of the support member 72 in the direction orthogonal to the inspection object conveyance direction by operating the position adjusting member 76, the X-ray line sensor 51 and the X-ray line sensor 52 are orthogonal to the inspection object conveyance direction. The position in the direction can be adjusted simultaneously and easily.

また、本実施の形態に係るX線異物検出装置1は、X線ラインセンサ51が、X線を検出する検出部51aと、検出部51aを駆動する駆動回路51bとを有するとともに、X線ラインセンサ52が、X線を検出する検出部52aと、検出部52aを駆動する駆動回路52bとを有し、回路基板71が、検出部51a、52a、駆動回路51b、52bが実装されることで検出部51a、52a、駆動回路51b、52bを支持することを特徴とする。   In the X-ray foreign object detection device 1 according to the present embodiment, the X-ray line sensor 51 includes a detection unit 51a that detects X-rays and a drive circuit 51b that drives the detection unit 51a, and an X-ray line. The sensor 52 includes a detection unit 52a that detects X-rays and a drive circuit 52b that drives the detection unit 52a, and the circuit board 71 is mounted with the detection units 51a and 52a and the drive circuits 51b and 52b. The detectors 51a and 52a and the drive circuits 51b and 52b are supported.

この構成により、X線ラインセンサ51およびX線ラインセンサ52の構成部材を、支持部材としての単一の回路基板71に実装することにより、回路基板71の実装工程でX線ラインセンサ51とX線ラインセンサ52の位置決めを同時に行うことができ、後工程でのX線ラインセンサ51とX線ラインセンサ52の位置決め作業を省略することができる。   With this configuration, the constituent members of the X-ray line sensor 51 and the X-ray line sensor 52 are mounted on a single circuit board 71 as a support member, so that the X-ray line sensor 51 and the X-ray sensor 51 can be combined with the X-ray line sensor 51 in the mounting process of the circuit board 71. The positioning of the line line sensor 52 can be performed at the same time, and the positioning work of the X-ray line sensor 51 and the X-ray line sensor 52 in the subsequent process can be omitted.

また、本実施の形態に係るX線異物検出装置1は、X線ラインセンサ51が、X線を検出する検出部51aと、検出部51aを駆動する駆動回路51bと、検出部51aおよび駆動回路51bが実装される回路基板51cと、から構成されるとともに、X線ラインセンサ52が、X線を検出する検出部52aと、検出部52aを駆動する駆動回路52bと、検出部52aおよび駆動回路52bが実装され回路基板51cとは別部材の回路基板52cと、から構成され、支持部材72が、回路基板51cおよび回路基板52cを支持することを特徴とする。   Further, in the X-ray foreign object detection apparatus 1 according to the present embodiment, the X-ray line sensor 51 includes a detection unit 51a that detects X-rays, a drive circuit 51b that drives the detection unit 51a, a detection unit 51a, and a drive circuit. The circuit board 51c on which the 51b is mounted, the X-ray line sensor 52 detects the X-ray, the detection unit 52a, the drive circuit 52b that drives the detection unit 52a, the detection unit 52a, and the drive circuit The circuit board 52c is mounted on the circuit board 51c, and the support member 72 supports the circuit board 51c and the circuit board 52c.

この構成により、X線ラインセンサ51の回路基板51cとX線ラインセンサ52の回路基板52cとを、単一の支持部材72で支持することにより、回路基板51cと回路基板52cを支持部材72に支持させる組み付け工程において、X線ラインセンサ51とX線ラインセンサ52の位置決め作業を行うことができる。   With this configuration, the circuit board 51c of the X-ray line sensor 51 and the circuit board 52c of the X-ray line sensor 52 are supported by the single support member 72, whereby the circuit board 51c and the circuit board 52c are supported by the support member 72. In the assembling process to be supported, the X-ray line sensor 51 and the X-ray line sensor 52 can be positioned.

また、本実施の形態に係るX線異物検出装置1は、回路基板71または支持部材72が、検出部51aと検出部52aとが近接する配置で、X線ラインセンサ51およびX線ラインセンサ52を双方が平行となる位置関係を保って支持することを特徴とする。   Further, in the X-ray foreign object detection device 1 according to the present embodiment, the circuit board 71 or the support member 72 is disposed so that the detection unit 51a and the detection unit 52a are close to each other, and the X-ray line sensor 51 and the X-ray line sensor 52 are arranged. Is supported while maintaining a positional relationship in which both are parallel to each other.

この構成により、X線ラインセンサ51とX線ラインセンサ52の被検査物搬送方向に対する角度のずれが僅かに残った場合であっても、検出部51aと検出部52aとが近接する配置とすることで、X線画像データ上の被検査物Wの位置のずれを低減することができる。   With this configuration, the detection unit 51a and the detection unit 52a are arranged close to each other even when a slight deviation in the angle of the X-ray line sensor 51 and the X-ray line sensor 52 with respect to the inspection object conveyance direction remains. Thereby, the shift | offset | difference of the position of the to-be-inspected object W on X-ray image data can be reduced.

また、本実施の形態に係るX線異物検出装置1は、角度調整部材74を駆動する角度調整部材駆動モータ81と、位置調整部材76を駆動する位置調整部材駆動モータ82と、角度調整判定部91が判定した角度調整方向および角度調整量と、位置調整判定部92が判定した位置調整方向および位置調整量に従って、角度調整部材駆動モータ81および位置調整部材駆動モータ82を駆動制御する駆動制御部93と、を備えたことを特徴とする。   Further, the X-ray foreign object detection device 1 according to the present embodiment includes an angle adjustment member drive motor 81 that drives the angle adjustment member 74, a position adjustment member drive motor 82 that drives the position adjustment member 76, and an angle adjustment determination unit. A drive control unit that drives and controls the angle adjustment member drive motor 81 and the position adjustment member drive motor 82 according to the angle adjustment direction and the angle adjustment amount determined by 91 and the position adjustment direction and the amount of position adjustment determined by the position adjustment determination unit 92. 93.

この構成により、角度調整判定部91が判定した角度調整方向および角度調整量と、位置調整判定部92が判定した位置調整方向および位置調整量に従って、駆動制御部93によって角度調整部材駆動モータ81および位置調整部材駆動モータ82が駆動制御されるので、X線ラインセンサ51とX線ラインセンサ52の被検査物搬送方向に対する角度、およびX線ラインセンサ51とX線ラインセンサ52の被検査物搬送方向と直交する方向の位置を自動的に調整することができる。   With this configuration, according to the angle adjustment direction and the angle adjustment amount determined by the angle adjustment determination unit 91 and the position adjustment direction and the position adjustment amount determined by the position adjustment determination unit 92, the drive control unit 93 and the angle adjustment member drive motor 81 and Since the position adjustment member drive motor 82 is driven and controlled, the angle of the X-ray line sensor 51 and the X-ray line sensor 52 with respect to the inspection object conveyance direction and the inspection object conveyance of the X-ray line sensor 51 and the X-ray line sensor 52 are controlled. The position in the direction orthogonal to the direction can be automatically adjusted.

以上のように、本発明に係るX線異物検出装置は、合成画像上の被検査物の位置ずれを低減し、異物検出能力の低下を防止することができるという効果を有し、複数本のX線ラインセンサからの画像を合成して異物を強調させた画像を得るエネルギーサブトラクション法を採用したX線異物検出装置として有用である。   As described above, the X-ray foreign object detection device according to the present invention has the effect of reducing the displacement of the inspection object on the composite image and preventing the foreign object detection capability from being lowered. The present invention is useful as an X-ray foreign object detection apparatus that employs an energy subtraction method that obtains an image in which foreign objects are emphasized by synthesizing images from X-ray line sensors.

1 X線異物検出装置
2 搬送部(搬送手段)
2a ベルト面(搬送面)
3 検出部
4 筐体
5 表示器(表示手段)
6 駆動モータ
7 搬入口
8 搬出口
9 X線発生器
10 X線検出器
11 箱体
16 遮蔽カーテン
21 搬送路
21a 天井部
22 検査空間
30 X線管
31 X線管(第1のX線源)
32 X線管(第2のX線源)
40 総合制御部
43 記憶部
44 画像処理部(画像合成手段)
48 判定部(判定手段)
49 設定部
51 X線ラインセンサ(第1のX線ラインセンサ)
51a 検出部(第1の検出部)
51b 駆動回路(第1の駆動回路)
51c 回路基板(第1の回路基板)
52 X線ラインセンサ(第2のX線ラインセンサ)
52a 検出部(第2の検出部)
52b 駆動回路(第2の駆動回路)
52c 回路基板(第2の回路基板)
61、62 データ検出部
71 回路基板(支持部材)
72 支持部材
73 回動支点
74 角度調整部材
74a、76a 調整ハンドル
75、77 圧縮ばね
76 位置調整部材
91 角度調整判定部(角度調整判定手段)
92 位置調整判定部(位置調整判定手段)
93 駆動制御部(駆動制御手段)
W 被検査物
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 X-ray foreign material detection apparatus 2 Conveyance part (conveyance means)
2a Belt surface (conveying surface)
3 Detection unit 4 Housing 5 Display (display means)
6 drive motor 7 carry-in port 8 carry-out port 9 X-ray generator 10 X-ray detector 11 box 16 shielding curtain 21 transport path 21a ceiling 22 inspection space 30 X-ray tube 31 X-ray tube (first X-ray source)
32 X-ray tube (second X-ray source)
40 general control unit 43 storage unit 44 image processing unit (image composition means)
48 determination part (determination means)
49 Setting unit 51 X-ray line sensor (first X-ray line sensor)
51a detector (first detector)
51b Drive circuit (first drive circuit)
51c circuit board (first circuit board)
52 X-ray line sensor (second X-ray line sensor)
52a detector (second detector)
52b Drive circuit (second drive circuit)
52c Circuit board (second circuit board)
61, 62 Data detection unit 71 Circuit board (support member)
72 Support member 73 Rotation fulcrum 74 Angle adjustment member 74a, 76a Adjustment handle 75, 77 Compression spring 76 Position adjustment member 91 Angle adjustment determination unit (angle adjustment determination means)
92 Position adjustment determination unit (position adjustment determination means)
93 Drive control unit (drive control means)
W Inspection object

Claims (6)

被検査物を搬送面上で被検査物搬送方向に搬送する搬送手段と、
前記搬送面上を搬送される被検査物に互いに異なる線質のX線を照射する第1のX線源および第2のX線源と、
前記搬送面を挟んで前記第1のX線源および前記第2のX線源と対向する位置に配置され、前記第1のX線源から照射され前記被検査物を透過するX線に応じた第1のX線画像データおよび前記第2のX線源から照射され前記被検査物を透過するX線に応じた第2のX線画像データをそれぞれ出力する第1のX線ラインセンサおよび第2のX線ラインセンサと、
前記第1のX線画像データおよび第2のX線画像データを合成して前記被検査物に対応する1つの画像データとして出力する画像合成手段と、
前記画像合成手段が出力する画像データに基づいて前記被検査物中の異物の有無を判定する判定手段と、を備えるX線異物検出装置であって、
前記第1のX線ラインセンサおよび前記第2のX線ラインセンサを双方が平行となる位置関係を保って支持するとともに、前記被検査物搬送方向に対して角度調整可能に構成された単一の支持部材と、
前記支持部材の前記被検査物搬送方向に対する角度の調整操作を行う角度調整部材と、
前記第1のX線画像データにおける前記被検査物の幅方向の波形である第1の波形と前記第2のX線画像データにおける前記被検査物の幅方向の波形である第2の波形とを取得し、前記第1の波形と前記第2の波形の差分に基づいて前記支持部材の角度調整方向を判定するとともに、前記第1の波形と前記第2の波形の横位置の差に基づいて前記支持部材の角度調整量を判定する角度調整判定手段と、
前記角度調整判定手段による判定結果を表示する表示手段と、を備えたことを特徴とするX線異物検出装置。
A transport means for transporting the inspection object in the inspection object transport direction on the transport surface;
A first X-ray source and a second X-ray source for irradiating X-rays having different radiation qualities to the inspection object conveyed on the conveyance surface;
According to the X-rays that are arranged at positions facing the first X-ray source and the second X-ray source across the transport surface and are irradiated from the first X-ray source and pass through the inspection object. A first X-ray line sensor that outputs first X-ray image data and second X-ray image data corresponding to X-rays irradiated from the second X-ray source and transmitted through the inspection object; A second X-ray line sensor;
Image synthesizing means for synthesizing the first X-ray image data and the second X-ray image data and outputting as one image data corresponding to the inspection object;
An X-ray foreign matter detection apparatus comprising: determination means for determining the presence or absence of foreign matter in the inspection object based on image data output by the image composition means;
A single unit configured to support the first X-ray line sensor and the second X-ray line sensor while maintaining a positional relationship in which both are parallel to each other and to be capable of adjusting the angle with respect to the inspection object transport direction. A support member of
An angle adjusting member for adjusting an angle of the support member with respect to the inspection object conveyance direction;
A first waveform that is a waveform in the width direction of the inspection object in the first X-ray image data, and a second waveform that is a waveform in the width direction of the inspection object in the second X-ray image data; And determining the angle adjustment direction of the support member based on the difference between the first waveform and the second waveform, and based on the difference between the lateral positions of the first waveform and the second waveform. Angle adjustment determination means for determining the angle adjustment amount of the support member;
An X-ray foreign matter detection apparatus comprising: display means for displaying a determination result by the angle adjustment determination means.
前記支持部材の前記被検査物搬送方向と直交する直交方向の位置の調整操作を行う位置調整部材と、
前記第1のX線画像データにおける前記被検査物の幅方向の波形である第1の波形と前記第2のX線画像データにおける前記被検査物の幅方向の波形である第2の波形とを取得し、前記第1の波形と前記第2の波形の横位置に基づいて前記支持部材の前記直交方向の位置調整方向および前記支持部材の前記直交方向の位置調整量を判定する位置調整判定手段と、を備え、
前記表示手段が、前記位置調整判定手段による判定結果を表示することを特徴とする請求項1に記載のX線異物検出装置。
A position adjustment member that performs an adjustment operation of the position of the support member in the orthogonal direction orthogonal to the inspection object conveyance direction;
A first waveform that is a waveform in the width direction of the inspection object in the first X-ray image data, and a second waveform that is a waveform in the width direction of the inspection object in the second X-ray image data; Position adjustment determination for determining the position adjustment direction of the support member in the orthogonal direction and the position adjustment amount of the support member in the orthogonal direction based on the lateral positions of the first waveform and the second waveform Means, and
The X-ray foreign object detection device according to claim 1, wherein the display unit displays a determination result by the position adjustment determination unit.
前記角度調整部材を駆動する角度調整部材駆動手段と、
前記位置調整部材を駆動する位置調整部材駆動手段と、
前記角度調整判定手段が判定した角度調整方向および角度調整量と、前記位置調整判定手段が判定した位置調整方向および位置調整量に従って、前記角度調整部材駆動手段および前記位置調整部材駆動手段を駆動制御する駆動制御手段と、を備えたことを特徴とする請求項2に記載のX線異物検出装置。
Angle adjusting member driving means for driving the angle adjusting member;
Position adjusting member driving means for driving the position adjusting member;
Drive control of the angle adjustment member driving means and the position adjustment member driving means according to the angle adjustment direction and angle adjustment amount determined by the angle adjustment determination means and the position adjustment direction and position adjustment amount determined by the position adjustment determination means. The X-ray foreign object detection device according to claim 2 , further comprising: a drive control unit that performs the control .
前記第1のX線ラインセンサが、X線を検出する第1の検出部と、前記第1の検出部を駆動する第1の駆動回路とを有するとともに、前記第2のX線ラインセンサが、X線を検出する第2の検出部と、前記第2の検出部を駆動する第2の駆動回路とを有し、
前記支持部材が、前記第1の検出部、前記第1の駆動回路、前記第2の検出部および前記第2の駆動回路が実装されることで前記第1の検出部、前記第1の駆動回路、前記第2の検出部および前記第2の駆動回路を支持する単一の回路基板であることを特徴とする請求項1から請求項3までのいずれか1項に記載のX線異物検出装置。
The first X-ray line sensor includes a first detection unit that detects X-rays and a first drive circuit that drives the first detection unit, and the second X-ray line sensor includes A second detection unit for detecting X-rays and a second drive circuit for driving the second detection unit,
The first detection unit and the first drive are implemented by mounting the first detection unit, the first drive circuit, the second detection unit, and the second drive circuit on the support member. The X-ray foreign object detection according to any one of claims 1 to 3 , wherein the X-ray foreign object detection is a single circuit board that supports a circuit, the second detection unit, and the second drive circuit. apparatus.
前記第1のX線ラインセンサが、X線を検出する第1の検出部と、前記第1の検出部を駆動する第1の駆動回路と、前記第1の検出部および前記第1の駆動回路が実装される第1の回路基板と、から構成されるとともに、前記第2のX線ラインセンサが、X線を検出する第2の検出部と、前記第2の検出部を駆動する第2の駆動回路と、前記第2の検出部および前記第2の駆動回路が実装され前記第1の回路基板とは別部材の第2の回路基板と、から構成され、
前記支持部材が、前記第1の回路基板および前記第2の回路基板を支持することを特徴とする請求項1から請求項3までのいずれか1項に記載のX線異物検出装置。
The first X-ray line sensor detects an X-ray, a first drive circuit that drives the first detection unit, the first detection unit, and the first drive. A first circuit board on which a circuit is mounted, and the second X-ray line sensor drives a second detector that detects X-rays and the second detector. 2 and a second circuit board that is a member different from the first circuit board on which the second detection unit and the second driving circuit are mounted,
The X-ray foreign object detection device according to any one of claims 1 to 3, wherein the support member supports the first circuit board and the second circuit board .
前記支持部材が、前記第1の検出部と前記第2の検出部とが近接する配置で、前記第1のX線ラインセンサおよび前記第2のX線ラインセンサを双方が平行となる位置関係を保って支持することを特徴とする請求項4または請求項5に記載のX線異物検出装置。 Positional relationship in which both the first X-ray line sensor and the second X-ray line sensor are parallel to each other with the support member disposed so that the first detection unit and the second detection unit are close to each other. The X-ray foreign object detection device according to claim 4 , wherein the X-ray foreign object detection device is supported while being maintained .
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