JP5680178B1 - 流量センサおよび内燃機関の制御システム - Google Patents

Abstract

【課題】簡単な回路で、流体の流れる方向に応じた検出信号を精度良く検出することができる流量センサを提供する。【解決手段】上流側発熱体１２ａ、下流側発熱体１２ｂの平均温度を、平均温度制御部１ａにおいて、流体温度検出部２により検出される流体の温度よりも常に所定の温度だけ高い温度に保つとともに、電圧比制御部８ａにおいて、上流側発熱体１２ａと下流側発熱体１２ｂとの温度差、或いは印加される電圧比が所定の値となるよう、それぞれ上流側発熱体１２ａ、下流側発熱体１２ｂに流れる加熱電流を制御し、この制御の状態から流体の流れる方向に応じた検出信号を得、流体の流れる方向が順流か逆流化を判定する。【選択図】図１

Description

本発明は、流体中に配置された発熱体から流体に伝達される熱量を電気的に検出することにより、流体の流量を検出するとともに、流体の流れる方向により異なる検出信号を得る流量センサおよび内燃機関の制御システムに関するものである。

一般に、熱式流量センサにおいては、流体中に発熱体および流体温度検出体を配置するとともに、発熱体と流体温度検出体と複数の抵抗によりブリッジ回路を構成し、ブリッジ回路が常に平衡状態を保つように発熱体に供給する加熱電流を制御している。

これにより、発熱体の温度は、流体温度検出体により検出される流体の温度よりも常に所定の温度だけ高い温度に保たれる。

ここで、加熱電流が流体の流量に依存することを利用し、加熱電流を検出信号とする、いわゆる加熱電流検出型が広く用いられているが、その検出信号は流量の絶対値を検出するものであり、流体の流れる方向によらず順流、逆流とも同じ値となる問題があった。

この問題を解決する方法として、流体の流れる方向に対して上流及び下流に、互いに熱の干渉を受けるよう配置された２組の発熱体および流体温度検出体によりブリッジ回路を構成し、それぞれの発熱体に供給される加熱電流の差を検出信号として用いることで流体の流れる方向により異なる検出信号を得る方法が知られている（特許文献１参照）。

特開平１１−２０１７９３号公報

しかしながら、特許文献１の方法は２組のブリッジ回路を必要とすることから、複雑且つ大規模な回路が必要であり、小型化、低コスト化の妨げとなっている。
さらに、精度良く流量を検出するためには２つのブリッジ回路は極めて近い特性が必要であり、製造が非常に困難であった。

本発明は、上記のような問題点を解決するためになされたものであり、流量センサにおいて、簡単な回路で安価、且つ容易に、精度良く流体の流れる方向により異なる検出信号を得ることを目的としている。

本発明は、上記のような問題点を解決するためになされたものであり、流量センサを用いた内燃機関の制御システムにおいて、簡単な回路で安価、且つ容易に、精度良く流体の流れる方向により異なる検出信号を得ることを目的としている。

この発明に係わる流量センサは、流体の温度を検出する流体温度検出部、上記流体の流れる方向に対して上流、下流に、互いに熱の干渉を受けるよう配置された第一、第二の発熱体、上記第一、第二の発熱体の平均温度を、上記流体温度検出部により検出される上記流体の温度よりも、所定の温度だけ高い温度に保つように、上記第一、第二の発熱体の各々に流れる加熱電流を制御する第一の制御部、上記第一、第二の発熱体の温度差、或いは
、上記第一、第二の発熱体に印加される電圧の比が所定の値となるように、上記第一、第二の発熱体の各々に流れる加熱電流を制御する第二の制御部を備え、上記第二の制御部によって上記流体の流れる方向に応じた検出信号を得るものである。

また、この発明にかかる内燃機関の制御システムは、内燃機関に設けられ、上記内燃機関の制御を行う内燃機関の制御システムにおいて、上記内燃機関の吸気系統に設けられた上記流量センサによって、上記吸気系統への吸入空気の流れが順流か逆流かを判定するものである。

この発明の流量センサによれば、加熱電流検出型の熱式流量センサにおいて、簡単な回路で、安価、且つ容易に、精度良く、流体の流れる方向に応じた検出信号を得ることが可能となる。

また、この発明の内燃機関の制御システムによれば、上記の流量センサを用いることで、簡単な回路で、安価、且つ容易に、精度良く、流体の流れる方向に応じた検出信号を得ることが可能となる。

本発明における実施の形態１に係る流量センサの流量検出回路構成を示す図である。 本発明における、発熱体と温度検出部と流体温度検出部の配置例を示す図である。 本発明における実施の形態１に係る流量センサの流量検出回路構成例を示す図である。 本発明における実施の形態１に係る流量センサの流量検出回路構成例を示す図である。 本発明における分圧手段の構成例を示す図である。 本発明における実施の形態１に係る、流量と、発熱体に流れる加熱電流との関係を示す図である。 本発明における実施の形態１に係る、流量と、上流側発熱体と下流側発熱体の抵抗値との関係を示す図である。 本発明における実施の形態１に係る、流量と、上流側発熱体と下流側発熱体に流れる加熱電流との関係を示す図である。 本発明における実施の形態１に係る、流量と検出信号との関係を示す図である。 本発明における実施の形態２に係る流量センサの流量検出回路構成を示す図である。 本発明における実施の形態３に係る流量センサの流量検出回路構成を示す図である。 本発明における実施の形態４に係る流量センサの流量検出回路構成を示す図である。 本発明における実施の形態５に係る流量センサの流量検出回路構成を示す図である。 本発明における実施の形態５に係る、流量と発熱体に印加される電圧との関係を示す図である。 本発明における実施の形態５に係る、流量と、上流側発熱体と下流側発熱体に印加される電圧比との関係を示す図である。

実施の形態１．
以下、本発明の実施の形態１の流量センサについて、図１から図９を参照して説明する。本発明の流量センサは、加熱電流検出型の熱式流量センサである。図１は本発明の実施の形態１の流量センサの流量検出回路構成を示した図であり、まず本図を用いて流量検出回路の構成について説明する。

本発明の実施の形態１の流量センサは、流体の温度を検出する流体温度検出部２、流体の流れる方向に対して上流、下流に、互いに熱の干渉を受けるよう配置された上流側、下流側発熱体（第一、第二の発熱体）１２ａ、１２ｂ、上流側発熱体１２ａおよび流体から熱の影響を受ける位置に配置された上流側温度検出部（第一の温度検出部）６ａ、下流側発熱体１２ｂおよび流体から熱の影響を受ける位置に配置された下流側温度検出部（第二の温度検出部）６ｂを備え、上流側、下流側発熱体１２ａ、１２ｂの平均温度を上流側、下流側温度検出部６ａ、６ｂの平均温度から得、上流側、下流側温度検出部６ａ、６ｂの平均温度を、流体温度検出部２により検出される流体の温度よりも、所定の温度だけ高い温度に保つように、上流側、下流側発熱体１２ａ、１２ｂの各々に流れる加熱電流Ｉｈｕ、Ｉｈｄを制御する平均温度制御部（第一の制御部）１ａ、上流側、下流側発熱体１２ａ、１２ｂの温度差、或いは、上流側、下流側発熱体１２ａ、１２ｂに印加される電圧の比を、上流側、下流側温度検出部６ａ、６ｂの温度差、或いは、上流側、下流側温度検出部６ａ、６ｂに印加される電圧の比によって得、上流側、下流側温度検出部６ａ、６ｂの温度差、或いは、上流側、下流側温度検出部６ａ、６ｂの電圧の比が所定の値となるように、上流側、下流側発熱体１２ａ、１２ｂの各々に流れる加熱電流Ｉｈｕ、Ｉｈｄを制御する電圧比制御部（第二の制御部）８ａを備え、電圧比制御部８ａによって流体の流れる方向に応じた検出信号を得ることを特徴としている。
流体温度検出部２と温度検出部６と発熱体１２は、例えば、白金やニッケルのような温度によって抵抗値が変化する感温抵抗材料により形成されることにより、上流側、下流側温度検出部６ａ、６ｂによる分圧比は上流側、下流側温度検出部６ａ、６ｂの温度差に依存する。

流量検出回路は、互いに熱の干渉を受ける位置に構成され、流体の流れる方向に対し上流側に配置された上流側発熱体１２ａと、下流側に配置された下流側発熱体１２ｂとの直列体により構成された発熱体１２と、発熱体１２の平均温度の制御を行う平均温度制御部１ａとを備えている。さらに、上流側発熱体１２ａおよび流体から熱の影響を受ける位置に配置された上流側温度検出部６ａと、下流側発熱体１２ｂおよび流体から熱の影響を受ける位置に配置された下流側温度検出部６ｂとに印加される電圧比が所定の値となるように上流側発熱体１２ａと下流側発熱体１２ｂに流れる加熱電流の差の制御を行う電圧比制御部８ａとを構成要素として有している。上流側温度検出部６ａと、下流側温度検出部６ｂとで温度検出部６を構成している。

平均温度制御部１ａは、流体の温度を計測する流体温度検出部２と、抵抗３、４、５と温度検出部６とオペアンプ７により構成されている。
流体温度検出部２と温度検出部６と発熱体１２は、例えば図２に示すように、流量センサ２０の、流体が流れる面部に、流体の流れの上流側から下流側に向かって、上流側温度検出部６ａ、上流側発熱体１２ａ、下流側発熱体１２ｂ、下流側温度検出部６ｂが順に配置され、流体の流れに対し、温度検出部６および発熱体１２の配置と平行に流体温度検出部２が配置されている。

流体温度検出部２と抵抗３と抵抗４の直列体は、流体温度検出部２側が定電圧源に接続され、抵抗４側が接地されるとともに、抵抗３と抵抗４との接続点がオペアンプ７の反転入力端子に接続されている。そして、温度検出部６と抵抗５の直列体は、温度検出部６側が定電圧源に接続され、抵抗５側が接地されるとともに、温度検出部６と抵抗５との接続点がオペアンプ７の非反転入力端子に接続されることで、第一のホイートストンブリッジが構成されている。

なお、流体温度検出部２と抵抗３と抵抗４との直列体の、流体温度検出部２側と、温度検出部６と抵抗５との直列体の、温度検出部６側は、ともに定電圧源に接続しているが、例えば図３に示すように、電圧変動を伴う電源に接続しても構わない。
この電源に関する事項は以降の実施の形態においても同様である。

また、流体温度検出部２と抵抗３と抵抗４との直列体の、流体温度検出部２側と、温度検出部６と抵抗５との直列体の、温度検出部６側は、必ずしも同電位である必要はなく、一方の電圧が他方の電圧に比例するような構成であっても構わない。例えば、図４に示すように、温度検出部６と抵抗５との直列体の両端電圧を、抵抗１４ａ、１４ｂにて分圧し、オペアンプ１４ｃによるバッファを介し、流体温度検出部２と抵抗３と抵抗４との直列体の、流体温度検出部２側に印加する構成とすることも可能である。このことは以降の実施の形態においても同様である。

オペアンプ７の出力端子は発熱体１２に接続され、発熱体１２の他端は接地されており、オペアンプ７の出力電圧により発熱体１２に加熱電流Ｉｈが供給される構成となっている。

電圧比制御部８ａは、分圧手段９とオペアンプ１０と抵抗１１により構成されている。
この電圧比制御部８ａにおいて、前述の上流側温度検出部６ａと下流側温度検出部６ｂとの接続点が、オペアンプ１０の反転入力端子に接続されている。そして、分圧手段９の入力端子９ａと９ｂには温度検出部６の両端電圧が印加され、分圧手段９において任意の分圧比（ａ１：ａ２）に分圧し、出力端子９ｃからの出力が、オペアンプ１０の非反転入力端子に接続され、第二のホイートストンブリッジが構成される。

分圧手段９は、例えば図５に示すように、オペアンプ９０ａ、９０ｂと抵抗９１ａ、９１ｂにより構成されるが、他の形態であっても構わない。このことは以降の実施の形態においても同様である。

オペアンプ１０の出力端子は抵抗１１を介し、上流側発熱体１２ａと下流側発熱体１２ｂとの接続点に接続されており、上流側発熱体１２ａと下流側発熱体１２ｂに供給される加熱電流の差ΔＩｈを制御する構成となっている。

次に平均温度制御部１ａの動作について説明する。
前述の平均温度制御部１ａにおいて構成される第一のホイートストンブリッジは、平衡状態にある時、抵抗３の抵抗値をＲ１、抵抗４の抵抗値をＲ２、抵抗５の抵抗値をＲ３、流体温度検出部２の抵抗値をＲａとおくと、温度検出部６の抵抗値Ｒｓは、次の式（１）で表される。

発熱体１２にはオペアンプ７の出力電圧が印加されることにより加熱電流Ｉｈが供給され、温度検出部６の抵抗値Ｒｓが式（１）で表される値となるように制御される。

従って、流体流量の変動により温度検出部６の温度が変化して、第一のホイートストンブリッジが不平衡状態になると、オペアンプ７が発熱体１２に流れる加熱電流Ｉｈを制御
して、元の平衡状態に復帰させるように作用する。
この結果、温度検出部６と流体温度検出部２との温度差が常に所定の値に保持される。このとき、流体温度検出部２により検出される温度よりも、温度検出部６において検出される上流側、下流側温度検出部６ａ、６ｂの平均温度の方が所定の温度だけ高い温度に保たれる。

ここで、発熱体１２の熱放散定数をＨ、発熱体１２の抵抗値をＲｈ、発熱体温度と流体温度との温度差をΔＴｈとおくと、加熱電流Ｉｈは、次の式（２）で表され、熱放散定数Ｈは流体流量に依存することから図６に示す関係となる。

次に、電圧比制御部８ａの動作について説明する。
前述の電圧比制御部８ａにおいて構成される第二のホイートストンブリッジは、平衡状態にある時、上流側温度検出部６ａの抵抗値Ｒｓｕと下流側温度検出部６ｂの抵抗値Ｒｓｄの比率は、次の式（３）で表され、分圧手段９の分圧比と等しくなる。

ここで、上流側発熱体１２ａと下流側発熱体１２ｂ、上流側温度検出部６ａと下流側温度検出部６ｂの特性にバラツキがなく同じ特性であった時、ａ１＝ａ２とすることで上流側温度検出部６ａと下流側温度検出部６ｂとの電圧比、つまり抵抗値の比が常に等しくなるよう、オペアンプ１０により加熱電流の差ΔＩｈが制御される。

つまり、上流側温度検出部６ａと下流側温度検出部６ｂは、流体温度検出部２によって検出された温度より、ともに所定の温度だけ高くなるよう、上流側発熱体１２ａと下流側発熱体１２ｂに加熱電流Ｉｈが供給される。

ここで、流体の流れる方向が順流の場合、上流側温度検出部６ａは流体により冷やされ、発熱体１２からの熱の影響が低減されるが、下流側温度検出部６ｂは発熱体１２により加熱された流体に触れることにより熱の影響が増加される。

従って、上流側温度検出部６ａと、下流側温度検出部６ｂとの温度差が０度となるように、オペアンプ７が制御を行うことにより、流体の流れる方向が順流の場合、上流側発熱体１２ａの温度、つまり抵抗値は、下流側発熱体１２ｂより高くなるよう制御され、流体の流れる方向が順流の場合は、前述と逆の動作を行い、図７に示す関係となる。

さらには、流体の流れる方向が順流の場合は、上流側発熱体１２ａに流れる加熱電流Ｉｈｕは、下流側発熱体１２ｂに流れる加熱電流Ｉｈｄより多くの電流が必要となり、流体の流れる方向が逆流の場合は、前述と逆の動作を行い、図８に示す関係となる。

ここで、平均温度制御部１ａによって制御される、発熱体１２に供給される加熱電流をＩｈとおき、電圧比制御部８ａによって制御される、抵抗１１に流れる電流をΔＩｈとおくと、上流側発熱体１２ａに流れる電流Ｉｈｕは、次の式（４）で、下流側発熱体１２ｂに流れる電流Ｉｈｄは、次の式（５）で表される。

抵抗１１の抵抗値をＲｍとおいた時、両端には、次の式（６）で表される電圧Ｖｍが発生するが、これは式（４）と式（５）との差、つまり上流側発熱体１２ａと下流側発熱体１２ｂに供給される加熱電流の差ΔＩｈに比例し、図９に示す関係が得られ、流体の流れる方向に応じて違った検出信号を得ることができ、流体が流れる方向が順流か逆流かを判定することが可能となる。

なお、実際には上流側発熱体１２ａと下流側発熱体１２ｂ、上流側温度検出部６ａと下流側温度検出部６ｂの特性にバラツキが生じるため、例えば流量０の時にＶｍ＝０となるよう、分圧手段９の分圧比率（ａ１：ａ２）を調整することで、検出信号を任意に補正できることはいうまでもない。

以上のように、本発明の実施の形態１によれば、簡単な回路で安価、且つ容易に、精度良く流体の流れる方向に応じた検出信号を得ることが可能となる。
また、上述の流量センサを、内燃機関の制御を行う内燃機関の制御システムの吸気系統に用いることで、従来よりも簡単な回路で安価、且つ容易に、精度良く流体の流れる方向に応じた検出信号を得ることが可能となる。

実施の形態２．
図１０は本発明の実施の形態２による流量センサの流量検出回路構成を示した図である。
図１０において、図１と同一符号は同一、または相当部分を示すため、その説明を省略する。

上述の実施の形態１では、平均温度制御部１ａにおける制御において、上流側、下流側温度検出部６ａ、６ｂの平均温度を、流体温度検出部２により検出される流体の温度よりも、所定の温度だけ高い温度に保つように、上流側、下流側発熱体１２ａ、１２ｂの各々に流れる加熱電流Ｉｈｕ、Ｉｈｄを制御する例を示したが、この実施の形態２の平均温度制御部（第一の制御部）１ｂでは、上流側、下流側温度検出部６ａ、６ｂの平均温度に代えて、上流側、下流側発熱体１２ａ、１２ｂの平均温度を用いた制御を行うことを特徴としている。

図１０に示される流量検出回路は、図１に示した流量検出回路と比較すると、平均温度制御部１ｂが、流体温度検出部２と抵抗３、４、５と、オペアンプ７により構成されており、温度検出部６を含んでいない点で相違している。

まず、実施の形態１との相違点である平均温度制御部１ｂの構成について説明する。
流体温度検出部２と抵抗３と抵抗４の直列体は、流体温度検出部２側がオペアンプ７の出力端子に接続され、抵抗４側が接地されるとともに、抵抗３と抵抗４との接続点がオペアンプ７の反転入力端子に接続されており、抵抗５の一方端は接地され、他方端はオペアンプ７の非反転入力端子に接続されている。

発熱体１２の一方端はオペアンプ７の出力端子と流体温度検出部２の接続点に接続され、
他方端は抵抗５とオペアンプ７の非反転入力端子の接続点に接続される。この平均温度制御部１ｂと発熱体１２によって第一のホイートストンブリッジが構成されている。

電圧比制御部８ａは、図１における実施の形態１と同様の構成であるため、説明を省略する。

次に平均温度制御部１ｂの動作について説明する。
前述の平均温度制御部１ｂによって構成される第一のホイートストンブリッジは平衡状態にある時、発熱体１２の抵抗値Ｒｈは、次の式（７）で表される。

発熱体１２にはオペアンプ７の出力電圧が印加されることにより加熱電流Ｉｈが供給され、発熱体１２の抵抗値Ｒｈが、上述の式（７）で表される値になるようにその温度が制御される。

従って、流体流量の変動により発熱体１２の温度が変化して、第一のホイートストンブリッジが不平衡状態になると、オペアンプ７が発熱体１２に流れる加熱電流Ｉｈを制御して、元の平衡状態に復帰させるように作用する。
この結果、発熱体１２と流体温度検出部２との温度差が常に所定の値に保持され、加熱電流Ｉｈは、上述の式（２）で表され、図６に示す関係となる。

電圧比制御部８ａは実施の形態１と同様の動作を行い、上流側温度検出部６ａの抵抗値Ｒｓｕと下流側温度検出部６ｂの抵抗値Ｒｓｄの比率は、次の式（８）で表され、分圧手段９の分圧比と等しくなる。

ここで、上流側発熱体１２ａと下流側発熱体１２ｂ、上流側温度検出部６ａと下流側温度検出部６ｂの特性にバラツキがなく同じ特性であった時、ａ１＝ａ２とすることで上流側温度検出部６ａと下流側温度検出部６ｂの温度は常に等しくなるよう、オペアンプ１０により加熱電流の差ΔＩｈが制御され、上流側発熱体１２ａに流れる電流Ｉｈｕ、及び下流側発熱体１２ｂに流れる電流Ｉｈｄは、実施の形態１と同様に、それぞれ上述の式（４）（５）で表される値となる。

つまり、平均温度制御部１ｂと、電圧比制御部８ａの動作により、上流側温度検出部６ａと下流側温度検出部６ｂは、流体温度検出部２によって検出された温度より、ともに所定の温度だけ高くなるよう、上流側発熱体１２ａと下流側発熱体１２ｂに加熱電流Ｉｈが
供給される。

この時、抵抗１１の両端には、上述の式（６）で表される電圧が発生するが、これは式（４）と式（５）との差、つまり上流側発熱体１２ａと下流側発熱体１２ｂに供給される加熱電流の差ΔＩｈに比例し、図９に示す関係が得られ、流体の流れる方向により異なる検出信号を得ることができ、流体が流れる方向が順流か逆流かを判定することが可能となる。

以上のように、本発明の実施の形態２によれば、簡単な回路で安価、且つ容易に、精度良く流体の流れる方向に応じた検出信号を得ることが可能となる。

実施の形態３．
図１１は本発明の実施の形態３による熱式流量センサの流量検出回路構成を示した図である。図１１において、図１と同一符号は同一、または相当部分を示し、平均温度制御部１ａは、図１における実施の形態１と同様であるため、その説明を省略する。

上述の実施の形態１では、電圧比制御部８ａにおける制御において、上流側、下流側温度検出部６ａ、６ｂの温度差、或いは、上流側、下流側温度検出部６ａ、６ｂの電圧の比が所定の値となるように、上流側、下流側発熱体１２ａ、１２ｂの各々に流れる加熱電流Ｉｈｕ、Ｉｈｄを制御する例を示したが、この実施の形態３の電圧比制御部（第二の制御部）８ｂでは、上流側、下流側温度検出部６ａ、６ｂの温度差、或いは電圧比に代えて、上流側、下流側発熱体１２ａ、１２ｂの温度差、或いは、電圧の比を用いた制御を行うことを特徴としている。

図１１に示される流量検出回路は、図１に示される流量検出回路と比較すると、電圧比制御部８ｂへの入力信号が、上流側発熱体１２ａと下流側発熱体１２ｂとの接続点と、発熱体１２への印加電圧とである点で相違している。

電圧比制御部８ｂは実施の形態１と同様の動作を行い、上流側発熱体１２ａに印加される電圧Ｖｈｕと、下流側発熱体１２ｂに印加される電圧Ｖｈｄとの比率は、次の式（９）で表され、分圧手段９の分圧比と等しくなる。なお、上流側発熱体１２ａの抵抗値をＲｈｕ、下流側発熱体の抵抗値をＲｈｄとする。

上流側発熱体１２ａと下流側発熱体１２ｂの特性にバラツキがなく同じ特性であり、ａ１＝ａ２と設定した時、流体の流れる方向が順流の場合、上流側発熱体１２ａは流体により冷やされ、発熱体１２からの熱の影響が低減されるが、下流側発熱体１２ｂは上流側発熱体１２ａにより加熱された流体に触れることにより熱の影響が増加される。
ここで、上流側発熱体１２ａと下流側発熱体１２ｂとの接続点の電圧は、発熱体１２全体に印加される電圧の１／２以上になろうとするが、オペアンプ１０の出力が低下することにより、上流側発熱体１２ａと下流側発熱体１２ｂに流れる加熱電流の差ΔＩｈが正の値となり、１／２に制御される。

流体の流れる方向が逆流の場合は、前述と逆の動作を行い、上流側発熱体１２ａと下流側発熱体１２ｂに流れる加熱電流の差ΔＩｈは負の値となる。

この時、抵抗１１の両端には式（６）で表される電圧Ｖｍが発生するが、これは式（４）と式（５）との差、つまり上流側発熱体１２ａと下流側発熱体１２ｂに供給される加熱電流の差ΔＩｈに比例し、図９に示す関係が得られ、流体の流れる方向に応じた検出信号を得ることができる。

つまり、本実施の形態３によっても、流体の流れる方向に応じて違った検出信号を得ることができ、流体が流れる方向が順流か逆流かを判定することが可能となる。

以上のように、本発明の実施の形態３によれば、簡単な回路で安価、且つ容易に、精度良く流体の流れる方向により異なる検出信号を得ることが可能となる。

実施の形態４．
図１２は本発明の実施の形態４による熱式流量センサの流量検出回路構成を示した図である。図１２において、図１１と同一符号は同一、または相当部分を示すため、その説明を省略する。

上述の実施の形態１では、平均温度制御部１ａにおける制御において、上流側、下流側温度検出部６ａ、６ｂの平均温度を、流体温度検出部２により検出される流体の温度よりも、所定の温度だけ高い温度に保つように、上流側、下流側発熱体１２ａ、１２ｂの各々に流れる加熱電流Ｉｈｕ、Ｉｈｄを制御する例を示したが、この実施の形態４では、上述の実施の形態２と同様に、平均温度制御部（第一の制御部）１ｂでは、上流側、下流側温度検出部６ａ、６ｂの平均温度に代えて、上流側、下流側発熱体１２ａ、１２ｂの平均温度を用いた制御を行うことを特徴としている。
さらに、上述の実施の形態１では、電圧比制御部８ａにおける制御において、上流側、下流側温度検出部６ａ、６ｂの温度差、或いは、上流側、下流側温度検出部６ａ、６ｂの電圧の比が所定の値となるように、上流側、下流側発熱体１２ａ、１２ｂの各々に流れる加熱電流Ｉｈｕ、Ｉｈｄを制御する例を示したが、この実施の形態４では、上述の実施の形態３と同様に、電圧比制御部（第二の制御部）８ｂでは、上流側、下流側温度検出部６ａ、６ｂの温度差、或いは電圧比に代えて、上流側、下流側発熱体１２ａ、１２ｂの温度差、或いは、電圧の比を用いた制御を行うことを特徴としている。

図１２に示される流量検出回路は、平均温度制御部１ｂと電圧比制御部８ｂと発熱体１２によって構成されるが、平均温度制御部１ｂは、図１０における実施の形態２と同様であり、電圧比制御部８ｂは、図１１における実施の形態３と同様であるため、その説明を省略する。

つまり、本実施の形態４においても、上流側発熱体１２ａと下流側発熱体１２ｂとに供給される加熱電流の差ΔＩｈを検出することが可能であり、流体の流れる方向に応じて違った検出信号を得ることができ、流体が流れる方向が順流か逆流かを判定することが可能となる。

以上のように、本発明の実施の形態４によれば、簡単な回路で安価、且つ容易に、精度良く流体の流れる方向に応じた検出信号を得ることが可能となる。

実施の形態５．
次に、本発明の実施の形態５の流量センサについて、図１３から図１５を用いて説明する。図１３は本発明の実施の形態５による熱式流量センサの流量検出回路構成を示した図である。図１３において、図１と同一符号は同一、または相当部分を示すため、その説明を省略する。

上述の実施の形態１では、流体が流れる方向の判定を、電圧比制御部８ａの制御によって得られる加熱電流の差ΔＩｈを検出信号として行っていたが、この実施の形態５では、電圧比制御部８ｃの制御によって得る、上流側発熱体１２ａと下流側発熱体１２ｂとに印加される電圧の比を検出信号として行う例について示す。

図１３に示される流量検出回路は、図１に示される流量検出回路と比較すると、抵抗１１が削除され短絡されている点と、上流側発熱体１２ａと下流側発熱体１２ｂの接続位置が逆である点と、上流側温度検出部６ａと下流側温度検出部６ｂの接続位置が逆である点で相違する。

平均温度制御部１ｃは、実施の形態１と同様に温度検出部６と流体温度検出部２との温度差が常に所定の値となるよう、オペアンプ７により発熱体１２に加熱電流の供給を行う。

また、上流側発熱体１２ａと下流側発熱体１２ｂ、上流側温度検出部６ａと下流側温度検出部６ｂの特性にバラツキがなく同じ特性であった時、ａ１＝ａ２とすることで、電圧比制御部８ｃは、実施の形態１と同様に上流側温度検出部６ａと下流側温度検出部６ｂの温度が常に等しくなるよう、オペアンプ１０により加熱電流の制御が行われる。

ここで、流体の流れる方向が順流の場合、上流側温度検出部６ａは流体により冷やされ、発熱体１２からの熱の影響が低減されるが、下流側温度検出部６ｂは発熱体１２により加熱された流体に触れることにより熱の影響が増加される。

従って、上流側温度検出部６ａと、下流側温度検出部６ｂとの温度差が０度となるように、オペアンプ７が制御を行うことにより、流体の流れる方向が順流の場合、上流側発熱体１２ａの温度、つまり抵抗値は、下流側発熱体１２ｂの温度より高くなるよう制御され、図７に示す関係となる。
さらには、この時の上流側発熱体１２ａに流れる加熱電流Ｉｈｕは下流側発熱体１２ｂに流れる加熱電流Ｉｈｄより多くの電流が必要となり、図８に示す関係となる。

ここで、発熱体１２への印加電圧をＶＲ、上流側発熱体１２ａへの印加電圧をＶｈｕ、下流側発熱体１２ｂへの印加電圧をＶｈｄとおくと、それぞれ次の式（１０）、図１４で表される関係となる。

さらに、上流側発熱体１２ａへの印加電圧Ｖｈｕと、発熱体１２への印加電圧ＶＲとの電圧比は、図１５に示すような関係が得られる。

上流側発熱体１２ａへの印加電圧Ｖｈｕと、発熱体１２への印加電圧ＶＲの電圧比の算出は、例えばＡ／Ｄ変換器１３により行われる。
Ａ／Ｄ変換器１３は、発熱体１２への印加電圧ＶＲを基準電圧とし、入力信号である上流側発熱体１２ａへの印加電圧ＶｈｕのＡ／Ｄ変換を行う。
Ａ／Ｄ変換器１３の分解能が（ｎ）ｂｉｔであった場合、Ａ／Ｄ変換器１３により量子化されたデジタルデータは、次の式（１１）にて表され、流量信号として検出が可能とな
る。

本実施の形態５では、ＶｈｕとＶＲの電圧比を検出信号としているが、ＶｈｕとＶｈｄとの電圧比であっても構わない。

以上のように、本発明の実施の形態５によれば、簡単な回路で安価、且つ容易に、精度良く流体の流れる方向により異なる検出信号を得ることが可能となる。

また、本発明は、その発明の範囲内において、各実施の形態を自由に組み合わせたり、各実施の形態を適宜、変形、省略することが可能である。

１ａ、１ｂ、１ｃ 平均温度制御部、２ 流体温度検出部、
３、４、５、１１、１４ａ、１４ｂ、９１ａ、９１ｂ 抵抗、６ 温度検出部、
６ａ 上流側温度検出部、６ｂ 下流側温度検出部、
７、１０、１４ｃ、９０ａ、９０ｂ オペアンプ、８ａ、８ｂ、８ｃ 電圧比制御部、
９ 分圧手段、９ａ、９ｂ 入力端子、９ｃ 出力端子、１２ 発熱体、
１２ａ 上流側発熱体、１２ｂ 下流側発熱体、１３ Ａ／Ｄ変換器、２０ 流量センサ。

Claims (9)

1. 流体の温度を検出する流体温度検出部、
   上記流体の流れる方向に対して上流、下流に、互いに熱の干渉を受けるよう配置された第一、第二の発熱体、
   上記第一、第二の発熱体の平均温度を、上記流体温度検出部により検出される上記流体の温度よりも、所定の温度だけ高い温度に保つように、上記第一、第二の発熱体の各々に流れる加熱電流を制御する第一の制御部、
   上記第一、第二の発熱体の温度差、或いは、上記第一、第二の発熱体に印加される電圧の比が所定の値となるように、上記第一、第二の発熱体の各々に流れる加熱電流を制御する第二の制御部を備え、
   上記第二の制御部によって上記流体の流れる方向に応じた検出信号を得ることを特徴とする流量センサ。
2. 上記第一の発熱体および上記流体から熱の影響を受ける位置に配置された第一の温度検出部、上記第二の発熱体および上記流体から熱の影響を受ける位置に配置された第二の温度検出部を備え、上記平均温度を、上記第一、第二の温度検出部の温度から得ることを特徴とする請求項１記載の流量センサ。
3. 上記第一の発熱体および上記流体から熱の影響を受ける位置に配置された第一の温度検出部、上記第二の発熱体および上記流体から熱の影響を受ける位置に配置された第二の温度検出部を備え、上記温度差を、上記第一、第二の温度検出部の温度差によって得ること、或いは、上記電圧の比を、上記第一、第二の温度検出部に印加される電圧の比によって得ることを特徴とする請求項１または請求項２記載の流量センサ。
4. 上記第二の制御部は、上記第一、第二の発熱体の温度差が０度となるように、上記第一、第二の発熱体の各々に流れる加熱電流を制御することを特徴とする請求項１記載の流量センサ。
5. 上記第二の制御部は、上記第一、第二の温度検出部の温度差が０度となるように、上記第一、第二の発熱体の各々に流れる加熱電流を制御することを特徴とする請求項３記載の流量センサ。
6. 上記第一、第二の発熱体は、電気的に直列接続されたことを特徴とする請求項１から請求項５記載のいずれか一項記載の流量センサ。
7. 上記検出信号は、上記第二の制御部によって制御された電流であることを特徴とする請求項１から請求項６記載のいずれか一項記載の流量センサ。
8. 上記検出信号は、上記第二の制御部によって制御された上記第一の発熱体と上記第二の発熱体とに印加される電圧の比であることを特徴とする請求項１から請求項６記載のいずれか一項記載の流量センサ。
9. 内燃機関に設けられ、上記内燃機関の制御を行う内燃機関の制御システムにおいて、上記内燃機関の吸気系統に設けられた請求項１から８のいずれか一項記載の流量センサによって、上記吸気系統への吸入空気の流れが順流か逆流かを判定することを特徴とする内燃機関の制御システム。

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