JP5581859B2 - 弾性波フィルタ - Google Patents

Description

本発明は、弾性波フィルタ例えば（ＳＡＷ：Ｓｕｒｆａｃｅ Ａｃｏｕｓｔｉｃ Ｗａｖｅ）フィルタに関する。

ＳＡＷデバイスは、弾性表面波を利用したものであり、圧電基板上にＩＤＴ（インターディジタルトランスデューサ）と呼ばれる電極を入力側電極及び出力側電極として弾性波の伝搬方向に沿って配置し、これらの２つの電極間にて電気信号と弾性波との間の電気−機械相互変換を行って周波数選択（帯域フィルタ）特性を持たせたものである。ＳＡＷデバイスの一つであるＳＡＷフィルタは、高機能化、小型化が進められている各種通信機器例えば携帯電話等のパンドパスフィルタとして使用されており、近年のワイヤレスデータ通信の高速化、大容量化に伴い、通過周波数帯域の広帯域化が求められている。

上記のように通過周波数帯域を広帯域化する手法としては、例えば以下のフィルタを用いる方法が知られている。このフィルタは、図２４に示すように、一方側（手前側）のバスバー１０１から他方側（奥側）のバスバー１０１に向かって電極指１０２及び反射電極１０７の幅寸法及び間隔寸法が広がるように配置されたテーパー型ＩＤＴ電極１０３を入力側ＩＤＴ電極１０４及び出力側ＩＤＴ電極１０５として弾性波の伝搬方向に沿って圧電基板１００上に配置し、これらの電極１０４、１０５の間に例えばシールド電極１０６を配置した構成となっている。図２４中１０８は、電極１０４、１０５を介して圧電基板１００の端部領域に伝搬してくる不要な弾性波を吸収するための吸収体である。

このフィルタでは、弾性波の伝搬方向においては、電極指１０２のバスバー１０１への接続角度（後述のテーパー角度θ）が直角に近づくように、つまり電極指１０２の本数があまり多くならないようにするために、また弾性波の伝搬方向に対して直交方向には、１対のバスバー１０１、１０１間の離間距離を稼いで開口長を長く取るために、圧電基板１００の長手方向において、電極１０４、１０５、シールド電極１０６及び吸収体１０８間の領域には、電極などが形成されていないブランク領域１１０が設けられている。

このフィルタにおいて、図２４中λは、伝搬する弾性波の波長に対応するように電極指１０２及び反射電極１０７の幅寸法及び間隔寸法によって所定の間隔で繰り返される周期単位であり、弾性波の伝搬方向に沿って一定の周期となるように、また一方側のバスバー１０１から他方側のバスバー１０１に向かって波長の短いトラック（伝搬路）の弾性波から波長の長いトラックの弾性波まで伝搬するように、つまり通過周波数帯域が広くなるように構成されている。そのため、このフィルタでは、各電極１０４、１０５における端部（弾性波の伝搬方向両側）において電極指１０２がバスバー１０１に対して傾斜して接続されているので、つまり当該端部における電極指１０２とバスバー１０１とのなす角度であるテーパー角度θが９０°よりも小さくなっているので、例えば入力側ＩＤＴ電極１０４から弾性波が出力される時に弾性波の回折が起こることになる。

このフィルタにおいて、通過周波数帯域を更に広くする手法としては、例えば低域側周波数と高域側周波数との間における周期単位λの差を大きく取る方法が挙げられる。しかし、その場合には上記のテーパー角度θが更に小さくなってしまう。そのため、弾性波が回折により例えばバスバー１０１、１０１間の領域から外れた領域にまで伝搬すると、エネルギー損失が生じて通過周波数帯域において良好な特性が得られなくなってしまう。

また、このようなフィルタにおいて通過周波数帯域を広くする手法としては、１対のバスバー１０１、１０１から交互に伸び出す電極指１０２の交差幅（開口長）Ｄを長く取る方法も挙げられる。しかし、その場合には電極指１０２の長さ方向（開口長方向）における圧電基板１００の寸法を大きく形成する必要があるので、チップサイズが大型化してしまう。

特許文献１、２には、共振子型のフィルタにおいて、２つのフィルタを接続する技術が記載されているが、上記のテーパー型のフィルタについては記載されていない。また、特許文献３には、テーパー型のフィルタにおいて、２つのフィルタを弾性波の伝搬方向に並べる技術が記載されているが、通過周波数帯域の広帯域化については検討されていない。

特開平６−３３４４７６（図１） 特開２００４−３４３６３７（図１） 特開２００１−２３７６６７（図３）

本発明はかかる事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、圧電基板上に入力側ＩＤＴ電極及び出力側ＩＤＴ電極をテーパー型に配置した弾性波フィルタにおいて、弾性波の回折損及び圧電基板の開口長方向の寸法を小さく抑えつつ、広い通過周波数帯域を持つ弾性波フィルタを提供することにある。

本発明の弾性波フィルタは、
テーパー型ＩＤＴ電極を、入力側ＩＤＴ電極及び出力側ＩＤＴ電極として弾性波の伝搬方向に互いに離間させて圧電基板上に配置してフィルタ部を構成することと、
前記テーパー型ＩＤＴ電極は、弾性波の伝搬方向に対して直交方向に互いに離間して形成された１対のバスバーと、これら１対のバスバーの各々から互いに交互に伸び出して櫛歯状に配置された電極指群と、を備え、伝搬する弾性波の波長に対応する、前記電極指の幅寸法及び前記電極指の離間寸法からなる周期単位が一方側のバスバーから他方側のバスバーに向かうにつれて広がるように形成されたことと、
前記フィルタ部は、前記入力側ＩＤＴ電極と前記出力側ＩＤＴ電極とにおいて互いに等しい長さの周期単位が弾性波の伝搬方向に離間するように配置されたことと、
前記フィルタ部は、前記入力側ＩＤＴ電極及び前記出力側ＩＤＴ電極における一方側のバスバー同士及び他方側のバスバー同士が夫々弾性波の伝搬方向に沿って一列に並ぶように配置されると共に、弾性波の伝搬方向に沿って複数並べられたことと、
前記フィルタ部の各入力側ＩＤＴ電極における一方側のバスバーまたは他方側のバスバーに共通に接続された入力ポートを備えたことと、
前記フィルタ部の各出力側ＩＤＴ電極における一方側のバスバーまたは他方側のバスバーに共通に接続された出力ポートを備えたことと、
前記周期単位は、前記複数のフィルタ部において順番に小さくなるように、一のフィルタ部における一方側のバスバーに近接する領域と、当該一のフィルタ部の次に周期単位が小さいフィルタ部における他方側のバスバーに近接する領域と、において等しくなるように設定されていることと、を特徴とする。
複数の前記フィルタ部のうち一のフィルタ部は、他のフィルタ部における周期単位と同じ長さの周期単位が弾性波の伝搬方向に沿って一列に並ばないように、当該他のフィルタ部に対して、弾性波の伝搬方向に離間した位置であって且つ弾性波の伝搬方向に直交する方向に位置ずれした位置に配置されていても良い。

前記電極指の配列パターンは、各々のフィルタ部間において等しくなるように設定されていることが好ましい。
前記電極指の長さ方向に沿って前記１対のバスバーのいずれか一方から伸びる反射電極を備え、
前記反射電極の配列パターンは、各々のフィルタ部間において等しくなるように設定されていることが好ましい。

前記複数のフィルタ部のうち、通過周波数帯域において最も低域側の周波数に対応する周期単位が形成されたフィルタ部を低域側フィルタ、通過周波数帯域において最も高域側に対応する周期単位が形成されたフィルタ部を高域側フィルタとすると、
前記低域側フィルタは、当該低域側フィルタの通過周波数帯域外において高域側よりも低域側の減衰量が大きくなるように前記電極指の配列パターンが設定され、
前記高域側フィルタは、当該高域側フィルタの通過周波数帯域外において低域側よりも高域側の減衰量が大きくなるように前記電極指の配列パターンが設定されていることが好ましい。
前記電極指の長さ方向に沿って前記１対のバスバーのいずれか一方から伸びる反射電極を備え、
前記複数のフィルタ部のうち、通過周波数帯域において最も低域側に対応する周期単位が形成されたフィルタ部を低域側フィルタ、通過周波数帯域において最も高域側に対応する周期単位が形成されたフィルタ部を高域側フィルタとすると、
前記低域側フィルタは、当該低域側フィルタの通過周波数帯域外において高域側よりも低域側の減衰量が大きくなるように前記反射電極の配列パターンが設定され、
前記高域側フィルタは、当該高域側フィルタの通過周波数帯域外において低域側よりも高域側の減衰量が大きくなるように前記反射電極の配列パターンが設定されていることが好ましい。
前記各フィルタ部間には、弾性波を吸収するための吸収体が配置されていても良い。

前記複数のフィルタ部のうち一のフィルタ部の入力側ＩＤＴ電極及び出力側ＩＤＴ電極の間には、当該一のフィルタ部とは別のフィルタ部の入力側ＩＤＴ電極及び出力側ＩＤＴ電極の少なくとも一方が介設されていても良いし、その場合には前記フィルタ部は２つ設けられ、これらのフィルタ部の一方側のフィルタ部のテーパー型ＩＤＴ電極と他方側のフィルタ部のテーパー型ＩＤＴ電極とは、弾性波の伝搬方向に沿って互いに交互に配置されていることが好ましい。
一のフィルタ部の入力側ＩＤＴ電極及び出力側ＩＤＴ電極の間にテーパー型ＩＤＴ電極が介設された別のフィルタ部における一方側のバスバー及び他方側のバスバーは、当該一のフィルタ部の他方側のバスバー及び一方側のバスバーに対して弾性波の伝搬方向に夫々離間して設けられ、
これらのフィルタ部は、互いに等しい長さの周期単位の形成された領域同士が弾性波の伝搬方向に直交する方向に離間するように、当該直交する方向に互いに位置ずれした状態で各々配置されていても良い。

本発明は、電極指の幅寸法及び間隔寸法が一方側のバスバーから他方側のバスバーに向かって広がるように形成されたテーパー型の入力側ＩＤＴ電極及び出力側ＩＤＴ電極からなるフィルタ部を弾性波の伝搬方向に沿って圧電基板上に複数配置して、フィルタ部の各入力側ＩＤＴ電極における一方側のバスバーまたは他方側のバスバーに入力ポートを共通に接続し、またフィルタ部の各出力側ＩＤＴ電極における一方側のバスバーまたは他方側のバスバーに出力ポートを共通に接続すると共に、伝搬する弾性波の波長に対応する、前記電極指の幅寸法及び前記電極指の離間寸法からなる周期単位を、前記複数のフィルタ部において順番に小さくなるように、前記複数のフィルタ部のうち一のフィルタ部における一方側のバスバーに近接する領域と、当該一のフィルタ部の次に周期単位が小さいフィルタ部における他方側のバスバーに近接する領域と、において等しくなるように設定している。そのため、いわば開口長の長い１組のテーパー型の入力側ＩＤＴ電極及び出力側ＩＤＴ電極を複数のフィルタ部に分割して弾性波の伝搬方向に並べて、これらのフィルタ部を並列に接続することによって元の開口長の長いＩＤＴ電極の組とほぼ同程度の特性を得ているので、各々のＩＤＴ電極における端部の電極指とバスバーとの間のテーパー角度を直角に近づけて回折損を小さく抑えながら、また開口長方向における圧電基板の寸法を小さく抑えながら、広い通過周波数帯域の弾性波フィルタを得ることができる。

本発明の第１の実施の形態に係る弾性波フィルタの一例を示す平面図である。 上述の弾性波フィルタの一部を拡大した平面図である。 上記のフィルタを設計する手法を模式的に示す平面図である。 上記の弾性波フィルタの他の例を示す平面図である。 上記の弾性波フィルタの他の例を示す平面図である。 上記の弾性波フィルタの他の例を示す平面図である。 上記の弾性波フィルタの他の例を示す平面図である。 上記の弾性波フィルタの他の例を示す平面図である。 本発明の第２の実施の形態の弾性波フィルタの一例を示す平面図である。 本発明の実施例で得られる減衰特性を示す特性図である。 本発明の実施例で得られる減衰特性を示す特性図である。 本発明の実施例で得られる減衰特性を示す特性図である。 本発明の実施例で得られる減衰特性を示す特性図である。 上記の弾性波フィルタの他の例を示す平面図である。 上記の弾性波フィルタの一部を拡大して示す平面図である。 上記の弾性波フィルタの他の例を示す平面図である。 上記の弾性波フィルタの他の例を示す平面図である。 上記の弾性波フィルタの他の例を示す平面図である。 上記の弾性波フィルタの他の例を示す平面図である。 上記の弾性波フィルタの他の例を示す平面図である。 上記の弾性波フィルタの他の例を示す平面図である。 上記の弾性波フィルタの他の例を示す平面図である。 上記の弾性波フィルタの他の例を示す平面図である。 従来の弾性波フィルタの構成を示す概略図である。

本発明の弾性波フィルタの第１の実施の形態について、図１〜図３を参照して説明する。この弾性波フィルタは、弾性波の伝搬方向に沿って間隔をおいて設けられたテーパー型の入力側ＩＤＴ電極１２及び出力側ＩＤＴ電極１３を備えており、例えば水晶などの圧電基板１１上において、これらのＩＤＴ電極１２、１３からなるフィルタ部３０が弾性波の伝搬方向に沿って複数箇所例えば２箇所に配置されている。ここで、図１中左側のフィルタ部３０を第１フィルタ部３１、右側のフィルタ部３０を第２フィルタ部３２とすると、第１フィルタ部３１においては左側に出力側ＩＤＴ電極１３が配置され、右側に入力側ＩＤＴ電極１２が配置されている。また、第２フィルタ部３２においては、左側に入力側ＩＤＴ電極１２が配置され、右側に出力側ＩＤＴ電極１３が配置されている。図１中２６は、各フィルタ部３０を介して圧電基板１１の端部領域に伝搬する不要な弾性波を吸収するための吸収体（ダンパー）である。

次に、第１フィルタ部３１について説明する。この第１フィルタ部３１における入力側ＩＤＴ電極１２及び出力側ＩＤＴ電極１３を夫々第１入力側ＩＤＴ電極１２ａ、第１出力側ＩＤＴ電極１３ａとすると、第１入力側ＩＤＴ電極１２ａは、互いに弾性波の伝搬方向に沿って平行となるように夫々手前側及び奥側に形成された一方側のバスバー１４ａ及び他方側のバスバー１４ｂと、これらのバスバー１４ａ、１４ｂの各々から互いに交互に櫛歯状となるように伸び出す電極指１５及び反射電極１６と、を備えている。他方側のバスバー１４ｂは入力ポート２１に接続されており、一方側のバスバー１４ａは接地されている。尚、図１において、各電極１２、１３及び吸収体２６については、圧電基板１１の領域と区別しやすいように、ハッチングを付してある。以下の図も同様である。

上記の電極指１５及び反射電極１６は、各々の幅寸法及び間隔寸法が一方側のバスバー１４ａから他方側のバスバー１４ｂに向かうにつれて広がるように形成されており、図２にも示すように、バスバー１４ａ、１４ｂの各々から互いに隣り合うように形成された一対の電極指１５、１５と、これらの電極指１５、１５に隣接するようにバスバー１４ａから伸びる１つの反射電極１６と、が１組になって所定の周期単位λで弾性波の伝搬方向に沿って周期的に繰り返されるように配置されている。この例では、電極指１５及び反射電極１６の幅寸法は夫々λ／８及び３／８λとなっており、また電極指１５及び反射電極１６の離間寸法は各々λ／８となっている。この第１入力側ＩＤＴ電極１２ａの端部（弾性波の伝搬方向両側）における電極指１５とバスバー１４ａとのなす角度であるテーパー角度θ（θ≦９０°）は、９０°に近い角度例えば８５°〜９０°となっている。尚、図２では、圧電基板１１の一部を切り欠いて描画している。

このフィルタでは、上記の周期単位λと同じ長さの波長の弾性波が伝搬することとなる。従って、弾性波の伝搬路であるトラックをＴｒとすると、弾性波の伝搬方向に対して直交方向には、手前側のバスバー１４ａから奥側のバスバー１４ｂにかけて、周期単位λが狭い（周波数の高い）Ｔｒ１から広い（周波数の低い）Ｔｒ２まで形成されていることになる。尚、既述の図１では、電極指１５及び反射電極１６の幅寸法については、図示の簡略化のため一定として描画してある。

第１フィルタ部３１における出力側ＩＤＴ電極１３（第１出力側ＩＤＴ電極１３ａ）は、上記の第１入力側ＩＤＴ電極１２ａと同様に構成されており、既述の図１に示すように、一方側のバスバー１４ｃ及び他方側のバスバー１４ｄを備えている。一方側のバスバー１４ｃは図１中手前側に配置されて出力ポート２２に接続され、他方側のバスバー１４ｄは奥側に配置されて接地されている。また、第１出力側ＩＤＴ電極１３ａは、第１入力側ＩＤＴ電極１２ａと同様に、弾性波の伝搬方向に沿って周期単位λが一定となり、また一方側のバスバー１４ｃから他方側のバスバー１４ｄに向かって周期単位λがＴｒ１からＴｒ２まで広がるように配置された電極指１５及び反射電極１６を備えている。第１出力側テーパー型ＩＤＴ電極１３ａでは、反射電極１６は他方側のバスバー１４ｄに接続されている。

続いて、第２フィルタ部３２について説明すると、この第２フィルタ部３２は、上記の第１フィルタ部３１とほぼ同様に構成されている。第２フィルタ部３２における入力側ＩＤＴ電極１２及び出力側ＩＤＴ電極１３を夫々第２入力側ＩＤＴ電極１２ｂ及び第２出力側ＩＤＴ電極１３ｂとすると、第２入力側ＩＤＴ電極１２ｂ及び第２出力側ＩＤＴ電極１３ｂは、夫々図１中手前側に配置された一方側のバスバー１４ａ、１４ｃ及び奥側に配置された他方側のバスバー１４ｂ、１４ｄと、これらのバスバー１４ａ（１４ｃ）、１４ｂ（１４ｄ）間において櫛歯状に互いに交互に伸び出す電極指１５及び反射電極１６と、を備えている。

第２入力側ＩＤＴ電極１２ｂの奥側のバスバー１４ｂは入力ポート２１に接続され、手前側のバスバー１４ａは接地されている。また、第２出力側ＩＤＴ電極１３ｂの手前側のバスバー１４ｃは出力ポート２２に接続され、奥側のバスバー１４ｄは接地されている。即ち、入力ポート２１及び出力ポート２２から見ると、第１入力側ＩＤＴ電極１２ａ及び第２入力側ＩＤＴ電極１２ｂと、第１出力側ＩＤＴ電極１３ａ及び第２出力側ＩＤＴ電極１３ｂと、は夫々並列に接続されていることになる。

また、第２入力側ＩＤＴ電極１２ｂ及び第２出力側ＩＤＴ電極１３ｂにおいて、第２入力側ＩＤＴ電極１２ｂから第２出力側ＩＤＴ電極１３ｂを見た時及び第２出力側ＩＤＴ電極１３ｂから第２入力側ＩＤＴ電極１２ｂを見た時の電極指１５及び反射電極１６の各々の配列パターン（配列順序）は、第１フィルタ部３１において、第１入力側ＩＤＴ電極１２ａから第１出力側ＩＤＴ電極１３ａを見た時及び第１出力側ＩＤＴ電極１３ａから第１入力側ＩＤＴ電極１２ａを見た時の配列パターンと夫々等しくなるように各電極指１５及び反射電極１６が配列されている。従って、第２フィルタ部３２におけるテーパー角度θは、第１フィルタ部３１のテーパー角度θと同様に設定されている。

また、第２入力側ＩＤＴ電極１２ｂ及び第２出力側ＩＤＴ電極１３ｂでは、電極指１５及び反射電極１６は、手前側のバスバー１４ａ（１４ｃ）から奥側のバスバー１４ｂ（１４ｄ）に向かうにつれて、周期単位λが広がるように形成されている。ここで、第２フィルタ部３２における手前側のバスバー１４ａ、１４ｃに近接する領域のトラックをＴｒ３、奥側のバスバー１４ｂ、１４ｄに近接する領域のトラックをＴｒ４とすると、このトラックＴｒ３は、既述の図２に示すように、第１フィルタ部３１の奥側のバスバー１４ａに近接する領域のトラックＴｒ２と等しくなっている。即ち、このフィルタは、図３に示すように、周期単位λがトラックＴｒ１からトラックＴｒ４までに亘って形成された開口長Ｄの長いフィルタ（入力側ＩＤＴ電極１２及び出力側ＩＤＴ電極１３）を、トラックＴｒ１とトラックＴｒ４との間のトラックＴｒ２（トラックＴｒ３）にて２つのフィルタ部３０（３１、３２）に分割し、弾性波の伝搬方向に沿って上記のフィルタ部３０、３０を配置して構成されていると言える。そして、各々のフィルタ部３０における入力側ＩＤＴ電極１２ａ、１２ｂ及び出力側ＩＤＴ電極１３ａ、１３ｂが夫々並列に接続されるように、フィルタ部３１、３２の各々において周期単位λの長い側のバスバー１４ｂ、１４ｂ（１４ｄ、１４ｄ）同士を共通の入力ポート２１及び共通の出力ポート２２に夫々接続している。尚、図３においては、電極指１５、反射電極１６及びバスバー１４の記載を省略している。

ここで、このフィルタでは、弾性波の伝搬方向においては、電極指１５のバスバー１４への接続角度（テーパー角度θ）が直角に近づくように、つまり電極指１５の本数があまり多くならないようにするために、また弾性波の伝搬方向に対して直交方向には、１対のバスバー１４、１４間の離間距離を稼いで開口長Ｄを長く取るために、圧電基板１１の長手方向において、電極１２、１３、吸収体２６間の領域には、電極などが形成されていないブランク領域４０が設けられている。

このような弾性波フィルタにおいて、入力ポート２１を介して入力側ＩＤＴ電極１２に周波数信号が入力されると、弾性表面波（ＳＡＷ）が発生する。この弾性波は、入力側ＩＤＴ電極１２ａ、１２ｂにおいて、その波長の長さに対応する周期単位λが形成されたトラックＴｒにて、つまりトラックＴｒ１〜Ｔｒ２までの波長の弾性波は、第１入力側ＩＤＴ電極１２ａから第１出力側ＩＤＴ電極１３ａに向かって伝搬し、トラックＴｒ３〜トラックＴｒ４までの波長の弾性波は、第２入力側ＩＤＴ電極１２ｂから第２出力側ＩＤＴ電極１３ｂに向かって伝搬していく。そして、入力側ＩＤＴ電極１２の端部において電極指１５がバスバー１４に対して傾斜して接続されているので、入力側ＩＤＴ電極１２から出力側ＩＤＴ電極１３に向かって出力される時に弾性波が回折しようとする。しかし、上記のようにテーパー角度θが９０°に近い角度となっているので、弾性波の回折が小さく抑えられて、ほぼ全量の弾性波が出力側ＩＤＴ電極１３に向かって伝搬していくことになる。こうして出力側ＩＤＴ電極１３において、入力側ＩＤＴ電極１２から伝搬してくる弾性波の波長に対応するトラックＴｒにて弾性波の機械−電気相互変換が行われて、後述の実施例に示すように、出力ポート２２を介してトラックＴｒ１〜Ｔｒ４までの波長の弾性波に対応する電気信号が取り出されることになる。

上述の実施の形態によれば、電極指１５及び反射電極１６の幅寸法及び間隔寸法が一方側のバスバー１４ａ（１４ｃ）から他方側のバスバー１４ｂ（１４ｄ）に向かうにつれて広がるように形成されたテーパー型の入力側ＩＤＴ電極１２及び出力側ＩＤＴ電極１３のフィルタ部３０を弾性波の伝搬方向に沿って圧電基板１１上に２つ配置して、入力側ＩＤＴ電極１２及び出力側ＩＤＴ電極１３の夫々における他方側のバスバー１４ｂ、１４ｂ（１４ｄ、１４ｄ）同士を入力ポート２１（出力ポート２２）に夫々接続すると共に、第１フィルタ部３１の他方側のバスバー１４ｂ（１４ｄ）に近接する領域のトラックＴｒ２と、第２フィルタ部３２の一方側のバスバー１４ａ（１４ｃ）に近接する領域のトラックＴｒ３と、が等しくなるようにしている。そのため、既述の図３に示したように、このフィルタは、２つのフィルタ部３１、３２における入力側ＩＤＴ電極１２ａ、１２ｂの電極指１５及び反射電極１６同士及び、出力側ＩＤＴ電極１３ａ、１３ｂの電極指１５及び反射電極１６同士を夫々縦方向（弾性波の伝搬方向に対して直交方向）に接続した開口長Ｄの長いフィルタと同程度の特性となる。従って、開口長Ｄ方向（電極指１５の長さ方向）における圧電基板１１の見かけ上の寸法に対して開口長Ｄを長く取ることができるので、テーパー角度θを直角に近い状態に保って弾性波の回折を小さく抑えながら、通過周波数帯域の広帯域化を図ることができる。この時、既述のように圧電基板１１上において、弾性波の伝搬方向に対して直交方向には余分なスペースがほとんどないが、弾性波の伝搬方向には余分なスペース（ブランク領域４０）が設けられているので、２つのフィルタ部３１、３２を横方向に並べることにより、いわば圧電基板１１上の隙間を利用することができるので、開口長Ｄ方向（電極指１５の長さ方向）に圧電基板１１を伸長させて上記の開口長Ｄの長いフィルタを配置する場合よりも、圧電基板１１の大きさを小さく抑えることができる。

また、各々のフィルタ部３１、３２における電極指１５及び反射電極１６の配列パターンを等しくしているので、上記のように２つのフィルタ部３１、３２を並列に接続することによって、図３中上側に示した開口長Ｄの長いフィルタと同程度の特性を得ることができる。

ここで、例えば２つのフィルタ部３１、３２間において互いに弾性波が干渉し合って悪影響が生じる場合には、図４に示すように、フィルタ部３１、３２間に弾性波を吸収する補助吸収体２７を配置しても良い。
また、手前側から奥側に向かうにつれて周期単位λが広がるように各フィルタ部３１、３２を配置したが、奥側から手前側に向かうにつれて周期単位λが広がるように配置しても良い。また、例えば図５に示すように、２つのフィルタ部３１、３２の一方を手前側から奥側に向かうにつれて周期単位λが広がるように、また他方を奥側から手前側から向かうにつれて周期単位λが広がるように配置しても良い。この場合においても、他方側のバスバー１４ｂ、１４ｂ（１４ｄ、１４ｄ）同士が並列に接続されて、上記の例と同様の作用及び効果が得られる。この時、図５のこれらフィルタ部３１、３２は、奥側のバスバー１４に近接する領域において、互いに同じ周期単位λ（トラックＴｒ２、Ｔｒ３）同士が弾性波の伝搬方向に沿って一列に並ばないように夫々配置されている。即ち、後述の図１５に示すように、これらフィルタ部３１、３２は、弾性波の伝搬方向に直交する方向に互いに位置ずれした状態で配置されており、具体的にはフィルタ部３１に対してフィルタ部３２が僅かに奥側に形成されている。また、このように各フィルタ部３１、３２を配置すると共に上記の補助吸収体２７を形成する場合には、入力側ＩＤＴ電極１２ａ、１２ｂの他方側のバスバー１４ｂ、１４ｂ同士を接続するためには、例えば圧電基板１１の上方領域を介してワイヤなどを設けても良い。

また、圧電基板１１上において左側に第１フィルタ部３１、右側に第２フィルタ部３２を配置したが、右側に第１フィルタ部３１、左側に第２フィルタ部３２を配置しても良いし、各々のフィルタ部３１、３２において、入力側ＩＤＴ電極１２及び出力側ＩＤＴ電極１３の配置を各々左右で入れ替えても良い。更に、他方側のバスバー１４ｂ、１４ｂ（１４ｄ、１４ｄ）同士を入力ポート２１（出力ポート２２）に接続したが、一方側のバスバー１４ａ、１４ａ（１４ｃ、１４ｃ）同士を接続しても良い。また、各々のフィルタ部３１、３２において、入力側ＩＤＴ電極１２と出力側ＩＤＴ電極１３との間にシールド電極を配置しても良い。

更にまた、既述の図３に示したように、２つのフィルタ部３１、３２において共通するトラックＴｒ２（Ｔｒ３）をトラックＴｒ１とトラックＴｒ４との間のほぼ中間における周期単位λとしたが、図６に示すようにトラックＴｒ１及びトラックＴｒ４のいずれか一方に近接するトラックＴｒを各フィルタ部３１、３２にて共通化しても良い。つまり、各々のフィルタ部３１、３２における通過周波数帯域に差をつけても良い。この場合において、例えば通過周波数帯域の狭いフィルタ部３０について、通過周波数帯域の広いフィルタ部３０と同程度の開口長Ｄとなるように、テーパー角度θを大きくして（９０°に近づけて）も良い。尚、この図６についても電極指１５、反射電極１６及びバスバー１４の記載を省略している。以下の図７及び図８についても同様である。

また、図７及び図８に示すように、弾性波の伝搬方向に沿って複数例えば３つのフィルタ部３１、３２、３３を配置しても良い。この場合には、３つのフィルタ部３１、３２、３３において、夫々トラックＴｒ１〜Ｔｒ２、トラックＴｒ３〜Ｔｒ４、トラックＴｒ５〜Ｔｒ６の弾性波が伝搬するように周期単位λが形成され、またトラックＴｒ２及びトラックＴｒ３、トラックＴｒ４及びトラックＴｒ５が夫々同じ周期単位λに設定されることになる。この場合においても、上記の例と同様の効果が得られる。また、このフィルタにおいて、既述の補助吸収体２７を配置しても良い。

次に、本発明の第２の実施の形態について、図９を参照して説明する。上記の第１の実施の形態では、各々のフィルタ部３１、３２において電極指１５及び反射電極１６を同じ配列パターンで形成したが、この第２の実施の形態では、各々のフィルタ部３１、３２において電極指１５及び反射電極１６の配列パターンを変えている。具体的には、トラックＴｒ１からトラックＴｒ２までの周期単位λの短い（高域側の）弾性波が伝搬するフィルタ部３１においては、トラックＴｒ１よりも高域側の減衰量が大きくなるように配列パターンを設定し、トラックＴｒ３からトラックＴｒ４までの周期単位λの長い（低域側の）弾性波が伝搬するフィルタ部３２においては、トラックＴｒ４よりも低域側の減衰量が大きくなるように配列パターンを設定している。このように減衰量が大きくなる帯域を設定するにあたり、この実施の形態では図９に示すように、例えば各々のフィルタ部３１、３２のＩＤＴ電極１２、１３において、互いに交差する電極指１５、１５の励振箇所の位置を調整することにより、減衰量を大きくしたい帯域に減衰極の位置を合わせるようにしている。

この第２の実施の形態のフィルタにおいても、上記の第１の実施の形態と同様の効果が得られる。また、このように減衰極の位置を調整することにより、各々のフィルタ部３１、３２において得られる減衰特性が重ね合わされて、後述の実施例に示すように、通過周波数帯域外における低域側及び高域側の減衰量が大きくなるので、急峻な減衰特性を得ることができる。
この図９に示すフィルタにおいても、既述の図４〜図８のように、補助吸収体２７を配置したり、３つ以上のフィルタ部３１、３２、３３を並べたりしても良い。

次に、既述のように複数例えば２つのフィルタ部３１、３２を並列に接続して得られるフィルタ特性を確認するために行ったシミュレーションについて説明する。先ず、合成後のフィルタの特性について、中心周波数を１２５ＭＨｚとし、また通過帯域における低域側端部及び高域側端部の周波数を夫々１００ＭＨｚ、１５０ＭＨｚとする。従って、通過帯域は５０ＭＨｚ（１５０−１００）となる。このフィルタを元にして、通過帯域を二つのフィルタで等分した場合について検討する。尚、このシミュレーションにて本発明を適用した周波数帯域はその一例であり、どのような帯域であっても本発明を適用できる。
図１０（ａ）、（ｂ）は、夫々低域側のフィルタ部３２の特性（中心周波数：１１２．５ＭＨｚ、帯域幅：２５ＭＨｚ）及び高域側のフィルタ部３１の特性（中心周波数：１３７．５ＭＨｚ、帯域幅：２５ＭＨｚ）を示しており、同図（ｃ）に示すように、これらのフィルタ部３１、３２を並列に接続することにより、２つのフィルタ部３１、３２の通過周波数帯域が合成された広帯域の特性が得られることが分かる。

また、図１１（ａ）、（ｂ）は、低域側のフィルタ部３２及び高域側のフィルタ部３１において、既述の第２の実施の形態で説明したように、夫々の通過周波数帯域外における低域側及び高域側の減衰量が大きくなるように電極指１５及び反射電極１６の配列パターンを夫々調整した時に得られる特性を示している。図１１（ａ）に示すように、低域側のフィルタ部３２では、低域側の減衰量を大きくすると、当該フィルタ部３２の通過周波数帯域よりも高域側の減衰量が小さくなって（劣化して）しまっていることが分かる。また、高域側のフィルタ部３１では、図１１（ｂ）に示すように、高域側の減衰量を大きくすると、当該フィルタ部３１の通過周波数帯域よりも低域側の減衰量が小さくなってしまっていることが分かる。しかし、これらのフィルタ部３１、３２を並列に接続すると、同図（ｃ）に示すように、各々のフィルタ部３１、３２の一方において減衰量が小さくなって（劣化して）しまった帯域が他方のフィルタ部３１、３２の通過周波数帯域と重なり合うので、特性の劣化が打ち消されて、低域側及び高域側のいずれについても減衰量が大きく急峻な減衰特性が得られることが分かる。

ここで、各々の通過周波数帯域よりも低域側の減衰量が大きくなるように夫々調整したフィルタ部３１、３２を並列に接続して得られる特性を図１２（ａ）に示し、またこの特性と本発明の第２の実施の形態で得られる特性とを同図（ｂ）に示す。この図１２から、既述のようにフィルタ部３１、３２の配列パターンを調整することにより、本発明では低域側だけでなく高域側についても減衰量を大きくできることが分かる。
また、各々の通過周波数帯域よりも高域側の減衰量が大きくなるように夫々調整したフィルタ部３１、３２を並列に接続して得られる特性を図１３（ａ）に示し、この特性と本発明の第２の実施の形態で得られる特性とを同図（ｂ）に同様に示す。この場合においても、本発明では高域側だけでなく低域側についても減衰量を大きくできることが分かる。

既述の各例では、弾性波の伝搬方向に沿って複数のフィルタ部３０（３１、３２、３３）を順番に並べたが、これらのフィルタ部３０のＩＤＴ電極１２、１３を互いに交互に配置しても良い。このようなフィルタを具体的に図１４に示すと、弾性波の伝搬方向に沿って左側から右側に向かって例えば出力側ＩＤＴ電極１３ａ、入力側ＩＤＴ電極１２ｂ、入力側ＩＤＴ電極１２ａ及び出力側ＩＤＴ電極１３ｂをこの順番で配置している。また、フィルタ部３１のＩＤＴ電極１２ａ、１３ａの一方側のバスバー１４ａ、１４ｃは図１４中手前側に配置され、他方側のバスバー１４ｂ、１４ｄは奥側に配置されている。フィルタ部３２のＩＤＴ電極１２ｂ、１３ｂの一方側のバスバー１４ａ、１４ｃは奥側に配置され、他方側のバスバー１４ｂ、１４ｄは手前側に配置されている。また、この図１４においても、既述の例と同様に、バスバー１４ｂ、１４ｂは入力ポート２１に並列に接続され、バスバー１４ｃ、１４ｃは出力ポート２２に並列に接続されている。即ち、この図１４に示すフィルタは、既述の図１のフィルタにおいて第１入力側ＩＤＴ電極１２ｂ及び第２出力側ＩＤＴ電極１３ｂの夫々の奥側と手前側とが入れ替わるようにこれらＩＤＴ電極１２ｂ、１３ｂをいわば裏返すようにして配置すると共に、入力側ＩＤＴ電極１２ａ、１２ｂを左右逆に配置した構成を採っている。

ここで、これらのフィルタ部３１、３２において、既述のトラックＴｒ２、Ｔｒ３はいずれも図１４中奥側に配置されているが、この実施の形態では、これらのトラックＴｒ２、Ｔｒ３が弾性波の伝搬方向に沿って一列に並ばないように、即ち弾性波の伝搬方向に直交する方向（開口長Ｄ方向）にこれらのトラックＴｒ２、Ｔｒ３が互いに離間するように各々のフィルタ部３１、３２が配置されている。

具体的には、図１４中左側に配置された出力側ＩＤＴ電極１３ａ及び入力側ＩＤＴ電極１２ｂの境界部付近の一部を拡大して図１５に示すように、入力側ＩＤＴ電極１２ｂをこの出力側ＩＤＴ電極１３ａよりも僅かに例えば奥側に配置することによって、これらトラックＴｒ２、Ｔｒ３を開口長Ｄ方向において互いに離間させている。また、図１４中右側の出力側ＩＤＴ電極１３ｂ及び入力側ＩＤＴ電極１２ａは、弾性波の伝搬方向に沿って夫々入力側ＩＤＴ電極１２ｂ及び出力側ＩＤＴ電極１３ａに対向するように配置されているので、これらの出力側ＩＤＴ電極１３ｂ及び入力側ＩＤＴ電極１２ａにおけるトラックＴｒ２、Ｔｒ３も同様に開口長Ｄ方向において互いに離間するように配置されている。

従って、各々のフィルタ部３１、３２は、開口長Ｄ方向に亘って同じ周期単位λのトラックＴｒが弾性波の伝搬方向に互いに重なり合わないように（一列にならないように）配置されていることになる。尚、図１４では電極指１５及び反射電極１６の描画を省略しているが、各々のフィルタ部３１、３２では、これらの電極指１５及び反射電極１６は、既述の図１と同様の配置レイアウトで形成されている。

このようにフィルタ部３１、３２を配置することによって、既述の効果に加えて以下の効果が得られる。即ち、ＩＤＴ電極１２、１３間の領域を伝搬路８０と呼ぶと、開口長Ｄ方向に亘ってこれらのフィルタ部３１、３２で同じトラックＴｒが弾性波の伝搬方向に一列に並ばないようにして、同じトラックＴｒの弾性波同士の干渉を抑えているので、フィルタ部３１、３２同士が互いに影響を及ぼし合うことを抑えてフィルタ部３１、３２の各々のＩＤＴ電極１２、１３を互いに交互に配置することができ、そのため一つのフィルタ部３０における伝搬路８０を他のフィルタ部３０によって利用することができる。従って、一つのフィルタ部３０においてＩＤＴ電極１２、１３を離間させて伝搬路８０を長く取る場合であっても、当該伝搬路８０を有効に活用することができるので、弾性波の伝搬方向における圧電基板１１の長さ寸法を短く抑えることができる。

また、フィルタ部３１の一方側のバスバー１４ａ（１４ｃ）及び他方側のバスバー１４ｂ（１４ｄ）を、フィルタ部３２の他方側のバスバー１４ｂ（１４ｄ）及び一方側のバスバー１４ａ（１４ｃ）に対して弾性波の伝搬方向に夫々離間するように配置している。即ち、弾性波の伝搬方向に沿ってこれらバスバー１４ａ（１４ｃ）及びバスバー１４ｂ（１４ｄ）を交互に配置している。そのため、これらＩＤＴ電極１２、１３における幅寸法の広い領域と幅寸法の狭い領域とを交互に並べて、いわば既述のテーパー角度θを利用してＩＤＴ電極１２、１３同士を近接配置することができるので、弾性波の伝搬方向における圧電基板１１の長さ寸法を更に短く抑えることができる。

このようにフィルタ部３１、３２のＩＤＴ電極１２、１３同士を交互に並べる例としては、以下のようにしても良い。即ち、図１６に示すように弾性波の伝搬方向に沿って左側から右側に向かって出力側ＩＤＴ電極１３ａ、出力側ＩＤＴ電極１３ｂ、入力側ＩＤＴ電極１２ａ及び入力側ＩＤＴ電極１２ｂをこの順番で配置して、いわば既述の図１４におけるフィルタ部３２の入力側ＩＤＴ電極１２ｂと出力側ＩＤＴ電極１３ｂとを入れ替えても良い。また、フィルタ部３１についてもＩＤＴ電極１２ａとＩＤＴ電極１３ａとを入れ替えても良い。尚、この図１６において、図１５と同じ部位については同じ符号を付して説明を省略する。以下の図１７〜図２３についても同様である。

また、図１７に示すように、各々のフィルタ部３１、３２における弾性波の伝搬方向に沿ってバスバー１４ａ（１４ｃ）を一列に並べると共に、バスバー１４ｂ（１４ｄ）についても一列に並べても良い。この場合には、ポート２１（２２）とバスバー１４とを接続する引き回し電極（図１７では「５０」の符号を付している）をＩＤＴ電極１２、１３間に形成しなくても良いので、弾性波の伝搬方向における圧電基板１１の長さ寸法を抑えることができる。

更に、弾性波の伝搬方向に沿ってＩＤＴ電極１２、１３を交互に配置することによって、フィルタ部３１、３２の両方について、各々のＩＤＴ電極１２、１３間に他のフィルタ部３２、３１のＩＤＴ電極１２（１３）を介設したが、１つのフィルタ部３０についてＩＤＴ電極１２、１３間に他のフィルタ部３０のＩＤＴ電極１２、１３を介設しても良い。具体的には、図１８に示すように、例えば弾性波の伝搬方向に沿って左側から右側に向かって出力側ＩＤＴ電極１３ａ、入力側ＩＤＴ電極１２ｂ、出力側ＩＤＴ電極１３ｂ及び入力側ＩＤＴ電極１２ａをこの順番で配置して、フィルタ部３１のＩＤＴ電極１２ａ、１３ａ間にフィルタ部３２を配置している。この場合において、フィルタ部３２のＩＤＴ電極１２ｂ、１３ｂ同士を離間させて既述の伝搬路８０を形成する時には、この伝搬路８０に既述の引き回し電極５０を形成して当該伝搬路８０を利用しても良い。即ち、複数のフィルタ部３０のうち少なくとも一つのフィルタ部３０において、当該フィルタ部３０のＩＤＴ電極１２、１３間に別のフィルタ部３０のＩＤＴ電極１２、１３の少なくとも一方が配置される。このような実施の形態においても、同様の効果が得られる。

また、図１９に示すように、各々のフィルタ部３１、３２におけるＩＤＴ電極１２、１３間の領域、即ち弾性波の伝搬方向における圧電基板１１の中央位置にシールド電極６０を配置しても良い。更に、図１４〜図１９の各例において、図９のように夫々のフィルタ部３１、３２に対して重み付けを行うことにより、通過周波数帯域外における低域側及び高域側の減衰量を大きくするようにしても良いし、既述の図６のように２つのフィルタ部３１、３２において共通するトラックＴｒ２（Ｔｒ３）をトラックＴｒ１側あるいはトラックＴｒ４側にずらしても良い。

以上の各例では、２つのフィルタ部３１、３２を並列に接続して、既述の図３に示したように見かけ上開口長Ｄの長いフィルタを構成したが、これらのフィルタ部３１、３２を直列に接続することによって、任意の周波数特性を持つフィルタを構成しても良い。具体的には、例えば既述の図１４と同じレイアウトでフィルタ部３１、３２を配置する場合には、図２０に示すように、入力側ＩＤＴ電極１２、１２のバスバー１４ａ、１４ｂを共通の入力ポート２１に接続し、出力側ＩＤＴ電極１３、１３のバスバー１４ｃ、１４ｄを共通の出力ポート２２に接続する。

この場合においてフィルタ部３１におけるトラックＴｒ１、Ｔｒ２及びフィルタ部３２におけるトラックＴｒ３、Ｔｒ４は、図２１（ｂ）に示すように、既述の各例において説明したようにＴｒ１＜Ｔｒ２＝Ｔｒ３＜Ｔｒ４としても良いし、同図（ｃ）、（ｄ）のようにＴｒ１＜Ｔｒ２＜Ｔｒ３＜Ｔｒ４またはＴｒ１＜Ｔｒ３＜Ｔｒ２＜Ｔｒ４となるように夫々のフィルタ部３１、３２の周期単位λを設定しても良い。この場合においても、図２１（ｂ）、（ｄ）では、開口長Ｄ方向に亘って、フィルタ部３１、３２間で同じ長さのトラックＴｒ（周期単位λ）が弾性波の伝搬方向に一列に並ばないように、既述の図１５と同様に各ＩＤＴ電極１２、１３の位置が調整される。尚、図２１（ａ）には、フィルタ部３１、３２を直列に接続する場合のフィルタの概観及び各ＩＤＴ電極１２、１３におけるトラックＴｒを模式的に示している。また、同図（ｂ）〜（ｄ）は、各々のフィルタ部３１、３２において得られる特性を模式的に示したものである。このような場合において、図２２に示すように、既述の図１に示すように各フィルタ部３１、３２のＩＤＴ電極１２、１３を配置した場合においても、これらフィルタ部３１、３２を直列に接続してもよい。

更に、図２３に示すように、フィルタ部３１、３２を接続せずに、各々のＩＤＴ電極１２、１３を個別に独立してポート２１（２１ａ、２１ｂ）、２２（２２ａ、２２ｂ）に接続しても良い。即ち、互いに種類の異なる２つのフィルタ部３０におけるＩＤＴ電極１２、１３を互いに交互に配置しても良い。
また、以上の各例において、３つ以上のフィルタ部３０を並べても良い。

１１ 圧電基板
１２ 入力側ＩＤＴ電極
１３ 出力側ＩＤＴ電極
１４ バスバー
１５ 電極指
１６ 反射電極
３１ 第１フィルタ部
３２ 第２フィルタ部
４０ ブランク領域
Ｔｒ トラック

Claims (10)

1. テーパー型ＩＤＴ電極を、入力側ＩＤＴ電極及び出力側ＩＤＴ電極として弾性波の伝搬方向に互いに離間させて圧電基板上に配置してフィルタ部を構成することと、
   前記テーパー型ＩＤＴ電極は、弾性波の伝搬方向に対して直交方向に互いに離間して形成された１対のバスバーと、これら１対のバスバーの各々から互いに交互に伸び出して櫛歯状に配置された電極指群と、を備え、伝搬する弾性波の波長に対応する、前記電極指の幅寸法及び前記電極指の離間寸法からなる周期単位が一方側のバスバーから他方側のバスバーに向かうにつれて広がるように形成されたことと、
   前記フィルタ部は、前記入力側ＩＤＴ電極と前記出力側ＩＤＴ電極とにおいて互いに等しい長さの周期単位が弾性波の伝搬方向に離間するように配置されたことと、
   前記フィルタ部は、前記入力側ＩＤＴ電極及び前記出力側ＩＤＴ電極における一方側のバスバー同士及び他方側のバスバー同士が夫々弾性波の伝搬方向に沿って一列に並ぶように配置されると共に、弾性波の伝搬方向に沿って複数並べられたことと、
   前記フィルタ部の各入力側ＩＤＴ電極における一方側のバスバーまたは他方側のバスバーに共通に接続された入力ポートを備えたことと、
   前記フィルタ部の各出力側ＩＤＴ電極における一方側のバスバーまたは他方側のバスバーに共通に接続された出力ポートを備えたことと、
   前記周期単位は、前記複数のフィルタ部において順番に小さくなるように、一のフィルタ部における一方側のバスバーに近接する領域と、当該一のフィルタ部の次に周期単位が小さいフィルタ部における他方側のバスバーに近接する領域と、において等しくなるように設定されていることと、を特徴とする弾性波フィルタ。
2. 複数の前記フィルタ部のうち一のフィルタ部は、他のフィルタ部における周期単位と同じ長さの周期単位が弾性波の伝搬方向に沿って一列に並ばないように、当該他のフィルタ部に対して、弾性波の伝搬方向に離間した位置であって且つ弾性波の伝搬方向に直交する方向に位置ずれした位置に配置されていることを特徴とする請求項１に記載の弾性波フィルタ。
3. 前記電極指の配列パターンは、各々のフィルタ部間において等しくなるように設定されていることを特徴とする請求項１または２に記載の弾性波フィルタ。
4. 前記電極指の長さ方向に沿って前記１対のバスバーのいずれか一方から伸びる反射電極を備え、
   前記反射電極の配列パターンは、各々のフィルタ部間において等しくなるように設定されていることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか一つに記載の弾性波フィルタ。
5. 前記複数のフィルタ部のうち、通過周波数帯域において最も低域側の周波数に対応する周期単位が形成されたフィルタ部を低域側フィルタ、通過周波数帯域において最も高域側に対応する周期単位が形成されたフィルタ部を高域側フィルタとすると、
   前記低域側フィルタは、当該低域側フィルタの通過周波数帯域外において高域側よりも低域側の減衰量が大きくなるように前記電極指の配列パターンが設定され、
   前記高域側フィルタは、当該高域側フィルタの通過周波数帯域外において低域側よりも高域側の減衰量が大きくなるように前記電極指の配列パターンが設定されていることを特徴とする請求項１に記載の弾性波フィルタ。
6. 前記電極指の長さ方向に沿って前記１対のバスバーのいずれか一方から伸びる反射電極を備え、
   前記複数のフィルタ部のうち、通過周波数帯域において最も低域側に対応する周期単位が形成されたフィルタ部を低域側フィルタ、通過周波数帯域において最も高域側に対応する周期単位が形成されたフィルタ部を高域側フィルタとすると、
   前記低域側フィルタは、当該低域側フィルタの通過周波数帯域外において高域側よりも低域側の減衰量が大きくなるように前記反射電極の配列パターンが設定され、
   前記高域側フィルタは、当該高域側フィルタの通過周波数帯域外において低域側よりも高域側の減衰量が大きくなるように前記反射電極の配列パターンが設定されていることを特徴とする請求項１または５に記載の弾性波フィルタ。
7. 前記各フィルタ部間には、弾性波を吸収するための吸収体が配置されていることを特徴とする請求項１ないし６のいずれか一つに記載の弾性波フィルタ。
8. 前記複数のフィルタ部のうち一のフィルタ部の入力側ＩＤＴ電極及び出力側ＩＤＴ電極の間には、当該一のフィルタ部とは別のフィルタ部の入力側ＩＤＴ電極及び出力側ＩＤＴ電極の少なくとも一方が介設されていることを特徴とする請求項１ないし７のいずれか一つに記載の弾性波フィルタ。
9. 前記フィルタ部は２つ設けられ、
   これらのフィルタ部の一方側のフィルタ部のテーパー型ＩＤＴ電極と他方側のフィルタ部のテーパー型ＩＤＴ電極とは、弾性波の伝搬方向に沿って互いに交互に配置されていることを特徴とする請求項８に記載の弾性波フィルタ。
10. 一のフィルタ部の入力側ＩＤＴ電極及び出力側ＩＤＴ電極の間にテーパー型ＩＤＴ電極が介設された別のフィルタ部における一方側のバスバー及び他方側のバスバーは、当該一のフィルタ部の他方側のバスバー及び一方側のバスバーに対して弾性波の伝搬方向に夫々離間して設けられ、
    これらのフィルタ部は、互いに等しい長さの周期単位の形成された領域同士が弾性波の伝搬方向に直交する方向に離間するように、当該直交する方向に互いに位置ずれした状態で各々配置されていることを特徴とする請求項８または９に記載の弾性波フィルタ。

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