JP5401163B2 - Inkjet printing device - Google Patents
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Description
本発明は、印刷対象である基板等を搬送しつつインクジェット方式にて所望のパターンを基盤等に形成するインクジェット印刷装置に関するものである。 The present invention relates to an inkjet printing apparatus that forms a desired pattern on a substrate or the like by an inkjet method while conveying a substrate or the like to be printed.
液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイパネル(PDP)、有機ELディスプレイ等の表示装置に用いられるカラーフィルタ等の製造工程においては、ガラス等の基板を搬送しつつ複数の種類のインクをインクジェット方式により当該基板上に吐出して、パターンを形成するインクジェット方式のインクジェット印刷装置が用いられている。 In the manufacturing process of color filters and the like used in display devices such as liquid crystal displays, plasma display panels (PDP), and organic EL displays, a plurality of types of ink are transferred onto the substrate by an inkjet method while transporting the substrate such as glass. 2. Related Art Inkjet ink jet printing apparatuses that discharge and form a pattern are used.
インクジェット印刷装置においては、インクを吐出するインクジェットヘッドを定期的、または不定期的にメンテナンスする必要がある。このため、従来のインクジェット印刷装置において、インクジェットヘッドをメンテナンスする場合には、インクジェットヘッドを基板搬送経路から外れたオフセットの位置に移動させて、その位置において当該インクジェットヘッドのメンテナンスを行うのが一般的であった(例えば、特許文献1、図5参照。)。図4は、特許文献1に従来例として記載された従来のインクジェット印刷装置を示す図である。
In an inkjet printing apparatus, it is necessary to regularly or irregularly maintain an inkjet head that ejects ink. For this reason, when maintaining an inkjet head in a conventional inkjet printing apparatus, it is common to move the inkjet head to an offset position off the substrate transport path and perform maintenance on the inkjet head at that position. (For example, see
図4に示す第1の従来例であるインクジェット印刷装置は、印刷対象である基板107を搬送するための基板搬送機構101がベース103に固定され支持されている。また、コの字状に形成されたフレーム102Aがベース103の一方の側面に固定されている。ここで、ベース103の側面とは基板搬送方向(図4において矢印Xで示す方向)と平行な面であって、基板107を載置する吸着テーブル106の基板載置面(吸着面)に直交する面である。そして、ベース103の他方の側面にも、コの字状に形成されたフレーム102Bが固定されている。各フレーム102A,102Bはベース103に固定されている。さらに、フレーム102A,102Bに並設され、フレーム102A,102Bと同様の構成を有するフレーム102Cがベース103から離れた位置に配設されている。
In the ink jet printing apparatus as the first conventional example shown in FIG. 4, a
フレーム102A,102Bおよび102Cのそれぞれの上辺部分の略中間部分には、繋ぎフレーム105が固定されており、この繋ぎフレーム105によりフレーム102A,102Bおよび102Cのそれぞれが結合されている。基板107に対してインクを吐出するインクジェットヘッド104は、繋ぎフレーム105に保持されている。印刷動作時においては、インクジェットヘッド104がフレーム102Aとフレーム102Bの間の繋ぎフレーム105により支持されるように保持され、メンテナンス処理時においては、インクジェットヘッド104がフレーム102Bとフレーム102Cの間の繋ぎフレーム105により支持されるよう保持されるように、インクジェットヘッド104は、繋ぎフレーム105に沿って移動するよう構成されている。
A joining
上記のように構成された従来のインクジェット印刷装置においては、基板107を吸着して固定する吸着テーブル106が基板搬送機構101により基板搬送方向に移動し、インクジェットヘッド104の直下の所望の位置に配置された時、インクジェットヘッド104からインクが基板107に対して吐出され、例えばカラーフィルタのパターン印刷が行われる。
In the conventional ink jet printing apparatus configured as described above, the suction table 106 that sucks and fixes the
定期的又は不定期的に行われるインクジェットヘッド104のメンテナンス動作においては、インクジェットヘッド104が繋ぎフレーム105に沿って基板搬送方向と直交する方向(図4において矢印Yで示す方向)に移動し、メンテナンス処理空間108(図4において破線で囲まれた領域)に搬送される。このように、インクジェットヘッド104の直下に形成されたメンテナンス処理空間108において、メンテナンス処理が実施される。
In the maintenance operation of the
しかしながら、一般的なこのような構成においては、インクジェットヘッド104を印刷位置からメンテナンス位置に移動させてメンテナンス処理を行った後、再度印刷位置に復帰させると、インクジェットヘッド104から基板107へのインク液滴の着弾位置が変化するという問題があった。このような問題を解決し、印刷精度を向上させるために、従来のインクジェット印刷装置においては、インクジェットヘッドを移動させずに固定した状態でメンテナンス動作を行う構成が提案されている(例えば、特許文献1、図1,図2参照。)。図5は、特許文献1に記載されたインクジェット印刷装置を示す図である。
However, in such a general configuration, when the
図5に示す第2の従来例である従来のインクジェット印刷装置においては、基板107を搬送するための基板搬送機構101A,101B,101Cが、3分割されており、各基板搬送機構101A,101B,101Cは、3分割されたベース103A,103B,103Cによりそれぞれ支持され固定されている。中間部分である基板搬送機構101Bを支持固定するベース103Bは基板搬送方向に直交する方向へ移動できるよう構成されている。
In the conventional ink jet printing apparatus which is the second conventional example shown in FIG. 5, the
コの字状に形成されたフレーム102A,102Bのぞれぞれは、ベース103A,103Cのそれぞれの側面に固定されており、中間のベース103Bを跨ぐように配置されている。このようにフレーム102A,102Bにおける鉛直部分である柱の下側でベース103A,103Cに固定されており、それぞれの上辺部分は基板搬送方向に平行となるよう構成されている。インクジェットヘッド104は、フレーム102A,102Bのそれぞれの上辺部分の略中間部分に固定された繋ぎフレーム105に支持され固定されている。したがって、インクジェットヘッド104を支持固定する繋ぎフレーム105は、フレーム102A,102Bを介してベース103A,103Cに支持固定されている。
Each of the
図5に示す第2の従来例のインクジェット印刷装置においては、中間部分である基板搬送機構101Bとこれを支持固定するベース103Bとは、ベース103A,103Cの間に固定された固定ベース103D上に形成されたベース移動機構109により基板搬送方向と直交する方向に移動可能に構成されている。したがって、メンテナンス処理後において、基板107を吸着する吸着テーブル106がインクジェットヘッド104の直下に移動する印刷動作を開始する場合には、ベース103Bが移動して、分割された基板搬送機構101A,101B,101Cにおける基板搬送軸が同一軸上となり、基板107が基板搬送方向に移動できるよう構成されている。
In the ink jet printing apparatus of the second conventional example shown in FIG. 5, the substrate transport mechanism 101B, which is an intermediate portion, and the base 103B that supports and fixes the substrate transport mechanism 101B are placed on a
図5に示すインクジェット印刷装置は、インクジェットヘッド104のメンテナンス処理時の状態を示しており、インクジェットヘッド104の下側にはメンテナンス処理時に必要なメンテナンス処理空間となる領域が確保されている。
The ink jet printing apparatus shown in FIG. 5 shows a state during maintenance processing of the
前述のように、印刷動作時においては、全ての基板搬送機構101A,101B,101Cは一直線上に配置されており、中間部分の基板搬送機構101Bはベース103Bとともに印刷動作時の位置に配置されている。このように一直線上に配置された基板搬送機構101A,101B,101Cにおいて、基板107を吸着固定している吸着テーブル106が基板搬送方向に沿って直線移動する。この印刷動作において、吸着テーブル106上の基板107が所定の印刷位置に到達したとき、インクジェットヘッド104から所望のインクが吐出されて基板107上に、例えばカラーフィルタのパターン印刷が実行される。
As described above, during the printing operation, all the
さらに他の従来のインクジェット印刷装置としては、メンテナンスユニットが基板搬送方向と直交する方向からインクジェットヘッドの直下に挿入されてメンテナンス処理を行う機構が提案されている(例えば、特許文献2参照。)。 As another conventional inkjet printing apparatus, a mechanism has been proposed in which a maintenance unit is inserted directly under an inkjet head from a direction orthogonal to the substrate transport direction to perform maintenance processing (see, for example, Patent Document 2).
図6は、特許文献2において提案されている第3の従来例としての従来のインクジェット印刷装置を示す概略構成図である。図6に示す第3の従来例のインクジェット印刷装置においては、印刷対象として紙が用いられており、インクジェットヘッドから用紙上にインクを吐出して印刷を行うものである。図6において、図中下方から給紙部110、用紙搬送機構111、排紙部112が配設されており、用紙搬送機構111における用紙搬送経路の途中に複数のインクジェットヘッド113が備えられている。印刷動作時においては、パージ機構114とワイプ機構115を備えたメンテナンスユニット116が、インクジェットヘッド113から離隔した図中右方の待避位置に配置される。メンテナンス処理時においては、インクジェットヘッド113を上昇させて、インクジェットヘッド113の上昇により生じたインクジェットヘッド113と用紙搬送機構111との間の空間に、用紙搬送方向に直交する方向(図6における矢印Z方向)からメンテナンスユニット116が挿入される。インクジェットヘッド113の下方に挿入配置されたメンテナンスユニット116は、上下方向及び左右方向の動作を繰り返してインクジェットヘッド113に対する所定のメンテナンス処理が行われる。
FIG. 6 is a schematic configuration diagram showing a conventional inkjet printing apparatus as a third conventional example proposed in Patent Document 2. In FIG. In the ink jet printing apparatus of the third conventional example shown in FIG. 6, paper is used as a printing target, and printing is performed by ejecting ink onto the paper from the ink jet head. In FIG. 6, a
しかしながら、図6に示す第3の従来例のインクジェット印刷装置においては、メンテナンスユニット116を用紙搬送経路に挿入するためにインクジェットヘッド113を上方に移動させてメンテナンス処理空間を形成する必要がある。このため、前述の図4において示した第1の従来例のインクジェット印刷装置においてインクジェットヘッド104を横方向(矢印Y方向)に移動させた時と同様、インクジェットヘッド113が印刷動作時の位置に復帰したとき、インク液滴の着弾位置にずれが生じる場合がある。さらに、図6に示した第3の従来例のインクジェット印刷装置の構成において、印刷対象を紙ではなく、基板とした場合には、メンテナンスユニットが大型となるため、メンテナンス処理時に当該メンテナンスユニットを基板搬送経路に挿入できるように、インクジェットヘッドをある程度高く移動させて、インクジェットヘッドの下方に大きなメンテナンス処理空間を確保する必要がある。このため、インクジェットヘッドの移動距離が長くなり、メンテナンス処理時の位置と印刷動作時の位置が離れるため、基板に対するインク液滴の着弾位置においてさらに大きなずれが生じるおそれがある。また、基板搬送機構を基板搬送レベルより相当下方に敷設することによりインクジェットヘッドの下方にメンテナンス処理空間を確保することは可能であるが、このような構成では、基板搬送機構の配設レベルと、搬送される基板の配置レベルが離れるため、基板搬送機構による吸着テーブルのピッチングとローリングによる誤差が拡大し、インク液滴の着弾精度が更に悪化するという問題を有する。
However, in the third conventional ink jet printing apparatus shown in FIG. 6, in order to insert the
前述の図4及び図5に示したように、従来のインクジェット印刷装置においては、コの字状に形成されたフレーム102A,102Bがベース103,103A,103Cの一方の側面に固定されており、ベースの両側に配設された2つのフレーム102A,102Bの間にインクジェットヘッド104を固定するための繋ぎフレーム105が設けられた構成である。そして、各フレーム102A,102Bにおける2本の柱の間を通り抜けるように、インクジェットヘッド104又は基板搬送機構の一部(103B)が移動するよう構成されている。このように構成された従来のインクジェット印刷装置においては、各フレーム102A,102Bにおける2本の柱の間にはある程度の空間を確保しつつ、高い剛性を保持するために、フレーム102A,102Bを大きく強固に構成する必要があった。また、図6に示したように、メンテナンスユニット116をインクジェットヘッド113の下方に挿入するように構成する場合には、大きな寸法を有するメンテナンスユニットが通り抜けられるようにフレームにおける柱間に大きな空間を確保する必要があり、フレームに高い剛性を持たせることが容易ではなかった。したがって、このように構成された従来のインクジェット印刷装置においては、ベースの両側にあるフレーム間を結合する繋ぎフレームに固定されたインクジェットヘッドから基板へのインク液滴の着弾精度を高めることは容易ではなかった。
As shown in FIGS. 4 and 5 described above, in the conventional ink jet printing apparatus, the
また、同時に複数種類のインク、例えば同時に3種類のインク(R,G,B)を塗布する場合、インクジェットヘッドは大きく重くなり、それに伴いメンテナンスユニットも大型化する。このようなメンテナンスユニットがフレームにおける柱間の間を通り抜けられるように構成するためには、フレームの柱間の距離をさらに大きくする必要があり、フレーム及びインクジェットヘッドを固定するための繋ぎフレームに所望の剛性を確保することが困難となり、インクジェットヘッドからのインク液滴の着弾精度がさらに悪化するという課題を有していた。 In addition, when a plurality of types of inks are applied at the same time, for example, three types of inks (R, G, B) are applied simultaneously, the inkjet head becomes large and heavy, and the maintenance unit is accordingly enlarged. In order to configure such a maintenance unit so that it can pass between the columns in the frame, it is necessary to further increase the distance between the columns of the frame, and it is desirable to use a connecting frame for fixing the frame and the inkjet head. It is difficult to ensure the rigidity of the ink droplets, and the landing accuracy of ink droplets from the inkjet head is further deteriorated.
また、使用されるインクの速乾性が高い場合には、基板のアライメント処理中にインクジェットヘッドの表面が乾燥してしまい、印刷不良となる不吐出が発生する場合がある。このような乾燥を防ぐために、印刷動作時以外はインクジェットヘッドがインクを常に低周波で吐出するという対処方法がある。このような対処方法においては、基板のアライメントを行う位置を、印刷位置とは異なる位置に設定する必要があり、基板のアライメント処理を行った後に、基板を印刷位置に移動させていた。このため、基板移動機構の精度が低い場合には、インク液滴の着弾精度が悪化するという課題を有していた。 In addition, when the ink used has a high quick-drying property, the surface of the ink-jet head may be dried during the substrate alignment process, and non-ejection that may cause printing failure may occur. In order to prevent such drying, there is a coping method in which the ink jet head always ejects ink at a low frequency except during the printing operation. In such a countermeasure, the substrate alignment position needs to be set to a position different from the printing position, and the substrate is moved to the printing position after performing the substrate alignment process. For this reason, when the accuracy of the substrate moving mechanism is low, there is a problem that the landing accuracy of ink droplets deteriorates.
さらに、近年における表示装置の画面の大型化や基板サイズの大型化に伴い、製造設備が大型化してきており、それとともにインク液滴の着弾精度をさらに高くすることが、この分野において達成すべき重要な課題である。 Furthermore, with the recent increase in the size of the screen of the display device and the increase in the size of the substrate, the manufacturing facilities have increased in size, and at the same time, the ink droplet landing accuracy should be further increased in this field. This is an important issue.
本発明は、従来のインクジェット印刷装置における課題を解決するものであり、一種類又は複数種類のインクを精度高く塗布することができるインクジェット印刷装置を提供することを目的とするものである。特に、基板サイズが大型化した基板に対して高精度なパターンを形成することができるインクジェット印刷装置を提供することを目的とするものである。また、速乾性の高いインクを用いる場合や、頻繁にインクジェットヘッドのメンテナンスが必要な場合においても対応することが可能なインクジェット印刷装置を提供することを目的とする。 An object of the present invention is to solve the problem in the conventional ink jet printing apparatus, and to provide an ink jet printing apparatus capable of applying one kind or plural kinds of inks with high accuracy. In particular, an object of the present invention is to provide an ink jet printing apparatus capable of forming a highly accurate pattern on a substrate having a large substrate size. It is another object of the present invention to provide an ink jet printing apparatus that can cope with a case where ink having high quick drying properties is used or when frequent maintenance of the ink jet head is required.
上記目的を達成するために、本発明に係る第1の観点のインクジェット印刷装置は、
基板を吸着テーブルの基板載置面に支持固定し搬送する基板搬送機構と、
基板搬送方向に並設され、前記基板搬送機構によって搬送される基板上にインクを吐出するための複数のインクジェットヘッドと、
前記基板搬送機構が支持固定されるベースであって、前記基板搬送方向と平行であり、且つ前記吸着テーブルの基板載置面に直交し基板搬送経路の両側となる両側面を有するベースと、
前記ベースの前記両側面に固定され、前記複数のインクジェットヘッドを分散して支持固定する複数の強化フレームと、
前記複数の強化フレームのそれぞれを繋ぐように固定する複数の固定フレームと、
前記強化フレームに支持固定されており、前記基板に対するパターン形成前に前記基板の位置決めを行うための複数のアライメントカメラと、
前記インクジェットヘッドのメンテナンスを行うためのメンテナンスユニットと、
前記メンテナンスユニットが支持固定されたメンテナンステーブルを移動させるメンテナンスユニット移動機構と、を具備し、
前記メンテナンスユニット移動機構は、前記基板搬送機構と同じ方向の移動軸を有し、前記インクジェットヘッドの直下に前記吸着テーブルと前記メンテナンスユニットが排他的に配置されるよう構成されている。上記のように構成された第1の観点のインクジェット印刷装置は、複数のインクジェットヘッドを、所謂ラーメン構造の強化フレームによって分散して支持固定できるため、剛性の高い強化フレームに支持固定されたインクジェットヘッドから印刷対象である基板へのインク液滴の着弾精度を向上させることができる。第1の観点のインクジェット印刷装置においては、使用するインクが乾きにくく、頻繁なインクジェットヘッドのメンテナンスが必要でない場合、上記構成により対応することができる。第1の観点のインクジェット印刷装置は、基板のアライメントを実行する位置と印刷位置とが異なる構成において、設計上の理由によりアライメントカメラとインクジェットヘッドが同一の梁部に設置できない場合でも、インクジェットヘッドとアライメントカメラの相対位置関係を精度高く維持することができるため、インク液滴の着弾精度を向上させることができる。また、第1の観点のインクジェット印刷装置は、使用するインクとインクジェットヘッドの特性上、メンテナンスを頻度高く実施する必要がある場合において特に有用であり、メンテナンスユニットをインクジェットヘッドの直下の空間に容易に且つ確実に挿入することができる。さらに、第1の観点のインクジェット印刷装置は、吸着テーブルとメンテナンスユニットが同じ方向の移動軸上で排他的に配置されるよう構成されているため、インクジェットヘッドの直下にある基板搬送機構等を移動させることなく、すなわち着弾精度に悪影響を与えることなく、インクジェットヘッドのメンテナンスを容易に且つ確実に行うことができる。
In order to achieve the above object, an inkjet printing apparatus according to a first aspect of the present invention includes:
A substrate transport mechanism for supporting and transporting the substrate on the substrate placement surface of the suction table;
A plurality of inkjet heads arranged in parallel in the substrate transport direction and for discharging ink onto the substrate transported by the substrate transport mechanism;
A base on which the substrate transport mechanism is supported and fixed, the base being parallel to the substrate transport direction and having both side surfaces orthogonal to the substrate placement surface of the suction table and serving as both sides of the substrate transport path ;
A plurality of reinforcing frames that are fixed to the both side surfaces of the base and that disperse and support the plurality of inkjet heads;
A plurality of fixed frames for fixing each of the plurality of reinforcing frames to connect each other;
A plurality of alignment cameras that are supported and fixed to the reinforcing frame, and for positioning the substrate before pattern formation on the substrate;
A maintenance unit for performing maintenance of the inkjet head;
A maintenance unit moving mechanism for moving a maintenance table on which the maintenance unit is supported and fixed, and
The maintenance unit moving mechanism has a moving axis in the same direction as the substrate transport mechanism, and is configured such that the suction table and the maintenance unit are exclusively arranged directly below the inkjet head . In the ink jet printing apparatus according to the first aspect configured as described above, a plurality of ink jet heads can be dispersed and supported and fixed by a so-called rigid frame reinforcing frame, so that the ink jet head is supported and fixed to a highly rigid reinforcing frame. Therefore, it is possible to improve the landing accuracy of the ink droplets on the substrate to be printed. In the ink jet printing apparatus of the first aspect, when the ink to be used is difficult to dry and frequent maintenance of the ink jet head is not necessary, the above configuration can cope with it. According to a first aspect of the present invention, there is provided an inkjet printing apparatus having a configuration in which the alignment position of the substrate is different from the printing position, and even if the alignment camera and the inkjet head cannot be installed on the same beam for design reasons, Since the relative positional relationship of the alignment camera can be maintained with high accuracy, the landing accuracy of ink droplets can be improved. The ink jet printing apparatus according to the first aspect is particularly useful when maintenance needs to be carried out frequently due to the characteristics of the ink used and the ink jet head, and the maintenance unit can be easily placed in the space immediately below the ink jet head. And it can insert reliably. Furthermore, the ink jet printing apparatus according to the first aspect is configured so that the suction table and the maintenance unit are exclusively arranged on the moving axis in the same direction, so that the substrate transport mechanism or the like directly under the ink jet head is moved. Ink jet head maintenance can be performed easily and reliably without causing any adverse effects on the landing accuracy.
本発明に係る第2の観点のインクジェット印刷装置は、前記第1の観点において、前記インクジェットヘッドの吐出部位の直下において前記インクジェットヘッドから吐出されたインクを受け取るインクパンと、
前記インクパンを前記インクジェットヘッドの吐出部位の直下位置と待避位置との間を移動させるインクパン移動機構と、を具備し、
前記インクパン移動機構は、前記インクジェットヘッドの待機中において、基板搬送方向に直交する方向から前記インクジェットヘッドの吐出部位の直下に前記インクパンを挿入し、前記インクジェットヘッドから前記インクパンにインクを吐出させるよう構成されている。上記のように構成された第2の観点のインクジェット印刷装置は、インクの速乾性が極めて高い場合において、印刷動作時以外でもインクジェットヘッドから低周波又は高周波でインクを吐出させることができる。第2の観点のインクジェット印刷装置は、印刷動作時とメンテナンス処理時以外においては、インクジェットヘッドが常にインクパン上にインクを低周波又は高周波で吐出することができるため、インクジェットヘッドの表面の乾燥を防ぐことができる構成である。
An ink jet printing apparatus according to a second aspect of the present invention is the ink pan according to the first aspect, wherein the ink pan receives ink ejected from the ink jet head immediately below the ejection portion of the ink jet head.
An ink pan moving mechanism for moving the ink pan between a position immediately below the discharge portion of the inkjet head and a retracted position;
The ink pan moving mechanism inserts the ink pan directly under the ejection portion of the inkjet head from a direction orthogonal to the substrate transport direction while the inkjet head is waiting, and ejects ink from the inkjet head to the ink pan. It is configured to let you. The ink jet printing apparatus according to the second aspect configured as described above can eject ink from the ink jet head at a low frequency or a high frequency even during a printing operation when the quick drying property of the ink is extremely high. The ink jet printing apparatus according to the second aspect can dry the surface of the ink jet head because the ink jet head can always eject ink onto the ink pan at low frequency or high frequency except during printing operation and maintenance processing. This is a configuration that can be prevented.
本発明に係る第3の観点のインクジェット印刷装置においては、前記第1の観点における前記強化フレームが、基板搬送経路の両側となる前記ベースの両側面に固定された柱部と、前記柱部間に設けられ、基板搬送方向に直交する方向に延設された梁部とにより構成され、前記梁部に前記インクジェットヘッドが支持固定されている。上記のように構成された第3の観点のインクジェット印刷装置は、剛性の高い強化フレームによりインクジェットヘッドが確実に支持固定され、インク液滴の着弾精度を向上させることができる。
In the ink jet printing apparatus according to the third aspect of the present invention, the reinforcing frame according to the first aspect is fixed between both side surfaces of the base, which are both sides of the substrate transport path, and between the column parts. And a beam portion extending in a direction orthogonal to the substrate transport direction, and the inkjet head is supported and fixed to the beam portion. In the ink jet printing apparatus of the third aspect configured as described above, the ink jet head is reliably supported and fixed by the rigid frame having high rigidity, and the ink droplet landing accuracy can be improved.
本発明のインクジェット印刷装置は、一種類又は複数種類のインクを印刷対象物に精度高く塗布することができ、インクジェットヘッドのメンテナンスを容易に、且つ信頼性高く実施することができる。特に、本発明によれば、基板サイズが大型化した基板に対して高精度にパターンを形成することが可能となるインクジェット印刷装置を提供することが可能となり、速乾性の高いインクを用いる場合や、頻繁にインクジェットヘッドのメンテナンスが必要な場合においても対応することが可能となる。 The ink jet printing apparatus of the present invention can apply one or more types of ink to a printing object with high accuracy, and can easily perform maintenance of the ink jet head with high reliability. In particular, according to the present invention, it is possible to provide an ink jet printing apparatus that can form a pattern with high accuracy on a substrate having a large substrate size. Therefore, it is possible to cope with the case where the maintenance of the ink jet head is frequently required.
以下、本発明に係る好適な実施の形態について、添付の図面を参照しながら説明する。
図1は、本発明に係る好適な実施の形態のインクジェット印刷装置の構成を示す斜視図である。図1において、本実施の形態のインクジェット印刷装置は、基板搬送機構1が矩形状のベース3に固定されて支持されており、基板7を吸着して載置する吸着テーブル6を基板搬送機構1により搬送できるよう構成されている。また、本実施の形態のインクジェット印刷装置には、鉛直方向に延設された2本の柱部14,14と、これらの柱部14,14の各上端部分に固定され水平に配設された梁部15とにより構成されたコの字状の第1の強化フレーム2Aが設けられている。この第1の強化フレーム2Aはベース3を跨ぐように配設されており、第1の強化フレーム2Aの各柱部14は基板搬送経路の両側となるベース3の両側側面にそれぞれ固定されている。ここで、ベース3の側面とは基板搬送方向と平行な面であって、基板7を載置する吸着テーブル6の基板載置面(吸着面)に直交する面である。
DESCRIPTION OF EXEMPLARY EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments according to the invention will be described with reference to the accompanying drawings.
FIG. 1 is a perspective view showing a configuration of an ink jet printing apparatus according to a preferred embodiment of the present invention. In FIG. 1, in the ink jet printing apparatus according to the present embodiment, a
第1の強化フレーム2Aにおける梁部15には、第1のインクジェットヘッド4Rが固定されている。また、第1の強化フレーム2Aに並設され、第1の強化フレーム2Aと同様の構成を有する第2の強化フレーム2Bがベース3を跨ぐように配設されている。第2の強化フレーム2Bの梁部15を挟むように第2のインクジェットヘッド4G及び第3のインクジェットヘッド4Bが設けられている。
The
さらに、第1及び第2の強化フレーム2A,2Bと同様に構成された、第3の強化フレーム2Cがベース3に同様に柱部14に固定されている。各強化フレーム2A,2B及び2Cにおける各柱部14の下側端部がベース3の両側面に固定されており、それぞれの梁部15の長手方向は基板搬送方向に直交するよう配設されている。また、各強化フレーム2A,2B及び2Cは、それぞれの梁部15の上側両端部分を繋ぐように固定フレーム5が固定されている。
Further, a third reinforcing
基板7に対してインクを吐出するインクジェットヘッド4R,4G,4Bは、第1及び第2の強化フレーム2A,2Bのそれぞれの梁部15の略中間部分に固定されて支持されている。各インクジェットヘッド4R,4G,4Bのそれぞれは、基板搬送経路に対する位置調整を行った後に剛性を有するラーメン構造体である第1及び第2の強化フレーム2A,2Bに確実に固定されている。また、基板7のアライメント処理を行うための複数のアライメントカメラ8は、第3の強化フレーム2Cの梁部15に基板搬送経路を向いて設けられている。
The inkjet heads 4R, 4G, and 4B that discharge ink to the substrate 7 are fixed and supported at substantially intermediate portions of the
第1及び第2の強化フレーム2A,2Bは、ベース3と共に強固なラーメン構造体を構成しており、複数のインクジェットヘッド4R,4G,4Bのそれぞれが第1及び第2の強化フレーム2A,2Bにおける各梁部15に分散されて支持固定されている。同様に、第3の強化フレーム2Cは、ベース3と共に強固なラーメン構造体を構成しており、複数のアライメントカメラ8のそれぞれが第3の強化フレーム2Cにおける各梁部15に支持固定されている。
The first and second reinforcing
印刷対象である光透過性のガラス等の基板7は、吸着テーブル6に支持固定されている。吸着テーブル6には、複数のエア吸引孔が形成されており、エア吸引孔より空気を吸引して印刷対象である基板7を吸着固定するものである。また、図示は省略しているが、吸着テーブル6には移動機構が設けられており、吸着テーブル6が所望の位置、角度となるよう調整できるよう構成されている。 A substrate 7 such as light transmissive glass to be printed is supported and fixed to the suction table 6. A plurality of air suction holes are formed in the suction table 6, and air is sucked through the air suction holes to fix the substrate 7 to be printed by suction. Although not shown, the suction table 6 is provided with a moving mechanism so that the suction table 6 can be adjusted to a desired position and angle.
本実施の形態のインクジェット印刷装置においては、基板搬送機構1によって、列設されたインクジェットヘッド4R,4G,4B及びアライメントカメラ8の下方の印刷領域を含む基板搬送領域を吸着テーブル6が直線的に移動できるよう構成されている。また、本実施の形態のインクジェット印刷装置には、基板搬送機構1と同一方向に移動するよう同じ移動軸を有するメンテナンスユニット移動機構11がベース3に設けられている。このメンテナンスユニット移動機構11は、メンテナンスユニット9が固定設置されたメンテナンステーブル10を基板搬送方向と同一方向に移動させるものであり、メンテナンステーブル10を図1に示す待避位置からインクジェットヘッド4R,4G,4Bの直下である印刷領域と同じであるメンテナンス領域まで移動させるものである。
In the ink jet printing apparatus according to the present embodiment, the suction table 6 linearly passes through the substrate transport area including the print area below the inkjet heads 4R, 4G, 4B and the
上記のように、吸着テーブル6とメンテナンステーブル10は、基板搬送方向に移動するよう構成されているが、印刷動作時には吸着テーブル6が印刷領域へ移動し(図1における矢印X1方向)、メンテナンステーブル10が待避領域に移動する。また、メンテナンス処理時においては吸着テーブル6が待避領域へ移動し、メンテナンステーブル10が印刷領域であるメンテナンス領域に移動する(図1における矢印X1方向)。このように、吸着テーブル6とメンテナンステーブル10は、一方が印刷動作又はメンテナンス処理を行っているときには、他方がその動作又は処理の邪魔にならない位置、すなわちインクジェットヘッド4R,4G,4B及びアライメントカメラ8の下方の印刷領域又はメンテナンス領域の外に移動して待避位置に移動している。図1に示すインクジェット印刷装置は、吸着テーブル6とメンテナンステーブル10の両方が待避位置に待機している状態を示しており、印刷動作またはメンテナンス処理の直前の状態を示している。
As described above, the suction table 6 and the maintenance table 10 are configured to move in the substrate transport direction. However, during the printing operation, the suction table 6 moves to the printing area (in the direction of arrow X1 in FIG. 1), and the maintenance table. 10 moves to the save area. Further, during the maintenance process, the suction table 6 moves to the save area, and the maintenance table 10 moves to the maintenance area which is the printing area (in the direction of arrow X1 in FIG. 1). As described above, when one of the suction table 6 and the maintenance table 10 performs the printing operation or the maintenance process, the other does not interfere with the operation or the process, that is, the inkjet heads 4R, 4G, 4B and the
本実施の形態のインクジェット印刷装置においては、基板7の吸着テーブル6におけるアライメント処理等においてインクジェットヘッド4R,4G,4Bの表面が乾燥して、印刷不良となる不吐出が発生することを防止するために、印刷動作時以外はインクジェットヘッド4R,4G,4Bがインクを常に低周波で吐出できるよう構成されている。 In the ink jet printing apparatus according to the present embodiment, the surface of the ink jet heads 4R, 4G, and 4B is prevented from being dried in the alignment process or the like on the suction table 6 of the substrate 7 to prevent the occurrence of non-ejection that causes printing failure. In addition, the inkjet heads 4R, 4G, and 4B are configured to always eject ink at a low frequency except during the printing operation.
本実施の形態のインクジェット印刷装置は、インクジェットヘッド4R,4G,4Bがインクを常に低周波で吐出するために、インクを溜めることができるインクパン12がそれぞれに設けられている。各インクパン12はインクパン移動機構13により、基板搬送方向と直交する方向から各インクジェットヘッド4R,4G,4Bの吐出部位の直下に挿入されるよう構成されている。
In the ink jet printing apparatus according to the present embodiment, the ink heads 4R, 4G, and 4B are each provided with an
図2は本実施の形態のインクジェット印刷装置において、各インクパン12がインクパン移動機構13により各インクジェットヘッド4R,4G,4Bの吐出部位の直下に挿入された状態を示す斜視図である。このように、インクパン12はインクジェットヘッド4R,4G,4Bの直下に挿入されるよう構成されているため、インクパン12は極力薄く設計されており、基板搬送機構1が設けられている位置レベルと基板7が載置されている位置レベルが離れることがないように構成されている。この結果、本実施の形態のインクジェット印刷装置は、基板搬送機構1により搬送される吸着テーブル6においてピッチングやローリングの発生が防止された構造となる。
FIG. 2 is a perspective view showing a state in which each
インクパン12を薄く設計するため、ステンレス鋼の薄板、アルミニウム板、プラスティック等の材料を用いて、箱型形状や補強リブを形成して軽量、且つ剛性を有する構造としている。なお、本実施の形態のインクジェット印刷装置においては、各インクパン移動機構13はラーメン構造の高い剛性を有する第1及び第2の強化フレーム2A,2Bにそれぞれ支持固定された例で示したが、ベース3に直接に固定してもよい。
In order to design the
なお、強化フレーム2A,2B,2C、固定フレーム5及びベース3の材料は、一般構造用圧延鋼材、鋳鋼、鋳鉄を含む鉄系材料、石、セラミック、カーボンファイバー強化型樹脂等の構造部材から目的とする印刷精度とコストの兼ね合いを考慮して適宜選択される。なお、熱変形が一定となるよう、実質的に一体となる構造部分は同一材料で構成されることが好ましい。
The materials of the reinforcing
上記の構造部材から選択された材料により構成された強化フレーム2A,2B,2C,及び固定フレーム5は、溶接により各部材を永久結合してもよく、ボルトで締結して構成してもよく、若しくは鋳造や成形により一体成形で構成してもよい。本発明のインクジェット印刷装置においては、インクジェットヘッド4R,4G,4B及びアライメントカメラ8が設けられている強化フレーム2A,2B,2C,の構造がいわゆるラーメン構造となる構成であればよい。
また、本発明のインクジェット印刷装置においては、インクジェットヘッド4R,4G,4B及びアライメントカメラ8が設けられている強化フレーム2A,2B,2C,の構造を、いわゆるトラス構造となるよう構成して、強化フレーム2A,2B,2C,の剛性を高めることも可能である。
The reinforcing
Further, in the ink jet printing apparatus of the present invention, the structure of the reinforced
なお、本実施の形態のインクジェット印刷装置において、基板搬送機構1とメンテナンスユニット移動機構11のガイド系の機構としてはエアスライドや転がり直線軸受け等を想定しており、駆動系の既往としてはリニアモータやボールねじ等により駆動することを想定しており、これらの機構の中から仕様等を考慮して適宜選択される。このうちエアスライドとリニアモータの組み合わせの場合は、ガイドとリニアモータを共用できる利点があり、図1はその組み合わせを想定して図示している。
In the ink jet printing apparatus of the present embodiment, an air slide, a rolling linear bearing or the like is assumed as a guide system mechanism of the
本実施の形態のインクジェット印刷装置においては、図示省略しているが、メンテナンスユニット9にはインクジェットヘッド4R,4G,4Bの表面を小さな面積に分割して密着して密閉する複数のキャップで構成されたキャップ群と、キャップ内を真空にしてインクを吸引するための真空ポンプとを備えたパージ機構、及びパージ機構によるパージ動作後にインクジェットヘッド表面に付着したインクを拭き取るためのワイプ機構等が必要に応じて備えられる構成である。
In the ink jet printing apparatus according to the present embodiment, although not shown, the
上記のように構成された本実施の形態のインクジェット印刷装置においては、複数の種類のインクを用いて印刷することが必要となり、インクジェットヘッドを複数個設ける場合であっても、またインクの速乾性が高いものであっても、複数のアライメントカメラと複数のインクジェットヘッドを強固なラーメン構造の一体型の強化フレームに直接的に支持固定する構成を有する。このように構成された本実施の形態のインクジェット印刷装置は、インクジェットヘッド4R,4G,4Bの取り付け剛性を確保することができ、高い印刷精度を実現することができる。 In the ink jet printing apparatus of the present embodiment configured as described above, it is necessary to print using a plurality of types of ink, and even when a plurality of ink jet heads are provided, the ink can be quickly dried. Even if it is high, it has a configuration in which a plurality of alignment cameras and a plurality of inkjet heads are directly supported and fixed to an integrated reinforcing frame having a rigid frame structure. The ink jet printing apparatus of the present embodiment configured as described above can secure the attachment rigidity of the ink jet heads 4R, 4G, and 4B, and can realize high printing accuracy.
また、本実施の形態のインクジェット印刷装置は、基盤搬送方向と同一方向にメンテナンスユニット9を移動できるメンテナンスユニット移動機構11を設けているため、インクジェットヘッド等を支持固定する一体型の強化フレームのラーメン構造の剛性を損なうことなく、メンテナンス処理が可能となり、高い印刷精度を保持しつつ確実なメンテナンス処理を容易に行うことができる構造となる。
In addition, since the inkjet printing apparatus according to the present embodiment is provided with the maintenance
さらに、本実施の形態のインクジェット印刷装置においては、極めて高い速乾性を有するインクの場合、インクパン12を基板搬送方向と交差する方向からインクジェットヘッド4R,4G,4Bの直下に挿入するインクパン移動機構13が設けられているため、印刷動作時とメンテナンス処理時以外の待機時において、インクジェットヘッド4R,4G,4Bからインクパン内に低周波でインクを吐出することが可能となり、インクジェットヘッド4R,4G,4Bの乾燥を防ぎ、高い印刷品質を維持することができる。
Further, in the ink jet printing apparatus according to the present embodiment, in the case of ink having extremely high quick drying properties, the ink pan movement in which the
なお、本実施の形態のインクジェット印刷装置においては、インクジェットヘッド4R,4G,4Bの表面の乾燥を防ぐための処置としてインクパン12を設けた例で説明したが、インクの速乾性が高くない場合には、インクパン12を設けなくてもよい。この場合には、メンテナンスユニット9に設けられているパージ機構のキャップを利用して、インクジェットヘッド4R,4G,4Bの表面を密閉することにより長時間印刷しない場合でも乾燥を防ぐことが可能となる。
In the ink jet printing apparatus according to the present embodiment, the example in which the
なお、本発明のインクジェット印刷装置において、メンテナンスユニットが重く大きく移動距離が長くなり、その移動時間が無視できない場合のみ、小さく軽量なインクパン12を最短距離で挿入するように構成してもよい。インクパン移動機構13の駆動系の機構としてはできるだけ高速に挿入動作と待避動作をさせるためにサーボモータが望ましい。
In the inkjet printing apparatus of the present invention, the small and
また、本実施の形態のインクジェット印刷装置においては、インクジェットヘッド4R,4G,4Bをメンテナンス処理のためのメンテナンスユニット9とメンテナンスユニット移動機構11とを設けた例で説明したが、例えばインクの捨て打ち動作だけで吐出が回復する場合等、使用するインクとインクジェットヘッドの特性によりパージ機構とワイプ機構による定期的なメンテナンス処理が必要でない場合には、メンテナンスユニット9とメンテナンスユニット移動機構11を特に設ける必要はない。インクの捨て打ち動作はインクパン12に吐出するよう構成してもよいし、別途吸着テーブル6の側面に設けたインクパンに吐出するよう構成してもよい。
Further, in the ink jet printing apparatus according to the present embodiment, the ink jet heads 4R, 4G, and 4B have been described as being provided with the
本実施の形態のインクジェット印刷装置においては、アライメントカメラ8をインクジェットヘッド4R,4G,4Bが固定された第1及び第2の強化フレーム2A,2Bとは別の第3の強化フレーム2Cの梁部に設けた例で説明したが、設計上可能であればインクジェットヘッドを固定した強化フレームの梁部に支持固定してもよい。若しくは、インクジェットヘッドとアライメントカメラを同一の筐体に支持固定し、その筐体を強化フレームの梁部に支持固定するよう構成してもよい。
In the ink jet printing apparatus of the present embodiment, the
なお、基板7のアライメント処理を行うには、吸着テーブル6を基板搬送方向と直角をなす移動軸と回転軸とにより移動動作及び回転動作を行う必要があるが、前述の実施の形態においては、上記のような移動動作及び回転動作を行うための機構の図示を省略している。 In order to perform the alignment process of the substrate 7, it is necessary to move and rotate the suction table 6 with a moving shaft and a rotating shaft perpendicular to the substrate transport direction. In the above-described embodiment, The illustration of the mechanism for performing the moving operation and the rotating operation as described above is omitted.
本実施の形態のインクジェット印刷装置において使用するインクを、例えば赤(R)、緑(G)、青(B)の3種類の場合を想定して、インクジェットヘッドは3個とし、それに伴いメンテナンスユニット9、インクパン12を各々3個の例で説明したが、基板7の製作用途により必要数備えればよく、要は、インクジェットヘッドをベース3と一体化されたラーメン構造の強化フレームに固定することにより、インクの着弾精度が高くなり優れた効果を発揮するものである。 The ink used in the ink jet printing apparatus of this embodiment is assumed to be, for example, three types of red (R), green (G), and blue (B). 9. In each example, the number of ink pans 12 is three. However, the necessary number of ink pans 12 may be provided depending on the purpose of manufacturing the substrate 7. In short, the ink jet head is fixed to a reinforcing frame having a rigid frame structure integrated with the base 3. As a result, the landing accuracy of the ink is increased and an excellent effect is exhibited.
本実施の形態においては、アライメントカメラ8を4個の場合を例として図示したが、機能上は少なくとも2個あれば効果を有する。ただし、3個以上を用いることは、より冗長性が増し、アライメント精度をより高めることが可能となる。
In the present embodiment, the case where there are four
インクジェットヘッド4R,4G,4Bとアライメントカメラ8を固定する一体型の強化フレームの柱部と梁部の形状寸法等の仕様は、インクジェットヘッド4R,4G,4Bとアライメントカメラ8の数や重さ等により適宜設定される。要は、インクジェットヘッド4R,4G,4Bとアライメントカメラ8を固定する強化フレームがベース3とともに強固なラーメン構造を構築できる構成であればよい。
Specifications such as the shape and dimensions of the pillars and beams of the integrated reinforced frame that fixes the inkjet heads 4R, 4G, 4B and the
本実施の形態のインクジェット印刷装置において基板搬送機構1とメンテナンスユニット移動機構11はエアガイドとリニアモータを想定したため、両者は同じ移動機構を共有しているが、別のガイド系機構、及び別の駆動系の機構でも本発明に適用することができる。要は、移動方向が同じであり、インクジェットヘッド4R,4G,4Bの直下に吸着テーブル6とメンテナンスユニット9を排他的に配置できる機構であればよい。
In the inkjet printing apparatus of the present embodiment, since the
インクジェットヘッド4R,4G,4B及びアライメントカメラ8は共に強化フレームに支持固定された例で説明したが、各々の初期の位置決めの時や、頻度の少ないメンテナンス処理の時に、上下、左右、前後または回転の方向を調整できる調整機構を設けてもよい。ただし、調整後においては確実に固定されるロック機構が設けられていることは言うまでもない。
The inkjet heads 4R, 4G, 4B and the
本実施の形態のインクジェット印刷装置において、乾燥を防ぐため非印刷動作時と非メンテナンス処理時はインクパン12にインクを低周波で吐出する構成としたが、印刷時の高い吐出周波数と同じ周波数でインクをインクパン12に吐出するよう構成してもよい。しかし、待機時のインクの消費量を最小限とするためには、乾燥しない最低限の周波数で吐出するよう構成することが望ましい。
In the ink jet printing apparatus according to the present embodiment, in order to prevent drying, ink is ejected to the
図1に示したベース3は一体型として図示したが、印刷すべき基板が大型化すると、設備の輸送を考慮する必要があり、その場合には輸送できる最大幅以内でベースを分割できる構成としてもよい。ベースを分割する場合には、例えばインクジェットヘッドとアライメントカメラを含む強化フレームを支持固定するベース部分と、メンテナンスユニットが待機するベース部分とに分割すると、精度を必要とするインクジェットヘッド、アライメントカメラ及び吸着テーブルの相対位置精度を高く保つことができ、組み立てられたベースを用いても印刷精度に悪影響を与えることがない。また、吸着テーブルが待機するベース部分を分割してもよい。 Although the base 3 shown in FIG. 1 is illustrated as an integrated type, when the substrate to be printed becomes large, it is necessary to consider the transportation of the equipment. In this case, the base can be divided within the maximum transportable width. Also good. In the case of dividing the base, for example, if the base portion for supporting and fixing the reinforcing frame including the ink jet head and the alignment camera is divided into the base portion on which the maintenance unit stands by, the ink jet head, the alignment camera and the suction that require accuracy are required. The relative positional accuracy of the table can be kept high, and even if the assembled base is used, the printing accuracy is not adversely affected. Further, the base portion on which the suction table stands by may be divided.
本実施の形態のインクジェット印刷装置において、インクジェットヘッド4R,4G,4B及びアライメントカメラ8を固定した強化フレームは、剛性の高いラーメン構造として説明したが、勿論ラーメン構造に変えてトラス構造により構成することも可能である。
In the ink jet printing apparatus according to the present embodiment, the reinforced frame to which the ink jet heads 4R, 4G, 4B and the
また、本実施の形態のインクジェット印刷装置においては、並設された強化フレーム2A,2B,2Cが固定フレーム5により結合された構成を示したが、トラス構造により強化フレーム2A,2B,2Cをより強固に結合することも可能である。図3は並設された強化フレーム2A,2B,2Cをトラス構造で強固に固定した構成した例を示すインクジェット印刷装置の斜視図である。図3に示すように、インクジェットヘッド4R,4G,4B及びアライメントカメラ8を固定する強化フレーム2A,2B,2Cにおいて、第1の強化フレーム2Aと第2の強化フレーム2Bとの間、及び第2の強化フレーム2Bと第3の強化フレーム2Cとの間にとトラスフレーム16を斜めに設けて、強化フレーム2A,2B,2Cをより強固に結合している。このようにトラス構造を用いることにより、図1に示した実施の形態のインクジェット印刷装置と同様に、速乾性の高い複数種類のインクを同時に精度高く塗布することを可能となり、特に、基板サイズが大型化した基板に対して複数種類のインクの着弾精度をさらに高めて、高精度にパターンを形成することが可能となる。
Further, in the inkjet printing apparatus of the present embodiment, the configuration in which the reinforced
本発明のインクジェット印刷装置は、速乾性の高い複数種類のインクを同時に精度高く塗布することができ、且つインクジェットヘッドのメンテナンスを容易に実施できるため、液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイパネル、有機ELディスプレイ等の表示装置に用いられると共に、これらの表示装置以外の、例えば印刷により回路形成等を行うインクジェット方式を応用した各種電子デバイス製造の用途にも適用でき、汎用性の高い印刷装置である。 The ink jet printing apparatus of the present invention can apply a plurality of types of high-drying inks with high accuracy at the same time and can easily carry out maintenance of the ink jet head, so that a liquid crystal display, a plasma display panel, an organic EL display, etc. In addition to these display devices, the present invention can be applied to various electronic device manufacturing applications that employ an inkjet system that performs circuit formation by printing, for example, and is a highly versatile printing device.
1 基板搬送機構
2A 第1の強化フレーム
2B 第2の強化フレーム
2C 第3の強化フレーム
3 ベース
4R インクジェットヘッド
4G インクジェットヘッド
4B インクジェットヘッド
5 固定フレーム
6 吸着テーブル
7 基板
8 アライメントカメラ
9 メンテナンスユニット
10 メンテナンステーブル
11 メンテナンスユニット移動機構
12 インクパン
13 インクパン移動機構
14 柱部
15 梁部
16 トラスフレーム
DESCRIPTION OF
Claims (3)
基板搬送方向に並設され、前記基板搬送機構によって搬送される基板上にインクを吐出するための複数のインクジェットヘッドと、
前記基板搬送機構が支持固定されるベースであって、前記基板搬送方向と平行であり、且つ前記吸着テーブルの基板載置面に直交し基板搬送経路の両側となる両側面を有するベースと、
前記ベースの前記両側面に固定され、前記複数のインクジェットヘッドを分散して支持固定する複数の強化フレームと、
前記複数の強化フレームのそれぞれを繋ぐように固定する複数の固定フレームと、
前記強化フレームに支持固定されており、前記基板に対するパターン形成前に前記基板の位置決めを行うための複数のアライメントカメラと、
前記インクジェットヘッドのメンテナンスを行うためのメンテナンスユニットと、
前記メンテナンスユニットが支持固定されたメンテナンステーブルを移動させるメンテナンスユニット移動機構と、を具備し、
前記メンテナンスユニット移動機構は、前記基板搬送機構と同じ方向の移動軸を有し、前記インクジェットヘッドの直下に前記吸着テーブルと前記メンテナンスユニットが排他的に配置されるよう構成されることを特徴とするインクジェット印刷装置。 A substrate transport mechanism for supporting and transporting the substrate on the substrate placement surface of the suction table;
A plurality of inkjet heads arranged in parallel in the substrate transport direction and for discharging ink onto the substrate transported by the substrate transport mechanism;
A base on which the substrate transport mechanism is supported and fixed, the base being parallel to the substrate transport direction and having both side surfaces orthogonal to the substrate placement surface of the suction table and serving as both sides of the substrate transport path ;
A plurality of reinforcing frames that are fixed to the both side surfaces of the base and that disperse and support the plurality of inkjet heads;
A plurality of fixed frames for fixing each of the plurality of reinforcing frames to connect each other;
A plurality of alignment cameras that are supported and fixed to the reinforcing frame, and for positioning the substrate before pattern formation on the substrate;
A maintenance unit for performing maintenance of the inkjet head;
A maintenance unit moving mechanism for moving a maintenance table on which the maintenance unit is supported and fixed, and
The maintenance unit moving mechanism has a moving shaft in the same direction as the substrate transfer mechanism, the maintenance unit and the suction table directly below the inkjet head is characterized Rukoto configured to be exclusively arranged Inkjet printing device.
前記インクパンを前記インクジェットヘッドの吐出部位の直下位置と待避位置との間を移動させるインクパン移動機構と、を具備し、
前記インクパン移動機構は、前記インクジェットヘッドの待機中において、基板搬送方向に直交する方向から前記インクジェットヘッドの吐出部位の直下に前記インクパンを挿入し、前記インクジェットヘッドから前記インクパンにインクを吐出させるよう構成された請求項1に記載のインクジェット印刷装置。 An ink pan that receives ink ejected from the inkjet head directly under the ejection site of the inkjet head;
An ink pan moving mechanism for moving the ink pan between a position immediately below the discharge portion of the inkjet head and a retracted position;
The ink pan moving mechanism inserts the ink pan directly under the ejection portion of the inkjet head from a direction orthogonal to the substrate transport direction while the inkjet head is waiting, and ejects ink from the inkjet head to the ink pan. The inkjet printing apparatus according to claim 1, wherein the inkjet printing apparatus is configured to cause the inkjet printing apparatus to perform .
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