JP5395507B2 - 三次元形状測定装置、三次元形状測定方法及びコンピュータプログラム - Google Patents
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Description
図1に本発明の実施形態1に係る形状計測装置100の概略上面図を示す。撮影部2の光学中心Oが世界座標系(X、Y、Z)の原点になるように配置している。また、Z軸を撮影部2の光軸と一致させ、水平方向右向きにX軸を、鉛直方向下向きにY軸をとる。実施形態1ではパターン投影部1の光軸と撮影部2の光軸が平行になるように配置する。パターン投影部1の光学中心Cは撮影部2の光学中心OからX軸上で距離Dだけ離れた位置に配置される。パターン投影部1の水平半画角をθX、垂直半画角をθYとした。また、撮影部2の水平半画角をψX、垂直半画角をψYとした。図1において、計測対象は撮影部2の光学中心Oから距離Z1の位置にある円柱41と、撮影部の光学中心Oから距離Z2の距離にある角柱42である。
C=(Imax - Imin)/(Imax+Imin)・・・式(1)
また、デフォーカスの発生量が大きいほど、投影パターンはグレーに近づくため、画像輝度の標準偏差も小さくなる。標準偏差SDは以下の式(2)で記述される。
ここで、Nはある画像領域内における画素の総数、Iaveはある画像領域内での画像輝度の平均値、Iiは画像領域内の各画素の輝度である。
φr×Fno×Zs 2/(Fc2+φr×Fno×Zs)・・・式(3)
φr×Fno×Zs 2/(Fc2−φr×Fno×Zs)・・・式(4)
ここで、φrは許容錯乱円径、FnoはF値(絞り値)、Zsは被写体距離、Fcは撮像光学系の焦点距離である。前方被写界深度と後方被写界深度の和が撮像光学系の被写界深度である。
1.22×λ×Fno・・・式(5)
ここでλは光の波長である。可視光において最も長波長だと言われる780nmで計算すると、撮像素子のピクセルピッチが0.01mmであればF値はF11よりも小さくすれば回折による影響はなくなる。つまり、上記条件ではF値をF4〜F8の間に設定する必要がある。
1/Fp=1/d+1/di・・・式(6)
di=d・Fp/(d−Fp)・・・式(7)
結像面Pfよりもαだけ手前の平面P1では像が広がる。開口径をAとするとこの像の広がりBは幾何光学的に以下の式(8)で記述される。
結像位置からの位置ずれ量αが大きいほど、像の広がりB、すなわち、デフォーカス量が増大することがわかる。簡単のために幾何光学的に算出される関係を記述した。しかし、波動光学的に考えると像の広がりは回折の影響を考慮する必要があるが、ここでは省略する。つまり、パターン投影部1による投影パターンのデフォーカス量を評価することで基準面3からの計測対象までの距離を推定できる。一方、式(8)から開口径Aが大きくなる程、デフォーカス量も増加することがわかる。図5(a)に開口径A1のときの像の広がりB1を、図5(b)に開口径A2のときの像の広がりB2を示したが、B1>B2である。
Sp=Ys/N・・・式(9)
キャリブレーションボード50のシフトピッチSpが小さいほど、キャリブレーションの精度は向上する。この場合の厳密なキャリブレーションの処理では、図8に示したフローに対応する処理の前後に追加の処理を行う。まず、S01のパターン撮影の前にキャリブレーションボード50を初期位置に移動する。その後、図8のS01からS05を実行する。厳密なキャリブレーションの場合、撮影回数をカウントしておき、S05の処理が完了するたびに撮影回数がキャリブレーションを終了すべき所定回数N回に達したかどうかを判定する。もし、撮影回数が所定回数N回に満たなければ、キャリブレーションボード50をシフトピッチSpだけ移動させた後、S01乃至S06を繰り返す。撮影回数が所定回数N回となった場合は、キャリブレーションを終了する。このような処理に寄れば、画像の全画素に対してデフォーカス量と奥行き位置の対応関係が求まるため、キャリブレーションの精度が向上する。
ここでf0は観察される縞パターンの基本周波数であり、以下の式(11)で記述される。
f0=1/p・・・式(11)
pは基準面上でのパターンのピッチ、Anは強度の最大振幅である。シーンに計測対象がある場合、基準面から計測対象までの距離に応じて観測される縞の位相は変化する。例えば、基準面上ではBの位置に投影され、像面に結像される点があるとする。ここで、物体が基準面から距離Hだけ離れているとすると、点Mに投影されるため、像面上では距離SMだけずれた状態で観測される。この距離はxとyに依存して変化するため、式(10)は以下の式(12)のように修正される。
ここで、φ(x,y) = 2πf0S(x,y) である。また、物体表面の反射率r(x、y)の変動も考慮する必要がある。したがって、式(12)は以下の式(13)のように変形される。
式(13)で与えられる歪んだパターン像は、次のように解釈することができる。位相φ(x、y)と振幅r(x、y)と空間搬送周波数nfoを有する多次元信号である。位相が三次元形状の情報を有しているため、不均一な反射振幅r(x、y)を分離して、φ(x、y)をいかにして求めるかという問題になる。
式(13)を以下の式(14)のように書き直す。
ここで、qn(x,y) = Anr(x,y)・exp(inφ(x,y))である。FFTアルゴリズムにより、yを固定にして、式(14)の1次元のフーリエ変換を計算すると以下の式(15)になる。
ここで、G(f、y)とQn(f、y)は、g(x、y)とqn(x、y)のyを固定して変数xに関するそれぞれフーリエスペクトルである。ほとんどの場合、すべてのスペクトルQn(f−nf0、y)は基本周波数f0によって互いに分離される。
そこで、n=1のときのスペクトル成分Q1(f−nf0y)を選び、逆フーリエ変換を行い、以下の式(16)で記述される複素信号を得る。
また、基準面上での複素信号は式(10)より、以下で与えられる。
式(16)、式(17)から以下の式(18)が与えられる。
ここで、*は複素共役を表す。式(18)の|A1|2r(x、y)は実関数であるため、複素ロガリズムを計算すると、以下の式(19)になる。
このような演算により、不要な成分である物体表面の反射率r(x、y)と抽出すべき位相情報φ(x、y)を分離することができる。
SM=D・H/(H+Zs)・・・式(20)
また、式(12)のφ(x、y)=2πf0S(x、y)に式(20)を代入すると、以下の式(21)が成り立つ。
H=Zsφ(x、y)/{2πf0D−φ(x、y)}・・・式(21)
ただし、観測できる位相情報は−π〜+πに折りたたまれているφw(x、y)である。位相の連続性を利用するなどして、位相接続を実施する必要がある。これは以下の式(21)の次数mを決定することに対応する。
φ(x、y) = 2π・m + φw(x、y)・・・式(21)
通常の位相接続では形状の連続性を仮定して行う。しかし、図1に示すように複数物体が存在するシーンでは、物体の形状が不連続であるため、その仮定が成り立たず、正しく位相接続を行うことができない。以上が、フーリエ変換法による位相情報の算出と奥行き計測の原理である。
実際のシーンではこれら3つの現象が複合して発生する。このような部分はデフォーカス量の算出結果の信頼性が低いと考えられる。そこで、S32のデフォーカス量信頼度算出において信頼度の評価を行う。
P(x、y)=Df(x、y)−Df(x−1、y)・・・式(22)
Df(x、y)はx=x、y=yにおけるデフォーカス値が格納されている。上記式(22)はデフォーカス値の差分(微分)をとることに対応する。すなわち、デフォーカス値の変化量が大きいところはP(x、y)の絶対値が大きくなる。P(x、y)の絶対値が所定の閾値以下ならば信頼性が高いとし、デフォーカス量をそのまま用いる。一方、閾値よりも大きければ信頼性が低いとし、補正処理を行う。以下では、この閾値をPtで表し、信頼性を評価する基準となる。補正処理はS40の位相接続工程の位相情報補正(S43)で行う。詳細は後で記述する。
φ(x、y)=2πf0D(1−Z(x、y)/L)・・・式(23)
求めたφ(x、y)から以下の式(24)を用いて次数mを算出する。
m=Int[φ(x、y)/2π]・・・式(24)
ここで、Int[]は少数点以下を切り捨てることを意味する。図16(d)に算出した次数mをグラフ化したものを示す。デフォーカス値の信頼性が基準よりも低い領域は、位相の次数は算出しない。グラフでは斜線で示す領域である。S42の位相接続では算出した位相の次数mと、S25における位相情報抽出の結果φw(x、y)に基づき、位相を接続する。具体的には以下の式(25)を用いる。
φm(x、y) = 2π・m + φw(x、y)・・・式(25)
式(25)は式(21)と同じ形だが、デフォーカス値の信頼性が基準よりも低い領域を含むため、本来のφ(x、y)とは異なる。区別するために、デフォーカス値の信頼性が基準よりも低い領域を含む場合の位相をφm(x、y)と表記した。
Z(x、y)=L(1−φ(x、y)/(2πf0D))・・・式(26)
図17(e)に最終的に計算された形状情報を示す。不連続な奥行きにある物体に対しても1回のパターン投影のみで詳細な形状計測が可能になることがわかる。以上のようにして、本実施形態では、形状情報を算出することができる。
図18に発明の実施形態2に係る形状計測装置200の概略図を示す。図1に示した実施形態1の構成と比較して投影パターン切換部14が追加された構成である。実施形態2では位相情報の取得に位相シフト法を用いる。位相シフト法では図2に示す正弦波状のパターンの位相をずらしながら3種類以上投影する必要がある。実施形態2では、正弦波状のパターンをπ/2ずつ位相をずらしながら4種類投影することにする。
φw(x、y)=tan-1{I3π/2(x、y)−Iπ/2(x、y)}/{I0(x、y)−Iπ(x、y)}・・・式(27)
フーリエ変換法では注目画素の投影パターンの変化に応じた輝度変動のみで処理が完結するため、対象のテクスチャの変動に強い位相算出が可能になる。
Claims (9)
- 周期性を有するパターンを計測空間に投影するパターン投影手段と、
前記パターンが投影された空間を撮影する撮影手段とを備え、
前記計測空間に存在する計測対象の三次元形状を計測する三次元形状計測装置であって、
前記計測空間は、基準面、前記パターン投影手段の投影範囲及び前記撮影手段の撮影範囲により規定され、前記パターン投影手段は、前記基準面で合焦するように前記パターンを投影し、
前記三次元形状計測装置は、
前記計測対象と前記三次元形状計測装置との相対的な位置関係が変化しない場合に前記撮影手段が撮影して得られた撮影画像のパターンの位相情報を算出する位相情報算出手段と、
前記撮影画像におけるパターンのデフォーカス量を算出するデフォーカス量算出手段と、
前記位相情報と前記デフォーカス量とに基づき、前記計測対象の三次元形状を算出する三次元形状算出手段と
をさらに備え、
前記三次元形状算出手段は、前記位相情報を補正する位相情報補正手段を備え、
該位相情報補正手段は、前記撮影画像から得られた前記デフォーカス量を前記計測空間の前記撮影手段から前記基準面に向かった奥行き情報に変換し、該奥行き情報に対応する位相の次数を算出し、該次数に基づいて位相情報を補正し、
前記三次元形状算出手段は、補正された位相情報に基づいて前記計測対象の三次元形状を算出することを特徴とする三次元形状計測装置。 - 前記デフォーカス量算出手段は、前記計測対象の表面の反射率の違い、前記パターン投影手段と前記計測対象との距離、及び前記撮影手段と前記計測対象との距離の少なくともいずれかに応じた前記デフォーカス量の変化量を算出し、該変化量が閾値よりも高いデフォーカス量を除外し、
前記位相情報補正手段は、該変化量が前記閾値以下であるデフォーカス量を前記奥行き情報に変換することを特徴とする請求項1に記載の三次元形状計測装置。 - 前記パターン投影手段により投影される前記パターンは1種類であって、
前記位相情報算出手段は、前記撮影画像を走査線毎にフーリエ変換して、フーリエ変換後のデータから前記パターンの基本周波数の付近のデータを抽出し、抽出したデータを逆フーリエ変換して、前記位相情報を求めることを特徴とする請求項1または2に記載の三次元形状計測装置。 - 前記パターン投影手段により投影される前記パターンは、位相がシフトされた3種類以上の投影パターンであって
前記撮影手段は、前記3種類以上の投影パターンのそれぞれについて撮影を行い、
前記位相情報算出手段は、前記3種類以上の投影パターンについて得られた撮影画像のそれぞれについて、同一座標位置における輝度値を取得し、取得した各輝度値と該輝度値に対応する位相のシフト量との関係に基づき、前記位相情報を算出する
ことを特徴とする請求項1に記載の三次元形状計測装置。 - 前記デフォーカス量算出手段は、前記3種類以上の投影パターンについて得られた撮影画像のそれぞれについて、前記計測対象の表面の反射率の違い、前記パターン投影手段と前記計測対象との距離、及び前記撮影手段と前記計測対象との距離の少なくともいずれかに応じた前記デフォーカス量の変化量を算出し、前記撮影画像のうちの1つの画像における前記変化量が閾値を越えるデフォーカス量を、他の撮影画像における前記変化量が前記閾値以下のデフォーカス量により置き換えることにより、該変化量が閾値以下のデフォーカス量を統合し、
前記位相情報補正手段は、該統合されたデフォーカス量を前記奥行き情報に変換することを特徴とする請求項4に記載の三次元形状計測装置。 - 前記デフォーカス量算出手段は、前記撮影画像の注目画素近傍の所定範囲内におけるコントラスト値に基づき、前記デフォーカス量を算出することを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の三次元形状計測装置。
- 前記デフォーカス量算出手段は、前記撮影画像の注目画素近傍の所定範囲内における画像輝度の標準偏差値に基づき、前記デフォーカス量を算出することを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の三次元形状計測装置。
- 周期性を有するパターンを計測空間に投影するパターン投影手段と、
前記パターンが投影された空間を撮影する撮影手段とを備え、
前記計測空間に存在する計測対象の三次元形状を計測する三次元形状計測装置による三次元形状計測方法であって、
前記計測空間は、基準面、前記パターン投影手段の投影範囲及び前記撮影手段の撮影範囲により規定され、前記方法は、
前記パターン投影手段が、前記基準面で合焦するように前記パターンを投影する工程と、
位相情報算出手段が、前記計測対象と前記三次元形状計測装置との相対的な位置関係が変化しない場合に前記撮影手段が撮影して得られた撮影画像におけるパターンの位相情報を算出する工程と、
デフォーカス量算出手段が、前記撮影画像におけるパターンのデフォーカス量を算出する工程と、
三次元形状算出手段が、前記位相情報と前記デフォーカス量とに基づき、前記計測対象の三次元形状を算出する工程と
を備え、
前記三次元形状算出工程は、位相情報補正手段が前記位相情報を補正する位相情報補正工程を備え、
前記位相情報補正工程では、前記撮影画像から得られた前記デフォーカス量を前記計測空間の前記撮影手段から前記基準面に向かった奥行き情報に変換し、該奥行き情報に対応する位相の次数を算出し、該次数に基づいて位相情報を補正し、
前記三次元形状算出工程では、補正された位相情報に基づいて前記計測対象の三次元形状を算出することを特徴とする三次元形状計測方法。 - パターンを投影するパターン投影手段と、撮影手段とを備えるコンピュータを、請求項1乃至7のいずれか1項に記載の三次元形状計測装置として動作させるためのコンピュータプログラム。
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