JP5317614B2 - 固体撮像素子用着色感光性組成物、固体撮像素子用カラーフィルター及びその製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、固体撮像素子（ＣＣＤ、ＣＭＯＳ等）に用いられるカラーフィルターの着色画像を形成するのに好適な着色感光性組成物並びにそれを用いた固体撮像素子用カラーフィルター及びその製造方法に関する。

固体撮像素子に用いられるカラーフィルターを作製する方法としては、液晶表示装置に用いられるカラーフィルターを作製する方法と同様、一般的に、染色法、印刷法、電着法、及び顔料分散法が知られている。

顔料分散法によりカラーフィルターを作製する場合、基板上に顔料を含む感光性組成物をスピンコーターやロールコーター等により塗布し、これを乾燥させて塗膜を形成する。該塗膜をパターン露光・現像することによって着色された画素が形成される。この操作を各色ごとに繰り返し行うことでカラーフィルターを得ることができる。顔料分散法に用いる感光性組成物としては、例えば、アルカリ可溶性樹脂に光重合性モノマーと光重合開始剤とを併用したネガ型感光性組成物が知られている（例えば、特許文献１参照）。

近年、固体撮像素子用のカラーフィルターにおいては更なる高精細化と薄膜化が望まれている。例えば、分光特性が維持された薄膜を形成する技術として、着色感光性組成物の全固形分中における着色剤含有量を増加させ、樹脂によりパターン形成性を改良する技術が開示されている（例えば、特許文献２参照）。しかし着色剤含有量を増加させると硬化性成分の含有量が相対的に減少するため、どうしても感度低下が著しいという問題がある。

一方、ネガ型感光性組成物にて経時安定性を付与するために、各種重合禁止剤を添加する技術が種々開示されている（例えば、特許文献３〜５参照）。しかし近年、着色剤含有量を向上させると、重合禁止剤に由来する感度低下の影響が大きくなり、低露光量にて現像時にパターンが剥がれる問題を無視することができない。
特開平７−１４０６５４号公報 特開２００６−２７６８７８号公報 特開平８−２９２５６６号公報 特開２０００−２１４５８０号公報 特開２００３−１７７５１７号公報

本発明は上記問題点に鑑みてなされたものであり、着色剤含有量が高くとも、低露光量にて現像時の画素パターン剥離の発生が抑制され、かつ室温以上での保存時も経時安定性が良好な固体撮像素子用着色感光性組成物、並びにそれを用いた固体撮像素子用カラーフィルター及びその製造方法を提供することを目的とする。

＜１＞ 全固形分に対する含有量で、５０質量％以上８０質量％以下の着色剤と、１．０
×１０^−５質量％以上１．０×１０^−３質量％以下のフェノール系化合物の熱重合禁止剤
とを含有することを特徴とする固体撮像素子用着色感光性組成物。
＜２＞ 前記着色剤が、有機溶剤可溶性染料であることを特徴とする＜１＞に記載の固体
撮像素子用着色感光性組成物。
＜３＞前記有機溶剤可溶性染料がフタロシアニン染料であることを特徴とする＜２＞に記載の固体撮像素子用着色感光性組成物。
＜４＞ 更に、不飽和二重結合を含み、下記一般式（１）〜（３）のいずれかで表される
第１の構成単位の群より選ばれる少なくとも１つ、及び酸基を含む、下記一般式（４）で
表される第２の構成単位の群より選ばれる少なくとも１つを有し、前記第１の構成単位の
前記第２の構成単位に対する比率（モル比）が１．５倍以上である樹脂を含有することを
特徴とする＜１＞〜＜３＞のいずれか１つに記載の固体撮像素子用着色感光性組成物。

前記一般式（１）〜（３）において、Ａ^１、Ａ^２、及びＡ^３は、それぞれ独立に、酸素原子、硫黄原子、又は−Ｎ（Ｒ^２１）−を表し、Ｒ^２１は水素原子又は置換基を有してもよいアルキル基を表す。Ｇ^１、Ｇ^２、及びＧ^３は、それぞれ独立に２価の有機基を表す。
Ｘ及びＺは、それぞれ独立に、酸素原子、硫黄原子、又は−Ｎ（Ｒ^２２）−を表し、Ｒ^２２は置換基を有してもよいアルキル基を表す。Ｙは、酸素原子、硫黄原子、置換基を有してもよいフェニレン基、又は−Ｎ（Ｒ^２３）−を表し、Ｒ^２３は水素原子又は置換基を有してもよいアルキル基を表す。Ｒ^１、Ｒ^２、Ｒ^３、Ｒ^４、Ｒ^５、Ｒ^６、Ｒ^７、Ｒ^８、Ｒ^９、Ｒ^１０、Ｒ^１１、Ｒ^１２、Ｒ^１３、Ｒ^１４、Ｒ^１５、Ｒ^１６、Ｒ^１７、Ｒ^１８、Ｒ^１９、及びＲ^２０は、それぞれ独立に１価の置換基を表す。また、前記一般式（４）において、Ｒ_Ａは、水素原子又は炭素数１〜６のアルキル基を表し、Ｒ_Ｂは２価の連結基を表す。
＜５＞ 前記樹脂の重量平均分子量が、３０，０００以上３００，０００以下であること
を特徴とする＜４＞に記載の固体撮像素子用着色感光性組成物。
＜６＞ オキシム開始剤を含有することを特徴とする前記＜１＞〜＜５＞のいずれかに記
載の固体撮像素子用着色感光性組成物。
＜７＞ ＜１＞〜＜６＞のいずれかに記載の固体撮像素子用着色感光性組成物を、支持体
上に塗布して着色感光性組成物層を形成する工程と、
前記着色感光性組成物層を、マスクを通して露光し、現像して前記支持体上にパターン
を形成する工程と、
を有する固体撮像素子用カラーフィルターの製造方法。
＜８＞ ＜１＞〜＜６＞のいずれかに記載の着色感光性組成物を用いて形成された固体撮
像素子用カラーフィルター。

本発明によれば、着色剤含有量が高くとも、低露光量にて現像時の画素パターン剥離の発生が抑制され、かつ室温以上での保存時も経時安定性が良好な固体撮像素子用着色感光性組成物、並びにそれを用いた固体撮像素子用カラーフィルター及びその製造方法を提供することができる。

本発明者らは、主に固体撮像素子用のカラーフィルターの製造に好適な着色感光性組成物について研究を重ねた結果、全固形分に対する含有量で、５０質量％以上８０質量％以下の着色剤と、１．０×１０^−５質量％以上１．０×１０^−３質量％以下のフェノール系化合物の熱重合禁止剤を含有することで、着色剤含有量が高くとも低露光量にて現像時の画素パターン剥離の発生が抑制され、かつ室温以上での保存時も経時安定性が良好な着色感光性組成物となることを見出した。

＜着色感光性組成物＞
本発明の着色感光性組成物（以下、「本発明の組成物」という場合がある。）は、（Ａ）着色剤の少なくとも１種と、（Ｂ）フェノール系化合物から選ばれる熱重合禁止剤の少なくとも１種とをそれぞれ所定量含み、更に必要に応じて、他の成分を用いて構成することができる。
以下、本発明の着色感光性組成物を構成する各成分について詳述する。

（Ａ）着色剤
本発明に係る着色感光性組成物は、全固形分に対する含有量で５０質量％以上８０質量％以下の着色剤を含有する。なお、本発明において「全固形分」とは、着色感光性組成物に含まれる溶剤以外の全ての成分を意味する。前記着色剤としては、従来のカラーフィルター用として公知の顔料および染料を特に制限なく使用することができる。

〜顔料〜
本発明の着色感光性組成物に含有しうる顔料としては、従来公知の種々の無機顔料及び有機顔料を挙げることができるが、光透過率の高い顔料であることが好ましい。光透過率の高い顔料とは、Ｒｅｄカラーフィルターに用いられる顔料であれば６００〜７００ｎｍの吸光度が小さい顔料、Ｇｒｅｅｎカラーフィルターに用いられる顔料であれば５２５〜５７５ｎｍの吸光度が小さい顔料、Ｂｌｕｅカラーフィルターに用いられる顔料であれば、４２５〜４７５ｎｍの吸光度が小さい顔料を指す。

無機顔料としては、金属酸化物、金属錯塩等で示される金属化合物を挙げることができ、具体的には、鉄、コバルト、アルミニウム、カドミウム、鉛、銅、チタン、マグネシウム、クロム、亜鉛、アンチモン等の金属酸化物、及び前記金属の複合酸化物を挙げることができる。

有機顔料としては、例えば、
Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１１，２４，３１，５３，８３，９３，９９，１０８，１０９，１１０，１３８，１３９，１４７，１５０，１５１，１５４，１５５，１６７，１８０，１８５，１９９，；
Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ３６，３８，４３，７１；
Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド８１，１０５，１２２，１４９，１５０，１５５，１７１，１７５，１７６，１７７，２０９，２２０，２２４，２４２，２５４，２５５，２６４，２７０；
Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット１９，２３，３２，３９；
Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１，２，１５，１５：１，１５：３，１５：６，１６，２２，６０，６６；
Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン７，３６，３７；
Ｃ．Ｉ．ピグメントブラウン２５，２８；
Ｃ．Ｉ．ピグメントブラック１，７；
カーボンブラック等を挙げることができる。

本発明においては、特に顔料の構造式中に塩基性のＮ原子を含むものを好ましく用いることができる。これら塩基性のＮ原子を含む顔料は、本発明の着色感光性組成物中で良好な分散性を示す。その原因については十分解明されていないが、重合性成分と顔料との親和性の高さが影響しているものと推定される。

本発明において好ましく用いることができる顔料として、以下のものを挙げることができる。但し本発明は、これらに限定されるものではない。

Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１１，２４，１０８，１０９，１１０，１３８，１３９，１５０，１５１，１５４，１６７，１８０，１８５，
Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ３６，７１，
Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１２２，１５０，１７１，１７５，１７７，２０９，２２４，２４２，２５４，２５５，２６４，
Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット１９，２３，３２，
Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：１，１５：３，１５：６，１６，２２，６０，６６，
Ｃ．Ｉ．ピグメントブラック１

これら有機顔料は、単独で、または２種以上を組合せて用いることができる。２種以上を組合せて用いることで、顔料の色純度を向上させることができる。例えば、本発明の着色感光性組成物をカラーフィルターの着色パターン形成に使用する場合には、２種以上の顔料を組合せて用いることが好ましい。これによりカラーフィルターの着色パターンの色純度をより向上させることができる。
顔料及び顔料の組合せの具体例を以下に示す。

例えば、赤の顔料としては、アントラキノン系顔料、ペリレン系顔料、及びジケトピロロピロール系顔料のそれぞれの単独使用、並びにこれらの赤色顔料の少なくとも１種と、ジスアゾ系黄色顔料、イソインドリン系黄色顔料、キノフタロン系黄色顔料及びペリレン系赤色顔料の少なくとも１種との組合せなどが挙げられる。
前記アントラキノン系顔料としては、例えば、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７７が挙げられ、前記ペリレン系顔料としては、例えば、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１５５、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２２４が挙げられ、ジケトピロロピロール系顔料としては、例えば、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２５４が挙げられる。
本発明においては、色再現性の点でアントラキノン系顔料、ペリレン系顔料、又はジケトピロロピロール系顔料とＣ．Ｉ．ピグメントイエロー１３９との組合せが好ましい。

前記組合せにおける赤色顔料と黄色顔料との質量比は、１００／５０〜１００／５が好ましい。１００／５以下とすることで４００ｎｍから５００ｎｍの光透過率を抑えることができ、色純度をより向上させることが容易になる。また１００／５０以上とすることで主波長が短波長よりになることを防ぐことができ、ＮＴＳＣ目標色相からのずれをより小さくすることができる。上記質量比としては、１００／３０〜１００／１０の範囲が特に好適である。なお、２種以上の赤色顔料を組合せる場合には、それぞれの含有比率を色度に合わせて調整することができる。

また、緑の顔料としては、ハロゲン化フタロシアニン系顔料の単独使用、並びに、これとジスアゾ系黄色顔料、キノフタロン系黄色顔料、アゾメチン系黄色顔料又はイソインドリン系黄色顔料との混合を用いることができる。例えば、このような組合せとしては、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン７、３６、３７と、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー８３、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３８、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３９、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５０、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１８０又はＣ．Ｉ．ピグメントイエロー１８５との組合せが好ましい。
前記組合せにおける緑顔料と黄色顔料との質量比は、１００／１５０〜１００／５が好ましく、１００／１２０〜１００／３０の範囲が特に好ましい。

青の顔料としては、フタロシアニン系顔料を単独で、並びに、これとジオキサジン系紫色顔料との組合せを用いることができる。例えばＣ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６とＣ．Ｉ．ピグメントバイオレット２３との混合が好ましい。
前記組合せにおける青色顔料と紫色顔料との質量比は、１００／３０〜１００／１が好ましく、より好ましくは１００／１０〜１００／１である。

また、本発明の着色感光性組成物をカラーフィルターのブラックマトリックスの形成に使用する場合に用いられる顔料としては、カーボン、チタンカーボン、酸化鉄、酸化チタン単独又はそれらの組合せが用いられ、カーボンとチタンカーボンとの組合せが好ましい。また、その組合せにおけるカーボンとチタンカーボンとの質量比は、１００／６０〜１００／１の範囲が好ましい。

本発明の着色感光性組成物をカラーフィルター用として用いる場合には、着色剤である顔料の一次粒子径は、色ムラやコントラストの観点から、１００ｎｍ以下であることが好ましく、また、分散安定性の観点から５ｎｍ以上であることが好ましい。顔料の一次粒子径としてより好ましくは、５〜７５ｎｍであり、更に好ましくは５〜５５ｎｍであり、特に好ましくは５〜３５ｎｍである。
顔料の一次粒子径は、電子顕微鏡等の公知の方法で測定することができる。

中でも、顔料としては、アントラキノン系、アゾメチン系、ベンジリデン系、シアニン系、ジケトピロロピロール系、及びフタロシアニン系から選ばれる顔料であることが好ましい。

〜染料〜
本発明における着色剤は、より高精細なパターンを形成することができる点で、染料であることが好ましい。特に、微細なパターンが矩形に形成できる観点から、着色剤が有機溶剤に可溶な染料であることが好ましく、着色剤のすべてが有機溶剤に可溶な染料であることがより好ましい。さらに、一般に染料は重合抑制能を有しており、着色剤が染料である場合のほうが経時安定性が良好である。
染料としては従来公知の染料、例えば、特開昭６４−９０４０３号公報、特開昭６４−９１１０２号公報、特開平１−９４３０１号公報、特開平６−１１６１４号公報、特許第２５９２２０７号、米国特許第４，８０８，５０１号明細書、米国特許第５，６６７，９２０号明細書、米国特許第５，０５９，５００号明細書、特開平６−３５１８３号公報、等に開示されている色素が使用できる。化学構造としては、トリフェニルメタン系、アントラキノン系、ベンジリデン系、オキソノール系、シアニン系、フェノチアジン系、ピロロピラゾールアゾメチン系、キサンテン系、フタロシアニン系、ベンゾピラン系、インジゴ系、等の染料が使用できる。特に好ましくは、ピラゾールアゾ系、アニリノアゾ系、ピラゾロトリアゾールアゾ系、ピリドンアゾ系、アンスラピリドン系の染料である。
その他、直接染料、塩基性染料、媒染染料、酸性染料、アゾイック染料、分散染料、油溶染料、食品染料、および／または、これらの誘導体等も有用に使用することが出来る。

〈酸性染料〉
ここで、酸性染料について説明する。本発明に係る着色感光性組成物に含有し得る酸性染料は、スルホ基やカルボキシ基やフェノール性水酸基等の酸性基を分子内に有する色素であれば特に限定されないが、有機溶剤や現像液に対する溶解性、塩基性化合物との塩形成性、吸光度、本発明の組成物における他の成分との相互作用、耐光性、耐熱性等の必要とされる性能の全てを考慮して選択される。

以下、酸性染料の具体例を挙げる。但し、本発明はこれらに限定されるものではない。例えば、
ａｃｉｄ ａｌｉｚａｒｉｎ ｖｉｏｌｅｔ Ｎ；
ａｃｉｄ ｂｌａｃｋ １，２，２４，４８；
ａｃｉｄ ｂｌｕｅ １，７，９，１５，１８，２３，２５，２７，２９，４０，４２，４５，５１，６２，７０，７４，８０，８３，８６，８７，９０，９２，９６，１０３，１１２，１１３，１２０，１２９，１３８，１４７，１５０，１５８，１７１，１８２，１９２，２１０，２４２，２４３，２５６，２５９，２６７，２７８，２８０，２８５，２９０，２９６，３１５，３２４：１，３３５，３４０；
ａｃｉｄ ｃｈｒｏｍｅ ｖｉｏｌｅｔ Ｋ；
ａｃｉｄ Ｆｕｃｈｓｉｎ；
ａｃｉｄ ｇｒｅｅｎ １，３，５，９，１６，２５，２７，５０，５８，６３，６５，８０，１０４，１０５，１０６，１０９；
ａｃｉｄ ｏｒａｎｇｅ ６，７，８，１０，１２，２６，５０，５１，５２，５６，６２，６３，６４，７４，７５，９４，９５，１０７，１０８，１６９，１７３；

ａｃｉｄ ｒｅｄ １，４，８，１４，１７，１８，２６，２７，２９，３１，３４，３５，３７，４２，４４，５０，５１，５２，５７，６６，７３，８０，８７，８８，９１，９２，９４，９７，１０３，１１１，１１４，１２９，１３３，１３４，１３８，１４３，１４５，１５０，１５１，１５８，１７６，１８２，１８３，１９８，２０６，２１１，２１５，２１６，２１７，２２７，２２８，２４９，２５２，２５７，２５８，２６０，２６１，２６６，２６８，２７０，２７４，２７７，２８０，２８１，１９５，３０８，３１２，３１５，３１６，３３９，３４１，３４５，３４６，３４９，３８２，３８３，３９４，４０１，４１２，４１７，４１８，４２２，４２６；
ａｃｉｄ ｖｉｏｌｅｔ ６Ｂ，７，９，１７，１９；
ａｃｉｄ ｙｅｌｌｏｗ １，３，７，９，１１，１７，２３，２５，２９，３４，３６，３８，４０，４２，５４，６５，７２，７３，７６，７９，９８，９９，１１１，１１２，１１３，１１４，１１６，１１９，１２３，１２８，１３４，１３５，１３８，１３９，１４０，１４４，１５０，１５５，１５７，１６０，１６１，１６３，１６８，１６９，１７２，１７７，１７８，１７９，１８４，１９０，１９３，１９６，１９７，１９９，２０２，２０３，２０４，２０５，２０７，２１２，２１４，２２０，２２１，２２８，２３０，２３２，２３５，２３８，２４０，２４２，２４３，２５１；

Ｄｉｒｅｃｔ Ｙｅｌｌｏｗ ２，３３，３４，３５，３８，３９，４３，４７，５０，５４，５８，６８，６９，７０，７１，８６，９３，９４，９５，９８，１０２，１０８，１０９，１２９，１３６，１３８，１４１；
Ｄｉｒｅｃｔ Ｏｒａｎｇｅ ３４，３９，４１，４６，５０，５２，５６，５７，６１，６４，６５，６８，７０，９６，９７，１０６，１０７；
Ｄｉｒｅｃｔ Ｒｅｄ ７９，８２，８３，８４，９１，９２，９６，９７，９８，９９，１０５，１０６，１０７，１７２，１７３，１７６，１７７，１７９，１８１，１８２，１８４，２０４，２０７，２１１，２１３，２１８，２２０，２２１，２２２，２３２，２３３，２３４，２４１，２４３，２４６，２５０；
Ｄｉｒｅｃｔ Ｖｉｏｌｅｔ ４７，５２，５４，５９，６０，６５，６６，７９，８０，８１，８２，８４，８９，９０，９３，９５，９６，１０３，１０４；

Ｄｉｒｅｃｔ Ｂｌｕｅ ５７，７７，８０，８１，８４，８５，８６，９０，９３，９４，９５，９７，９８，９９，１００，１０１，１０６，１０７，１０８，１０９，１１３，１１４，１１５，１１７，１１９，１３７，１４９，１５０，１５３，１５５，１５６，１５８，１５９，１６０，１６１，１６２，１６３，１６４，１６６，１６７，１７０，１７１，１７２，１７３，１８８，１８９，１９０，１９２，１９３，１９４，１９６，１９８，１９９，２００，２０７，２０９，２１０，２１２，２１３，２１４，２２２，２２８，２２９，２３７，２３８，２４２，２４３，２４４，２４５，２４７，２４８，２５０，２５１，２５２，２５６，２５７，２５９，２６０，２６８，２７４，２７５，２９３；
Ｄｉｒｅｃｔ Ｇｒｅｅｎ ２５，２７，３１，３２，３４，３７，６３，６５，６６，６７，６８，６９，７２，７７，７９，８２；
Ｍｏｒｄａｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ ５，８，１０，１６，２０，２６，３０，３１，３３，４２，４３，４５，５６，５０，６１，６２，６５；
Ｍｏｒｄａｎｔ Ｏｒａｎｇｅ ３，４，５，８，１２，１３，１４，２０，２１，２３，２４，２８，２９，３２，３４，３５，３６，３７，４２，４３，４７，４８；

Ｍｏｒｄａｎｔ Ｒｅｄ １，２，３，４，９，１１，１２，１４，１７，１８，１９，２２，２３，２４，２５，２６，３０，３２，３３，３６，３７，３８，３９，４１，４３，４５，４６，４８，５３，５６，６３，７１，７４，８５，８６，８８，９０，９４，９５；
Ｍｏｒｄａｎｔ Ｖｉｏｌｅｔ ２，４，５，７，１４，２２，２４，３０，３１，３２，３７，４０，４１，４４，４５，４７，４８，５３，５８；
Ｍｏｒｄａｎｔ Ｂｌｕｅ ２，３，７，８，９，１２，１３，１５，１６，１９，２０，２１，２２，２３，２４，２６，３０，３１，３２，３９，４０，４１，４３，４４，４８，４９，５３，６１，７４，７７，８３，８４；
Ｍｏｒｄａｎｔ Ｇｒｅｅｎ １，３，４，５，１０，１５，１９，２６，２９，３３，３４，３５，４１，４３，５３；
Ｆｏｏｄ Ｙｅｌｌｏｗ ３；
及びこれらの染料の誘導体が挙げられる。

上記の酸性染料の中でも、
ａｃｉｄ ｂｌａｃｋ ２４；
ａｃｉｄ ｂｌｕｅ ２３，２５，２９，６２，８０，８６，８７，９２，１３８，１５８，１８２，２４３，３２４：１；
ａｃｉｄ ｏｒａｎｇｅ ８，５１，５６，７４，６３；
ａｃｉｄ ｒｅｄ １，４，８，３４，３７，４２，５２，５７，８０，９７，１１４，１４３，１４５，１５１，１８３，２１７，２４９；
ａｃｉｄ ｖｉｏｌｅｔ ７；
ａｃｉｄ ｙｅｌｌｏｗ １７，２５，２９，３４，４２，７２，７６，９９，１１１，１１２，１１４，１１６，１３４，１５５，１６９，１７２，１８４，２２０，２２８，２３０，２３２，２４３；
ａｃｉｄ ｇｒｅｅｎ ２５；
などの染料及びこれらの染料の誘導体が好ましい。

酸性染料の誘導体としては、スルホ基あるいはカルボキシ基を有する酸性染料の無機塩、含窒素化合物との塩及び／又はアミド化合物が使用でき、本発明の組成物中に溶解させることができるものであれば特に限定されない。酸性染料の誘導体は、有機溶剤や現像液に対する溶解性、吸光度、本発明の組成物中における他の成分との相互作用、耐光性、耐熱性等の必要とする性能の全てを考慮して選択される。

酸性染料と含窒素化合物との塩及びアミド化合物について説明する。
酸性染料と含窒素化合物とが塩又はアミド化合物を形成することによって、酸性染料の溶解性改良（有機溶剤への溶解性付与）や、耐熱性及び耐光性を改良することができる。
また、酸性染料と塩を形成する含窒素化合物、及び酸性染料とアミド結合を形成する含窒素化合物については、塩またはアミド化合物の有機溶剤や現像液に対する溶解性、塩形成性、染料の吸光度・色価、本発明の組成物中における他の成分との相互作用、着色剤としての耐熱性及び耐光性等の全てを勘案して選択される。吸光度・色価の観点から選択する場合には、前記含窒素化合物としてはできるだけ分子量の小さいものが好ましく、中でも分子量３００以下のものが好ましく、分子量２８０以下のものがより好ましく、分子量２５０以下のものが特に好ましい。

酸性染料と含窒素化合物との塩における、含窒素化合物／酸性染料のモル比（以下、ｎという）について説明する。ｎは、酸性染料分子と対イオンとなる含窒素化合物とのモル比率を決定する値であり、酸性染料と含窒素化合物との塩形成条件によって自由に選択することができる。具体的には、酸性染料中の酸性官能基数に応じて、０＜ｎ≦５の間の数値が実用上多く用いられ、有機溶剤や現像液に対する溶解性、塩形成性、吸光度、本発明の組成物中における他の成分との相互作用、耐光性、耐熱性等、必要とする性能の全てを考慮して選択される。吸光度の観点で選択する場合には、前記ｎは０＜ｎ≦４．５の間の数値であることが好ましく、０＜ｎ≦４の間の数値であることがさらに好ましく、０＜ｎ≦３．５の間の数値であることが特に好ましい。

本発明の着色感光性組成物は、着色剤として、染料の中でも特に、水素結合ドナーを２個以上含有する染料が、現像残渣抑制の観点から特に好ましい。このような染料の具体例としては、特開２００６−２４３０４０号公報に記載の染料等が挙げられる。
本発明の着色感光性組成物は、着色剤として、染料の中でも特に、有機溶剤に可溶なフタロシアニン染料の少なくとも１種を含有することが耐光性、耐熱性の観点で好ましい。本発明においては有機溶剤に可溶なフタロシアニン染料であれば、特に制限なく好適に使用することができる。
例えば、有機溶剤に可溶なフタロシアニン染料としては、特開平５−３３３２０７号公報、特開平６−５１１１５号公報、特開平６−１９４８２８号公報に記載の染料等が挙げられる。特に好ましい有機溶剤可溶性フタロシアニン染料としては、下記一般式（Ｉ）で表される色素化合物が挙げられる。

［一般式（Ｉ）で表される色素化合物］
一般式（Ｉ）で表される色素化合物について説明する。下記一般式（Ｉ）で表される色素化合物は、モル吸光係数εおよび色価の良好な有機溶剤可溶性フタロシアニン染料であり、高い耐光性と高い耐熱性とを同時に満足する化合物である。

前記一般式（Ｉ）において、Ｒｃ_１は、ハロゲン原子、脂肪族基、アリール基、ヘテロ環基、シアノ基、カルボキシ基、カルバモイル基、脂肪族オキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、アシル基、ヒドロキシ基、脂肪族オキシ基、アリールオキシ基、アシルオキシ基、カルバモイルオキシ基、ヘテロ環オキシ基、脂肪族オキシカルボニルオキシ基、Ｎ−アルキルアシルアミノ基、カルバモイルアミノ基、スルファモイルアミノ基、脂肪族オキシカルボニルアミノ基、アリールオキシカルボニルアミノ基、脂肪族スルホニルアミノ基、アリールスルホニルアミノ基、脂肪族チオ基、アリールチオ基、脂肪族スルホニル基、アリールスルホニル基、スルファモイル基、スルホ基、イミド基、またはヘテロ環チオ基を表す。Ｚｃ_１は、炭素原子と共に６員環を形成するのに必要な非金属原子群を表し、４つのＺｃ_１はそれぞれ同一でも異なっていてもよい。Ｍは、２個の水素原子、２価の金属原子、２価の金属酸化物、２価の金属水酸化物、または２価の金属塩化物を表す。ｃｍは、０、１または２を表し、ｃｎは０または１〜５の整数を表し、４つのｃｎは同一でも異なってもよい。但し、ｃｎの少なくとも１つは１〜５の整数を表し、分子中の複数のＲｃ_１はそれぞれ同一でも異なっていてもよい。ｃｒ１、ｃｒ２、ｃｒ３及びｃｒ４は０または１を表し、ｃｒ１＋ｃｒ２＋ｃｒ３＋ｃｒ４≧１を満たす。

前記一般式（Ｉ）において、「脂肪族基」は、その脂肪族部位が直鎖、分岐鎖、または環状であって、飽和または不飽和のいずれであってもよく、例えば、アルキル基、アルケニル基、シクロアルキル基、シクロアルケニル基を含み、無置換であっても置換基で置換されていてもよい。また、「アリール基」は、単環及び縮合環のいずれでもよく、無置換であっても置換基で置換されていてもよい。「ヘテロ環基」は、そのヘテロ環部位が環内にヘテロ原子（例えば、窒素原子、イオウ原子、酸素原子）を持つものであり、飽和環または不飽和環のいずれであってもよく、単環または縮合環のいずれでもよく、無置換であっても置換基で置換されていてもよい。

また、前記一般式（Ｉ）において、「置換基」は、置換可能な基であればよく、例えば、脂肪族基、アリール基、ヘテロ環基、アシル基、イミド基、アゾ基、アシルオキシ基、アシルアミノ基、脂肪族オキシ基、アリールオキシ基、ヘテロ環オキシ基、脂肪族オキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、ヘテロ環オキシカルボニル基、カルバモイル基、脂肪族スルホニル基、アリールスルホニル基、ヘテロ環スルホニル基、脂肪族スルホニルオキシ基、アリールスルホニルオキシ基、ヘテロ環スルホニルオキシ基、スルファモイル基、脂肪族スルホンアミド基、アリールスルホンアミド基、ヘテロ環スルホンアミド基、アミノ基、脂肪族アミノ基、アリールアミノ基、ヘテロ環アミノ基、脂肪族オキシカルボニルアミノ基、アリールオキシカルボニルアミノ基、ヘテロ環オキシカルボニルアミノ基、脂肪族スルフィニル基、アリールスルフィニル基、脂肪族チオ基、アリールチオ基、ヘテロ環チオ基、ヒドロキシ基、シアノ基、スルホ基、カルボキシ基、脂肪族オキシアミノ基、アリールオキシアミノ基、カルバモイルアミノ基、スルファモイルアミノ基、ハロゲン原子、スルファモイルカルバモイル基、カルバモイルスルファモイル基、ジ脂肪族オキシホスフィニル基、ジアリールオキシホスフィニル基、等を挙げることができる。

前記のように、一般式（Ｉ）において、Ｒｃ_１は、ハロゲン原子、脂肪族基、アリール基、ヘテロ環基、シアノ基、カルボキシ基、カルバモイル基、脂肪族オキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、アシル基、ヒドロキシ基、脂肪族オキシ基、アリールオキシ基、アシルオキシ基、カルバモイルオキシ基、ヘテロ環オキシ基、脂肪族オキシカルボニルオキシ基、Ｎ−アルキルアシルアミノ基、カルバモイルアミノ基、スルファモイルアミノ基、脂肪族オキシカルボニルアミノ基、アリールオキシカルボニルアミノ基、脂肪族スルホニルアミノ基、アリールスルホニルアミノ基、脂肪族チオ基、アリールチオ基、脂肪族スルホニル基、アリールスルホニル基、スルファモイル基、スルホ基、イミド基、またはヘテロ環チオ基を表す。

前記Ｒｃ_１で表されるハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子等が挙げられる。

前記Ｒｃ_１で表される脂肪族基としては、無置換でも置換基を有していてもよく、飽和であっても不飽和であってもよく、環状であってもよく、総炭素数１〜１５の脂肪族基が好ましい。例えば、メチル基、エチル基、ビニル基、アリル基、エチニル基、イソプロペニル基、２−エチルヘキシル基等が挙げられる。

前記Ｒｃ_１で表されるアリール基としては、無置換でも置換基を有していてもよく、総炭素数６〜１６のアリール基が好ましく、総炭素数６〜１２のアリール基がより好ましい。例えば、フェニル基、４−ニトロフェニル基、２−ニトロフェニル基、２−クロロフェニル基、２，４−ジクロロフェニル基、２，４−ジメチルフェニル基、２−メチルフェニル基、４−メトキシフェニル基、２−メトキシフェニル基、２−メトキシカルボニル−４−ニトロフェニル基等が挙げられる。

前記Ｒｃ_１で表されるヘテロ環基としては、飽和であっても不飽和であってもよく、総炭素数１〜１５のヘテロ環基が好ましく、総炭素数３〜１０のヘテロ環基がより好ましい。例えば、３−ピリジル基、２−ピリジル基、２−ピリミジニル基、２−ピラジニル基、１−ピペリジル基等が挙げられる。また、さらに置換基を有していてもよい。

前記Ｒｃ_１で表されるカルバモイル基としては、無置換でも置換基を有していてもよく、総炭素数１〜１６のカルバモイル基が好ましく、総炭素数１〜１２のカルバモイル基がより好ましい。例えば、カルバモイル基、ジメチルカルバモイル基、ジメトキシエチルカルバモイル基等が挙げられる。

前記Ｒｃ_１で表される脂肪族オキシカルボニル基としては、無置換でも置換基を有していてもよく、飽和であっても不飽和であってもよく、環状であってもよく、総炭素数２〜１６の脂肪族オキシカルボニル基が好ましく、総炭素数２〜１０の脂肪族オキシカルボニル基がより好ましい。例えば、メトキシカルボニル基、ブトキシカルボニル基等が挙げられる。

前記Ｒｃ_１で表されるアリールオキシカルボニル基としては、無置換でも置換基を有していてもよく、総炭素数７〜１７のアリールオキシカルボニル基が好ましく、総炭素数７〜１５のアリールオキシカルボニル基がより好ましい。例えば、フェノキシカルボニル基等が挙げられる。

前記Ｒｃ_１で表されるアシル基は、脂肪族カルボニル基であってもアリールカルボニル基であってもよく、脂肪族カルボニル基を表す場合は更に置換基を有していてもよく、アリールカルボニル基を表す場合は更に置換基を有していてもよく、飽和または不飽和のいずれでもよく、環状であってもよい。該アシル基としては、総炭素数２〜１５のアシル基が好ましく、総炭素数２〜１０のアシル基がより好ましい。例えば、アセチル基、ピバロイル基、ベンゾイル基等が挙げられる。また、さらに置換基を有していてもよい。

前記Ｒｃ_１で表される脂肪族オキシ基は、無置換でも置換基を有していてもよく、飽和であっても不飽和であってもよく、環状であってもよい。脂肪族オキシ基としては、総炭素数１〜１２の脂肪族オキシ基が好ましく、総炭素数１〜１０の脂肪族オキシ基がより好ましい。例えば、メトキシ基、エトキシエトキシ基、フェノキシエトキシ基、チオフェノキシエトキシ基等が挙げられる。

前記Ｒｃ_１で表されるアリールオキシ基としては、無置換でも置換基を有していてもよく、総炭素数６〜１８のアリールオキシ基が好ましく、総炭素数６〜１４のアリールオキシ基がより好ましい。例えば、フェノキシ基、４−メチルフェノキシ基等が挙げられる。

前記Ｒｃ_１で表されるアシルオキシ基としては、無置換でも置換基を有していてもよく、総炭素数２〜１４のアシルオキシ基が好ましく、総炭素数２〜１０のアシルオキシ基がより好ましい。例えば、アセトキシ基、メトキシアセトキシ基、ベンゾイルオキシ基等が挙げられる。

前記Ｒｃ_１で表されるカルバモイルオキシ基としては、無置換でも置換基を有していてもよく、総炭素数１〜１６のカルバモイルオキシ基が好ましく、総炭素数１〜１２のカルバモイルオキシ基がより好ましい。例えば、ジメチルカルバモイルオキシ基、ジイソプロピルカルバモイルオキシ基等が挙げられる。

前記Ｒｃ_１で表されるヘテロ環オキシ基としては、無置換でも置換基を有していてもよく、総炭素数１〜１５のヘテロ環オキシ基が好ましく、総炭素数３〜１０のヘテロ環オキシ基がより好ましい。例えば、３−フリルオキシ基、３−ピリジルオキシ基、Ｎ−メチル−２−ピペリジルオキシ基等が挙げられる。

前記Ｒｃ_１で表される脂肪族オキシカルボニルオキシ基は、無置換でも置換基を有していてもよく、飽和であっても不飽和であってもよく、環状であってもよい。脂肪族オキシカルボニルオキシ基としては、総炭素数２〜１６の脂肪族オキシカルボニルオキシ基が好ましく、総炭素数２〜１０の脂肪族オキシカルボニルオキシ基がより好ましい。例えば、メトキシカルボニルオキシ基、（ｔ）ブトキシカルボニルオキシ基等が挙げられる。

前記Ｒｃ_１で表されるＮ−アルキルアシルアミノ基としては、無置換でも置換基を有していてもよく、総炭素数３〜１５のＮ−アルキルアシルアミノ基が好ましく、総炭素数３〜１２のＮ−アルキルアシルアミノ基がより好ましい。例えば、Ｎ−メチルアセチルアミノ基、Ｎ−エトキシエチルベンゾイルアミノ基、Ｎ−メチルメトキシアセチルアミノ基等が挙げられる。

前記Ｒｃ_１で表されるカルバモイルアミノ基としては、無置換でも置換基を有していてもよく、総炭素数１〜１６のカルバモイルアミノ基が好ましく、総炭素数１〜１２のカルバモイルアミノ基がより好ましい。例えば、Ｎ，Ｎ−ジメチルカルバモイルアミノ基、Ｎ−メチル−Ｎ−メトキシエチルカルバモイルアミノ基等が挙げられる。

前記Ｒｃ_１で表されるスルファモイルアミノ基としては、無置換でも置換基を有していてもよく、総炭素数０〜１６のスルファモイルアミノ基が好ましく、総炭素数０〜１２のスルファモイルアミノ基がより好ましい。例えば、Ｎ，Ｎ−ジメチルスルファモイルアミノ基、Ｎ，Ｎ−ジエチルスルファモイルアミノ基等が挙げられる。

前記Ｒｃ_１で表される脂肪族オキシカルボニルアミノ基としては、無置換でも置換基を有していてもよく、総炭素数２〜１５の脂肪族オキシカルボニルアミノ基が好ましく、総炭素数２〜１０の脂肪族オキシカルボニルアミノ基がより好ましい。例えば、メトキシカルボニルアミノ基、メトキシエトキシカルボニルアミノ基等が挙げられる。

前記Ｒｃ_１で表されるアリールオキシカルボニルアミノ基としては、無置換でも置換基を有していてもよく、総炭素数７〜１７のアリールオキシカルボニルアミノ基が好ましく、総炭素数７〜１５のアリールオキシカルボニルアミノ基がより好ましい。例えば、フェノキシカルボニルアミノ基、４−メトキシフェノキシカルボニルアミノ基等が挙げられる。

前記Ｒｃ_１で表される脂肪族スルホニルアミノ基は、無置換でも置換基を有していてもよく、飽和であっても不飽和であってもよく、環状であってもよい。脂肪族スルホニルアミノ基としては、総炭素数１〜１２の脂肪族スルホニルアミノ基が好ましく、総炭素数１〜８の脂肪族スルホニルアミノ基がより好ましい。例えば、メタンスルホニルアミノ基、ブタンスルホニルアミノ基等が挙げられる。

前記Ｒｃ_１で表されるアリールスルホニルアミノ基としては、無置換でも置換基を有していてもよく、総炭素数６〜１５のアリールスルホニルアミノ基が好ましく、総炭素数６〜１２のアリールスルホニルアミノ基がより好ましい。例えば、ベンゼンスルホニルアミノ基、４−トルエンスルホニルアミノ基等が挙げられる。

前記Ｒｃ_１で表される脂肪族チオ基は、無置換でも置換基を有していてもよく、飽和であっても不飽和であってもよく、環状であってもよい。脂肪族チオ基としては、総炭素数１〜１６の脂肪族チオ基が好ましく、総炭素数１〜１０の脂肪族チオ基がより好ましい。例えば、メチルチオ基、エチルチオ基、エトキシエチルチオ基等が挙げられる。
前記Ｒｃ_１で表されるアリールチオ基としては、無置換でも置換基を有していてもよく、総炭素数６〜２２のアリールチオ基が好ましく、総炭素数６〜１４のアリールチオ基が好ましい。例えば、フェニルチオ基、２−ｔ−ブチルフェニルチオ基等が挙げられる。

前記Ｒｃ_１で表される脂肪族スルホニル基としては、無置換でも置換基を有していてもよく、総炭素数１〜１５の脂肪族スルホニル基が好ましく、総炭素数１〜８の脂肪族スルホニル基がより好ましい。例えば、メタンスルホニル基、ブタンスルホニル基、メトキシエタンスルホニル基等が挙げられる。
前記Ｒｃ_１で表されるアリールスルホニル基としては、無置換でも置換基を有していてもよく、総炭素数６〜１６のアリールスルホニル基が好ましく、総炭素数６〜１２のアリールスルホニル基がより好ましい。例えば、ベンゼンスルホニル基、４−ｔ−ブチルベンゼンスルホニル基、４−トルエンスルホニル基、２−トルエンスルホニル基等が挙げられる。

前記Ｒｃ_１で表されるスルファモイル基としては、無置換でも置換基を有していてもよく、総炭素数０〜１６のスルファモイル基が好ましく、総炭素数０〜１２のスルファモイル基がより好ましい。例えば、スルファモイル基、ジメチルスルファモイル基等が挙げられる。

前記Ｒｃ_１で表されるイミド基としては、更に縮環していてもよく、総炭素数３〜２２のイミド基が好ましく、総炭素数３〜１５のイミド基がより好ましい。例えば、コハク酸イミド基、フタル酸イミド基等が挙げられる。

前記Ｒｃ_１で表されるヘテロ環チオ基としては、無置換でも置換基を有していてもよく、５〜７員環であって、総炭素数１〜２０のヘテロ環チオ基が好ましく、総炭素数１〜１２のヘテロ環チオ基が好ましい。例えば、３−フリルチオ基、３−ピリジルチオ基等が挙げられる。

前記一般式（Ｉ）中、Ｚｃ_１は、炭素原子と共に６員環を形成するのに必要な非金属原子群を表し、４つのＺｃ_１はそれぞれ同一でも異なっていてもよい。形成される６員環は、アリール環またはヘテロ環のいずれであってもよく、縮環していてもよく、縮環した環が更に置換基を有していてもよい。６員環としては、例えば、ベンゼン環、ピリジン環、シクロヘキセン環、ナフタレン環等が挙げられ、ベンゼン環である態様が好適である。

前記一般式（Ｉ）中、Ｍは、２個の水素原子、２価の金属原子、２価の金属酸化物、２価の金属水酸化物、または２価の金属塩化物を表す。該Ｍとしては、例えば、ＶＯ、ＴｉＯ、Ｚｎ、Ｍｇ、Ｓｉ、Ｓｎ、Ｒｈ、Ｐｔ、Ｐｄ、Ｍｏ、Ｍｎ、Ｐｂ、Ｃｕ、Ｎｉ、Ｃｏ、Ｆｅ、ＡｌＣｌ、ＩｎＣｌ、ＦｅＣｌ、ＴｉＣｌ_２、ＳｎＣｌ_２、ＳｉＣｌ_２、ＧｅＣｌ_２、Ｓｉ（ＯＨ）_２、及びＨ_２等が挙げられ、ＶＯ、Ｚｎ、Ｍｎ、Ｃｕ、ＮｉまたはＣｏである態様が好適である。

前記一般式（Ｉ）において、ｃｍは０、１または２（好ましくは０）を表し、ｃｎは０または１〜５の整数（好ましくは０または１）を表す。分子中の４ヶ所のｃｎは同一でも異なってもよいが、ｃｎの１つは１〜５の整数を表し、分子中にｃｎが複数ある場合には、複数のＲｃ_１は互いに同一でも異なっていてもよい。
また、ｃｒ１、ｃｒ２、ｃｒ３及びｃｒ４は、０または１を表し、ｃｒ１＋ｃｒ２＋ｃｒ３＋ｃｒ４≧１を満たす。中でも、ｃｒ１＋ｃｒ２＋ｃｒ３＋ｃｒ４が３または４である態様が好ましい。

前記一般式（Ｉ）で表される色素化合物の中でも、下記一般式（Ｉ−１）で表される色素が好ましい。

前記一般式（Ｉ−１）中、Ｒｃ_２は置換基を表し、該置換基は、置換可能な基であればよく、既述の「置換基」の項で列挙した基が挙げられる。好ましくは、脂肪族基、アリール基、ヘテロ環基、Ｎ−アルキルアシルアミノ基、脂肪族オキシ基、アリールオキシ基、ヘテロ環オキシ基、脂肪族オキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、ヘテロ環オキシカルボニル基、カルバモイル基、脂肪族スルホニル基、スルファモイル基、脂肪族スルホンアミド基、アリールスルホンアミド基、脂肪族アミノ基、アリールアミノ基、脂肪族オキシカルボニルアミノ基、アリールオキシカルボニルアミノ基、脂肪族チオ基、アリールチオ基、ヒドロキシ基、シアノ基、スルホ基、カルボキシ基、カルバモイルアミノ基、スルファモイルアミノ基、ハロゲン原子であり、より好ましくは、脂肪族基、Ｎ−アルキルアシルアミノ基、脂肪族オキシ基、脂肪族オキシカルボニル基、脂肪族スルホニル基、脂肪族チオ基、アリールチオ基、スルホ基、カルボキシ基、ハロゲン原子である。

前記一般式（Ｉ−１）中、ｃｐは０〜４の整数を表し、好ましくは０または１である。ただし、ｃｐ＋ｃｒ１、ｃｐ＋ｃｒ２、ｃｐ＋ｃｒ３、ｃｐ＋ｃｒ４は、いずれも０〜４の整数を表す。Ｒｃ_２が分子中に複数存在している場合、複数のＲｃ_２は同一でも異なっていてもよい。
なお、一般式（Ｉ−１）におけるＲｃ_１、Ｍ、ｃｍ、ｃｎ並びにｃｒ１、ｃｒ２、ｃｒ３及びｃｒ４は、前記一般式（Ｉ）おける場合と同義であり、好ましい態様も同様である。

前記一般式（Ｉ−１）で表される色素化合物の中でも、下記一般式（Ｉ−２）で表される色素がより好ましい。

前記一般式（Ｉ−２）中、Ｒｃ_１、Ｒｃ_２、Ｍ、ｃｍ、ｃｎ並びにｃｒ１、ｃｒ２、ｃｒ３及びｃｒ４は、前記一般式（Ｉ）及び（Ｉ−１）における場合とそれぞれ同義であり、好ましい態様も同様である。また、一般式（Ｉ−２）中のｃｑは、０または１を表す。なお、フタロシアニン骨格はテトラアザポルフィリン骨格の外側に４つのベンゼン環が縮合した構造を有しており、各ベンゼン環には４ヶ所の置換基が入り得る部位（炭素原子）があるが、前記一般式（Ｉ−２）は各ベンゼン環のテトラアザポルフィリン骨格から遠い２ヶ所（β位）に水素原子が結合したものである。

前記一般式（Ｉ−２）において、より効果的に本発明の効果を奏し得る観点からは、前記Ｒｃ_１は、ハロゲン原子、脂肪族基、シアノ基、カルバモイル基、脂肪族オキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、ヒドロキシ基、脂肪族オキシ基、カルバモイルオキシ基、ヘテロ環オキシ基、脂肪族オキシカルボニルオキシ基、カルバモイルアミノ基、スルファモイルアミノ基、脂肪族オキシカルボニルアミノ基、脂肪族スルホニルアミノ基、アリールスルホニルアミノ基、脂肪族チオ基、アリールチオ基、脂肪族スルホニル基、アリールスルホニル基、スルファモイル基、イミド基、またはスルホ基である態様が好ましく、脂肪族基、カルバモイル基、脂肪族オキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、脂肪族オキシ基、脂肪族オキシカルボニルオキシ基、カルバモイルアミノ基、スルファモイルアミノ基、脂肪族オキシカルボニルアミノ基、脂肪族スルホニルアミノ基、アリールスルホニルアミノ基、脂肪族スルホニル基、アリールスルホニル基、スルファモイル基、イミド基、またはスルホ基である態様がより好ましく、カルバモイル基、脂肪族オキシカルボニル基、脂肪族オキシ基、脂肪族オキシカルボニルオキシ基、カルバモイルアミノ基、脂肪族オキシカルボニルアミノ基、アリールスルホニル基、イミド基、または脂肪族スルホニル基である態様が最も好ましい。

同様に本発明の効果をより効果的に奏し得る点で、前記Ｒｃ_２は、脂肪族基、Ｎ−アルキルアシルアミノ基、脂肪族オキシ基、脂肪族オキシカルボニル基、脂肪族スルホニル基、脂肪族チオ基、アリールチオ基、スルホ基、カルボキシル基、またはハロゲン原子である態様が好ましく、脂肪族基またはハロゲン原子である態様がより好ましい。同様に本発明の効果をより奏し得る点で、前記ｃｑは０である態様が好ましい。同様に本発明の効果をより奏し得る点で、前記Ｍは、ＶＯ、Ｍｎ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｃｕ、ＺｎまたはＭｇである態様が好ましく、ＶＯ、Ｃｏ、ＣｕまたはＺｎである態様がより好ましく、Ｃｕである態様が最も好ましい。また、ｃｍは０である態様が好ましい。更に、ｃｎは１または２である態様が好ましく、１である態様がより好ましい。

更に効果的に本発明の効果を奏する観点からは、前記一般式（Ｉ−２）において、前記Ｒｃ_１がハロゲン原子、脂肪族基、シアノ基、カルバモイル基、脂肪族オキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、ヒドロキシ基、脂肪族オキシ基、カルバモイルオキシ基、ヘテロ環オキシ基、脂肪族オキシカルボニルオキシ基、カルバモイルアミノ基、スルファモイルアミノ基、脂肪族オキシカルボニルアミノ基、脂肪族スルホニルアミノ基、アリールスルホニルアミノ基、脂肪族チオ基、アリールチオ基、脂肪族スルホニル基、アリールスルホニル基、スルファモイル基、イミド基、またはスルホ基であって、前記ＭがＶＯ、Ｃｏ、ＣｕまたはＺｎであって、前記ｃｑが０であって、前記ｃｍが０であって、前記ｃｎが１である態様が好ましく、また、前記Ｒｃ_１が脂肪族基、カルバモイル基、脂肪族オキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、脂肪族オキシ基、脂肪族オキシカルボニルオキシ基、カルバモイルアミノ基、スルファモイルアミノ基、脂肪族オキシカルボニルアミノ基、脂肪族スルホニルアミノ基、アリールスルホニルアミノ基、脂肪族スルホニル基、アリールスルホニル基、スルファモイル基、イミド基、またはスルホ基であって、前記ＭがＶＯ、Ｃｏ、ＣｕまたはＺｎであって、前記ｃｑが０であって、前記ｃｍが０であって、前記ｃｎが１である態様がより好ましい。

特には、同様に本発明の効果の観点から、前記Ｒｃ_１がカルバモイル基、脂肪族オキシカルボニル基、脂肪族オキシ基、カルバモイルアミノ基、脂肪族オキシカルボニルアミノ基、脂肪族スルホニル基、アリールスルホニル基、またはイミド基であって、前記ＭがＣｕであって、前記ｃｑが０であって、前記ｃｍが０であって、前記ｃｎが１である態様が最も好ましい。

以下、前記一般式（Ｉ）、（Ｉ−１）、（Ｉ−２）で表される色素（染料）の具体例（例示化合物Ｃ−１〜Ｃ３５、Ｃ４１〜Ｃ−５９）を示す。但し、本発明においてはこれらに制限されるものではない。

本発明の着色感光性組成物の全固形成分中における着色剤の含有量は５０質量％以上８０質量％以下であるが、着色剤による吸光度と膜硬化性の観点より、５２〜７５質量％であることが好ましく、５５〜７０質量％であることが特に好ましい。

（Ｂ）熱重合禁止剤
次に、熱重合禁止剤について説明する。本発明の着色感光性組成物には、全固形分に対する含有量で、１．０×１０^−５質量％以上１．０×１０^−３質量％以下のフェノール系化合物の熱重合禁止剤を含むことが必須となる。
熱重合禁止剤として添加されるフェノール系化合物としては、例えば、ハイドロキノン、ｐ−メトキシフェノール、ジ−ｔ−ブチル−ｐ−クレゾール、ピロガロール、カテコール、ｔ−ブチルカテコール、４，４’−チオビス（３−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、２，２’−メチレンビス（４−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、２，２′−メチレンビス（４−エチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、４，４′−ブチリデンビス（６−ｔ−ブチル−ｍ−クレゾール）等が挙げられる。
中でも、感度と経時安定性の両立の点で、下記一般式（７）で表される熱重合禁止剤が最も好ましい。

一般式（７）中、Ｒ_１は水酸基またはアルコキシ基を表し、Ｒ_２は水素原子またはアルキル基を表す。
Ｒ_１としては、好ましくは水酸基、メトキシ基、エトキシ基、プロピル基であり、より好ましいのは水酸基、メトキシ基であり、最も好ましいのはメトキシ基である。
Ｒ_２としては、好ましくは水素原子、メチル基、ｔ−ブチル基であり、より好ましくは水素原子、ｔ−ブチル基であり、最も好ましいのは水素原子である。
一般式（７）で表される、特に好ましい具体例としては、ハイドロキノン、ｐ−メトキシフェノール、２，６−ジ−ｔ−ブチル−４−メトキシフェノールが挙げられる。

上記熱重合禁止剤の添加量としては、本発明の着色感光性組成物の全固形分中、１．０×１０^−５質量％以上１．０×１０^−３質量％以下であることが必須である。当該添加量が１．０×１０^−５質量％未満の場合経時安定性が不十分となる。一方、当該添加量が１．０×１０^−３質量％より多いと、低露光量にてパターン剥がれの発生が顕著となる。フェノール系化合物の熱重合禁止剤のより好ましい添加量は３．０×１０^−５質量％以上５．０×１０^−４質量％以下であり、最も好ましい添加量は５．０×１０^−５質量％以上３．０×１０^−４質量％以下である。

（Ｃ）樹脂
本発明の着色感光性組成物は、所定量の樹脂を含むことが好ましい。本発明の組成物に含み得る樹脂（以下バインダーと呼ぶこともある）は特に限定されないが、耐熱性、現像性、入手性等の観点から選ばれることが好ましい。

バインダーとしては、線状有機高分子重合体で、有機溶剤に可溶で、弱アルカリ水溶液で現像できるものが好ましい。このような線状有機高分子重合体としては、側鎖にカルボン酸を有するポリマー、例えば特開昭５９−４４６１５号、特公昭５４−３４３２７号、特公昭５８−１２５７７号、特公昭５４−２５９５７号、特開昭５９−５３８３６号、特開昭５９−７１０４８号の各公報明細書に記載されているようなメタクリル酸共重合体、アクリル酸共重合体、イタコン酸共重合体、クロトン酸共重合体、マレイン酸共重合体、部分エステル化マレイン酸共重合体等があり、また同様に側鎖にカルボン酸を有する酸性セルロース誘導体が有用である。この他に水酸基を有するポリマーに酸無水物を付加させたもの等やポリヒドロキシスチレン系樹脂、ポリシロキサン系樹脂、ポリ（２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート）、ポリビニルピロリドンやポリエチレンオキサイド、ポリビニルアルコール、等も有用である。

また親水性を有するモノマーを共重合しても良く、この例としては、アルコキシアルキル（メタ）アクリレート、ヒドロキシアルキル（メタ）アクリレート、グリセロール（メタ）アクリレート、（メタ）アクリルアミド、Ｎ−メチロールアクリルアミド、２級および３級のアルキルアクリルアミド、ジアルキルアミノアルキル（メタ）アクリレート、モルホリン（メタ）アクリレート、Ｎ−ビニルピロリドン、Ｎ−ビニルカプロラクタム、ビニルイミダゾール、ビニルトリアゾール、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、分岐または直鎖のプロピル（メタ）アクリレート、分岐または直鎖のブチル（メタ）アクリレート、フェノキシヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート等が挙げられる。
その他親水性を有するモノマーとしては、テトラヒドロフルフリル基、燐酸、燐酸エステル、４級アンモニウム塩、エチレンオキシ鎖、プロピレンオキシ鎖、スルホン酸およびその塩、モルホリノエチル基等を含んだモノマー等も有用である。

本発明における樹脂としては、不飽和基を含有する樹脂が好ましい。樹脂が不飽和基を含有することで、光感度を向上することができる。
不飽和基含有樹脂としては例えば、カルボキシル基含有樹脂にグリシジル（メタ）アクリレート、アリルグリシジルエーテル等のグリシジル基含有不飽和化合物やアリルアルコール、２−ヒドロキシアクリレート、２−ヒドロキシメタクリレート等の不飽和アルコールを反応させた樹脂、水酸基を有するカルボキシル基含有樹脂に遊離イソシアネート基含有不飽和化合物、不飽和酸無水物を反応させた樹脂、エポキシ樹脂と不飽和カルボン酸との付加反応物に多塩基酸無水物を反応させた樹脂、共役ジエン共重合体と不飽和ジカルボン酸無水物との付加反応物に水酸基含有重合性モノマーを反応させた樹脂、塩基処理によって脱離反応が生起され不飽和基を与える特定官能基を有する樹脂を合成し、該樹脂に塩基処理を施すことで不飽和基を生成させた樹脂等が代表的な樹脂として挙げられる。

中でも、カルボキシル基含有樹脂にグリシジル（メタ）アクリレート、アリルグリシジルエーテル等のグリシジル基含有不飽和化合物を反応させた樹脂、水酸基含有（メタ）アクリル酸エステル系化合物を重合させた樹脂に（メタ）アクリル酸−２−イソシアネートエチル等の遊離イソシアネート基を有する（メタ）アクリル酸エステルを反応させた樹脂、後述の一般式（１）〜（３）に該当する樹脂、塩基処理によって脱離反応が生起され不飽和基を与える特定官能基を有する樹脂を合成し、該樹脂に塩基処理を施すことで不飽和基を生成させた樹脂等がより好ましい。

本発明の組成物における樹脂は、不飽和二重結合部分として、下記一般式（１）〜（３）のいずれかで表される構造単位（第１の構成単位）から選ばれる少なくとも一つを有する高分子化合物が特に好ましい。

前記一般式（１）〜（３）において、Ａ^１、Ａ^２、及びＡ^３は、それぞれ独立に、酸素原子、硫黄原子、又は−Ｎ（Ｒ^２１）−を表し、Ｒ^２１は水素原子又は置換基を有してもよいアルキル基を表す。Ｇ^１、Ｇ^２、及びＧ^３は、それぞれ独立に２価の有機基を表す。Ｘ及びＺは、それぞれ独立に酸素原子、硫黄原子、又は−Ｎ（Ｒ^２２）−を表し、Ｒ^２２は水素原子又は置換基を有してもよいアルキル基を表す。Ｙは、酸素原子、硫黄原子、置換基を有してもよいフェニレン基、又は−Ｎ（Ｒ^２３）−を表し、Ｒ^２３は水素原子又は置換基を有してもよいアルキル基を表す。Ｒ^１〜Ｒ^２０は、それぞれ独立に１価の置換基を表す。

前記一般式（１）において、Ｒ^１〜Ｒ^３はそれぞれ独立に、１価の置換基を表すが、水素原子、置換基を更に有してもよいアルキル基などが挙げられる。中でも、Ｒ^１、Ｒ^２は水素原子が好ましく、Ｒ^３は水素原子又はメチル基が好ましい。
Ｒ^４〜Ｒ^６はそれぞれ独立に１価の置換基を表すが、Ｒ^４としては、水素原子又は置換基を更に有してもよいアルキル基などが挙げられる。中でも、水素原子、メチル基、エチル基が好ましい。また、Ｒ^５、Ｒ^６は、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子、アルコキシカルボニル基、スルホ基、ニトロ基、シアノ基、置換基を更に有してもよいアルキル基、置換基を更に有してもよいアリール基、置換基を更に有してもよいアルコキシ基、置換基を更に有してもよいアリールオキシ基、置換基を更に有してもよいアルキルスルホニル基、置換基を更に有してもよいアリールスルホニル基などが挙げられ、中でも、水素原子、アルコキシカルボニル基、置換基を更に有してもよいアルキル基、置換基を更に有してもよいアリール基が好ましい。
ここで、有してもよい置換基としては、メトキシカルボニル基、エトキシカルボニル基、イソプロピルオキシカルボニル基、メチル基、エチル基、フェニル基等が挙げられる。

Ａ^１は、酸素原子、硫黄原子、又は、−Ｎ（Ｒ^２１）−を表し、Ｘは、酸素原子、硫黄原子、又は−Ｎ（Ｒ^２２）−を表す。ここで、Ｒ^２１、Ｒ^２２としては、水素原子又は置換基を有してもよいアルキル基が挙げられる。
Ｇ^１は、２価の有機基を表すが、置換基を有してもよいアルキレン基が好ましい。より好ましくは、炭素数１〜２０の置換基を有してもよいアルキレン基、炭素数３〜２０の置換基を有してもよいシクロアルキレン基、炭素数６〜２０の置換基を有してもよい芳香族基などが挙げられ、中でも、置換基を有してもよい炭素数１〜１０の直鎖状あるいは分岐アルキレン基、炭素数３〜１０の置換基を有してもよいシクロアルキレン基、炭素数６〜１２の置換基を有してもよい芳香族基が強度、現像性等の性能上、好ましい。

ここで、Ｇ^１における置換基としては、水酸基、及び、水酸基以外の水素原子が結合したヘテロ原子を有する置換基（例えば、アミノ基、チオール基、カルボキシ基等）以外の置換基を好ましく挙げることができる。

前記一般式（１）で表される構成単位は、Ａ^１が酸素原子、硫黄原子、又は−Ｎ（Ｒ^２１）−であって、Ｘが酸素原子、硫黄原子、又は−Ｎ（Ｒ^２２）−であって、Ｇ^１が置換基を有してもよいアルキレン基であって、Ｒ^１、Ｒ^２がそれぞれ水素原子であって、Ｒ^３が水素原子又はメチル基であって、Ｒ^４が水素原子又はアルキル基であって、Ｒ^５、Ｒ^６がそれぞれ独立に水素原子、アルコキシカルボニル基、アルキル基、又はアリール基であって、Ｒ^２１、Ｒ^２２がそれぞれアルキル基である場合が好ましい。

前記一般式（２）において、Ｒ^７〜Ｒ^９は、それぞれ独立に、１価の置換基を表すが、水素原子、置換基を更に有してもよいアルキル基などが挙げられ、中でも、Ｒ^７、Ｒ^８は水素原子が好ましく、Ｒ^９は水素原子又はメチル基が好ましい。
Ｒ^１０〜Ｒ^１２は、それぞれ独立に１価の置換基を表すが、この置換基としては、具体的には例えば、水素原子、ハロゲン原子、ジアルキルアミノ基、アルコキシカルボニル基、スルホ基、ニトロ基、シアノ基、置換基を更に有してもよいアルキル基、置換基を更に有してもよいアリール基、置換基を更に有してもよいアルコキシ基、置換基を更に有してもよいアリールオキシ基、置換基を更に有してもよいアルキルスルホニル基、置換基を更に有してもよいアリールスルホニル基などが挙げられ、中でも、水素原子、アルコキシカルボニル基、置換基を更に有してもよいアルキル基、置換基を更に有してもよいアリール基が好ましい。
ここで、有してもよい置換基としては、一般式（１）において挙げたものが同様に例示される。

Ａ^２は、酸素原子、硫黄原子、又は、−Ｎ（Ｒ^２１）−を表し、ここで、Ｒ^２１としては、水素原子、置換基を有してもよいアルキル基などが挙げられる。
Ｇ^２は、２価の有機基を表すが、置換基を有してもよいアルキレン基が好ましい。好ましくは、炭素数１〜２０の置換基を有してもよいアルキレン基、炭素数３〜２０の置換基を有してもよいシクロアルキレン基、炭素数６〜２０の置換基を有してもよい芳香族基などが挙げられ、中でも、置換基を有してもよい炭素数１〜１０の直鎖状あるいは分岐アルキレン基、炭素数３〜１０の置換基を有してもよいシクロアルキレン基、炭素数６〜１２の置換基を有してもよい芳香族基が強度、現像性等の性能上、好ましい。
ここで、Ｇ^２における置換基としては、水酸基、及び、水酸基以外の水素原子が結合したヘテロ原子を有する置換基（例えば、アミノ基、チオール基、カルボキシ基等）以外の置換基を好ましく挙げることができる。
Ｇ^２が、水酸基以外の水素原子が結合したヘテロ原子を有する置換基を有する場合、後述する開始剤としてオニウム塩化合物を併用することによって、保存安定性が低下する場合がある。
Ｙは、酸素原子、硫黄原子、−Ｎ（Ｒ^２３）−又は置換基を有してもよいフェニレン基を表す。ここで、Ｒ^２３としては、水素原子、置換基を有してもよいアルキル基などが挙げられる。

前記一般式（２）で表される構成単位は、Ｒ^１０が水素原子又はアルキル基であって、Ｒ^１１、Ｒ^１２がそれぞれ独立に、水素原子、アルコキシカルボニル基、アルキル基、又はアリール基であって、Ｒ^７、Ｒ^８が水素原子であって、Ｒ^９が水素原子又はメチル基であって、Ａ^２が酸素原子、硫黄原子、又は−Ｎ（Ｒ^２１）−であって、Ｇ^２が置換基を有してもよい炭素数１〜１０の直鎖状あるいは分岐アルキレン基、炭素数３〜１０の置換基を有してもよいシクロアルキレン基、又は炭素数６〜１２の置換基を有してもよい芳香族基であって、Ｙが酸素原子、硫黄原子、−Ｎ（Ｒ^２３）−、又は置換基を有してもよいフェニレン基であって、Ｒ^２１、Ｒ^２３がそれぞれ独立に、水素原子又は置換基を有してもよいアルキル基である場合が好ましい。

前記一般式（３）において、Ｒ^１３〜Ｒ^１５はそれぞれ独立に１価の置換基を表すが、水素原子、置換基を更に有してもよいアルキル基などが挙げられ、中でも、Ｒ^１３、Ｒ^１４はそれぞれ水素原子が好ましく、Ｒ^１５は水素原子又はメチル基が好ましい。
Ｒ^１６〜Ｒ^２０は、それぞれ独立に１価の置換基を表すが、Ｒ^１６〜Ｒ^２０は、例えば、水素原子、ハロゲン原子、ジアルキルアミノ基、アルコキシカルボニル基、スルホ基、ニトロ基、シアノ基、置換基を更に有してもよいアルキル基、置換基を更に有してもよいアリール基、置換基を更に有してもよいアルコキシ基、置換基を更に有してもよいアリールオキシ基、置換基を更に有してもよいアルキルスルホニル基、置換基を更に有してもよいアリールスルホニル基などが挙げられ、中でも、水素原子、アルコキシカルボニル基、置換基を更に有してもよいアルキル基、置換基を更に有してもよいアリール基が好ましい。導入しうる置換基としては、一般式（１）においてあげたものが例示される。
Ａ^３は、酸素原子、硫黄原子、又は−Ｎ（Ｒ^２１）−を表し、Ｚは、酸素原子、硫黄原子、又は−Ｎ（Ｒ^２２）−を表す。Ｒ^２１、Ｒ^２２としては、一般式（１）におけるのと同様のものが挙げられる。

Ｇ^３は、２価の有機基を表すが、置換基を有してもよいアルキレン基が好ましい。好ましくは、炭素数１〜２０の置換基を有してもよいアルキレン基、炭素数３〜２０の置換基を有してもよいシクロアルキレン基、炭素数６〜２０の置換基を有してもよい芳香族基などが挙げられ、中でも、置換基を有してもよい炭素数１〜１０の直鎖状あるいは分岐アルキレン基、炭素数３〜１０の置換基を有してもよいシクロアルキレン基、炭素数６〜１２の置換基を有してもよい芳香族基が強度、現像性等の性能上、好ましい。
ここで、Ｇ^３における置換基としては、水酸基、及び、水酸基以外の水素原子が結合したヘテロ原子を有する置換基（例えば、アミノ基、チオール基、カルボキシ基等）以外の置換基を好ましく挙げることができる。

前記一般式（３）で表される構成単位は、Ｒ^１３、Ｒ^１４がそれぞれ水素原子であって、Ｒ^１５が水素原子又はメチル基であって、Ｒ^１６〜Ｒ^２０が水素原子、アルコキシカルボニル基、置換基を有してもよいアルキル基、又は置換基を有してもよいアリール基であって、Ａ^３が酸素原子、硫黄原子、又は−Ｎ（Ｒ^２１）−であって、Ｚが酸素原子、硫黄原子、又は−Ｎ（Ｒ^２２）−であって、Ｒ^２１、Ｒ^２２がアルキル基であって、Ｇ^３が置換基を有してもよい炭素数１〜１０の直鎖状又は分岐アルキレン基、炭素数３〜１０の置換基を有してもよいシクロアルキレン基、又は炭素数６〜１２の置換基を有してもよい芳香族基であることが好ましい。

前記「不飽和二重結合を含み、一般式（１）〜（３）のいずれかで表される構造単位（第１の構成単位）」を形成できる高分子化合物の合成は、公知の方法、例えば特開２００３−２６２９５８号公報の段落番号［００２７］〜［００５７］に記載の合成方法に基づいて行うことができる。中でも、同公報中の合成方法１）によって行うことが好ましい。

前記「不飽和二重結合を有する高分子化合物」としては、下記〔１〕又は〔２〕の合成法により得られる樹脂であることが好ましい。

〔１〕下記一般式（５）で表される化合物を共重合成分の一つとして用いて合成した重合体に、塩基を作用させてプロトンを引き抜き、Ｌを脱離させ、前記一般式（１）で表される構成単位を有する所望の高分子化合物を得る方法。

前記一般式（５）中、Ｌはアニオン性脱離基を表し、好ましくはハロゲン原子、アルキル又はアリールスルホニルオキシ基等が挙げられる。Ｒ^３〜Ｒ^６、Ａ^１、Ｇ^１、及びＸについては前記一般式（１）における場合と同義である。
脱離反応を生起させるために用いる塩基としては、無機化合物、有機化合物のどちらを使用してもよい。また、この方法の詳細及び好ましい態様については、特開２００３−２６２９５８号公報の段落番号［００２８］〜［００３３］に記載されている。

好ましい無機化合物塩基としては、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸水素カリウム等が挙げられ、有機化合物塩基としては、ナトリウムメトキシド、ナトリウムエトキシド、カリウムｔ−ブトキシドのような金属アルコキシド、トリエチルアミン、ピリジン、ジイソプロピルエチルアミンのような有機アミン化合物等が挙げられる。

〔２〕下記一般式（６）で表される化合物を共重合成分として用いて合成した重合体に対し、塩基処理によって特定官能基に脱離反応を生起させ、Ｘ^１を除去し、ラジカル反応性基を得る方法。

前記一般式（６）中、Ａ^４は酸素原子、硫黄原子、又は−Ｎ（Ｒ^２７）−を表し、Ａ^５は酸素原子、硫黄原子、又は−ＮＲ^２８−を表し、Ｒ^２４、Ｒ^２５、Ｒ^２６、Ｒ^２７、Ｒ^２８、Ｒ^２９、Ｒ^３０、及びＲ^３１は、それぞれ独立に水素又は１価の有機基を表し、Ｘ^１は脱離反応により除去される基を表し、Ｇ^４は有機連結基を表す。ｎは、１〜１０の整数を表す。

一般式（６）において、中でも、Ａ^４は酸素原子であることが好ましく、Ａ^５は酸素原子であることが好ましい。また、Ｒ^２４はメチル基が好ましく、Ｒ^２５、Ｒ^２６、Ｒ^２９、Ｒ^３０は水素原子が好ましく、Ｒ^３１はメチル基又は水素原子が好ましい。更に、Ｘ^１は、臭素原子が好ましく、Ｇ^４はエチレン基が好ましい。

上記の方法の詳細及び好ましい態様については、特開２００３−３３５８１４号公報に詳細に記載されている。

前記〔２〕の合成法により得られる樹脂としては、特開２００３−３３５８１４号公報に記載の高分子化合物、具体的には、例えば（ｉ）ポリビニル系高分子化合物、（ii）ポリウレタン系高分子化合物、（iii）ポリウレア系高分子化合物、（iv）ポリ（ウレタン−ウレア）系高分子化合物、（ｖ）ポリエステル系高分子化合物、（vi）ポリアミド系高分子化合物、（vii）アセタール変性ポリビニルアルコール系の高分子化合物、及びこれらの各々の記載から得られる具体的な化合物を好適に挙げることができる。

前記一般式（５）で表される化合物の具体例としては、下記化合物（Ｍ−１）〜（Ｍ−１２）を挙げることできるが、本発明はこれらに限定されるものではない。

前記一般式（６）で表される化合物としては、下記化合物（ｉ−１）〜（ｉ−５２）を挙げることができるが、本発明はこれらに限定されるものではない。

本発明の組成物における樹脂は、アルカリ現像を可能とする観点からは、ＣＯＯＨ，ＳＯ_３Ｈ，ＰＯ_３Ｈ_２，ＯＳＯ_３Ｈ，ＯＰＯ_２Ｈ_２から選ばれる少なくとも１種の酸基を有していることが好ましい。更に、本発明における樹脂は、酸価が５〜７０ｍｇＫＯＨ／ｇ、より好ましくは７．５〜６０ｍｇＫＯＨ／ｇの範囲であることが好ましく、さらに好ましくは１０〜５０ｍｇＫＯＨ／ｇの範囲であることが好ましい。酸価が７０ｍｇＫＯＨ／ｇを超えると現像時におけるパターン剥離が発生する傾向がある。また、５ｍｇＫＯＨ／ｇ未満ではアルカリ現像性が低下する。

特に、本発明の組成物における樹脂の酸基として下記式（４）で表される第２の構成単位を有していることが好ましい。これは微細パターンでの残渣抑制および矩形パターン形成性の点で有効である。

前記一般式（４）において、Ｒ_Ａは、水素原子又は炭素数１〜６のアルキル基を表し、Ｒ_Ｂは２価の連結基を表す。
前記Ｒ_Ａとしては、水素原子又はメチル基が好ましい。
前記Ｒ_Ｂは、２価の連結基であればよいが、例えば炭素数１〜１２の置換されていてもよいアルキレン基、−Ｕ−Ｒ_Ｃ−Ｖ−（但し、Ｕ及びＶは各々独立に、単結合又は炭素数１〜３のアルキレン基を表し、Ｒ_Ｃは置換されていてもよいシクロヘキシル環、ベンゼン環、又はナフタレン環を表す。）、又は−Ｒ_Ｄ−Ｘ−Ｒ_Ｅ−（但し、Ｒ_Ｄ及びＲ_Ｅは各々独立に、炭素数１〜１０の置換されていてもよいアルキレン基、置換されていてもよいベンゼン環又はナフタレン環を表し、Ｘは、エステル結合、アミド結合、ウレタン結合、エーテル結合、チオエーテル結合、カーボネート結合、ウレア結合又はイミド結合を表す。）などが挙げられ、中でもＲ_Ｂが炭素数１〜６の２価の連結基であることが好ましい。

本発明において、酸価は、例えば、樹脂分子中における酸基の平均含有量から算出することができる。また、樹脂を構成する酸基を含有するモノマー単位の含有量を変化させることで所望の酸価を有する樹脂を得ることができる。

本発明における前記樹脂は、未露光部現像残渣の観点から、樹脂中にアミド結合を含有する成分を共重合した樹脂であることが好ましい。

本発明の組成物に含み得る樹脂は、ポストベークにおける熱ダレによるパターン崩れ抑制のため、前記一般式（１）〜（３）のいずれかで表される第１の構成単位を、前記一般式（４）で表される第２の構成単位の１．５倍以上の比率（モル比）で有する構成であることが好ましい。硬化性の観点より、前記一般式（１）〜（３）で表される第１の構成単位を、前記一般式（４）で表される第２の構成単位の２．０倍以上の比率で有していることがより好ましく、３．０倍以上有していることが最も好ましい。また、本発明の組成物に含み得る樹脂は、硬化性向上及び現像残渣低減の観点から、前記一般式（１）〜（３）のいずれかで表される第１の構成単位から選ばれる少なくとも１つを、１分子中に３５モル％以上９５モル％以下の範囲で含む化合物が好ましく、より好ましくは３７モル％以上９０モル％以下であり、更に好ましくは４０モル％以上８５モル％以下の範囲である。中でも、硬化性の観点より、前記一般式（１）で表される構成単位を、１分子中に４０モル％以上８５モル％以下の範囲で含む樹脂が最も好ましい。

また、本発明の組成物における樹脂の重量平均分子量は、現像時のパターン剥離抑制と現像性の観点から、３０，０００〜３００，０００であることが好ましく、４０，０００〜２５０，０００であることがより好ましく、５０，０００〜２００，０００であることが更に好ましく、５０，０００〜１００，０００であることが特に好ましい。
尚、前記樹脂の重量平均分子量は、例えば、ＧＰＣによって測定することができる。

本発明の着色感光性組成物における、全固形分中に対する樹脂の含有量としては、パターン剥がれ抑制と現像残渣抑制の両立の観点より、０．０１〜２０質量％が好ましく、１〜１０質量％がより好ましく、３〜７質量％が更に好ましい。

（Ｄ）重合性化合物
本発明の組成物は、重合性化合物（重合性モノマー）を含むことが好ましい。重合性モノマーとしては、常圧下で１００℃以上の沸点を有し、少なくとも１つの付加重合可能なエチレン性不飽和基を持つ化合物が好ましい。

その例としては、ポリエチレングリコールモノ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールモノ（メタ）アクリレート、フェノキシエチル（メタ）アクリレート、等の単官能のアクリレートやメタアクリレート；ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールエタントリ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、ヘキサンジオール（メタ）アクリレート、

トリメチロールプロパントリ（アクリロイルオキシプロピル）エーテル、トリ（アクリロイロキシエチル）イソシアヌレート、グリセリンやトリメチロールエタン等の多官能アルコールにエチレンオキサイドやプロピレンオキサイドを付加させた後（メタ）アクリレート化したもの、特公昭４８−４１７０８号、特公昭５０−６０３４号、特開昭５１−３７１９３号の各公報に記載されているようなウレタンアクリレート類、特開昭４８−６４１８３号、特公昭４９−４３１９１号、特公昭５２−３０４９０号各公報に記載されているポリエステルアクリレート類、エポキシ樹脂と（メタ）アクリル酸の反応生成物であるエポキシアクリレート類等の多官能のアクリレートやメタアクリレート及びこれらの混合物を挙げることができる。更に、日本接着協会誌Ｖｏｌ．２０、Ｎｏ．７、３００〜３０８頁に光硬化性モノマー及びオリゴマーとして紹介されているものが挙げられる。

上記のほか、下記一般式（ＩＩＩ−１）、（ＩＩＩ−２）のようなカルボキシル基を含有するラジカル重合性モノマーも好適に使用することができる。なお、一般式（ＩＩＩ−１）、（ＩＩＩ−２）において、Ｔ又はＧがオキシアルキレン基の場合には、炭素原子側の末端がＲ、Ｘ及びＷに結合する。

前記一般式（ＩＩＩ−１）において、ｎは０〜１４であり、ｍは１〜８である。前記一般式（ＩＩＩ−２）において、Ｗは一般式（ＩＩＩ−１）と同義のＲ又はＸであり、６個のＷのうち、３個以上のＷがＲである。ｐは０〜１４であり、ｑは１〜８である。一分子内に複数存在するＲ、Ｘ、Ｔ、Ｇは、各々同一であっても、異なっていてもよい。
前記一般式（ＩＩＩ−１）、（ＩＩＩ−２）で表されるラジカル重合性モノマーの具体的例としては、下記で表されるものが挙げられる。

重合性モノマーの着色感光性組成物中における含有量としては、該組成物の全固形分に対して、１０〜４５質量％が好ましく、１２〜４０質量％がより好ましく、１５〜３５質量％が特に好ましい。該含有量が上記範囲であると、充分な硬化度と未露光部の溶出性とを保持でき、露光部の硬化度を十分に維持することができ、未露光部の溶出性が著しい低下を防ぐことができる。

（Ｅ）光重合開始剤
本発明の着色感光性組成物は、光重合開始剤の少なくとも１種を含有することが好ましい。光重合開始剤は重合性を有するモノマーを重合させられるものであれば特に限定されないが、特性、開始効率、吸収波長、入手性、コスト等の観点で選ばれることが好ましい。
上記光重合開始剤としては、ハロメチルオキサジアゾール化合物、ハロメチル−ｓ−トリアジン化合物から選択された少なくとも一つの活性ハロゲン化合物、３−アリール置換クマリン化合物、ロフィン２量体、ベンゾフェノン化合物、アセトフェノン化合物およびその誘導体、シクロペンタジエン−ベンゼン−鉄錯体およびその塩、オキシム系化合物等が挙げられる。

ハロメチルオキサジアゾール等の活性ハロゲン化合物としては、特公昭５７−６０９６号公報に記載の２−ハロメチル−５−ビニル−１，３，４−オキサジアゾール化合物等や、２−トリクロロメチル−５−スチリル−１，３，４−オキサジアゾール、２−トリクロロメチル−５−（ｐ−シアノスチリル）−１，３，４−オキサジアゾール、２−トリクロロメチル−５−（ｐ−メトキシスチリル）−１，３，４−オキサジアゾール等が挙げられる。

ハロメチル−ｓ−トリアジン系化合物の光重合開始剤としては、特公昭５９−１２８１号公報に記載のビニル−ハロメチル−ｓ−トリアジン化合物、特開昭５３−１３３４２８号公報に記載の２−（ナフト−１−イル）−４，６−ビス（ハロメチル）−ｓ−トリアジン化合物および４−（ｐ−アミノフェニル）−２，６−ビス（ハロメチル）−ｓ−トリアジン化合物が挙げられる。

その他の例としては、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−ｐ−メトキシスチリル−ｓ−トリアジン、２，６−ビス（トリクロロメチル）−４−（３，４−メチレンジオキシフェニル）−１，３，５−トリアジン、２，６−ビス（トリクロロメチル）−４−（４−メトキシフェニル）−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−（１−ｐ−ジメチルアミノフェニル−１，３−ブタジエニル）−ｓ−トリアジン、２−トリクロロメチル−４−アミノ−６−ｐ−メトキシスチリル−ｓ−トリアジン、２−（ナフト−１−イル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（４−メトキシ−ナフト−１−イル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（４−エトキシ−ナフト−１−イル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（４−ブトキシ−ナフト−１−イル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−〔４−（２−メトキシエチル）−ナフト−１−イル〕−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−〔４−（２−エトキシエチル）−ナフト−１−イル〕−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−〔４−（２−ブトキシエチル）−ナフト−１−イル〕−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（２−メトキシ−ナフト−１−イル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（６−メトキシ−５−メチル−ナフト−２−イル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（６−メトキシ−ナフト−２−イル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（５−メトキシ−ナフト−１−イル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（４，７−ジメトキシ−ナフト−１−イル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、

２−（６−エトキシ−ナフト−２−イル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）ｓ−トリアジン、２−（４，５−ジメトキシ−ナフト−１−イル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）ｓ−トリアジン、４−〔ｐ−Ｎ，Ｎ−ビス（エトキシカルボニルメチル）アミノフェニル〕−２，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｏ−メチル−ｐ−Ｎ，Ｎ−ビス（エトキシカルボニルメチル）アミノフェニル〕−２，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｐ−Ｎ，Ｎ−ビス（クロロエチル）アミノフェニル〕−２，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｏ−メチル−ｐ−Ｎ，Ｎ−ビス（クロロエチル）アミノフェニル〕−２，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｐ−Ｎ−クロロエチルアミノフェニル）−２，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｐ−Ｎ−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル）−２，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（フェニル）アミノフェニル〕−２，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｐ−Ｎ−クロロエチルカルボニルアミノフェニル）−２，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｐ−Ｎ−（ｐ−メトキシフェニル）カルボニルアミノフェニル〕２，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｍ−Ｎ，Ｎ−ビス（エトキシカルボニルメチル）アミノフェニル〕−２，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｍ−ブロモ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ビス（エトキシカルボニルメチル）アミノフェニル〕−２，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｍ−クロロ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ビス（エトキシカルボニルメチル）アミノフェニル〕−２，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｍ−フルオロ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ビス（エトキシカルボニルメチル）アミノフェニル〕−２，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、

４−〔ｏ−ブロモ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ビス（エトキシカルボニルメチル）アミノフェニル〕−２，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｏ−クロロ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ビス（エトキシカルボニルメチル）アミノフェニル−２，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｏ−フルオロ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ビス（エトキシカルボニルメチル）アミノフェニル〕−２，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｏ−ブロモ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ビス（クロロエチル）アミノフェニル〕−２，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｏ−クロロ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ビス（クロロエチル）アミノフェニル〕−２，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｏ−フルオロ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ビス（クロロエチル）アミノフェニル〕−２，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｍ−ブロモ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ビス（クロロエチル）アミノフェニル〕−２，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｍ−クロロ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ビス（クロロエチル）アミノフェニル〕−２，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、

４−〔ｍ−フルオロ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ビス（クロロエチル）アミノフェニル〕−２，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｍ−ブロモ−ｐ−Ｎ−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル）−２，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｍ−クロロ−ｐ−Ｎ−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル）−２，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｍ−フロロ−ｐ−Ｎ−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル）−２，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｏ−ブロモ−ｐ−Ｎ−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル）−２，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｏ−クロロ−ｐ−Ｎ−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル）−２，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｏ−フルオロ−ｐ−Ｎ−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル）−２，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｍ−ブロモ−ｐ−Ｎ−クロロエチルアミノフェニル）−２，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｍ−クロロ−ｐ−Ｎ−クロロエチルアミノフェニル）−２，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｍ−フルオロ−ｐ−Ｎ−クロロエチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｏ−ブロモ−ｐ−Ｎ−クロロエチルアミノフェニル）−２，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｏ−クロロ−ｐ−Ｎ−クロロエチルアミノフェニル）−２，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｏ−フルオロ−ｐ−Ｎ−クロロエチルアミノフェニル）−２，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン等が挙げられる。

その他、みどり化学社製ＴＡＺシリーズ、ＴＡＺ−１０７、ＴＡＺ−１１０、ＴＡＺ−１０４、ＴＡＺ−１０９、ＴＡＺ−１４０、ＴＡＺ−２０４、ＴＡＺ−１１３、ＴＡＺ−１２３、ＰＡＮＣＨＩＭ社製Ｔシリーズ、Ｔ−ＯＭＳ、Ｔ−ＢＭＰ、Ｔ−Ｒ、Ｔ−Ｂ、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製イルガキュアシリーズ、イルガキュア６５１、イルガキュア１８４、イルガキュア５００、イルガキュア１０００、イルガキュア１４９、イルガキュア８１９、イルガキュア２６１、ダロキュアシリーズ、ダロキュア１１７３４，４’−ビス（ジエチルアミノ）−ベンゾフェノン、２−（Ｏ−ベンゾイルオキシム）−１−［４−（フェニルチオ）フェニル］−１，２−オクタンジオン、１−（Ｏ−アセチルオキシム）−１−［９−エチル−６−（２−メチルベンゾイル）−９Ｈ−カルバゾール−３−イル］エタノン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−４−モルホリノブチロフェノン、２，２−ジメトキシ−２−フェニルアセトフェノン、２−（ｏ−クロルフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾリル二量体、２−（ｏ−フルオロフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾリル二量体、２−（ｏ−メトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾリル二量体、２−（ｐ−メトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾリル二量体、２−（ｐ−ジメトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾリル二量体、２−（２，４−ジメトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾリル二量体、２−（ｐ−メチルメルカプトフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾリル二量体、ベンゾインイソプロピルエーテル等も有用に用いられる。

上記の開始剤種の中でも、オキシム系化合物が好ましく、２−（Ｏ−ベンゾイルオキシム）−１−［４−（フェニルチオ）フェニル］−１，２−オクタンジオン、１−（Ｏ−アセチルオキシム）−１−［９−エチル−６−（２−メチルベンゾイル）−９Ｈ−カルバゾール−３−イル］エタノンが最も好ましい。このような最も好ましいオキシム系光重合性開始剤の市販品としては、ＣＧＩ−１２４、ＣＧＩ−２４２（以上、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製）が挙げられる。

本発明の組成物には、上記の光重合開始剤の他に、他の公知の光重合開始剤を使用することができる。
具体的には、米国特許第２，３６７，６６０号明細書に開示されているビシナールポリケトルアルドニル化合物、米国特許第２，３６７，６６１号および第２，３６７，６７０号明細書に開示されているα−カルボニル化合物、米国特許第２，４４８，８２８号明細書に開示されているアシロインエーテル、米国特許第２，７２２，５１２号明細書に開示されているα−炭化水素で置換された芳香族アシロイン化合物、米国特許第３，０４６，１２７号および第２，９５１，７５８号明細書に開示されている多核キノン化合物、米国特許第３，５４９，３６７号明細書に開示されているトリアリルイミダゾールダイマー／ｐ−アミノフェニルケトンの組合せ、特公昭５１−４８５１６号公報に開示されているベンゾチアゾール系化合物／トリハロメチール−ｓ−トリアジン系化合物等を挙げることができる。

これら光重合開始剤には、更に増感剤や光安定剤を併用することができる。
その具体例として、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、９−フルオレノン、２−クロロ−９−フルオレノン、２−メチル−９−フルオレノン、９−アントロン、２−ブロモ−９−アントロン、２−エチル−９−アントロン、９，１０−アントラキノン、２−エチル−９，１０−アントラキノン、２−ｔ−ブチル−９，１０−アントラキノン、２，６−ジクロロ−９，１０−アントラキノン、キサントン、２−メチルキサントン、２−メトキシキサントン、２−メトキシキサントン、チオキサントン、２，４−ジエチルチオキサントン、アクリドン、１０−ブチル−２−クロロアクリドン、ベンジル、ジベンザルアセトン、ｐ−（ジメチルアミノ）フェニルスチリルケトン、ｐ−（ジメチルアミノ）フェニル−ｐ−メチルスチリルケトン、ベンゾフェノン、ｐ−（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン（またはミヒラーケトン）、ｐ−（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、ベンゾアントロン等や特公昭５１−４８５１６号公報記載のベンゾチアゾール系化合物等や、チヌビン１１３０、同４００等が挙げられる。

上記光重合開始剤の使用量は、全固形分に対し、１．０質量％〜４０．０質量％が好ましく、２．５質量％〜３０．０質量％がより好ましく、５．０質量％〜２０．０質量％が特に好ましい。光重合開始剤の使用量が１．０質量％より少ないと重合が進み難く、また、４０．０質量％を超えると重合率は大きくなるが分子量が低くなり膜強度が弱くなる場合がある。

（Ｆ）溶剤
本発明の着色感光性組成物は、溶剤を含有することが好ましい。前記溶剤は組成物の溶解性、塗布性を満足すれば基本的に特に限定されないが、特に染料、バインダーの溶解性、塗布性、安全性を考慮して選ばれることが好ましい。
本発明の組成物を調製する際に使用する溶剤としては、エステル類、例えば酢酸エチル、酢酸−ｎ−ブチル、酢酸イソブチル、ギ酸アミル、酢酸イソアミル、酢酸イソブチル、プロピオン酸ブチル、酪酸イソプロピル、酪酸エチル、酪酸ブチル、アルキルエステル類、オキシ酢酸メチル、オキシ酢酸エチル、オキシ酢酸ブチル、メトキシ酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチル、

３−オキシプロピオン酸メチル、３−オキシプロピオン酸エチル、３−メトキシプロピオン酸メチル、３−メトキシプロピオン酸エチル、３−エトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル、２−オキシプロピオン酸メチル、２−オキシプロピオン酸エチル、２−オキシプロピオン酸プロピル、２−メトキシプロピオン酸メチル、２−メトキシプロピオン酸エチル、２−メトキシプロピオン酸プロピル、２−エトキシプロピオン酸メチル、２−エトキシプロピオン酸エチル、２−オキシ−２−メチルプロピオン酸メチル、２−オキシ−２−メチルプロピオン酸エチル、２−メトキシ−２−メチルプロピオン酸メチル、２−エトキシ−２−メチルプロピオン酸エチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、２−オキソブタン酸メチル、２−オキソブタン酸エチル等；

エーテル類、例えばジエチレングリコールジメチルエーテル、テトラヒドロフラン、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、メチルセロソルブアセテート（エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート）、エチルセロソルブアセテート（エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート）、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、プロピレングリコールメチルエーテル、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールプロピルエーテルアセテート等；
ケトン類、例えばメチルエチルケトン、シクロヘキサノン、２−ヘプタノン、３−ヘプタノン等；芳香族炭化水素類、例えばトルエン、キシレン等が好ましい。

これらのうち、３−エトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル、エチルセロソルブアセテート、乳酸エチル、ジエチレングリコールジメテルエーテル、酢酸ブチル、３−メトキシプロピオン酸メチル、２−ヘプタノン、シクロヘキサノン、エチルカルビトールアセテート（ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート）、ブチルカルビトールアセテート（ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート）、プロピレングリコールメチルエーテル、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート等がより好ましい。

（Ｇ）その他の添加物
本発明の組成物には、必要に応じて各種添加物、例えば充填剤、上記以外の高分子化合物、界面活性剤、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、凝集防止剤等を配合することかできる。

これらの添加物の具体例としては、ガラス、アルミナ等の充填剤；ポリビニルアルコール、ポリアクリル酸、ポリエチレングリコールモノアルキルエーテル、ポリフロロアルキルアクリレート等の結着樹脂以外の高分子化合物；ノニオン系、カチオン系、アニオン系等の界面活性剤；ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス（２−メトキシエトキシ）シラン、Ｎ−（２−アミノエチル）−３−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、Ｎ−（２−アミノエチル）−３−アミノプロピルトリメトキシシラン、３−アミノプロピルトリエトキシシラン、３−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、３−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン、３−クロロプロピルメチルジメトキシシラン、３−クロロプロピルトリメトキシシラン、３−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、３−メルカプトプロピルトリメトキシシラン等の密着促進剤；２，２−チオビス（４−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、２，６−ジ−ｔ−ブチルフェノール等の酸化防止剤：２−（３−ｔ−ブチル−５−メチル−２−ヒドロキシフェニル）−５−クロロベンゾトリアゾール、アルコキシベンゾフェノン等の紫外線吸収剤；およびポリアクリル酸ナトリウム等の凝集防止剤を挙げることができる。

また、未露光部のアルカリ溶解性を促進し、本発明の組成物における現像性の更なる向上を図る場合には、本発明の組成物に有機カルボン酸、好ましくは分子量１０００以下の低分子量有機カルボン酸の添加を行うことができる。具体的には、例えばギ酸、酢酸、プロピオン酸、酪酸、吉草酸、ピバル酸、カプロン酸、ジエチル酢酸、エナント酸、カプリル酸等の脂肪族モノカルボン酸；シュウ酸、マロン酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、スベリン酸、アゼライン酸、セバシン酸、ブラシル酸、メチルマロン酸、エチルマロン酸、ジメチルマロン酸、メチルコハク酸、テトラメチルコハク酸、シトラコン酸等の脂肪族ジカルボン酸；トリカルバリル酸、アコニット酸、カンホロン酸等の脂肪族トリカルボン酸；安息香酸、トルイル酸、クミン酸、ヘメリト酸、メシチレン酸等の芳香族モノカルボン酸；フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、トリメリト酸、トリメシン酸、メロファン酸、ピロメリト酸等の芳香族ポリカルボン酸；フェニル酢酸、ヒドロアトロパ酸、ヒドロケイ皮酸、マンデル酸、フェニルコハク酸、アトロパ酸、ケイ皮酸、シンナミリデン酢酸、クマル酸、ウンベル酸等のその他のカルボン酸が挙げられる。

＜カラーフィルター及びその製造方法＞
本発明のカラーフィルターは前記した本発明の着色感光性組成物を用いて形成される。具体的には、本発明の着色感光性組成物を支持体上に回転塗布、流延塗布、ロール塗布等の塗布方法により塗布して着色感光性組成物層を形成する。次いで、支持体上に形成した着色感光性組成物層を所定のマスクパターンを介して露光し、現像液で現像する。これにより支持体上に着色されたパターンを形成することでカラーフィルターを製造することができる。また、本発明のカラーフィルターの製造方法は、必要により上記レジストパターンを加熱および／または露光により硬化する工程を含んでいても良い。
この際に使用される放射線としては、特にｇ線、ｈ線、ｉ線等の紫外線が好ましく用いられる。

上記支持体としては、例えば液晶表示素子等に用いられるソーダガラス、ホウケイ酸ガラス（パイレックス（登録商標）ガラス等）、石英ガラスおよびこれらに透明導電膜を付着させたものや、撮像素子等に用いられる光電変換素子基板、例えばシリコン基板等や、相補性金属酸化膜半導体（ＣＭＯＳ）等が挙げられる。これらの支持体は、各画素を隔離するブラックストライプが形成されている場合もある。
また、これらの支持体上には必要により、上部の層との密着改良、物質の拡散防止あるいは基板表面の平坦化の為に、下塗り層を設けてもよい。

上記本発明のカラーフィルターの製造方法に用いる現像液としては、本発明の組成物を溶解し、一方、放射線照射部を溶解しない組成物であればいかなるものも用いることができる。具体的には種々の有機溶剤の組合せやアルカリ性の水溶液を用いることができる。
有機溶剤としては、本発明の組成物を調整する際に使用される前述の溶剤が挙げられる。

アルカリ性の水溶液としては、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム，硅酸ナトリウム、メタ硅酸ナトリウム、アンモニア水、エチルアミン、ジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、コリン、ピロール、ピペリジン、１，８−ジアザビシクロ−〔５．４．０〕−７−ウンデセン等のアルカリ性化合物を、濃度が０．００１〜１０質量％、好ましくは０．０１〜１質量％となるように溶解したアルカリ性水溶液が使用される。なお、このようなアルカリ性水溶液からなる現像液を使用した場合には、一般に、現像後、水で洗浄する。

また、本発明のカラーフィルターは、ＣＣＤ等の固体撮像素子に好適に用いることができ、特に５００万画素を超えるような高解像度のＣＣＤ素子やＣＭＯＳ素子等に好適である。本発明のカラーフィルターは、例えば、ＣＣＤを構成する各画素の受光部と集光するためのマイクロレンズとの間に配置されるカラーフィルターとして用いることができる。

以下、本発明を実施例により更に具体的に説明するが、本発明はその主旨を越えない限り、以下の実施例に限定されるものではない。尚、特に断りのない限り、「部」は質量基準である。

（実施例１）
１）下塗り液の調製
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート …１９．２０部
（ＰＧＭＥＡ）
・乳酸エチル …３６．６７部
・樹脂 …３０．５１部
〔メタクリル酸ベンジル／メタクリル酸／メタクリル酸−２−ヒドロキシエチル共重合体（モル比＝６０：２２：１８）の４０％ＰＧＭＥＡ溶液〕
・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート …１２．２０部
（光重合性化合物）
・重合禁止剤（ｐ−メトキシフェノール） …０．００６１部
・フッ素系界面活性剤 …０．８３部
（Ｆ−４７５、大日本インキ化学工業（株）製）
・光重合開始剤 …０．５８６部
（ＴＡＺ−１０７（トリハロメチルトリアジン系の光重合開始剤）、みどり化学社製）
を混合して溶解し、レジスト液を調製した。

２）下塗り層付シリコンウエハー基板（支持体）の作製
６ｉｎｃｈシリコンウエハーをオーブン中で２００℃のもと３０分間加熱処理した。次いで、このシリコンウエハー上に上記レジスト液を乾燥膜厚１μｍになるように塗布し、更に２２０℃のオーブン中で１時間加熱乾燥させて下塗り層を形成し、下塗り層付シリコンウエハー基板を得た。

３）着色感光性組成物（本発明の組成物）の調製
下記組成Ａ−１の化合物を混合して溶解し、着色感光性樹脂組成物Ａ−１を調製した。なお、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートは事前にカラム精製したものを使用した。
〈組成Ａ−１〉
・シクロヘキサノン …８０部
・着色剤Ａ〔既述の例示化合物Ｃ−５８〕 …８．１６部
・着色剤Ｂ〔下記例示化合物ａ〕 …３．８４部
・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート …５．３８部
・光重合開始剤 …１．５０部
ＣＧＩ−２４２（チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製、オキシム系開始剤）
・樹脂（下記例示化合物Ａ） …０．４９部
・ジシクロヘキシルメチルアミン …０．６１部
・界面活性剤（大日本インキ株式会社製 Ｆ−７８１） …０．０２部
・ｐ−メトキシフェノール（熱重合禁止剤）の０．１％シクロヘキサノン溶液
…０．０２８部

４）着色感光性組成物の強制経時
強制経時試験として、前記３）で調製した着色感光性樹脂組成物Ａ−１を、４０℃のオーブン中で７日間静置した。

５）着色感光性組成物の塗布、露光、現像
前記２）で得られた下塗り層付シリコンウエハー基板の下塗り層上に前記４）で得られた組成物を塗布し、光硬化性の塗布膜を形成した。そして、この塗布膜の乾燥膜厚が０．５μｍになるように、１００℃のホットプレートを用いて１２０秒間加熱処理（プリベーク）を行った。次いで、ｉ線ステッパー露光装置ＦＰＡ−３０００ｉ５＋（Ｃａｎｏｎ（株）製）を使用して３６５ｎｍの波長でパターンが１．２μｍ四方のアイランドパターンマスクを通して１００〜２５００ｍＪ／ｃｍ^２の範囲で露光量を５０ｍＪ／ｃｍ^２ずつ変化させて照射した。その後、照射された塗布膜が形成されているシリコンウエハー基板をスピン・シャワー現像機（ＤＷ−３０型；（株）ケミトロニクス製）の水平回転テーブル上に載置し、ＣＤ−２０００（富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ（株）製）を用いて２３℃で６０秒間パドル現像を行ない、シリコンウエハー基板に着色パターンを形成した。

着色パターンが形成されたシリコンウエハー基板を真空チャック方式で前記水平回転テーブルに固定し、回転装置によって該シリコンウエハー基板を回転数５０ｒｐｍで回転させつつ、その回転中心の上方より純水を噴出ノズルからシャワー状に供給してリンス処理を行ない、その後スプレー乾燥し、カラーフィルターを得た。

６）現像後のパターン密着性の評価
上記により得られたカラーフィルターを光学顕微鏡にて１００倍に観察して確認し、全てのパターンが密着残存するために必要な最小露光量(ｍＪ／ｃｍ^２)を確認した。

７）未露光部現像性の評価
未露光部現像性評価は、現像後のパターンをＳＥＭを用いて１０,０００倍で観察し、下記評価基準によって評価した。
−評価基準−
◎ 未露光部が完全に除去できている。
○ やや残渣あるものの許容範囲内である。
× 残渣が多く許容できない。

（実施例２〜１０、比較例１〜４）
実施例１において、着色感光性組成物Ａ−１の代わりに、組成Ａ−１中の着色剤、樹脂、及び０．１％シクロヘキサノン溶液の熱重合禁止剤の種類と添加量（含有量）を下記表１に示す着色剤及び樹脂にそれぞれ変更した着色感光性組成物Ａ−２〜Ａ−１３を用いた以外は、実施例１と同様にしてカラーフィルターを作製し、現像後のパターン密着に必要な最小露光量(ｍＪ／ｃｍ^２)の評価及び未露光部の現像性の評価を行った。なお、表１中の各含有量は、溶剤を除く全ての成分（全固形分）に対する値である。

（実施例１１〜１２、比較例５〜６）
実施例１において、着色感光性組成物Ａ−１の代わりに、下記に示す組成の着色感光性組成物Ａ−１４〜Ａ−１７を、表２の記載に従ってそれぞれ用いた以外は、実施例１と同様にしてカラーフィルターを作製し、評価を行った。結果を表２に示した。

〈組成Ａ−１４〉
・シクロヘキサノン …８０部
・着色剤Ａ〔Ｃ．Ｉ．Ａｃｉｄ Ｂｌｕｅ ２４９〕 …６．８０部
・着色剤Ｂ〔例示化合物ａ〕 …３．２０部
・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート …７．３８部
・光重合開始剤 …１．５０部
ＣＧＩ−２４２（チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製、オキシム系開始剤、１−（Ｏ−アセチルオキシム）−１−［９−エチル−６−（２−メチルベンゾイル）−９Ｈ−カルバゾール−３−イル］エタノン）
・樹脂（例示化合物Ａ） …０．４９部
・ジシクロヘキシルメチルアミン …０．６１部
・界面活性剤（大日本インキ株式会社製 Ｆ−７８１） …０．０２部
・ｐ−メトキシフェノール（熱重合禁止剤）の０．１％シクロヘキサノン溶液
…０．０２８部

〈組成Ａ−１５〉
・シクロヘキサノン …８０部
・着色剤Ａ〔Ｃ．Ｉ．Ａｃｉｄ Ｂｌｕｅ ２４９〕 …１０．８８部
・着色剤Ｂ〔例示化合物ａ〕 …５．１２部
・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート …２．３８部
・光重合開始剤 …０．５０部
ＣＧＩ−２４２（チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製、オキシム系開始剤、１−（Ｏ−アセチルオキシム）−１−［９−エチル−６−（２−メチルベンゾイル）−９Ｈ−カルバゾール−３−イル］エタノン）
・樹脂（例示化合物Ａ） …０．４９部
・ジシクロヘキシルメチルアミン …０．６１部
・界面活性剤（大日本インキ株式会社製 Ｆ−７８１） …０．０２部
・ｐ−メトキシフェノール（熱重合禁止剤）の０．１％シクロヘキサノン溶液
…０．０２８部

〈組成Ａ−１６〉
・シクロヘキサノン …８０部
・着色剤Ａ〔Ｃ．Ｉ．Ａｃｉｄ Ｂｌｕｅ ２４９〕 …６．１２部
・着色剤Ｂ〔例示化合物ａ〕 …２．８８部
・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート …８．３８部
・光重合開始剤 …１．５０部
ＣＧＩ−２４２（チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製、オキシム系開始剤、１−（Ｏ−アセチルオキシム）−１−［９−エチル−６−（２−メチルベンゾイル）−９Ｈ−カルバゾール−３−イル］エタノン）
・樹脂（例示化合物Ａ） …０．４９部
・ジシクロヘキシルメチルアミン …０．６１部
・界面活性剤（大日本インキ株式会社製 Ｆ−７８１） …０．０２部
・ｐ−メトキシフェノール（熱重合禁止剤）の０．１％シクロヘキサノン溶液
…０．０２８部

〈組成Ａ−１７〉
・シクロヘキサノン …８０部
・着色剤Ａ〔Ｃ．Ｉ．Ａｃｉｄ Ｂｌｕｅ ２４９〕 …１１．２２部
・着色剤Ｂ〔例示化合物ａ〕 …５．２８部
・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート …１．８８部
・光重合開始剤 …０．５０部
ＣＧＩ−２４２（チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製、オキシム系開始剤、１−（Ｏ−アセチルオキシム）−１−［９−エチル−６−（２−メチルベンゾイル）−９Ｈ−カルバゾール−３−イル］エタノン）
・樹脂（例示化合物Ａ） …０．４９部
・ジシクロヘキシルメチルアミン …０．６１部
・界面活性剤（大日本インキ株式会社製 Ｆ−７８１） …０．０２部

表１及び表２から、本発明の着色感光性組成物を用いて形成した着色パターンは、室温以上で経時後も、低露光量であっても良好な密着性を示し、かつ未露光部現像性も良好であることがわかる。

Claims (6)

1. 全固形分に対する含有量で、５０質量％以上８０質量％以下の着色剤と、１．０×１０^−５質量％以上１．０×１０^−３質量％以下のフェノール系化合物の熱重合禁止剤とを含有することを特徴とする固体撮像素子用着色感光性組成物。
2. 前記着色剤が、有機溶剤可溶性染料であることを特徴とする請求項１に記載の固体撮像素子用着色感光性組成物。
3. 前記有機溶剤可溶性染料がフタロシアニン染料であることを特徴とする請求項２に記載の固体撮像素子用着色感光性組成物。
4. 不飽和二重結合を含み、下記一般式（１）〜（３）のいずれかで表される第１の構成単位の群より選ばれる少なくとも１つ、及び酸基を含む、下記一般式（４）で表される第２の構成単位の群より選ばれる少なくとも１つを有し、前記第１の構成単位の前記第２の構成単位に対する比率（モル比）が１．５倍以上である樹脂を含有することを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載の固体撮像素子用着色感光性組成物。
   
   
   
   （前記一般式（１）〜（３）において、Ａ ^１ 、Ａ ^２ 、及びＡ ^３ は、それぞれ独立に、酸素原子、硫黄原子、又は−Ｎ（Ｒ ^２１ ）−を表し、Ｒ ^２１ は水素原子又は置換基を有してもよいアルキル基を表す。Ｇ ^１ 、Ｇ ^２ 、及びＧ ^３ は、それぞれ独立に２価の有機基を表す。Ｘ及びＺは、それぞれ独立に、酸素原子、硫黄原子、又は−Ｎ（Ｒ ^２２ ）−を表し、Ｒ ^２２ は置換基を有してもよいアルキル基を表す。Ｙは、酸素原子、硫黄原子、置換基を有してもよいフェニレン基、又は−Ｎ（Ｒ ^２３ ）−を表し、Ｒ ^２３ は水素原子又は置換基を有してもよいアルキル基を表す。Ｒ ^１ 、Ｒ ^２ 、Ｒ ^３ 、Ｒ ^４ 、Ｒ ^５ 、Ｒ ^６ 、Ｒ ^７ 、Ｒ ^８ 、Ｒ ^９ 、Ｒ ^１０ 、Ｒ ^１１ 、Ｒ ^１２ 、Ｒ ^１３ 、Ｒ ^１４ 、Ｒ ^１５ 、Ｒ ^１６ 、Ｒ ^１７ 、Ｒ ^１８ 、Ｒ ^１９ 、及びＲ ^２０ は、それぞれ独立に１価の置換基を表す。また、前記一般式（４）において、Ｒ _Ａ は、水素原子又は炭素数１〜６のアルキル基を表し、Ｒ _Ｂ は２価の連結基を表す。）
5. 請求項１〜請求項４のいずれか１項に記載の固体撮像素子用着色感光性組成物を、支持体上に塗布して着色感光性組成物層を形成する工程と、
   前記着色感光性組成物層を、マスクを通して露光し、現像して前記支持体上にパターンを形成する工程と、
   を有する固体撮像素子用カラーフィルターの製造方法。
6. 請求項１〜請求項４のいずれか１項に記載の着色感光性組成物を用いて形成された固体撮像素子用カラーフィルター。