JP5199217B2

JP5199217B2 - ペリクル

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Publication number: JP5199217B2
Application number: JP2009251991A
Authority: JP
Inventors: 一敏関原
Original assignee: Shin Etsu Chemical Co Ltd
Current assignee: Shin Etsu Chemical Co Ltd
Priority date: 2009-11-02
Filing date: 2009-11-02
Publication date: 2013-05-15
Anticipated expiration: 2029-11-02
Also published as: TW201124795A; TWI465840B; CN102053484A; JP2011095661A

Description

本発明は、半導体デバイス、プリント基板あるいは液晶ディスプレイなどを製造する際の防塵カバーとして使用されるペリクルに関するものであり、さらに詳細には、貼り替えが容易なペリクルに関するものである。

ＬＳＩ、超ＬＳＩなどの半導体デバイスあるいは液晶ディスプレイを製造するにあたっては、半導体ウエハーあるいは液晶用原板に、フォトマスクやレチクル（以下、これらを総称して、フォトマスクという。）を介して、露光用の光が照射されて、フォトマスクのパターンが転写される。

したがって、この場合に、フォトマスクにゴミなどの異物が付着していると、この異物によって、露光用の光が反射され、あるいは、吸収されるため、半導体ウエハーあるいは液晶用原板に転写されたパターンが変形したり、パターンのエッジ部分が不鮮明になり、半導体ウエハーあるいは液晶用原板に、所望のように、フォトマスクのパターンを転写することができず、半導体デバイスあるいは液晶ディスプレイの性能が低下し、歩留まりが悪化するという問題があった。

かかる問題を防止するために、半導体ウエハーあるいは液晶用原板の露光は、クリーンルーム内で行われるが、それでも、フォトマスクの表面に異物が付着することを完全に防止することは困難であるため、通常は、フォトマスクの表面に、露光用の光に対し高い透過率を有するペリクルと呼ばれる防塵カバーを取り付けて、半導体ウエハーあるいは液晶用原板を露光するように構成されている。

ペリクルは、一般に、ニトロセルロース、酢酸セルロースなどのセルロース系樹脂やフッ化樹脂などによって、露光用の光に対し高い透過率を有するペリクル膜を作製し、アルミニウム、ステンレススチール、ポリエチレンなどによって形成されたペリクルフレームの一方の面に、ペリクル膜を接着し、ペリクルフレームの他方の端面に、フォトマスクを接着するためのポリブテン樹脂、ポリ酢酸ビニル樹脂、アクリル樹脂、シリコーン樹脂などからなる粘着剤層を形成し、さらに、粘着剤層の表面に、粘着剤層を保護する保護シート（セパレータ）を付着させることによって作製されている。

このように構成されたペリクルをフォトマスクの表面に取り付けて、半導体ウエハーあるいは液晶用原板を露光する場合には、ゴミなどの異物は、ペリクルの表面に付着し、フォトマスクの表面には直接付着しないため、フォトマスクに形成されたパターン上に、焦点が位置するように、露光用の光を照射すれば、ゴミなどの異物の影響を除去することが可能になる。

このようにして作製されたペリクルをフォトマスクに貼り付けるにあたっては、まず、ペリクルとフォトマスク相互の位置関係を調整した後、ペリクルフレームをフォトマスクと平行に一定時間加圧することによって、フォトマスクにペリクルが貼り付けられる。

このように、フォトマスクに貼り付けられたペリクルを介して、半導体ウエハーあるいは液晶用原板を露光する場合に、使用するにつれて、ペリクル膜に無視できない大きさの領域に汚れが付着したり、傷がつくなど、ペリクル膜が破損したときには、ペリクルをフォトマスクから剥離することが要求される。

図１０は、ペリクルをフォトマスクから剥離する場合の従来の剥離方法を示す略正面図である。

図１０に示されるように、従来は、フォトマスク２５とペリクルフレーム１１との間に、先端に薄い突起が形成された剥離治具４０を差し込んで、梃子の原理で、ペリクルフレーム１１を持ち上げて、粘着剤層１６をフォトマスク２５から剥離したり、あるいは、フレーム外側面に形成された丸孔にピン状の治具を差し込んで、梃子の原理で、ペリクルフレーム１１を持ち上げて、粘着剤層１６をフォトマスク２５から剥離したりする方法が一般的であった。

これら従来の方法は、簡便で、容易に、ペリクルをフォトマスク２５から剥離することができるが、粘着剤層１６とフォトマスク２５との間の接着力以上の力を加えて、強制的に、フォトマスク２５の面から、ペリクルフレーム１１を引き剥がすものであるため、剥離後に、フォトマスク２５の表面に残る粘着剤の量が多くなり、フォトマスク２５を洗浄するのに多くの時間と労力を要するという問題があった。のみならず、従来の剥離方法にあっては、フォトマスク２５からペリクルフレーム１１を引き剥がす際に、粘着剤層１６がフォトマスク２５のパターンに付着して、パターンを傷つけたり、汚染したりするという問題があった。加えて、大型のペリクルの場合には、その辺長が長いため、一部分ずつ、ペリクルフレーム１１をフォトマスク２５から剥離していかなくてはならないが、フォトマスク２５から剥離したペリクルフレーム１１の部分が再び、フォトマスク２５に接着しないように、ペリクルフレーム１１を剥離する必要があり、作業性が悪いという問題もあった。

このため、特開２００６−１４６０８５号公報（特許文献１）は、フォトマスクとペリクルフレームの間から、粘着剤層をそのまま引きずり出して、除去することによって、フォトマスクからペリクルフレームを剥離する方法を提案している。

特開２００６−１４６０８５号公報

この方法は、ペリクルフレーム剥離後のフォトマスク面に残る粘着剤の量が少なくなるという利点があるが、フォトマスクとペリクルフレームの間から、最初に粘着剤層を引きずり出すのが難しいという問題があった。すなわち、フォトマスクとペリクルフレームの間から、粘着剤層をそのまま引きずり出す方法としては、図１１（ａ）に示されるように、ピンセット５０を用いて、フォトマスク２５とペリクルフレーム１１の間から、粘着剤層１６を掴み出す方法や、図１１（ｂ）に示されるように、粘着性物質３２を付着させた金属薄板３１よりなる粘着剤層引き出し具３３を用いて、粘着剤層１６を粘着性物質３２に付着させて、フォトマスク２５とペリクルフレーム１１との間から引きずり出す方法が知られているが、粘着剤層１６がフォトマスク２５とペリクルフレーム１１の間から露出していない場合には、図１１（ａ）に示される方法にあっては、ピンセット５０により、粘着剤層１６を掴むことが困難で、一方、図１１（ｂ）に示される方法にあっては、粘着剤層引き出し具３３をフォトマスク２５とペリクルフレーム１１との間に挿入して、確実に、粘着剤層１６を粘着性物質３２に付着させることが困難であり、作業性が悪い上、フォトマスク２５のパターン面を傷つけてしまうおそれがある。特に、ペリクルフレーム１１の幅が広い大型のペリクルの場合には、粘着剤層１６は全幅にわたっては設けられず、内側のみに設けられることが多く、したがって、ペリクルの外側面には粘着剤層１６が露出していないため、所望のように、フォトマスク２５とペリクルフレーム１１の間から粘着剤層１６を引きずり出すことはきわめて困難であった。

このため、特許文献１によって提案された方法は、ペリクルフレーム剥離後のフォトマスク面に残る粘着剤の量が少なくなるという利点があるにもかかわらず、実用化されてはいない。

したがって、本発明は、フォトマスクとペリクルフレームの間から、粘着剤層を容易に除去し、フォトマスクから剥離することができるペリクルを提供することを目的とするものである。

本発明のかかる目的は、ペリクルフレームのフォトマスクに対向する一方の表面に、前記ペリクルフレームの内側から、前記ペリクルフレームの幅の８０％以下の領域にのみ、粘着剤層が形成され、前記粘着剤層が形成された前記ペリクルフレームの一方の表面と前記ペリクルフレームの外表面との間に、前記ペリクルフレームの他方の表面に向けて、１０度ないし３０度の角度で傾斜する傾斜面を備えたことを特徴とするペリクルによって達成される。

本発明によれば、ペリクルフレームの一方の表面の少なくとも四隅に、ペリクルフレームの内側から、ペリクルフレームの幅の８０％以下の領域にのみ、粘着剤層が形成されている場合においても、ペリクルフレームの他方の表面に向けて、傾斜する傾斜面が形成されているから、外部から、粘着剤層を容易に視認することができ、視認性が大幅に向上するだけでなく、粘着剤層を引きずり出すための道具を挿入する部分では、ペリクルフレームとフォトマスクとの間隙が広く、容易に、粘着剤層を掴み、引きずり出すことができるから、作業性が大幅に向上し、したがって、ペリクルフレーム剥離後のフォトマスク面に残る粘着剤の量が少なくなるという利点を生かしつつ、容易に、粘着剤層を引きずり出して、所望のように、ペリクルフレームをフォトマスク面から剥離することが可能になる。
本発明によれば、さらに、ペリクルフレームの一方の表面とペリクルフレームの外表面との間に、ペリクルフレームの他方の表面に向けて、１０度ないし３０度の角度で傾斜する傾斜面が形成されているから、ペリクルフレームの剛性低下を最小限にとどめ、ペリクル膜の張力によって、ペリクルフレームが変形するのを防止しつつ、粘着剤層の視認性および粘着剤層を引きずり出す際の作業性を大幅に向上させることが可能になる。

本発明の好ましい実施態様においては、前記ペリクルフレームが４つ以上の辺を有し、前記ペリクルフレームの少なくとも１つの角部に、前記傾斜面が形成されている。

本発明の好ましい実施態様によれば、ペリクルフレームの少なくとも１つの角部に、傾斜面が形成されているにとどまるから、ペリクルフレームの剛性低下を最小限にとどめ、ペリクル膜の張力によって、ペリクルフレームが変形することを防止することができ、その一方で、ペリクルフレームの少なくとも１つの角部に、傾斜面が形成されているから、傾斜面が形成された角部から、粘着剤層を引きずり出すための道具を挿入して、容易に、粘着剤層を引きずり出すことができ、所望のように、ペリクルをフォトマスク面から剥離することが可能になる。

本発明のさらに好ましい実施態様においては、前記ペリクルフレームの他方の表面に、接着剤層を介して、ペリクル膜が接着されている。

本発明のさらに好ましい実施態様においては、前記粘着層がシリコーン樹脂を含んでいる。

本発明のさらに好ましい実施態様においては、前記粘着剤層がシリコーン樹脂によって形成されている。

本発明によれば、フォトマスクとペリクルフレームの間から、粘着剤層を容易に除去し、フォトマスクから剥離することができるペリクルを提供することが可能になる。

図１は、本発明の好ましい実施態様にかかるペリクルに用いられるペリクルフレームの略平面図である。図２は、図１に示されたペリクルフレームの各辺の略縦断面図である。図３は、図１に示されたペリクルフレームの各角部の略縦断面図である。図４は、図１に示されたペリクルフレーム上に、粘着剤層が形成されたペリクルの略斜視図である。図５は、ペリクルから、粘着剤層を除去する方法を示す略斜視図であり、ペリクルを、図４とは反対側から見た図である。図６は、ペリクルから、粘着剤層を除去する方法を示す略斜視図であり、ペリクルを、図４とは反対側から見た図である。図７（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）、（ｅ）および（ｆ）は、ペリクルフレームの傾斜面とフォトマスクの間から、粘着剤層を引きずり出すプロセスを示す工程図である。図８は、本発明の別の好ましい実施態様にかかるペリクルを示し、傾斜面が、ペリクルフレームの直線状部分に形成され、ペリクルフレームの傾斜面とフォトマスクとの間の間隙に、粘着剤層引き出し具を挿入して、粘着剤層引き出し具の先端部に付着した粘着性物質と粘着剤層とを付着させ、粘着剤層１６を引きずり出す場合のペリクルのフォトマスクとの接触面を示す図面である。図９は、本発明の好ましい実施態様にかかるペリクルを示し、傾斜面が、ペリクルフレームの角部に形成され、ペリクルフレームの傾斜面とフォトマスクとの間の空隙に、粘着剤層引き出し具を挿入して、粘着剤層引き出し具の先端部に付着した粘着性物質と粘着剤層とを付着させ、粘着剤層を引きずり出す場合のペリクルのフォトマスクとの接触面を示す図面である。図１０は、ペリクルをフォトマスクから剥離する場合の従来の剥離方法を示す略正面図である。図１１は、ペリクルをフォトマスクから剥離する場合の従来の剥離方法で、図１０とは異なる従来の剥離方法を示す略正面図である。

図１は、本発明の好ましい実施態様にかかるペリクルフレームの略平面図である。

図１に示されるように、ペリクルフレーム１１は四つの互いに約９０度の角度をなす辺を有する四辺形形状をなし、その平坦な上表面に、フォトマスク（図示せず）を付着する粘着剤層（図示せず）が形成され、その平坦な下表面に、ペリクル膜（図示せず）を接着する接着剤層（図示せず）が形成されるように構成されている。

図２は、図１に示されたペリクルフレーム１１の各辺の略縦断面図であり、図３は、図１に示されたペリクルフレーム１１の各角部の略縦断面図である。

図２および図３に示されるように、ペリクルフレーム１１は、各角部を除き、互いに平行な上表面１２と下表面１３、すなわち、粘着層を形成すべき側の表面１２（以下、「粘着層形成側表面」という。）と、ペリクル膜が接着されるべき側の表面１３（以下、「ペリクル膜接着側表面」という。）を有する矩形断面をなし、各角部には、ペリクルフレーム１１の粘着層形成側表面１２からペリクル膜接着側表面１３に向かって、傾斜面１５が形成され、傾斜面１５は、ペリクルフレーム１１の粘着層形成側表面１２と、角度αをなしている。

図４は、ペリクルフレーム１１上に、粘着剤層が形成されたペリクルの略斜視図である。

図３および図４に示されるように、ペリクルフレーム１１の各角部には、段差１４が形成され、段差１４の上に、シリコーン樹脂を含む粘着剤が塗布されて、粘着剤層１６が形成されている。また、ペリクルフレーム１１の各角部には、ペリクルフレーム１１の粘着層形成側表面１２からペリクル膜接着側表面１３に向かって傾斜面１５が形成されている。

本実施態様においては、粘着剤層１６は、ペリクルフレーム１１の内側から外側に向かって、ペリクルフレーム１１の幅の８０％以下の領域上に形成され、粘着剤層１６の表面がフォトマスク（図示せず）に付着されるように構成されている。

図３に示されるように、傾斜面１５は、ペリクルフレーム１１の粘着層形成側表面１２とαの角度をなしている。

本実施態様において、傾斜面１５がペリクルフレーム１１の粘着層形成側表面１２となす角度αは、１０度ないし３０度であることが好ましい。角度αが３０度を越えている場合には、傾斜面１５の外側端部におけるペリクルフレーム１１の厚さが薄くなりすぎて、ペリクルフレーム１１のハンドリングが困難になり、一方、角度αが１０度未満の場合には、粘着剤層１６上にフォトマスク（図示せず）が形成されている場合に、ペリクルフレーム１１とフォトマスクとの間隙が狭すぎて、粘着剤層１６を視認することが困難になるだけでなく、ペリクルフレーム１１とフォトマスクとの間隙に、粘着剤層引き出し具（図示せず）を挿入して、粘着剤層１６を引きずり出しにくく、作業性を十分に向上させることができない。

図５および図６は、ペリクルから、粘着剤層を除去する方法を示す略斜視図であり、ペリクルを、図４とは反対側から見た図である。

図５および図６に示されるように、ペリクル１０は、ペリクル膜２０をペリクルフレーム１１に接着する接着剤層２１と、フォトマスク２５に付着した粘着剤層１６（図５には図示されていない）を備えている。ここに、傾斜面１５は、ペリクルフレーム１１の下側に設けられているため、図５および図６には図示されていない。

フォトマスク２５から、粘着剤層１６を除去するにあたっては、図５に示されるように、ステンレスなどの金属薄板３１の先端部表面に粘着性物質３２を付着させた粘着剤層引き出し具３３が、ペリクルフレーム１１の角部に形成された傾斜面１５（図５および図６には図示していない）とフォトマスク２５の間に挿入される。

その結果、粘着剤層引き出し具３３の金属薄板３１の先端部表面に付着された粘着性物質３２と、フォトマスク２５を付着している粘着剤層１６とが付着する。

このとき、ペリクルフレーム１１には傾斜面１５が形成されているため、ペリクルフレーム１１とフォトマスク２５との間の間隙は広く、したがって、粘着剤層１６を外部から容易に視認することができるだけでなく、粘着剤層引き出し具３３をペリクルフレーム１１とフォトマスク２５との間に挿入して、容易に、かつ、確実に、粘着剤層引き出し具３３の先端部に付着された粘着性物質３２に粘着剤層１６を付着させることができる。

したがって、傾斜面１５とフォトマスク２５の間から、粘着剤層引き出し具３３をゆっくりと引き出すと、図６に示されるように、粘着剤層引き出し具３３の金属薄板３１の先端部表面に付着された粘着性物質３２に付着した粘着剤層１６がフォトマスク２５から引き剥がされて、粘着剤層１６があたかも紐のように、引きずり出される。

このように、傾斜面１５とフォトマスク２５との間から、粘着剤層引き出し具３３によって、粘着剤層１６が紐のように引きずり出されるので、粘着剤層引き出し具３３を、ペリクルフレーム１１の周に沿って、移動させることによって、粘着剤層１６を引きずり出すことができる。

図７（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）、（ｅ）および（ｆ）は、ペリクルフレーム１１の傾斜面（図７には図示されていない）とフォトマスク２５の間から、粘着剤層１６を引きずり出すプロセスを示す工程図である。

図７（ａ）に示されるように、ペリクルフレーム１１の角部に形成された傾斜面１５とフォトマスク２５との間の間隙に付着している粘着剤層１６（図７（ａ）には図示されていない）に、粘着剤層引き出し具３３を挿入し、粘着剤層引き出し具３３の先端部に付着した粘着性物質３２と粘着剤層１６とを付着させる。

次いで、図７（ｂ）に示されるように、傾斜面１５とフォトマスク２５との間から、粘着剤層引き出し具３３をゆっくりと引き出すと、粘着剤層引き出し具３３の先端部の粘着性物質３２に付着した粘着剤層１６があたかも紐のように、粘着剤層引き出し具３３とともに引きずり出される。

このとき、二本の紐のような形で、粘着剤層１６が引きずり出されると、作業がしにくいため、図７（ｃ）に示されるように、紐状の粘着剤層１６のうち、一方を鋏みなどの切断用具によって切断し、粘着剤層引き出し具３３から切り離された紐状の粘着剤層１６をピンセットなどの把持用具によって把持して、図７（ｄ）、（ｅ）および（ｆ）に示されるように、紐状の粘着剤層１６を把持した把持用具を、ペリクルフレーム１１の周に沿って、移動させ、順次、紐状の粘着剤層１６を引きずり出す。

以上のとおり、本実施態様によれば、ペリクルフレーム１１の角部に、ペリクルフレーム１１の粘着層形成側表面１２に対し、１０度ないし３０度の角度αをなす傾斜面１５が形成されているから、ペリクルフレーム１１とフォトマスク２５との間隙が広く、外部から、容易に粘着剤層１６を視認することができるだけでなく、粘着剤層引き出し具３３をペリクルフレーム１１とフォトマスク２５との間に挿入して、容易に、かつ、確実に、粘着剤層引き出し具３３の先端部に付着された粘着性物質３２に粘着剤層１６を付着させて、引きずり出し、フォトマスク２５から剥離させることが可能になる。

図８は、本発明の別の好ましい実施態様にかかるペリクルを示し、傾斜面１５が、ペリクルフレーム１１の直線部分に形成され、ペリクルフレーム１１の傾斜面１５とフォトマスクとの間の空隙に、粘着剤層引き出し具３３を挿入して、粘着剤層引き出し具３３の先端部に付着した粘着性物質３２と粘着剤層１６とを付着させ、粘着剤層１６を引きずり出す場合のペリクルのフォトマスクとの接触面を示している。

図８に示されるように、本実施態様においては、傾斜面１５が、ペリクルフレーム１１の直線状部分に形成され、ペリクルフレーム１１の傾斜面１５とフォトマスク（図８には図示していない）との間の間隙に、粘着剤層引き出し具３３を挿入して、粘着剤層引き出し具３３の先端部に付着した粘着性物質３２と粘着剤層１６とを付着させ、粘着剤層１６を引きずり出すように構成されている。
一方、図９は、本発明の他の好ましい実施態様にかかるペリクルとフォトマスクの接触面を示し、図１ないし図７に示された実施態様と同様に、傾斜面１５が、ペリクルフレーム１１の角部に形成されている。
図９に示されるように、本実施態様においては、傾斜面１５が、ペリクルフレーム１１の角部に形成され、ペリクルフレーム１１の傾斜面１５とフォトマスク（図９には図示していない）との間の間隙に、粘着剤層引き出し具３３を挿入して、粘着剤層引き出し具３３の先端部に付着した粘着性物質３２と粘着剤層１６とを付着させ、粘着剤層１６を引きずり出すように構成されている。

図８と図９を比較すると、粘着剤層１６に加えられる引張り力に垂直な平面に、引張り力の作用点から所定の距離にある部分を投影したときの長さは、図８の場合の方が長く、したがって、抵抗が大きいため、図９のように、傾斜面１５を、ペリクルフレーム１１の角部に形成する方がより好ましい。

以下、本発明の作用効果を明らかにするため、実施例を掲げる。

実施例
Ａ５０５２アルミニウム合金の圧延板から、外寸１５２６×１７４８ｍｍ、内寸１４９３×１７１１ｍｍ、全体の厚さ６．２ｍｍ、粘着層を形成する側の一方の表面の内側に沿って、幅６ｍｍで、高さ０．２ｍｍの段差を設けた四辺形状のペリクルフレームを機械加工により製作した。

さらに、このペリクルフレームの４箇所の角部には、段差の外側にペリクル膜を接着する側の他方の表面に向かって、ペリクルフレームの一方の面と１５度の角度をなす傾斜面を設けた。

機械加工終了後、ペリクルフレームの両表面をサンドブラスト処理し、さらに黒色アルマイト処理を施した。

このペリクルフレームの他方の表面に、シリコーン粘着剤（信越化学工業株式会社製；商品名「ＫＲ３７００」）をトルエンで希釈して、乾燥膜厚が約１００μｍとなるように塗布し、接着層を形成した。

これに対して、ペリクルフレームの一方の表面には、シリコーン粘着剤（信越化学工業株式会社製；商品名「ＫＲ３７００」）をトルエンで希釈して、ペリクルフレームの段差上に、ペリクルフレームの内側からの幅６ｍｍとなるように、塗布して、粘着剤層を形成し、その厚さが約２ｍｍとなるように仕上げた。

その後、ペリクルフレームを１３０℃の温度で加熱し、粘着剤層および接着剤層中の溶媒を除去するとともに、シリコーン粘着剤を完全に架橋させた。

こうして、各角部に、図４に示されるように、段差１４、粘着剤層１６、傾斜面１５が形成されたペリクルフレーム１１が得られた。

次いで、表面を平滑に研磨した１６２０×１７８０ｍｍの石英基板を洗浄し、乾燥した後に、その一方の面に、ダイコート法を用いて、フッ素樹脂（旭硝子株式会社製；商品名「サイトップ」）を、乾燥後膜厚が６μｍとなるように塗布した。

その後、フッ素樹脂の層が塗布された石英基板を、オーブンで２００℃に加熱し、溶媒を除去した。

冷却後、フッ素樹脂層に枠状の膜剥離治具を接着し、石英基板からゆっくりと引き剥がして、ペリクル膜を得た。

最後に、こうして得られたペリクル膜を、ペリクルフレーム１１の接着層に貼り合わせ、外側の余剰部分をカッターにより切除した。

こうして、ペリクル１０を作製した。

次いで、ペリクル１０の粘着剤層１６を、１６２０ｍｍ×１７８０ｍｍのサイズで、厚さ１７ｍｍのＣｒ膜付き石英基板フォトマスク２５に、荷重４００ｋｇｆで貼り付けた。

その後、図５および図６に示されるように、ペリクル１０の角部の傾斜面１５とフォトマスク２５との間の間隙に、粘着剤層引き出し具３３を挿入して、ペリクル１０の角部の傾斜面１５とフォトマスク２５との間から、粘着剤層１６を引きずり出した。

すなわち、ステンレス製の厚さ０．８ｍｍの薄板３１の先端部に、信越化学工業株式会社製のシリコーン粘着剤テープ３２を付着させて、粘着剤層引き出し具３３を作製し、得られた粘着剤層引き出し具３３を、ペリクル１０の角部の傾斜面１５とフォトマスク２５との間の間隙に挿入し、薄板３１の先端部に付着されたシリコーン粘着剤テープ３２と粘着剤層１６とを付着させ、図６に示されるように、粘着剤層引き出し具３３を引き出し、シリコーン粘着剤テープ３２に付着している粘着剤層１６を、ペリクル１０の角部の傾斜面１５とフォトマスク２５との間から引きずり出し、図７（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）および（ｅ）に示されるようにして、粘着剤層１６を引きずり出し、図７（ｆ）に示されるように、粘着剤層をすべて除去した。

これらの作業に要した時間は５分で、熟練した作業者でなくとも、容易に、粘着剤層をペリクル１０の角部の傾斜面１５とフォトマスク２５との間から引きずり出すことができた。

こうして、粘着層剤層１６を除去した後に、フォトマスク２５の表面を目視で観察したところ、フォトマスク２５の表面に残る粘着剤層１６はほとんど観察されず、フォトマスク２５の表面に残る粘着剤層１６も、トルエンを浸潤したワイパーで軽く擦るだけで完全に除去することができた。

比較例
傾斜面１５を形成していない点を除き、上記実施例と全く同様にして、ペリクル１０を作製した。

次いで、上記実施例と全く同様にして、ペリクル１０の粘着剤層１６を、１６２０ｍｍ×１７８０ｍｍのサイズで、厚さ１７ｍｍのＣｒ膜付き石英基板フォトマスク２５に、荷重４００ｋｇｆで貼り付けた。

その後、上記実施例と全く同様にして、作製された粘着剤層引き出し具３３を、ペリクルフレーム１１とフォトマスク２５との間の間隙に挿入して、粘着剤層１６を引きずり出そうとしたが、粘着剤層１６を、粘着剤層引き出し具３３の薄板３１の先端部に付着した粘着性物質に、所望のように付着させることができず、粘着剤層１６をペリクルフレーム１１とフォトマスク２５との間から引きずり出すことができなかった。

同じ作業を繰り返しおこなったが、粘着剤層１６をペリクルフレーム１１とフォトマスク２５との間から引きずり出すことができなかった。

以上の実施例および比較例から、ペリクルフレーム１１に傾斜面１５が形成されていない比較例の場合には、ペリクルフレーム１１とフォトマスク２５の間の粘着剤層１６を、外部から視認することが困難であり、粘着剤層引き出し具３３を、ペリクルフレーム１１とフォトマスク２５との間の間隙に挿入しても、粘着剤層１６を、粘着剤層引き出し具３３の薄板３１の先端部に付着した粘着性物質に、所望のように付着させることができなかったのに対し、ペリクルフレーム１１の角部に、粘着剤層１６が形成されるべき面から接着剤層２１が形成されるべき面に向かって、傾斜面１５が形成されている本発明の実施例の場合には、ペリクルフレーム１１とフォトマスク２５の間の粘着剤層１６を、外部から、容易に視認することができ、したがって、ペリクルフレーム１１とフォトマスク２５との間の間隙に挿入して、粘着剤層１６を、粘着剤層引き出し具３３の薄板３１の先端部に付着した粘着性物質に、容易に、かつ、確実に付着させることができるから、粘着剤層１６をペリクルフレーム１１およびフォトマスク２５の間から、容易に引きずり出して、フォトマスク２５から剥離可能であることが判明した。

本発明は、以上の実施態様および実施例に限定されることなく、特許請求の範囲に記載された発明の範囲内で種々の変更が可能であり、それらも本発明の範囲内に包含されるものであることはいうまでもない。

たとえば、前記実施態様においては、ペリクルフレーム１１はいずれも矩形形状を有しているが、ペリクルフレーム１１が矩形形状を有していることは必ずしも必要ではなく、ペリクルフレーム１１は、五角形や六角形など、矩形よりも角部が多い多角形形状を有していてもよく、さらには、円形など、角部がない形状を有していてもよい。

さらに、図１ないし図７および図９に示された実施態様においては、傾斜面１５がペリクルフレーム１１の角部にのみ形成されているが、傾斜面１５をペリクルフレーム１１の角部にのみ形成することは必ずしも必要ではなく、ペリクルフレーム１１の角部に加えて、ペリクルフレーム１１の他の部分に傾斜面１５を形成してもよく、さらには、ペリクルフレーム１１の全周にわたって、傾斜面１５を形成することもできる。ただし、ペリクルフレーム１１の全周にわたり、傾斜面１５を形成すると、ペリクルフレーム１１の剛性が低下して、ペリクル膜の張力によって、ペリクルフレームが変形するおそれがあるので、ペリクルフレーム１１の角部以外に、傾斜面１５を設ける場合には、ペリクルフレーム１１の全周ではなく、角部以外のペリクルフレーム１１に数箇所の傾斜面１５を形成するにとどめることが好ましい。

また、前記実施例においては、ダイコート法を用いて、石英基板上に、フッ素樹脂を塗布して、ペリクル膜を形成しているが、ダイコート法を用いて、フッ素樹脂を石英基板上に塗布することは必ずしも必要でなく、スピンコート法、スリットアンドスピンコート法などによって、フッ素樹脂を石英基板上に塗布するようにしてもよい。

さらに、本発明において、ペリクルフレームおよびペリクルのサイズは特に限定されるものではなく、一辺の長さが５００ｍｍを越え、ペリクルフレーム幅の広い液晶製造用途で使用されるペリクルにも、一辺の長さが１５０ｍｍ程度の半導体用途で使用される小型のペリクルにも適用することができ、そのサイズやその用途は特に限定されるものではない。

また、前記実施例においては、フッ素樹脂を用いて、ペリクル膜を形成しているが、ニトロセルロース、酢酸セルロースなどのセルロース系樹脂によってペリクル膜を形成することもできる。

１０ペリクル
１１ペリクルフレーム
１２ペリクルフレームの粘着剤層が形成されるべき表面
１３ペリクルフレームのペリクル膜が接着されるべき表面
１４段差
１５傾斜面
１６粘着剤層
２０ペリクル膜
２１接着剤層
２５フォトマスク
３１金属薄板
３２粘着性物質
３３粘着剤層引き出し具
４０剥離治具
５０ピンセット

Claims

ペリクルフレームのフォトマスクに対向する一方の表面に、前記ペリクルフレームの内側から、前記ペリクルフレームの幅の８０％以下の領域にのみ、粘着剤層が形成され、前記粘着剤層が形成された前記ペリクルフレームの一方の表面の少なくとも四隅近傍の領域と前記ペリクルフレームの外表面との間に、前記ペリクルフレームの他方の表面に向けて、１０度ないし３０度の角度で傾斜する傾斜面を備えたことを特徴とするペリクル。
前記ペリクルフレームが４つ以上の辺を有し、前記ペリクルフレームの少なくとも１つの角部に、前記傾斜面が形成されていることを特徴とする請求項１に記載のペリクル。
前記ペリクルフレームの他方の表面に、接着剤層を介して、ペリクル膜が接着されていることを特徴とする請求項１または２に記載のペリクル。
前記粘着剤層がシリコーン樹脂を含んでいることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項に記載のペリクル。
前記粘着剤層がシリコーン樹脂によって形成されていることを特徴とする請求項４に記載のペリクル。