JP5144348B2 - 温調器を備えた加工装置 - Google Patents
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Description
また、前記加工機械は空気バネを介して設置面に設置されていることが好ましい。
また、前記仕切部材が変形可能であることが好ましい。
最初に、図1を参照して、本発明の加工装置10の全体構成を説明する。なお、以下の説明において、図1の紙面に垂直な方向をX軸方向、図1の上下方向をY軸方向、図1の左右方向をZ軸方向とする。加工装置10は、工具(図示せず)を用いて被加工物(図示せず)を加工する加工機械12と、加工機械12の周囲を取り囲み加工室を形成するカバー14とを備える。図1に示される加工機械12は、水平方向に延びる支持面を有した水平テーブル16と垂直方向に延びる支持面を有した垂直テーブル18とを備え、用途に応じて一方のテーブルに主軸アタッチメント及び/又は工具(図示せず)を取り付け、他方のテーブルに被加工物(図示せず)を取り付けることができるプラットフォームマシンタイプの工作機械である。
本実施形態の加工装置10では、X軸スライダ26及びY軸スライダ30を含む支持部と水平テーブル16及び垂直テーブル18のような可動部との間に空気軸受36,38を用いており、固体摩擦が生じないため、摩擦熱が発生しにくくなって軸受部に発生する熱を低減させることができるだけでなく、摩擦抵抗が少ないのでテーブルなどの可動部の駆動にモータを使用しても駆動電力が少なくてすみ、モータの発熱を低減させることができる。この結果、加工機械12の熱変形が抑制され、加工精度を向上させることにつながる。
12 加工機械
14 カバー
16 水平テーブル
18 垂直テーブル
34 空気軸受
36 空気軸受
38 空気軸受
40 空気軸受圧縮空気用温調器
44 仕切部材
46 加工領域
48 加工機械領域
50 貫通孔
54 ラビリンス構造
62 機内温調器
Claims (4)
- 工具と被加工物とを相対移動させて加工する加工装置であって、
支持部と、該支持部に対して気体軸受を介して運動可能に支持された少なくとも一つの可動部とを有し、工具及び被加工物の少なくとも一方を前記少なくとも一つの可動部に取り付けて前記工具と前記被加工物とを互いに対して相対移動させて加工する加工機械と、
前記加工機械を取り囲むカバーと、
前記カバーによって取り囲まれた空間を、前記工具で前記被加工物を加工する空間である加工領域と、加工機械領域とに仕切る仕切部材と、
所定温度に調節された気体を前記気体軸受に供給する第1の温調器と、
所定温度に調節された気体を前記加工機械領域に供給した後に回収し前記気体を前記加工機械領域内で循環させる第2の温調器と、
を備え、前記仕切部材に前記可動部が通って延びる貫通孔が設けられており、前記加工機械領域は前記貫通孔を除いて密閉されており、前記仕切部材の前記貫通孔の周縁部と前記可動部の外周部との間にラビリンス構造が設けられており、該ラビリンス構造を通る気体は前記加工機械領域から前記加工領域に流れることを特徴とする温調器を備えた加工装置。 - 前記第1の温調器と前記第2の温調器は、供給する気体の温度を独立して調節することができる、請求項1に記載の温調器を備えた加工装置。
- 前記加工機械は空気バネを介して設置面に設置されている、請求項1又は請求項2に記載の温調器を備えた加工装置。
- 前記仕切部材が変形可能である、請求項1から請求項3の何れか一項に記載の温調器を備えた加工装置。
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