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JP5084196B2 - 電動機制御装置および電動機制御方法 - Google Patents

電動機制御装置および電動機制御方法 Download PDF

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Description

この発明は、工作機械におけるテーブルや産業用ロボットのアームのような負荷機械を駆動する電動機を制御する電動機制御装置および電動機制御方法に関するものである。
従来の電動機制御装置は、電動機の速度信号または位置信号を基に生成されるトルク指令信号により、負荷機械を駆動する電動機のトルクがトルク指令信号に一致するように制御するが、制御対象の剛性が低い場合には、外乱抑制力の向上と制御対象の振動抑制を同時に実現することが困難であった。
そこで、電動機の速度信号または位置信号を基に生成されるトルク指令信号から負荷機械の加速度信号を比例倍した信号を減算することにより、負荷機械の加速度信号に含まれる負荷機械の振動をトルク指令信号に反映して負荷機械の振動を抑制する電動機制御装置が提案されている(例えば、特許文献1参照)。
また、電動機の速度信号または位置信号を基に生成されるトルク指令信号から負荷機械の加速度信号を比例積分した信号を減算する電動機制御装置が提案されている(例えば、特許文献2参照)。
特開平06−91482号公報 特開2005−284599号公報
しかし、速度比例ゲインKVPがある値に固定されていれば、加速度フィードバックゲインKを大きくすることで負荷機械の振動を抑制することが可能であるが、振動抑制に適切な加速度フィードバックゲインKの大きさが速度比例ゲインKVPによって異なるため、外乱抑制効果を向上させるために速度比例ゲインKVPを調整する度に加速度フィードバックゲインKを調整し直す必要があり、調整作業が煩雑となる問題がある。
また、負荷機械の振動を抑制するためには加速度フィードバックゲインKを大きくする必要があるが、負荷機械の加速度信号を比例倍した信号を速度制御回路が出力するトルク指令信号に加算しているので、振動抑制を目的とした加速度フィードバックゲインKの効果と、外乱抑制を目的とした速度積分ゲインKViと位置比例ゲインKの効果とが干渉を起こして振動的となり、十分な振動抑制効果と外乱抑制効果を同時に得ることができないという問題がある。
この発明の目的は、簡便な調整により、外乱抑制力の向上と負荷機械の振動抑制とを同時に実現する電動機制御装置および電動機制御方法を提供することである。
この発明に係わる電動機制御装置は、電動機の位置を検出する位置検出手段および入力される負荷機械または負荷機械を駆動する上記電動機の位置に対する位置参照信号と上記電動機の位置信号との偏差が小さくなるように上記電動機を制御するためのトルク指令信号を出力する位置制御手段を有する電動機制御装置において、上記負荷機械の加速度を検出する加速度検出手段と、上記電動機の位置信号に比例演算を施した信号と上記加速度検出手段から出力される加速度信号に比例積分演算を施した信号とを加算した補正変数に1つの調整ゲインを乗じることと同等な演算を行うことにより上記トルク指令信号を補正し、上記負荷機械または上記電動機の振動を抑制する補正信号を出力する振動抑制手段と、を有する。
また、本発明に係わる電動機制御方法は、電動機の位置を検出する位置検出ステップと、入力される負荷機械または負荷機械を駆動する上記電動機の位置に対する位置参照信号と上記電動機の位置信号との偏差が小さくなるように上記電動機を制御するためのトルク指令信号を生成する位置制御ステップとを有する電動機制御方法において、上記負荷機械の加速度を検出する加速度検出ステップと、上記位置検出ステップで検出された上記電動機の位置信号に比例演算を施した信号と、上記加速度検出ステップで検出された加速度信号に比例積分演算を施した信号とを加算した補正変数を生成する補正変数生成ステップと、上記補正変数生成ステップで生成された上記補正変数に1つの調整ゲインを乗じることと同等な演算を行うことにより、上記位置制御ステップで生成された上記トルク指令信号を補正し、上記負荷機械または上記電動機の振動を抑制する補正信号を生成する振動抑制ステップとをさらに有する。
この発明に係わる電動機制御装置および電動機制御方法の効果は、電動機および負荷機械の外乱抑制のためのゲイン調整とは独立に、1つの調整ゲインを徐々に大きくするだけの簡便な調整で負荷機械の振動抑制ができるので、外乱抑制力の向上と負荷機械の振動抑制とを同時に実現できる。

実施の形態1.
図1は、この発明の実施の形態1に係わる電動機制御装置のブロック図である。図2は、図1で振動抑制回路を詳しく示したブロック図である。図3は、図2で補正変数演算回路を詳しく示したブロック図である。
この発明の実施の形態1に係わる電動機制御装置が制御する制御対象1は、負荷機械2、負荷機械2を駆動する電動機3および電動機3が負荷機械2を駆動するときのトルクτをトルク指令信号τに一致するように制御するトルク制御回路4からなる。
そして、この発明の実施の形態1に係わる電動機制御装置は、電動機3の位置の現在値を検出し位置信号xとして出力する位置検出手段としての位置検出回路5、負荷機械2の加速度の現在値を検出し加速度信号aとして出力する加速度検出手段としての加速度検出回路6、位置制御手段としての位置制御回路7、振動抑制手段としての振動抑制回路8および位置制御回路7からのトルク指令信号τから補正信号τを減算する減算手段9を備える。
この位置制御回路7、振動抑制回路8および減算手段9は、CPU、ROM、RAM、インターフェース回路を有するコンピュータから構成され、ROMに制御手順がプログラムとして記憶されている。
位置制御回路7は、入力される負荷機械2または負荷機械2を駆動する電動機3の位置を模擬する位置参照信号xと電動機3の位置信号xが入力され、電動機3が負荷機械2を駆動するトルクτの目標値であるトルク指令信号τを出力する。
この位置制御回路7では、式(1)に示すように、位置参照信号xと電動機3の位置信号xとの位置偏差信号(x−x)に対して比例演算・積分演算・微分演算(PID制御)を施して得られるトルク指令信号τを出力する。ここで、Kは微分演算の微分ゲイン、Kは比例演算の比例ゲイン、Kは積分演算の積分ゲインである。
Figure 0005084196
振動抑制回路8は、電動機3の位置信号xと負荷機械2の加速度信号aが入力され、位置制御回路7が出力するトルク指令信号τを補正する補正信号τを出力する。
この振動抑制回路8は、図2に示すように、電動機3の位置信号xと負荷機械2のaが入力され、補正変数uを演算する補正変数演算手段としての補正変数演算手段21、補正変数演算手段21が出力する補正変数uに調整ゲインαを乗じてえら得られる補正信号τを出力する乗算手段22を有する。
補正変数演算手段21は、図3が示すように、電動機3の位置信号xが入力され、その位置信号xに位置制御回路7の積分ゲインKと同じゲインKを乗じて得られる第1補正変数uC1を出力する第1ゲイン手段23と、負荷機械2の加速度信号aが入力され、その加速度信号aに所定のゲインKを乗じて得られる第2補正変数uC2を出力する第2ゲイン手段24と、負荷機械2の加速度信号aが入力され、その加速度信号aを積分する積分手段25と、積分手段25で加速度信号aが積分された信号が入力され、位置制御回路7の比例ゲインKと同じゲインKを乗じて得られる第3補正変数uC3を出力する第3ゲイン手段26と、第1補正変数uC1、第2補正変数uC2および第3補正変数uC3を加算して補正変数uCを出力する加算手段27を有する。
第2ゲイン手段24のゲインKは、制御対象1の伝達関数G(s)の反共振周波数ω、位置制御回路7の微分ゲインKおよび位置制御回路7の積分ゲインKを用いて式(2)により求められる値である。
そして、振動抑制回路8で行う制御は、電動機3の位置信号xと負荷機械2の加速度信号aが入力され、補正信号τが出力されるとすると、式(3)で表される。この式(3)に式(2)で求められるゲインKを代入すると、補正信号τは式(4)で表される。
Figure 0005084196
減算手段9は、位置制御回路7が出力するトルク指令信号τと振動抑制回路8が出力する補正信号τとが入力され、トルク指令信号τから補正信号τを減算して得られたトルク指令信号τを出力する。この減算手段9で行う制御は、式(5)で表される。
Figure 0005084196
次に、この発明の実施の形態に係わる電動機制御装置の作用と効果について説明する。
制御対象1は、機械共振特性を有し、トルク指令信号τから電動機3の位置信号xまでの伝達関数が機械共振特性を一つだけ有する二慣性系であるとする。このとき、電動機3のトルクτから電動機3の位置信号xまでの伝達関数をG(s)、電動機3のトルクτから負荷機械2の加速度信号aまでの伝達関数をG(s)とすると、G(s)およびG(s)はそれぞれ式(6)と式(7)で表される。
Figure 0005084196
式(6)と式(7)において、ωは反共振周波数、ωは共振周波数、Jは制御対象1の総慣性、Jは電動機3の慣性、Jは負荷機械2の慣性である。そして、総慣性Jは、JとJの和で求められる。
そして、式(6)より分かるように、伝達関数G(s)は反共振周波数ωに対応する式(8)で求められる反共振零点zを有する。
Figure 0005084196
まず、振動抑制回路8における調整ゲインαを0、すなわち位置制御回路7が出力するトルク指令信号τを振動抑制回路8が出力する補正信号τにより補正しない従来の電動機制御装置を考える。このとき図1におけるトルク制御回路4に与えられるトルク指令信号τは位置制御回路7が出力するトルク指令信号τと等しくなる。
トルク制御回路4の伝達特性を理想的に1、すなわちτ=τとし、制御対象1の入力端(図1におけるトルク指令信号τの箇所)で制御ループを開いた開ループ伝達関数をL(s)とすると、L(s)は式(9)で表される。
Figure 0005084196
式(9)から分かるように、調整ゲインαが0のとき、開ループ伝達関数L(s)が有する零点は、位置制御回路7の微分ゲインK、比例ゲインK、積分ゲインKによって決まる零点と、式(6)で表される制御対象1の伝達関数G(s)が有する反共振零点zとである。
次に、振動抑制回路8における調整ゲインαを0を超える値、すなわちこの発明の実施の形態における開ループ伝達関数L(s)を考える。
式(4)に式(6)で表される電動機3の位置信号xおよび式(7)で表される負荷機械2の加速度信号aを代入すると、補正信号τは電動機3のトルクτを用いて式(10)で表される。
Figure 0005084196
式(10)を整理すると、電動機3のトルクτから振動抑制回路8が出力する補正信号τまでの伝達関数は式(11)で表される。
Figure 0005084196
図1においてトルク制御回路4の伝達特性を理想的に1とし、制御対象1の入力端で制御ループを開いた開ループ伝達関数をL(s)とすると、L(s)は式(12)で表される。
Figure 0005084196
式(12)より分かるように、開ループ伝達関数L(s)は、位置制御回路7の微分ゲインK、比例ゲインK、積分ゲインKによって決まる零点と、調整ゲインαによって変化する反共振零点zとを有する。式(12)における反共振零点zは式(13)で表される。
Figure 0005084196
式(13)において、ζは反共振零点zでの減衰係数を意味し、式(14)で表される。
Figure 0005084196
従って、調整ゲインαを変更することにより、開ループ伝達関数L(s)における零点は、式(8)で示す反共振零点zから式(13)で示す反共振零点zへと変化する。
一般的に、外乱抑制力を向上させるためには開ループ伝達関数のループゲインを大きくする必要があるが、開ループ伝達関数のループゲインを大きくすると、制御系全体の閉ループ極は開ループ伝達関数の零点に漸近し、閉ループ極の減衰係数は開ループ零点の減衰係数に漸近することが知られている。
閉ループ極の減衰係数は、閉ループ極応答の振動が減衰する割合を表す代表的な指標であり、閉ループ極の減衰係数が小さくなるほど閉ループ応答の振動は大きくなり、逆に閉ループ極の減衰係数が大きくなるほど閉ループ応答の振動は速やかに減衰することになる。
式(9)で示したように、調整ゲインαを0としたときの開ループ伝達関数L(s)が有する零点は、位置制御回路7の微分ゲインK、比例ゲインK、積分ゲインKによって決まる零点と、式(6)で示す制御対象1の伝達関数G(s)が有する反共振零点zである。
このうち、微分ゲインK、比例ゲインK、積分ゲインKによって決まる零点は、微分ゲインK、比例ゲインK、積分ゲインKを変更することで任意に変更することができる。
一方、反共振零点zは、制御対象1の伝達関数G(s)が有する零点であり、微分ゲインK、比例ゲインK、積分ゲインKを変更しても変化させることはできない。
式(14)より、調整ゲインαを0としたとき、開ループ伝達関数が有する反共振零点zでの減衰係数ζは0となる。よって、開ループ伝達関数のループゲインが大きくなるように位置制御回路7の微分ゲインK、比例ゲインK、積分ゲインKを大きくすると、閉ループ極の減衰係数は非常に小さくなり、制御対象1の応答が振動的となる。
一方、調整ゲインαを大きくすると、開ループ伝達関数L(s)が有する反共振零点は調整ゲインαが0のときの反共振零点zからzへと変化し、式(14)より、反共振零点zの減衰係数ζを大きくできる。よって、減衰係数ζが適切な大きさとなるように調整ゲインαを変更すれば、外乱抑制力を向上させるために開ループ伝達関数のループゲインが大きくなるように位置制御回路7の微分ゲインK、比例ゲインK、積分ゲインKを大きくしても閉ループ極の減衰係数が非常に小さくなることはなく、制御対象1を振動させないように調整することができる。従って、制御対象1の振動抑制と外乱抑制力の向上を同時に実現することができる。
このように振動抑制回路8から出力される補正信号τが、電動機3の位置信号xに対して位置制御回路7の積分ゲインKを用いた比例演算を施して得られた第1補正信号uC1と負荷機械2の加速度信号aに対して所定のゲインKを用いた比例演算および位置制御回路7の比例ゲインKを用いた積分演算を施して得られた第2補正信号uC2と第3補正信号uC3との加算信号uに対して調整ゲインαを用いて比例演算を施して得られるので、式(14)で示す減衰係数ζは調整ゲインαによってのみ変化し、位置制御回路7の微分ゲインK、比例ゲインK、積分ゲインKを変化させても減衰係数ζには影響しない。すなわち、外乱抑制力の向上と振動抑制とのための調整を独立に行うことができる。
なお、調整ゲインαは、式(14)で示す減衰係数ζが0.5程度の値になるまで徐々に大きくするように設定すれば十分である。
また、実施の形態1では、振動抑制回路8内部の補正変数演算手段21が出力する補正変数uに調整ゲインαを乗じることで位置制御回路7が出力するトルク指令信号τを補正する補正信号τを出力する構成としたが、調整ゲインαを補正変数演算手段21が出力する補正変数uに乗じる代わりに補正変数演算手段21に入力される電動機3の位置信号xおよび負荷機械2の加速度信号aに乗じる構成としてもよい。
また、この実施の形態1では、振動抑制回路8において、負荷機械2の加速度信号aからトルク指令信号τまでの伝達特性に負荷機械2の加速度信号aから所定の周波数成分を除去するフィルタ特性を追加する構成としてもよい。
例えば、フィルタ特性を所定の周波数以上の成分を除去するローパスフィルタを追加することにより、制御対象1の安定性に悪影響を及ぼす可能性がある、負荷機械2の加速度信号aに含まれる高周波ノイズを除去することができる。
また、フィルタ特性を所定の周波数以下の成分を除去するハイパスフィルタを追加することにより、負荷機械2の加速度信号aに含まれるオフセットに起因した定常誤差を除去することができる。
また、振動抑制回路8において、負荷機械2の加速度信号aからトルク指令信号τまでの伝達特性に負荷機械2の加速度信号aから所定の周波数成分を除去するフィルタ特性を追加するとともに、電動機3の位置信号xからトルク指令信号τまでの伝達特性に同等の特性を示すフィルタ特性を追加する構成としてもよい。これにより、負荷機械2からトルク指令信号τまでの伝達特性に追加するフィルタ特性により第1補正信号uC1、第2補正信号uC2および第3補正信号uC3との位相のずれを解消することができる。
実施の形態2.
図4は、この発明の実施の形態2に係わる電動機制御装置のブロック図である。
この発明の実施の形態2に係わる電動機制御装置は、実施の形態1に係わる電動機制御装置と位置制御回路7Bが異なり、それ以外は同様であるので、同様な部分に同じ符号を付記して説明は省略する。
実施の形態2に係わる位置制御回路7Bは、負荷機械2または負荷機械2を駆動する電動機3の位置に対する位置参照信号xと電動機3の位置信号xが入力され、速度指令信号vを出力する位置比例手段31と、電動機3の位置信号xが入力され、電動機3の速度信号vを演算する速度演算手段32と、位置比例手段31が出力する速度指令信号vと速度演算手段32が出力する電動機3の速度信号vが入力され、トルク指令信号τを出力する速度比例積分手段33と、を有する。
位置比例手段31は、式(15)に示すように、位置偏差信号(x−x)に位置比例ゲインkを乗じて速度指令信号vを出力する。
速度演算手段32は、式(16)に示すように、電動機3の位置信号xを微分することにより電動機3の速度信号vを出力する。
Figure 0005084196
速度比例積分手段33は、速度指令信号vと電動機3の速度信号vが入力され、速度比例ゲインkと速度積分ゲインωviを用いて式(17)で表される比例積分演算によりトルク指令信号τを出力する。
そして、式(15)〜式(17)より、電動機3の位置信号xからトルク指令信号τまでの伝達関数は式(18)で表される。
Figure 0005084196
式(18)を式(1)と比較し、式(19)、式(20)、式(21)に示す関係式を満足するよう位置比例ゲインk、速度比例ゲインk、速度積分ゲインωviを設定することにより、実施の形態2に係わる位置制御回路7Bは電動機3の位置信号xに対して比例積分微分演算を施しているのと同等の演算を行うことができる。
Figure 0005084196
このように実施の形態2に係わる位置制御回路7Bの出力するトルク指令信号τを、実施の形態1に係わる振動抑制回路8が出力する補正信号τで補正することにより、実施の形態1と同様に調整ゲインαを0より大きくすることによりトルク指令信号τの箇所で制御ループを開いたときの開ループ伝達関数における反共振減衰を大きくすることで、制御対象の振動を抑制することが可能となる。
実施の形態3.
図5は、この発明の実施の形態3に係わる電動機制御装置のブロック図である。
この発明の実施の形態3に係わる電動機制御装置は、実施の形態1に係わる電動機制御装置と振動抑制回路8Bが異なり、それ以外は同様であるので、同様な部分に同じ符号を付記して説明は省略する。
この実施の形態3に係わる振動抑制回路8Bは、実施の形態1に係わる振動抑制回路8と補正変数演算手段21Bが異なり、それ以外は同様であるので、同様な部分に同じ符号を付記して説明は省略する。
この実施の形態3に係わる補正変数演算手段21Bは、電動機3の位置信号xと負荷機械2の加速度信号aが入力され、電動機3の位置信号xから負荷機械2の加速度信号aに1/ω −2を乗じた信号を減算した信号に位置制御回路7の積分ゲインKと同じゲインKの比例演算を施して得られた信号uC1’と、負荷機械2の加速度信号aに位置制御回路7の微分ゲインKと同じゲインKの比例演算を施して得られた信号uC2’と、負荷機械2の加速度信号aに位置制御回路7の比例ゲインKと同じゲインKの積分演算を施して得られた信号uC3’を加算して補正変数uを出力する。
このように実施の形態3に係わる補正変数演算回路21Bは、電動機3の位置信号xに対して位置制御回路7の積分ゲインKと同じゲインで比例演算を施した信号と、負荷機械2の加速度信号aに対して位置制御手段の比例ゲインKと同じゲインで積分演算を施した信号と、負荷機械2の加速度信号aに対して所定のゲインKで比例演算を施した信号とを加算することにより補正変数uを出力することと同等な演算を行っていることになる。よって、振動抑制回路8Bが出力する補正信号τは、式(4)と同じくなり、実施の形態1と同様に調整ゲインαを0より大きくすることによりトルク指令信号τの箇所で制御ループを開いたときの開ループ伝達関数における反共振減衰を大きくすることで、制御対象の振動を抑制することが可能となる。
実施の形態4.
図6は、この発明の実施の形態4に係わる電動機制御装置のブロック図ある。
この発明の実施の形態4に係わる電動機制御装置は、実施の形態1に係わる電動機制御装置と位置制御回路7Cおよび振動抑制回路8Cが異なり、それ以外は同様であるので、同様な部分に同じ符号を付記して説明は省略する。
実施の形態4に係わる位置制御回路7Cは、負荷機械2または負荷機械2を駆動する電動機3の位置に対する位置参照信号x、電動機3の位置信号xおよび振動抑制回路8Cが出力する第2補正信号τC2が入力され、トルク指令信号τ’を出力し、位置参照信号xと電動機3の位置信号xとの偏差信号に対し、所定の比例ゲインKの比例演算と所定の微分ゲインKの微分演算を施す比例微分手段41と、位置偏差(x−x)に所定の積分ゲインKを乗じた信号を出力するゲイン手段42と、ゲイン手段42が出力する信号から振動抑制回路8Cが出力する第2補正信号τC2を減じた信号を積分する積分手段43と、を有する。すなわち、実施の形態4に係わる位置制御回路7Cは式(22)に示す演算を行う。
Figure 0005084196
実施の形態4に係わる振動抑制回路8Cは、電動機3の位置信号xと負荷機械2の加速度信号aが入力され、位置制御回路7Cが出力するトルク指令信号τ’を補正する第1補正信号τC1と位置制御回路7C内部のゲイン手段42が出力する信号を補正する第2補正信号τC2を出力する。
また、振動抑制回路8Cは、電動機3の位置信号xに位置制御回路7Cの積分ゲインKと同じゲインKを乗じた信号uC1を出力するゲイン手段44と、負荷機械2の加速度信号aに所定のゲインKを乗じた信号uC2を出力するゲイン手段45と、負荷機械2の加速度信号aに位置制御回路7Cの位置比例ゲインKと同じゲインKを乗じた信号uC2”を出力するゲイン手段46と、ゲイン手段44が出力する信号uC1からゲイン手段45が出力する信号uC2を加算した信号uC1”に調整ゲインαを乗じるゲイン手段47と、ゲイン手段46が出力する信号uC2”に調整ゲインαを乗じるゲイン手段48と、を有する。すなわち、振動抑制回路8Cは、入力される電動機3の位置信号xと負荷機械2の加速度信号aに対し、式(23)および式(24)に示す演算を行う。そして、図6より、トルク制御回路4に入力されるトルク指令信号τは、式(25)である。この式(25)に式(22)を代入すると、トルク指令信号τは式(26)となる。
Figure 0005084196
さらに、式(26)に式(23)、式(24)を代入して整理すると、トルク指令信号τは式(27)のように表される。式(27)の第1項は、式(1)と等しく、第2項は式(4)と等しくなる。
Figure 0005084196
このような実施の形態4において、振動抑制回路8Cに入力される電動機3の位置信号xからトルク指令信号τまでの伝達特性と、負荷機械2の加速度信号aからトルク指令信号τまでの伝達特性は、それぞれ式(4)、式(5)で表される伝達特性と同じくなり、電動機3の位置信号xに対して位置制御手段の積分ゲインKと同じゲインで比例演算を施した信号と、負荷機械2の加速度信号aに対して位置制御手段の比例ゲインKと同じゲインで積分演算を施した信号と、負荷機械2の加速度信号aに対して所定のゲインKで比例演算を施した信号を加算することにより補正変数uを演算し、演算された補正変数uに対して調整ゲインαを乗じることにより得られる補正信号τを演算し、補正信号τにより位置制御回路7が出力するトルク指令信号τを補正することと同等な演算を行っていることになる。よって、実施の形態1と同様に調整ゲインαを0より大きくすることによりトルク指令信号τの箇所で制御ループを開いたときの開ループ伝達関数における反共振減衰を大きくすることで、制御対象の振動を抑制することが可能となる。
この発明の実施の形態1に係わる電動機制御装置のブロック図である。 図1で振動抑制回路部分を詳しく示したブロック図である。 図2で補正変数演算回路部分を詳しく示したブロック図である。 この発明の実施の形態2に係わる電動機制御装置のブロック図である。 この発明の実施の形態3に係わる電動機制御装置のブロック図である。 この発明の実施の形態4に係わる電動機制御装置のブロック図である。
符号の説明
1 制御対象、2 負荷機械、3 電動機、4 トルク制御回路、5 位置検出回路、6 加速度検出回路、7、7B、7C 位置制御回路、8、8B、8C 振動抑制回路、9 減算手段、21、21B 補正変数演算手段、22 乗算手段、23、24、26、42、44、45、46、47、48 ゲイン手段、25、43 積分手段、27 加算手段、31 位置比例手段、32 速度演算手段、33 速度比例積分手段、41 比例微分手段。

Claims (4)

  1. 電動機の位置を検出する位置検出手段および入力される負荷機械または負荷機械を駆動する上記電動機の位置に対する位置参照信号と上記電動機の位置信号との偏差が小さくなるように上記電動機を制御するためのトルク指令信号を出力する位置制御手段を有する電動機制御装置において、
    上記負荷機械の加速度を検出する加速度検出手段と、
    上記電動機の位置信号に比例演算を施した信号と上記加速度検出手段から出力される加速度信号に比例積分演算を施した信号とを加算した補正変数に1つの調整ゲインを乗じることと同等な演算を行うことにより上記トルク指令信号を補正し、上記負荷機械または上記電動機の振動を抑制する補正信号を出力する振動抑制手段と、
    を有することを特徴とする電動機制御装置。
  2. 上記位置制御手段は、負荷機械または負荷機械を駆動する電動機の位置信号に対する位置参照信号と上記電動機の位置信号を入力とし、少なくとも上記電動機の位置信号に対し、所定の比例ゲインの比例演算、所定の積分ゲインの積分演算、所定の微分ゲインの微分演算を施すことと同等な演算を行うことにより得られる上記トルク指令信号を出力し、
    上記振動抑制手段は、上記電動機の位置信号に対して上記位置制御手段の積分ゲインと同じゲインで比例演算を施した信号と、上記負荷機械の加速度信号に対して上記位置制御手段の比例ゲインと同じゲインで積分演算を施した信号と、上記負荷機械の加速度信号に対して所定のゲインで比例演算を施した信号とを加算することと同等な演算を行うことにより上記補正変数を出力する補正変数演算手段と、上記補正変数に対して上記調整ゲインを乗じることと同等な演算を行うことにより得られる上記補正信号を出力する乗算手段と、を有することを特徴とする請求項1に記載の電動機制御装置。
  3. 上記所定のゲインは、上記微分ゲインから、上記トルク指令信号から上記電動機の位置信号までの伝達特性に表れる反共振周波数の逆数を二乗した値に上記積分ゲインを乗じた値を減算した値であることを特徴とする請求項2に記載の電動機制御装置。
  4. 電動機の位置を検出する位置検出ステップと、
    入力される負荷機械または負荷機械を駆動する上記電動機の位置に対する位置参照信号と上記電動機の位置信号との偏差が小さくなるように上記電動機を制御するためのトルク指令信号を生成する位置制御ステップと
    を有する電動機制御方法において、
    上記負荷機械の加速度を検出する加速度検出ステップと、
    上記位置検出ステップで検出された上記電動機の位置信号に比例演算を施した信号と、上記加速度検出ステップで検出された加速度信号に比例積分演算を施した信号とを加算した補正変数を生成する補正変数生成ステップと、
    上記補正変数生成ステップで生成された上記補正変数に1つの調整ゲインを乗じることと同等な演算を行うことにより、上記位置制御ステップで生成された上記トルク指令信号を補正し、上記負荷機械または上記電動機の振動を抑制する補正信号を生成する振動抑制ステップと
    をさらに有することを特徴とする電動機制御方法
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