JP5025387B2 - 接続部品用導電材料及びその製造方法 - Google Patents
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Description
なお、最表層に形成されるSnめっき層の種類によってめっき表面の反射率が変わる。言い換えれば、めっき表面の反射率によりめっき層の種類を判別できる。リフロー処理のみ行い、最表層に光沢又は半光沢Snめっき層が無い場合の反射率は70〜85%程度であるが、最表層に光沢Snめっき層が形成された場合の反射率は50〜65%程度、最表層に半光沢めっき層が形成された場合の反射率は35〜50%未満程度、最表層に無光沢めっき層が形成された場合の反射率は10〜30%程度である。最表層が無光沢めっきでは反射率が低い。従って、リフローSnめっき層と同等、あるいはこれに近い反射率をもたせるには、リフローSnめっき層の上に、光沢Snめっき層、あるいは半光沢Snめっき層を形成することが望ましく、光沢Snめっき層を形成することがより望ましい。
なお、ここに示す反射率はJIS Z 8741に従い、スガ試験機(株)製デジタル変角光沢度計(UGV−5D型)を用い、入射角45°で測定したものである。
[D1]は、図1(a)において材料1の表面とCu−Sn合金被覆層6の間に描ける最小の内接円の直径であり、[D2]は最大の内接円の直径であり、[y]は、材料1の表面の中立面2から最も離れた箇所(材料1の最表点)1Aの高さ(中立面2からの高さ)と、Cu−Sn合金被覆層6の表面の中立面2から最も離れた箇所(Cu−Sn合金被覆層6の最表点)6Aの高さ(中立面2からの高さ)の差である。なお、[D1]が0μmであるとき、材料1の表面にCu−Sn合金被覆層6の一部が露出して形成されていることを意味し、[y]が0μmであるとき、材料1の表面にCu−Sn合金被覆層6の一部が露出し、かつCu−Sn合金被覆層6の最表点が材料1の最表点になっていることを意味する。Sn被覆層7の表面が平坦なとき、[D1]と[y]とは等しい。
本発明では、Sn被覆層の一部として均一な厚さの光沢又は半光沢Snめっき層が最表層に形成されている。従って、[D1]>0μm、かつ[y]>0μmである。
また、Ni被覆層は平均の厚さが0μmであってもよい。この場合は、母材3の表面に、Cu被覆層、Cu−Sn合金被覆層6及びSn被覆層7、又はCu−Sn合金被覆層6及びSn被覆層7がこの順に形成される。
なお、上記被覆層構成は、前記材料の表面に対し、ある特定の垂直断面(例えば圧延方向に垂直な断面)のみにおいて形成されていてもよいし、全ての垂直断面において形成されていてもよい。また、上記被覆層構成が形成された領域は、母材3の片面又は両面全体に及んでいてもよいし、片面又は両面の一部のみを占めているのでもよい。
Ni被覆層、Cu被覆層及びSn被覆層は、それぞれNi、Cu及びSn金属のほか、Ni合金、Cu合金及びSn合金を含む。Cu−Sn合金被覆層は、Cu6Sn5(η相)、Cu3Sn(ε相)、Cu4Sn(δ相)などのCu−Sn二元系金属間化合物相や、それらにNi被覆層中のNiが拡散したNi−Cu−Sn三元系金属間化合物相のうち、少なくとも一種の金属間化合物相により全部又は大部分が構成されている。Cu−Sn合金被覆層中には母材構成元素やC、Oなどの不可避不純物が少量含まれていてもよい。
なお、本発明に係る接続部品用導電材料を嵌合型端子として用いる場合、オス、メス端子の両方に用いることが望ましいが、オス、メス端子の一方だけに用いることもできる。
(1)Ni被覆層は、母材構成元素の材料表面への拡散を抑制し、さらにCu−Sn合金被覆層の成長を抑制してSn被覆層の消耗を防止するため、高温長時間使用後も、また亜硫酸ガス腐食雰囲気下においても接触抵抗の上昇を抑制するとともに、良好なはんだ濡れ性を得るのに役立つ。しかし、Ni被覆層の平均の厚さが0.1μm未満の場合には、Ni被覆層中のピット欠陥が増加することなどにより、上記効果を充分に発揮できなくなる。ただし、Ni被覆層の平均の厚さが0.1μm未満(0μm含む)でも、本発明の効果が失われるわけではない。一方、Ni被覆層はある程度まで厚くなると上記効果が飽和し、厚くし過ぎると生産性や経済性が悪くなる。従ってNi被覆層の平均の厚さは、3.0μm以下(0μmを含む)、望ましくは0.1〜3.0μmとする。より望ましくは0.2〜2.0μmである。
Ni被覆層には、母材に含まれる成分元素等が少量混入していてもよい。また、Ni被覆層がNi合金からなる場合、Ni合金のNi以外の構成成分としては、Cu、P、Coなどが挙げられる。Cuについては40質量%以下、P、Coについては10質量%以下が望ましい。
なお、Ni被覆層を形成する場合、母材とNi被覆層の間にCu被覆層(Cu下地めっき層)を形成してもよい。Cu下地めっきは母材表面の欠陥(ピット等)や析出物等を覆ってNiめっきの付きを改善しNiめっきの信頼性を高めるためのものであり、このCu下地めっき自体、従来から行われている技術である。Cu被覆層の厚さは0.01〜1μmが望ましい。
Cu被覆層には、母材に含まれる成分元素等やNi被覆層のNiが少量混入していてもよい。また、Cu被覆層がCu合金からなる場合、Cn合金のCn以外の構成成分としてはSn、Zn等が挙げられる。Snの場合は50質量%未満、他の元素については5質量%未満が望ましい。
Sn被覆層の最小内接円の直径[D1](図1参照)が0.2μmを超える場合、端子挿抜の際にSn被覆層の掘り起こしによる変形抵抗や凝着をせん断するせん断抵抗が増加して摩擦係数を低くすることが困難となり、また微摺動によるSn被覆層の摩耗や酸化も増加して接触抵抗増大を抑制することが困難となる。従って、[D1]を0.2μm以下と規定する。より望ましくは0.15μm以下である。
光沢又は半光沢Snめっきの厚さが0.01μm未満の場合には、Cu−Sn合金層を覆ったとしてもCu−Sn合金層が一部露出している場合に比べてはんだ付け性を改善する効果は小さい。また、0.2μmを超えると、必然的に[D1]及び[y]が0.2μmを超え、端子挿抜時の掘り起こしによる変形抵抗や凝着をせん断する抵抗が発生し、摩擦係数が高くなる。従って、最表面Sn被覆層は0.01μm以上が望ましく、0.2μm以下に規定する。より望ましくは0.05〜0.2μmである。
Sn被覆層がSn合金からなる場合、Sn合金のSn以外の構成成分としては、Pb,Bi,Zn,Ag,Cuなどが挙げられる。Pbについては50質量%未満、他の元素については10質量%未満が望ましい。
また、Ni被覆層を必要としない場合、Cu板条からなる母材の表面に、CuめっきとSnめっきをこの順に行い、あるいはCuめっきを行わずSnめっきのみを行い、Snめっきのリフロー処理を行った後、さらに光沢又は半光沢Snめっきを行うことにより製造することができる。リフロー処理により、溶融流動するSnめっき層から平滑化したSn被覆層が形成され、CuめっきとSnめっきあるいは母材とSnめっきからCu−Sn合金被覆層が形成される。場合によってCu−Sn合金被覆層の一部が表面に露出するが、続いて行われるSnめっきにより全面が均一に覆われる。
望ましくは、前記一方向における凹凸の平均間隔Smが0.01〜0.5mmであることであり、0.01mm未満では請求項1の規定(特に[D2])を満たすことが困難な場合があり、0.5mmを越えると、特に小型端子に用いた場合に低い摩擦係数を得ることが困難となることがある。さらに望ましくは、前記一方向における最大高さRyが2.0〜20μmである。この範囲外では、請求項1の規定(特に[D2])を満たすことが困難な場合がある。
なお、母材の表面において、前記表面粗さにして前記被覆層構成を形成する領域は、母材の片面又は両面全体に及んでいてもよいし、片面又は両面の一部のみを占めているのでもよい。
なお、リフロー処理前のめっきにおいて、各めっき層は、前記母材の表面粗さを反映して電着される(均一電着性が良好である)ことが望ましい。これは本発明で規定した材料の断面形態及び表面形態を制御しやすくするためである。
Niめっき層の平均の厚さは0.1〜3.0μm、Cuめっき層の平均の厚さは0.1〜1.5μm、Snめっき層の平均の厚さは0.4〜8.0μmが望ましい。Niめっき層の平均厚さが上記範囲を外れると、Ni被覆層の平均厚さが望ましい0.1〜3.0μmの範囲を外れる可能性が高くなる。Cuめっき層の平均の厚さが0.1μm未満ではCu−Sn合金被覆層へのNiの拡散量が多くなり過ぎ、1.5μmを越えるとCu被覆層の平均厚さが規定範囲を外れる可能性が高くなる。Snめっき層の平均の厚さが上記範囲を外れると、請求項1の規定(特にD2)を満たさない可能性が高くなる。
なお、本発明において、Niめっき層、Cuめっき層及びSnめっき層(後述するリフロー処理後のSnめっきを含む)は、それぞれNi、Cu及びSn金属のほか、Ni合金、Cu合金及びSn合金を含む。後者の場合、先にNi被覆層、Cu被覆層及びSn被覆層に関して説明した合金を用いることができる。
リフロー処理後のSnめっき層の形成に、無電解めっきや蒸着なども用い得るが、生産性、経済性に優れる方法としては電気めっきが望ましい。電気Snめっきには、無光沢めっき、半光沢めっき、光沢めっきなどの種類があり、いずれの方法でも電気的接続の信頼性とはんだ付け性改善効果は得られるが、無光沢めっきではめっき皮膜の均一電着性が劣るため、外観ムラ発生や、光沢の低下が起こる。従って、外観、光沢などを考慮すると、半光沢めっき又は光沢めっきが望ましく、より望ましくは光沢めっきである。
なお、一般的に、半光沢Snめっきは室温で行うことができ、めっき浴を冷却又は加温する必要はないが、光沢Snめっきは15℃前後で行う場合が多く、めっき浴を冷却する必要がある。リフロー処理前のSnめっきは半光沢Snめっきが行われるから、リフロー処理後のSnめっきが半光沢Snめっきであれば、めっき浴タンクを共通化することができ、かつめっき浴の冷却設備も不要である利点がある。一方、リフロー処理後のSnめっきが光沢Snめっきであれば、特に連続製造ラインで製造する場合等、フッ化水素アンモニウム水溶液への浸漬処理を省略できる利点がある。
図2は、表面粗化された母材3の表面にNiめっき、Cuめっき、Snめっきを行った後、リフロー処理し、続いてSnめっきを行ったものである。図2(b)はリフロー処理後の断面構造であり、Ni被覆層4、Cu被覆層5、Cu−Sn合金被覆層6及びリフローSnめっき層7aが形成されている。この段階では、Cu−Sn合金被覆層6の一部が材料表面に露出し、[D1]と[y]がいずれも0となっている。図2(a)は続いてSnめっきを行った後の断面構造であり、均一なSnめっき層7bが形成され、リフローSnめっき層7aとともにSn被覆層7を構成している。[D1]と[y]は等しく、いずれもゼロではない。
作製した試験材No.1〜35の製造工程概要を、表1及び表2に示す。
母材には、Cu中に1.8質量%のNi、0.40質量%のSi、0.10質量%のSn、1.1質量%のZnを含有するCu合金板を用い、圧延の際にショットブラストなどにより粗面化したワークロールを使用して表面粗化処理を行い(あるいは行わずに)、ビッカース硬さ200、厚さ0.25mmで、各々の表面粗さを有する母材に仕上げた。なお、母材の表面粗さは、試験材No.1〜26,28,29は、Ra、Sm及びRyが、発明を実施するための最良の形態の欄に望ましいと記載された範囲内であり、試験材No.27は、Ra及びSmが望ましいと記載された範囲内であるが、Ryが下限値未満であり、従来材の試験材No.30〜35は、Ra及びRyが望ましいと記載された下限値未満である。
続いて、試験材No.1〜18,23〜35の母材の表面に、Niめっきを施し(あるいは施さず)、Cuめっきを施し(あるいは施さず)、次いで半光沢Snめっきを施し、リフロー処理(加熱炉にてSnめっき層を溶融させた後水冷)を行い、表面の水分を一旦乾燥させた後、フッ化水素アンモニウム水溶液浸漬処理を行い(あるいは行わずに)、半光沢Snめっきを再度施した(あるいは施さなかった)。試験材No.19〜22は前記リフロー処理後表面の水分を乾燥させずに光沢Snめっきを施した。
ミクロトーム法にて加工した試験材の断面に、必要に応じてアルゴンイオンエッチングを行い、EDX(エネルギー分散型X線分光分析器)を搭載したSEM(走査型電子顕微鏡)を用いて観察し、得られた組成像の濃淡(汚れや傷等のコントラストは除く)から画像解析処理により、Ni被覆層、Cu被覆層及びCu−Sn合金被覆層の平均の厚さを各々算出した。なお、測定断面は、表面粗化処理の際に行った圧延方向に直角な方向の垂直断面とした。
ミクロトーム法にて加工した試験材の断面に、必要に応じてアルゴンイオンエッチングを行い、EDX(エネルギー分散型X線分光分析器)を搭載したSEM(走査型電子顕微鏡)を用いて観察し、得られた組成像の濃淡(汚れや傷等のコントラストは除く)から画像解析処理により、[D1]、[D2]及び[y]を各々算出した。なお、測定断面は、表面粗化処理の際に行った圧延方向に直角な方向の垂直断面である。
図5〜7に試験材No.1の断面のSEM組成像を示す。図5内の左側の四角形の部分を拡大したものが図6、右側の四角形の部分を拡大したものが図7であり、3は母材、4はNi被覆層、5はCu被覆層、6はCu−Sn合金被覆層、7はSn被覆層(リフローSnめっき層7a)を示す。図5において、白く見える部分がSn被覆層7及びCu−Sn合金被覆層6である。リフロー処理により材料表面はほぼ平坦であり、母材3の表面の凹凸に従ってSn被覆層7の厚さが変化している。図6において、Ni被覆層4の表面に少量のCu被覆層5が残留し、灰色がかったCu−Sn合金被覆層6を構成する1〜数μm程度の径の粒子の湾曲した先端が白く見えるSn被覆層7の表面に露出している。図7において、Ni被覆層4の表面に少量のCu被覆層5が残留し、灰色がかったCu−Sn合金被覆層6の粒子の上全体を白く見えるSn被覆層7が覆っている。
図8に、試験材No.1の表面をEDX(エネルギー分散型X線分光分析器)を搭載したSEM(走査型電子顕微鏡)により観察して得られたSEM組成像を示す。図中、白い部分がSn被覆層7(リフローSnめっき層7a)、黒い部分がSn被覆層7の表面に露出したCu−Sn合金被覆層6である。
なお、本発明例(試験材No.2等)の場合、ちょうど試験材No.1の表面にさらにSnめっきが行われたようなものであり、Sn被覆層がさらに半光沢Snめっき層を含むため、Cu−Sn合金被覆層は材料表面に露出していない(図2参照)。
試験材の表面を、EDX(エネルギー分散型X線分光分析器)を搭載したSEM(走査型電子顕微鏡)を用いて観察し、得られた組成像の濃淡(汚れや傷等のコントラストは除く)から画像解析処理により、Cu−Sn合金被覆層の最大内接円の直径[D3]及びSn被覆層の最大内接円直径[D4]を各々算出した。[D3]及び[D4]は材料表面におけるCu−Sn合金被覆層の露出形態を示す。
なお、材料1の垂直断面1a(図1(b)参照)において材料1の表面にCu−Sn合金被覆層6が一部露出しているとき(すなわち[D1]が0μmのとき)、材料1の表面において[D3]及び[D4]を測定することができる。[D3]及び[D4]は図9に説明されている。図9は、材料1の表面を模式的に示すもので、該表面はCu−Sn合金被覆層6とSn被覆層7により構成されている。[D3]は、図9においてSn被覆層7に囲まれた最大の内接円の直径であり、[D4]は、Cu−Sn合金被覆層6に囲まれた最大の内接円の直径である。
嵌合型接続部品における電気接点のインデント部の形状を模擬し、図10に示すような装置を用いて評価した。まず、各々の試験材No.1〜35から切り出した板材のオス試験片11を水平な台12に固定し、その上に試験材No.35から切り出した半球加工材(内径をφ1.5mmとした)のメス試験片13をおいて被覆層同士を接触させた。続いて、メス試験片13に3.0Nの荷重(錘14)をかけてオス試験片11を押さえ、横型荷重測定器(アイコーエンジニアリング株式会社;Model−2152)を用いて、オス試験片11を水平方向に引っ張り(摺動速度を80mm/minとした)、摺動距離5mmまでの最大摩擦力F(単位:N)を測定した。摩擦係数を下記式(1)により求めた。なお、15はロードセル、矢印は摺動方向である。
摩擦係数=F/3.0 …(1)
嵌合型接続部品における電気接点のインデント部の形状を模擬し、図11に示すような摺動試験機(株式会社山崎精機研究所;CRS−B1050CHO)を用いて評価した。まず、試験材No.35から切り出した板材のオス試験片16を水平な台17に固定し、その上に各々の試験材No.1〜35から切り出した半球加工材(内径をφ1.5mmとした)のメス試験片18をおいて被覆層同士を接触させた。続いて、メス試験片18に2.0Nの荷重(錘19)をかけてオス試験片16を押さえ、オス試験片16とメス試験片18の間に定電流を印加し、ステッピングモータ20を用いてオス試験片16を水平方向に摺動させ(摺動距離を50μm、摺動周波数を1.0Hzとした)、摺動回数1000回までの最大接触抵抗を四端子法により、開放電圧20mV、電流10mAの条件にて測定した。なお、矢印は摺動方向である。
各々の試験材No.1〜35から切り出した板材の試験片に対して、大気中にて175℃×1000hrの熱処理を行った後、接触抵抗を四端子法により測定した(Auプローブを水平方向に摺動させ、荷重を3.0N、摺動距離を0.30mm、摺動速度を1.0mm/min、開放電圧20mV、電流10mAの条件にて測定した)。
[耐熱剥離試験]
各々の試験材No.1〜35から切り出した板材の試験片に対して、90°曲げ(曲げ半径を0.7mmとした)を行い、大気中にて175℃×1000hrの熱処理を行った後、曲げ戻しを行い、被覆層の剥離の有無を外観評価した。
まず、各々の試験材No.1〜35から切り出した板材の試験片に対して、亜硫酸ガス濃度25ppm、温度35℃、湿度75%RH、時間96hrの亜硫酸ガス腐食試験を行った後、接触抵抗を四端子法により測定した(Auプローブを水平方向に摺動させ、荷重を3.0N、摺動距離を0.30mm、摺動速度を1.0mm/min、開放電圧20mV、電流10mAの条件にて測定した)。
各々の試験材No.1〜35から切り出した板材の試験片に対して、非活性フラックスを1秒間浸漬塗布した後、メニスコグラフ法にてゼロクロスタイムと最大濡れ応力を測定した(255℃のSn−3.0Ag−0.5Cuはんだに浸漬させ、浸漬速度を25mm/sec、浸漬深さを12mm、浸漬時間を5.0secの条件にて測定した)。また、上記はんだ浸漬後の試験片について、はんだ濡れ不良の有無を外観評価した。
試験材No.1〜22のうち、試験材No.2,4,6,8,16,17,19〜22は本発明例であり、Cu−Sn合金層が表面に露出したものに比べると、相対的にはんだ濡れ性が優れる。
なお、試験材No.25は、Niめっき後Cuめっきを施さずに作製した試験材であり、Cu−Sn合金被覆層でなくNi−Sn合金被覆層が形成されたため、高温放置試験後の接触抵抗、亜硫酸ガス腐食試験後の接触抵抗が高い。
なお、試験材No.30はNiめっきが施されず、長時間のリフロー処理でSn被覆層が全て消滅した試験材であり、試験材No.31は長時間のリフロー処理でSn被覆層の大部分が消滅した試験材であり、試験材No.32はNiめっき及びCuめっきが施されず、試験材No.35はNiめっきが施されていない。
4 Ni被覆層
5 Cu被覆層
6 Cu−Sn被覆層
7 Sn被覆層
Claims (13)
- Cu板条からなる母材の表面に、平均の厚さが3.0μm以下のNi被覆層と、平均の厚さが0.2〜3.0μmのCu−Sn合金被覆層と、Sn被覆層がこの順に形成された材料であって、前記材料の表面に対する垂直断面において、前記Sn被覆層の最小内接円の直径[D1]が0.2μm以下であり、前記Sn被覆層の最大内接円の直径[D2]が1.2〜20μmであり、前記材料の最表点と前記Cu−Sn合金被覆層の最表点との高度差[y]が0.2μm以下であり、前記Sn被覆層の一部として均一な厚さの光沢又は半光沢Snめっき層が最表層に形成されていることを特徴とする接続部品用導電材料。
- 前記Sn被覆層が、リフローSnめっき層とその上に形成された前記光沢又は半光沢Snめっき層からなることを特徴とする請求項1に記載された接続部品用導電材料。
- 前記光沢又は半光沢Snめっき層の平均の厚さが0.01〜0.2μmであることを特徴とする請求項1又は2に記載された接続部品用導電材料。
- 前記Ni被覆層の平均の厚さが0.1〜3.0μmであることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載された接続部品用導電材料。
- Ni被覆層とCu−Sn合金被覆層の間に平均の厚さが1.0μm以下のCu被覆層が形成されていることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載された接続部品用導電材料。
- Cu板条からなる母材の表面に、平均の厚さが0.2〜3.0μmのCu−Sn合金被覆層と、Sn被覆層がこの順に形成された材料であって、前記材料の表面に対する垂直断面において、前記Sn被覆層の最小内接円の直径[D1]が0.2μm以下であり、前記Sn被覆層の最大内接円の直径[D2]が1.2〜20μmであり、前記材料の最表点と前記Cu−Sn合金被覆層の最表点との高度差[y]が0.2μm以下であり、前記Sn被覆層の一部として均一な厚さの光沢又は半光沢Snめっき層が最表層に形成されていることを特徴とする接続部品用導電材料。
- 前記Sn被覆層が、リフローSnめっき層とその上に形成された前記光沢又は半光沢Snめっき層からなることを特徴とする請求項6に記載された接続部品用導電材料。
- 前記光沢又は半光沢Snめっき層の平均の厚さが0.01〜0.2μmであることを特徴とする請求項6又は7に記載された接続部品用導電材料。
- 母材の表面とCu−Sn合金被覆層の間に平均の厚さが1.0μm以下のCu被覆層が形成されていることを特徴とする請求項6〜8のいずれかに記載された接続部品用導電材料。
- Cu板条からなる母材の表面に少なくとも一方向において算術平均粗さRaが0.4μm以上で、かつ全ての方向において算術平均粗さRaが4.0μm以下、前記一方向における凹凸の平均間隔Smが0.01〜0.5mm、及び前記一方向における最大高さRyが2.0〜20μmの表面粗さとする粗化処理を行い、その表面にNiめっき、Cuめっき及びSnめっきをこの順に行い、Snめっきのリフロー処理を行った後、さらに光沢又は半光沢Snめっきを行うことを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載された接続部品用導電材料の製造方法。
- Cu板条からなる母材の表面に少なくとも一方向において算術平均粗さRaが0.4μm以上で、かつ全ての方向において算術平均粗さRaが4.0μm以下、前記一方向における凹凸の平均間隔Smが0.01〜0.5mm、及び前記一方向における最大高さRyが2.0〜20μmの表面粗さとする粗化処理を行い、その表面にCuめっき及びSnめっきをこの順に行い、Snめっきのリフロー処理を行った後、さらに光沢又は半光沢Snめっきを行うことを特徴とする請求項6〜9のいずれかに記載された接続部品用導電材料の製造方法。
- Cu板条からなる母材の表面に少なくとも一方向において算術平均粗さRaが0.4μm以上で、かつ全ての方向において算術平均粗さRaが4.0μm以下、及び前記一方向における凹凸の平均間隔Smが0.01〜0.5mm、及び前記一方向における最大高さRyが2.0〜20μmの表面粗さとする粗化処理を行い、その表面にSnめっきを行い、リフロー処理を行った後、さらに光沢又は半光沢Snめっきを行うことを特徴とする請求項6〜8のいずれかに記載された接続部品用導電材料の製造方法。
- リフロー処理後に半光沢Snめっきを行う場合において、半光沢Snめっきを行う前に、Cu板条をフッ化水素アンモニウム水溶液に浸漬して表面酸化被膜を除去することを特徴とする請求項10〜12のいずれかに記載された接続部品用導電材料の製造方法。
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