JP4877682B2

JP4877682B2 - フッ素含有マレイミド系共重合体を含有する電子材料用樹脂組成物又は基板材料用樹脂組成物

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Publication number: JP4877682B2
Application number: JP2001133903A
Authority: JP
Inventors: 賢一上田; 稔山口; 茂幸南; 佳延浅子
Original assignee: Nippon Shokubai Co Ltd
Current assignee: Nippon Shokubai Co Ltd
Priority date: 2001-05-01
Filing date: 2001-05-01
Publication date: 2012-02-15
Anticipated expiration: 2021-05-01
Also published as: JP2002327017A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、フッ素含有マレイミド系共重合体に関する。詳しくは、耐熱性、熱安定性に優れ、更に低誘電率、加工性、薄膜形成能等の特性を発揮するフッ素含有マレイミド系共重合体に関する。
【０００２】
【従来の技術】
マレイミド単量体構造を有する共重合体は、ガラス転移温度が高く、熱的な特性を向上することができることから、耐熱性等に優れたプラスチック材料として注目されている。このようなマレイミド単量体構造を有する共重合体の適用分野の１つとしては、例えば、電子材料、基板材料等のエレクトロニクス樹脂の分野がある。このような分野では、配線層間の絶縁膜や半導体封止用材料等に使用可能な耐熱性と低誘電率とを兼ね備えた材料が切望されていることから、このような性能を発揮することができるマレイミド単量体構造を有する共重合体が検討されている。
【０００３】
このような技術として、例えば、特開平６−８５０９０号公報には、少なくとも１個のフッ素原子を有する多官能マレイミド化合物、及び少なくとも１個のフッ素原子を有する多官能アミンや多価フェノールを含有するマレイミド樹脂組成物に関し、半導体装置における層間絶縁膜用の材料として用いることが開示されている。このマレイミド樹脂組成物では、各成分にフッ素を含めることにより、低誘電率であり、かつ耐熱性にも優れた特性を発揮させることを目的としている。しかしながら、樹脂成分として用いるマレイミド化合物の他に、硬化剤成分としてアミン又はフェノールを必須とする必要があり、また、樹脂成分と硬化剤成分とのそれぞれにフッ素原子を導入しなければならないことから、低誘電率と耐熱性とのバランスがとりにくく、また、各種の用途にも適用しうるように工夫する余地があった。
【０００４】
ところで、マレイミド単量体構造を有すると共に、スチレン等の芳香族ビニル単量体構造をも有する共重合体について、これらの構造が発揮する特性を生かすことを目的とした検討がなされている。このような技術としては、例えば、特開平７−７０２４９号公報には、Ｎ−アルキルマレイミド又はＮ−アリールマレイミドであるＮ−置換マレイミド化合物２０〜８０重量％と、他のビニル系単量体８０〜２０重量％とを、ラジカル共重合させてなる樹脂材料を含む電気絶縁材料に関し、スチレン等の芳香族ビニル系単量体を共重合してもよいことが開示されている。また、特開平６−２８１８９２号公報には、Ｎ−アルキルマレイミドの構造を有する含フッ素マレイミド化合物を必須成分とする眼用レンズ材料に関し、特開平６−２７９４０３号公報には、Ｎ−アルキルマレイミドの構造を有する含フッ素フェニルマレイミドに関し、スチレン等を共重合してもよいことが開示されている。
【０００５】
しかしながら、これらの技術では、例えば、アルキルマレイミド類単量体を用いた共重合体の場合、耐熱性や熱安定性に劣り、また、アリールマレイミド類単量体を用いた場合に比べて重合性がやや劣ることから、共重合反応に関与しない残存アルキルマレイミド類単量体が重合系中に残りやすいという問題点があった。このような残存単量体は、共重合体の耐熱性の低下や電気特性低下の要因となる可能性があった。また、アリールマレイミド類単量体を用いた共重合体の場合、耐熱性に優れた材料は得られるものの低誘電化を達成する為には、アリールマレイミドの構造を工夫する余地があった。更に、これらの問題点を解消して溶剤への溶解性に優れた共重合体とすることができれば、各種の用途で用いる際に加工しやすい材料となることから、このような共重合体を研究する余地があった。すなわちマレイミド単量体構造を工夫することにより、電子材料、基板材料等を含めた各種の用途に適応しうるように、耐熱性と誘電率とが改善されて加工性が向上した共重合体を研究する余地があった。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記現状に鑑みてなされたものであり、耐熱性や熱安定性に優れると共に、低誘電率を達成することができ、しかも、溶剤への溶解性に優れて加工しやすく、薄膜形成能等に優れることから、電子材料、基板材料等を含めた各種の用途に用いることができるフッ素含有マレイミド系共重合体を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明者等は、ガラス転移温度を高くして熱的な特性を向上することができるマレイミド単量体構造を有する共重合体について種々検討するうちに、マレイミド単量体構造を、アリールマレイミド単量体構造のアリール基の水素原子をフッ素原子で置換したＮ−フルオロアリールマレイミド単量体構造とすると共に、芳香族ビニル単量体構造を必須とし、更に、これらの存在割合を一定範囲に特定すると、これらの単量体構造の効果が相乗的に発揮され、アルキルマレイミド単量体構造やアリールマレイミド単量体構造を有する場合の問題点が解消されることにより、耐熱性や熱安定性に優れると共に、低誘電率を達成することができ、しかも、溶剤への溶解性に優れて加工しやすく、薄膜形成能等に優れたものとなることにまず着目し、このような共重合体が電子材料、基板材料等を含めた各種の用途に用いることができることに想到した。このようなフッ素含有マレイミド系共重合体がその作用効果を発揮する理由としては、共重合体を得る際にＮ−フルオロアリールマレイミド類単量体やＮ−フルオロアルキルアリールマレイミド類単量体単位が芳香族ビニル系単量体と交互共重合性に富み、高い耐熱性を示すとともに、アリール基に結合したフッ素原子の効果で誘電率を低くすることが考えられる。また、Ｎ−フルオロアリールマレイミド単量体構造を形成する単量体が、Ｎ−ペンタフルオロフェニルマレイミド及び／又はＮ−テトラフルオロフェニルマレイミドであると、本発明の作用効果をより確実に発揮することができることも見いだし、本発明に到達したものである。
【０００８】
すなわち本発明は、Ｎ−フルオロアリールマレイミド単量体構造と芳香族ビニル単量体構造とを必須とするフッ素含有マレイミド系共重合体であって、上記Ｎ−フルオロアリールマレイミド単量体構造の存在割合は、フッ素含有マレイミド系共重合体の全単量体構造を１００モル％とすると、５〜４５モル％であるフッ素含有マレイミド系共重合体である。
以下に、本発明を詳述する。
【０００９】
本発明のフッ素含有マレイミド系共重合体は、Ｎ−フルオロアリールマレイミド単量体構造と芳香族ビニル単量体構造とを必須の単量体構造とする共重合体であって、Ｎ−フルオロアリールマレイミド単量体構造のフルオロアリール基に由来するフッ素原子を有するマレイミド系共重合体である。このようなフッ素含有マレイミド系共重合体中における単量体構造の配列形態としては特に限定されず、例えば、ランダム共重合体、ブロック共重合体等のいずれでもよい。
【００１０】
本発明のフッ素含有マレイミド系共重合体において、上記Ｎ−フルオロアリールマレイミド単量体構造の存在割合は、フッ素含有マレイミド系共重合体の全単量体構造を１００モル％とすると、５〜４５モル％である。本発明では、Ｎ−フルオロアリールマレイミド単量体構造の共重合体中における存在割合により誘電率等が変化することになり、５モル％未満であったり、４５モル％を超えたりすると、電子材料、基板材料等を含めた各種の用途に用いる際に、共重合体の熱的な特性や電気特性、薄膜形成能をバランスよく充分に発揮することができなくなる。
特にフルオロアリールマレイミド単量体構造が４５モル％を越えると共重合体の構造が交互体に近くなり、加工性や薄膜形成能に劣るものとなり好ましくない。この場合、芳香族ビニル単量体構造や、その他の単量体構造（必須の単量体構造以外の単量体構造）の存在割合としては、共重合体に所望される耐熱性や、誘電率等の電気特性等に応じて適宜設定すればよく、例えば、芳香族ビニル単量体構造が５５〜９５モル％であり、その他の単量体構造が０〜３０モル％であることが好ましい。より好ましくは、Ｎ−フルオロアリールマレイミド単量体構造が１０〜４５モル％、芳香族ビニル単量体構造が５５〜９０モル％であり、更に好ましくは、Ｎ−フルオロアリールマレイミド単量体構造が１５〜４５モル％、芳香族ビニル単量体構造が５５〜８５モル％である。
【００１１】
本発明のフッ素含有マレイミド系共重合体では、例えば、Ｎ−フルオロアリールマレイミド類単量体と芳香族ビニル類単量体とを必須とする単量体成分を共重合することにより製造することができる。これにより、各単量体から対応する単量体構造が形成されることになる。なお、「単量体構造」とは、該単量体が重合することにより形成される構造を意味し、「単量体単位」と同義である。
【００１２】
本発明では、共重合体を形成する各構造単位の存在量が上述したような範囲となるように、Ｎ−フルオロアリールマレイミド類単量体、芳香族ビニル類単量体、及び、必要に応じてこれらの必須の単量体と共重合可能なその他の単量体の使用量を適宜設定することになる。
【００１３】
上記Ｎ−フルオロアリールマレイミド類単量体としては、マレイミド類単量体が有する窒素原子に、アリール基の水素原子がフッ素原子に置換されたフルオロアリール基が結合した単量体であればよく、フッ素原子の数やアリール基上のフッ素原子の置換位置等は特に限定されるものではない。また、フルオロアリール基の水素原子の一部は、フッ素原子以外の原子や基により置換されていてもよい。このような単量体としては、例えば、Ｎ−フルオロフェニルマレイミド、Ｎ−ジフルオロフェニルマレイミド、Ｎ−トリフルオロフェニルマレイミド、Ｎ−テトラフルオロフェニルマレイミド、Ｎ−ペンタフルオロフェニルマレイミド等が挙げられ、１種又は２種以上を用いることができる。これらの中でも、本発明の作用効果を充分に発揮することができることから、Ｎ−フルオロアリールマレイミド単量体構造を形成する単量体としては、ペンタフルオロフェニルマレイミド及び／又はテトラフルオロフェニルマレイミドを用いることが好ましい。従って、本発明のフッ素含有マレイミド系共重合体の最も好ましい形態の１つは、上記Ｎ−フルオロアリールマレイミド単量体構造を形成する単量体が、Ｎ−ペンタフルオロフェニルマレイミド及び／又はＮ−テトラフルオロフェニルマレイミドであることである。
【００１４】
上記芳香族ビニル類単量体としては特に限定されず、例えば、スチレン、α−メチルスチレン、パラメチルスチレン、イソプロペニルスチレン、ビニルトルエン、モノクロルスチレン、ジクロルスチレン、トリクロルスチレン、テトラクロルスチレン、ペンタクロルスチレン、モノフルオロスチレン、ジフルオロスチレン、トリフルオロスチレン、テトラフルオロスチレン、ペンタフルオロスチレン、α，β，β−トリフルオロスチレン等が挙げられ、１種又は２種以上を用いることができる。
【００１５】
上記必須の単量体と共重合可能なその他の単量体としては特に限定されず、例えば、アリールマレイミド類；アルキルマレイミド類；（メタ）アクリル酸エステル類；不飽和ニトリル類；オレフィン類；ジエン類；ビニルエーテル類；ビニルエステル類；フッ化ビニル類；プロピオン酸アリル等の飽和脂肪酸モノカルボン酸のアリルエステル類又は（メタ）アクリルエステル類；多価（メタ）アクリレート類；多価アリレート類；グリシジル化合物；不飽和カルボン酸類等の単量体が挙げられる。これらは単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。これらの具体例としては、下記（１）〜（１３）が挙げられる。
【００１６】
（１）アリールマレイミド類単量体としては、例えば、Ｎ−フェニルマレイミド、Ｎ−クロルフェニルマレイミド、Ｎ−メチルフェニルマレイミド、Ｎ−ナフチルマレイミド、Ｎ−ヒドロキシフェニルマレイミド、Ｎ−メトキシフェニルマレイミド、Ｎ−カルボキシフェニルマレイミド、Ｎ−ニトロフェニルマレイミド、Ｎ−トリブロモフェニルマレイミド等が挙げられる。
（２）アルキルマレイミド類単量体としては、例えば、Ｎ−メチルマレイミド、Ｎ−エチルマレイミド、Ｎ−プロピルマレイミド、Ｎ−イソプロピルマレイミド、Ｎ−ブチルマレイミド、Ｎ−イソブチルマレイミド、Ｎ−ターシャリブチルマレイミド、Ｎ−シクロヘキシルマレイミド、Ｎ−ラウリルマレイミド、Ｎ−（２−ヒドロキシエチル）マレイミド等が挙げられる。
【００１７】
（３）（メタ）アクリル酸エステル類単量体としては、例えば、シクロヘキシル基、ベンジル基等を含む炭素数１〜１８のアルキル基を有する（メタ）アクリル酸エステル類、具体的には、（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸プロピル、（メタ）アクリル酸イソプロピル、（メタ）アクリル酸ブチル、（メタ）アクリル酸イソブチル、（メタ）アクリル酸ターシャリブチル、（メタ）アクリル酸アミル、（メタ）アクリル酸イソアミル、（メタ）アクリル酸オクチル、（メタ）アクリル酸２−エチルヘキシル、（メタ）アクリル酸デシル、（メタ）アクリル酸ラウリル、（メタ）アクリル酸シクロヘキシル、（メタ）アクリル酸ベンジル、（メタ）アクリル酸２−フェノキシエチル、（メタ）アクリル酸３−フェニルプロピル、フルオロアルキル（メタ）アクリレート類単量体等が挙げられる。これらの中では、メタクリル酸メチルを用いることが好ましい。
【００１８】
（４）不飽和ニトリル類単量体としては、例えば、アクリロニトリル、メタクリロニトリル、エタクリロニトリル、フェニルアクリロニトリル等が挙げられる。
（５）オレフィン類単量体としては、例えば、エチレン、プロピレン、イソブチレン、ジイソブチレン等が挙げられる。
（６）ジエン類単量体としては、ブタジエン、イソプレン等が挙げられる。
（７）ビニルエーテル類単量体としては、例えば、メチルビニルエーテル、ブチルビニルエーテル等が挙げられる。
（８）ビニルエステル類単量体としては、例えば、酢酸ビニル、プロピオン酸ビニル等を挙げられる。
（９）フッ化ビニル類単量体としては、例えば、フッ化ビニリデン等が挙げられる。
【００１９】
（１０）多価（メタ）アクリレート類単量体としては、例えば、エチレングリコール（メタ）アクリレート、ジエチレングリコール（メタ）アクリレート、ジビニルベンゼン、ジアリルフタレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ヘキサンジオールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、ビスフェノールＡのエチレンオキサイド又はプロピレンオキサイド付加物のジ（メタ）アクリレート、ハロゲン化ビスフェノールＡのエチレンオキサイド又はプロピレンオキサイド付加物のジ（メタ）アクリレート、イソシアヌレートのエチレンオキサイド又はプロピレンオキサイド付加物のジ又はトリ（メタ）アクリレート等が挙げられる。
【００２０】
（１１）多価アリレート類単量体としては、例えば、トリアリルイソシアヌレート等が挙げられる。
（１２）グリシジル化合物としては、例えば、グリシジル（メタ）アクリレート、アリルグリシジルエーテル等が挙げられる。
（１３）不飽和カルボン酸類単量体としては、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸、又は、これらの半エステル化物や無水物等が挙げられる。
本発明においては、（１０）、（１１）の様な多官能単量体を用い、ポリマーに架橋構造を持たせることも可能である。
【００２１】
本発明のフッ素含有マレイミド系共重合体を製造する方法としては、例えば、ラジカル重合触媒及び必要に応じて分子量調節剤を用いて単量体成分を重合する方法等が好適である。このような重合方法の形態としては特に限定されず、例えば、塊状重合、懸濁重合、乳化重合、溶液重合、又は、これらを適宜組み合わせる形態により重合を行うことができる。これらの中でも、塊状重合又は溶液重合により重合を行うことが好ましく、連続して重合系へ単量体成分を供給して重合した後、揮発物を除去することにより行うことが好ましい。なお、使用するラジカル重合触媒、溶剤、重合条件等としては、共重合する単量体の種類、使用比率等に応じて適宜設定すればよい。また、共重合組成をコントロールする為には、Ｎ−フルオロアリールマレイミドと芳香族ビニル系単量体を別々に適宜設定した速度で供給しながら重合を行うことが好ましい。
【００２２】
本発明のフッ素含有マレイミド系共重合体は、重量平均分子量が１００００〜３０００００であることが好ましい。１００００未満であると、共重合体の機械強度が低下するおそれがあり、３０００００を超えると、成形加工性が低下するおそれがある。より好ましくは、２００００〜２５００００である。また、ガラス転移温度が１１０〜２５０℃であることが好ましい。１１０℃未満であると、共重合体が充分な耐熱性を発揮しないおそれがあり、２５０℃を超えると、機械強度や成形加工性が低下するおそれがある。より好ましくは、１２０〜２００℃である。
【００２３】
本発明のフッ素含有マレイミド系共重合体は、耐熱性や熱安定性に優れると共に、低誘電率を達成することができ、しかも、溶剤への溶解性に優れて加工しやすく、薄膜形成能等に優れることから、電子材料、基板材料等を含めた各種の用途に用いることができるものである。すなわちＮ−フルオロアリールマレイミド単量体構造と芳香族ビニル単量体構造を調整することにより、配線層間の絶縁膜や半導体封止用材料等のエレクトロニクス樹脂として好適に用いることが可能であり、それ以外にも各種の用途への適用が期待されるものである。
【００２４】
【実施例】
以下に実施例を揚げて本発明を更に詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例のみに限定されるものではない。なお、特に断りのない限り、「部」は、「重量部」を意味するものとする。
【００２５】
得られた共重合体は、以下の方法で各種特性を測定することにより評価した。
（重量平均分子量）
共重合体の重量平均分子量は、ＧＰＣ（東ソー社製、ＧＰＣシステム）を用い、ポリスチレン換算により求めた。
【００２６】
（ガラス転移温度）
共重合体のガラス転移温度は、ＪＩＳＫ７１２１に従い、示差走査熱量測定器（理学電気社製、装置名：ＤＳＣ−８２３０）を用い、窒素ガス雰囲気下、α−アルミナをリファレンスとして、常温から２００℃まで昇温速度１０℃／ｍｉｎで昇温して測定したＤＳＣ曲線から中点法にて算出した。
【００２７】
（共重合体中のマレイミド単量体由来の単量体構造の含有量（マレイミド含有量）（重量％））
共重合体中のマレイミド単量体由来の単量体構造の含有量（重量％）は、有機微量元素分析装置（ヤナコ近畿社製、装置名：ヤナコＣＨＮコーダー）を用いて共重合体中のＮ量を測定し、この共重合体中のＮ量から算出した。
【００２８】
（赤外吸収スペクトルの測定方法）
ＦＴＳ−４５赤外分光光度計（商品名、ＢＩＯ−ＲＡＤ社製）を使用して測定した。
【００２９】
（¹Ｈ−ＮＭＲスペクトル）
溶媒にテトラメチルシラン含有のＣＤＣｌ_３を用い、ＦＴ−ＮＭＲＵＮＩＴＹ
ｐｌｕｓ４００（商品名、Ｖａｒｉａｎ社製）を使用して測定した。
【００３０】
（誘電率測定方法）
試料調製方法
トルエンに２０重量％の濃度で溶解した溶液を溶液流延法にてフィルム加工し、１２時間乾燥することで厚さ１００μｍのフィルムを得た。
測定方法
上記試料をインピーダンスアナライザー（商品名「ＨＰ４２９４Ａ」、ヒューレッド・パッカード社製）及び薄膜測定用ジグ（商品名「ＨＰ１６４５１Ｂ」、ヒューレッド・パッカード社製）を用いて間隙法にて誘電率を測定した。
【００３１】
実施例１
攪拌装置を備えた５００ｍｌの重合槽に、スチレン８．２部、トルエン２９．２部を仕込み、２５０ｒｐｍで攪拌しながら窒素ガスを１０分間バブリングした後、窒素雰囲気下で昇温を開始した。重合槽内の温度が１１０℃に達した時点で、重合槽内にｔ−ブチルパーオキシイソプロピルカーボネート０．０１部を投入して重合を開始し、同時にｔ−ブチルパーオキシイソプロピルカーボネート０．０２部とスチレン１３部の混合物、ペンタフルオロフェニルマレイミド２４．８部とトルエン２４．８部を６０℃で溶解した溶液を、それぞれ３．５時間かけて連続的に投入した。その後更に１．５時間反応を継続した。得られた重合液を、テトラヒドロフランで希釈後、大量のメタノール中に注いで析出し、１２０℃で真空乾燥し、白色粉末のフッ素含有マレイミド共重合体を得た。得られた共重合体の重量から計算した重合収率は７７％であった。
元素分析によるＮ分から算出したマレイミド含有量は６２．３重量％（４０ｍｏｌ％）、ＧＰＣで測定した重量平均分子量は１４．８万、ガラス転移点は１８５℃、誘電率及び誘電損失は表２の通りであった。メルトインデクサで、２６５℃１０ｋｇ加重で測定したメルトインデックス（ＭＩ）は６．７であった。また、この共重合体の赤外吸収スペクトル、^１Ｈ−ＮＭＲスペクトルを測定して構造を確認した。図１に赤外吸収スペクトルを、図２に^１Ｈ−ＮＭＲスペクトルをそれぞれ示した。更に、^２０Ｆ−ＮＭＲスペクトルによっても、共重合体の構造を確認した。
【００３２】
比較例１
重合槽に仕込んだスチレンを７．２部、トルエンを３６．５部、連続供給したスチレンを１７．５部、ペンタフルオロフェニルマレイミドのトルエン溶液の代わりに、フェニルマレイミド２３．３部、トルエン２３．５部の溶液を使用した以外は実施例１と同様の操作を行い、白色粉末のフッ素非含有マレイミド共重合体を得た。重合収率は８３％であった。マレイミド含有量は５３重量％（４０ｍｏｌ％）、重量平均分子量は２０．７万、ガラス転移点は２０６℃であった。誘電率及び誘電損失は表２の通りであった。メルトインデックス（ＭＩ）は１．５であった。また、この共重合体の赤外吸収スペクトル、^１Ｈ−ＮＭＲスペクトルを測定して構造を確認した。
【００３３】
比較例２
実施例１で使用した単量体成分を、すべて重合釜に仕込んで重合を行った。重合系は著しく発熱し、激しく発泡と還流が起こった。得られた共重合体は、マレイミド含有量は７１重量％（４９ｍｏｌ％）であった。テトラヒドロフランに溶解しなかったため分子量は測定できなかった。メルトインデックス（ＭＩ）は０．３であり、極めて流動性が劣っていた。
【００３４】
【表１】

【００３５】
表１について、以下に説明する。
組成において、Ｆ５とは、ペンタフルオロフェニルマレイミドであり、ＳＴとは、スチレンであり、ＰＭＩとは、フェニルマレイミドである。ＭＩｃｏｎｔ（ｍｏｌ％）とは、マレイミド含有量（共重合体中のマレイミド単量体由来の単量体構造の含有量（ｍｏｌ％））である。ＭＩｃｏｎｔ（重量％）とは、マレイミド含有量（共重合体中のマレイミド単量体由来の単量体構造の含有量（重量％））であり、Ｃｏｎｖ．（％）とは、重合収率である。
【００３６】
【表２】

【００３７】
実施例１における赤外吸収スペクトルチャート及び¹Ｈ−ＮＭＲスペクトルチャートについて説明する。
赤外吸収スペクトルチャートにおいて、図１における、９９４．６ｃｍ^-1及び１５２２．９ｃｍ^-1の吸収は、ベンゼン環に直接結合しているフッ素原子、すなわちマレイミド単量体構造のフルオロアリール基による吸収である。¹Ｈ−ＮＭＲスペクトルチャートにおいて、図２におけるδ７．２付近のピークは、溶媒ＣＤＣｌ_３中の不純物であるＣＨＣｌ_３、及びスチレン構造に由来するベンゼン環に結合した水素原子が示すピークであり、共重合組成から計算したＨの存在量とほぼ同等の積算値を示した。
【００３８】
このような赤外吸収スペクトルチャート及びＮＭＲスペクトルチャートにより、共重合体には、ペンタフルオロフェニルマレイミドから形成される構造単位が存在することが確認された。
【００３９】
【発明の効果】
本発明のフッ素含有マレイミド系共重合体は、上述の構成よりなるので、耐熱性や熱安定性に優れると共に、低誘電率を達成することができ、しかも、溶剤への溶解性に優れて加工しやすく、薄膜形成能等に優れることから、電子材料、基板材料等を含めた各種の用途に用いることができるものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施例１で製造した共重合体の赤外吸収スペクトルである。
【図２】実施例１で製造した共重合体の^１Ｈ−ＮＭＲスペクトルである。

Claims

Ｎ−フルオロアリールマレイミド単量体構造と芳香族ビニル単量体構造とを必須とするフッ素含有マレイミド系共重合体を含有する電子材料用樹脂組成物又は基板材料用樹脂組成物であって、
該Ｎ−フルオロアリールマレイミド単量体構造の存在割合は、フッ素含有マレイミド系共重合体の全単量体構造を１００モル％とすると、５〜４５モル％であり、
該フッ素含有マレイミド系共重合体は、重量平均分子量が１００００〜３０００００であることを特徴とする電子材料用樹脂組成物又は基板材料用樹脂組成物。
前記Ｎ−フルオロアリールマレイミド単量体構造を形成する単量体は、Ｎ−ペンタフルオロフェニルマレイミド及び／又はＮ−テトラフルオロフェニルマレイミドであることを特徴とする請求項１記載の電子材料用樹脂組成物又は基板材料用樹脂組成物。
前記芳香族ビニル単量体構造を形成する単量体は、スチレン、α−メチルスチレン、パラメチルスチレン、イソプロペニルスチレン、ビニルトルエン、モノクロルスチレン、ジクロルスチレン、トリクロルスチレン、テトラクロルスチレン、ペンタクロルスチレン、モノフルオロスチレン、ジフルオロスチレン、トリフルオロスチレン、テトラフルオロスチレン、ペンタフルオロスチレン、及び、α、β、β−トリフルオロスチレンからなる群より選択される少なくとも１種の単量体であることを特徴とする請求項１又は２記載の電子材料用樹脂組成物又は基板材料用樹脂組成物。