JP4821206B2 - カラーフィルター用感光性着色組成物、およびカラーフィルター - Google Patents
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Description
露光量の変化に対するパターン形状のばらつきの対策としては、感光性着色組成物にヒンダードフェノール系酸化防止剤が使用されている例(例えば、特許文献3参照)や、リン酸系酸化防止剤が使用されている例(例えば、特許文献4参照)が提案されている。しかしながら、これらの組成物を使用した場合、露光量または露光照度を一定以上に上げた場合に生ずるパターンの太りは改善できるものの、露光ギャップを広げた場合に生じる画素の太りに対する効果は不十分であった。また、これらの酸化防止剤を用いた場合には感度の低下を引き起こしやすく、画素の欠けや剥がれが発生するおそれがあった。
一方、画素の高精細化を図る方法として、酸性基含有モノマーを用いることが提案されている(例えば、特許文献7参照)。しかし、これらのものを用いただけでは、満足のいく露光マージン、現像マージンを得ることは難しく、高感度でありながら高精細な画素アレイを設計通りに形成することができる感光性着色組成物の開発が切望されていた。
(1)少なくとも顔料、アクリル系樹脂、反応性モノマー、光重合開始剤、重合禁止剤、および有機溶剤を含有するカラーフィルター用感光性着色組成物において、重合禁止剤がヒドロキノン系あるいはカテコール系の重合禁止剤であって、かつ、反応性モノマーが下記構造式(1)で表されるものを含有し、さらに光重合開始剤として、下記構造式(2)で表される化合物を含有することを特徴とするカラーフィルター用感光性着色組成物。
(2)前記反応性モノマー全体の酸価が5〜50mgKOH/gであるものを含有することを特徴とする(1)に記載のカラーフィルター用感光性着色組成物。
(3)前記重合禁止剤が顔料を除く固形分量に対して、0.1〜3質量%含まれることを特徴とする(1)または(2)に記載のカラーフィルター用感光性着色組成物。
(4)前記重合禁止剤として、下記構造式(3)または(4)で表される化合物を含有することを特徴とする(1)〜(3)のいずれかに記載のカラーフィルター用感光性着色組成物。
(5)任意の色数で各色別に所望のパターン状に設けられた着色層からなる画素を有するカラーフィルターにおいて、該着色層が(1)〜(4)のいずれかに記載のカラーフィルター用感光性着色組成物により形成される着色膜を含有することを特徴とするカラーフィルター。
R(レッド)の場合を例にあげると、PR−254とPR−177の組合せ、PR−254とPY−138の組合せ、PR−254とPY−139の組合せ、PR−209とPO−38の組合せ等で色度が調色される。
本発明の感光性着色組成物は顔料を用い、分散機を用いて溶液中に均一に分散することが好ましい。顔料の分散方法に特に限定はなく、ボールミル、サンドグラインダー、3本ロールミル、高速度衝撃ミル、ビーズミルなど、公知の方法が使用できる。メディアを用いたビーズミルは微細な顔料を分散できるため好ましく用いられ、高精細なパターンを形成するのに好適である。
主鎖に対して付加することのできる不飽和基を有するエポキシ化合物としては、グリシジル基あるいは脂環式エポキシ基を有するエチレン性不飽和化合物が挙げられる。
反応性モノマーとしては、下記構造式(1)で表されるものを含有することが好ましい。
これら、構造式(1)で表される反応性モノマーとしては、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレートや、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレートのエチレンオキサイド変性物、プロピレンオキサイド変性物、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレートのオリゴマーなどを、無水コハク酸、無水1−ドデセニルコハク酸、無水マレイン酸、無水グルタル酸、無水イタコン酸、無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、メチルヘキサヒドロ無水フタル酸、テトラメチレン無水マレイン酸、テトラヒドロ無水フタル酸、メチルテトラヒドロ無水フタル酸、エンドメチレンテトラヒドロ無水フタル酸、メチルエンドメチレンテトラヒドロ無水フタル酸、無水テトラクロロフタル酸、無水テトラブロモフタル酸、無水クロレンディク酸、無水トリメリット酸等の酸無水物を、N,N−ジメチルベンジルアミン、トリエチルアミン、トリブチルアミン、トリエチレンジアミン、ベンジルトリメチルアンモニウムクロライド、ベンジルトリエチルアンモニウムブロマイド、テトラメチルアンモニウムブロマイド、セチルトリメチルアンモニウムブロマイド、酸化亜鉛等の触媒の存在下、60〜110℃で1〜20時間反応させることにより得る事ができる。
また、下記構造式(2)で表されるものも、感度の向上が見込めるため好ましく用いられる。
具体的には、Arとして2−メチルベンジル基、R2としてエチル基であるエタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル)]−,1−(O−アセチルオキシム)(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ(株)製“CGI242”)が挙げられる。
さらに芳香族、脂肪族の第3級アミンなどの増感助剤を添加すると、さらに感度を向上させることができ好ましい。また、これらの光重合開始剤は2種類以上を併用して用いることもできる。光重合開始剤の添加量としては、特に限定はないが、感光性着色組成物全固形分に対して、好ましくは2〜30質量%、より好ましくは5〜25質量%である。
本発明で用いる重合禁止剤としては、下記構造式(3)で表されるヒドロキノン系のもの、および(4)で表されるカテコール系のものである。
より具体的には、式(3)で表されるものとしては、ヒドロキノン、tert−ブチルヒドロキノン、2,5−ビス(1,1,3,3−テトラメチルブチル)ヒドロキノン、2,5−ビス(1,1−ジメチルブチル)ヒドロキノンなどが挙げられ、式(4)で表されるものとしては、カテコール、tert−ブチルカテコールなどが挙げられる。
これら重合禁止剤の添加量は、顔料を除く固形分量に対して、好ましくは0.1〜3質量%、より好ましくは0.2〜2質量%である。添加量が0.1質量%より少ない場合は、画素の太りを軽減する効果が小さいため好ましくなく、3質量%を超える場合は、感度の低下によりパターンの剥がれが発生しやすいため好ましくない。これら重合禁止剤は、2種類以上を混合して使用こともできる。なお、ここでいう顔料を除く固形分とは、顔料および顔料誘導体を除く固形分であって、有機溶剤を除く、アクリル系樹脂、高分子分散剤、反応性モノマー、光重合開始剤、その他添加剤などを含む、樹脂分および低分子化合物の総量である。具体的には、感光性着色組成物を、2000〜40,000倍の重力加速度を持つ遠心分離機に1〜60分間、例えば20,000倍の重量加速度で10分間処理し、顔料成分を沈降させた後、沈降分を除いた溶液を常圧中、もしくは減圧中で、40℃〜200℃で10分〜24時間、例えば150℃で60分間加熱し有機溶媒成分を気化、乾燥させることで測定することができる。
重合禁止剤は一般的に、熱や光もしくはラジカル開始剤などによって発生したラジカルによる重合を禁止もしくは停止する作用を示し、一般的には熱硬化性樹脂のゲル化防止やポリマー製造時の重合停止などに使用される。
高分子化合物としては、アクリル樹脂、アルキド樹脂、メラミン樹脂、ポリビニルアルコール、ポリエステル、ポリエーテル、ポリアミド、ポリアミドイミド、ポリイミド、ポリイミド前駆体など種々のものを用いることができる。
ここで、現像液として非イオン系界面活性剤などの界面活性剤を0.01〜1質量%添加したアルカリ性現像液を使用すると、より良好なパターンが得られるため好ましい。
また必要に応じて、ブラックマトリックス、保護膜、透明電導膜等を形成することができる。これらを形成する位置、形成順序、形成方法などは、特に限定されない。一例として、基板上にブラックマトリックスを形成し、その上に着色層、さらにその上に保護膜、さらにその上に透明導電膜を形成するなどの構成が挙げられる。
(パターン作製方法)
感光性着色組成物を、無アルカリガラス(日本電気硝子(株)製、OA10:50mm×70mm、厚さ0.7mm)基板表面上に、スピンコーター(ミカサ(株)製、1H−D2型)を用いて塗布したのち、90℃のイナートオーブン(ダバイエスペック(株)製、PERFECTOVEN PV−210)内で10分間加熱乾燥(プリベイク)を行い、膜厚2.00μmの塗膜を形成した。その後、この基板を室温に冷却したのち、露光機(ユニオン光学(株)製、紫外線露光機PEM−6M、コリメーションアングルθ=2°、i線(365nm)照度=40mW/cm2)を用い、フォトマスク(HOYA(株)製、ネガマスク、ストライプ設計線幅50μm)を介して、j線:313nm、i線:365nm、h線:405nmおよびg線:436nmの各波長を含む紫外線で所定の露光量で露光した。
1.感度
上記のパターン作製方法に従って、50μmストライプパターンのフォトマスクを介して200mJ/cm2を最大露光量として、露光ギャップ300μmで随時露光量を下げて露光していき、60秒現像後にパターン表面の荒れや剥がれが生じない範囲の最低露光量を最低必要露光量とした。最低必要露光量が小さいほど感度は高く、好適である。
○:最低必要露光量が40mJ/cm2以下のもの。
△:最低必要露光量が40mJ/cm2より大きく100mJ/cm2未満のもの。
×:最低必要露光量が100mJ/cm2以上のもの。
上記のパターン作製方法に従って、50μmストライプパターンのフォトマスクを介して50mJ/cm2の露光量で露光ギャップ100μm、および300μmで露光した。現像時間は60秒として、形成したカラーフィルターパターンの形状について、光学顕微鏡(オリンパス販売(株)製BH3−MJL、およびケイエスオリンパス(株)製XD200)を用いて画素形状の観察および画素幅の測定を行った。露光ギャップ100μmの場合の画素幅と露光ギャップ300μmの場合の画素幅を比較し、その差を求めた。露光ギャップの違いによる画素幅の変化が小さいものは、露光マージンが広く、高精細なパターンを作製するのに好適である。
○:露光ギャップ100μmと300μmの画素幅の差が3μm以下のもの。
△:露光ギャップ100μmと300μmの画素幅の差が3より大きく5μm未満のもの。
×:露光ギャップ100μmと300μmの画素幅の差が5μm以上のもの。
上記のパターン作製方法に従って、50μmストライプパターンのフォトマスクを介して50mJ/cm2の露光量で露光ギャップ300μmで露光した。現像時間は60秒、および120秒として、形成したカラーフィルターパターンの形状について、光学顕微鏡(オリンパス販売(株)製BH3−MJL、およびケイエスオリンパス(株)製XD200)を用いて画素形状の観察および画素幅の測定を行った。現像時間60秒の場合の画素幅と現像時間120秒の場合の画素幅を比較し、その差を求めた。現像時間の違いによる画素幅の変化が小さいものは、現像マージンが広く、高精細なパターンを作製するのに好適である。
○:現像時間60秒と露光時間120秒の画素幅の差が3μm以下のもの。
△:現像時間60秒と露光時間120秒の画素幅の差が3より大きく5μm未満のもの。
×:現像時間60秒と露光時間120秒の画素幅の差が5μm以上のもの。
アクリル系樹脂もしくは反応性モノマーを精秤し、精製水/アセトンの混合溶媒に溶解した後、フェノールフタレインを指示薬として0.1N KOH水溶液で滴定し、酸価を測定した。なお、反応性モノマーが2種類以上の混合物の場合は、あらかじめ混合したものを用意し、反応性モノマー全体の酸価として求めた。
1000ccの4つ口フラスコに3−メトキシ−3−メチル−ブタノール150gを仕込み、これを90℃に保ち、窒素シール、撹拌を行いながらメタクリル酸メチル30g、スチレン30g、メタクリル酸40gにn−ドデシルメルカプタン1.1g、2,2’−アゾビスイソブチロニトリル1.2gを混合して滴下ロートで30分かけて滴下した。この後4時間反応を続けた後、窒素シールをやめ、ハイドロキノンモノメチルエーテル0.1g、ジメチルベンジルアミン0.4gを加えた。グリシジルメタクリレート33gを30分かけて滴下し、さらに90℃で3時間撹拌することで反応を行った。室温に戻した後、精製水/アセトンの混合溶剤に滴下することで再沈殿させ、濾過、乾燥することにより平均分子量Mw4万、酸価115mgKOH/gの粉末状のアクリル系樹脂(ポリマーAとする)を得た。
顔料としてピグメントレッド254とピグメントレッド177の80/20(重量比)混合物を14重量部、高分子分散剤として“Disperbyk”2001(ビックケミージャパン(株)製、46質量%)を9重量部、ポリマーAを4重量部、有機溶剤として、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(以下PGMEAとする)73重量部を混合した後、ジルコニアビーズが充填されたミル型分散機を用いて分散し、顔料分散液を得た。
次に、この顔料分散液100重量部に対し、ポリマーAを10重量部、反応性モノマーとして、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートおよびジペンタエリスリトールペンタアクリレートの混合物と無水コハク酸との反応物であり、構造式(1)で−R1は−H、n=1、−X−は−O−、−Y−はエチレン基で表されるものを含有する酸価30のTO−1382(東亞合成(株)製)を12重量部、光重合開始剤として構造式(2)でArとして2−メチルベンジル基、R2としてエチル基で表されるエタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル)]−,1−(O−アセチルオキシム)(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ(株)製 CGI242、以下CGI242とする)を2重量部、2−(4−メチル)ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタノン−1(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ(株)製 CGI113、以下CGI113とする)を6重量部、密着改良剤として3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン(信越化学(株)製 KBM503、以下KBM503とする)を1.7重量部、界面活性剤としてメガファックR−08(大日本化学工業(株)製、以下R−08とする)を0.1重量部、重合禁止剤として2,5−ビス(1,1,3,3−テトラメチルブチル)ヒドロキノン(和光純薬工業(株)製、以下DOHQとする)0.2重量部(色材を除く固形分に対して0.5質量%)、および有機溶剤としてPGMEA100重量部を混合して、感光性着色組成物を調製した。パターン感度、露光マージン、現像マージンの評価結果を表1に示す。全ての評価項目において良好な結果であり、高精細なパターンを広プロセスマージンで作製することができた。
重合禁止剤としてtert−ブチルカテコール(和光純薬工業(株)製、以下TBCとする)を0.4重量部(色材を除く固形分に対して1質量%)、反応性モノマーとしてTO−1382を6重量部、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートおよびジペンタエリスリトールペンタアクリレートの混合物(日本化薬(株)製“カヤキュア”DPHA、以下DPHAとする)を6重量部加えた以外は実施例1と同様にして感光性着色組成物を調整した。なお、このときの反応性モノマー全体の酸価は15であった。評価結果を表1に示す。全ての評価項目について良好な結果であり、高精細なパターンを広プロセスマージンで作製することができた。
重合禁止剤としてTBCを0.04重量部(色材を除く固形分に対して0.1質量%)、反応性モノマーとして、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートおよびジペンタエリスリトールペンタアクリレートの混合物と無水コハク酸との反応物であり、構造式(1)で−R1は−H、n=1、−X−は−O−、−Y−はエチレン基で表されるものを含有するTO−2349(東亞合成(株)製)を2.4重量部、DPHAを9.6重量部、加えた以外は実施例1と同様にして感光性着色組成物を調整した。なお、このときの反応性モノマー全体の酸価は13であった。評価結果を表1に示す。感度については良好であった。露光マージン、現像マージンについては、露光ギャップ300μmで若干太く、現像時間120秒では若干細くなっていたが、ほぼ良好な結果であった。
重合禁止剤として2,5−ビス(1,1,−ジメチルブチル)ヒドロキノン(和光純薬工業(株)製、以下DHHQとする)を0.8重量部(色材を除く固形分に対して2質量%)、反応性モノマーとしてTO−1382を8.4重量部、DPHAを3.6重量部、光重合開始剤としてCGI113を8重量部を加えた以外は実施例1と同様にして感光性着色組成物を調整した。なお、このときの反応性モノマー全体の酸価は21であった。評価結果を表1に示す。感度についてはやや劣っていたが、露光マージン、現像マージンについては、良好な結果であり、高精細なパターンを広プロセスマージンで作製することができた。
顔料としてピグメントグリーン36とピグメントイエロー150の65/35(重量比)混合物を14重量部、高分子分散剤として“Disperbyk”2001を9重量部、ポリマーAを4重量部、有機溶剤として、PGMEA73重量部を混合した後、ジルコニアビーズが充填されたミル型分散機を用いて分散し、顔料分散液を得た。
次に、この顔料分散液100重量部に対し、ポリマーAを10重量部、反応性モノマーとして、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートおよびジペンタエリスリトールペンタアクリレートの混合物と無水コハク酸との反応物であり、構造式(1)で−R1は−H、n=1、−X−は−O−、−Y−はエチレン基で表されるものを含有する酸価27のTO−2348(東亞合成(株)製)を12重量部、光重合開始剤としてCGI242を8重量部、密着改良剤としてKBM503を1.7重量部、界面活性剤としてR−08を0.1重量部、重合禁止剤としてTBC0.6重量部(色材を除く固形分に対して1.5質量%)、および有機溶剤としてPGMEA100重量部を混合して、感光性着色組成物を調製した。パターン感度、露光マージン、現像マージンの評価結果を表1に示す。全ての評価項目において良好な結果であり、高精細なパターンを広プロセスマージンで作製することができた。
顔料としてピグメントブルー15:6とピグメントバイオレット23の96/4(重量比)混合物を14重量部、高分子分散剤として“Disperbyk”2001を9重量部、ポリマーAを4重量部、有機溶剤として、PGMEA73重量部を混合した後、ジルコニアビーズが充填されたミル型分散機を用いて分散し、顔料分散液を得た。
次に、この顔料分散液100重量部に対し、ポリマーAを10重量部、反応性モノマーとしてTO−1382を12重量部、光重合開始剤として2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルホリノプロパン−1−オン(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ(株)製“イルガキュア”907、以下IC907とする)6重量部、2,4−ジエチルチオキサントン(日本化薬(株)製、“カヤキュア”DETX−S、以下DETXとする)2重量部、密着改良剤としてKBM503を1.7重量部、界面活性剤としてR−08を0.1重量部、重合禁止剤としてTBC0.1重量部(色材を除く固形分に対して0.25質量%)、および有機溶剤としてPGMEA100重量部を混合して、感光性着色組成物を調製した。評価結果を表1に示す。現像時間が120秒と長い場合には、若干線幅が細くなっていたが、高精細なパターンを広プロセスマージンで作製することができた。
遮光剤としてカーボンブラックとチタンブラックの50/50(重量比)混合物を20重量部、ポリマーAを10重量部、有機溶剤としてPGMEA70重量部を混合した後、ジルコニアビーズが充填されたミル型分散機を用いて分散し、顔料分散液を得た。
次に、この顔料分散液100重量部に対し、TO−2348を10重量部、光重合開始剤としてCGI242を10重量部、密着改良剤としてKBM503を1.5重量部、界面活性剤としてR−08を0.1重量部、重合禁止剤としてTBC0.1重量部(色材を除く固形分に対して0.3質量%)、および有機溶剤としてPGMEA100重量部を混合して、感光性着色組成物を調製した。感度、現像マージンについては良好であった。露光ギャップ300μmで若干太くなっていたが、ほぼ良好な結果であった。
重合禁止剤としてDHHQを0.04重量部(色材を除く固形分に対して0.1質量%)、反応性モノマーとして酸価0のDPHAを12重量部加えた以外は実施例1と同様にして感光性着色組成物を調整した。感度は良好であったが、露光ギャップや現像時間を変えた場合の画素幅のばらつきが大きく、高精細なパターンを作製することが困難であった。
重合禁止剤としてTBCを2重量部(色材を除く固形分に対して5質量%)、反応性モノマーとして酸価0のDPHAを12重量部、光重合開始剤としてCGI113を8重量部加えた以外は実施例1と同様にして感光性着色組成物を調整した。感度が不足しており、パターン表面の剥がれが観察された。
重合禁止剤の添加無し、反応性モノマーとしてTO−1382を12重量部加えた以外は実施例6と同様にして感光性着色組成物を調整した。感度がやや不足しており、パターン表面の膜荒れが見られた。また、露光ギャップを広げた場合には、画素幅は太くなってしまい、高精細なパターンを作製することが困難であった。
Claims (5)
- 少なくとも顔料、アクリル系樹脂、反応性モノマー、光重合開始剤、重合禁止剤、および有機溶剤を含有するカラーフィルター用感光性着色組成物において、重合禁止剤がヒドロキノン系あるいはカテコール系の重合禁止剤であって、かつ、反応性モノマーが下記構造式(1)で表されるものを含有し、さらに光重合開始剤として、下記構造式(2)で表される化合物を含有することを特徴とするカラーフィルター用感光性着色組成物。
- 前記反応性モノマー全体の酸価が5〜50mgKOH/gであるものを含有することを特徴とする請求項1に記載のカラーフィルター用感光性着色組成物。
- 前記重合禁止剤が顔料を除く固形分量に対して、0.1〜3質量%含まれることを特徴とする請求項1または2に記載のカラーフィルター用感光性着色組成物。
- 任意の色数で各色別に所望のパターン状に設けられた着色層からなる画素を有するカラーフィルターにおいて、該着色層が請求項1〜4のいずれかに記載のカラーフィルター用感光性着色組成物により形成される着色膜を含有することを特徴とするカラーフィルター。
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