JP4791957B2 - 機能材料アクチュエータ製品からの仕事を最適化する機器および方法 - Google Patents
機能材料アクチュエータ製品からの仕事を最適化する機器および方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4791957B2 JP4791957B2 JP2006509709A JP2006509709A JP4791957B2 JP 4791957 B2 JP4791957 B2 JP 4791957B2 JP 2006509709 A JP2006509709 A JP 2006509709A JP 2006509709 A JP2006509709 A JP 2006509709A JP 4791957 B2 JP4791957 B2 JP 4791957B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- preload
- functional material
- material actuator
- force
- support structure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 239000000463 material Substances 0.000 title claims description 108
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 8
- 230000036316 preload Effects 0.000 claims description 72
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 24
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 claims 8
- 239000002520 smart material Substances 0.000 claims 2
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 18
- 238000007667 floating Methods 0.000 description 17
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 13
- 230000000712 assembly Effects 0.000 description 9
- 238000000429 assembly Methods 0.000 description 9
- 230000008859 change Effects 0.000 description 6
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 4
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 4
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 4
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 230000004044 response Effects 0.000 description 2
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 230000003213 activating effect Effects 0.000 description 1
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000008204 material by function Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/88—Mounts; Supports; Enclosures; Casings
- H10N30/886—Additional mechanical prestressing means, e.g. springs
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/02—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
- H02N2/04—Constructional details
- H02N2/043—Mechanical transmission means, e.g. for stroke amplification
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/88—Mounts; Supports; Enclosures; Casings
Landscapes
- Transmission Devices (AREA)
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
- Control Of Position Or Direction (AREA)
Description
本明細書の説明では、添付の図面を参照する。これらの図面では、同じ参照数字は、いくつかの図を通じて同じ部分を指す。
次に図3を参照すると、図1および図2と同じデータを使用した変位−力のグラフが示されている。図2を見た後では、仕事のピーク値は40に位置することがわかっている。このグラフに直角三角形10を重ね、AB、BC、CAの3つの線分を形成する。ここで、線分CAは最大変位であり、線分ABは阻止力、線分BCはアクチュエータの動作線である。この変位線分CAは、図2に示す仕事のピーク値と合わさる。この点の付近で、機能材料アクチュエータを、好ましくは仕事のピーク値の少なくとも40%以内に、より好ましくは仕事のピーク値の少なくとも25%以内に、最も好ましくは仕事のピーク値の少なくとも10%以内に、あるいは、ほぼ仕事のピーク値自体に最適に予荷重を付与し得る。この機能材料アクチュエータが40単位に予荷重が付与される場合、最大変位は、線分CAすなわち13単位になる。この機能材料アクチュエータに電力が与えられ、予荷重が60単位に増加すると、阻止力が得られ、阻止力に対する変位を示す線分は、線分ABになる。この時点で、この機能材料アクチュエータは、その元の高さに戻る。抵抗がゼロのばねを作るのは不可能なので、線分CAを得ることは不可能であり、そのため、実際の設計ルールが優先され、動作部分BC上の点を用いることができる。この点は、線分CAと線分BCの交点のところの、三角形10の角に近くなるように最適化し得る。当業者なら、三角形10を、図2でグラフ化された仕事のピーク値からわずかに上下に動かして、予荷重を微妙に最適化し得ることに留意されたい。アクチュエータを形成する材料および幾何形状は広範に及ぶので、材料と幾何形状の組合せによりそれぞれ異なる組のグラフが得られることがあり、そのため、各アクチュエータをその特定の応用例において評価することが必要とされることにも留意されたい。
次に図7aを参照すると、本発明の第4実施形態の切断図が示されている。アクチュエータアセンブリ10は、中点付近で切断され、それによって内部形状が見えるように示されている。アクチュエータアセンブリ10は、機能材料アクチュエータ20、力を伝達する部材30、剛体背面プレート40、下部ウェッジ300、上部ウェッジ310、および浮動プレート100を含む。この実施形態では、アクチュエータアセンブリ10のコンプライアントな機構は、単一片設計のものであり、剛体背面支持体40および力を伝達する部材30を含む2つの主要な形状を有する。ウェッジブロックアセンブリ300、310を含む第2サブアセンブリは、調整可能なスペーサとして設計される。機能材料アクチュエータ20は、浮動プレート100と力を伝達する部材30との間に収められる。ウェッジブロックアセンブリ300、310は、剛体背面プレート40によって支持される。ウェッジアセンブリ300、310が相互に移動すると、調整可能なスペーサの寸法が変化し、それによって予荷重が増減する。機能材料アクチュエータ20は、位置合わせ不良をあまり許容しない。位置合わせが不良だと、組立中に機能材料アクチュエータ20に不具合が生じることがある。浮動プレート100は、これら2つの表面間の位置合わせ不良を許容するように設計される。これを実現するために、浮動プレート100は、上部ウェッジ310と点接触し、機能材料アクチュエータ20とは平坦な表面で接触する。
Claims (26)
- 剛体非撓み部分および移動可能な部分を画定する支持構造と、
該支持構造の前記移動可能な部分を、第1位置及び第2位置間で駆動する機能材料アクチュエータと、
予荷重力で前記機能材料アクチュエータに予荷重を付与する手段とを備え、
前記予荷重力は前記機能材料アクチュエータの力と変位の積についてのピーク値以内で決定され、
前記予荷重を付与する手段は、前記支持構造の前記剛体非撓み部分と前記機能材料アクチュエータの一端との間を延びる調整可能なねじ込みねじであることを特徴とする機器。 - 前記予荷重を付与する手段は、前記予荷重力を、前記機能材料アクチュエータから入力される仕事の、力と変位の積と、力との関係によって決まるピーク荷重の20%以内に最適化することを特徴とする請求項1記載の機器。
- 前記予荷重を付与する手段は、前記調整可能なねじ込みねじに代えて、前記支持構造の前記剛体非撓み部分と前記機能材料アクチュエータの一端との間を延びる調整可能なウェッジであることを特徴とする請求項1記載の機器。
- 前記調整可能なウェッジはさらに、
第1の半円形ウェッジ部分、第2の相補的な半円形ウェッジ部分、中央ウェッジ部分、および調整ねじを備え、それによって、前記ねじの調整により、前記中央ウェッジ部分が、前記第1および第2の半円形ウェッジ部分に関して相互に近づくように、また離れるように移動し、前記機能材料アクチュエータに加えられる予荷重の大きさが調整されることを特徴とする請求項3記載の機器。 - 前記調整可能なウェッジはさらに、
前記支持構造の前記剛体非撓み部分と係合可能な第1長手方向ウェッジ部分および前記機能材料アクチュエータの一端と係合可能な第2長手方向ウェッジ部分を備え、前記第1長手方向ウェッジ部分は、横方向に延び、角度がついた鋸歯状表面を有し、前記第2長手方向ウェッジ部分は、前記第1長手方向ウェッジ部分と動作可能に連動して係合する、横方向に延び、角度がついた相補的鋸歯状表面を有し、それによって、一方のウェッジ部分が、他方のウェッジ部分に対して横方向に動くことにより、前記機能材料アクチュエータに加えられる予荷重の大きさが調整されることを特徴とする請求項3記載の機器。 - 前記調整可能なウェッジはさらに、
第1のカム表面部分、第2の相補的なカム表面部分、前記第1のカム表面部分と前記第2のカム表面部分との間に配置されたカム用ねじを備え、それによって、前記カム用ねじの調整により、前記カム表面部分が相互に作用し、前記機能材料アクチュエータに加えられる予荷重の大きさが調整されることを特徴とする請求項3記載の機器。 - 前記予荷重を付与する手段は、前記支持構造の前記剛体非撓み部分と前記支持構造の前記移動可能な部分との間に配置されることを特徴とする請求項1記載の機器。
- さらに、前記予荷重を付与する手段において、前記支持構造の前記剛体非撓み部分は、前記支持構造の少なくとも1つの剛体非撓みアームと動作可能に係合可能な分離可能かつ調整可能な剛体非撓みウェブを有し、それによって、前記少なくとも1つのアームに関して前記ウェブを調整することにより、前記ウェブと、前記支持構造の前記少なくとも1つのアームが、前記機能材料アクチュエータにかかる所定の予荷重でロック係合されることを特徴とする請求項7記載の機器。
- さらに前記予荷重を付与する手段において、前記ウェブは、第1の鋸歯状部分を有し、該第1の鋸歯状部分は、相互に動作可能に連動して係合するように前記少なくとも1つのアーム上に形成された第2の相補的な鋸歯状部分と係合可能であり、それによって、前記少なくとも1つのアームに対して前記ウェブが動くと、前記機能材料アクチュエータに加えられる予荷重の大きさが調整されることを特徴とする請求項8記載の機器。
- さらに前記予荷重を付与する手段において、前記ウェブは、少なくとも1つの調整可能なねじを有し、該少なくとも1つの調整可能なねじは、相互に動作可能に連動して係合するように前記少なくとも1つのアーム上に形成された少なくとも1つの対応するねじ孔内で動作可能に係合可能であり、それによって、前記ねじを調整すると、前記少なくとも1つのアームに対してウェブが移動し、前記機能材料アクチュエータに予荷重が加えられることを特徴とする請求項8記載の機器。
- 前記機能材料アクチュエータは、圧電アクチュエータであることを特徴とする請求項1記載の機器。
- 支持構造の移動可能な部分を第1位置と第2位置との間で駆動する機能材料アクチュエータの予荷重を最適化する方法であって、
機能材料アクチュエータに電力が与えられている間および電力が与えられない間に加えられる力と、支持構造の偏向の関係を、所定の範囲の力にわたって測定するステップと、
力と変位の積と、力との関係を評価して、前記機能材料アクチュエータの力と変位の積についてのピーク値を求めるステップと、
前記機能材料アクチュエータの力と変位の積についての前記ピーク値の少なくとも40%以内の値に前記機能材料アクチュエータに予荷重を付与するステップとを含み、
前記予荷重は、前記支持構造の前記剛体非撓み部分と前記機能材料アクチュエータの一端との間を延びる調整可能なねじ込みねじによって付与されることを特徴とする方法。 - 前記予荷重を付与するステップはさらに、力と変位の積についての前記ピーク値の少なくとも25%以内の値に前記機能材料アクチュエータに予荷重を付与するステップを含むことを特徴とする請求項12記載の方法。
- 前記予荷重を付与するステップはさらに、力と変位の積についての前記ピーク値の少なくとも10%以内の値に前記機能材料アクチュエータに予荷重を付与するステップを含むことを特徴とする請求項12記載の方法。
- 前記予荷重を付与するステップはさらに、力と変位の積についての前記ピーク値に、前記機能材料アクチュエータに予荷重を付与するステップを含むことを特徴とする請求項12記載の方法。
- 請求項12の方法に従って製作された製品であって、
剛体非撓み部分および移動可能な部分を画定する支持構造と、
前記支持構造の前記移動可能な部分を、第1位置及び第2位置間で駆動する機能材料アクチュエータと、
予荷重力で前記機能材料アクチュエータに予荷重を付与する手段とを備え、
前記予荷重力は前記機能材料アクチュエータの力と変位の積についてのピーク値以内で決定され、
前記予荷重を付与する手段は、前記支持構造の前記剛体非撓み部分と前記機能材料アクチュエータの一端との間を延びる調整可能なねじ込みねじであることを特徴とする製品。 - 前記予荷重を付与する手段は、前記予荷重力を、前記機能材料アクチュエータから入力される仕事の、力と変位の積と、力との関係によって決まるピーク荷重の20%以内に最適化することを特徴とする請求項16記載の製品。
- 前記予荷重を付与する手段は、前記調整可能なねじ込みねじに代えて、前記支持構造の前記剛体非撓み部分と前記機能材料アクチュエータの一端との間を延びる調整可能なウェッジであることを特徴とする請求項16記載の製品。
- 前記調整可能なウェッジはさらに、
第1の半円形ウェッジ部分、第2の相補的な半円形ウェッジ部分、中央ウェッジ部分、および調整ねじを備え、それによって、前記ねじの調整により、前記中央ウェッジ部分が、前記第1および第2の半円形ウェッジ部分に関して相互に近づくように、また離れるように移動し、前記機能材料アクチュエータに加えられる予荷重の大きさが調整されることを特徴とする請求項18記載の製品。 - 前記調整可能なウェッジはさらに、
前記支持構造の前記剛体非撓み部分と係合可能な第1長手方向ウェッジ部分および前記機能材料アクチュエータの一端と係合可能な第2長手方向ウェッジ部分を備え、前記第1長手方向ウェッジ部分は、横方向に延び、角度がついた鋸歯状表面を有し、前記第2長手方向ウェッジ部分は、前記第1長手方向ウェッジ部分と動作可能に連動して係合する、横方向に延び、角度がついた相補的鋸歯状表面を有し、それによって、一方のウェッジ部分が、他方のウェッジ部分に対して横方向に動くことにより、前記機能材料アクチュエータに加えられる予荷重の大きさが調整されることを特徴とする請求項18記載の製品。 - 前記調整可能なウェッジはさらに、
第1のカム表面部分、第2の相補的なカム表面部分、前記第1のカム表面部分と前記第2のカム表面部分との間に配置されたカム用ねじを備え、それによって、前記カム用ねじの調整により、前記カム表面部分が相互に作用し、前記機能材料アクチュエータに加えられる予荷重の大きさが調整されることを特徴とする請求項18記載の製品。 - 前記予荷重を付与する手段は、前記支持構造の前記剛体非撓み部分と前記支持構造の前記移動可能な部分との間に配置されることを特徴とする請求項16記載の製品。
- さらに、前記予荷重を付与する手段において、前記支持構造の前記剛体非撓み部分は、前記支持構造の少なくとも1つの剛体非撓みアームと動作可能に係合可能な分離可能かつ調整可能な剛体非撓みウェブを有し、それによって、前記少なくとも1つのアームに関して前記ウェブを調整することにより、前記ウェブと、前記支持構造の前記少なくとも1つのアームが、前記機能材料アクチュエータにかかる所定の予荷重でロック係合されることを特徴とする請求項22記載の製品。
- さらに前記予荷重を付与する手段において、前記ウェブは、第1の鋸歯状部分を有し、該第1の鋸歯状部分は、相互に動作可能に連動して係合するように前記少なくとも1つのアーム上に形成された第2の相補的な鋸歯状部分と係合可能であり、それによって、前記少なくとも1つのアームに対して前記ウェブが動くと、前記機能材料アクチュエータに加えられる予荷重の大きさが調整されることを特徴とする請求項23記載の製品。
- さらに前記予荷重を付与する手段において、前記ウェブは、少なくとも1つの調整可能なねじを有し、該少なくとも1つの調整可能なねじは、相互に動作可能に連動して係合するように前記少なくとも1つのアーム上に形成された少なくとも1つの対応するねじ孔内で動作可能に係合可能であり、それによって、前記ねじを調整すると、前記少なくとも1つのアームに対してウェブが移動し、前記機能材料アクチュエータに予荷重が加えられることを特徴とする請求項23記載の製品。
- 前記機能材料アクチュエータは、圧電アクチュエータであることを特徴とする請求項16記載の製品。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US46054803P | 2003-04-04 | 2003-04-04 | |
US60/460,548 | 2003-04-04 | ||
PCT/US2004/010450 WO2004090999A1 (en) | 2003-04-04 | 2004-04-05 | Apparratus and process for optimizing work from a smart material actuator product |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006522494A JP2006522494A (ja) | 2006-09-28 |
JP4791957B2 true JP4791957B2 (ja) | 2011-10-12 |
Family
ID=33159779
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006509709A Expired - Fee Related JP4791957B2 (ja) | 2003-04-04 | 2004-04-05 | 機能材料アクチュエータ製品からの仕事を最適化する機器および方法 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US7368856B2 (ja) |
JP (1) | JP4791957B2 (ja) |
CN (1) | CN1781196A (ja) |
CA (1) | CA2521307C (ja) |
DE (1) | DE112004000605T5 (ja) |
GB (1) | GB2416425B (ja) |
WO (1) | WO2004090999A1 (ja) |
Families Citing this family (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1753120B1 (en) * | 2004-05-20 | 2009-07-22 | Japan Science and Technology Agency | Method and device for precisely resisting and moving high load |
PL1752746T3 (pl) * | 2005-08-10 | 2009-06-30 | Mettler Toledo Gmbh | Układ ciężarków do kalibrowania dla wagi elektronicznej |
US7994688B2 (en) * | 2008-09-18 | 2011-08-09 | Uchicago Argonne, Llc | Mechanical design of laminar weak-link mechanisms with centimeter-level travel range and sub-nanometer positioning resolution |
US20100148100A1 (en) * | 2008-12-17 | 2010-06-17 | Parker Hannifin Corporation | Media isolated piezo valve |
DE102009015428B4 (de) * | 2009-03-27 | 2015-09-10 | Unovatis Gmbh | Kompensation einer altersbedingten Längenänderung eines Stellelements aus einer Formgedächtnislegierung |
US8237334B2 (en) | 2009-04-22 | 2012-08-07 | Parker-Hannifin Corporation | Piezo actuator |
WO2011006028A2 (en) | 2009-07-10 | 2011-01-13 | Viking At, Llc | Small scale smart material actuator and energy harvesting apparatus |
US8669689B2 (en) | 2009-07-10 | 2014-03-11 | Viking At, Llc | Mountable arm smart material actuator and energy harvesting apparatus |
US8621756B2 (en) | 2009-09-04 | 2014-01-07 | Viking At, Llc | Smart material actuator adapted for resonant operation |
US20120187802A1 (en) * | 2009-10-01 | 2012-07-26 | Parker Hannifin Corporation | Nano Piezoelectric Actuator Energy Conversion Apparatus and Method of Making Same |
US8850892B2 (en) | 2010-02-17 | 2014-10-07 | Viking At, Llc | Smart material actuator with enclosed compensator |
WO2012118548A2 (en) * | 2010-12-09 | 2012-09-07 | Viking At, Llc | High speed smart material actuator with second stage |
JP5727781B2 (ja) * | 2010-12-27 | 2015-06-03 | 有限会社メカノトランスフォーマ | 圧電素子の変位拡大機構 |
WO2012162604A1 (en) | 2011-05-25 | 2012-11-29 | Parker-Hannifin Corporation | Smart material actuator |
WO2014074828A1 (en) * | 2012-11-08 | 2014-05-15 | Viking At, Llc | Compressor having a graphite piston in a glass cylinder |
WO2015100280A1 (en) | 2013-12-24 | 2015-07-02 | Viking At, Llc | Mechanically amplified smart material actuator utilizing layered web assembly |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02288380A (ja) * | 1989-04-28 | 1990-11-28 | Nippondenso Co Ltd | 圧電素子を用いたアクチュエータ装置 |
JPH07270559A (ja) * | 1994-03-31 | 1995-10-20 | Chichibu Onoda Cement Corp | 密封式超精密微動装置 |
JPH10173247A (ja) * | 1996-12-06 | 1998-06-26 | Nissan Motor Co Ltd | ピエゾアクチュエータ |
JP2002541401A (ja) * | 1999-03-30 | 2002-12-03 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | 圧電式アクチエータ |
Family Cites Families (253)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US34823A (en) * | 1862-04-01 | Improvement in steam-boilers | ||
US3144802A (en) | 1961-06-01 | 1964-08-18 | Jr Lawrence P Faber | Tuning apparatus |
US3405289A (en) | 1965-06-04 | 1968-10-08 | Gikow Emanuel | Switch |
US3414779A (en) | 1965-12-08 | 1968-12-03 | Northern Electric Co | Integrated parametric amplifier consisting of a material with both semiconductive and piezoelectric properties |
US3421109A (en) | 1967-04-19 | 1969-01-07 | Euphonics Corp | Frequency selective amplifier and oscillator circuits employing piezoelectric elements to control frequency |
US3558936A (en) | 1967-07-19 | 1971-01-26 | John J Horan | Resonant energy-conversion system |
US3548314A (en) | 1967-12-21 | 1970-12-15 | Univ Ohio | Piezoelectric pulse amplifier |
US3446902A (en) | 1968-01-08 | 1969-05-27 | Westinghouse Electric Corp | Electrode having oxygen jets to enhance performance and arc starting and stabilizing means |
US3513309A (en) | 1968-01-29 | 1970-05-19 | Michael Wahl | Piezoelectric unitary device for emitting fluorescence and amplifying radiation under stimulation in opposite directions |
US3614486A (en) | 1969-11-10 | 1971-10-19 | Physics Int Co | Lever motion multiplier driven by electroexpansive material |
US3666975A (en) | 1970-05-18 | 1972-05-30 | Ultrasonic Systems | Ultrasonic motors |
US3649857A (en) | 1970-07-30 | 1972-03-14 | Ibm | Mechanical energy storage and release device |
US3731214A (en) | 1971-04-16 | 1973-05-01 | Massachusetts Inst Technology | Generation of weakly damped electron plasma surface waves on a semiconductor: amplification and coupling of acoustic waves on an adjacent piezoelectric |
US3749946A (en) | 1971-05-27 | 1973-07-31 | Ruti J Von | Elec rical circuit for the transferring and amplification of a piezoelectric transducer signal |
CH542434A (de) | 1972-07-28 | 1973-09-30 | Kistler Instrumente Ag | Piezoelektrische Messvorrichtung |
FR2223865B1 (ja) * | 1973-03-27 | 1978-10-20 | Thomson Csf | |
US4007666A (en) | 1974-05-23 | 1977-02-15 | Pneumo Corporation | Servoactuator |
US3902084A (en) | 1974-05-30 | 1975-08-26 | Burleigh Instr | Piezoelectric electromechanical translation apparatus |
US4196652A (en) | 1974-08-19 | 1980-04-08 | Jef Raskin | Digital electronic tuner |
US3902085A (en) | 1974-11-25 | 1975-08-26 | Burleigh Instr | Electromechanical translation apparatus |
DE2507917C2 (de) | 1975-02-24 | 1986-01-02 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart | Einrichtung zur Regelung des optimalen Betriebsverhaltens einer Brennkraftmaschine |
US4044239A (en) | 1975-02-28 | 1977-08-23 | Nippon Gakki Seizo Kabushiki Kaisha | Method and apparatus for adjusting vibration frequency of vibrating object |
DE2538381A1 (de) | 1975-08-28 | 1977-03-10 | Siemens Ag | Piezoelektrischer druckaufnehmer |
US4018124A (en) | 1975-11-26 | 1977-04-19 | Rosado Ruperto L | Automatic guitar tuner for electric guitars |
JPS6014201B2 (ja) | 1975-12-01 | 1985-04-12 | 黒田精工株式会社 | 空圧デイジタルシリンダー装置 |
US4088052A (en) | 1976-11-02 | 1978-05-09 | Hedrick W David | String instrument tuning apparatus |
US4121504A (en) | 1977-01-21 | 1978-10-24 | Inovec, Inc. | Cylinder positioning systems |
DE2710935A1 (de) | 1977-03-12 | 1978-09-14 | Ibm Deutschland | Matrixdrucker mit piezoelektrisch getriebenen drucknadeln |
US4207791A (en) | 1977-06-25 | 1980-06-17 | Kabushiki Kaisha Kawai Gakki Seisakusho | Automatic tuning device |
US4157802A (en) | 1977-07-15 | 1979-06-12 | Burleigh Instruments, Inc. | Rigid thermally stable structure for supporting precision devices |
US4208636A (en) | 1977-12-16 | 1980-06-17 | Burleigh Instruments, Inc. | Laser apparatus |
DE2805175A1 (de) | 1978-02-08 | 1979-08-09 | Bosch Gmbh Robert | Einrichtung zum erfassen des spritzbeginns eines einspritzventils |
FR2425785A1 (fr) | 1978-05-08 | 1979-12-07 | France Etat | Transducteurs piezo-electriques a amplification mecanique pour tres basses frequences et antennes acoustiques |
US4214215A (en) | 1978-08-02 | 1980-07-22 | Contact Communication Corporation | Low noise-high gain JFET amplifier for a piezoelectric transducer |
US4327623A (en) | 1979-04-12 | 1982-05-04 | Nippon Gakki Seizo Kabushiki Kaisha | Reference frequency signal generator for tuning apparatus |
DE2942010A1 (de) | 1979-10-17 | 1981-05-07 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart | Kraftstoffeinspritzpumpe fuer brennkraftmaschinen |
US4318023A (en) | 1980-02-21 | 1982-03-02 | Physics International Company | Sagittally amplified piezoelectric actuator |
US4319843A (en) | 1980-02-25 | 1982-03-16 | Burleigh Instruments, Inc. | Interferometer apparatus for the direct measurement of wavelength and frequency |
US4336809A (en) | 1980-03-17 | 1982-06-29 | Burleigh Instruments, Inc. | Human and animal tissue photoradiation system and method |
US4313361A (en) | 1980-03-28 | 1982-02-02 | Kawai Musical Instruments Mfg. Co., Ltd. | Digital frequency follower for electronic musical instruments |
US4450753A (en) | 1980-05-12 | 1984-05-29 | Ford Motor Company | Electro-hydraulic proportional actuator |
DE3039967A1 (de) | 1980-10-23 | 1982-06-03 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart | Kraftstoffeinspritzanlage |
US4379335A (en) | 1980-10-28 | 1983-04-05 | Auto-Place, Inc. | Electronic controller and portable programmer system for a pneumatically-powered point-to-point robot |
CA1157142A (en) | 1981-01-09 | 1983-11-15 | Robert G. Dunn | Diaphragm design for a bender type acoustic sensor |
US4432228A (en) | 1981-01-22 | 1984-02-21 | Robert Bosch Gmbh | Fuel injection arrangement |
DE3116687C2 (de) | 1981-04-28 | 1983-05-26 | Daimler-Benz Ag, 7000 Stuttgart | Elektrisch angesteuertes Stellglied |
DE3118425A1 (de) | 1981-05-09 | 1982-12-09 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart | Einrichtung zum erfassen der den brennraeumen eines dieselmotors zugefuehrten kraftstoffmenge |
US4434753A (en) | 1981-05-18 | 1984-03-06 | Nippon Soken, Inc. | Ignition apparatus for internal combustion engine |
US4435666A (en) | 1981-05-26 | 1984-03-06 | Nippon Electric Co., Ltd. | Lever actuator comprising a longitudinal-effect electroexpansive transducer and designed to prevent actuation from degrading the actuator |
DE3122375C2 (de) | 1981-06-05 | 1983-03-03 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart | Sensoranordnung |
US4481768A (en) | 1981-08-14 | 1984-11-13 | International Robomation/Intelligence | Pneumatic control system for machines |
DE3135494A1 (de) | 1981-09-08 | 1983-03-24 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart | "kraftstoffeinspritzanlage" |
US4426907A (en) | 1981-09-10 | 1984-01-24 | Scholz Donald T | Automatic tuning device |
DE3148671A1 (de) | 1981-12-09 | 1983-07-21 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart | Kraftstoffeinspritzvorrichtung fuer brennkraftmaschinen, insbesondere fuer dieselmotoren |
US4481451A (en) | 1982-08-20 | 1984-11-06 | Johnson Service Company | Electronically controlled positioner for pneumatic actuators |
JPS5976184A (ja) | 1982-10-22 | 1984-05-01 | Hitachi Ltd | アクチユエ−タ |
JPS59171609U (ja) | 1983-04-28 | 1984-11-16 | 株式会社吉野工業所 | 棒状化粧品繰出し容器 |
US4649373A (en) | 1983-08-10 | 1987-03-10 | International Business Machines Corporation | Powered conservation system in battery powered keyboard device including a microprocessor |
JPS6040828U (ja) | 1983-08-30 | 1985-03-22 | 日信工業株式会社 | デイスクブレ−キのキヤリパ装置 |
DE3332949A1 (de) | 1983-09-13 | 1985-04-04 | Finnigan MAT GmbH, 2800 Bremen | Vorrichtung zur einstellung von spaltweiten bei spektrometern |
JPS6081568A (ja) | 1983-10-11 | 1985-05-09 | Nec Corp | 機械的増幅機構 |
US4570096A (en) | 1983-10-27 | 1986-02-11 | Nec Corporation | Electromechanical translation device comprising an electrostrictive driver of a stacked ceramic capacitor type |
US4686338A (en) | 1984-02-25 | 1987-08-11 | Kabushiki Kaisha Meidensha | Contact electrode material for vacuum interrupter and method of manufacturing the same |
JPS60180026U (ja) | 1984-05-02 | 1985-11-29 | ソニー株式会社 | キ−ボ−ド装置 |
US4763560A (en) | 1984-05-25 | 1988-08-16 | Tokyo Precision Instruments Co., Ltd. | Method and apparatus of controlling and positioning fluid actuator |
JPS60251701A (ja) | 1984-05-28 | 1985-12-12 | Nec Corp | マイクロ波スイツチ |
US4628499A (en) | 1984-06-01 | 1986-12-09 | Scientific-Atlanta, Inc. | Linear servoactuator with integrated transformer position sensor |
US4617952A (en) | 1984-07-31 | 1986-10-21 | Yamatake-Honeywell Co. Limited | Switching valve and an electro-pneumatic pressure converter utilizing the same |
US4675568A (en) | 1984-08-13 | 1987-06-23 | Nec Corporation | Mechanical amplification mechanism for electromechanical transducer |
JPS6162369A (ja) | 1984-08-30 | 1986-03-31 | Tokyo Juki Ind Co Ltd | 圧電素子を用いたアクチユエ−タ |
JPS6162370A (ja) | 1984-08-31 | 1986-03-31 | Tokyo Juki Ind Co Ltd | ピエゾモ−タ |
US4790233A (en) | 1984-09-04 | 1988-12-13 | South Bend Lathe, Inc. | Method and apparatus for controlling hydraulic systems |
DE3440942A1 (de) | 1984-11-09 | 1986-05-15 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart | Piezoelektrischer steuerblock |
US4629039A (en) | 1985-01-17 | 1986-12-16 | Nippondenso Co., Ltd | Vehicle braking control apparatus |
US4584923A (en) | 1985-03-05 | 1986-04-29 | Minnick Gregory B | Self tuning tail piece for string instruments |
JPS61150287U (ja) | 1985-03-11 | 1986-09-17 | ||
JPS61258679A (ja) | 1985-05-07 | 1986-11-17 | Nec Corp | 回転角制御装置 |
JPS61286540A (ja) | 1985-06-14 | 1986-12-17 | Nippon Denso Co Ltd | 燃料噴射制御装置 |
DE3526629A1 (de) | 1985-07-25 | 1987-02-05 | Bosch Gmbh Robert | Verteilereinspritzpumpe fuer brennkraftmaschinen |
US4736131A (en) | 1985-07-30 | 1988-04-05 | Nec Corporation | Linear motor driving device |
DE3533085A1 (de) | 1985-09-17 | 1987-03-26 | Bosch Gmbh Robert | Zumessventil zur dosierung von fluessigkeiten oder gasen |
DE3533975A1 (de) | 1985-09-24 | 1987-03-26 | Bosch Gmbh Robert | Zumessventil zur dosierung von fluessigkeiten oder gasen |
US4629926A (en) | 1985-10-21 | 1986-12-16 | Kiwi Coders Corporation | Mounting for piezoelectric bender of fluid control device |
JPS62171457A (ja) | 1986-01-21 | 1987-07-28 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | リニア・アクチユエ−タ |
JPS62206238A (ja) | 1986-03-05 | 1987-09-10 | Nippon Denso Co Ltd | 燃料噴射ポンプのパイロツト噴射装置 |
US4749897A (en) | 1986-03-12 | 1988-06-07 | Nippondenso Co., Ltd. | Driving device for piezoelectric element |
JPH0325421Y2 (ja) | 1986-03-13 | 1991-06-03 | ||
JPS62217880A (ja) | 1986-03-18 | 1987-09-25 | Omron Tateisi Electronics Co | 圧電アクチユエ−タの駆動方法 |
DE3633107A1 (de) | 1986-04-10 | 1987-10-15 | Bosch Gmbh Robert | Kraftstoffeinspritzvorrichtung fuer brennkraftmaschinen |
FR2600120B1 (fr) | 1986-06-12 | 1990-06-29 | Bertin & Cie | Procede et dispositif d'asservissement en position d'un verin pneumatique |
US4697118A (en) | 1986-08-15 | 1987-09-29 | General Electric Company | Piezoelectric switch |
US4741247A (en) | 1986-09-17 | 1988-05-03 | Rexa Corporation | Pneumatic actuator apparatus |
JPH07101021B2 (ja) | 1986-11-07 | 1995-11-01 | 日本電装株式会社 | シングルドライブ・多重ノズル式電子制御式圧電式燃料噴射装置 |
WO1988004492A1 (en) | 1986-12-03 | 1988-06-16 | Jgc Corporation | Drive unit and motor device using the same |
US4732071A (en) | 1987-02-13 | 1988-03-22 | Kawai Musical Instrument Mfg. Co., Ltd | Tuning indicator for musical instruments |
FR2614152B1 (fr) | 1987-04-14 | 1991-06-14 | Thomson Csf | Procede de compensation d'un circuit a amplificateur de charge notamment pour hydrophone piezoelectrique |
JPH0410704Y2 (ja) | 1987-04-20 | 1992-03-17 | ||
JP2525019B2 (ja) | 1987-06-05 | 1996-08-14 | アルプス電気株式会社 | 超音波リニアモ―タ |
US4874978A (en) | 1987-06-09 | 1989-10-17 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Device for magnifying displacement of piezoelectric element or the like and method of producing same |
US4979275A (en) | 1987-06-09 | 1990-12-25 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Device for magnifying displacement of piezoelectric element or the like and method for producing same |
US4847193A (en) | 1987-06-18 | 1989-07-11 | Gene-Trak Systems | Signal amplification in an assay employing a piezoelectric oscillator |
DE3722264A1 (de) | 1987-07-06 | 1989-01-19 | Bosch Gmbh Robert | Kraftstoffeinspritzanlage fuer brennkraftmaschinen |
GB8719372D0 (en) | 1987-08-15 | 1987-09-23 | Lucas Ind Plc | Fuel injection nozzle |
JP2592615B2 (ja) | 1987-09-16 | 1997-03-19 | 日本特殊陶業株式会社 | 電歪駆動装置 |
US4816713A (en) | 1987-10-09 | 1989-03-28 | Change Jr Nicholas D | Piezoelectric sensor with FET amplified output |
US4819543A (en) | 1987-10-23 | 1989-04-11 | Topworks, Inc. | Electric and pneumatic feedback controlled positioner |
US4803908A (en) | 1987-12-04 | 1989-02-14 | Skinn Neil C | Automatic musical instrument tuning system |
US4909126A (en) | 1987-12-04 | 1990-03-20 | Transperformance, Inc. | Automatic musical instrument tuning system |
JPH01152976A (ja) | 1987-12-07 | 1989-06-15 | Marcon Electron Co Ltd | リニア型圧電アクチュエータ |
JPH01161790A (ja) | 1987-12-17 | 1989-06-26 | Nec Corp | 圧電アクチュエータ用変位拡大機構 |
US4929859A (en) | 1987-12-25 | 1990-05-29 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Piezoelectric actuator having parallel arrangement of a single piezoelectric element and a pair of displacement magnification arms |
EP0322503A3 (en) | 1987-12-29 | 1991-09-25 | Daihatsu Diesel Mfg. Co., Ltd. | Fluid apparatus |
US4808874A (en) | 1988-01-06 | 1989-02-28 | Ford Aerospace Corporation | Double saggital stroke amplifier |
US4933591A (en) | 1988-01-06 | 1990-06-12 | Ford Aerospace Corporation | Double saggital pull stroke amplifier |
US4769569A (en) | 1988-01-19 | 1988-09-06 | Ford Motor Company | Piezoelectric stack motor stroke amplifier |
JPH01217982A (ja) | 1988-02-26 | 1989-08-31 | Toshiba Corp | 圧電リニアアクチュエータ |
US4999284A (en) | 1988-04-06 | 1991-03-12 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Enzymatically amplified piezoelectric specific binding assay |
US5501986A (en) | 1988-04-06 | 1996-03-26 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Piezoelectric specific binding assay with mass amplified reagents |
US5028834A (en) | 1988-07-21 | 1991-07-02 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Device for magnifying displacement of piezoelectric element and method of producing same |
IL87312A (en) | 1988-08-02 | 1992-02-16 | Zvi Orbach | Electromechanical translation apparatus of the inchworm linear motor type |
US4907748A (en) | 1988-08-12 | 1990-03-13 | Ford Motor Company | Fuel injector with silicon nozzle |
JPH0295180A (ja) | 1988-09-29 | 1990-04-05 | Canon Inc | 尺取り虫型駆動機構 |
DE3833093A1 (de) | 1988-09-29 | 1990-04-12 | Siemens Ag | Fuer verbrennungskraftmaschine vorgesehene kraftstoff-einspritzduese mit steuerbarer charakteristik des kraftstoffstrahls |
US4874979A (en) | 1988-10-03 | 1989-10-17 | Burleigh Instruments, Inc. | Electromechanical translation apparatus |
DE3838599A1 (de) | 1988-11-15 | 1990-05-17 | Bosch Gmbh Robert | Magnetventil, insbesondere fuer kraftstoffeinspritzpumpen |
US4901625A (en) | 1989-01-03 | 1990-02-20 | Increcyl, Inc. | Apparatus and method for positioning equipment |
JPH02218579A (ja) | 1989-02-20 | 1990-08-31 | Smc Corp | 積層型圧電セラミックスを用いたチャック |
US5072288A (en) | 1989-02-21 | 1991-12-10 | Cornell Research Foundation, Inc. | Microdynamic release structure |
JPH02260476A (ja) | 1989-03-30 | 1990-10-23 | Honda Motor Co Ltd | アクチュエータ |
DE3914297A1 (de) | 1989-04-29 | 1990-10-31 | Boge Ag | Regelbarer schwingungsdaempfer fuer kraftfahrzeuge |
US5115880A (en) | 1989-05-08 | 1992-05-26 | Halliburton Geophysical Services | Piezoelectric seismic vibrator with hydraulic amplifier |
US5205147A (en) | 1989-05-12 | 1993-04-27 | Fuji Electric Co., Ltd. | Pre-loaded actuator using piezoelectric element |
US5063542A (en) | 1989-05-17 | 1991-11-05 | Atlantic Richfield Company | Piezoelectric transducer with displacement amplifier |
DE3919876A1 (de) | 1989-06-19 | 1990-12-20 | Bosch Gmbh Robert | Mikroventil |
US5004946A (en) | 1989-07-06 | 1991-04-02 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Parallel four-link mechanism |
JPH03107568A (ja) | 1989-09-22 | 1991-05-07 | Aisin Seiki Co Ltd | 燃料噴射装置 |
DE3939547C2 (de) | 1989-11-30 | 1999-07-01 | Bosch Gmbh Robert | Vorrichtung zur Kraftstoffeinspritzung in Brennkraftmaschine |
US5314175A (en) | 1990-02-27 | 1994-05-24 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Wire clamping device and wire clamping method |
EP0445340B1 (de) | 1990-03-09 | 1994-12-14 | Siemens Aktiengesellschaft | Ventil mit piezoelektrischem Antrieb |
US5009142A (en) | 1990-03-26 | 1991-04-23 | Kurtz Noel T | Means and method for automatic resonance tuning |
US5065660A (en) | 1990-05-29 | 1991-11-19 | Buda Eric De | Piano tuning system |
GB9014140D0 (en) | 1990-06-25 | 1990-08-15 | Burgon Harold S | Improvement in or relating to the tuning of musical instruments |
US5038657A (en) | 1990-07-02 | 1991-08-13 | Busley Bradford M | String tensioning apparatus for a musical instrument |
DE4023311A1 (de) | 1990-07-21 | 1992-01-23 | Omicron Vakuumphysik | Verstellvorrichtung fuer mikrobewegungen |
US5239904A (en) | 1990-08-08 | 1993-08-31 | Max Co., Ltd. | Punch |
LU87794A1 (fr) | 1990-08-31 | 1991-02-18 | Hydrolux Sarl | Proportional-wegeventil in sitzbauweise |
JPH04165966A (ja) | 1990-10-30 | 1992-06-11 | Canon Inc | 圧電リニアモータ |
JPH06105568B2 (ja) | 1991-03-30 | 1994-12-21 | 日本碍子株式会社 | 避雷碍子装置 |
DE69203140T2 (de) | 1991-04-25 | 1995-11-30 | Nippon Electric Co | Verschiebungsverstärkungsmechanismus mit piezoelektrisches Element. |
US5182484A (en) | 1991-06-10 | 1993-01-26 | Rockwell International Corporation | Releasing linear actuator |
US5154207A (en) | 1991-08-02 | 1992-10-13 | Mosier Industries, Inc. | Pressure control valve and transducer package |
US5424941A (en) | 1991-08-02 | 1995-06-13 | Mosier Industries, Inc. | Apparatus and method for positioning a pneumatic actuator |
US5157256A (en) | 1991-08-08 | 1992-10-20 | Burleigh Instruments Inc. | System for exchanging samples and electrode tip units in a surface probe microscope |
US5425941A (en) | 1991-08-16 | 1995-06-20 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of Agriculture | Biological control of diseases of harvested agricultural commodities using strains of the yeast Candida oleophola |
JPH0555654A (ja) | 1991-08-26 | 1993-03-05 | Nec Corp | 圧電素子変位拡大機構 |
JPH0582852A (ja) * | 1991-09-19 | 1993-04-02 | Fujitsu Ltd | 積層型圧電アクチユエータのプレロード測定方法及びその装置 |
JPH0587189A (ja) | 1991-09-26 | 1993-04-06 | Nissan Motor Co Ltd | 振動吸収装置 |
JP2981948B2 (ja) | 1992-03-12 | 1999-11-22 | 株式会社新川 | ワイヤクランパ |
JPH05305574A (ja) | 1992-04-15 | 1993-11-19 | Nec Corp | 圧電クランプ機構 |
US5323680A (en) | 1992-05-29 | 1994-06-28 | Miller Mark D | Device and method for automatically tuning a stringed musical instrument |
DE4220177A1 (de) | 1992-06-19 | 1993-12-23 | Marco Systemanalyse Entw | Vorrichtung zur Betätigung eines Ventilelementes |
US5319257A (en) | 1992-07-13 | 1994-06-07 | Martin Marietta Energy Systems, Inc. | Unitaxial constant velocity microactuator |
EP0592030B1 (en) | 1992-10-02 | 1998-05-20 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Electromechanical displacement device and actuator suitable for use in such an electromechanical displacement device |
US5343793A (en) | 1992-10-06 | 1994-09-06 | Michael Pattie | Automatically tuned musical instrument |
US5335862A (en) | 1992-11-05 | 1994-08-09 | Elopak Systems A.G. | Discharge nozzle for a liquid filling assembly |
JP2542154B2 (ja) | 1992-11-26 | 1996-10-09 | 山一電機株式会社 | 圧電アクチェ―タ― |
US5332034A (en) | 1992-12-16 | 1994-07-26 | Carrier Corporation | Heat exchanger tube |
JP3053149B2 (ja) | 1993-01-19 | 2000-06-19 | アイシン精機株式会社 | 内燃機関の燃料噴射制御装置 |
JP3085337B2 (ja) | 1993-01-19 | 2000-09-04 | アイシン精機株式会社 | 内燃機関の燃料噴射制御装置 |
JP2616683B2 (ja) | 1993-12-28 | 1997-06-04 | 日本電気株式会社 | 変位拡大機構付圧電アクチュエータ |
JP3005783B2 (ja) | 1993-03-09 | 2000-02-07 | 株式会社新川 | ワイヤクランパ |
JP3005784B2 (ja) | 1993-03-09 | 2000-02-07 | 株式会社新川 | ワイヤクランパ |
US5410206A (en) | 1993-04-06 | 1995-04-25 | New Focus, Inc. | Piezoelectric actuator for optical alignment screws |
DE4311627B4 (de) | 1993-04-08 | 2005-08-25 | Robert Bosch Gmbh | Kraftstoffeinspritzeinrichtung für Brennkraftmaschinen |
US5500777A (en) | 1993-05-19 | 1996-03-19 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Magnetic head drive which uses independently controlled piezo-electric elements |
US5482213A (en) | 1993-05-31 | 1996-01-09 | Aisin Seiki Kabushiki Kaisha | Fuel injection valve operated by expansion and contraction of piezoelectric element |
US5332942A (en) | 1993-06-07 | 1994-07-26 | Rennex Brian G | Inchworm actuator |
DE4332124A1 (de) | 1993-09-22 | 1995-03-23 | Bosch Gmbh Robert | Kraftstoffeinspritzdüse für Brennkraftmaschinen |
JP3368567B2 (ja) | 1993-10-01 | 2003-01-20 | 財団法人神奈川科学技術アカデミー | インチワーム・アクチュエータのチャック及びその製造方法 |
US5460202A (en) | 1993-11-22 | 1995-10-24 | Landis & Gyr Powers, Inc. | Three-way piezoelectric valve |
DE4343411C2 (de) | 1993-12-18 | 2001-05-17 | Blue Chip Music Gmbh | Gitarren-Signalanalyseeinrichtung |
DE4409848A1 (de) | 1994-03-22 | 1995-10-19 | Siemens Ag | Vorrichtung zur Zumessung und Zerstäubung von Fluiden |
US5444324A (en) | 1994-07-25 | 1995-08-22 | Western Atlas International, Inc. | Mechanically amplified piezoelectric acoustic transducer |
DE69511196T2 (de) | 1994-09-29 | 2000-02-03 | Nec Corp., Tokio/Tokyo | Piezoelektrische Klemmvorrichtung mit vergrösserter Bewegung |
JP2658930B2 (ja) | 1994-12-27 | 1997-09-30 | 日本電気株式会社 | 圧電型回転駆動装置 |
DE19500706C2 (de) | 1995-01-12 | 2003-09-25 | Bosch Gmbh Robert | Zumeßventil zur Dosierung von Flüssigkeiten oder Gasen |
DE19500750C2 (de) | 1995-01-12 | 1999-07-15 | Blue Chip Music Gmbh | Verfahren zur Tonhöhenerkennung, insbesondere bei zupf- oder schlagerregten Musikinstrumenten |
US5645226A (en) | 1995-02-13 | 1997-07-08 | Siemens Automotive Corporation | Solenoid motion initiator |
US5751090A (en) | 1995-05-17 | 1998-05-12 | Burleigh Instruments Inc | Peristaltic driver apparatus |
DE19523229A1 (de) | 1995-06-27 | 1997-01-02 | Riad Dipl Ing Salim | Mikrogreifer für die Mikromontage |
JP3525313B2 (ja) | 1995-06-30 | 2004-05-10 | 太平洋セメント株式会社 | レバー変位拡大機構付位置決め装置 |
CA2226626A1 (en) | 1995-07-14 | 1997-02-06 | Stephen J. Freeland | Musical instrument self-tuning system with calibration library |
US5977467A (en) | 1995-07-14 | 1999-11-02 | Transperformance, Llc | Frequency display for an automatically tuned stringed instrument |
AU707312B2 (en) | 1995-07-14 | 1999-07-08 | Transperformance, Llc | Musical instrument self-tuning system with capo mode |
US5587536A (en) | 1995-08-17 | 1996-12-24 | Rasmussen; John | Differential pressure sensing device for pneumatic cylinders |
DE19531652A1 (de) | 1995-08-29 | 1997-05-07 | Bosch Gmbh Robert | Kraftstoffeinspritzventil für Brennkraftmaschinen |
JP3079503B2 (ja) * | 1995-09-13 | 2000-08-21 | 株式会社新川 | クランプ装置 |
FR2739936B1 (fr) | 1995-10-11 | 1997-11-14 | Snecma | Amplificateur de charge differentiel pour capteur piezoelectrique |
DE19546033A1 (de) | 1995-12-09 | 1997-06-12 | Bosch Gmbh Robert | Kraftstoffeinspritzventil für Brennkraftmaschinen |
JPH09247968A (ja) | 1996-03-06 | 1997-09-19 | Minolta Co Ltd | 電気機械変換素子を使用した駆動装置 |
SE504403C2 (sv) | 1996-03-08 | 1997-02-03 | Siemens Elema Ab | Ventil |
US5886270A (en) | 1996-04-22 | 1999-03-23 | Wynn; David S. | Electormechanical tuner for stringed instruments |
JP3745829B2 (ja) | 1996-05-15 | 2006-02-15 | 株式会社デンソー | テーパ面研削方法およびテーパ面研削装置 |
DE19624001A1 (de) | 1996-06-15 | 1997-12-18 | Bosch Gmbh Robert | Kraftstoffeinspritzvorrichtung für Brennkraftmaschinen |
US5779149A (en) | 1996-07-02 | 1998-07-14 | Siemens Automotive Corporation | Piezoelectric controlled common rail injector with hydraulic amplification of piezoelectric stroke |
DE19632871C2 (de) | 1996-08-14 | 1998-07-02 | Siemens Ag | Vorrichtung und Verfahren zum Ansteuern wenigstens eines kapazitiven Stellgliedes |
DE19632837A1 (de) | 1996-08-14 | 1998-02-19 | Siemens Ag | Vorrichtung und Verfahren zum Ansteuern wenigstens eines kapazitiven Stellgliedes |
US5883323A (en) | 1996-08-30 | 1999-03-16 | Kaufman; Jay Stephen | Sense of touch electronic tuner |
US5847387A (en) | 1996-09-10 | 1998-12-08 | Burleigh Instruments, Inc. | Support device and stage assembly for a scanned-probe microscope |
US5950668A (en) | 1996-10-09 | 1999-09-14 | Fisher Controls International, Inc. | Control valve positioners having improved operating characteristics |
US5831264A (en) | 1996-10-22 | 1998-11-03 | Burleigh Instruments, Inc. | Electrostrictive actuator for scanned-probe microscope |
US5780957A (en) | 1996-11-12 | 1998-07-14 | Meritor Light Vehicle Systems, Inc. | Moving linear piezoelectric motor for vehicle applications |
US5780956A (en) | 1996-11-12 | 1998-07-14 | Meritor Light Vehicle Systems, Inc. | Rotary piezoelectric motor for vehicle applications |
DE19735156C1 (de) | 1996-11-25 | 1999-04-29 | Fraunhofer Ges Forschung | Piezoelektrisch betätigtes Mikroventil |
US5810225A (en) | 1996-11-26 | 1998-09-22 | Andrew; Richard J. | Tool support apparatus |
JPH10248278A (ja) | 1997-03-03 | 1998-09-14 | Minolta Co Ltd | 電気機械変換素子を使用した駆動装置 |
US5907211A (en) | 1997-02-28 | 1999-05-25 | Massachusetts Institute Of Technology | High-efficiency, large stroke electromechanical actuator |
DE19712923A1 (de) | 1997-03-27 | 1998-10-01 | Bosch Gmbh Robert | Piezoelektrischer Aktor |
DE19723388C1 (de) | 1997-06-04 | 1998-07-02 | Draegerwerk Ag | Modulare Piezoventilanordnung |
US5907269A (en) * | 1997-06-06 | 1999-05-25 | Etrema Products, Inc. | Magnetostrictive clamping device |
DE19725918A1 (de) | 1997-06-19 | 1998-12-24 | Mannesmann Rexroth Ag | Elektromagnetischer Stellantrieb |
US5901896A (en) | 1997-06-26 | 1999-05-11 | Kulicke And Soffa Investments, Inc | Balanced low mass miniature wire clamp |
US6272401B1 (en) | 1997-07-23 | 2001-08-07 | Dresser Industries, Inc. | Valve positioner system |
DE19732802A1 (de) | 1997-07-30 | 1999-02-04 | Bosch Gmbh Robert | Kraftstoffeinspritzvorrichtung für Brennkraftmaschinen |
DE19739594C2 (de) | 1997-09-10 | 2001-09-06 | Daimler Chrysler Ag | Elektrostriktiver Stellantrieb |
DE19748578A1 (de) | 1997-11-04 | 1999-05-06 | Bosch Gmbh Robert | Drucksensor |
US6040643A (en) | 1997-11-20 | 2000-03-21 | Thermotrex Corporation | Linear actuator |
DE19801338C1 (de) | 1998-01-16 | 1999-06-02 | Festo Ag & Co | Vorrichtung zur gedämpften Positionierung eines in einem Zylinder verschiebbaren Kolbens an wenigstens einem Festanschlag, insbesondere zur Endlagenpositionierung |
US6104125A (en) | 1998-01-26 | 2000-08-15 | Industrial Technology Research Institute | Linear actuator |
US5875764A (en) | 1998-05-13 | 1999-03-02 | Siemens Aktiengesellschaft | Apparatus and method for valve control |
DE19821768C2 (de) | 1998-05-14 | 2000-09-07 | Siemens Ag | Dosiervorrichtung und Dosierverfahren |
JP4186135B2 (ja) | 1998-05-15 | 2008-11-26 | Smc株式会社 | シリンダ用速度制御装置 |
US6003428A (en) | 1998-07-24 | 1999-12-21 | Smc Pneumatics, Inc. | Electro-pneumatic pressure control system for welding and like apparatus |
US6305264B1 (en) | 1998-11-05 | 2001-10-23 | Smc Kabushiki Kaisha | Actuator control circuit |
US6166307A (en) | 1998-11-16 | 2000-12-26 | Caulkins; Kenneth B. | Apparatus for automating a stringed instrument |
US6291928B1 (en) | 1998-12-16 | 2001-09-18 | Active Control Experts, Inc. | High bandwidth, large stroke actuator |
JP3301405B2 (ja) | 1999-03-17 | 2002-07-15 | 株式会社村田製作所 | 圧電式加速度センサ用増幅回路 |
DE19927571A1 (de) | 1999-06-17 | 2000-12-21 | Basf Ag | Verfahren zur Herstellung von Pflanzen mit erhöhtem Gehalt an Flavonoiden und phenolischen Inhaltsstoffen |
JP3234981B2 (ja) | 1999-07-09 | 2001-12-04 | 有限会社東洋林研 | 土壌改良剤の製造装置 |
US6246157B1 (en) | 1999-08-23 | 2001-06-12 | Rockwell Science Center Llc | Push-pull high force piezoelectric linear motor |
DE19946003A1 (de) | 1999-09-25 | 2000-05-25 | Meonic Sys Eng Gmbh | Piezoelektrisch betätigtes Mikroventil |
DE19946838C1 (de) | 1999-09-30 | 2000-10-19 | Bosch Gmbh Robert | Ventil zum Steuern von Flüssigkeiten |
DE19961068C1 (de) | 1999-12-17 | 2001-01-25 | Daimler Chrysler Ag | Piezoelektrisches Aktorsystem |
DE10005477A1 (de) * | 2000-02-08 | 2001-08-09 | Kayser Herold Uwe | Verfahren und Vorrichtung zur Leistungsverstärkung von Festkörper-Aktoren |
DE10017760C1 (de) | 2000-04-10 | 2001-08-16 | Festo Ag & Co | Piezokeramischer Biegewandler sowie Verwendung des piezokeramischen Biegewandlers |
US6548938B2 (en) | 2000-04-18 | 2003-04-15 | Viking Technologies, L.C. | Apparatus having a pair of opposing surfaces driven by a piezoelectric actuator |
WO2002028766A2 (en) | 2000-10-03 | 2002-04-11 | Honeywell International Inc. | Method of trimming micro-machined electromechanical sensors (mems) devices |
US6431340B1 (en) | 2000-11-07 | 2002-08-13 | Siemens Vdo Automotive Corporation | Soft stop mechanism and method |
US6879087B2 (en) | 2002-02-06 | 2005-04-12 | Viking Technologies, L.C. | Apparatus for moving a pair of opposing surfaces in response to an electrical activation |
US6759790B1 (en) * | 2001-01-29 | 2004-07-06 | Viking Technologies, L.C. | Apparatus for moving folded-back arms having a pair of opposing surfaces in response to an electrical activation |
CA2488481C (en) | 2002-06-21 | 2011-09-06 | Viking Technologies, L.C. | Uni-body piezoelectric motor |
JP4919450B2 (ja) | 2002-07-03 | 2012-04-18 | バイキング テクノロジィーズ エル.シー. | てこ式スマートマテリアルアクチュエータ用の温度補償インサート |
US20040125472A1 (en) | 2002-12-12 | 2004-07-01 | R. Todd Belt | Actuated deformable membrane mirror |
-
2004
- 2004-04-05 DE DE112004000605T patent/DE112004000605T5/de not_active Ceased
- 2004-04-05 WO PCT/US2004/010450 patent/WO2004090999A1/en active Search and Examination
- 2004-04-05 GB GB0520040A patent/GB2416425B/en not_active Expired - Fee Related
- 2004-04-05 CN CN200480011671.2A patent/CN1781196A/zh active Pending
- 2004-04-05 US US10/818,004 patent/US7368856B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2004-04-05 JP JP2006509709A patent/JP4791957B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2004-04-05 CA CA2521307A patent/CA2521307C/en not_active Expired - Fee Related
-
2005
- 2005-06-20 US US11/156,408 patent/US7564171B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02288380A (ja) * | 1989-04-28 | 1990-11-28 | Nippondenso Co Ltd | 圧電素子を用いたアクチュエータ装置 |
JPH07270559A (ja) * | 1994-03-31 | 1995-10-20 | Chichibu Onoda Cement Corp | 密封式超精密微動装置 |
JPH10173247A (ja) * | 1996-12-06 | 1998-06-26 | Nissan Motor Co Ltd | ピエゾアクチュエータ |
JP2002541401A (ja) * | 1999-03-30 | 2002-12-03 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | 圧電式アクチエータ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE112004000605T5 (de) | 2006-03-09 |
CA2521307C (en) | 2014-07-15 |
US20050231077A1 (en) | 2005-10-20 |
US20040263025A1 (en) | 2004-12-30 |
JP2006522494A (ja) | 2006-09-28 |
GB2416425B (en) | 2007-01-03 |
GB2416425A (en) | 2006-01-25 |
US7564171B2 (en) | 2009-07-21 |
CN1781196A (zh) | 2006-05-31 |
US7368856B2 (en) | 2008-05-06 |
GB0520040D0 (en) | 2005-11-09 |
CA2521307A1 (en) | 2004-10-21 |
WO2004090999A1 (en) | 2004-10-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4791957B2 (ja) | 機能材料アクチュエータ製品からの仕事を最適化する機器および方法 | |
US6879087B2 (en) | Apparatus for moving a pair of opposing surfaces in response to an electrical activation | |
EP3044642B1 (en) | Compact versatile stick-slip piezoelectric motor | |
US8850892B2 (en) | Smart material actuator with enclosed compensator | |
CA2479847C (en) | Piezoelectric actuator for moving folded-back arms | |
US8520327B2 (en) | Optical adjustment mounts with piezoelectric inertia driver | |
US7462976B2 (en) | Smart material actuator | |
US20070296308A1 (en) | Driving device | |
CN109314474A (zh) | 超声波电机 | |
CN106911264A (zh) | 轻小型单压电叠堆驱动式双向旋转惯性作动器及作动方法 | |
JP4475633B2 (ja) | 送り装置 | |
CN115021614A (zh) | 一种预紧力可调机构和压电驱动微进给装置 | |
CN207559880U (zh) | 内置于超声电机的预压力调节装置 | |
CN116633194A (zh) | 一种精密定位用螺杆式压电执行器 | |
Headings et al. | Stiffness Controlled Piezoelectric Stick-Slip Actuator for Rapid Positioning Applications |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070405 |
|
AA91 | Notification that invitation to amend document was cancelled |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971091 Effective date: 20070424 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100831 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101130 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110712 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110722 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140729 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |