JPS61258679A - 回転角制御装置 - Google Patents
回転角制御装置Info
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- JPS61258679A JPS61258679A JP60096225A JP9622585A JPS61258679A JP S61258679 A JPS61258679 A JP S61258679A JP 60096225 A JP60096225 A JP 60096225A JP 9622585 A JP9622585 A JP 9622585A JP S61258679 A JPS61258679 A JP S61258679A
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- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 13
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 241000282693 Cercopithecidae Species 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/02—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
- H02N2/021—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors using intermittent driving, e.g. step motors, piezoleg motors
- H02N2/023—Inchworm motors
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/101—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors using intermittent driving, e.g. step motors
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は回転体に関し、特に圧電アクチュエータにより
駆動する回転体に関する。
駆動する回転体に関する。
従来、この種の回転体はステッピングモータなどのよう
に電磁気力を駆動力として用いtものでめるO 〔発明が解決しようとする問題点〕 上述した従来の回転体は電磁気を利用するため電気機械
変換効率が悪く電力消費量が多い欠点がある。また、精
密な位置決めt−aiとする用途では、コイルと永久磁
石の大きさをあまり小さくできないため微小回転角の制
御が難しい欠点がある。
に電磁気力を駆動力として用いtものでめるO 〔発明が解決しようとする問題点〕 上述した従来の回転体は電磁気を利用するため電気機械
変換効率が悪く電力消費量が多い欠点がある。また、精
密な位置決めt−aiとする用途では、コイルと永久磁
石の大きさをあまり小さくできないため微小回転角の制
御が難しい欠点がある。
本発明の回転体は2本のアーム間會ヒンジを介してもう
1本のアームと電歪効果素子とで並列に接続したもの2
組を別の電歪効果素子を挾んで左右対称に接続した構造
を有する圧電アクチーエータ七回転軸を有する円板の外
周部分の一部が圧電アクチェエータの4本のアームの間
七貫くよりに位置せしめた構造を有している。
1本のアームと電歪効果素子とで並列に接続したもの2
組を別の電歪効果素子を挾んで左右対称に接続した構造
を有する圧電アクチーエータ七回転軸を有する円板の外
周部分の一部が圧電アクチェエータの4本のアームの間
七貫くよりに位置せしめた構造を有している。
次に本発明について図面を参照して説明する。
第1図(a)は本発明の圧電アクチェエータの例を示す
正面図である。申)は同上の側面図である。
正面図である。申)は同上の側面図である。
第2図は本発明の回転体の例を示す図である。
第3図(a)から(e)は動作原理を示す図である。本
発明の回転体は駆動部に圧電アクチュエータを用いて回
転軸わ有する円板を回転させる構成となっている。第1
図(a)において、アームlと2はヒンジ3と4そ介し
てアーム8で接続されており、とンジ5と6を介して電
歪効果素子7で接続されている。以下これ全クランプ素
子と呼ぶ。いま、11歪効果素子7に電気信号?加える
と伸びの歪み金主じこの歪みがとンジ5と6を介してア
ーム1と2へ伝達される。伝達され友歪みはヒンジ3と
5とアーム1と8およびヒンジ4と6とアーム2と8に
よってテコの原理により増幅拡大される。
発明の回転体は駆動部に圧電アクチュエータを用いて回
転軸わ有する円板を回転させる構成となっている。第1
図(a)において、アームlと2はヒンジ3と4そ介し
てアーム8で接続されており、とンジ5と6を介して電
歪効果素子7で接続されている。以下これ全クランプ素
子と呼ぶ。いま、11歪効果素子7に電気信号?加える
と伸びの歪み金主じこの歪みがとンジ5と6を介してア
ーム1と2へ伝達される。伝達され友歪みはヒンジ3と
5とアーム1と8およびヒンジ4と6とアーム2と8に
よってテコの原理により増幅拡大される。
かかる動作を経てアーム1と2の先端部が互いに近づく
方向へ動Inたかもピンセットで物を挾むが如きクラン
プ動作tする。電歪効果素子7へ加えた電気信号を取り
除けばアーム1と2は元の位置に戻る。WE1図世)に
おいてクランプ素子9と10は電歪効果素子11で左右
対称に接続されてお9.クランプ素子10は固定内子1
2と接続されている。いま、!歪効果素子11に電気信
号を加えると伸びの歪みを生じクランプ素子9と10の
間隔は広がる方向へ動き、!気信号を取り除けば元の位
置へ戻る。かくして本発明の圧電アクチェエータが完成
する。第2図において回転軸14?有する円板13の外
周部分の一部が前記圧電アクチェエータのクランプ素子
9と10の4本のアーム金賞くよう位置せしめ、固定抱
子12によって固定されている。回転軸14は軸受け1
5で支えられてお9回転軸14は自由に動くようになっ
ている。
方向へ動Inたかもピンセットで物を挾むが如きクラン
プ動作tする。電歪効果素子7へ加えた電気信号を取り
除けばアーム1と2は元の位置に戻る。WE1図世)に
おいてクランプ素子9と10は電歪効果素子11で左右
対称に接続されてお9.クランプ素子10は固定内子1
2と接続されている。いま、!歪効果素子11に電気信
号を加えると伸びの歪みを生じクランプ素子9と10の
間隔は広がる方向へ動き、!気信号を取り除けば元の位
置へ戻る。かくして本発明の圧電アクチェエータが完成
する。第2図において回転軸14?有する円板13の外
周部分の一部が前記圧電アクチェエータのクランプ素子
9と10の4本のアーム金賞くよう位置せしめ、固定抱
子12によって固定されている。回転軸14は軸受け1
5で支えられてお9回転軸14は自由に動くようになっ
ている。
次に第3図により1#B作原理を説明する。第3図はク
ランプ素子9と10.電歪効果素子111円板13の一
連の動作が(a)からφ)へ、(b)から(C)へ。
ランプ素子9と10.電歪効果素子111円板13の一
連の動作が(a)からφ)へ、(b)から(C)へ。
(C)から(d)へ(d)から(e)へt (e)a>
ら(a)ヘト<り返すことを示している。(a)はクラ
ンプ素子9が円板13會クラングし、電歪効果素子11
はノーマルな状態であり、クランプ素子10は円板13
ffiクランプしていない状態を示す。φ)へ移ると電
歪効果素子11へ電気信号が加えられ伸びの歪みを生じ
る。
ら(a)ヘト<り返すことを示している。(a)はクラ
ンプ素子9が円板13會クラングし、電歪効果素子11
はノーマルな状態であり、クランプ素子10は円板13
ffiクランプしていない状態を示す。φ)へ移ると電
歪効果素子11へ電気信号が加えられ伸びの歪みを生じ
る。
その他は(a)と同じである。(C)へ移るとクランプ
素子10が円板13をクランプする。その他はφ)と同
じである。(d)へ移るとクランプ素子9のクランプ状
態が解除され、同時に電歪効果素子11に加わっていた
電気信号が取り除かれノーマルな状態へ戻る。その他は
(C)と同じである。(e)へ移るとクランプ素子9が
円板13t−クランプする。その他は(d)と同じであ
る。次にま*(a)へ戻り上述した一連の動作がくり返
され9円板全左方向へ送り、動かすことができる。クラ
ンプ素子9と10のクランプ圧力は第1図の電歪効果素
子7に加える電気信号電圧を適当に選ぶことによって自
由に選択でき、動作周期は電気信号の周期全適当に選ぶ
ことによって自由に選択できる。電歪効果素子11の伸
び歪みの大きさは同素子に加える電気信号の電圧上適当
に選ぶ仁とにより自由に選択でき、動作周期は電気信号
の周期全適当に選ぶことによって自由に選択できる。ま
几9円板七動かす方向はクランプ素子9と10で円板1
3t−クランプするタイミングを変えることによって左
、右いずれの方向でも選択できる。なお、停電などの際
に円板を固定しておき逢い場合は第1図(a)において
アーム8と電歪効果素子7の位置全入れ替え、クランプ
素子9と10が定常状態で第2図の円板13全クランプ
しているようにあらかじめ設定しておけばよい。
素子10が円板13をクランプする。その他はφ)と同
じである。(d)へ移るとクランプ素子9のクランプ状
態が解除され、同時に電歪効果素子11に加わっていた
電気信号が取り除かれノーマルな状態へ戻る。その他は
(C)と同じである。(e)へ移るとクランプ素子9が
円板13t−クランプする。その他は(d)と同じであ
る。次にま*(a)へ戻り上述した一連の動作がくり返
され9円板全左方向へ送り、動かすことができる。クラ
ンプ素子9と10のクランプ圧力は第1図の電歪効果素
子7に加える電気信号電圧を適当に選ぶことによって自
由に選択でき、動作周期は電気信号の周期全適当に選ぶ
ことによって自由に選択できる。電歪効果素子11の伸
び歪みの大きさは同素子に加える電気信号の電圧上適当
に選ぶ仁とにより自由に選択でき、動作周期は電気信号
の周期全適当に選ぶことによって自由に選択できる。ま
几9円板七動かす方向はクランプ素子9と10で円板1
3t−クランプするタイミングを変えることによって左
、右いずれの方向でも選択できる。なお、停電などの際
に円板を固定しておき逢い場合は第1図(a)において
アーム8と電歪効果素子7の位置全入れ替え、クランプ
素子9と10が定常状態で第2図の円板13全クランプ
しているようにあらかじめ設定しておけばよい。
電歪効果素子にNEC積層圧電セラミックアクチェエー
タ素子を用い円板の直径が5anのものを用いれば9回
転体の回転角度t−1000分の数度まで制御でき、毎
分300回転速度が得られ、電気機械変換効率が従来の
電磁気力全利用した回転体の約5倍まで改善される。ま
た、回転方向も左右自在に変えることができ2回転速度
も円板の直径を適当に選ぶことによって選択でき9回転
トルクも大きく、急速動作、急停止が可能で、バックラ
ッシユも少なく更に従来の圧電セラミックアクチェエー
タに比ベゼμから50Vの比較的低い電圧で駆動できる
メリットがある。ま友従来のステッピングモータやダイ
レクトドライブモータよりも安価にできる可能性がある
。
タ素子を用い円板の直径が5anのものを用いれば9回
転体の回転角度t−1000分の数度まで制御でき、毎
分300回転速度が得られ、電気機械変換効率が従来の
電磁気力全利用した回転体の約5倍まで改善される。ま
た、回転方向も左右自在に変えることができ2回転速度
も円板の直径を適当に選ぶことによって選択でき9回転
トルクも大きく、急速動作、急停止が可能で、バックラ
ッシユも少なく更に従来の圧電セラミックアクチェエー
タに比ベゼμから50Vの比較的低い電圧で駆動できる
メリットがある。ま友従来のステッピングモータやダイ
レクトドライブモータよりも安価にできる可能性がある
。
第1図(a)は本発明の圧電アクチスエータの例全示す
正面図である。第1V(b)は同上の側面図である。第
2図は本発明の回転体の例を示す図である。 第3図(a)から(e)は動作原理全示す図である。 1.2.8・・・アーム、3,4,5.6・・・ヒンジ
、7.11・・・電歪素子、9.10・・・クランプ素
子、12・・・固定端子、13・・・円板、14・・・
回転軸、15・・・軸受け rz −−−−−・」L端子 f3−−−−一円級 14 〜−−−−回転軸 f5−−−−一軸会け 83図 teノ
正面図である。第1V(b)は同上の側面図である。第
2図は本発明の回転体の例を示す図である。 第3図(a)から(e)は動作原理全示す図である。 1.2.8・・・アーム、3,4,5.6・・・ヒンジ
、7.11・・・電歪素子、9.10・・・クランプ素
子、12・・・固定端子、13・・・円板、14・・・
回転軸、15・・・軸受け rz −−−−−・」L端子 f3−−−−一円級 14 〜−−−−回転軸 f5−−−−一軸会け 83図 teノ
Claims (1)
- 2本のアーム間をヒンジを介してもう1本のアームと
電歪効果素子とで並列に接続したもの2組を別の電歪効
果素子を挾んで左右対称に接続した構造を有する圧電ア
クチュエータを回転軸を有する円板の外周部分の一部が
圧電アクチュエータの4本のアームの間を貫くように位
置せしめたことを特徴とする回転体。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60096225A JPS61258679A (ja) | 1985-05-07 | 1985-05-07 | 回転角制御装置 |
US06/860,392 US4714855A (en) | 1985-05-07 | 1986-05-07 | Piezo-electric actuator and stepping device using same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60096225A JPS61258679A (ja) | 1985-05-07 | 1985-05-07 | 回転角制御装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61258679A true JPS61258679A (ja) | 1986-11-17 |
JPH0528071B2 JPH0528071B2 (ja) | 1993-04-23 |
Family
ID=14159289
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP60096225A Granted JPS61258679A (ja) | 1985-05-07 | 1985-05-07 | 回転角制御装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4714855A (ja) |
JP (1) | JPS61258679A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02303367A (ja) * | 1989-05-17 | 1990-12-17 | Ckd Corp | 圧電または磁歪素子を用いたアクチュエータ |
US5712524A (en) * | 1994-12-27 | 1998-01-27 | Nec Corporation | Piezoelectric rotation driving apparatus |
Families Citing this family (41)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2525019B2 (ja) * | 1987-06-05 | 1996-08-14 | アルプス電気株式会社 | 超音波リニアモ―タ |
JPH0295180A (ja) * | 1988-09-29 | 1990-04-05 | Canon Inc | 尺取り虫型駆動機構 |
US5049775A (en) * | 1988-09-30 | 1991-09-17 | Boston University | Integrated micromechanical piezoelectric motor |
US5314175A (en) * | 1990-02-27 | 1994-05-24 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Wire clamping device and wire clamping method |
US5017820A (en) * | 1990-04-23 | 1991-05-21 | Rockwell International Corporation | Piezoelectric rotary union system |
US5068566A (en) * | 1990-06-04 | 1991-11-26 | Rockwell International Corporation | Electric traction motor |
JPH04275850A (ja) * | 1991-02-28 | 1992-10-01 | Nec Corp | 位置決め機構 |
US5319257A (en) * | 1992-07-13 | 1994-06-07 | Martin Marietta Energy Systems, Inc. | Unitaxial constant velocity microactuator |
EP0592030B1 (en) * | 1992-10-02 | 1998-05-20 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Electromechanical displacement device and actuator suitable for use in such an electromechanical displacement device |
US5410206A (en) * | 1993-04-06 | 1995-04-25 | New Focus, Inc. | Piezoelectric actuator for optical alignment screws |
FR2721675A1 (fr) * | 1994-06-27 | 1995-12-29 | Serge Prat | Dispositif d'entraînement en rotation utilisant plusieurs vérins de micro déplacements tangentiels. |
NL1001059C2 (nl) * | 1995-08-25 | 1997-02-27 | Stichting Fund Ond Material | Piëzo-elektrische motor. |
US5780956A (en) * | 1996-11-12 | 1998-07-14 | Meritor Light Vehicle Systems, Inc. | Rotary piezoelectric motor for vehicle applications |
FR2767980B1 (fr) * | 1997-09-03 | 1999-11-26 | Sfim Ind | Perfectionnements aux moteurs a vibrations |
US6104125A (en) * | 1998-01-26 | 2000-08-15 | Industrial Technology Research Institute | Linear actuator |
SE515985C2 (sv) * | 1999-06-13 | 2001-11-05 | Nanofactory Instruments Ab | Anordning för mikropositionering av objekt genom användning av mekanisk tröghet |
US6246157B1 (en) * | 1999-08-23 | 2001-06-12 | Rockwell Science Center Llc | Push-pull high force piezoelectric linear motor |
IL137206A0 (en) * | 1999-10-31 | 2001-07-24 | Nanomotion Ltd | Piezoelectric motors and motor driving configurations |
US6836056B2 (en) * | 2000-02-04 | 2004-12-28 | Viking Technologies, L.C. | Linear motor having piezo actuators |
US6518689B2 (en) * | 2000-02-18 | 2003-02-11 | Honeywell Federal Manufacturing & Technologies, Llc | Piezoelectric wave motor |
US6437226B2 (en) | 2000-03-07 | 2002-08-20 | Viking Technologies, Inc. | Method and system for automatically tuning a stringed instrument |
US6717332B2 (en) | 2000-04-18 | 2004-04-06 | Viking Technologies, L.C. | Apparatus having a support structure and actuator |
US6548938B2 (en) | 2000-04-18 | 2003-04-15 | Viking Technologies, L.C. | Apparatus having a pair of opposing surfaces driven by a piezoelectric actuator |
US6390104B1 (en) * | 2000-05-19 | 2002-05-21 | Steven P. Gagnon | Denture wash |
US6429573B2 (en) | 2000-06-23 | 2002-08-06 | The Penn State Research Foundation | Smart material motor with mechanical diodes |
US6879087B2 (en) | 2002-02-06 | 2005-04-12 | Viking Technologies, L.C. | Apparatus for moving a pair of opposing surfaces in response to an electrical activation |
US6759790B1 (en) | 2001-01-29 | 2004-07-06 | Viking Technologies, L.C. | Apparatus for moving folded-back arms having a pair of opposing surfaces in response to an electrical activation |
US6388364B1 (en) | 2001-03-15 | 2002-05-14 | Optovation (Canada) Corp. | Piezoelectric rotator |
CA2488481C (en) * | 2002-06-21 | 2011-09-06 | Viking Technologies, L.C. | Uni-body piezoelectric motor |
GB2416425B (en) | 2003-04-04 | 2007-01-03 | Viking Technologies Lc | Apparatus and process for optimizing work from a smart material actuator product |
US7196453B2 (en) * | 2005-05-23 | 2007-03-27 | United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army | High-efficiency radial piezoelectric motor |
JP4511437B2 (ja) * | 2005-09-09 | 2010-07-28 | Necトーキン株式会社 | 音響信号発生用圧電装置 |
EP2122702B1 (en) * | 2007-01-18 | 2015-08-26 | Newport Corporation | Optical adjustment mounts with piezoelectric inertia driver |
EP2112759A3 (de) * | 2008-04-21 | 2011-09-07 | Helmut Wurm | Piezoelektrischer Motor |
DE102008034285A1 (de) * | 2008-07-22 | 2010-02-04 | Carl Zeiss Smt Ag | Aktuator zur hochpräzisen Positionierung bzw. Manipulation von Komponenten und Projektionsbelichtungsanlage für die Mikrolithographie |
EP2593826A4 (en) | 2010-07-15 | 2014-12-17 | Newport Corp | ADJUSTABLE OPTICAL SUPPORTS ENSURING A RETURN TO THE ABSOLUTE POSITION |
CN105143946B (zh) * | 2013-03-26 | 2017-07-04 | 富士胶片株式会社 | 摄像透镜以及摄像装置 |
US9312790B2 (en) | 2013-09-13 | 2016-04-12 | Physik Instrumente (Pi) Gmbh & Co. Kg | Compact versatile stick-slip piezoelectric motor |
US9425711B2 (en) | 2014-04-15 | 2016-08-23 | Newport Corporation | Integral preload mechanism for piezoelectric actuator |
CN107210687A (zh) | 2015-01-29 | 2017-09-26 | 新港公司 | 集成式微微型电动机座架 |
US11482658B1 (en) | 2018-06-06 | 2022-10-25 | Government Of The United States As Represented By The Secretary Of The Air Force | Piezoelectric rotary optical mount |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS602081A (ja) * | 1983-06-16 | 1985-01-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 回転駆動アクチユエ−タ |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3666975A (en) * | 1970-05-18 | 1972-05-30 | Ultrasonic Systems | Ultrasonic motors |
US4219755A (en) * | 1977-03-18 | 1980-08-26 | Physics International Company | Electromotive actuator |
US4547086A (en) * | 1982-12-06 | 1985-10-15 | Nec Corporation | Piezoelectrically driven printing mechanism for dot matrix printers |
-
1985
- 1985-05-07 JP JP60096225A patent/JPS61258679A/ja active Granted
-
1986
- 1986-05-07 US US06/860,392 patent/US4714855A/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS602081A (ja) * | 1983-06-16 | 1985-01-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 回転駆動アクチユエ−タ |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02303367A (ja) * | 1989-05-17 | 1990-12-17 | Ckd Corp | 圧電または磁歪素子を用いたアクチュエータ |
US5712524A (en) * | 1994-12-27 | 1998-01-27 | Nec Corporation | Piezoelectric rotation driving apparatus |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0528071B2 (ja) | 1993-04-23 |
US4714855A (en) | 1987-12-22 |
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