JP4663053B2 - インジウムの回収方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、インジウム−錫酸化物(ITO)ターゲット等の製造時に発生する高純度水酸化インジウムスクラップから電解採取によって直接インジウムを回収する方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、酸化インジウム−酸化錫(ITO)は液晶表示装置の透明導電性薄膜やガスセンサーなどに広く使用されているが、多くの場合スパッタリング法による薄膜形成手段を用いて基板等の上に薄膜が形成されている。
このスパッタリング法は薄膜形成手段として優れた方法であり、スパッタリングターゲットを用いて、例えば透明導電性薄膜が形成されている。このターゲットを製造する場合には、高純度のインジウム及び錫の化合物が使用される。具体的にはインジウム原材料として、粒度を調整した高純度のインジウム水酸化物が使用される。
【0003】
ところが、このような粒度を調整した高純度のインジウム水酸化物でも、粒径が規格外のものが当然生ずるわけで、これを篩い分けし、規格の範囲に合致した粒径のもののみが使用される。
したがって、篩い分けされた水酸化インジウムがスクラップとして残るが、このような材料は高純度材が使用されており、価格も高いので、一般にこのスクラップ材からインジウムを回収することが行われている。
【0004】
従来、このインジウム回収方法として、酸溶解法、イオン交換法、溶媒抽出法などの湿式精製を組み合わせた方法が用いられている。例えば、スクラップの酸化焙焼後、洗浄及び粉砕後、硝酸に溶解し、溶解液に硫化水素を通して、錫、鉛、銅などの不純物を硫化物として沈殿除去した後、これにアンモニアを加えて中和し、水酸化インジウムとして回収する方法である。
しかし、この方法によって得られた水酸化インジウムはろ過性が悪く操作に長時間を要し、Si、Al等の不純物が多く、また生成する水酸化インジウムはその中和条件及び熟成条件等により、粒径や粒度分布が変動するため、その後ITOターゲットを製造する際に、ITOターゲットの特性を安定して維持できないという問題があった。
【0005】
このような中で、本発明者は先に、ITO作製段階で発生するスクラップ等のインジウムを含有する物質を、予め750〜1200°Cで還元性ガスにより還元して金属インジウムとした後、該インジウムを電解精製するインジウムの回収方法を提案した(特開平7−145432号公報)。これによれば、高純度のインジウムを効率良く安定して回収することが可能となった。
しかしながら、高純度水酸化インジウムのスクラップから出発した材料の回収手段としては、迂回した製造工程を通っているに等しく、能率の悪さは否めない。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記の問題を解決するために、ターゲット等の製造時に発生する高純度水酸化インジウムスクラップから電解採取によって直接インジウムを回収する方法を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明は、
1 水酸化インジウムスクラップを硫酸で溶解して硫酸インジウム電解液とした後、直接インジウムを電解採取することを特徴とするインジウムの回収方法
2 電解開始時のインジウム濃度を50〜250g/Lに調整することを特徴とする上記1に記載する電解採取によるインジウムの回収方法
3 電解終了時のインジウム濃度を10〜50g/Lに調整することを特徴とする上記1又は2に記載する電解採取によるインジウムの回収方法
4 電解槽のアノードとして不溶性貴金属酸化物アノードを使用し、カソードとしてチタン板を使用することを特徴とする上記1〜3のそれぞれに記載する電解採取によるインジウムの回収方法
5 水酸化ナトリウム水溶液により電解液のpHを1.0〜2.3に調整することを特徴とする上記1〜4のそれぞれに記載する電解採取によるインジウムの回収方法
6 電解液のpHを1.5〜2.0に調整することを特徴とする上記5に記載する電解採取によるインジウムの回収方法
7 電解後液中のインジウムイオンを水酸化ナトリウムで中和し水酸化インジウムとして回収し、この水酸化インジウムを原料として再使用することを特徴とする上記1〜6のそれぞれに記載する電解採取によるインジウムの回収方法
8 電流密度を0.1〜2.0A/dm2に調整することを特徴とする上記1〜7のそれぞれに記載する電解採取によるインジウムの回収方法
9 電解温度を5〜50°Cに調整することを特徴とする上記1〜8のそれぞれに記載する電解採取によるインジウムの回収方法
10 電解温度を30〜40°Cに調整することを特徴とする上記1〜8のそれぞれに記載する電解採取によるインジウムの回収方法。
、を提供する。
【0008】
【発明の実施の形態】
本発明は、水酸化インジウムスクラップを硫酸で溶解して硫酸インジウム電解液とした後、直接インジウムを電解採取するものであり、電解開始時の電解液中のインジウム濃度は50〜250g/Lに調整する。
インジウム濃度50g/L未満では、電解採取における能率が低下するので好ましくない。またインジウム濃度が250g/Lを超えると飽和してしまい溶解しない。したがって、電解液中のインジウム濃度50〜250g/Lとして電解するのが良い。
【0009】
電解槽のアノードとしては、不溶性貴金属酸化物アノードを使用するのが良い。またカソードとしてチタン板を使用する。いずれの場合も電解液の汚染を防止するとともに、電流効率を上げることができる。
電解液のpHは、水酸化ナトリウム水溶液を添加することにより1.0〜2.3に調整する。pH1.0未満ではカソードでの水素発生が多くなり、電流効率が低下する。またpH2.3を超えるとInが水酸化物となって沈殿するため好ましくない。したがって、pH1.0〜2.3の範囲とするのが良い。好ましくは電解液のpHを1.5〜2.0に調整する。
【0010】
電解条件として、電流密度は0.1〜2.0A/dm2に調整する。電流密度0.1A/dm2未満ではIn回収量が少ないため、生産性の上で好ましくない。また、電流密度2.0A/dm2を超えると、カソードでの水素発生が多くなり電流効率が低下するので好ましくない。したがって、電流密度は0.1〜2.0A/dm2に調整して電解する。
また、電解温度は5〜50°Cに調整して電解する。電解温度5°C未満では電解液の中和により発生する硫酸ナトリウムの結晶が配管を詰まらせ、また電解温度が50°Cを超えるとミストが多くなり、また電解槽に使用できる部材の材質が限られてくるので好ましくない。したがって、電解温度は5〜50°Cとする。好ましくは、電解温度を30〜40°Cに調整して行うのが良い。
【0011】
電解後液は、該後液中のインジウムイオンを水酸化ナトリウムで中和し水酸化インジウムとして回収し、この水酸化インジウムを原料として再使用する。これは、本発明の大きな一つの特徴であり、回収工程においてインジウムのロスが極めて少ないという特徴がある。
また、電解終了時のインジウム濃度を10〜50g/Lに調整するのが好ましい。電解終了時のインジウム濃度を10g/L未満とすると、上記電解採取によるインジウム回収の作業能率が劣り、また電解終了時のインジウム濃度が50g/Lを超えると、上記水酸化ナトリウムの中和による水酸化インジウム回収工程で付随的に析出する硫酸ナトリウムの量が増大し、これが回収装置の配管の詰まりを生起するので、好ましくない。
したがって、電解終了時のインジウム濃度は10〜50g/Lに調整するのが、望ましい。
【0012】
【実施例】
次に、実施例について説明する。なお、本実施例は発明の一例を示すためのものであり、本発明はこれらの実施例に制限されるものではない。すなわち、本発明の技術思想に含まれる他の態様及び変形を含むものである。
(実施例1)
ITO製造工程で発生した水酸化インジウムの粒径が基準値に満たないスクラップ450kgを乾燥後、濃硫酸510kgで溶解し、ベッセルに貯蔵した。
次に、電解槽のアノードとして不溶性貴金属酸化物アノード(DSA)を、カソードとしてチタン板をセットした。そして、前記ベッセル中の電解液を電解槽に張った。電解液は一部純水で希釈して、液量を2.7m3とした。
この時の電解液中のインジウムイオン、鉄イオン、銅イオン、酸濃度及び電解液の温度は表1に示す通りである。
【0013】
【表1】
【0014】
次に、この硫酸インジウム電解溶液を、表2に示す条件で電解した。電解液のpH調整には、250g/Lの水酸化ナトリウム水溶液を使用した。積算電流が246.3kAHrで電解を停止し、電着インジウムを回収した。
回収したインジウムは351.7kgであった。また、この時の電流効率は89.4%であった。
【0015】
【表2】
【0016】
電解処理後の液組成は、表3に示す通りである。この電解後液に水酸化ナトリウムを加えて、pHを7〜8に調整し、硫酸インジウムを水酸化インジウムとして濾過回収した。そして回収した水酸化インジウムは次回以降のロットで原料とし、再度硫酸で溶解した。
以上の工程に示すように、本発明の実施例1の方法により、効率的にインジウムを回収することができる。
【0017】
【表3】
【0018】
(実施例2)
実施例1と同様に、ITO製造工程で発生した水酸化インジウムの粒径が基準値に満たないスクラップ450kgを乾燥後、濃硫酸520kgで溶解し、ベッセルに貯蔵した。
次に、電解槽のアノードとして不溶性貴金属酸化物アノード(DSA)を、カソードとしてチタン板をセットした。そして、前記ベッセル中の電解液を電解槽に張った。電解液は一部純水で希釈して、液量を2.7m3とした。
この時の電解液中のインジウムイオン、鉄イオン、銅イオン、酸濃度及び電解液の温度は表4に示す通りである。
【0019】
【表4】
【0020】
次に、この硫酸インジウム電解溶液を、表5に示す条件で電解した。電解液のpH調整には、250g/Lの水酸化ナトリウム水溶液を使用した。積算電流が247.7kAHrで電解を停止し、電着インジウムを回収した。
回収したインジウムは317.0kgであった。また、この時の電流効率は89.6%であった。
【0021】
【表5】
【0022】
電解処理後の液組成は、表6に示す通りである。この電解後液に水酸化ナトリウムを加えて、pHを7〜8に調整し、硫酸インジウムを水酸化インジウムとして濾過回収した。そして回収した水酸化インジウムは次回以降のロットで原料とし、再度硫酸で溶解した。実施例1と同様に、本発明の実施例2の方法により、効率的にインジウムを回収することができる。
【0023】
【表6】
【0024】
【発明の効果】
本発明は、インジウム−錫酸化物(ITO)ターゲット等の製造時に発生する高純度水酸化インジウムスクラップから、電解採取によって直接インジウムを効率よく回収することができる優れた効果を有する。
Claims (10)
- 水酸化インジウムスクラップを硫酸で溶解して硫酸インジウム電解液とした後、電解液のpHを調整し、この電解液を電解することにより、インジウムを電解採取することを特徴とするインジウムの回収方法。
- 電解開始時のインジウム濃度を50〜250g/Lに調整することを特徴とする請求項1に記載する電解採取によるインジウムの回収方法。
- 電解終了時のインジウム濃度を10〜50g/Lに調整することを特徴とする請求項1又は2に記載する電解採取によるインジウムの回収方法。
- 電解槽のアノードとして不溶性貴金属酸化物アノードを使用し、カソードとしてチタン板を使用することを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載する電解採取によるインジウムの回収方法。
- 水酸化ナトリウム水溶液により電解液のpHを1.0〜2.3に調整することを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載する電解採取によるインジウムの回収方法。
- 電解液のpHを1.5〜2.0に調整することを特徴とする請求項5に記載する電解採取によるインジウムの回収方法。
- 電解後液中のインジウムイオンを水酸化ナトリウムで中和し水酸化インジウムとして回収し、この水酸化インジウムを原料として再使用することを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載する電解採取によるインジウムの回収方法。
- 電流密度を0.1〜2.0A/dm2に調整することを特徴とする請求項1〜7のいずれかに記載する電解採取によるインジウムの回収方法。
- 電解温度を5〜50°Cに調整することを特徴とする請求項1〜8のいずれかに記載する電解採取によるインジウムの回収方法。
- 電解温度を30〜40°Cに調整することを特徴とする請求項1〜8のいずれかに記載する電解採取によるインジウムの回収方法。
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