JP4525861B2 - 弾性波フィルタ装置 - Google Patents
弾性波フィルタ装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4525861B2 JP4525861B2 JP2009547483A JP2009547483A JP4525861B2 JP 4525861 B2 JP4525861 B2 JP 4525861B2 JP 2009547483 A JP2009547483 A JP 2009547483A JP 2009547483 A JP2009547483 A JP 2009547483A JP 4525861 B2 JP4525861 B2 JP 4525861B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- narrow pitch
- idt
- idt electrode
- electrode fingers
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 22
- 230000001052 transient effect Effects 0.000 claims description 20
- 230000007704 transition Effects 0.000 claims description 16
- 239000011295 pitch Substances 0.000 description 287
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 47
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 47
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 21
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 19
- 238000001465 metallisation Methods 0.000 description 4
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 238000010295 mobile communication Methods 0.000 description 2
- 244000126211 Hericium coralloides Species 0.000 description 1
- 229910013641 LiNbO 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000013016 damping Methods 0.000 description 1
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
- H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
- H03H9/14544—Transducers of particular shape or position
- H03H9/14576—Transducers whereby only the last fingers have different characteristics with respect to the other fingers, e.g. different shape, thickness or material, split finger
- H03H9/14582—Transducers whereby only the last fingers have different characteristics with respect to the other fingers, e.g. different shape, thickness or material, split finger the last fingers having a different pitch
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
- H03H9/0023—Networks for transforming balanced signals into unbalanced signals and vice versa, e.g. baluns, or networks having balanced input and output
- H03H9/0028—Networks for transforming balanced signals into unbalanced signals and vice versa, e.g. baluns, or networks having balanced input and output using surface acoustic wave devices
- H03H9/0047—Networks for transforming balanced signals into unbalanced signals and vice versa, e.g. baluns, or networks having balanced input and output using surface acoustic wave devices having two acoustic tracks
- H03H9/0066—Networks for transforming balanced signals into unbalanced signals and vice versa, e.g. baluns, or networks having balanced input and output using surface acoustic wave devices having two acoustic tracks being electrically parallel
- H03H9/0071—Networks for transforming balanced signals into unbalanced signals and vice versa, e.g. baluns, or networks having balanced input and output using surface acoustic wave devices having two acoustic tracks being electrically parallel the balanced terminals being on the same side of the tracks
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
- H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
- H03H9/14517—Means for weighting
- H03H9/14529—Distributed tap
- H03H9/14535—Position weighting
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
- H03H9/46—Filters
- H03H9/64—Filters using surface acoustic waves
- H03H9/6423—Means for obtaining a particular transfer characteristic
- H03H9/6433—Coupled resonator filters
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Description
本発明のさらに別の特定の局面では、第1のIDT電極の狭ピッチ部における電極指の本数と、第3のIDT電極の狭ピッチ部における電極指の本数とが相互に異なっている。
本実施形態に係る弾性波フィルタ装置1は、平衡−不平衡変換機能を有するUMTS−band2用受信フィルタである。弾性波フィルタ装置1では、不平衡信号端子2のインピーダンスが50Ω、第1及び第2の平衡信号端子3,4のインピーダンスが100Ωである。UMTS−band2用受信フィルタの送信周波数帯域は1.85〜1.91GHzであり、受信周波数帯域は1.93〜1.99GHzである。
第1の実施例として、上記の第1の実施形態の弾性波フィルタ装置1を以下の設計パラメータに基づいて作製し、挿入損失を測定した。
交叉幅:30.4λ(λ:IDT電極の周期により決定される波長=2.0405μm)
第1及び第3のIDT電極21,23,31,33における電極指の本数:39本
狭ピッチ部21c、23c、31c、33cにおける電極指の本数:5本
狭ピッチ部21c、31cにおける電極指の周期P1,P11:1.8885μm
狭ピッチ部23c、33cにおける電極指の周期P4,P14:1.9785μm(狭ピッチ部21c、31cにおける電極指の周期よりも0.09μm小さい)
第2のIDT電極22における電極指の本数:43本
第2のIDT電極32における電極指の本数:43本
第1のIDT電極側狭ピッチ部22cにおける電極指の本数:3本
第1のIDT電極側狭ピッチ部32cにおける電極指の本数:3本
第3のIDT電極側狭ピッチ部22dにおける電極指の本数:7本
第3のIDT電極側狭ピッチ部32dにおける電極指の本数:7本
第1及び第3のIDT電極側狭ピッチ部22c、32c、22d、32dにおける電極指の周期P2,P12,P3,P13:2.0118μm
第1及び第2のグレーティング反射器24,25,34,35における電極指の本数:65本
メタライゼーションレシオ:0.68
電極膜厚:0.091λ
第1及び第2の直列共振子10,15;
交叉幅:11.0λ(λ=1.9528μm)
IDT電極11,16における電極指の本数:71本
第1及び第2のグレーティング反射器12,13,17,18における電極指の本数:18本
メタライゼーションレシオ:0.60
電極膜厚:0.095λ
第1及び第2の並列共振子40,45;
交叉幅:15.0λ(λ=2.0476μm)
IDT電極41,46における電極指の本数:111本
第1及び第2のグレーティング反射器42,43,47,48における電極指の本数:18本
メタライゼーションレシオ:0.60
電極膜厚:0.091λ
また、第1の比較例として、第1のIDT電極側狭ピッチ部22c、32cにおける電極指の本数と、第3のIDT電極側狭ピッチ部22d、32dにおける電極指の本数とが共に4本であり、狭ピッチ部21c、31cにおける電極指の周期P1が狭ピッチ部23c、33cにおける電極指の周期P4と等しいこと以外は上記第1の実施例と同じ設計パラメータの弾性波フィルタ装置を作製し、挿入損失を測定した。
第2の実施例として、狭ピッチ部21c、31cにおける電極指の周期P1を、狭ピッチ部23c、33cにおける電極指の周期P4とを等しくしたこと以外は、上記第1の実施例と同様の設計パラメータの弾性波フィルタ装置を作製した。そして、第2の実施例の弾性波フィルタ装置における第1の縦結合共振子型弾性波フィルタ部の挿入損失を測定した。
また、第3の実施例として、第3のIDT電極側狭ピッチ部22d、32dにおける電極指の本数を5本にしたこと以外は、上記の第2の実施例と同様の設計パラメータの弾性波フィルタ装置を作製した。そして、第3の実施例の弾性波フィルタ装置における第1の縦結合共振子型弾性波フィルタ部の挿入損失を測定した。
第4及び第5の実施例として、狭ピッチ部21c、31cにおける電極指の周期P1,P11と狭ピッチ部23c、33cにおける電極指の周期P4,P14との差を変更したこと以外は、上記の第1の実施例と同様の設計パラメータの弾性波フィルタ装置を作製した。具体的には、第4の実施例では、狭ピッチ部21c、31cにおける電極指の周期P1,P11を狭ピッチ部23c、33cにおける電極指の周期P4,P14よりも0.04μm小さくした。第5の実施例では、狭ピッチ部21c、31cにおける電極指の周期P1,P11を狭ピッチ部23c、33cにおける電極指の周期P4,P14よりも0.02μm小さくした。
本実施形態では、狭ピッチ部21c、31c、22c、32c、22d、32d、23c、33cの構成を除いては上記の第1の実施形態に係る弾性波フィルタ装置1と同様の構成を有する弾性波フィルタ装置について説明する。なお、本実施形態の説明において、上記の第1の実施形態と実質的に共通の機能を有する部材を共通の符合で参照し、説明を省略する。また、図1を共通に参照する。
第6の実施例として、上記の第2の実施形態における第1の縦結合共振子型弾性波フィルタ部20を以下の設計パラメータに基づいて作製し、挿入損失を測定した。
第1のIDT電極21における電極指の本数:37本
第3のIDT電極23における電極指の本数:41本
狭ピッチ部21cにおける電極指の本数:3本
狭ピッチ部23cにおける電極指の本数:7本
狭ピッチ部21c、23cにおける電極指の周期P1,P4:1.9220μm
第2のIDT電極22における電極指の本数:43本
狭ピッチ部22c、22dにおける電極指の本数:4本
第1のIDT電極側狭ピッチ部22cにおける電極指の周期P2:1.8269μm
第3のIDT電極側狭ピッチ部22dにおける電極指の周期P3:1.8269μm(第1のIDT電極側狭ピッチ部22cにおける電極指の周期と等しい)
第1及び第2のグレーティング反射器24,25,34,35における電極指の本数:65本
メタライゼーションレシオ:0.68
電極膜厚:0.091λ
また、第7の実施例として、上記の第6の実施例とは狭ピッチ部21c、23cにおける電極指の本数のみが異なる第1の縦結合共振子型弾性波フィルタ部20を作製し、挿入損失を測定した。具体的には、第7の実施例では、狭ピッチ部21cにおける電極指の本数を4本とし、狭ピッチ部23cにおける電極指の本数を6本とした。
第8及び第9の実施例として、第1のIDT電極側狭ピッチ部22cにおける電極指の周期P2と、第3のIDT電極側狭ピッチ部22dにおける電極指の周期P3との差以外は、上記の第6の実施例と同様の設計パラメータの第1の縦結合共振子型弾性波フィルタ部を作製した。具体的には、第8の実施例では、第1のIDT電極側狭ピッチ部22cにおける電極指の周期P2を第3のIDT電極側狭ピッチ部22dにおける電極指の周期P3よりも0.04μm小さくした。第9の実施例では、第1のIDT電極側狭ピッチ部22cにおける電極指の周期P2を第3のIDT電極側狭ピッチ部22dにおける電極指の周期P3よりも0.02μm小さくした。
第10の実施例として、下記パラメータ以外は、上記第1の実施例と同様の設計パラメータを有する弾性波フィルタ装置を作製し、挿入損失を測定した。
第1及び第2の縦結合共振子型弾性波フィルタ部20,30;
交叉幅:32.9λ(λ:IDT電極の周期により決定される波長=2.0412μm)
第1のIDT電極21,31における電極指の本数:38本
狭ピッチ部21c、31cにおける電極指の本数:3本
第2のIDT電極22,32における電極指の本数:43本
第1のIDT電極側狭ピッチ部22c、32cにおける電極指の本数:3本
第3のIDT電極側狭ピッチ部22d、32dにおける電極指の本数:7本
第3のIDT電極23,33における電極指の本数:42本
狭ピッチ部23c、33cにおける電極指の本数:7本
狭ピッチ部21c、31cにおける電極指の周期P1,P11:1.9560μm(狭ピッチ部23c、33cにおける電極指の周期よりも0.085μm小さい)
狭ピッチ部23c、33cにおける電極指の周期P4,P14:2.0410μm
第1のIDT電極側狭ピッチ部22c、32cにおける電極指の周期P2,P12:1.7461μm(第3のIDT電極側狭ピッチ部22d、32dにおける電極指の周期よりも0.087μm小さい)
第3のIDT電極側狭ピッチ部22d、32dにおける電極指の周期P3,P13:1.8331μm
2…不平衡信号端子
3…第1の平衡信号端子
4…第2の平衡信号端子
5,6…接続点
9…圧電基板
10…第1の直列共振子
15…第2の直列共振子
11,16…IDT電極
12,13,17,18…グレーティング反射器
20…第1の縦結合共振子型弾性波フィルタ部
30…第2の縦結合共振子型弾性波フィルタ部
21,31…第1のIDT電極
21a、31a…第1のくし歯電極
21b、31b…第2のくし歯電極
21c、31c…第1のIDT電極の狭ピッチ部
21e、21g、31e、31g…バスバー
21f、21h、31f、31h…電極指
22,32…第2のIDT電極
22a、32a…第1のくし歯電極
22b、32b…第2のくし歯電極
22c、32c…第1のIDT電極側狭ピッチ部
22d、32d…第3のIDT電極側狭ピッチ部
22e、22g、32e、32g…バスバー
22f、22h、32f、32h…電極指
23,33…第3のIDT電極
23a、33a…第1のくし歯電極
23b、33b…第2のくし歯電極
23c、33c…第3のIDT電極の狭ピッチ部
23e、23g、33e、33g…バスバー
23f、23h、33f、33h…電極指
24,34…第1のグレーティング反射器
25,35…第2のグレーティング反射器
40…第1の並列共振子
45…第2の並列共振子
41,46…IDT電極
42,43,47,48…グレーティング反射器
P1,P11…第1のIDT電極の狭ピッチ部における電極指の周期
P2,P12…第2のIDT電極の第1のIDT電極側狭ピッチ部における電極指の周期
P3,P13…第2のIDT電極の第3のIDT電極側狭ピッチ部における電極指の周期
P4,P14…第3のIDT電極の狭ピッチ部における電極指の周期
P5,P15…第1のIDT電極の狭ピッチ部以外の部分における電極指の周期
P6,P16…第2のIDT電極の第1のIDT電極側狭ピッチ部及び第3のIDT電極側狭ピッチ部以外の部分における電極指の周期
P7,P17…第3のIDT電極の狭ピッチ部以外の部分における電極指の周期
Claims (12)
- 圧電基板と、
前記圧電基板上において弾性波伝搬方向に沿って形成されており、それぞれ複数本の電極指を有する第1〜第3のIDT電極と、前記圧電基板上において前記第1〜第3のIDT電極が形成された領域の弾性波伝搬方向の両側に形成された第1及び第2の反射器とを有する縦結合共振子型弾性波フィルタ部とを備えており、
前記第1〜第3のIDT電極のそれぞれは、他のIDT電極と弾性波伝搬方向に隣接している端部に、該IDT電極の残りの部分の電極指の周期よりも電極指の周期が小さい狭ピッチ部を有しており、
前記第2のIDT電極の前記第1のIDT電極側に位置する狭ピッチ部における電極指の本数と、前記第2のIDT電極の前記第3のIDT電極側に位置する狭ピッチ部における電極指の本数とが相互に異なっており、
前記縦結合共振子型弾性波フィルタ部の0次モード及びI−I間共振モードのそれぞれの共振点により通過帯域が形成されており、
前記縦結合共振子型弾性波フィルタ部の1次の共振モードに起因する減衰極の周波数が、前記縦結合共振子型弾性波フィルタ部の通過帯域と阻止帯域との間に位置する過渡帯域内に位置するように構成されている、弾性波フィルタ装置。 - 前記第2のIDT電極の前記第1のIDT電極側に位置する狭ピッチ部における電極指の本数と、前記第2のIDT電極の前記第3のIDT電極側に位置する狭ピッチ部における電極指の本数とが、2本以上異なっている、請求項1に記載の弾性波フィルタ装置。
- 前記第1のIDT電極の狭ピッチ部における電極指の周期と、前記第3のIDT電極の狭ピッチ部における電極指の周期とが相互に異なっている、請求項1または2に記載の弾性波フィルタ装置。
- 前記第2のIDT電極の前記第1のIDT電極側に位置する狭ピッチ部における電極指の本数が、前記第2のIDT電極の前記第3のIDT電極側に位置する狭ピッチ部における電極指の本数よりも少なく、前記第1のIDT電極の狭ピッチ部における電極指の周期が、前記第3のIDT電極の狭ピッチ部における電極指の周期よりも小さい、請求項3に記載の弾性波フィルタ装置。
- 前記第2のIDT電極の前記第1のIDT電極側に位置する狭ピッチ部における電極指の本数が、前記第2のIDT電極の前記第3のIDT電極側に位置する狭ピッチ部における電極指の本数よりも少なく、前記第1のIDT電極の狭ピッチ部における電極指の周期と前記第3のIDT電極の狭ピッチ部における電極指の周期とのうちの少なくとも一方が一定ではなく、前記第1のIDT電極の狭ピッチ部における電極指の周期の平均値が、前記第3のIDT電極の狭ピッチ部における電極指の周期の平均値よりも小さい、請求項3に記載の弾性波フィルタ装置。
- 圧電基板と、
前記圧電基板上において弾性波伝搬方向に沿って形成されており、それぞれ複数本の電極指を有する第1〜第3のIDT電極と、前記圧電基板上において前記第1〜第3のIDT電極が形成された領域の弾性波伝搬方向の両側に形成された第1及び第2の反射器と有する縦結合共振子型弾性波フィルタ部とを備えており、
前記第1〜第3のIDT電極のそれぞれは、他のIDT電極と弾性波伝搬方向に隣接している端部に、該IDT電極の残りの部分の電極指の周期よりも電極指の周期が小さい狭ピッチ部を有しており、
前記第1のIDT電極の狭ピッチ部における電極指の本数と、前記第3のIDT電極の狭ピッチ部における電極指の本数とが相互に異なっており、
前記縦結合共振子型弾性波フィルタ部の0次モード及びI−I間共振モードのそれぞれの共振点により通過帯域が形成されており、
前記縦結合共振子型弾性波フィルタ部の1次の共振モードに起因する減衰極の周波数が、前記縦結合共振子型弾性波フィルタ部の通過帯域と阻止帯域との間に位置する過渡帯域内に位置するように構成されている、弾性波フィルタ装置。 - 前記第1のIDT電極の狭ピッチ部における電極指の本数と、前記第3のIDT電極の狭ピッチ部における電極指の本数とが相互に異なっている、請求項1〜5のいずれか一項に記載の弾性波フィルタ装置。
- 前記第1のIDT電極の狭ピッチ部における電極指の本数と、前記第3のIDT電極の狭ピッチ部における電極指の本数とが、2本以上異なっている、請求項6または7に記載の弾性波フィルタ装置。
- 前記第2のIDT電極の前記第1のIDT電極側に位置する狭ピッチ部における電極指の周期と、前記第2のIDT電極の前記第3のIDT電極側に位置する狭ピッチ部における電極指の周期とが相互に異なっている、請求項6〜8のいずれか一項に記載の弾性波フィルタ装置。
- 前記第1のIDT電極の狭ピッチ部における電極指の本数が、前記第3のIDT電極の狭ピッチ部における電極指の本数よりも少なく、前記第2のIDT電極の前記第1のIDT電極側に位置する狭ピッチ部における電極指の周期が、前記第2のIDT電極の前記第3のIDT電極側に位置する狭ピッチ部における電極指の周期よりも小さい、請求項9に記載の弾性波フィルタ装置。
- 前記第1のIDT電極の狭ピッチ部における電極指の本数が、前記第3のIDT電極の狭ピッチ部における電極指の本数よりも少なく、前記第2のIDT電極の前記第1のIDT電極側に位置する狭ピッチ部における電極指の周期と前記第2のIDT電極の前記第3のIDT電極側に位置する狭ピッチ部における電極指の周期とのうちの少なくとも一方が一定ではなく、前記第2のIDT電極の前記第1のIDT電極側に位置する狭ピッチ部における電極指の周期の平均値が、前記第2のIDT電極の前記第3のIDT電極側に位置する狭ピッチ部における電極指の周期の平均値よりも小さい、請求項9に記載の弾性波フィルタ装置。
- 前記第1〜第3のIDT電極の狭ピッチ部は、前記縦結合共振子型弾性波フィルタ部の1次の共振モードに起因する減衰極の周波数が、前記縦結合共振子型弾性波フィルタ部の通過帯域と阻止帯域との間に位置する過渡帯域内に位置するように構成されている、請求項1〜11のいずれか一項に記載の弾性波フィルタ装置。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008244506 | 2008-09-24 | ||
JP2008244506 | 2008-09-24 | ||
PCT/JP2009/002912 WO2010035372A1 (ja) | 2008-09-24 | 2009-06-25 | 弾性波フィルタ装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP4525861B2 true JP4525861B2 (ja) | 2010-08-18 |
JPWO2010035372A1 JPWO2010035372A1 (ja) | 2012-02-16 |
Family
ID=42059388
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009547483A Active JP4525861B2 (ja) | 2008-09-24 | 2009-06-25 | 弾性波フィルタ装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8736402B2 (ja) |
JP (1) | JP4525861B2 (ja) |
CN (1) | CN102160287B (ja) |
DE (1) | DE112009002361B4 (ja) |
WO (1) | WO2010035372A1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10177738B2 (en) | 2014-06-10 | 2019-01-08 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Elastic wave device |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013168692A (ja) * | 2010-06-04 | 2013-08-29 | Murata Mfg Co Ltd | 弾性波分波器 |
KR101664858B1 (ko) * | 2012-02-06 | 2016-10-11 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 필터 장치 |
DE102012112237A1 (de) * | 2012-12-13 | 2014-06-18 | Epcos Ag | Elektroakustisches Bandpassfilter mit geglätteter Einfügedämpfung |
JP2015119258A (ja) * | 2013-12-17 | 2015-06-25 | 株式会社村田製作所 | 弾性波フィルタ装置 |
US20170104470A1 (en) * | 2015-10-09 | 2017-04-13 | Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. | Interdigitated transducers and reflectors for surface acoustic wave devices with non-uniformly spaced elements |
KR102645422B1 (ko) * | 2016-01-05 | 2024-03-07 | 가부시키가이샤 와이솔재팬 | 탄성 표면파 장치, 듀플렉서, 및 빗형 전극 |
KR102074631B1 (ko) * | 2016-08-05 | 2020-02-06 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 탄성 표면파 필터, 고주파 모듈 및 멀티플렉서 |
CN109845105B (zh) * | 2016-10-13 | 2023-06-13 | 株式会社村田制作所 | 弹性波滤波器装置 |
JP7188406B2 (ja) * | 2020-03-06 | 2022-12-13 | 株式会社村田製作所 | 弾性波フィルタ装置およびそれを用いたマルチプレクサ |
KR20210143505A (ko) * | 2020-05-20 | 2021-11-29 | (주)와이솔 | 공진기와, 이 공진기를 갖는 필터 및 공용기 |
CN116707486B (zh) * | 2022-02-28 | 2025-01-14 | 锐石创芯(重庆)微电子有限公司 | 一种滤波器、多工器和射频前端 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2000025423A1 (de) * | 1998-10-28 | 2000-05-04 | Epcos Ag | Oberflächenwellenanordnung mit zumindest zwei oberflächenwellen-strukturen |
JP2002084163A (ja) * | 2000-05-22 | 2002-03-22 | Murata Mfg Co Ltd | 縦結合共振子型弾性表面波フィルタ |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2888493B2 (ja) | 1990-06-21 | 1999-05-10 | 株式会社村田製作所 | 縦型2重モード弾性表面波フィルタ |
JP3391346B2 (ja) * | 2000-04-18 | 2003-03-31 | 株式会社村田製作所 | 縦結合共振子型弾性表面波フィルタ |
JP4090250B2 (ja) | 2001-12-10 | 2008-05-28 | 富士通メディアデバイス株式会社 | 弾性表面波フィルタ |
JP3985717B2 (ja) * | 2003-04-10 | 2007-10-03 | 株式会社村田製作所 | 弾性表面波装置およびそれを用いた通信装置 |
JP4069917B2 (ja) * | 2004-09-15 | 2008-04-02 | 株式会社村田製作所 | バランス型弾性表面波フィルタ |
WO2006068086A1 (ja) * | 2004-12-24 | 2006-06-29 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | バランス型sawフィルタ |
JP2006254410A (ja) | 2005-02-10 | 2006-09-21 | Murata Mfg Co Ltd | バランス型弾性波フィルタ |
US7504911B2 (en) * | 2005-05-27 | 2009-03-17 | Kyocera Corporation | Surface acoustic wave resonator, surface acoustic wave device, and communications equipment |
DE112007002105T5 (de) * | 2006-09-25 | 2009-10-01 | Murata Manufacturing Co. Ltd. | Grenzakustikwellenfilter |
US8339221B2 (en) * | 2008-09-22 | 2012-12-25 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Elastic wave filter device having narrow-pitch electrode finger portions |
-
2009
- 2009-06-25 JP JP2009547483A patent/JP4525861B2/ja active Active
- 2009-06-25 CN CN200980137215.5A patent/CN102160287B/zh active Active
- 2009-06-25 WO PCT/JP2009/002912 patent/WO2010035372A1/ja active Application Filing
- 2009-06-25 DE DE112009002361.4T patent/DE112009002361B4/de active Active
-
2011
- 2011-03-11 US US13/045,587 patent/US8736402B2/en active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2000025423A1 (de) * | 1998-10-28 | 2000-05-04 | Epcos Ag | Oberflächenwellenanordnung mit zumindest zwei oberflächenwellen-strukturen |
JP2002084163A (ja) * | 2000-05-22 | 2002-03-22 | Murata Mfg Co Ltd | 縦結合共振子型弾性表面波フィルタ |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10177738B2 (en) | 2014-06-10 | 2019-01-08 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Elastic wave device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE112009002361B4 (de) | 2016-07-21 |
JPWO2010035372A1 (ja) | 2012-02-16 |
WO2010035372A1 (ja) | 2010-04-01 |
CN102160287A (zh) | 2011-08-17 |
US20110156842A1 (en) | 2011-06-30 |
CN102160287B (zh) | 2014-06-18 |
US8736402B2 (en) | 2014-05-27 |
DE112009002361T5 (de) | 2011-07-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4525861B2 (ja) | 弾性波フィルタ装置 | |
JP5024373B2 (ja) | 弾性波素子 | |
US7479855B2 (en) | Longitudinally-coupled-resonator-type elastic wave filter device | |
WO2016017730A1 (ja) | 弾性波素子、フィルタ素子および通信装置 | |
JP4479793B2 (ja) | 弾性表面波フィルタ装置 | |
KR101793055B1 (ko) | 래더형 필터 | |
JP5158725B2 (ja) | 弾性表面波装置およびそれを用いた通信装置 | |
JP5397477B2 (ja) | ラダー型弾性波フィルタ装置及び分波器 | |
CN1947334B (zh) | 弹性表面波谐振器及使用了该谐振器的弹性表面波滤波器 | |
JP2010251964A (ja) | 弾性波フィルタ及び通信機 | |
JP5850209B1 (ja) | 弾性波装置 | |
JP2015119258A (ja) | 弾性波フィルタ装置 | |
JP2010062873A (ja) | 弾性波フィルタ装置 | |
WO2006068086A1 (ja) | バランス型sawフィルタ | |
JP2004328196A (ja) | 弾性表面波デバイス | |
JP5035430B2 (ja) | 弾性波装置及びデュプレクサ | |
JP4525862B2 (ja) | 弾性波フィルタ装置 | |
KR20090127303A (ko) | 표면 탄성파 공진기 필터 | |
JP5141776B2 (ja) | 弾性波共振子、ラダー型フィルタ及びデュプレクサ | |
JPWO2008038459A1 (ja) | 弾性境界波フィルタ装置 | |
JP5842513B2 (ja) | ラダー型フィルタ | |
JP2005278154A (ja) | 一方向性弾性表面波変換器及びそれを用いた弾性表面波デバイス | |
JP3840575B2 (ja) | 共振子型弾性表面波フィルタ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100511 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100524 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130611 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4525861 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130611 Year of fee payment: 3 |