JP4511335B2 - Multi-circuit board and electronic device - Google Patents
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Description
本発明は、基板に各々が半導体素子や水晶振動子等の電子部品を搭載するための小型の配線基板となる多数の配線基板領域を縦横の並びに一体的に配列形成して成る多数個取り配線基板、および電子装置に関するものである。 The present invention is a multi-piece wiring in which a large number of wiring board regions, each of which is a small-sized wiring board for mounting electronic components such as semiconductor elements and crystal resonators, are integrally arranged in a vertical and horizontal arrangement on the board. The present invention relates to a substrate and an electronic device.
従来、IC,LSI等の半導体素子や、水晶振動子,表面弾性波素子等の圧電素子等の電子部品を搭載し収容するための小型の配線基板は、上面の中央部に電子部品を収容する凹部を有する絶縁基板と、凹部の内側から絶縁基板の側面や下面にかけて導出された配線導体とを具備している。なお、通常、凹部の底面には段差部が形成されていて、配線導体は、段差部の上面から絶縁基体の内部を通って、絶縁基体の側面や下面に導出されている。 2. Description of the Related Art Conventionally, a small wiring board for mounting and housing electronic components such as semiconductor elements such as IC and LSI, and piezoelectric elements such as crystal resonators and surface acoustic wave elements accommodates electronic components in the central portion of the upper surface. An insulating substrate having a recess, and a wiring conductor led out from the inside of the recess to the side surface and the lower surface of the insulating substrate are provided. Normally, a stepped portion is formed on the bottom surface of the recess, and the wiring conductor is led out from the upper surface of the stepped portion to the side surface and the lower surface of the insulating substrate through the inside of the insulating substrate.
この小型の配線基板は、一般に、このような配線基板となる四角形状の配線基板領域を、基板に縦横に配列形成して成る多数個取り配線基板の形態で形成され、基板を各配線基板領域の境界に沿って分割することにより製作されている。 This small-sized wiring board is generally formed in the form of a multi-piece wiring board in which rectangular wiring board areas to be such wiring boards are arranged vertically and horizontally on the board. It is manufactured by dividing along the boundary.
多数個取り配線基板は、図2(a),(b)にそれぞれ平面図およびY−Y’線での断面図で示すように、例えば酸化アルミニウム質焼結体等のセラミック材料から成る3層の絶縁層を積層してなる基板201の上面中央部に、電子部品(図示せず)を搭載するための凹部204が形成された配線基板領域203が複数縦横に配列形成されてなる構造である。凹部204は、四角形状の電子部品を収容するのに適した四角形状であり、その凹部204には段差部205が形成されている。段差部205の上面には電子部品の電極を電気的に接続するための接続パッド206が形成されている。
As shown in FIGS. 2A and 2B, respectively, a plan view and a cross-sectional view taken along the line YY ′, the multi-cavity wiring board has three layers made of ceramic material such as an aluminum oxide sintered body. In this structure, a plurality of
凹部204に収容される電子部品が、水晶振動子等の電子部品本体の外周の一部に電極が偏在しているようなものである場合、その電極に対応するように(電極と接続パッド206との間隔が極力短くなるように、または両者が直接向かい合うように)、段差部205は、四角枠状の凹部204の一辺に偏在するように形成されている。
When the electronic component housed in the
なお、基板201に配列される各配線基板領域203は、通常同じ方向に配列される。そのため、凹部204の一辺に偏在する段差部205は基板201の各配線基板領域203で同じ方向に並んでいる。
In addition, each wiring board area |
基板201の各配線基板領域203の境界には、あらかじめ分割溝210が形成されている。この分割溝210に沿って基板201を分割し、各配線基板領域203に分割することによって個片の電子部品収納用パッケージ、が製作される。なお、基板201の分割は、分割溝210を設けずに、ダイシング加工等の切断加工で行なわれる場合もある。
A dividing
このような電子部品収納用パッケージは、凹部204内に電子部品を収容するとともに、電子部品の電極を段差部205の上面に設けられた接続パッド206にボンディングワイヤや導電性接着剤を介して電気的に接続し、しかる後、蓋体(図示せず)を絶縁基板の上面に接合して凹部204を塞ぎ、凹部204内に電子部品を気密に収容することによって製品としての電子装置となる。そして、接続パッド206を凹部204の外側に配線導体(図示せず)を介して導出し、配線導体の導出部分を外部の電気回路基板の接続パッド(図示せず)に半田等の接続材を介して接続することにより電子装置が外部電気回路基板に実装されるとともに、収容する電子部品の電極が外部電気回路に電気的に接続されることとなる。
In such an electronic component storage package, the electronic component is stored in the
基板201は、通常、酸化アルミニウム等の原料粉末をシート状に成形したセラミックグリーンシート(以下、単にグリーンシートともいう)を複数枚準備し、このグリーンシートの一部のものについて打ち抜き加工を施して凹部204を形成するための開口を設け、次にグリーンシートの表面にタングステン等の金属粉末ペーストを所定の接続パッド206や配線導体のパターンに印刷し、その後、これらのグリーンシートを順に積層、焼成することによって製作される。
The
なお、基板201の外周部には多数個取り配線基板としての取り扱いを容易なものとし、電気めっきの電気導通用の引き回し配線層208を形成するために、配線基板領域203と同じ厚みの捨て代領域202が形成されている。この場合、分割溝210は、捨て代領域202と配線基板領域203との間の境界に沿った部位にも形成される。
In order to facilitate handling as a multi-piece wiring board on the outer peripheral portion of the
分割溝210は、例えば、各配線基板領域203同士の境界や配線基板領域203(最外周のもの)と捨て代領域202との間の境界に沿って、カッター刃を所定の深さまで切り込ませることにより形成される。
しかしながら、このような従来の多数個取り配線基板は、各配線基板領域203の凹部204を取り囲む枠部において、段差部205が形成されている一辺の枠部212の強度が、段差部205が形成されない枠部213の強度よりも高い。
However, in such a conventional multi-cavity wiring substrate, the strength of one
また、段差部205が形成されている強度の高い辺に沿って基板201を分割するとき、分割位置に接する配線基板領域203には、段差部205が形成されていない他の辺の間に沿って基板201を分割するときに比べて大きな機械的な衝撃が生じる。
Further, when the
そのため、段差部が形成されている枠部212と段差部が形成されない枠部213との境界の分割溝210に沿って基板201を破断させて分割したときに大きな機械的な衝撃が生じ、この衝撃で、段差部205が形成されていない強度の低い枠部213においてカケや割れ等の機械的な破壊が生じ、配線基板領域203(個片の電子部品収納用パッケージ)の外辺部分にばりや割れ等の不具合が発生する可能性があるという問題があった。
Therefore, when the
ばりや割れ等の不具合が生じると、個片の電子部品収納用パッケージにおいて、外径寸法の精度の低下(規格外れ等)、気密封止の信頼性の低下、外観不良等の問題を生じることになる。 When defects such as flashing or cracking occur, in the individual electronic component storage package, problems such as reduced outer diameter accuracy (out of specification, etc.), reduced reliability of hermetic sealing, poor appearance, etc. become.
特に、近時の電子部品に対する小型化の要求に伴い、各配線基板領域203の大きさが数mm角程度の小さなものとなってきている。また、各配線基板領域203の小型化に応じて、配線基板領域203の凹部204を取り囲む部位(枠部)の幅が狭くなってきている。そのため、このような段差部205が四角枠状の凹部204の一辺に偏在するようにして形成されている構造の多数個取り配線基板においては、配線基板領域203の枠部に上記のような不具合が発生する可能性が高くなってきている。
In particular, with the recent demand for miniaturization of electronic components, the size of each
また、基板201に分割溝210が形成されているような多数個取り配線基板の場合、分割溝210の形成過程でも以下のような問題がある。すなわち、基板201となるグリーンシートに分割溝210を形成するための切り込みをカッター刃等により押し入れる際に、グリーンシートの強度が、隣り合う配線基板領域203の境界において、段差部が形成される枠部212では高く、段差部が形成されない枠部213では低くなる。
Further, in the case of a multi-piece wiring board in which the
そのため、分割溝210となる切り込みが、段差部が形成される枠部212側に開きにくく、段差部が形成されない枠部213側(強度が低い側)は切り込みを押し入れるカッター刃等が段差部が形成されない凹部204の内側(強度が低い側)にカッター刃が偏りやすく、真っ直ぐ分割溝210となる分割線を入れることが難しいという問題点があった。
Therefore, the notch that becomes the
その結果、枠部としての形状が悪化してしまい、枠部の上面蓋体を、隙間無く強固に凹部204を塞ぐようにして接合することが難しくなり、気密封止不良が発生する可能性があるという問題点があった。
As a result, the shape of the frame portion deteriorates, and it becomes difficult to join the upper surface lid of the frame portion so as to firmly close the
本発明は、かかる従来の問題点に鑑み案出されたものであり、その目的は、四角形状の凹部204の一辺に段差部205が偏在していたとしても、基板201を各配線基板領域203に、ばりや割れ等が発生する可能性を低減させることが可能で、また、凹部204の周囲に変形のない気密封止性に優れた多数個取り配線基板、および信頼性の高い電子装置を提供することにある。
The present invention has been devised in view of such conventional problems. The object of the present invention is to provide the
本発明の多数個取り配線基板は、基板に縦横に配列形成された複数の配線基板領域と、複数の該配線基板領域同士の境界に形成された分割溝と、複数の前記配線基板領域の各々に形成された、電子部品が収容される長方形状の凹部と、長方形状の該凹部の長辺側の一辺に偏在するように形成された段差部とを備えるとともに、複数の前記配線基板領域の外周部に形成された捨て代領域を有しており、前記段差部は、前記捨て代領域に隣接する前記配線基板領域では、前記捨て代領域に隣り合うように長辺側の同じ一辺に並んで配置されており、内側の前記配線基板領域では、隣り合う前記配線基板領域同士の境界を挟んで互いに向かい合うようにそれぞれ長辺側の同じ一辺に並んで配置されていることを特徴とするものである。 Each of the multi-cavity circuit board, a plurality of wiring board regions arranged formed in a matrix on the substrate, the dividing grooves formed on a boundary between the plurality of wiring substrate areas, a plurality of the wiring substrate region of the present invention formed, Rutotomoni comprises a recess rectangular shape on which an electronic component is to be accommodated, the said recess of rectangular shape and formed stepped portion so as to unevenly distributed on one side of the long side, a plurality of said wiring A step margin is formed on the outer periphery of the substrate region, and the step portion is the same on the long side so as to be adjacent to the step margin region in the wiring substrate region adjacent to the step margin region. are arranged in one side, the inner side of the wiring substrate area, across the boundary of the wiring board territory Ikido mechanics adjacent that are arranged in the same side of each long side to face each other It is characterized by.
また、本発明の電子装置は、本発明の多数個取り配線基板が前記配線基板領域ごとに分割されることにより個片化された電子部品収納用パッケージと、該電子部品収納用パッケージの前記凹部に収容された電子部品とを備えていることを特徴とするものである。 The electronic device according to the present invention includes an electronic component storage package separated by dividing the multi-cavity wiring substrate of the present invention into each wiring substrate region, and the concave portion of the electronic component storage package. And an electronic component housed in the housing.
本発明の多数個取り配線基板は、長方形状の凹部の長辺側の一辺に偏在するように形成された段差部を備え、段差部は、内側の配線基板領域では、隣り合う配線基板領域同士の境界を挟んで互いに向かい合うようにそれぞれ長辺側の同じ一辺に並んで配置されていることにより、隣り合う配線基板領域同士の強度差を低減させることができ、凹部の周辺(枠部等)にばりや割れ等の不具合が発生する可能性を低減させることが可能となる。 Multiple patterning wiring board of the present invention is provided with a step portion formed so as to unevenly distributed on one side of the long sides of the recesses of rectangular shape, the stepped portion is in the inside of the wiring substrate region, the wiring board adjacent territory across the boundary Ikido workers by being arranged in the same side of each long side to face each other, it is possible to reduce the intensity difference of the wiring substrate region adjacent the peripheral recess (frame It is possible to reduce the possibility of occurrence of defects such as flashing and cracking.
また、基板となるグリーンシートに分割溝を形成するための切り込みをカッター刃等を押し入れて形成する際に、グリーンシートの強度を、隣り合う配線基板領域の境界において、段差部が形成される枠部同士、または、段差部が形成されない枠部同士で同じ程度にすることができることから、カッター刃が強度の弱い凹部側に逃げることを防止して枠部の変形を低減させることができる。 In addition, when forming a cut for forming a dividing groove in a green sheet to be a substrate by pushing a cutter blade or the like, the strength of the green sheet is set so that a stepped portion is formed at the boundary between adjacent wiring board regions. Since the portions can be made the same degree between the frames or between the frame portions where the step portions are not formed, the cutter blade can be prevented from escaping to the concave portion having a low strength, and the deformation of the frame portion can be reduced.
その結果、凹部を、例えば蓋体で塞いで気密封止するときに、蓋体を枠部の上面に強固に接合することができ、気密封止の信頼性を優れたものとすることができる。 As a result, when the recess is sealed with a lid, for example, the lid can be firmly joined to the upper surface of the frame, and the reliability of the hermetic sealing can be improved. .
このとき、境界の両側の枠部が同じようにグリーンシート自体の弾性で両側に開き、続いて分割溝を形成後に境界の両側が同じようにグリーンシート自体の弾性で元に近い状態に戻ることになる。 At this time, the frame portions on both sides of the boundary are similarly opened to both sides by the elasticity of the green sheet itself, and then the two sides of the boundary are similarly restored to the original state by the elasticity of the green sheet itself after forming the dividing groove. become.
また、本発明の多数個取り配線基板は、複数の配線基板領域の外周部に形成された捨て代領域を有し、捨て代領域に隣接する配線基板領域では、段差部が捨て代領域に隣り合うように長辺側の同じ一辺に並んで配置されていることにより、多数個取り配線基板の取り扱いの利便性,実用性のため、機械的な強度が配線基板領域に比較して高い捨て代領域が形成されていたとしても、そして、配線基板領域と捨て代領域との境界に沿って基板を分割するときに大きな機械的衝撃が配線基板領域(段差部が形成されている一辺側)に作用したとしても、配線基板領域にばりや割れ等の不具合が生じる可能性を低減させることができる。その結果、信頼性に優れるとともに、取り扱いが容易で実用性に優れた多数個取り配線基板とすることができる。 Further, the multi-cavity wiring board of the present invention has a margin area formed on the outer periphery of a plurality of wiring board areas, and in the wiring board area adjacent to the margin area , the stepped portion is a discard margin area. Because they are arranged side by side on the same side on the long side , the mechanical strength is higher than the wiring board area for convenience and practicality of handling multi-piece wiring boards. Even if the margin area is formed, and when the board is divided along the boundary between the wiring board area and the discard margin area, a large mechanical impact is generated on the wiring board area (one side where the step portion is formed). Even if it acts on the wiring board, it is possible to reduce the possibility of problems such as flashing and cracking in the wiring board region. As a result, excellent in reliability, it can be a multi-piece wiring substrate handling and excellent easy practicability.
また、本発明の多数個取り配線基板は、複数の配線基板領域同士の境界に形成された分割溝を備えていることにより、分割溝に沿って、例えば基板に厚み方向に押圧力を加え得るような構造の装置で押圧力が加えられることにより、基板が各配線基板領域に容易に分割される。 Further, the multi-cavity wiring board of the present invention includes a dividing groove formed at the boundary between a plurality of wiring board regions, and thereby, for example, a pressing force can be applied to the substrate in the thickness direction along the dividing groove. By applying a pressing force with the apparatus having such a structure, the substrate is easily divided into the respective wiring substrate regions.
また、捨て代領域を有することから、上記のような分割装置を用いて、基板に対して捨て代領域から配線基板領域にかけて同じように基板に圧力を加え、機械的な強度の弱い分割溝が形成された部位に沿って基板を破断させることができる。そのため、基板を各配線基板領域に分割する作業性を高くすることができ、多数個取り配線基板の個片への分割を容易に行うことができる。 In addition, since it has a disposal margin area, using the dividing device as described above, pressure is applied to the substrate in the same way from the disposal margin area to the wiring board area, so that a division groove having a low mechanical strength is formed. The substrate can be broken along the formed site. Therefore, it is possible to increase the workability of dividing the substrate into each wiring substrate area, the division into multiple patterning wiring board pieces can be done easily.
捨て代領域側に隣接する配線基板領域の段差部の分だけ、捨て代領域に近くなるように配線基板領域の強度を高く近似させることができ、基板を分割する際、特に捨て代領域とそれに隣接する最外周の配線基板領域との間の分割溝に沿って分割するときでも配線基板領域側に大きな衝撃が加わることは効果的に防止される。その結果、配線基板領域(分割後の個々の配線基板)にばりや割れ等が発生する可能性を低減させることができる。 The strength of the wiring board area can be approximated by a step portion of the wiring board area adjacent to the disposal margin area so that the strength of the wiring board area is close to that of the disposal margin area. Even when dividing along a dividing groove between adjacent outermost wiring substrate regions, it is effectively prevented that a large impact is applied to the wiring substrate region side. As a result, it is possible to reduce the possibility of occurrence of flash or cracks in the wiring board region (divided individual wiring boards).
本発明の電子装置は、上記記載の多数個取り配線基板が配線基板領域ごとに分割されることにより個片化された電子部品収納用パッケージと、電子部品収納用パッケージの凹部に収容された電子部品とを備えていることにより、外形寸法の精度が良好であり電気的接続の信頼性に優れた電子装置を実現することができる。 The electronic device according to the present invention includes an electronic component storage package separated by dividing the multi-piece wiring substrate described above into each wiring substrate region, and an electronic component stored in a recess of the electronic component storage package. By providing the components, it is possible to realize an electronic device having a good external dimension accuracy and excellent electrical connection reliability.
次に、本発明の多数個取り配線基板について、添付の図面を参照して詳細に説明する。図1(a)は本発明の多数個取り配線基板の実施の形態の一例を示す平面図であり、図1(b)は図1(a)のX−X’線における断面図である。図中、101は四角形状の配線基板領域103が中央部に縦横に形成された基板、104は配線基板領域103に形成された凹部、102は捨て代領域、105は段差部、110は分割溝である。
Next, the multi-piece wiring board of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. FIG. 1A is a plan view showing an example of an embodiment of a multi-piece wiring board according to the present invention, and FIG. 1B is a cross-sectional view taken along line X-X ′ of FIG. In the figure, 101 is a substrate in which a rectangular
基板101は、酸化アルミニウム質焼結体や窒化アルミニウム質焼結体,ムライト質焼結体,ガラスセラミックス等のセラミック材料から成り、例えば、このようなセラミック材料から成る複数の絶縁層を積層することにより形成されている。
The
基板101は、例えば、酸化アルミニウム質焼結体から成る場合であれば、酸化アルミニウム、酸化ケイ素等の原料粉末を有機溶剤,バインダーとともにシート状に成形して複数のセラミックグリーンシートを作製し、このセラミックグリーンシートに打抜き加工を施して所定の形状、寸法に加工するとともに上下に積層して積層体となし、高温(1500〜1600℃程度)で焼成することにより形成される。
If the
この場合、積層したときに上層側となるセラミックグリーンシートの各配線基板領域103の中央部分を打抜いて、開口部をセラミックグリーンシートの中央部に複数、縦横に形成しておくことにより各配線基板領域103の凹部104が形成される。
In this case, each
配線基板領域103の凹部104は、内部に水晶振動子等の圧電素子や半導体素子、容量素子、抵抗器等の電子部品(図示せず)を収納するためものである。例えば、凹部104を蓋体(図示せず)で塞ぐことにより、凹部104と蓋体とで構成される容器の内部に電子部品が気密封止される。凹部104は、水晶振動子や半導体素子等の電子部品の形状に合わせて四角形状に形成されている。
The
蓋体は、鉄−ニッケル−コバルト合金や鉄−ニッケル合金等の金属材料、セラミック材料、樹脂材料等により形成される。例えば、鉄−ニッケル−コバルト合金から成る板材に打抜き加工やエッチング加工等の金属加工を施して、凹部104を塞ぐ板状に成形することにより作製される。
The lid is formed of a metal material such as an iron-nickel-cobalt alloy or an iron-nickel alloy, a ceramic material, a resin material, or the like. For example, the plate material made of iron-nickel-cobalt alloy is formed by performing metal working such as punching or etching, and forming the plate into a plate shape that closes the
蓋体は、例えば、シーム溶接や電子ビーム溶接等の溶接、ろう付け、樹脂やガラス等の接合材を介した接合等の手段で基板101の凹部104を取り囲む枠状の部位(枠部)の上面に、凹部104を塞ぐようにして接合される。
The lid is, for example, a frame-shaped portion (frame portion) that surrounds the
この場合、枠部の上面に、溶接やろう付けによる接合を容易かつ強固なものとするために、封止用メタライズ層(図示せず)を形成しておいてもよい。 In this case, a sealing metallization layer (not shown) may be formed on the upper surface of the frame portion in order to make the joining by welding or brazing easy and strong.
凹部104には、長方形状の凹部104の長辺側の一辺に偏在するように段差部105が形成され、段差部105上面には接続パッド106が設けられている。
The
接続パッド106は、凹部104に収納される電子部品の電極を電気的に接続させるための端子として作用し、その電極を凹部104の外側に導出する導電路の一部として機能する。
The
段差部105が凹部104の長辺側の一辺に偏在して形成されていることにより、凹部104に収容される電子部品の段差部105やその上面の接続パッド106に対する位置合わせや接続が容易かつ強固に行なわれる。例えば、水晶振動子のように、四角板状の電子部品本体(水晶片等)の一辺側に電極が偏在している場合、凹部104に電子部品を収容するときに、電子部品の一辺側の下面外周に形成されている電極は、段差部105,接続パッド106と対向するように容易に位置合わせされ、導電性接着剤を介して電気的,機械的に強固に接続される。
Since the
また、電子部品が水晶振動子等の機械的な振動をともなう振動子の場合、電子部品本体と凹部104の底面との間に、段差部105の高さに応じたスペースが確保されるので、電子部品の振動,発振等の機能が阻害されることもない。
Further, in the case where the electronic component is a vibrator with mechanical vibration such as a crystal vibrator, a space corresponding to the height of the stepped
例えば、接続パッド106には、電子部品の電極がボンディングワイヤや半田等の導電性接続材(図示せず)を介して電気的に接続される。そして、接続パッド106と接続するように配線導体(図示せず)を、あらかじめ基板101(各配線基板領域103)の内部を通って貫通導体107を介して下面側に導出するように延在させておくことにより、各配線基板領域103において、電子部品の電極が接続パッド106、貫通導体107等の配線導体を介して基板105の下面側に導出される。
For example, the electrode of the electronic component is electrically connected to the
なお、貫通導体107は、上下の絶縁層に形成された配線導体を互いに電気的に接続する機能や、例えば、配線基板領域103同士の境界に跨るようにして形成されて、隣り合う配線基板領域103の配線導体を互いに電気的に接続する機能を有している。
The through
段差部105は、凹部104を、開口部が形成されたセラミックグリーンシートを複数積層して形成するようにしておき、そのうち下層側のセラミックグリーンシートの開口部の周辺の一部が、上層側のセラミックグリーンシートの開口部の内側に露出するように打抜きの寸法や形状を設定することにより形成される。この露出する部分が段差部105となる。
In the stepped
接続パッド106および配線導体は、タングステン,モリブデン,マンガン,銅,銀,パラジウム,白金,金等の金属材料から成る。接続パッド106は、例えば、タングステンから成る場合であれば、タングステンのペーストをセラミックグリーンシートの段差部105となる部位の上面に所定の接続パッド106のパターンで印刷塗布しておき、一体焼成することにより形成することができる。
The
また、タングステンのペーストを、段差部105に印刷した接続パッド106から連続したパターンでセラミックグリーンシートの表面に所定パターンで印刷塗布しておくことにより配線導体を形成することができる。
Further, the wiring conductor can be formed by printing and applying a tungsten paste in a predetermined pattern on the surface of the ceramic green sheet in a continuous pattern from the
そして、基板101を各配線基板領域103毎に分割するとともに凹部104に電子部品を収容し、電子部品の電極を接続パッド106に接続した後、例えば、蓋体(図示せず)を個片の配線基板領域103の上面にそれぞれ取着して凹部104を塞ぐことにより電子部品が気密封止される。
Then, the
なお、蓋体の絶縁基体に対する取着が、ろう材を介した接合やシーム溶接等の溶接法で行なわれる場合、各配線基板領域103の上面に、凹部104を取り囲むように封止用メタライズ層(図示せず)を形成してもよい。封止用メタライズ層は、上述した接続パッド106や配線導体と同様の材料を用い、同様の手段で形成することができる。
When the lid is attached to the insulating base by a welding method such as joining via a brazing material or seam welding, a metallization layer for sealing is formed on the upper surface of each
この多数個取り配線基板において、段差部105は、内側の配線基板領域103では、隣り合う配線基板領域103同士の境界を挟んで互いに向かい合うようにそれぞれ長辺側の同じ一辺に並んで配置されている。
In this multi-cavity circuit board, the
この構成により、隣り合う配線基板領域103同士で、境界に接する部位における枠部(基板101の各配線基板領域103において凹部104を取り囲む部位)の剛性をほぼ同じ程度にすることができる。
With this configuration, it is possible to make the rigidity of the frame portion (the portion surrounding the
そのため、基板101を分割するときに大きな衝撃が生じやすい、段差部105が形成されている辺では、境界を挟んだ両側の配線基板領域103ともに、強度の高い(つまり、ばりや割れ等の不具合が生じ難い)段差部105が形成されている辺が隣接して位置することになり、大きな衝撃が加わったとしても、凹部104の周辺(枠部等)にばりや割れ等の不具合が発生することを防止できる。
Therefore, on the side where the stepped
また、各配線基板領域103の、段差部105が形成されていない、強度の比較的低い辺においては、隣接する配線基板領域103も、段差部105が形成されていない、強度の比較的低い辺が位置するため、この強度の比較的低い辺同士の間に沿って基板101を分割するときには大きな機械的衝撃が生じることはなく、配線基板領域103にばりや割れが生じることは効果的に防止される。
In addition, in each
その結果、基板101を、ばりや割れ等の不具合を生じさせること無く分割することが可能な多数個取り配線基板とすることができる。
As a result, the
また、例えば、基板101となるグリーンシートに、後述するように分割のための分割溝を形成するような場合、分割溝110となる切り込みをカッター刃等を押し入れて形成する際に、グリーンシートの強度を、隣り合う配線基板領域103の境界において、段差部104が形成される枠部同士、または、段差部105が形成されない枠部同士で同じ程度にすることができることから、カッター刃が強度の弱い凹部104側に逃げることを防止して枠部の変形を防止することができる。
Further, for example, when forming a dividing groove for division as described later on the green sheet to be the
その結果、凹部104を、例えば蓋体で塞いで気密封止するときに、蓋体を枠部の上面に強固に接合することができ、気密封止の信頼性を優れたものとすることができる。
As a result, when the
なお、接続パッド106や、配線導体,貫通導体107,封止用メタライズ層は、その露出表面にニッケル、金等のめっき層(図示せず)を被着させておくことが好ましい。これにより、接続パッド106等の酸化を効果的に防止することができるとともに、接続パッド106に対するボンディングワイヤのボンディング性や半田の濡れ性,封止用メタライズ層に対するろう材の濡れ性や溶接の強度等を向上させることができ、より一層、電子部品の電気的接続,気密封止等の信頼性を優れたものとすることができる。
The
このようなめっき層は、基板101の外周部に外周メタライズ層108を形成しておき、この外周メタライズ層108の部分をめっき用治具で保持し、めっき液中で、治具の端子から外周メタライズ層108を経由して配線導体に電気的導通を行なってめっき用の電流を供給することにより形成される。
For such a plating layer, an outer
また、本発明の多数個取り配線基板は、複数の配線基板領域103の外周部に形成された捨て代領域102を有し、捨て代領域102に隣接する配線基板領域103では、段差部105が捨て代領域102に隣り合うように長辺側の同じ一辺に並んで配置されている。
Also, multiple patterning wiring board of the present invention has a discarded
このことから、捨て代領域102が形成されていることにより、多数個取り配線基板の取り扱いが容易になる。例えば、多数個取り配線基板を、搬送時や電子部品の収容時に治具,装置等に誤ってぶつけたとしても、割れやカケ等の機械的な破壊は捨て代領域102に生じ、配線基板領域103に不具合が生じることは効果的に防止される。
Therefore, by discarding
また、捨て代領域102に隣接する配線基板領域103では、段差部105が捨て代領域102に隣り合うように長辺側の同じ一辺に並んで配置されていることから、捨て代領域102側での強度が高い。
In the
そのため、凹部104が形成されず機械的な強度が配線基板領域103に比較して高い捨て代領域102が形成されていたとしても、配線基板領域103と捨て代領域102との境界に沿って基板101を分割するときに大きな機械的衝撃が配線基板領域103(段差部105が形成されている一辺側)に作用したとしても、配線基板領域103にばりや割れ等の不具合が生じることは効果的に防止される。
Therefore, even if the high discard
その結果、信頼性に優れるとともに、取り扱いが容易で実用性に優れた多数個取り配線基板とすることができる。 As a result, excellent in reliability, it can be a multi-piece wiring substrate handling and excellent easy practicability.
また、基板101に対して厚み方向に圧力を加え得るような構造の分割装置を用いて、捨て代領域102から配線基板領域103にかけて同じように基板101に圧力を加えて、基板101のうち機械的な強度の弱い分割溝が形成された部位に沿って基板101を破断させることができる。そのため、基板101を各配線基板領域103に分割する作業性を高くすることができ、多数個取り配線基板の個片への分割を容易に行うことができる。
Further, by using a dividing device having a structure capable of applying pressure in the thickness direction to the
捨て代領域102は、多数個取り配線基板の取り扱いを容易とするためのものである。また、上述のように各配線基板領域103にめっき用の電流を供給する際に、その導通用の導電路(図示せず)を引き回すためのスペースとしても機能する。
The
また、本発明の多数個取り配線基板は、複数の配線基板領域103同士の境界に形成された分割溝110を備えている。このことから、分割溝110に沿って、例えば基板101に厚み方向に押圧力を加え得るような構造の装置で押圧力が加えられることにより、基板101が各配線基板領域103に容易に分割される。
Also, multiple patterning wiring board of the present invention, that have a
また、捨て代領域102を有することから、上記の分割装置を用いて、捨て代領域102から配線基板領域103にかけて同じように基板101に圧力を加え、機械的な強度の弱い分割溝110が形成された部位に沿って基板101を破断させることができる。そのため、基板101を各配線基板領域103に分割する作業性を高くすることができ、多数個取り配線基板の個片への分割を容易に行うことができる。
In addition, since it has the
本発明の電子装置(図示せず)は、上記構成の多数個取り配線基板が配線基板領域103ごとに分割されることにより個片化された電子部品収納用パッケージ(図示せず)と、電子部品収納用パッケージの凹部104に収容された電子部品とを備えている。
An electronic device (not shown) according to the present invention includes an electronic component storage package (not shown) separated by dividing a multi-piece wiring board having the above-described configuration into
本発明の電子装置によれば、上記本発明の多数個取り配線基板が個片に分割されてなる電子部品収納用パッケージに電子部品が収容されて作製されていることから、外形寸法の精度や気密封止の信頼性が良好であり、長期信頼性や電気的接続の信頼性に優れた電子装置を実現することができる。 According to the electronic device of the present invention, since the electronic component is accommodated in the electronic component storage package in which the multi-piece wiring board of the present invention is divided into individual pieces, It is possible to realize an electronic device that has excellent hermetic sealing reliability and excellent long-term reliability and electrical connection reliability.
多数個取り配線基板の配線基板領域103ごとの分割は、上述したように、あらかじめ基板101に分割溝110を形成しておくことにより行なうことができる。また、配線基板領域103同士の境界や、配線基板領域103と捨て代領域102との境界に沿ってダイシング加工等の切断加工を施すことにより行なうことができる。
As described above, the multi-cavity wiring board can be divided into the
分割溝110は、図1に示した例では、基板101の上下面にそれぞれ平面視で同じ位置となるように形成されている。この場合、基板101の上下いずれかの分割溝110の先端(底部)から対向する分割溝110の先端に向かって亀裂が進み、各配線基板領域103をバリやカケ等の不具合を生じることなく確実に分割することができる。なお、基板101の厚さ等に対応して、分割溝110を基板101の上面または下面のいずれか一方にのみ形成するようにして、生産性を向上させるようにしてもよい。基板101の上面または下面のいずれか一方にのみ分割溝110が形成されている場合、基板101を分割するための曲げ応力は、分割溝110が開くような方向に加える。
In the example shown in FIG. 1, the dividing
分割溝110は、基板101となるセラミックグリーンシートの積層体の上下面に、カッター刃や金型を押し当てて切り込みを入れる等の方法で形成される。また、分割溝110の深さは、分割時のクラックやバリ、カケを防止するために、基板101を形成するセラミックグリーンシートの厚みに対して、その深さが20〜70%程度に設定されるのがよい。
The dividing
なお、本発明は上記実施の形態の例に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で変更、改良を施すことは何ら差し支えない。 It should be noted that the present invention is not limited to the examples of the above-described embodiments, and changes and modifications can be made without departing from the scope of the present invention.
図1に示す本発明の実施の多数個取り配線基板の実施の形態では、段差部105を各配線基板領域103の凹部104の長辺側の一辺に偏在するように形成した。すなわち、図1に示した多数個取り配線基板は、縦方向に隣り合って並ぶ配線基板領域103同士において、偏在する段差部105が向かい合っている。 In the embodiment of the multi-cavity wiring board according to the present invention shown in FIG. 1, the stepped
また、基板101に縦横に配列形成された複数の配線基板領域103の取り個数を4行3列(12個)としたが、配線基板領域103の大きさに適した取り個数の基板101としてもよい。
Further, the number of
101・・・・・基板
102・・・・・捨て代領域
103・・・・・配線基板領域
104・・・・・凹部
105・・・・・段差部
110・・・・・分割溝
101...
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